JP3920270B2 - 磁気ヘッドサスペンション - Google Patents

Description

本発明は、ハードディスク装置等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする為の磁気ヘッドを支持するサスペンションに関する。

磁気ヘッドサスペンションには、共振特性の向上及び耐衝撃性の向上が望まれる。
即ち、搭載する磁気ヘッドを、ハードディスク装置等の記憶媒体における目的トラック上へ向けてシーク方向へ高速移動させる為には、磁気ヘッドサスペンションの共振周波数を高める必要がある。
又、磁気ヘッドがロード位置に位置する際（即ち、磁気ヘッドが記憶媒体上で浮上状態とされている際）に衝撃が加わった場合において、磁気ヘッドがＺ方向（記憶媒体の記憶面と直交する方向）へ跳躍して記憶媒体の記憶面を損傷することを防止する必要がある。

しかしながら、共振特性の向上と耐衝撃性の向上とは相反しており、これらをバランス良く向上させた磁気ヘッドサスペンションは存在しない。

即ち、共振特性を向上させる為には、磁気ヘッドサスペンションの剛性を高める必要がある。
例えば、ロードビーム部を長手方向略全域に亘って積層構造とすることにより、該ロードビーム部の剛性を高め、これにより、共振特性の向上を図ることが提案されている（特許文献１参照）。
しかしながら、該従来の磁気ヘッドサスペンションにおいては、ロードビーム部の重量が大きくなってしまい、耐衝撃性が悪化する。

また、仕様によっては、フレクシャ部に支持される配線と磁気ヘッドの端子とを、金によるボールボンディング（以下、ＧＢＢという）によって電気的に接続する場合がある。
斯かる態様において、ロードビーム部には、磁気ヘッドの端子位置に対応した領域（以下、端子対応領域という）に、はんだジグ挿通用の開口が設けられる。
従って、ＧＢＢ用の磁気ヘッドサスペンションにおいては、ロードビーム部の幅は、前記開口によって画されることになり、結果として、ロードビーム部の重量が大きくなってしまい、対衝撃性が悪化するという問題があった。
特開平１０−３１８７３号公報

本発明は、斯かる従来技術に鑑みなされたものであり、共振特性及び耐衝撃性を同時に向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を、一の目的とする。

本発明者は、ロードビーム部のうち磁気ヘッド搭載領域の近傍部位（先端側部位）の高質量化は耐衝撃性を悪化させるが、該ロードビーム部の基端側部位の高質量化は耐衝撃性への影響が少ないのではないかという仮説を立てた。
即ち、本発明者は、ロードビーム部を、少なくとも基端側の第１部材と先端側の第２部材とを有する分割構造とし、該第１部材の板厚を第２部材の板厚よりも厚くすることにより、耐衝撃性の悪化を防止しつつ、共振特性の向上を図り得るのではないかという仮説を立てた。

そして、本発明者は、斯かる新規な着想に基づき、下記検証を行った。
図１は、ロードビーム部３００の模式上面図（記憶媒体とは反対側から視た平面図）である。
図１に示すように、平面視略二等辺三角形状のロードビーム部３００を、本体部材３１０と、該本体部材３１０の基端側に積層される補強部材３２０とを含む構造とする。
そして、前記本体部材３１０及び補強部材３２０を剛体と仮定して、ロードビーム部３００の短手軸Ｗ（ロードビーム部３００の長手軸Ｌ及び記憶媒体の記憶面と直交する垂直軸（図示せず）の双方と直交する軸であって、荷重曲げ部３３０の基端縁を通過する軸）回りの慣性モーメントを算出することで、ディンプル位置３４０での質量を求め、該質量に基づきディンプル位置３４０での単位荷重当たりの限界加速度を算出した。

なお、本体部材３１０は、基端縁の幅２．４ｍｍ、長手方向長さ１１．６ｍｍ及び板厚０．０３８ｍｍとし、基端縁からディンプル位置３４０までの長手方向長さを７．８ｍｍとした。
そして、補強部材２２０は基端縁の幅２．４ｍｍ及び長手方向長さ３．３ｍｍとして、板厚を０．０３８ｍｍ，０．０５０ｍｍ，０．０７６ｍｍ及び０．１００ｍｍに変化させて、それぞれの場合の限界加速度を算出した（本発明）。
該算出結果を図２に示す。
なお、比較対象として、図１と同一形状で、且つ、均一厚さを有する従来のロードビーム部の限界加速度を算出した。該従来例の算出結果も図２に併せて示す。

