JP2001126423A - 磁気ヘッド位置決め機構 - Google Patents

磁気ヘッド位置決め機構

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JP2001126423A JP30544099A JP30544099A JP2001126423A JP 2001126423 A JP2001126423 A JP 2001126423A JP 30544099 A JP30544099 A JP 30544099A JP 30544099 A JP30544099 A JP 30544099A JP 2001126423 A JP2001126423 A JP 2001126423A
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐衝撃性に優れた高精度な磁気ヘッド位置決
め機構を提供すること。 【解決手段】 薄い鋼板からなるアクチュエータスプリ
ング８と、このアクチュエータスプリング８に接合する
厚い鋼板から成るベースプレート９でファインアクチュ
エータ部６を構成することにより、アクチュエータスプ
リング８に設けられた駆動バネ部２３の可撓性、つま
り、磁気ヘッド支持部５の十分な位置決め精度とストロ
ークを確保したまま、ファインアクチュエータ部６の垂
直方向の剛性を向上させる。また、ベースプレート９を
ホルダアーム１１に接続したときにアクチュエータスプ
リング８がホルダアーム１１と重複しないようにアクチ
ュエータスプリング８の長さを設定することにより、ホ
ルダアーム１１との重合部におけるファインアクチュエ
ータ部６の薄型化を達成し、ファインアクチュエータ部
６の狭板間実装を容易とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
あるいは光ディスク装置等のディスク装置における磁気
ヘッド位置決め機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置の記録密度は、ＢＰＩ
（Bit Per Inch）とＴＰＩ(Track PerInch)の向上によ
り年率６０％以上のペースで増加し続けている。
【０００３】高ＢＰＩ化には磁気ヘッド浮上量の低減や
高感度ヘッドの採用、高効率信号処理技術等が要求され
るが、高ＴＰＩ化には上記に加えて高精度な磁気ヘッド
位置決め技術が不可欠となる。
【０００４】例えば１Gb/in2の記録密度の場合、トラッ
ク方向密度は８kTPI以下、トラックピッチにして３〜４
μm程度であるが、１０Gb/in2以上の記録密度を達成す
るためにはトラック密度２５kTPI以上、トラックピッチ
にして１μm以下となるため、０.１μm以下の磁気ヘッ
ド位置決め精度（トラックピッチの１０％程度）が要求
される。
【０００５】図１４および図１５に磁気ディスク装置に
用いられる磁気ヘッド位置決め機構の従来例を示す。
【０００６】磁気ヘッド支持部５は、図１４（ａ）およ
び図１４（ｂ）に示されるように、磁気ヘッド１を搭載
したスライダ２を保持するジンバルスプリング３と、ス
ライダ２に所定の押圧荷重を付与するロードビーム４お
よびベースプレート９から構成されており、図１４
（ｃ）に示すように、ベースプレート９に設けられたボ
ス部１０を介してホルダアーム１１にかしめ接続され
る。
【０００７】また、磁気ヘッド支持部５を保持した複数
枚のホルダアーム１１は、図１４（ｃ）に示されるよう
に、その基部側においてアームブロック１２として一体
化され、アームブロック１２に設けられた回転軸受け部
１４を介し、図１５に示されるようにして、磁気ディス
ク装置内に回転自在に装着される。
【０００８】アームブロック１２の端部には可動コイル
１３が設けられ、この可動コイル１３と磁気ディスク装
置側の外部固定磁気回路１５とによって構成されるボイ
スコイルモータ（以下、ＶＣＭ：Voice Coil Motor）に
より、可動コイル１３に所定の駆動電流を印加すること
によって駆動力を発生して、アームブロック１２即ち磁
気ヘッド支持部５をシーク方向（ディスクの径方向）へ
円弧軌道で回転駆動し、磁気ヘッド１をディスク上の目
標トラックへ位置決め動作を行うようになっている（ロ
ータリーアクチュエータ方式）。
【０００９】なお、ここでいう位置決め動作とは、磁気
ヘッド１を任意のトラック位置から目標のトラック位置
へと移動させるシーク動作（トラッキング）と、磁気ヘ
ッド１を目標のトラック上に追従させておくフォロー動
作（フォローイング）とに分けられる。
【００１０】このように従来の磁気ヘッド位置決め機構
は、１つのＶＣＭで複数の磁気ヘッド１を同時に駆動さ
せるため、位置決め精度、とりわけフォローイングにお
けるトラック追従精度が十分ではなく、前述のように
０.１μm以下の磁気ヘッド位置決め精度が要求されるよ
うな高ＴＰＩ装置には対応できなくなりつつある。
【００１１】そこで、ＶＣＭによるアームブロック１２
の駆動とは独立して各々の磁気ヘッド１を個別に駆動さ
せる２ステージアクチュエータ型の磁気ヘッド位置決め
機構の開発が進められている。
【００１２】図１６に圧電素子を利用したＨＧＡ（Head
Gimbal Assembly）駆動型２ステージアクチュエータの
従来例（特願平１０−３５５６９７）を示す。
【００１３】この２ステージアクチュエータ型の磁気ヘ
ッド位置決め機構では、図１６（ａ）および図１６
（ｂ）に示されるように、磁気ヘッド支持部５をアクチ
ュエータスプリング８の先端に接続し、このアクチュエ
ータスプリング８の基部を図示しないホルダアームに固
定するようにしている。そして、アクチュエータスプリ
ング８には一対の圧電素子１６，１６がアクチュエータ
スプリング８の中心軸を挟んで平行に配置されており、
トラック追従時には前記圧電素子１６，１６に所定の電
圧（例えば±３０Ｖ）を交互に印加して駆動力を発生さ
せ、アクチュエータスプリング８に設けられたセンタス
プリング１８およびサイドスプリング１９，１９を図１
７（ａ）および図１７（ｂ）に示されるようにして撓ま
せて磁気ヘッド支持部５をトラック方向へ微小回転駆動
させている。
【００１４】このとき圧電素子１６，１６はホルダアー
ム側のＡ部を固定端とし、駆動間隙１７，１７を挟んで
磁気ヘッド側のＢ部を伸縮させて２本のサイドスプリン
グ１９，１９を撓ませており、センタスプリング１８の
近傍のＣ部を回転軸として磁気ヘッド支持部５を微小駆
動させている。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな２ステージアクチュエータ型の磁気ヘッド位置決め
機構では、圧電素子１６，１６の歪み動作部分に駆動間
