JP3225510B2 - 磁気ヘッドスライダ位置決め機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
あるいは光ディスク装置等のディスク装置における磁気
ヘッド位置決め機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置の記録密度は、高ＢＰ
Ｉ（Bit Per Inch）化と高ＴＰＩ(Track Per Inch)化に
より年率60％以上のペースで増加している。高ＢＰＩ化
のためには、ヘッド浮上量の低減やMR（Magneto Resist
ive）ヘッドのようなセンシティビティの高い磁気ヘッ
ドの採用、あるいは高効率な信号処理技術などが求めら
れるが、高ＴＰＩ化実現のためには加えて磁気ヘッドの
位置決め精度の改善が重要な技術課題となる。例えば1G
b/in2の記録密度ではトラック方向密度は8kTPI以下、ト
ラックピッチにして3〜4μm程度であるが、10Gb/in2以
上の記録密度を達成するためにはトラック密度は25kTPI
以上、トラックピッチにして1μm以下となるため、磁気
ヘッドの位置決め精度は（トラックピッチの10％であ
る）0.1μm以下が要求されるようになる。

【０００３】図１９に磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッド位置決め機構（ポジショナ）の従来例を示す。
この磁気ヘッド位置決め機構は、磁気ヘッドを円弧形に
回転駆動するロータリーアクチュエータ方式と呼ばれる
もので、複数のホルダアーム１１と、可動コイル１２を
備えたアームブロック（キャリッジ）１３とが回転軸受
け部１４を中心に矢印Ａ（図１９（ｂ）参照）の方向に
回転可能となるように構成されている。前記アームブロ
ック１３のホルダアーム先端部には、磁気ヘッド１を搭
載したスライダ２を支持する磁気ヘッド支持機構５（サ
スペンションまたはＨＧＡ：Head Gimbal Assembly）が
接続されている（図１９（ｃ）,（ｄ）参照）。また、
前記アームブロック１３の他端に設置された可動コイル
１２は、外部固定磁気回路１５と組み合わされてＶＣＭ
（Voice Coil Motor：ボイス・コイル・モータ）を構成
し、前記可動コイル１２に所定の駆動電流を印加するこ
とにより駆動力を発生して、前記磁気ヘッド支持機構５
をシーク方向（図１９（ｂ）：矢印Ａ）へ円弧軌道で回
転駆動し、磁気ヘッド１を媒体上の目標トラックへ位置
決めさせる。ここでいう位置決め動作とは、磁気ヘッド
を任意のトラック位置から目標のトラック位置へと移動
させるシーク動作（トラッキング）と、磁気ヘッドを目
標のトラック上に追従させておくフォロー動作（フォロ
ーイング）とに分けられる。

【０００４】このように従来の磁気ヘッド位置決め機構
は１つのＶＣＭで複数の磁気ヘッドを同時に駆動するた
め、位置決め精度とりわけフォローイングにおけるトラ
ック追従精度が十分ではなく、前述のように１μm以下
の狭トラックピッチが要求される高TPIの装置には対応
できなくなりつつある。そこで、ＶＣＭによるキャリッ
ジ駆動とは独立して、各々の磁気ヘッドを個別に駆動さ
せる２ステージアクチュエータの研究が進められてい
る。この２ステージアクチュエータは個別に駆動させる
部位によって大きく３種類に大別できる。すなわち磁気
ヘッド部を個別駆動させるヘッド素子駆動方式（図２
０）、スライダ部を個別駆動させるスライダ駆動方式
（図２１）、および磁気ヘッド支持機構（ＨＧＡ）部を
個別駆動させるＨＧＡ駆動方式（図２２及び図２３）で
ある。

【０００５】図２０に示すヘッド素子駆動方式は、マイ
クロマシーン技術を応用してスライダＡ１内に櫛歯構造
を有する静電駆動型のリニアアクチュエータＡ２を埋め
込んだものであるが、加工難度が高いため歩留まりが悪
く、また可動方向に衝撃が加わると容易に変位あるいは
破壊してしまう欠点があり未だ実用化に至っていない。
なお、図２０においてＡ３は磁気ヘッド、Ａ４は磁気ヘ
ッド支持機構（サスペンション）である。

【０００６】図２１に示すスライダ駆動方式は、シリコ
ンマイクロジンバルＢ１とプレーナ型電磁駆動方式のピ
ギーバック・マイクロアクチュエータＢ２を組み合わせ
た構造であるが、誘導磁界を発生させるコイルパターン
層を厚く加工できないため十分な駆動力が得られないと
いった課題を抱えている。