板厚を厚くすることによってロードビーム部の剛性を高めることができるが、図２から明らかなように、ロードビーム部の基端側部位のみの板厚を厚くすることによって、限界加速度の悪化を可及的に防止できることが確認できた。

本発明は、斯かる新規な着想に前記検証を加えてなされたものであり、磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、前記フレクシャ部に接合されたロードビーム部と、先端領域が前記ロードビーム部に接合され、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部の基端領域に接合された基部とを備え、前記ロードビーム部は、基端部が前記荷重曲げ部に連接された第１部材と該第１部材の先端部に基端部が重合され、前記第１部材から先端側に延びる第２部材であって、該第１部材よりも厚みの薄い第２部材とを有しており、前記第２部材は、両側辺にフランジ部を有し、前記第１部材の先端部は、前記第２部材のフランジ部間に位置された状態で当該第２部材の基端部に接合されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。

一態様においては、前記第１部材は、先端部が前記磁気ヘッド搭載領域の直近まで延在され得る。

好ましくは、前記第１部材は、先端側に行くに従って幅狭とされる。
好ましくは、前記第２部材は、先端側に行くに従って幅狭とされる。
好ましくは、前記第１部材は、中空部を有し得る。

より好ましくは、前記第１部材は、基端側に位置する基端縁と、該基端縁の幅方向両端部から先端側へ延びる一対の側辺とを有する平面視略三角形状とされる。
前記一対の側辺は、該一対の側辺より幅方向外方に位置する点を中心とした円弧状とされる。
そして、前記第２部材は、基端側が前記第１部材における一対の円弧状側辺に対応した形状とされる。

前記種々の態様において、好ましくは、前記第１部材は、両側辺にフランジ部を有するものとされる。

例えば、前記第１部材と前記荷重曲げ部を構成する部材とは単一部材とされ得る。
これに代えて、前記第２部材と前記荷重曲げ部を構成する部材とを単一部材とすることもできる。
又、前記第１部材と前記基部を構成する部材とは単一部材とされ得る。
これに代えて、前記基部と前記第１部材とは、連結体として一体形成され、前記連結体と前記荷重曲げ部とを接合した後、前記連結体を前記基部と前記第１部材とに分離させて形成することもできる。

前記種々の態様において、好ましくは、前記第２部材は、前記第１部材に接合される基端部材と、該基端部材から先端側へ延びる先端部材とを有し得る。

例えば、前記第２部材と前記フレクシャ部を構成する部材とは単一部材とされ得る。
これに代えて、前記第２部材と前記フレクシャ部を構成する部材とは別部材とされ得る。
斯かる態様においては、前記第２部材は、前記フレクシャ部の磁気ヘッド搭載領域に対応した位置に、ディンプルを有し得る。

ＧＢＢ方式の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記第２部材は、前記磁気ヘッドスライダの端子位置に対応した領域にボールボンディング用開口を有する先端部と、該先端部と前記第１部材との間に延びるアーム部とを備え得る。
斯かる態様において、前記アーム部は、先端側が前記先端部より幅狭とされる。

好ましくは、前記アーム部は、基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされ得る。
例えば、前記先端部と前記アーム部との間の移行領域は、両側辺がそれぞれ平面視円弧状とされる。
好ましくは、前記移行領域の側辺にはフランジ部が設けられる。
より好ましくは、前記第２部材は、長手方向全域に亘って側辺にフランジ部が設けられる。
好ましくは、前記先端部は、先端側へ行くに従って幅狭とされる。

本発明によれば、ロードビーム部を、少なくとも基端側に位置する板厚の厚い第１部材と、少なくとも先端側に位置する第２部材であって、前記第１部材よりも板厚の薄い第２部材とを有するように構成したので、共振特性及び耐衝撃性を同時に向上させることができる。

前記第２部材が、磁気ヘッドスライダの端子位置に対応した領域にボールボンディング用開口を有する先端部と、該先端部と前記第１部材との間に延びるアーム部とを備える態様において、前記アーム部の先端側を前記先端部より幅狭とすれば、ＧＢＢ方式の磁気ヘッドサスペンションにおいても共振特性及び耐衝撃性を同時に向上させることができる。