隙１７，１７を設けておかねばならず、この部位の垂直
方向の剛性が著しく損なわれ、耐衝撃性能やロード／ア
ンロードの耐久性が低下するといった欠点がある。この
場合、センタスプリング１８やサイドスプリング１９，
１９といった駆動用バネ部のジオメトリを変更したり板
厚を増加してバネ剛性を上げれば垂直方向の剛性は確保
できるものの、同時に面内回転剛性も硬くなるため、フ
ァインアクチュエータ部の駆動損失が大きくなり、磁気
ヘッド１の駆動ストロークが狭くなる。そのため十分な
磁気ヘッド位置決め精度が得られず高ＴＰＩ装置への適
応が困難になってくる。
【００１６】また、圧電素子を用いたＨＧＡ駆動型の２
ステージアクチュエータ型の磁気ヘッド位置決め機構の
その他の従来例では、図１８（ａ）に示すように、駆動
部に駆動間隙を設定しないタイプもある。この場合、圧
電素子１６は、図１８（ｂ）に示される通り、圧電素子
１６の両端部をアクチュエータスプリング８に接着する
接着剤層２４の厚みによってアクチュエータスプリング
８から浮いており、圧電素子１６の伸縮部分がアクチュ
エータスプリング８と干渉しないように配慮している
が、接着剤層２４の厚みはせいぜい１０μm前後であ
り、環境湿度や外部衝撃によっては圧電素子１６，１６
とアクチュエータスプリング８が容易に接触／短絡する
危険がある。
【００１７】また、構造上、図１６で示した従来例と同
様に、アクチュエータスプリング８の垂直剛性と回転剛
性がトレードオフになっているため、耐衝撃性能および
ロード／アンロード耐久性を確保するために駆動バネ部
の剛性を上げれば駆動損失が大きくなり十分なヘッド可
動範囲が確保できず、これとは逆に、駆動バネ部の剛性
を下げて駆動損失を小さくすれば耐衝撃性能やロード／
アンロード耐久性が確保されなくなるといった問題があ
る。
【００１８】ところで、図１４および図１５に示すよう
なシングルアクチュエータ方式の従来の磁気ヘッド位置
決め機構において磁気ヘッド支持部５をホルダアーム１
１に接続する場合、ロードビーム４側に設けられたボス
部１０をホルダアーム１１側の取り付け穴に嵌合し、ス
ウェージ（Swage）を圧入してかしめる方法がとられて
いる。これは磁気ヘッド支持部５の位置あわせが容易
で、かつ、十分な接続強度が得られるためであるが、ス
ウェージ圧入と接着剤塗布を併用するような場合におい
てもボス部が障壁となって接着剤の位置決め治具への漏
れを抑制することができるため、組み立て作業性に優れ
た実装方法として広く利用されている。
【００１９】このとき、ボス加工にはプレス成形が用い
られるため可塑性を有する厚板材が利用されるが、押圧
荷重を発生させるロードビーム４の部分は薄板の靱性材
料で構成する必要があるため、通常は図１４（ａ）に示
すように、塑性材料のベースプレート９にボス部１０を
成形し、レーザースポット溶接等の手段によりロードビ
ーム４と接合されてホルダアーム１１に組み込まれてい
る。
【００２０】図１８（ａ）に示されるような２ステージ
アクチュエータ型の磁気ヘッド位置決め機構においても
磁気ヘッド支持部５の実装方法に関しては上記と同様
で、駆動バネ部を擁するアクチュエータスプリング８は
靱性の薄板材で構成されるため、直にボス部１０をプレ
ス成形することができない。よって、図１８（ａ）に示
すようにボス部１０を有するベースプレート９を別部材
として用意し、これをアクチュエータスプリング８に接
合してホルダアームへの接続を行っている。
【００２１】しかしながら、こういった場合、組み立て
部品が増えて生産性が下がるとともに、ファインアクチ
ュエータ部の厚さが増えるため、小型の磁気ディスク装
置への狭板間実装が困難になるといった課題を抱えてい
る。
【００２２】
【発明の目的】本発明の磁気ヘッド位置決め機構は、２
ステージアクチュエータ型の磁気ヘッド位置決め機構に
おいて、アクチュエータスプリングの回転剛性を上げる
ことなく垂直方向剛性を確保すること、換言すれば、フ
ァインアクチュエータ部における磁気ヘッドの駆動スト
ロークを犠牲にすることなく耐衝撃性およびロード／ア
ンロード耐久性を確保することを目的としている。
【００２３】また、ファインアクチュエータ部のアーム
ブロックへの組み込みに際して、狭板間実装が容易な磁
気ヘッド位置決め機構の形態も併せて提供しており、磁
気ディスク装置の薄型化に貢献することができる。
【００２４】このように本発明の磁気ヘッド位置決め機
構は、小型高ＴＰＩ装置において十分なトラック追従精
度を有し、かつ、外部衝撃および装置寿命に対して高い
信頼性を提供することを目的としている。
【００２５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッド位置
決め機構は、磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
磁気ヘッド支持部を一対の圧電素子によって微小駆動す
る複数のファインアクチュエータ部と、前記ファインア
クチュエータ部の各々を支持すべく設けられた複数のホ
ルダアームと、前記複数のホルダアームを一体化して構
成したアームブロックと、前記アームブロックを駆動す
るボイスコイルモータとから成る２ステージアクチュエ
ータ型の磁気ヘッド位置決め機構であって、前記ファイ
ンアクチュエータ部を、１枚の薄い鋼板からなるアクチ
ュエータスプリングと、このアクチュエータスプリング
に重合する厚い鋼板から成るベースプレートとで構成
し、前記アクチュエータスプリングに前記磁気ヘッド支
持部と接続する駆動用バネ部を設けると共に、該駆動用
バネ部の近傍には、前記磁気ヘッド支持部の揺動および
圧電素子の伸縮を許容する一対の駆動間隙を前記アクチ
ュエータスプリングの中心軸を基準として前記磁気ヘッ
ド支持部の取付位置よりも前記ホルダアーム寄りの位置
に左右対称に形成し、この駆動間隙の各々を跨いで前記
磁気ヘッド支持部と前記アクチュエータスプリングの各
々に前記一対の圧電素子の両端部を接続する一方、前記
ベースプレートは、前記アクチュエータスプリングに設
けられた前記一対の駆動間隙を覆うようにして前記アク
チュエータスプリングの一面に接合したことを特徴とす
る構成を有する。
【００２６】この構成によれば、磁気ヘッドの位置決め
のシーク動作は、ボイスコイルモータによりアームブロ
ックを全体的に揺動させることによって行われ、また、
磁気ヘッドの精密な位置決め動作やフォローイング動作
は、前記一対の圧電素子に電圧を交互に印加し、この圧
電素子を伸縮させてアクチュエータスプリングを弾性的
に撓ませ、磁気ヘッド支持部を揺動させることによって
行われる。アクチュエータスプリングには、その駆動間
隙を覆うようにして厚い鋼板から成るベースプレートが