【０００７】最後に図２２、図２３に示すＨＧＡ駆動方
式であるが、これはＨＧＡ駆動用アクチュエータの発生
力が磁気ヘッドの加速度に比例するか変位に比例するか
によって、力−加速度型（高コンプライアンス型：図２
２）と力−変位型（高スティッフネス：図２３）の２種
類に分けられる。

【０００８】図２２に示す力−加速度型（高コンプライ
アンス型）の２ステージアクチュエータでは、ＨＧＡ接
合部に小型ＶＣＭを構築して電磁力により磁気ヘッドを
回転駆動させるタイプが主流であり、マイクロアクチュ
エータの軸受け部に十字形の板バネＣ１やＩ形の板バネ
（特願平09-260680号公報）を配置して小型ＶＣＭの駆
動力により板バネを撓ませてＨＧＡを回転駆動させるも
のである。この力−加速度型の２ステージアクチュエー
タ（小型ＶＣＭタイプ）の場合、比較的小電流で大きな
駆動ストロークが得られる一方で、軸受けバネ（十字形
バネ／Ｉ形バネ）の回転剛性を強くできないために低周
波数帯域でアクチュエータ主共振（軸回転モード）が現
れサーボ帯域を狭くするといった問題を抱えている。ま
た、デジタルコントローラを用いる場合には、後述する
力−変位型の２ステージアクチュエータとは異なり１段
目と２段目のアクチュエータの相対変位を検出するセン
サが必要になるためシステムが複雑化するといった問題
もある。

【０００９】一方、図２３に示す力−変位型（高スティ
ッフ型）の２ステージアクチュエータは、ホルダアーム
Ｄ１とＨＧＡ部Ｄ４との接合位置に圧電素子Ｄ２を配置
し圧電効果を利用してＨＧＡ部Ｄ４を駆動させるもので
あり、同図に示すように圧電素子Ｄ２をホルダアームＤ
１の先端部に直接埋め込んで、おなじくホルダアームＤ
１の先端部に一体成型で構成した一対の平行板バネＤ３
を圧電素子Ｄ２の歪により撓ませて先端部に取り付けた
ＨＧＡ部Ｄ４を駆動させている。

【００１０】また最近では、図２４に示すように、ホル
ダアームとＨＧＡとの間に小型のアクチュエータ・スプ
リング８を配置し、その上に一対の圧電素子１６を固定
してアクチュエータ・スプリング８を撓ませて端部に接
続したＨＧＡを駆動させるタイプや、図２５に示すよう
に、圧電素子Ｅ１の厚み滑り振動（１・５モード）を利
用してＨＧＡ部Ｅ２を駆動させるタイプなどが発表され
ている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】これら力−変位型の２
ステージアクチュエータは、サーボシステムの構築が容
易であり高速動作が可能でかつ高剛性に設計できるため
サーボ帯域を広くとれるといった利点があるが、圧電素
子の変位ストロークが小さいため２段目のアクチュエー
タによるヘッド可動範囲が狭くなりトラック追従性能に
制限を受けるといった欠点がある。このような場合、磁
気ヘッドの駆動範囲を広げるためには駆動倍率（圧電素
子の変位量に対する磁気ヘッドの駆動量）が大きくなる
ようにアクチュエータ・スプリングを設計する必要があ
るが、そうなると今度はアクチュエータ支持剛性が低く
なり耐衝撃性能や長期信頼性（ロード／アンロード耐久
性等）が犠牲になる。また、圧電素子の発生力は素子部
の断面積（および印加電圧）に比例するため十分な駆動
力を得るには圧電素子の厚みを大きくする必要がある
が、その場合には２ステージアクチュエータの実装高さ
が大きくなり狭板間への実装が困難になってくる。

