JP4583715B2 - 磁気ヘッド用サスペンション - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置の磁気ヘッド用サスペンションに関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置は、回転する強磁性媒体、即ち磁気ディスク上に磁気ヘッドを走査させることで情報の記録・再生を行うものであり、現代の情報化社会を支えるストレージ装置の中心として広く用いられている。磁気ヘッドはスライダに納められ、記録・再生時にスライダは磁気ディスク上をナノメートルオーダーの隙間を保ちながら浮上している。磁気ヘッドを所定の位置に移動する駆動力は、通常ボイスコイルモータにより発せられる。ボイスコイルモータのコイルはピボットで回転可能に支持されたアームに連結し、更にアーム先端からサスペンション及びジンバルを介して磁気ヘッドスライダが取り付けられている。サスペンションはスライダの浮上量と釣り合う荷重を発生させるバネ材であり、ジンバルはスライダを支え、ディスク面と平行な面以外で弾性変形することでトラッキングへの追従性を損なわずにディスク面振れやアセンブリに伴う傾きを吸収するバネ材である。この構造により、磁気ヘッドは回転ディスク上の所定のトラックに安定な状態を保ちながら移動できる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の記録密度は高密度化（即ちトラック幅は狭化）し続けており、この狭いトラックに磁気ヘッドを正確に位置決めしなければならないため、ヘッドの位置決め精度を向上させる必要がある。従来、ヘッドの位置決めは上記のボイスコイルモータなどの大きいアクチュエータのみで行われてきたが、トラック幅の狭化に対しては十分な精度を有していない。そこで、高精度位置決めをする機構やマイクロアクチュエータが高記録密度ディスク装置には不可欠になってきた。
【０００４】
これまでに高精度位置決めを達成するために種々のマイクロアクチュエータが提案されており、駆動力から見て、（１）静電力、（２）圧電体の電歪、（３）電磁力の３つに大別することができる。
【０００５】
（１）の静電力を利用した従来のマイクロアクチュエータ（非特許文献１）は１対のメッシュ状電極をジンバルとスライダとの間に配置した構造をとり、アクチュエータ部はＮｉメッキで作製されるため、生産性はよい。
１対の電極は微細加工された複数の梁で結合しており、下部電極及びスライダは微細な梁によって揺動可能に支持されているため、強度を保ちながら変位量を大きくすることは困難である。また、発生する静電力に対して支持するスライダ部の質量が大きすぎるために１〜２ｋＨｚ付近で共振を起こしてしまい、サーボ帯域を大きくできない。これを防ぐためにはアクチュエータ自体をキャパシターとして信号をフィードバックさせるなどの対策があるが、システム自体が複雑になってしまうため未だ実用化には到っていない。
【０００６】
（２）の圧電体を利用した従来のマイクロアクチュエータ（非特許文献２）は、例えば、２つの圧電素子をサスペンションのボイスコイルモータアーム付近に一対に配置した構造をとる。一方の側の圧電素子が伸びる方向に、他方の側の圧電素子が縮む方向に電圧を印加すると、縮む方向に電圧を印加した圧電素子方向にヘッドが回転する。
上記構造において、サスペンションとアームは圧電体により完全に分断されるため、脆性を示す圧電体自体の強度及び圧電体とサスペンションあるいはアームとの接合部の強度の確保が問題となる。
更に、圧電素子を利用した従来のアクチュエータは生産性が悪く、コスト高であるという欠点がある。これらの問題を有しているため、圧電素子を利用したアクチュエータは未だ実用化されていない。
【０００７】
（３）の電磁力を利用した従来のマイクロアクチュエータで、粗動アクチュエータであるボイスコイルモータのアーム先端部をマイクロアクチュエータのステータとし、アーム先端に回転可能に取り付けられたサスペンションをローターとするアクチュエータが提案されている（非特許文献３）。しかし、このようにシャフト等を設けた構造では、取り付け部の構造が複雑になり、生産性が悪いという問題を有している。
【０００８】
更に、サスペンション上にステータを設け、サスペンション先端にヒンジを介して搭載されたスライダをステータ部からスライダ上部にまたがる長いローターで駆動させるマイクロアクチュエータも従来提案されている（特許文献１）が、このような構造ではヒンジに対して駆動方向の弾性と上下方向の並進剛性の両立が難しいために、強度を保ちながら変位量を大きくすることは困難である。更に、ローターが少なくともヒンジ近傍でサスペンション等と擦れるために、清浄雰囲気を保つ必要がある磁気ディスク装置内にこのようなアクチュエータを搭載することは不適当である。
【０００９】
一方、従来、スライダとジンバルの間に配置し、スライダを囲んで固定するローターの両側を非常に小さい板バネ（マイクロビームと称する）を介してジンバルへの取り付け部に結合させたマイクロアクチュエータが提案されている（特許文献２）。
【００１０】
このアクチュエータでは、ステータはジンバルへの取り付け部あるいはジンバル部に配置される。この構造において、マイクロビームに用いる材料、本数、断面のアスペクト比等の調整により、駆動方向の弾性とそれ以外の方向の並進剛性を同時に確保できるため、アクチュエータのサーボ帯域を大きくでき、位置決め精度を高めることができる。
【００１１】
しかし、前記マイクロアクチュエータのマイクロビームはシリコン単結晶のディープエッチングによりスライダ取り付け部及びローター部と一体で作製されるが、エッチングの深さは１００〜２００μｍにも及ぶことから生産性は高くない。
【００１２】
【特許文献１】
米国特許第６２９５１８５号明細書
【特許文献２】
米国特許第６０７８４７３号明細書
【非特許文献１】
Ｆａｎ ｅｔ ａｌ．， ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ． ＶＯＬ．３５， ＮＯ．２， ＭＡＲＣＨ １９９９， ｐ．１０００−１００５
【非特許文献２】
Ｋｏｇａｎｅｚａｗａ ｅｔ ａｌ．， ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ． ＶＯＬ．３５， ＮＯ．２， ＭＡＲＣＨ １９９９， ｐ．９８８−９９２
【非特許文献３】
Ｋｏｇａｎｅｚａｗａ ｅｔ ａｌ．， ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ． ＶＯＬ．３２， ＮＯ．５， ＳＥＰＴＥＭＢＥＲ １９９６， ｐ．３９０８−３９１０
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑み、ジンバル、マイクロビーム及びローター部を一体とした新規な構造を有し、静電力、電歪、電磁力の何れを利用した磁気ディスク装置用マイクロアクチュエータであっても、簡単な手法でアクチュエータを組み込むことができる磁気ヘッド用サスペンションを提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、本発明に到達したもので、本発明は下記の磁気ヘッド用サスペンションを提供する。