接合されているため、アクチュエータスプリングに十分
な駆動間隙を設けた場合であっても、アクチュエータス
プリングにおける垂直方向の剛性や耐衝撃性能、およ
び、ロード／アンロード時の耐久性を確保することがで
きる。つまり、磁気ヘッド支持部における垂直方向の剛
性の確保とヘッド駆動方向に対する十分な駆動ストロー
クとを同時に達成することができる。
【００２７】また、前記ベースプレートを前記磁気ヘッ
ド支持部と重合する部分で開口し、アクチュエータスプ
リングの駆動用バネ部の外縁を囲むようにしてアクチュ
エータスプリングに接合するようにしてもよい。
【００２８】この構成によれば、ベースプレートが駆動
用バネ部や磁気ヘッド支持部に干渉することがなくなる
ので、磁気ヘッド支持部におけるヘッド駆動方向の抵抗
を低く抑えることができ、一層精密な位置決めが可能と
なる。
【００２９】更に、前記アクチュエータスプリングの駆
動用バネ部を短い板バネからなるセンタスプリングと一
対の長い板バネからなるサイドスプリングによって構成
し、前記センタスプリングをアクチュエータスプリング
の中心軸上に配備する一方、前記サイドスプリングの各
々は、前記センタスプリングを間に挟んで前記アクチュ
エータスプリングの中心軸と直交する向きで配置し、前
記ベースプレートを、前記センタスプリングおよびサイ
ドスプリングの根元において前記アクチュエータスプリ
ングと接合した構成とすることも可能である。
【００３０】この構成によれば、ベースプレートがセン
タスプリングおよびサイドスプリングの根元、つまり、
アクチュエータスプリングにおいて最も応力の集中する
部分でアクチュエータスプリングに接合されるので、ア
クチュエータスプリングの垂直方向の剛性の向上やアク
チュエータスプリングの変形の防止に関し、一層の効果
を発揮することができる。
【００３１】また、前記磁気ヘッド支持部の揺動および
圧電素子の伸縮を許容する一対の駆動間隙を前記アクチ
ュエータスプリングの中心軸を基準として磁気ヘッド支
持部の取付位置の両側に左右対称に形成し、前記一対の
圧電素子の両端部を磁気ヘッド支持部の取付位置の両側
に沿って前記駆動間隙の各々を跨がせて前記磁気ヘッド
支持部と前記アクチュエータスプリングの各々に接続し
た構成としてもよい。
【００３２】この構成によれば、磁気ヘッド支持部の取
付位置の両側に駆動間隙が設けられ、同時に、磁気ヘッ
ド支持部の取付位置の両側に沿ってこれらの駆動間隙の
各々を跨ぐようにして圧電素子が取り付けられる。つま
り、磁気ヘッド支持部の取り付け基部と駆動間隙と圧電
素子とがアクチュエータスプリングの中心軸に対して横
方向に並べて配置されることになり、磁気ヘッド支持部
の全体的な大きさ、特に、その長さを大幅に短縮するこ
とができる。
【００３３】この場合、更に、前記アクチュエータスプ
リングの駆動用バネ部を１本の短い板バネからなるセン
タスプリングと一対の長い板バネからなるサイドスプリ
ングによって構成し、前記センタスプリングはアクチュ
エータスプリングの中心軸上において磁気ヘッド支持部
におけるホルダアーム寄りの端部に配置する一方、前記
サイドスプリングの各々は、前記駆動間隙の各々を跨い
で前記一対の圧電素子の各々と略直交するようにして前
記磁気ヘッド支持部と前記アクチュエータスプリングと
を接続するように構成することが望ましい。
【００３４】この構成によれば、サイドスプリングが弾
性変形して磁気ヘッド支持部のホルダアーム寄りの端部
に位置するセンタスプリングを中心として磁気ヘッド支
持部が揺動する。磁気ヘッド支持部が長いスパンを以っ
て揺動するため、磁気ヘッド支持部の先端に設けられた
磁気ヘッドの移動可能範囲が広がり、より安定した位置
決めが達成される。
【００３５】更に、前記磁気ヘッド支持部と重合するベ
ースプレートの部分をベースプレート本体に対し入れ子
状に分割して前記磁気ヘッド支持部に接合し、前記入れ
子状に分割されたベースプレートの部分と前記ベースプ
レート本体との間に、前記駆動間隙と重合する第二の駆
動間隙を形成して、前記一対の圧電素子の両端部を前記
第二の駆動間隙の各々を跨がせ、前記入れ子状に分割さ
れたベースプレートとベースプレート本体とを介して前
記磁気ヘッド支持部と前記アクチュエータスプリングの
各々に接続する構成を採用することができる。
【００３６】この構成によれば、アクチュエータスプリ
ングに加え、磁気ヘッド支持部の基部も厚い鋼板によっ
て補強されることになるので、磁気ヘッド支持部の垂直
方向の剛性が向上する。
【００３７】この場合、更に、駆動間隙の相互間の離間
距離がホルダアーム側から磁気ヘッド側に向けて徐々に
増大するように駆動間隙を斜交させて配備することが望
ましい。
【００３８】この構成によれば、磁気ヘッド支持部の揺
動中心となるホルダアーム寄りの端部から磁気ヘッド支
持部の中央部に向けて徐々に磁気ヘッド支持部の横幅が
広くなるので、磁気ヘッド支持部の剛性の向上が達成さ
れる。
【００３９】更に、アクチュエータスプリングの長さ
は、ベースプレートをホルダアームに接続したときに、
アクチュエータスプリングがホルダアームと重複しない
ように設定すべきである。
【００４０】この構成によれば、磁気ヘッド支持部とホ
ルダアームとの接続部においてベースプレートとホルダ
アームとが重合するのみであるので、アクチュエータス
プリングを介装する場合と比べて全体の厚みが軽減さ
れ、ファインアクチュエータ部の狭板間実装が容易とな
る。
【００４１】また、ファインアクチュエータ部をホルダ
アームに接続するためのボス部は、アクチュエータスプ
リングに接合されたベースプレートの側に設けるように
する。
【００４２】塑性加工が容易なベースプレートの側にボ
ス部が成形されるため、加工が容易であって生産性が向
上する。
【００４３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の磁気ヘッド位置決
め機構の実施形態について図面を参照しながら詳細に説
明する。
【００４４】まず、第１の実施形態について図面を参照
して説明する。
【００４５】図１（ａ）は第１の実施形態の磁気ヘッド
位置決め機構の全体を示す平面図、図１（ｂ）は同実施
形態の磁気ヘッド位置決め機構を示す側面図である。ま
た、図２（ａ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め機構
の要部を示す側面図、図２（ｂ）は同実施形態の磁気ヘ
ッド位置決め機構の要部を示す裏面図であって、図３
（ａ），図３（ｂ），図３（ｃ）の各々は、同実施形態
の磁気ヘッド位置決め機構のファインアクチュエータ部
を取り出して示す平面図，側面図，裏面図である。図４