【００１２】本発明は上述した事情に基いてなされたも
のであり、その目的は、例えば、10Gb/in2を越える高記
録密度の磁気ディスク装置において、トラック密度25kT
PI以上の狭トラックピッチ（トラックピッチ１μm以
下）でも追従可能で、かつサーボ帯域３kHz以上を確保
できるような、高速・高精度な磁気ヘッド位置決め機構
を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッド位置
決め機構は、磁気ヘッド支持機構と２ステージアクチュ
エータを備え、前記磁気ヘッド支持機構は、磁気ヘッド
を搭載したスライダを支持するように構成され、前記２
ステージアクチュエータは、磁気ヘッド支持機構を前記
磁気ヘッドのシーク方向に微小量変位させるファインア
クチュエータ部と、前記ファインアクチュエータ部をボ
イス・コイル・モータにより前記磁気ヘッドのシーク方
向に変位させるコースアクチュエータ部とから構成さ
れ、前記ファインアクチュエータ部は、前記磁気ヘッド
支持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリン
グと２つの圧電素子を有してなり、前記磁気ヘッド支持
機構の前記磁気ヘッドのシーク方向への微小量変位は、
前記２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで前記
２つの圧電素子に駆動力を発生させ、前記駆動力によっ
て前記アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませ
ることによって行われ、前記アクチュエータ・スプリン
グは、前記磁気ヘッド支持機構を支持する第１支持部
と、前記コースアクチュエータ部に支持される第２支持
部と、前記第１支持部および前記第２支持部の間を接続
するスプリング部とを備え、前記スプリング部は、１本
のＩ形の板バネからなるセンタスプリングと、２本のＩ
形の板バネからなるサイドスプリングとを有してなり、
前記センタスプリングは、前記アクチュエータ・スプリ
ングの長手方向の中心軸上で前記中心軸方向に延在し、
前記２本のサイドスプリングは、前記中心軸を挟む箇所
で前記中心軸と直交する方向に延在することを特徴とす
る。そのため、前記２つの圧電素子に交互に電圧を印加
することで前記２つの圧電素子に駆動力を発生させ、前
記駆動力によって前記アクチュエータ・スプリング部を
弾性的に撓ませることによって、前記ファインアクチュ
エータ部に接続された磁気ヘッド支持機構をシーク方向
に微小駆動させ、各々の磁気ヘッドを個別に位置決め制
御させることにより高精度なトラック追従動作（フォロ
ーイング）を行うことができる。また、本発明の磁気ヘ
ッド位置決め機構は、磁気ヘッド支持機構と２ステージ
アクチュエータを備え、前記磁気ヘッド支持機構は、磁
気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成さ
れ、前記２ステージアクチュエータは、磁気ヘッド支持
機構を前記磁気ヘッドのシーク方向に微小量変位させる
ファインアクチュエータ部と、前記ファインアクチュエ
ータ部をボイス・コイル・モータにより前記磁気ヘッド
のシーク方向に変位させるコースアクチュエータ部とか
ら構成され、前記ファインアクチュエータ部は、前記磁
気ヘッド支持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・
スプリングと２つの圧電素子を有してなり、前記磁気ヘ
ッド支持機構の前記磁気ヘッドのシーク方向への微小量
変位は、前記２つの圧電素子に交互に電圧を印加するこ
とで前記２つの圧電素子に駆動力を発生させ、前記駆動
力によって前記アクチュエータ・スプリング部を弾性的
に撓ませることによって行われ、前記アクチュエータ・
スプリングは、前記磁気ヘッド支持機構を支持する第１
支持部と、前記コースアクチュエータ部に支持される第
２支持部と、前記第１支持部および前記第２支持部の間
を接続するスプリング部とを備え、前記スプリング部
は、１本のＩ形の板バネからなるセンタスプリングと、
２本のＩ形の板バネからなるサイドスプリングとを有し
てなり、前記センタスプリングは、前記中心軸上で前記
中心軸方向に延在し、前記２本のサイドスプリングは、
前記中心軸を挟む箇所で、前記第２支持部側の間隔より
も前記第１支持部側の間隔が大となるように前記中心軸
と交差する方向に延在することを特徴とする。そのた
め、前記２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで
前記２つの圧電素子に駆動力を発生させ、前記駆動力に
よって前記アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓
ませることによって、前記ファインアクチュエータ部に
接続された磁気ヘッド支持機構をシーク方向に微小駆動
させ、各々の磁気ヘッドを個別に位置決め制御させるこ
とにより高精度なトラック追従動作（フォローイング）
を行うことができる。また、本発明の磁気ヘッド位置決
め機構は、磁気ヘッド支持機構と２ステージアクチュエ
ータを備え、前記磁気ヘッド支持機構は、磁気ヘッドを
搭載したスライダを支持するように構成され、前記２ス
テージアクチュエータは、磁気ヘッド支持機構を前記磁
気ヘッドのシーク方向に微小量変位させるファインアク
チュエータ部と、前記ファインアクチュエータ部をボイ
ス・コイル・モータにより前記磁気ヘッドのシーク方向
に変位させるコースアクチュエータ部とから構成され、
前記ファインアクチュエータ部は、前記磁気ヘッド支持
機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと
２つの圧電素子を有してなり、前記磁気ヘッド支持機構
の前記磁気ヘッドのシーク方向への微小量変位は、前記
２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで前記２つ
の圧電素子に駆動力を発生させ、前記駆動力によって前
記アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませるこ
とによって行われ、前記アクチュエータ・スプリング
は、前記磁気ヘッド支持機構を支持する第１支持部と、
前記コースアクチュエータ部に支持される第２支持部
と、前記第１支持部および前記第２支持部の間を接続す
るスプリング部とを備え、前記スプリング部は、２本の
Ｉ形の板バネからなるセンタスプリングと、２本のＩ形
の板バネからなるサイドスプリングとを有してなり、前
記２本のサイドスプリングは、前記中心軸を挟む箇所で
前記アクチュエータ・スプリングの長手方向の中心軸と
直交する方向に延在し、前記２本のセンタスプリング
は、前記中心軸を挟み、前記２本のサイドスプリングよ
りも前記第２支持部に近く、かつ、前記２本のサイドス
プリングよりも前記中心軸に近い箇所で前記中心軸と直
交する方向に延在することを特徴とする。そのため、前
記２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで前記２
つの圧電素子に駆動力を発生させ、前記駆動力によって
前記アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませる
ことによって、前記ファインアクチュエータ部に接続さ
れた磁気ヘッド支持機構をシーク方向に微小駆動させ、
各々の磁気ヘッドを個別に位置決め制御させることによ
り高精度なトラック追従動作（フォローイング）を行う
ことができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に、本発明の磁気ヘッドスライ
ダ位置決め機構の実施の形態について図面を参照しなが
ら詳細に説明する。まず、第１の実施の形態について図
面を参照して説明する。図１(ａ)、（ｂ）、（ｃ１）、
（ｃ２）は、第１の実施の形態を示す平面図、側面図、
要部側面図、要部平面図である。図２（ａ）,（ｂ）お
よび（ｃ）は、第１の実施の形態のファインアクチュエ
ータ部の詳細を示す平面図、側面図およびアクチュエー
タ・スプリングの平面図である。図３（ａ）および
（ｂ）は、同じく第１の実施の形態の構成を示す斜視図
である。また、図４（ａ）および（ｂ）は、アクチュエ
ータ・スプリング部の構造と動作原理を示す平面図およ
び側面図である。図５（ａ）および（ｂ）は圧電素子に
よる駆動方法を示す平面図である。図６（ａ）,（ｂ）
および（ｃ）はファインアクチュエータ動作時のスプリ
ング挙動を示す変位図である。図７（ａ）および（ｂ）
は圧電素子の変位量（歪量）と磁気ヘッドの駆動距離を
示すグラフ（シミュレーション）と振動特性を示す特性
線図である。また、図８（ａ）は、第１の実施の形態に
おけるアクチュエータ・スプリングの平面図である。