実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図３及び図４は、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａを、ハードディスク等の記憶媒体の記憶面とは反対側から視た上面斜視図及び上面図である。

図３及び図４に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ１００を支持する磁気ヘッド搭載領域１１を有するフレクシャ部１０と、前記フレクシャ部１０に接合されたロードビーム部２０と、先端領域が前記ロードビーム部２０に接合され、前記磁気ヘッドスライダ１００を記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部３０と、前記荷重曲げ部３０の基端領域に接合された基部４０とを備えている。

前記フレクシャ部１０は、例えば、厚さ１０μｍ〜２５μｍのステンレス板材から形成される。
該フレクシャ部１０は基端側が前記ロードビーム部２０に接合されており、前記磁気ヘッド搭載領域が前記ロードビーム部１０によって片持ち支持されている。
なお、本実施の形態においては、該フレクシャ部１０は、前記ロードビーム部を構成する部材とは別体の部材によって構成されており、該フレクシャ部１０は、前記ロードビーム部２０に溶接によって接合されている。

前記ロードビーム部２０は、前記荷重曲げ部３０によって発生される磁気ヘッド押し付け荷重を前記フレクシャ部１０に伝達すると共に、磁気ヘッドスライダ１００をシーク方向へ移動させ、目的のトラックに位置決めさせるものである。

具体的には、前記ロードビーム部２０は、基端部が前記荷重曲げ部３０に連接された第１部材２１と、該第１部材２１から先端側に延びる第２部材２２とを有している。
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記ロードビーム部２０は、基端側に位置する第１部材２１と、先端側に位置する第２部材２２とを含む少なくとも２以上の部材を有しており、これらが互いに溶接等によって接合されている。

前記第１部材２１は、前記第２部材２２よりも板厚が大きいものとされる。
例えば、前記第１部材２１は板厚５０μｍ〜２００μｍのステンレス材とされ、且つ、前記第２部材２２は板厚２５μｍ〜５０μｍのステンレス材とされる。
なお、該第１部材２１及び第２部材２２は所定の剛性を有する限り、鉄を含む金属，アルミニウムを含む金属，チタンを含む金属又はセラミック等、種々の材料を用いて形成され得る。

このように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部３０に連接される前記ロードビーム部２０の基端側部位を板厚の大きい第１部材２１で形成し、且つ、該ロードビーム部２０の先端側部位を前記第１部材２１よりも板厚の小さい第２部材２２で形成しているので、質量増加による耐衝撃性の悪化を有効に防止しつつ、剛性を高めて共振特性を向上させ得るようになっている。

好ましくは、前記第１部材２１は、前記荷重曲げ部３０に連接される基端縁２１０を幅広とし、且つ、該基端縁から先端側へ行くに従って幅狭とした平面視略二等辺三角形状とすることができる。
このように、前記第１部材２１を平面視略二等辺三角形状とすることにより、該第１部材２１の衝撃特性の悪化を防止しつつ、該第１部材２１の剛性を高めることができる。

より好ましくは、前記第１部材２１は、基端縁２１０の幅方向両端部と先端部２１１との間に延びる一対の側辺２１２を、平面視において凹状とすることができる。
斯かる構成を備えることにより、第１部材２１の剛性をより高めて共振特性を向上させることができる。
なお、本実施の形態においては、前記一対の側辺２１２を、それぞれ、該磁気ヘッドサスペンション１Ａの中央長手軸を基準にして、該一対の側辺２１２より幅方向外方に位置する点Ｃ（図４参照）を中心とする円弧状としている。

又、前記第２部材２２は、好ましくは、基端部２２０が前記第１部材２１の先端部２１１と略同一幅とされ、且つ、基端部２２０から先端側へ行くに従って幅狭となるように構成される。
斯かる構成を備えることにより、剛性を維持しつつ、耐衝撃性を向上させることができる。

より好ましくは、前記第２部材２２は、両側辺２２２にフランジ部を有し得る。
斯かるフランジ部を備えることにより、質量を増加させることなく、該第２部材２２の剛性を高めることができる。