（ａ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め機構のファイ
ンアクチュエータ部のパーツ構成を示す図であり、図４
（ｂ）は同磁気ヘッド位置決め機構のファインアクチュ
エータ部のパーツ構成を示す斜視図である。
【００４６】但し、ここでは記憶媒体の表面に向かう側
の面を表す図面を平面図、また、その反対側の面を表す
図面を裏面図として定義しており、この平面／裏面の表
現は、磁気ディスク装置を設置した場合の方向性とは無
関係である。
【００４７】図１（ａ）および図１（ｂ）に示されると
おり、本実施形態の磁気ヘッド位置決め機構は、磁気ヘ
ッド支持部５と、この磁気ヘッド支持部５を含むファイ
ンアクチュエータ部６、および、コースアクチュエータ
部７からなる２ステージ型アクチュエータで構成されて
いる。
【００４８】このうち磁気ヘッド支持部５は、図３
（ａ）および図３（ｂ）に示されるように、磁気ヘッド
１を搭載した浮上型もしくは接触型のスライダ２と、そ
れを支持するジンバルスプリング３ならびスライダ２に
押圧力を付与するためのロードビーム４から構成されて
いる。このときロードビーム４は組立加工性を考慮し
て、図３（ｃ）に示されるように、アクチュエータスプ
リング８と１枚の薄い鋼板により一体成形されている
が、後述する第３の実施形態に示すようにロードビーム
４とアクチュエータスプリング８を分離しておいてもよ
い。
【００４９】また、ファインアクチュエータ部６は、図
３（ａ）および図３（ｃ）に示すように、アクチュエー
タスプリング８と圧電素子１６およびベースプレート９
から構成され、ベースプレート９に形成されたボス部１
０を介し、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すようにし
て、ホルダアーム１１に接続されている。
【００５０】一方、複数のホルダアーム１１からなるア
ームブロック（キャリッジ）１２は、図１（ａ）および
図１（ｂ）に示す通り、その一端に可動コイル１３を具
備し、図示せぬ外部固定磁気回路と組み合わされてＶＣ
Ｍを構築しコースアクチュエータ部７を構成している。
【００５１】ところで、アクチュエータスプリング８に
は、図３（ｃ）等に示すように駆動間隙１７を跨いで１
対の直方体形状の圧電素子１６がアクチュエータスプリ
ング８の中心軸を挟んで平行に配置されており、磁気ヘ
ッド支持部５の一部を構成するロードビーム４とアクチ
ュエータスプリング８との間には、例えば、図４（ａ）
に示すようにして駆動バネ部２３が形成されている。こ
の駆動バネ部２３は面内回転剛性が低くかつ垂直方向剛
性の高い構造であれば何でもよい。本実施形態では、ア
クチュエータスプリング８の中心軸に対して直交するよ
うに直列配置された一対の長いＩ形サイドスプリング１
９と、アクチュエータスプリング８の中心軸上に配置さ
れた１本の短いＩ形センタスプリング１８からなるバネ
構造を採用している（特願平１０−３５５６９７，図１
６（ｂ）参照）。また、アクチュエータスプリング８お
よびロードビーム４を形成する材料は、バネ材としての
機能が要求されるためＳＵＳ３０４等の靱性を有する薄
板材を選択するのが望ましい。
【００５２】また、ベースプレート９は、基本的に、磁
気ヘッド支持部５の一部を構成するロードビーム４との
重合部分および駆動バネ部２３の部分を除いてアクチュ
エータスプリング８に重複する形状がとられ、ベースプ
レート９におけるホルダアーム１１との接続位置にはボ
ス部１０がプレス加工により形成されている。ベースプ
レート９を構成する材料はアクチュエータスプリング８
とは逆にボス部１０の加工性を考慮して可塑性材料が選
ばれ、その板厚は形成するボス部１０の高さと許容され
る実装高さとの兼ね合いにより決定される。
【００５３】ベースプレート９の磁気ヘッド側端部は、
図４（ａ）に示すようにアクチュエータスプリング８に
設けられた駆動間隙１７を覆うようにオーバラップし、
かつ、駆動バネ部２３を回り込んでその外縁を囲むよう
なかたちで形成されており、ベースプレート９とアクチ
ュエータスプリング８を接合する際には、例えばレーザ
ースポット溶接を利用する場合、図３（ａ）のベースプ
レート溶接位置２０で示すように、ボス部１０の周りの
接合に加えて駆動バネ部の外縁すなわちセンタスプリン
グ１８及びサイドスプリング１９の固定端側の根元にお
いても接合位置を持つようにしている。
【００５４】なお、本実施形態では、図２（ａ）に示す
ように、ベースプレート９を記録媒体２７側に配置し、
その上部にアクチュエータスプリング８を重ねて接合
し、さらにその上部（ホルダアーム１１側）に圧電素子
１６をアクチュエータスプリング８に接着する構成をと
っている。そのためアクチュエータスプリング８におけ
るホルダアーム接続位置には貫通穴が設けられており、
ベースプレート９のボス部１０がアクチュエータスプリ
ング８の前記貫通穴を通過してホルダアーム取り付け穴
２８に嵌合されている。
【００５５】ファインアクチュエータ部６の実装に余裕
がある場合には、アクチュエータスプリング８を記録媒
体２７の側に配置し、ベースプレート９をホルダアーム
１１の側に接続することも可能であるが、その場合は圧
電素子１６がその構造上記録媒体２７に対向して接着さ
れるため、記録媒体２７と圧電素子１６との間の物理的
接触や電気的短絡には注意を払う必要がある。
【００５６】上述のように構成された２ステージアクチ
ュエータにおいて磁気ヘッド１をシーク方向へ微小駆動
させる場合には、アクチュエータスプリング８上に接着
された１対の圧電素子１６に逆位相の電圧を交互に印加
して図１７（ａ）および図１７（ｂ）に示される従来例
と同様にして駆動バネ部２３を撓ませ、磁気ヘッド支持
部５を微小回転させる。このとき圧電素子１６は、図２
（ｂ）に示すようにホルダアーム１１側のＡ部を固定端
とし、磁気ヘッド１側のＢ部を駆動端として伸縮し、こ
れによりセンタスプリング１８に相当する位置のＣ部を
回転軸として２本のサイドスプリング１９を変位させて
磁気ヘッド１を駆動させトラック追従動作を行ってい
る。
【００５７】本実施形態に示す磁気ヘッド位置決め機構
では、上述したようにベースプレート９がアクチュエー
タスプリング８の駆動間隙１７にオーバラップし、駆動
バネ部２３の外縁部を回り込んで接合されているため、
駆動間隙１７の周囲を厚い鋼板からなるベースプレート
９で補強する構造となっている。このため駆動バネ部２
３の回転剛性を低く抑えたままでファインアクチュエー
タ部６の垂直方向剛性を強化することができる。
【００５８】図５（ａ）および図５（ｂ）は、本実施例
のファインアクチュエータ部６をホルダアーム１１との
接続位置において固定し、スライダ２に２．５ｇ相当の
押圧荷重を付与したときに発生する内部応力をシミュレ