【００１５】図１において、磁気ヘッド位置決め機構
は、磁気ヘッド支持機構５と、ファインアクチュエータ
部６およびコースアクチュエータ部７からなる２ステー
ジアクチュエータとから構成されている。ファインアク
チュエータ部６は、アクチュエータ・スプリング８と圧
電素子１６から構成され、図中ホルダアームかしめ位置
１０（特許請求の範囲の第２支持部に相当）においてコ
ースアクチュエータ部７を構成するホルダアーム１１に
接続される。また、複数のホルダアーム１１からなるア
ームブロック（キャリッジ）１３は、その一端に可動コ
イル１２を有し、図示せぬ外部固定磁気回路と組み合わ
されてＶＣＭを構築しコースアクチュエータ部７を形成
している。

【００１６】一方、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、
前記磁気ヘッド支持機構５は、磁気ヘッド１を搭載した
浮上型もしくは接触型のスライダ２と、それを支持する
ジンバルスプリング３ならびにスライダ２に押圧力を付
与するためのロードビーム４から構成されている。そし
て、スライダ２を記録媒体２６に対向する向きにして前
記ファイアクチュエータ部６にサスペンションかしめ位
置９（特許請求の範囲の第１支持部に相当）において接
続されている。また、図２（ｃ）に示すように、前記フ
ァインアクチュエータ部６のアクチュエータ・スプリン
グ８は、サスペンションかしめ位置９とホルダアームか
しめ位置１０との間において、２本の長いＩ形のサイド
スプリング１７と１本の短いＩ形のセンタスプリング１
８とを有している。