又、本実施の形態においては、前述の通り、前記フレクシャ部１０を構成する部材と前記ロードビーム部２０を構成する第１部材２１及び第２部材２２とを異なる部材としている。
斯かる形態において、前記ロードビーム部２０には、前記フレクシャ部１０の磁気ヘッド搭載領域１１に対応した位置に、ディンプル２５が設けられる。
斯かるディンプル２５を設けることにより、前記磁気ヘッド搭載領１１のピッチ剛性及びロール剛性を向上（低下）させることができる。従って、該磁気ヘッド搭載領域１１に搭載される磁気ヘッドスライダ１００の記録面に対する追従性を向上させることができる。

前記荷重曲げ部３０は、磁気ディスク等の記憶媒体の回転に伴って磁気ヘッドスライダ１００と記憶面との間に生じる空気膜の圧力に抗して、前記磁気ヘッドスライダ１００を記憶面へ向けて押し付け、磁気ヘッドスライダ１００の一定の浮上量を確保する為の前記磁気ヘッド押し付け荷重を発生させる板ばねとして機能する。

本実施の形態においては、該荷重曲げ部３０は、前記フレクシャ部１０及び前記ロードビーム部２０とは別体とされている。
該荷重曲げ部３０は、例えば、板厚２５μｍ〜５０μｍのステンレス材によって形成される。

前記基部４０は、互いに接合された前記フレクシャ部１０，ロードビーム部２０及び荷重曲げ部３０からなるアッセンブリを支持すると共に、該アッセンブリに対してアクチュエータからの駆動力を伝達し得るように構成されている。
本実施の形態においては、該基部４０は、ボイスコイルモータのベアリングに取り付けられるアームとされている。該アームは、例えば、板厚０．１ｍｍ〜０．３ｍｍのステンレス材によって形成される。
なお、該基部４０は、前記アームに代えて、Ｅブロックにかしめにより取り付けられるマウント４１とすることも可能である。

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａのディンプル位置における耐衝撃性及び共振特性の関係について、下記条件下（以下、実施例という）の有限要素法解析に基づき説明する。

・実施例の解析条件
ロードビーム部２０の材料 ＳＵＳ３０４（ヤング率19700kgf/mm^２、密度8.03×10^−６kgf/mm^３）
第１部材２１の基端縁幅Ｗ１ａ＝４．５０ｍｍ
第１部材２１の長手方向長さＬ１＝３．３ｍｍ
第１部材２１の先端部幅Ｗ１ｂ＝１．０６ｍｍ
第２部材２２の基端縁幅Ｗ２ａ＝１．３２ｍｍ
第２部材２２の長手方向長さＬ２＝７．０６ｍｍ
第２部材２２の先端部幅Ｗ２ｂ＝０．９８ｍｍ
ロードビーム部２０の基端縁（第１部材の基端縁２１０）からディンプル位置までの長手方向長さＬｄ＝６．２５ｍｍ
第１部材２１及び第２部材２２の重合領域の長手方向長さＬｏ＝０．９２ｍｍ

斯かる条件に基づき、前記第１部材２１の板厚を０．０３８ｍｍ〜０．１４０ｍｍに変化させた場合のねじれ１次モード固有値／限界加速度の関係を有限要素法に基づき求めた（実施例）。
該解析結果を図５に示す。

比較対象として、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと同形状であるが、ロードビーム部が均一厚さの単一部材からなる磁気ヘッドサスペンションについても同様の解析を行った（比較例という）。
該比較例の分析結果も図５に併せて示す。

図５から明らかなように、従来の磁気ヘッドサスペンションにおいては、限界加速度とねじれ１次モード固有値とはトレードオフの関係にある。
即ち、板厚を厚くすることにより共振特性を向上させる（ねじれ１次モード固有値を大きくする）ことができるが、その反面、耐衝撃性は悪化（限界加速度が低下）してしまう
。

これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、共振特性及び耐衝撃性を同時に向上させることができる。
このように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、ロードビーム部２０を、荷重曲げ部３０に接合される板厚の厚いの第１部材２１と、該第１部材２１に接合される板厚の薄い第２部材２２とによって構成したので、耐衝撃性の悪化を有効に防止しつつ、共振特性を向上させることができる。