請求項１：
ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気記録媒体に情報を記録、再生するための磁気ヘッドを塔載した磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータの磁気ヘッド用サスペンションであって、ロードビーム先端部に、ステータ部が固定されていると共に、ジンバル部、金属性マイクロビーム、ローター部及びロードビームへの取り付け部からなるサスペンションがジンバル部と対向して取り付けられ、前記サスペンションは、サスペンション本体の先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片を前記両側縁に沿ってロードビーム側において直角に折曲すると共に、更に前記サスペンション本体の先端位置において内方に１８０°折り返すことにより１つの折り返し部分が形成されてなる金属性マイクロビームと、該マイクロビームの各長片の先端に連設部を介してジンバル部及びローター部を揺動可能に一体に連設支持した構成を有し、かつ前記サスペンションは先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片と、この長片の先端に連設部を介してロードビームの取り付け部に対して反転するように連設されたローター部及びジンバル部とを有する薄板の前記長片を基端側で直角に谷折りし、先端側のローター部及びジンバル部側を山折りし、この状態で上記両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲すると共に、各長片の中点を該長片が折り返すように曲げること、又は前記薄板の両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲し、各長片をそれぞれ直角に谷折りすることによって形成され、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられていることにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、このスライダをボイスコイルモータのアームの揺動により所定トラックに大まかに位置決めすることからなる粗動アクチュエータによる駆動から独立して、磁気ディスク面に平行に揺動可能に構成し、前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記ジンバル部の両側に一対に配置されて前記ジンバル部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対しては小さな駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
請求項２：
ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気記録媒体に情報を記録、再生するための磁気ヘッドを塔載した磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータの磁気ヘッド用サスペンションであって、前記サスペンションは、サスペンション本体の先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片を前記両側縁に沿ってロードビーム側において直角に折曲すると共に、更に前記サスペンション本体の先端位置において内方に１８０°折り返すことにより１つの折り返し部分が形成されてなる金属性マイクロビームと、該マイクロビームの各長片の先端に連設部を介してジンバル部及びローター部を揺動可能に一体に連設支持した構成を有し、かつ前記サスペンションは先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片と、この長片の先端に連設部を介してロードビームの取り付け部に対して反転するように連設されたローター部及びジンバル部とを有する薄板の前記長片を基端側で直角に谷折りし、先端側のローター部及びジンバル部側を山折りし、この状態で上記両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲すると共に、各長片の中点を該長片が折り返すように曲げること、又は前記薄板の両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲し、各長片をそれぞれ直角に谷折りすることによって形成され、前記ローター部は曲げ加工が施されてジンバル部より高くされ、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられていることにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、このスライダをボイスコイルモータのアームの揺動により所定トラックに大まかに位置決めすることからなる粗動アクチュエータによる駆動から独立して、磁気ディスク面に平行に揺動可能に構成し、前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記ジンバル部の両側に一対に配置されて前記ジンバル部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対しては小さな駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
請求項３：
前記ステータ部及び前記ローター部との間に静電力を利用したアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項４：
前記ステータ部及び前記ローター部との間に圧電体を用いたアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項５：
前記ステータ部及び前記ローター部との間に磁歪材を用いたアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項６：
前記ステータ部及び前記ローター部との間に電磁力を利用したアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項７：
磁気回路を形成させるためにサスペンションに強磁性合金を用いることを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項８：
磁気回路を形成させるためにローター部に強磁性合金を用いることを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド用サスペンション。
【００１５】
【発明の実施の形態及び実施例】
以下、本発明の磁気ヘッド用サスペンションの具体的態様について詳述する。