ーションしたときの応力の分布図を示している。図５
（ａ）に示されるように、ロードビーム４の荷重曲げ位
置４ａにおいてはロード／アンロード時に６×１０８Ｐ
ａ前後の応力が発生しているものの、アクチュエータス
プリングの駆動バネ部１８，１９には、図５（ｂ）に示
される通り、９×１０７Ｐａ程度の応力しか生じていな
いのがわかる。
【００５９】また、図５（ｃ）は、同じく本実施例のフ
ァインアクチュエータ部６をホルダアーム１１との接続
位置において固定し、圧電素子１６を駆動させたときの
磁気ヘッド位置の伝達特性のシミュレーションを示して
いる。ベースプレート９を駆動バネ部２３の周辺の補強
板として利用する本実施形態の磁気ヘッド位置決め機構
では、ファインアクチュエータ部６の曲げ剛性のみなら
ず捻れ剛性も強化することができるため、高帯域（＞１
０kHz）まで共振ピークのない良好な振動特性を得るこ
とができている。
【００６０】次に、第２の実施形態について図面を参照
して説明する。
【００６１】図６（ａ），図６（ｂ），図６（ｃ）の各
々は第２の実施形態の磁気ヘッド位置決め機構のファイ
ンアクチュエータ部を取り出して示す平面図，側面図，
裏面図である。また、図７は同実施形態の磁気ヘッド位
置決め機構のファインアクチュエータ部のパーツ構成を
示す図であり、図８（ａ）および図８（ｂ）は、第２の
実施形態の効果を説明する側断面図である。
【００６２】前述した第１の実施形態では、ファインア
クチュエータ部６を構成するアクチュエータスプリング
８とベースプレート９は駆動バネ部２３を除いて重複す
る形状がとられており、図８（ｃ）の側断面図に示すよ
うに、ホルダアーム１１との接続部においてアクチュエ
ータスプリング８に設けられた貫通穴にベースプレート
９のボス部１０を挿通させてホルダアーム１１側の取り
付け穴に嵌合させていた。しかしながら、この構造によ
ると、図８（ｄ）に示されるように、アクチュエータス
プリング８の板厚の分だけボス部１０の高さｈ１が削ら
れるため、ホルダアーム１１側の取り付け穴２８へのは
め合い高さが低くなり、十分なはめ合い強度が得られず
良好な組立を阻害する恐れがある。
【００６３】既に述べた通り、記録媒体２７側の面にア
クチュエータスプリング８を配置してベースプレート９
をホルダアーム１１側の面に接合する方法もあるが、そ
の場合には圧電素子１６も記録媒体２７側の面に配置さ
れるため、十分な実装高さをもつ装置でなければ圧電素
子１６と記録媒体２７との間の電気的短絡や物理的衝突
に対する安全マージンを確保することができない。
【００６４】そこで、本発明の第２の実施形態では、第
１の実施形態におけるアクチュエータスプリング８のう
ち、ホルダアーム１１と重なる部分を図６（ｂ）および
図６（ｃ）に示すようにして削除し、図６（ａ）および
図６（ｃ）に示す通り、ボス部１０を有するベースプレ
ート９とアクチュエータスプリング８とは駆動間隙１７
を囲む部分においてのみレーザスポット溶接２０を施し
ている。
【００６５】この場合においても、駆動バネ部２３の外
縁部つまりセンタスプリング１８およびサイドスプリン
グ１９の根元はベースプレート９によって補強されるた
め、前述した第１の実施形態と同様にファインアクチュ
エータ部６の曲げ剛性および捻り剛性を十分に確保する
ことが可能である。
【００６６】また、図８（ｂ）の側面図で示すように、
この第２の実施形態においてはアクチュエータスプリン
グ８がホルダアーム１１と干渉しないため、ベースプレ
ート９のボス部１０において組み立て後も十分なボス部
１０の高さｈ２を確保することができ、ホルダアームへ
の接合において良好なはめ合い強度を得ることができ
る。
【００６７】次に、第３の実施形態について図面を参照
して説明する。
【００６８】図９（ａ），図９（ｂ），図９（ｃ）の各
々は、第３の実施形態の磁気ヘッド位置決め機構のファ
インアクチュエータ部を取り出して示す平面図，側面
図，裏面図であり、また、図１０は同実施形態の磁気ヘ
ッド位置決め機構のファインアクチュエータ部のパーツ
構成を示す図である。
【００６９】前述した第１および第２の実施形態では、
ファインアクチュエータ部６を構成するアクチュエータ
スプリング８とロードビーム４は組立と加工性を考慮し
て１枚の薄板で一体成形していたが、図１０に示すよう
に、アクチュエータスプリング８とロードビーム４とを
別部品として用意して組み立てることも可能である。こ
の場合、部品点数が増えるために組立や加工性は悪くな
るが、既存の磁気ヘッド支持部、つまり、ロードビーム
４とユニット化された従来型の磁気ヘッド支持部をその
まま流用することができるといったメリットがある。
【００７０】なお、この場合、ロードビーム４はアクチ
ュエータスプリング８側に設けられたかしめ穴２２を介
してリベット等によってアクチュエータスプリング８に
装着されることになる。
【００７１】また、組み立ての完了したファインアクチ
ュエータ部６の全体的な形状に関しては、図９（ａ），
図９（ｂ），図９（ｃ）に示す通り、前述した第１およ
び第２の実施形態と同等である。
【００７２】次に、第４の実施形態について図面を参照
して説明する。
【００７３】図１１（ａ），図１１（ｂ），図１１
（ｃ）の各々は、第４の実施形態の磁気ヘッド位置決め
機構のファインアクチュエータ部を取り出して示す平面
図，側面図，裏面図であり、また、図１２は同実施形態
の磁気ヘッド位置決め機構のファインアクチュエータ部
のパーツ構成を示す図である。
【００７４】図１１（ａ）および図１１（ｃ）に示され
る通り、本実施形態のファインアクチュエータ部は、ア
クチュエータスプリング８と圧電素子１６およびベース
プレート９から構成されており、このうちアクチュエー
タスプリング８はロードビーム４と１枚の鋼板により一
体成形され、スライダ２を保持したジンバルスプリング
３とロードビーム４とが組み合わされて磁気ヘッド支持
部５を形成している。
【００７５】アクチュエータスプリング８上には、アク
チュエータスプリング８の中心軸を基準としてロードビ
ーム４の取付位置の両側に左右対称に一対の駆動間隙１
７が形成されている。一対の駆動間隙１７は、相互間の
離間距離がホルダアーム側から磁気ヘッド１側に向けて
徐々に増大するように斜交して配備され、この結果、磁
気ヘッド支持部５を形成するロードビーム４の横幅は、
その長手方向の中央位置で最も広くなっている。
【００７６】また、アクチュエータスプリング８には、
図１２に示すように、１本のセンタスプリング１８と一
対のサイドスプリング１９からなる駆動バネ部２３が形
成されている。センタスプリング１８は１本の短いＩ形
の板バネから成り、磁気ヘッド支持部５の一部を構成す
るロードビーム４のホルダアーム寄りの端部でロードビ