【００１７】前記センタスプリング１８は、アクチュエ
ータ・スプリング８の長手方向の中心軸上に位置し、前
記２本のサイドスプリング１７は前記センタスプリング
１８を間に挟んでアクチュエータ・スプリング８の長手
方向の中心軸に直交する向きに直列に配置される。この
とき、図２（ｃ）に示すように、前記アクチュエータ・
スプリング８のサイドスプリング１７およびセンタスプ
リング１８とホルダアームかしめ位置９との間には、駆
動隙間２５が形成されている。そして、図３（ａ）に示
すように、この駆動隙間２５を跨ぐ形で直方体形状の一
対の圧電素子１６が前記アクチュエータ・スプリング８
の長手方向の中心軸を挟んでその長手軸に沿う方向に平
行に配置されている。アクチュエータ・スプリング８の
上において、各圧電素子１６は、その駆動方向の両端部
が図２（ｃ）中に斜線領域で示す圧電素子接着位置２
１、２１（特許請求の範囲の第１、第２支持部の箇所に
相当）にそれぞれ接着されて固定されている。ここで、
上記駆動隙間２５は、圧電素子１６が接着固定される圧
電素子接着位置２１、２１の間に形成されている。

【００１８】アクチュエータ・スプリング８にはSUS304
などの靱性を有する材料を用い、図４（ａ）に示すよう
にアクチュエータ・スプリング８を形成するセンタスプ
リング１８の短いＩ形バネはバネ長（Ｌｃ）とバネ幅
（Ｗｃ）がほぼ等しくなるように設定し、２本のサイド
スプリング１７の細長いＩ形バネはバネ幅（Ｗｓ１,Ｗ
ｓ２）に比べてバネ長（Ｌｓ１,Ｌｓ２）が十分長くな
るように設定しておくことが望ましい。このとき、セン
タスプリング１８およびサイドスプリング１７のバネ幅
は細いほど回転剛性を低く設計できるため、圧電素子の
駆動損失を小さく抑えることができるが、あまり細すぎ
ると面内並進剛性も低くなるためアクチュエータ主共振
を高く設定できなくなる。また、アクチュエータ・スプ
リング８の板厚（ｔａ）は耐衝撃性や磁気ヘッド支持機
構５のロード／アンロードによる反りが圧電素子に与え
るストレスの影響（ロード／アンロード耐久性）を考慮
した場合、実装の許す範囲内で厚く設定することが望ま
しいが、あまり厚くしすぎるとセンタスプリング１８や
サイドスプリング１７のバネ幅（Ｗｃ, Ｗｓ１,Ｗｓ
２）を細く加工できなくなってしまう。例えば、アクチ
ュエータ・スプリング８の板厚をｔａ＝２００μmに設
定した場合、エッチング加工を用いた場合にはセンタス
プリング１８、サイドスプリング１７のバネ幅はともに
板厚程度の２００μmまでしか加工できない。ワイヤカ
ット等により加工する場合にはその制限は適用されない
が生産性が低くなりコストが上がるので注意が必要であ
る。

【００１９】また、図４（ａ）に示すように、センタス
プリング１８の磁気ヘッド１側の端部と、サイドスプリ
ング１７の圧電素子１６側の側縁部との位置関係を示す
距離をＬＤとすると、この距離ＬＤを小さくしてセンタ
スプリング１８とサイドスプリング１７を近づければ回
転剛性が低くなりヘッド駆動倍率（圧電素子の変位量に
対する磁気ヘッドの駆動量）は上昇するが、同時にアク
チュエータの主共振は低下する。逆に、距離ＬＤを大き
くしてセンタスプリング１８とサイドスプリング１７を
離せば、駆動軸がセンタスプリング上から磁気ヘッド側
へシフトするためヘッド駆動倍率が減少するが、アクチ
ュエータ主共振は高く設計できる。すなわち、センタス
プリング１８の磁気ヘッド１側の端部と、サイドスプリ
ング１７の圧電素子１６側の側縁部とを近接することで
磁気ヘッドの駆動倍率を大きく設定することが可能とな
り、サイドスプリング１７の圧電素子１６側の側縁部と
を離間することでアクチュエータ主共振を高く設定する
ことが可能となる。