図１は、本発明の磁気ヘッド用サスペンション２を具備した磁気ディスク装置４の一例を示す平面図である。この例において磁気ヘッドスライダ６をディスク８上の所定のトラックに位置決めするための粗動アクチュエータはピボット回転軸１０を中心に移動するアーム１６を具備したボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１２で構成される。ロードビーム１４はＶＣＭアーム１６先端部に取り付けられている。
【００１６】
図２に本発明の一実施例に係る磁気ヘッド用サスペンションの分解図を示した。ロードビーム１４先端部には、ジンバル部２０、マイクロビーム２２，２４、ローター部３２を構成する部品３６が取り付けられる。更に詳しくは、マイクロビーム２２，２４は、サスペンション部品本体３６ａの先端部両端縁にそれぞれ一体に連設された長片２２ａ，２４ａを上記両側縁に沿ってロードビーム１４側にほぼ直角に折曲すると共に、該長片２２ａ，２４ａを上記サスペンション部品本体３６ａの先端位置において内方にほぼ１８０°折り返すことにより形成された如き構成を有するものであり、これら長片２２ａ，２４ａの先端には連設部２２ｂ，２４ｂをそれぞれ介してジンバル部２０及びローター部３２が一体に連設された構成を有する。なお、ジンバル部２０に磁気ディスク上のデータに対しリード・ライトを行う磁気ヘッド（図示されていない）を備えたヘッドスライダ６が取り付けられる。必要であれば、ロードビーム１４先端部にステータ部２８を設ける。ステータ部２８は例えばエポキシ系の接着材あるいはハンダ、溶接等で固定される。あるいはロードビーム１４と一体に成形してもよい。
【００１７】
ステータ部２８及びローター部３２のそれぞれに電極を設けることで、静電力を利用したマイクロアクチュエータとなる。この場合、マイクロビーム２２，２４が磁気ヘッドスライダ６を揺動可能に支持しているので、電極の設計における自由度は飛躍的に大きくなる。
ステータ部２８及びローター部３２の間に圧電体を配置して接合すれば、電歪を利用したマイクロアクチュエータとなる。この場合、マイクロビーム２２，２４が磁気ヘッドスライダ６を支持しているので、圧電体自身あるいは接着界面に高強度を必要としないので、設計の自由度が大きくなる。
ステータ部２８及びローター部３２に電磁石あるいは永久磁石を配置することで電磁力を利用したマイクロアクチュエータとなる。
更に、ステータ部２８及びローター部３２の間に磁歪材を配置して接合し、磁歪材の周囲に電界印可用電磁石等を配置すれば、磁歪を利用したマイクロアクチュエータとなる。
【００１８】
ロードビーム１４への取り付け部３８、マイクロビーム２２，２４、ジンバル部２０及びローター部３２からなる部品３６は、従来の磁気ヘッド用サスペンションにおけるジンバルと同様な鋼系のバネ材からなり０．０２５〜０．１ｍｍ程度の厚さを有する。
【００１９】
マイクロビーム２２，２４はロードビーム１４側よりヘッドスライダ６側に伸び、先端でいったん折れ曲がってロードビーム１４側に戻ったところでローター部３２及びジンバル部２０を支持している。この構造は片側に２本の梁を配置することと同等の効果があり、１本の場合と比較して、ディスクのトラッキング方向への弾性を保ちながら、上下方向などに対しては高い剛性を維持できる。所定の弾性及び並進剛性を得るために折曲点を２個所以上設けてもよい。
【００２０】
マイクロビーム２２，２４は、従来のＶＣＭにおけるジンバルと同様に薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあと、曲げ加工を施すことで作製される。その際の加工変形の様子は図３に例示されたようになる。まず、プレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあとの部品３６は図３（ａ）のようになっており、ロードビームへの取り付け部３８に対してローター部３２及びジンバル部２０の位置が反転している。ロードビームへの固定部側の両端を矢印Ａ，Ｂのように直角に谷折りし、ローター部及びジンバル部側を矢印Ｃ，Ｄのように山折りする。すると、図３（ｂ）のように２本のマイクロビームが捻れた状態になる。次にそれぞれのマイクロビームの中点を結んだ直線Ｅを回転軸としてローター部３２及びジンバル部２０を矢印Ｆのように１８０°回転させるとともに、マイクロビームの中点をマイクロビームが折り返すように適当な曲率で曲げると、図３（ｃ）のようになる。一連の加工を精度よく行うために、曲げ部に予め曲げ線を設けておいてもよい。
【００２１】
図４には、別の加工変形の様子が例示されている。プレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあとの部品３６は図４（ａ）のように直線Ｇで示されるマイクロビームの折り返し部分を所定の曲率で矢印Ｈのように曲げる。次に図４（ｂ）のようにロードビームへの固定部側の両端とローター部及びジンバル部側を矢印Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌのように直角に谷折すると、図４（ｃ）のようになる。
【００２２】
図５には、本発明の第２実施形態に係る磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図が示されている。本実施形態では、マイクロビーム９６、９８の間にローター部１００を設け、ローター部１００よりも後方、即ちロードビームへの取り付け部９４側にジンバル部１０２を設けてある。図５に示されているように、ローター部１００が前方に移動した分だけステータ部９０を前方に突き出してもよい。
【００２３】
図６には、本発明の第３実施形態に係る磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図が示されている。本実施形態は、第１実施形態のステータ部５０前方に梁４６を付け、更にその先端に窪み４９を設けたものである。窪み４９はジンバル部２０に点で接触し、ヘッドスライダ６に予圧をかける働きを担う。なお、必要に応じて、曲げ部４７を設けてもよい。
【００２４】
図７を参照すると、本発明の第４実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解図が示されている。本実施形態では、ローター部５４に曲げ加工を施してジンバル部６４よりも０．３〜１．５ｍｍ程高くしてあり、ローター部５４と取り付け部６２でロードビーム５６先端を挟むようにして組み立てられる。本実施形態の場合には、ロードビーム５６先端がステータ部を兼ねることにより、第１実施形態で用いたステータ用部品２８を省略できる。
【００２５】