なお、より好ましくは、前記ロードビーム部２０の第１部材２１と前記基部４０とを一体形成し、磁気ヘッドサスペンションの組立後に両者を分離させることができる。
即ち、前記第１部材２１及び前記基部４０をブリッジ部５０で連結されたまま成形し（図６(b)参照）、該連結体を用いて磁気ヘッドサスペンション１Ａを組立てた後に、前記ブリッジ部５０を切断させることができる（図６(a)）。
このように、前記第１部材２１及び前記基部４０を連結体として一体形成し、組立後に両者を分離させることにより、ロードビーム部２０と基部４０との位置決め精度の向上、及び、組立効率の向上を図ることができる。

又、本実施の形態においては、前記ロードビーム部２０が第１部材２１及び第２部材２２の二つの部材によって構成されるものとしたが、当然ながら、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
例えば、前記第２部材２２を、前記第１部材２１に接合される基部材２２ａと、該基部材２２ａの先端側に接合される先端部材２２ｂであって、リフトタブを構成する先端部材２２ｂとによって形成することができる（図７参照）。
斯かる図７に示す形態においては、前記先端部材２２ｂを、前記基部材２２ａよりも板厚の薄い板材で形成することができ、これにより、耐衝撃性の悪化をより低減させることができる。

実施の形態２
以下、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図８は、本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図である。

図８に示すように、本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記第２部材２２の基端部を前記第１部材２１の基端縁２１０まで延長している。
即ち、本実施の形態においては、前記第１部材２１は、長手方向全域に亘って前記第２部材２２と重合されている。

斯かる実施の形態においては、実施の形態１に比して、ロードビーム部２０の剛性をより高めることができ、これにより、共振特性をより向上させることができる。
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態１におけると同様、前記第２部材２２は、記録媒体の記録面から離間する方向へ延びるフランジ部を有している。
従って、前記第２部材２２は、前記第１部材２１の上側（記録媒体から離間する側）に配設されている。

実施の形態３
以下、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図９は、本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図である。

図９に示すように、本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記第１部材２１の前記第２部材２２との重合領域を、磁気ヘッド搭載領域１１の近傍まで延長している。
即ち、本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいては、前記第１部材２１の先端部２１１が前記第２部材２２に沿って先端側へ延長されている。

斯かる実施の形態においても、実施の形態１に比して、ロードビーム部２０の剛性をより高めることができ、これにより、共振特性をより向上させることができる。
なお、前記実施の形態１及び本実施の形態３においては、前記第１部材２１が前記第２部材２２の上側（記憶媒体から離間する側）に配設されている。
そして、前記第１部材２１の先端部２１１（第２部材との重合領域）は、前記第２部材２２の両フランジ部の間に位置されている。

又、本実施の形態においては、前記実施の形態１において、前記第１部材２１の先端部２１１を前記第２部材２２の形状に合わせて先端側へ延長させて、該第１部材２１を略Ｔ字状としたが、これに代えて、第１部材２１を、磁気ヘッド搭載領域１１の近傍に頂点を有する略三角形状とすることも可能である（図１０参照）。
なお、斯かる形態において、前記第２部材に上側へ延びるフランジ部を設ける場合には、前記第２部材は前記第１部材の上面側に配設される。

又、本実施の形態においては、前記各実施の形態におけると同様、前記第２部材２２は、記録媒体の記録面から離間する方向へ延びるフランジ部を有している。
従って、前記第２部材２２は、前記第１部材２１の上側（記録媒体から離間する側）に配設されている。

実施の形態４
以下、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図１１は、本実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄの上面図である。

図１１に示すように、本実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記第１部材２１を中空形状としている。
即ち、本実施の形態においては、前記第１部材２１は、前記荷重曲げ部３０に接合される部位と前記第２部材２２に接合される部位との間の領域の少なくとも一部が中抜き構造とされている。

斯かる実施の形態においては、実施の形態１に比して、ロードビーム部２０の耐衝撃性の悪化をより有効に低減させることができる。

実施の形態５
以下、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図１２は、本実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。

図１２に示すように、本実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部２０の第１部材２１と前記荷重曲げ部３０を構成する部材とを一体形成している。

斯かる実施の形態においては、実施の形態１に比して、位置合わせ精度の向上及び組立効率の向上を図ることができる。

実施の形態６
以下、本発明の実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図１３は、本実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。

図１３に示すように、本実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｆは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部２０の第２部材２２と前記荷重曲げ部３０を構成する部材とを一体形成している。