【００２０】一方、磁気ヘッドの微小駆動に用いる圧電
素子には、縦効果素子や横効果素子、あるいはスタック
形積層縦効果素子等が利用できる。電気的結線の加工性
を考慮すれば横効果素子が使いやすいが、コスト的な制
約が緩い場合には低電圧での利用が可能な積層タイプの
圧電アクチュエータ（スタック形積層縦効果素子）を用
いても良い。横効果素子を利用する場合、応力の負荷さ
れていない状態での圧電定数ｄは以下の（１）式により
求められる。

【００２１】

【数１】

【００２２】ここで、ｋ：電気機械結合係数、εＴ：誘
電率、ＹＥ：ヤング率（N/m2）

【００２３】この圧電定数ｄを用いて電界及び素子断面
から発生力が算出されるが、このとき圧電素子の変位量
（歪量）は固定部を除いた自由長（以下、駆動長さ）に
比例するため、回路上の制約により駆動電圧を高く設定
できない場合には、磁気ヘッド可動範囲を十分広く確保
するために圧電素子の駆動長さを大きく設定しておくと
よい。例えば、チタン酸鉛やチタン酸ジルコニウム系の
セラミック材料のソフト材を用いた横効果素子の場合、
圧電素子の駆動変位（歪）は駆動長の0.05%程度とな
り、駆動長2mmの圧電素子に30Vの電圧を印加した場合、
圧電素子の変位量（歪量）は0.16μm程度であるが、駆
動長4mmの圧電素子を用いた場合には0.32μmの変位を得
ることができる。

【００２４】この圧電素子の駆動長さを決定するのは、
アクチュエータ・スプリング８の中央に設けられた駆動
隙間２５（Ｌｐ：図４（ｂ）参照）であり、磁気ヘッド
の駆動範囲を広く確保するためにはアクチュエータ・ス
プリングの剛性を落とさない範囲内でこの駆動隙間２５
を長く設定しておけばよい。このような圧電素子１６を
２本１組として、図２（ａ）,（ｂ）および（ｃ）に示
すように、アクチュエータ・スプリング８の長手方向の
中心軸を挟んで圧電素子１６の長手方向（歪み方向）を
アクチュエータ・スプリング８の長手方向の中心軸と平
行方向に配置する。このとき、各圧電素子１６のアクチ
ュエータ・スプリング８への接続位置は、図２（ｃ）の
斜線部に示すように駆動隙間２５を跨いでホルダアーム
かしめ位置側とサスペンションかしめ位置側の２カ所に
各々用意しておく。このうち、ホルダアームかしめ位置
側の接続位置（圧電素子接着位置２１）はホルダアーム
１１と干渉しない位置であればよいが、サスペンション
かしめ位置側の接続位置（圧電素子接着位置２１）はサ
イドスプリング１７とセンタスプリング１８との間の位
置となるように設定しておくことが望ましい。

【００２５】圧電素子１６とアクチュエータ・スプリン
グ８との接続には接着剤が用いられるが、圧電素子の配
線方法（グランドをアクチュエータ・スプリングに取る
か否か）によって導電性の接着剤を用いるか絶縁性の接
着剤を用いるかが変わってくる。また、圧電素子の接着
面積については、第１の実施の形態のようにアクチュエ
ータ・スプリングの上に乗せて接着する場合には、圧電
素子の駆動力が接着剤を介してアクチュエータ・スプリ
ングに伝えられるため接着面積はできるだけ広く取るこ
とが望ましいが、接着部長さが長すぎると限られたアク
チュエータ・スプリング内で十分な駆動長さが確保でき
なくなる。前後の接着部長さは圧電素子長の20〜40%程
度が適当である。

【００２６】このようにアクチュエータ・スプリング８
に接続された一対の圧電素子１６は図４（ａ）中のＤ,
Ｅを作用点として交互に駆動し、Ｃのセンタスプリング
１８を回転させるとともに、Ａ,Ｂのサイドスプリング
１７をサイドスプリング長手軸に直角方向へ撓ませるこ
とにより磁気ヘッド支持機構５をシーク方向へ微小駆動
させる（図４（ａ）参照）。このとき、アクチュエータ
・スプリング８の上部に乗った圧電素子１６は、圧電素
子接着位置２１における接着剤を介してアクチュエータ
・スプリング８へ駆動力を伝達し、３つのスプリング
（センタスプリング１８およびサイドスプリング１７）
を変位させている（図４（ｂ）参照）。