図８を参照すると、本発明の第５実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図が示されている。本実施形態は、第４実施形態のロードビーム７６先端に左右から伸びている梁６６，６８とこれら梁６６，６８の先端にこれらを架け渡して一体に突設された平坦部７０により形成される穴部７２を設け、平坦部７０には窪み７４を設けたものである。サスペンションはそのローター部５４をロードビーム７６の穴部７２を通してロードビームに取り付けられる。図９に本実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの一部断面図が示されている。本実施形態の場合には、ロードビーム７６先端がステータ部を兼ねることにより、第１実施形態で用いたステータ用部品２８を省略できることに加えて、部品点数を増やさずにスライダに予圧をかけることができる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によると、正確な位置決めを達成できる磁気ヘッドアクチュエータを簡単な手法で組み込むことができる磁気ヘッド用サスペンションを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１実施形態の磁気ヘッド用サスペンションを具備した磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】 第１実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図３】 第１実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの加工変形例を示す斜視図であり、（ａ）は薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いた状態、（ｂ）は（ａ）をＡ〜Ｄ方向に曲げた状態、（ｃ）はＦ方向に折り曲げた状態の図である。
【図４】 第１実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの別の加工変形例を示す斜視図であり、（ａ）は薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いた状態、（ｂ）は（ａ）をＨ方向に折り曲げた状態、（ｃ）はＩ〜Ｌ方向に曲げた状態の図である。
【図５】 第２実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図６】 第３実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図７】 第４実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図８】 第５実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図９】 第５実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの断面図である。
【符号の説明】
２ 磁気ヘッド用サスペンション
４ 磁気ディスク装置
６ ヘッドスライダ
８ ディスク
１２ ボイスコイルモータ
１４ ロードビーム
１６ アーム
２０ ジンバル部
２２，２４ マイクロビーム
２２ａ，２４ａ 長片
２２ｂ，２４ｂ 連設部
２８ ステータ部
３２ ローター部
３６ 部品（サスペンション）
３６ａ 部品本体
３８ ロードビーム取り付け部
４６ 梁
４７ 曲げ部
４９ 窪み
５０ ステータ部
５２ 部品（サスペンション）
５４ ローター部
５６ ロードビーム
５８，６０ マイクロビーム
６２ ロードビームへの取り付け部
６４ ジンバル部
６６，６８ 梁
７０ 平坦部
７２ 穴部
７４ 窪み
７６ ロードビーム
９０ ステータ部
９２ ロードビーム
９４ ロードビームへの取り付け部
９６，９８ マイクロビーム
１００ ローター部
１０２ ジンバル部
１０４ 部品（サスペンション）
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置の磁気ヘッド用サスペンションに関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置は、回転する強磁性媒体、即ち磁気ディスク上に磁気ヘッドを走査させることで情報の記録・再生を行うものであり、現代の情報化社会を支えるストレージ装置の中心として広く用いられている。磁気ヘッドはスライダに納められ、記録・再生時にスライダは磁気ディスク上をナノメートルオーダーの隙間を保ちながら浮上している。磁気ヘッドを所定の位置に移動する駆動力は、通常ボイスコイルモータにより発せられる。ボイスコイルモータのコイルはピボットで回転可能に支持されたアームに連結し、更にアーム先端からサスペンション及びジンバルを介して磁気ヘッドスライダが取り付けられている。サスペンションはスライダの浮上量と釣り合う荷重を発生させるバネ材であり、ジンバルはスライダを支え、ディスク面と平行な面以外で弾性変形することでトラッキングへの追従性を損なわずにディスク面振れやアセンブリに伴う傾きを吸収するバネ材である。この構造により、磁気ヘッドは回転ディスク上の所定のトラックに安定な状態を保ちながら移動できる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の記録密度は高密度化（即ちトラック幅は狭化）し続けており、この狭いトラックに磁気ヘッドを正確に位置決めしなければならないため、ヘッドの位置決め精度を向上させる必要がある。従来、ヘッドの位置決めは上記のボイスコイルモータなどの大きいアクチュエータのみで行われてきたが、トラック幅の狭化に対しては十分な精度を有していない。そこで、高精度位置決めをする機構やマイクロアクチュエータが高記録密度ディスク装置には不可欠になってきた。
【０００４】
これまでに高精度位置決めを達成するために種々のマイクロアクチュエータが提案されており、駆動力から見て、（１）静電力、（２）圧電体の電歪、（３）電磁力の３つに大別することができる。
【０００５】
（１）の静電力を利用した従来のマイクロアクチュエータ（非特許文献１）は１対のメッシュ状電極をジンバルとスライダとの間に配置した構造をとり、アクチュエータ部はＮｉメッキで作製されるため、生産性はよい。
１対の電極は微細加工された複数の梁で結合しており、下部電極及びスライダは微細な梁によって揺動可能に支持されているため、強度を保ちながら変位量を大きくすることは困難である。また、発生する静電力に対して支持するスライダ部の質量が大きすぎるために１〜２ｋＨｚ付近で共振を起こしてしまい、サーボ帯域を大きくできない。これを防ぐためにはアクチュエータ自体をキャパシターとして信号をフィードバックさせるなどの対策があるが、システム自体が複雑になってしまうため未だ実用化には到っていない。
【０００６】
（２）の圧電体を利用した従来のマイクロアクチュエータ（非特許文献２）は、例えば、２つの圧電素子をサスペンションのボイスコイルモータアーム付近に一対に配置した構造をとる。一方の側の圧電素子が伸びる方向に、他方の側の圧電素子が縮む方向に電圧を印加すると、縮む方向に電圧を印加した圧電素子方向にヘッドが回転する。