ーム４とアクチュエータスプリング８とを接続してい
る。また、長いＩ形の板バネから成る一対のサイドスプ
リング１９の各々は、駆動間隙１７を駆動間隙１７の長
手方向に直交する向きに跨いでロードビーム４とアクチ
ュエータスプリング８とを接続している。
【００７７】ベースプレート９はアクチュエータスプリ
ング８と重合する形で形成され、このベースプレート９
には、アクチュエータスプリング８における駆動間隙１
７に相当する第二の駆動間隙２６が設けられる。ベース
プレート９は第二の駆動間隙２６によって内外に分割さ
れ、その外側の部分はベースプレート本体９ａとなり、
また、その内側の部分は、ベースプレート本体９ａから
入れ子状に分割されて駆動ステージ９ｂとなる。
【００７８】なお、ベースプレート本体９ａと駆動ステ
ージ９ｂとを接続するベースブリッジ２５の部分は、加
工や組み立ての容易化および精度の確保のため、各部の
溶接処理等が完了するまで図１２に示されるような状態
で残される。
【００７９】図１１（ｃ）に示される通り、ベースプレ
ート本体９ａはレーザースポット溶接等により溶接位置
２０の部分でアクチュエータスプリング８に接合され、
また、駆動ステージ９ｂは、レーザースポット溶接等に
より２ヶ所以上の溶接位置２０でロードビーム４に接合
される。
【００８０】また、一対の圧電素子１６は、これらの溶
接作業が完了した後で、第２の駆動間隙２６を長手方向
に跨ぐようにして、ロードビーム４の取付位置の両側に
沿ってベースプレート本体９ａおよび駆動ステージ９ｂ
上に配置されて、図１１（ｃ）に示すようにして、その
両端部をベースプレート本体９ａと駆動ステージ９ｂに
接着され、最終的に、ベースブリッジ２５の部分が、図
１１（ｃ）に示されるような状態に切除される。
【００８１】前述した通り、サイドスプリング１９は、
ロードビーム４の取付位置に沿って形成された駆動間隙
１７の長手方向に直交するかたちで配備されており、ま
た、圧電素子１６は第二の駆動間隙２６の長手方向つま
り駆動間隙１７の長手方向に沿って配置されるので、結
果的に、サイドスプリング１９と圧電素子１６との相対
的な位置関係は略直交した状態となる。
【００８２】次に図１３（ａ）および図１３（ｂ）を用
いて、本実施形態の駆動原理を説明する。図１３（ａ）
の平面図は、本実施例のファインアクチュエータ部を記
録媒体面側から見たときの動作説明図であり、また図１
３（ｂ）はホルダアーム側から見たときの動作説明図で
ある。
【００８３】ベースプレート本体９ａの中心軸を挟んで
配置された１対の圧電素子１６に対し互いに逆位相にな
るように駆動電圧を印加すると、圧電素子１６は磁気ヘ
ッド１側のベースプレート接続位置Ａ部を固定端とし、
駆動間隙２６を跨いで駆動ステージ９ｂに接続されたＢ
部を伸縮させて、サイドスプリング１９およびセンタス
プリング１８を撓ませ、センタスプリング相当位置Ｃを
軸として駆動ステージ９ｂごと磁気ヘッド支持部５を回
転駆動させて磁気ヘッド１のトラック追従動作を行う。
なお、図１３（ａ）および図１３（ｂ）では、一例とし
て、図１３（ｂ）において下方に位置する圧電素子１６
を伸張させ、上方に位置する圧電素子１６を短縮した場
合の動作について示している。
【００８４】本実施形態の磁気ヘッド位置決め機構の場
合、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示すように磁気
ヘッド支持部５の駆動回転中心Ｃを極力磁気ヘッド１か
ら離れた位置に設定することができるため、駆動倍率つ
まり圧電素子１６の歪み量に対する磁気ヘッド１の駆動
量を稼いで磁気ヘッド１の可動範囲を広く設定すること
ができ、十分なヘッド位置決め精度を得ることができ
る。
【００８５】また、サイドスプリング１９と駆動間隙１
７，２６を重複させて更にその上に圧電素子１６を重ね
合わせる構造をとる本実施形態のファインアクチュエー
タ部では、駆動バネ部２３をコンパクトに設計し回転剛
性を低く抑えながらベースプレート本体９ａおよび駆動
ステージ９ｂによる補強で剛性を確保することができる
ため、優れた耐衝撃性およびロード／アンロード耐久性
を確保することが可能になる。
【００８６】
【発明の効果】本発明の磁気ヘッド位置決め機構は、ア
クチュエータスプリングの駆動間隙を覆うようにして厚
い鋼板から成るベースプレートを接合しているため、ア
クチュエータスプリングに十分な駆動間隙を設けた場合
であっても、駆動用バネ部の剛性を強化することなく、
アクチュエータスプリングにおける垂直方向の剛性や耐
衝撃性能、および、ロード／アンロード時の耐久性を確
保することができ、同時に、ヘッド駆動方向に対する十
分な駆動ストロークと位置決め精度を保証することがで
きる。
【００８７】更に、ベースプレートにおける磁気ヘッド
支持部との重合部分を開口し、アクチュエータスプリン
グの駆動用バネ部の外縁を囲むようにしてアクチュエー
タスプリングと接合するようにしたので、駆動用バネ部
や磁気ヘッド支持部とベースプレートとの間の干渉を確
実に防止することができ、磁気ヘッド支持部におけるヘ
ッド駆動方向の抵抗が抑えられ、一層精密な位置決めが
可能となる。
【００８８】また、アクチュエータスプリングに重合す
るベースプレートは、駆動用バネ部を構成するセンタス
プリングおよびサイドスプリングの根元、つまり、アク
チュエータスプリングにおいて最も応力の集中する部分
でアクチュエータスプリングに接合されているので、ア
クチュエータスプリングの垂直方向の剛性の向上やアク
チュエータスプリングの変形の防止に関して一層の効果
を発揮することができる。
【００８９】更に、磁気ヘッド支持部の揺動および圧電
素子の伸縮を許容する駆動間隙を磁気ヘッド支持部の取
付位置の両側に左右対称に形成し、これらの駆動間隙の
各々を跨がせて圧電素子を装着した構成とすることによ
り、磁気ヘッド支持部の取り付け基部と駆動間隙と圧電
素子とがアクチュエータスプリングの中心軸に対して横
方向に並べて配置されるので、磁気ヘッド支持部の全体
的な大きさ、特に、その長さを大幅に短縮することがで
きる。
【００９０】この場合、更に、アクチュエータスプリン
グの駆動用バネ部を構成する板バネの一つを磁気ヘッド
支持部におけるホルダアーム寄りの端部に配置すること
により、磁気ヘッド支持部のホルダアーム寄りの端部を
中心として長いスパンで磁気ヘッド支持部を揺動させる
ことが可能となる。これにより、磁気ヘッド支持部の先
端に設けられた磁気ヘッドの移動可能範囲が広がり、よ
り安定した位置決めが達成される。
【００９１】更に、磁気ヘッド支持部と重合するベース
プレートの部分をベースプレート本体に対し入れ子状に
分割して磁気ヘッド支持部に接合することにより、磁気