斯かる実施の形態においては、前記実施の形態５と同様、実施の形態１に比して、位置合わせ精度の向上及び組立効率の向上を図ることができる。

実施の形態７
以下、本発明の実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図１４及び図１５は、それぞれ、本実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｇの斜視図及び上面図である。
なお、前記各実施の形態におけると同一又は相当部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｇは、フレクシャ部１０に支持された配線（図示せず）と磁気ヘッドスライダ１００の端子とが金によって電気的に接続されるＧＢＢ方式とされている。

具体的には、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｇは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部２０に代えてロードビーム部２５０を有している。
該ロードビーム部２５０は、前記第１部材２１と、該第１部材より板厚の薄い第２部材２６０とを有している。
該第２部材２６０は、前記第２部材２２と同様、例えば、板厚２５μｍ〜５０μｍのステンレス材とすることができる。

該第２部材２６０は、図１４及び図１５に示すように、磁気ヘッドスライダ１００の端子位置に対応した端子対応領域に、開口２５１を有している。
該開口２５１は、ＧＢＢを行う際に、フレクシャ部１０を支える為のジグが挿通され得る大きさとされている。

より詳しくは、前記第２部材２６０は、前記開口２５１を有する先端部２７０と、該先端部２７０と前記第１部材２１との間に延びるアーム部２８０とを備えている。
前記先端部２７０は、前記開口２５１によって画される幅を有している。
即ち、前記先端部２７０の幅は、前記ジグの大きさに依存している。

他方、前記アーム部２８０は、先端側が前記先端部２７０の幅よりも幅狭とされている。
即ち、本実施の形態においては、前記第２部材２６０は、前記アーム部２８０の先端側が前記先端部２７０よりも幅狭となるように、形成されており、これにより、質量を有効に低減させている。

さらに、本実施の形態においては、前記第２部材２６０は、少なくとも前記先端部２７０から前記アーム部２８０への移行領域２９０における側辺に、フランジ部２５２を有している。斯かるフランジ部２５２を備えることにより、第２部材２６０の剛性を維持することができる。
なお、図示の形態においては、前記フランジ部２５２は、前記先端部２７０，前記移行領域２９０及び前記アーム部２８０の長手方向全域に亘って形成されている。

斯かる構成の磁気ヘッドサスペンション１Ｇにおいては、前記アーム部２８０を、少なくとも先端側が前記先端部２７０よりも幅狭となるように形成することにより、前記ロードビーム部２５０の質量を低減させつつ、前記移行領域２９０の両側辺にフランジ部２５２を設けることにより剛性を維持させている。従って、共振特性及び耐衝撃性（限界加速度）を同時に向上させることができる。

好ましくは、前記移行領域２９０における側辺を、平面視円弧状とすることができ、これにより、フランジ部２５２を無理なく形成することができる。
本実施の形態においては、前記移行領域２９０のうち前記アーム部２８０に近接する側の側辺２９０ａは、該側辺より幅方向外方に位置する点Ｃ１を中心とする円弧状とされ、且つ、前記移行領域２９０のうち前記先端部２７０に近接する側２９０ｂの側辺は、磁気ヘッドサスペンションの中央長手軸上の点Ｃ２を中心とする円弧状とされている。

より好ましくは、前記先端部２７０を先端側へ行くに従って幅狭となるようにテーパ状とすることができ、これにより、ロードビーム部２５０の質量をより低減させることができる。
なお、本実施の形態においては、図１４及び図１５に示すように、前記先端部２７０の側辺を平面視直線状としたが、これに代えて、図１６に示すように、前記先端部２７０の側辺を平面視円弧状とすることもできる。

ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｇのディンプル位置における耐衝撃性及び共振特性を、下記条件下の有限要素解析結果に基づき説明する。
・解析条件
第１部材２１の材料 ＳＵＳ３０４（ヤング率19700kgf/mm^２、密度8.03×10^−６kgf/mm^３）、板厚０．０６４ｍｍ
第２部材２６０の材料 ＳＵＳ３０４（ヤング率19700kgf/mm^２、密度8.03×10^−６kgf/mm^３）、板厚０．０３８ｍｍ
第１部材２１の基端縁幅Ｗ１ａ＝４．５０ｍｍ
第１部材２１の長手方向長さＬ１＝３．３ｍｍ
第１部材２１の先端部幅Ｗ１ｂ＝１．０６ｍｍ
第２部材２６０の基端縁幅Ｗ２ａ＝１．３４ｍｍ
第２部材２６０の長手方向長さＬ２＝７．０６ｍｍ
第２部材２６０における先端部２７０の最大幅Ｗ２ｃ＝１．３４ｍｍ
第２部材２６０における開口２５１の幅 ０．９０ｍｍ
第２部材における先端部の先端縁幅Ｗ２ｂ＝１．２ｍｍ
ロードビーム部２５０の基端縁（第１部材の基端縁２１０）からディンプル位置までの長手方向長さＬｄ＝６．２５ｍｍ
第１部材２１及び第２部材の重合領域の長手方向長さＬｏ＝０．９２ｍｍ
前記移行領域２９０におけるアーム部２８０に近接した側２９０ａの曲率半径ａ＝１．１ｍｍ
前記移行領域２９０における先端部２７０に近接した側２９０ｂの曲率半径ｂ＝０．６７ｍｍ

斯かる条件下のねじれ１次モード固有値及び限界加速度は、それぞれ、７．４ｋHz及び２５０G/gfであった。
これらの値は、前記開口２５１を要さない前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションと比較しても同等以上である。
以上の解析結果から明らかなように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｇは、前記ロードビーム部２５０が前記開口２５１を有しているにも拘わらず、耐衝撃性の悪化を有効に防止しつつ、共振特性を向上させることができる。

実施の形態８
以下、本発明の実施の形態８に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図１７は、本実施の形態８に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｈの斜視図及び上面図である。

図１７に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｈは、前記実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｇにおいて、前記第２部材２６０に代えて、第２部材２６０’を有している。

該第２部材は、前記先端部２７０と、アーム部２８０’とを有している。
該アーム部２８０’は、基端側の側辺が前記第１部材２１の側辺に対応した形状とされている。

詳しくは、前記第１部材２１は、前述の通り、基端側に位置する基端縁２１０と、該基端縁２１０の幅方向両端部から先端側へ延びる一対の側辺２１２とを有する平面視略三角形状とされている。
前記一対の側辺２１２は、該一対の側辺より幅方向外方に位置する点Ｃを中心とした円弧状とされている。
そして、前記アーム部２８０’における基端側の側辺は、斯かる第１部材２１の側辺２１２に対応した形状、即ち、前記点Ｃを中心とした円弧状とされている。

斯かる実施の形態８においては、前記実施の形態７の効果に加えて、ロードビーム部のシーク方向剛性をより高めることができる。
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態７を例に説明したが、当然ながら前記実施の形態１〜６において、第２部材２２の基端側の側辺を第１部材２１の側辺形状に合わせるように形成することも可能である。

実施の形態９
以下、本発明の実施の形態９に係る磁気ヘッドサスペンションについて、添付図面を参照しつつ説明する。
図１８は、本実施の形態９係る磁気ヘッドサスペンション１Ｉの斜視図及び上面図である。

図１８に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｉは、前記実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンションＩＧにおいて、前記第１部材２１に代えて、一対の側辺にフランジ部が設けられた第１部材２１’を有している。

斯かる実施の形態８においては、前記実施の形態７の効果に加えて、ロードビーム部の基端側の剛性をより高めることができ、これにより、共振特性を向上させることができる。
特に、第１部材２１’と第２部材２６０との重合領域において、フランジ部が重なり合うことになる為、曲げモード及び首振りモード特性を格段に向上させることができる。
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態７を例に説明したが、当然ながら前記実施の形態１〜６において、第１部材２１の側辺にフランジ部を設けることも可能である。

図１は、ロードビーム部の模式上面図である。 図２は、図１に示すロードビーム部における板厚と限界加速度との関係を示すグラフである。 図３は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面斜視図である。 図４は、図３に示す磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図５は、図３及び図４に示す磁気ヘッドサスペンションにおけるねじれ１次モードと限界加速度との関係を示すグラフである。 図６(a)は、図３及び図４に示す磁気ヘッドサスペンションの変形例の上面図である。 図６(b)は、図６(a)に示す磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部第１部材及び荷重曲げ部の上面図である。 図７は、図３及び図４に示す磁気ヘッドサスペンションのさらに他の変形例の上面図である。 図８は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図９は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１０は、図９に示す磁気ヘッドサスペンションの変形例の上面図である。 図１１は、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１２は、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１３は、本発明の実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１４は、本発明の実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンションの斜視図である。 図１５は、図１４に示す磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１６は、図１４及び図１５に示す磁気ヘッドサスペンションの変形例の上面図である。 図１７は、本発明の実施の形態８に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。 図１８は、本発明の実施の形態９に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。