上記構造において、サスペンションとアームは圧電体により完全に分断されるため、脆性を示す圧電体自体の強度及び圧電体とサスペンションあるいはアームとの接合部の強度の確保が問題となる。
更に、圧電素子を利用した従来のアクチュエータは生産性が悪く、コスト高であるという欠点がある。これらの問題を有しているため、圧電素子を利用したアクチュエータは未だ実用化されていない。
【０００７】
（３）の電磁力を利用した従来のマイクロアクチュエータで、粗動アクチュエータであるボイスコイルモータのアーム先端部をマイクロアクチュエータのステータとし、アーム先端に回転可能に取り付けられたサスペンションをローターとするアクチュエータが提案されている（非特許文献３）。しかし、このようにシャフト等を設けた構造では、取り付け部の構造が複雑になり、生産性が悪いという問題を有している。
【０００８】
更に、サスペンション上にステータを設け、サスペンション先端にヒンジを介して搭載されたスライダをステータ部からスライダ上部にまたがる長いローターで駆動させるマイクロアクチュエータも従来提案されている（特許文献１）が、このような構造ではヒンジに対して駆動方向の弾性と上下方向の並進剛性の両立が難しいために、強度を保ちながら変位量を大きくすることは困難である。更に、ローターが少なくともヒンジ近傍でサスペンション等と擦れるために、清浄雰囲気を保つ必要がある磁気ディスク装置内にこのようなアクチュエータを搭載することは不適当である。
【０００９】
一方、従来、スライダとジンバルの間に配置し、スライダを囲んで固定するローターの両側を非常に小さい板バネ（マイクロビームと称する）を介してジンバルへの取り付け部に結合させたマイクロアクチュエータが提案されている（特許文献２）。
【００１０】
このアクチュエータでは、ステータはジンバルへの取り付け部あるいはジンバル部に配置される。この構造において、マイクロビームに用いる材料、本数、断面のアスペクト比等の調整により、駆動方向の弾性とそれ以外の方向の並進剛性を同時に確保できるため、アクチュエータのサーボ帯域を大きくでき、位置決め精度を高めることができる。
【００１１】
しかし、前記マイクロアクチュエータのマイクロビームはシリコン単結晶のディープエッチングによりスライダ取り付け部及びローター部と一体で作製されるが、エッチングの深さは１００〜２００μｍにも及ぶことから生産性は高くない。
【００１２】
【特許文献１】
米国特許第６２９５１８５号明細書
【特許文献２】
米国特許第６０７８４７３号明細書
【非特許文献１】
Ｆａｎ ｅｔ ａｌ．， ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ． ＶＯＬ．３５， ＮＯ．２， ＭＡＲＣＨ １９９９， ｐ．１０００−１００５
【非特許文献２】
Ｋｏｇａｎｅｚａｗａ ｅｔ ａｌ．， ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ． ＶＯＬ．３５， ＮＯ．２， ＭＡＲＣＨ １９９９， ｐ．９８８−９９２
【非特許文献３】
Ｋｏｇａｎｅｚａｗａ ｅｔ ａｌ．， ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ． ＶＯＬ．３２， ＮＯ．５， ＳＥＰＴＥＭＢＥＲ １９９６， ｐ．３９０８−３９１０
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑み、ジンバル、マイクロビーム及びローター部を一体とした新規な構造を有し、静電力、電歪、電磁力の何れを利用した磁気ディスク装置用マイクロアクチュエータであっても、簡単な手法でアクチュエータを組み込むことができる磁気ヘッド用サスペンションを提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、本発明に到達したもので、本発明は下記の磁気ヘッド用サスペンションを提供する。
請求項１：
ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気記録媒体に情報を記録、再生するための磁気ヘッドを塔載した磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータの磁気ヘッド用サスペンションであって、ロードビーム先端部に、ステータ部が固定されていると共に、ジンバル部、金属性マイクロビーム、ローター部及びロードビームへの取り付け部からなるサスペンションがジンバル部と対向して取り付けられ、前記サスペンションは、サスペンション本体の先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片を前記両側縁に沿ってロードビーム側において直角に折曲すると共に、更に前記サスペンション本体の先端位置において内方に１８０°折り返すことにより１つの折り返し部分が形成されてなる金属性マイクロビームと、該マイクロビームの各長片の先端に連設部を介してジンバル部及びローター部を揺動可能に一体に連設支持した構成を有し、かつ前記サスペンションは先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片と、この長片の先端に連設部を介してロードビームの取り付け部に対して反転するように連設されたローター部及びジンバル部とを有する薄板の前記長片を基端側で直角に谷折りし、先端側のローター部及びジンバル部側を山折りし、この状態で上記両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲すると共に、各長片の中点を該長片が折り返すように曲げること、又は前記薄板の両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲し、各長片をそれぞれ直角に谷折りすることによって形成され、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられていることにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、このスライダをボイスコイルモータのアームの揺動により所定トラックに大まかに位置決めすることからなる粗動アクチュエータによる駆動から独立して、磁気ディスク面に平行に揺動可能に構成し、前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記ジンバル部の両側に一対に配置されて前記ジンバル部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対しては小さな駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
請求項２：
ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気記録媒体に情報を記録、再生するための磁気ヘッドを塔載した磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータの磁気ヘッド用サスペンションであって、前記サスペンションは、サスペンション本体の先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片を前記両側縁に沿ってロードビーム側において直角に折曲すると共に、更に前記サスペンション本体の先端位置において内方に１８０°折り返すことにより１つの折り返し部分が形成されてなる金属性マイクロビームと、該マイクロビームの各長片の先端に連設部を介してジンバル部及びローター部を揺動可能に一体に連設支持した構成を有し、かつ前記サスペンションは先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片と、この長片の先端に連設部を介してロードビームの取り付け部に対して反転するように連設されたローター部及びジンバル部とを有する薄板の前記長片を基端側で直角に谷折りし、先端側のローター部及びジンバル部側を山折りし、この状態で上記両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲すると共に、各長片の中点を該長片が折り返すように曲げること、又は前記薄板の両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲し、各長片をそれぞれ直角に谷折りすることによって形成され、前記ローター部は曲げ加工が施されてジンバル部より高くされ、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられていることにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、このスライダをボイスコイルモータのアームの揺動により所定トラックに大まかに位置決めすることからなる粗動アクチュエータによる駆動から独立して、磁気ディスク面に平行に揺動可能に構成し、前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記ジンバル部の両側に一対に配置されて前記ジンバル部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対しては小さな駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
請求項３：
前記ステータ部及び前記ローター部との間に静電力を利用したアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項４：
前記ステータ部及び前記ローター部との間に圧電体を用いたアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項５：
前記ステータ部及び前記ローター部との間に磁歪材を用いたアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項６：
前記ステータ部及び前記ローター部との間に電磁力を利用したアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項７：
磁気回路を形成させるためにサスペンションに強磁性合金を用いることを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド用サスペンション。
請求項８：
磁気回路を形成させるためにローター部に強磁性合金を用いることを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド用サスペンション。
【００１５】
【発明の実施の形態及び実施例】
以下、本発明の磁気ヘッド用サスペンションの具体的態様について詳述する。
図１は、本発明の磁気ヘッド用サスペンション２を具備した磁気ディスク装置４の一例を示す平面図である。この例において磁気ヘッドスライダ６をディスク８上の所定のトラックに位置決めするための粗動アクチュエータはピボット回転軸１０を中心に移動するアーム１６を具備したボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１２で構成される。ロードビーム１４はＶＣＭアーム１６先端部に取り付けられている。
【００１６】
図２に本発明の一実施例に係る磁気ヘッド用サスペンションの分解図を示した。ロードビーム１４先端部には、ジンバル部２０、マイクロビーム２２，２４、ローター部３２を構成する部品３６が取り付けられる。更に詳しくは、マイクロビーム２２，２４は、サスペンション部品本体３６ａの先端部両端縁にそれぞれ一体に連設された長片２２ａ，２４ａを上記両側縁に沿ってロードビーム１４側にほぼ直角に折曲すると共に、該長片２２ａ，２４ａを上記サスペンション部品本体３６ａの先端位置において内方にほぼ１８０°折り返すことにより形成された如き構成を有するものであり、これら長片２２ａ，２４ａの先端には連設部２２ｂ，２４ｂをそれぞれ介してジンバル部２０及びローター部３２が一体に連設された構成を有する。なお、ジンバル部２０に磁気ディスク上のデータに対しリード・ライトを行う磁気ヘッド（図示されていない）を備えたヘッドスライダ６が取り付けられる。必要であれば、ロードビーム１４先端部にステータ部２８を設ける。ステータ部２８は例えばエポキシ系の接着材あるいはハンダ、溶接等で固定される。あるいはロードビーム１４と一体に成形してもよい。
【００１７】
ステータ部２８及びローター部３２のそれぞれに電極を設けることで、静電力を利用したマイクロアクチュエータとなる。この場合、マイクロビーム２２，２４が磁気ヘッドスライダ６を揺動可能に支持しているので、電極の設計における自由度は飛躍的に大きくなる。
ステータ部２８及びローター部３２の間に圧電体を配置して接合すれば、電歪を利用したマイクロアクチュエータとなる。この場合、マイクロビーム２２，２４が磁気ヘッドスライダ６を支持しているので、圧電体自身あるいは接着界面に高強度を必要としないので、設計の自由度が大きくなる。
ステータ部２８及びローター部３２に電磁石あるいは永久磁石を配置することで電磁力を利用したマイクロアクチュエータとなる。
更に、ステータ部２８及びローター部３２の間に磁歪材を配置して接合し、磁歪材の周囲に電界印可用電磁石等を配置すれば、磁歪を利用したマイクロアクチュエータとなる。
【００１８】
ロードビーム１４への取り付け部３８、マイクロビーム２２，２４、ジンバル部２０及びローター部３２からなる部品３６は、従来の磁気ヘッド用サスペンションにおけるジンバルと同様な鋼系のバネ材からなり０．０２５〜０．１ｍｍ程度の厚さを有する。
【００１９】
マイクロビーム２２，２４はロードビーム１４側よりヘッドスライダ６側に伸び、先端でいったん折れ曲がってロードビーム１４側に戻ったところでローター部３２及びジンバル部２０を支持している。この構造は片側に２本の梁を配置することと同等の効果があり、１本の場合と比較して、ディスクのトラッキング方向への弾性を保ちながら、上下方向などに対しては高い剛性を維持できる。所定の弾性及び並進剛性を得るために折曲点を２個所以上設けてもよい。
【００２０】