ヘッド支持部の基部が厚い鋼板によって補強され、磁気
ヘッド支持部の垂直方向の剛性の向上に役立つ。
【００９２】また、駆動間隙の相互間の離間距離がホル
ダアーム側から磁気ヘッド側に向けて徐々に増大するよ
うに駆動間隙を斜交させて配備したため、磁気ヘッド支
持部の長手方向中央部の横幅が広くすることができ、長
いスパンを以って揺動する磁気ヘッド支持部の剛性が確
保される。
【００９３】更に、アクチュエータスプリングの長さ
は、ベースプレートをホルダアームに接続したときにア
クチュエータスプリングがホルダアームと重複しないよ
うに設定してあるので、ファインアクチュエータ部の薄
型化が可能であり、ファインアクチュエータ部の狭板間
実装が容易となり、磁気ディスク装置全体の小型化も達
成され得る。
【００９４】また、ファインアクチュエータ部をホルダ
アームに接続するためのボス部は、アクチュエータスプ
リングに接合された塑性加工が容易なベースプレートの
側に設けているため、ボス部の加工が容易となって装置
の生産性が向上する。しかも、ベースプレートとホルダ
アームとの間にアクチュエータスプリングが介在しない
構成を採っているため、ベースプレートのボス部に十分
な突出量を与えることが可能となり、ファインアクチュ
エータ部とホルダアームとの間の接合強度も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は第１の実施形態の磁気ヘッド位置
決め機構の全体を示す平面図、図１（ｂ）は同実施形態
の磁気ヘッド位置決め機構の全体を示す側面図である。
【図２】図２（ａ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め
機構の要部を示す側面図、図２（ｂ）は同実施形態の磁
気ヘッド位置決め機構の要部を示す裏面図である。
【図３】図３（ａ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め
機構のファインアクチュエータ部を取り出して示す平面
図、図３（ｂ）は同磁気ヘッド位置決め機構のファイン
アクチュエータ部を取り出して示す側面図、図３（ｃ）
は同磁気ヘッド位置決め機構のファインアクチュエータ
部を取り出して示す裏面図である。
【図４】図４（ａ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め
機構のファインアクチュエータ部のパーツ構成を示す
図、図４（ｂ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め機構
のファインアクチュエータ部のパーツ構成を示す斜視図
である。
【図５】図５（ａ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め
機構のファインアクチュエータ部の垂直荷重に対する応
力分布を示す図、図５（ｂ）はその一部を拡大して示し
た図、図５（ｃ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め機
構のファインアクチュエータ部の伝達特性を示した図で
ある。
【図６】図６（ａ）は第２の実施形態の磁気ヘッド位置
決め機構のファインアクチュエータ部を取り出して示す
平面図、図６（ｂ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め
機構のファインアクチュエータ部を取り出して示す側面
図、図６（ｃ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め機構
のファインアクチュエータ部を取り出して示す裏面図で
ある。
【図７】同実施形態の磁気ヘッド位置決め機構のファイ
ンアクチュエータ部のパーツ構成を示す図である。
【図８】図８（ａ）および図８（ｂ）は第２の実施形態
の効果を説明する側断面図であり、図８（ｃ）および図
８（ｄ）は第２の実施形態の効果に対比させて第１の実
施形態の構造を示した側断面図である。
【図９】図９（ａ）は第３の実施形態の磁気ヘッド位置
決め機構のファインアクチュエータ部を取り出して示す
平面図、図９（ｂ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め
機構のファインアクチュエータ部を取り出して示す側面
図、図９（ｃ）は同実施形態の磁気ヘッド位置決め機構
のファインアクチュエータ部を取り出して示す裏面図で
ある。
【図１０】同実施形態の磁気ヘッド位置決め機構のファ
インアクチュエータ部のパーツ構成を示す図である。
【図１１】図１１（ａ）は第４の実施形態の磁気ヘッド
位置決め機構のファインアクチュエータ部を取り出して
示す平面図、図１１（ｂ）は同実施形態の磁気ヘッド位
置決め機構のファインアクチュエータ部を取り出して示
す側面図、図１１（ｃ）は同実施形態の磁気ヘッド位置
決め機構のファインアクチュエータ部を取り出して示す
裏面図である。
【図１２】同実施形態の磁気ヘッド位置決め機構のファ
インアクチュエータ部のパーツ構成を示す図である。
【図１３】図１３（ａ）および図１３（ｂ）は同実施形
態の磁気ヘッド位置決め機構の動作原理を説明した平面
図である。
【図１４】図１４（ａ）は従来の磁気ヘッド位置決め機
構の磁気ヘッド支持部を示す平面図、図１４（ｂ）は同
磁気ヘッド支持部を示す斜視図、図１４（ｃ）は従来の
磁気ヘッド位置決め機構の全体を示す側面図である。
【図１５】従来のディスク装置の要部を示す平面図であ
る。
【図１６】図１６（ａ）は従来の２ステージアクチュエ
ータ型の磁気ヘッド位置決め機構の磁気ヘッド支持部を
示す斜視図、図１６（ｂ）は同磁気ヘッド支持部のパー
ツ構成を示す斜視図である。
【図１７】図１７（ａ）および図１７（ｂ）は従来の２
ステージアクチュエータ型の磁気ヘッド位置決め機構の
動作原理を説明した平面図である。
【図１８】図１８（ａ）は従来の２ステージアクチュエ
ータ型の磁気ヘッド位置決め機構の磁気ヘッド支持部の
他の例を示す斜視図、図１８（ｂ）は同磁気ヘッド支持
部の圧電素子の周辺を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 磁気ヘッド ２ スライダ ３ ジンバルスプリング ４ ロードビーム ５ 磁気ヘッド支持部（サスペンション） ６ ファインアクチュエータ部 ７ コースアクチュエータ部 ８ アクチュエータスプリング ９ ベースプレート ９ａ ベースプレート本体 ９ｂ 駆動ステージ（ベースプレートから入れ子状に分