【００２７】ところで、２本の圧電素子を用いて磁気ヘ
ッドを駆動させる場合、その駆動方式には２種類が考え
られる。１つは図５（ａ）に示すような両側駆動方式
で、もう１つは同図（ｂ）に示す片側駆動方式である。
両側駆動方式の場合、図５（ａ）の（ｉ）に示すように
ニュートラルの状態では圧電素子ＡおよびＢの両方に同
電圧（初期電圧：図中では１５Ｖ）を与えておき、ヘッ
ド駆動時には図５(ａ）の（ｉｉ）,（ｉｉｉ）に示すよ
うに、一方の圧電素子に０Ｖを、他方の圧電素子にはニ
ュートラル時の２倍の電圧（図中では３０Ｖ）を印加す
る。これにより片側（０Ｖ)の圧電素子を伸長させ、他
方（３０Ｖ）の圧電素子を縮小させるといった差動での
動作が可能となりヘッド駆動倍率を上げることができ
る。片側駆動方式の場合には、図５（ｂ）の（ｉ）に示
すようにニュートラルの状態では圧電素子１６Ａおよび
１６Ｂには電圧をかけないでおき（初期電圧＝０Ｖ）、
ヘッド駆動時には、図５(ｂ）の（ｉｉ）,（ｉｉｉ）に
示すように、駆動側の圧電素子にのみ電圧を印加（図中
では３０Ｖ）し、反対の圧電素子には電圧をかけないで
おく。この場合、片方の（駆動側の）圧電素子のみが変
位し、他方は固定されたままとなる。このような駆動方
式の場合、ヘッド駆動倍率は前記両側駆動方式に比べて
約１／２になるが、ニュートラルの状態で電圧を印加し
ておく必要がないため初期状態で圧電素子によるアクチ
ュエータ・スプリングへの影響（初期応力等）が少な
く、また加工性（生産性）・省電力性に優れる。

【００２８】図６は、第１の実施の形態のファインアク
チュエータに圧電素子の駆動力が作用したときのアクチ
ュエータ・スプリングの挙動をシミュレーションにより
解析した結果を示している。アクチュエータ・スプリン
グには板厚２００μmのSUS304を、圧電素子にはＰＺＴ
（L×W×t＝2.5mm×1.0mm×0.2mm）を用いており３０Ｖ
印加相当の駆動力（80gf）を負荷させている。圧電素子
の変位により、センタスプリングを軸にサイドスプリン
グが撓んで磁気ヘッド支持機構が駆動されているのが判
る。

【００２９】図７（ａ）は、第１の実施の形態のアクチ
ュエータ・スプリングを用いた場合の圧電素子駆動変位
に対する磁気ヘッドの駆動距離の関係を示しており、横
軸に圧電素子駆動変位量（μｍ）を、縦軸に磁気ヘッド
駆動距離（μｍ）を示している。また、同図（ｂ）は本
実施例のファインアクチュエータ部の周波数特性を示し
ており、横軸に周波数（Ｈｚ）を、縦軸にゲイン（ｄ
Ｂ）を示している。いずれもシミュレーションによる解
析結果である。図２４で紹介した従来の２ステージアク
チュエータ（本実施例と同様に２本の圧電素子によりア
クチュエータ・スプリングを撓ませてＨＧＡを駆動する
タイプ）に比べて、本実施例の２ステージアクチュエー
タは磁気ヘッドの駆動倍率（どちらも両側駆動方式で評
価）が大きく、同時にアクチュエータ主共振（Sway）も
高く設計できているのがわかる。すなわち、高周波数帯
域まで共振ピークの現れない良好な振動特性を得ること
ができる。

【００３０】図２４で示した従来の２ステージアクチュ
エータは、一対の圧電素子を使ってアクチュエータ・ス
プリングを撓ませてＨＧＡを駆動するといった点では、
本発明の２ステージアクチュエータと共通であるが、圧
電素子をアクチュエータ・スプリングの長手方向の中心
軸に直角に配置している点で本発明の２ステージアクチ
ュエータとは異なる。この従来の２ステージアクチュエ
ータの場合、アクチュエータ・スプリングの幅方向に２
本の圧電素子が縦に並んで配置されるため、アクチュエ
ータ・スプリングの全幅よりも圧電素子の駆動長さを大
きくとることができない。したがって、圧電素子の変位
量を増やすことが難しく磁気ヘッドの駆動範囲を広くと
れないといった欠点がある。これに対して本発明の２ス
テージアクチュエータは、一対の圧電素子をアクチュエ
ータ・スプリング長手軸方向に沿って平行に配置してい
るため、前記従来の２ステージアクチュエータに比べて
圧電素子を大きくする（駆動長を長くする）ことができ
るため、圧電素子の変位量を増やして磁気ヘッドの駆動
範囲を広げることが容易である。