マイクロビーム２２，２４は、従来のＶＣＭにおけるジンバルと同様に薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあと、曲げ加工を施すことで作製される。その際の加工変形の様子は図３に例示されたようになる。まず、プレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあとの部品３６は図３（ａ）のようになっており、ロードビームへの取り付け部３８に対してローター部３２及びジンバル部２０の位置が反転している。ロードビームへの固定部側の両端を矢印Ａ，Ｂのように直角に谷折りし、ローター部及びジンバル部側を矢印Ｃ，Ｄのように山折りする。すると、図３（ｂ）のように２本のマイクロビームが捻れた状態になる。次にそれぞれのマイクロビームの中点を結んだ直線Ｅを回転軸としてローター部３２及びジンバル部２０を矢印Ｆのように１８０°回転させるとともに、マイクロビームの中点をマイクロビームが折り返すように適当な曲率で曲げると、図３（ｃ）のようになる。一連の加工を精度よく行うために、曲げ部に予め曲げ線を設けておいてもよい。
【００２１】
図４には、別の加工変形の様子が例示されている。プレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあとの部品３６は図４（ａ）のように直線Ｇで示されるマイクロビームの折り返し部分を所定の曲率で矢印Ｈのように曲げる。次に図４（ｂ）のようにロードビームへの固定部側の両端とローター部及びジンバル部側を矢印Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌのように直角に谷折すると、図４（ｃ）のようになる。
【００２２】
図５には、本発明の第２実施形態に係る磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図が示されている。本実施形態では、マイクロビーム９６、９８の間にローター部１００を設け、ローター部１００よりも後方、即ちロードビームへの取り付け部９４側にジンバル部１０２を設けてある。図５に示されているように、ローター部１００が前方に移動した分だけステータ部９０を前方に突き出してもよい。
【００２３】
図６には、本発明の第３実施形態に係る磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図が示されている。本実施形態は、第１実施形態のステータ部５０前方に梁４６を付け、更にその先端に窪み４９を設けたものである。窪み４９はジンバル部２０に点で接触し、ヘッドスライダ６に予圧をかける働きを担う。なお、必要に応じて、曲げ部４７を設けてもよい。
【００２４】
図７を参照すると、本発明の第４実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解図が示されている。本実施形態では、ローター部５４に曲げ加工を施してジンバル部６４よりも０．３〜１．５ｍｍ程高くしてあり、ローター部５４と取り付け部６２でロードビーム５６先端を挟むようにして組み立てられる。本実施形態の場合には、ロードビーム５６先端がステータ部を兼ねることにより、第１実施形態で用いたステータ用部品２８を省略できる。
【００２５】
図８を参照すると、本発明の第５実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図が示されている。本実施形態は、第４実施形態のロードビーム７６先端に左右から伸びている梁６６，６８とこれら梁６６，６８の先端にこれらを架け渡して一体に突設された平坦部７０により形成される穴部７２を設け、平坦部７０には窪み７４を設けたものである。サスペンションはそのローター部５４をロードビーム７６の穴部７２を通してロードビームに取り付けられる。図９に本実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの一部断面図が示されている。本実施形態の場合には、ロードビーム７６先端がステータ部を兼ねることにより、第１実施形態で用いたステータ用部品２８を省略できることに加えて、部品点数を増やさずにスライダに予圧をかけることができる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によると、正確な位置決めを達成できる磁気ヘッドアクチュエータを簡単な手法で組み込むことができる磁気ヘッド用サスペンションを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１実施形態の磁気ヘッド用サスペンションを具備した磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】 第１実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図３】 第１実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの加工変形例を示す斜視図であり、（ａ）は薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いた状態、（ｂ）は（ａ）をＡ〜Ｄ方向に曲げた状態、（ｃ）はＦ方向に折り曲げた状態の図である。
【図４】 第１実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの別の加工変形例を示す斜視図であり、（ａ）は薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いた状態、（ｂ）は（ａ）をＨ方向に折り曲げた状態、（ｃ）はＩ〜Ｌ方向に曲げた状態の図である。
【図５】 第２実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図６】 第３実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図７】 第４実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図８】 第５実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの分解斜視図である。
【図９】 第５実施形態の磁気ヘッド用サスペンションの断面図である。
【符号の説明】
２ 磁気ヘッド用サスペンション
４ 磁気ディスク装置
６ ヘッドスライダ
８ ディスク
１２ ボイスコイルモータ
１４ ロードビーム
１６ アーム
２０ ジンバル部
２２，２４ マイクロビーム
２２ａ，２４ａ 長片
２２ｂ，２４ｂ 連設部
２８ ステータ部
３２ ローター部
３６ 部品（サスペンション）
３６ａ 部品本体
３８ ロードビーム取り付け部
４６ 梁
４７ 曲げ部
４９ 窪み
５０ ステータ部
５２ 部品（サスペンション）
５４ ローター部
５６ ロードビーム
５８，６０ マイクロビーム
６２ ロードビームへの取り付け部