符号の説明

１Ａ〜１Ｉ 磁気ヘッドサスペンション
１０ フレクシャ部
１１ 磁気ヘッド搭載領域
２０，２５０ ロードビーム部
２１，２１’ 第１部材
２２，２６０ 第２部材
２５ ディンプル
３０ 荷重曲げ部
４０ 基部
１００ 磁気ヘッドスライダ
２５１ ボールボンディング用開口
２７０ 第２部材の先端部
２８０ 第２部材のアーム部
２９０ 移行領域

Claims (20)

1. 磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、
   前記フレクシャ部に接合されたロードビーム部と、
   先端領域が前記ロードビーム部に接合され、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、
   前記荷重曲げ部の基端領域に接合された基部とを備え、
   前記ロードビーム部は、基端部が前記荷重曲げ部に連接された第１部材と該第１部材の先端部に基端部が重合され、前記第１部材から先端側に延びる第２部材であって、該第１部材よりも厚みの薄い第２部材とを有しており、
   前記第２部材は、両側辺にフランジ部を有し、前記第１部材の先端部は、前記第２部材のフランジ部間に位置された状態で当該第２部材の基端部に接合されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
2. 前記第２部材は、前記磁気ヘッドスライダの端子位置に対応した領域にボールボンディング用開口を有する先端部と、該先端部と前記第１部材との間に延びるアーム部とを備えており、
   前記アーム部は、先端側が前記先端部より幅狭とされていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
3. 前記アーム部は、基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
4. 前記先端部と前記アーム部との間の移行領域は、両側辺がそれぞれ平面視円弧状とされていることを特徴とする請求項２又は３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
5. 前記移行領域の側辺にはフランジ部が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
6. 前記第２部材は、長手方向全域に亘って側辺にフランジ部が設けられていることを特徴とする請求項２から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
7. 前記先端部は、先端側へ行くに従って幅狭とされていることを特徴とする請求項２から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
8. 前記第１部材は、先端部が前記磁気ヘッド搭載領域の直近まで延びていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
9. 前記第１部材は、先端側に行くに従って幅狭とされていることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
10. 前記第１部材は、基端側に位置する基端縁と、該基端縁の幅方向両端部から先端側へ延びる一対の側辺とを有する平面視略三角形状とされ、
    前記一対の側辺は、該一対の側辺より幅方向外方に位置する点を中心とした円弧状とされており、
    前記第２部材は、基端側が前記第１部材における一対の円弧状側辺に対応した形状とされている請求項９に記載の磁気ヘッドサスペンション。
11. 前記第１部材は、両側辺にフランジ部を有していることを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
12. 前記第２部材は、先端側に行くに従って幅狭とされていることを特徴とする請求項１から１１の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
13. 前記第１部材は、中空部を有していることを特徴とする請求項１から１２の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
14. 前記第１部材と前記荷重曲げ部を構成する部材とは単一部材とされていることを特徴とする請求項１から１３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
15. 前記第２部材と前記荷重曲げ部を構成する部材とは単一部材とされていることを特徴とする請求項１から１４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
16. 前記第１部材と前記基部を構成する部材とは単一部材とされていることを特徴とする請求項１から１５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
17. 前記基部と前記第１部材とは、連結体として一体形成され、前記連結体と前記荷重曲げ部とを接合した後、前記連結体を前記基部と前記第１部材とに分離させて形成されることを特徴とする請求項１から１５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
18. 前記第２部材は、前記第１部材に接合される基端部材と、該基端部材から先端側へ延びる先端部材とを有していることを特徴とする請求項１から１７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
19. 前記第２部材と前記フレクシャ部を構成する部材とは単一部材とされていることを特徴とする請求項１から１８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
20. 前記第２部材と前記フレクシャ部を構成する部材とは別部材とされており、
    前記第２部材は、前記フレクシャ部の磁気ヘッド搭載領域に対応した位置に、ディンプルを有していることを特徴とする請求項１から１８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。

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