割された部分） １０ ボス部 １１ ホルダアーム １２ アームブロック（キャリッジ） １３ 可動コイル １４ 回転軸受け部 １５ 外部固定磁気回路 １６ 圧電素子 １７ 駆動間隙 １８ センタスプリング １９ サイドスプリング ２０ ベースプレート溶接位置 ２１ ＦＰＣ（フレキシブル・プリント・ケーブル） ２２ かしめ穴 ２３ 駆動バネ部 ２４ 接着剤層 ２５ ベースブリッジ ２６ 第二の駆動間隙 ２７ 記録媒体 ２８ ホルダアーム取り付け穴

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 磁気ヘッドを搭載したスライダを支持す
    る磁気ヘッド支持部を一対の圧電素子によって微小駆動
    する複数のファインアクチュエータ部と、前記ファイン
    アクチュエータ部の各々を支持すべく設けられた複数の
    ホルダアームと、前記複数のホルダアームを一体化して
    構成したアームブロックと、前記アームブロックを駆動
    するボイスコイルモータとから成る２ステージアクチュ
    エータ型の磁気ヘッド位置決め機構であって、 前記ファインアクチュエータ部を、１枚の薄い鋼板から
    なるアクチュエータスプリングと、このアクチュエータ
    スプリングに重合する厚い鋼板から成るベースプレート
    とで構成し、前記アクチュエータスプリングに前記磁気
    ヘッド支持部と接続する駆動用バネ部を設けると共に、
    該駆動用バネ部の近傍には、前記磁気ヘッド支持部の揺
    動および圧電素子の伸縮を許容する一対の駆動間隙を前
    記アクチュエータスプリングの中心軸を基準として左右
    対称に形成し、この駆動間隙の各々を跨いで前記磁気ヘ
    ッド支持部と前記アクチュエータスプリングの各々に前
    記一対の圧電素子の両端部を接続する一方、前記ベース
    プレートは、前記アクチュエータスプリングに設けられ
    た前記一対の駆動間隙を覆うようにして前記アクチュエ
    ータスプリングの一面に接合したことを特徴とする磁気
    ヘッド位置決め機構。
  2. 【請求項２】 前記ベースプレートは前記磁気ヘッド支
    持部と重合する部分で開口され、前記アクチュエータス
    プリングの駆動用バネ部の外縁を囲むようにして前記ア
    クチュエータスプリングに接合されていることを特徴と
    する請求項１記載の磁気ヘッド位置決め機構。
  3. 【請求項３】 前記アクチュエータスプリングの駆動用
    バネ部が短い板バネからなるセンタスプリングと一対の
    長い板バネからなるサイドスプリングによって構成さ
    れ、前記センタスプリングはアクチュエータスプリング
    の中心軸上に配備される一方、前記サイドスプリングの
    各々は、前記センタスプリングを間に挟んで前記アクチ
    ュエータスプリングの中心軸と略直交する向きで配置さ
    れ、前記ベースプレートが、少なくとも、前記センタス
    プリングおよびサイドスプリングの根元において前記ア
    クチュエータスプリングと接合されていることを特徴と
    する請求項１または請求項２記載の磁気ヘッド位置決め
    機構磁気ヘッド位置決め機構。
  4. 【請求項４】 前記磁気ヘッド支持部の揺動および圧電
    素子の伸縮を許容する前記一対の駆動間隙を前記アクチ
    ュエータスプリングの中心軸を基準として前記磁気ヘッ
    ド支持部の取付位置の両側に左右対称に形成し、前記一
    対の圧電素子を前記磁気ヘッド支持部の取付位置の両側
    に沿って前記駆動間隙の各々を跨がせて前記磁気ヘッド
    支持部と前記アクチュエータスプリングの各々に接続
    し、前記アクチュエータスプリングと前記磁気ヘッド支
    持部との間に前記駆動用バネ部を設けたことを特徴とす
    る請求項１または請求項２記載の磁気ヘッド位置決め機
    構。
  5. 【請求項５】 前記アクチュエータスプリングの駆動用
    バネ部が１本の短い板バネからなるセンタスプリングと
    一対の長い板バネからなるサイドスプリングによって構
    成され、前記センタスプリングは、アクチュエータスプ
    リングの中心軸上において前記磁気ヘッド支持部におけ
    る前記ホルダアーム寄りの端部で前記磁気ヘッド支持部
    と前記アクチュエータスプリングとを接続する一方、前
    記サイドスプリングの各々は、前記駆動間隙の各々を跨
    いで前記一対の圧電素子の各々と略直交するようにして
    前記磁気ヘッド支持部と前記アクチュエータスプリング
    とを接続していることを特徴とする請求項４記載の磁気
    ヘッド位置決め機構。
  6. 【請求項６】 前記磁気ヘッド支持部と重合するベース
    プレートの部分をベースプレート本体に対し入れ子状に
    分割して前記磁気ヘッド支持部に接合し、前記入れ子状
    に分割されたベースプレートの部分と前記ベースプレー
    ト本体との間に、前記駆動間隙と重合する第二の駆動間
    隙を形成し、前記一対の圧電素子の両端部を、前記第二
    の駆動間隙の各々を跨がせて、前記入れ子状に分割され
    たベースプレートと前記ベースプレート本体とを介して
    前記磁気ヘッド支持部と前記アクチュエータスプリング
    の各々に接続したことを特徴とする請求項４または請求
    項５記載の磁気ヘッド位置決め機構。
  7. 【請求項７】 前記一対の駆動間隙の相互間の離間距離
    が前記ホルダアーム側から前記磁気ヘッド側に向けて徐
    々に増大するように前記一対の駆動間隙を斜交させて配
    備したことを特徴とする請求項４，請求項５または請求
    項６の何れか一項に記載の磁気ヘッド位置決め機構。
  8. 【請求項８】 前記ベースプレートをホルダアームに接
    続したとき、前記ベースプレートと接合している前記ア
    クチュエータスプリングが前記ホルダアームと重複しな
    いように、前記アクチュエータスプリングの長さをホル
    ダアーム先端位置で終えるように形成したことを特徴と
    する請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項
    ５，請求項６または請求項７の何れか一項に記載の磁気
    ヘッド位置決め機構。
  9. 【請求項９】 前記ベースプレートにホルダアームに接
    続するためのボス部を設けたことを特徴とする請求項
    １，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５，請求項
    ６，請求項７または請求項８の何れか一項に記載の磁気
    ヘッド位置決め機構。
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