６４ ジンバル部
６６，６８ 梁
７０ 平坦部
７２ 穴部
７４ 窪み
７６ ロードビーム
９０ ステータ部
９２ ロードビーム
９４ ロードビームへの取り付け部
９６，９８ マイクロビーム
１００ ローター部
１０２ ジンバル部
１０４ 部品（サスペンション）
Claims (8)
- ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気記録媒体に情報を記録、再生するための磁気ヘッドを塔載した磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータの磁気ヘッド用サスペンションであって、ロードビーム先端部に、ステータ部が固定されていると共に、ジンバル部、金属性マイクロビーム、ローター部及びロードビームへの取り付け部からなるサスペンションがジンバル部と対向して取り付けられ、前記サスペンションは、サスペンション本体の先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片を前記両側縁に沿ってロードビーム側において直角に折曲すると共に、更に前記サスペンション本体の先端位置において内方に１８０°折り返すことにより１つの折り返し部分が形成されてなる金属性マイクロビームと、該マイクロビームの各長片の先端に連設部を介してジンバル部及びローター部を揺動可能に一体に連設支持した構成を有し、かつ前記サスペンションは先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片と、この長片の先端に連設部を介してロードビームの取り付け部に対して反転するように連設されたローター部及びジンバル部とを有する薄板の前記長片を基端側で直角に谷折りし、先端側のローター部及びジンバル部側を山折りし、この状態で上記両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲すると共に、各長片の中点を該長片が折り返すように曲げること、又は前記薄板の両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲し、各長片をそれぞれ直角に谷折りすることによって形成され、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられていることにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、このスライダをボイスコイルモータのアームの揺動により所定トラックに大まかに位置決めすることからなる粗動アクチュエータによる駆動から独立して、磁気ディスク面に平行に揺動可能に構成し、前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記ジンバル部の両側に一対に配置されて前記ジンバル部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対しては小さな駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
- ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気記録媒体に情報を記録、再生するための磁気ヘッドを塔載した磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータの磁気ヘッド用サスペンションであって、前記サスペンションは、サスペンション本体の先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片を前記両側縁に沿ってロードビーム側において直角に折曲すると共に、更に前記サスペンション本体の先端位置において内方に１８０°折り返すことにより１つの折り返し部分が形成されてなる金属性マイクロビームと、該マイクロビームの各長片の先端に連設部を介してジンバル部及びローター部を揺動可能に一体に連設支持した構成を有し、かつ前記サスペンションは先端部両側縁にそれぞれ一体に連設された長片と、この長片の先端に連設部を介してロードビームの取り付け部に対して反転するように連設されたローター部及びジンバル部とを有する薄板の前記長片を基端側で直角に谷折りし、先端側のローター部及びジンバル部側を山折りし、この状態で上記両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲すると共に、各長片の中点を該長片が折り返すように曲げること、又は前記薄板の両長片の中点を結んだ直線を回転軸としてローター部及びジンバル部を１８０°回転折曲し、各長片をそれぞれ直角に谷折りすることによって形成され、前記ローター部は曲げ加工が施されてジンバル部より高くされ、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられていることにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、このスライダをボイスコイルモータのアームの揺動により所定トラックに大まかに位置決めすることからなる粗動アクチュエータによる駆動から独立して、磁気ディスク面に平行に揺動可能に構成し、前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記ジンバル部の両側に一対に配置されて前記ジンバル部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対しては小さな駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
- 前記ステータ部及び前記ローター部との間に静電力を利用したアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
- 前記ステータ部及び前記ローター部との間に圧電体を用いたアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
- 前記ステータ部及び前記ローター部との間に磁歪材を用いたアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
- 前記ステータ部及び前記ローター部との間に電磁力を利用したアクチュエータを備え、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
- 磁気回路を形成させるためにサスペンションに強磁性合金を用いることを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド用サスペンション。
- 磁気回路を形成させるためにローター部に強磁性合金を用いることを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド用サスペンション。
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