【００３１】また、前記従来の２ステージアクチュエー
タのアクチュエータ・スプリング部は、本発明のアクチ
ュエータ・スプリングと同様に一対のサイドスプリング
をアクチュエータ・スプリング長手軸に直角に左右端に
直列配置し、１本のセンタスプリングを長手方向の中心
軸上に配置している点では共通であるが（図２４参
照）、本発明の２ステージアクチュエータでは、センタ
スプリングをサイドスプリングに比べて極端に短い（幅
と長さがほぼ等しい）Ｉ形の板バネを用いている点で違
っており、また圧電素子による駆動力の作用点をセンタ
スプリングよりもホルダアーム側に設定している点でも
異なっている。本発明の２ステージアクチュエータは、
これらによって回転軸をセンタスプリング上に設定する
ことができ磁気ヘッドの駆動倍率を上げることができ
る。さらに、短いＩ形の板バネを駆動軸上に配置するア
クチュエータ・スプリング構造は前記従来の２ステージ
アクチュエータに比べて面内回転剛性を小さくしたまま
面外剛性を強く設定できるため、ＨＧＡ駆動時の面外運
動（ロール／ピッチ方向への逃げや媒体垂直方向への反
りなど）を抑えて駆動力の損失を極力小さくすることが
できるとともに、耐衝撃性やロード／アンロード耐久性
を確保することが可能になっている。

【００３２】次に、第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。図８(ａ)は、第２の実施の形態におけ
るアクチュエータ・スプリングの平面図である。第１の
実施の形態では、アクチュエータ・スプリング８に設け
たセンタスプリングを、アクチュエータ・スプリング８
の長手方向の中心軸上に配置された１本の短いＩ形の板
バネで形成した。これに対して、第２の実施の形態で
は、センタスプリング１８を、２本のサイドスプリング
１７と平行方向に延在するように、すなわちアクチュエ
ータ・スプリングの長手方向の中心軸と直交する方向に
延在するように配置している。このとき、前記一対のセ
ンタスプリング１８は前記サイドスプリング１７よりも
ホルダアーム側（特許請求の範囲の第２支持部に近い箇
所に相当）に配置され、また前記サイドスプリングより
もアクチュエータ・スプリングの長手方向の中心軸寄り
に配置されている。このとき、一対の圧電素子１６はア
クチュエータ・スプリング長手方向の中心軸を挟んで平
行に配置され、センタスプリング１８とサイドスプリン
グ１７の間に圧電素子接着位置２１の一端がくるように
なっている。第２の実施の形態では、圧電素子の駆動変
位を２本の長いＩ形の板バネであるサイドスプリングと
２本の短いＩ形の板バネであるセンタスプリングの撓み
により受ける構造であるため、ＨＧＡ支持剛性が格段に
強くなる。したがって、高周波数帯域までアクチュエー
タ共振を抑えたい場合や、面外剛性を下げずに良好な周
波数特性を維持しながらアクチュエータ・スプリングの
板厚を薄くしたいような場合に有効である。

【００３３】次に、第３の実施の形態について図面を参
照して説明する。図８(ｂ)は、第３の実施の形態におけ
るアクチュエータ・スプリングの平面図である。前記第
１の実施の形態では、アクチュエータ・スプリングに設
けたサイドスプリングをアクチュエータ・スプリング長
手方向の中心軸に直角方向へ直列に配置したが、第３の
実施の形態では、サイドスプリング１７をＨＧＡ側に向
かって開口する「ハ」の字形に配置し、アクチュエータ
・スプリングの長手方向の中心軸を挟んで平行に配置し
ていた一対の圧電素子１６をホルダアーム側に向かって
開口する「ハ」の字形に配置している。すなわち、前記
センタスプリング１８は、前記中心軸上で前記中心軸方
向に延在し、前記２本のサイドスプリング１７は、前記
中心軸を挟む箇所で、前記第２支持部側の間隔よりも前
記第１支持部側の間隔が大となるように前記中心軸と交
差する方向に延在している。そして、前記２つの圧電素
子１６は、前記アクチュエータ・スプリング上において
前記中心軸を挟む箇所で、前記第１支持部側の間隔より
も前記第２支持部側の間隔が大となるように前記圧電素
子１６の駆動方向が前記中心軸と交差するように設けら
れている。さらに、前記中心軸に対して同じ側に位置す
る前記サイドスプリング１７と圧電素子１６は、前記サ
イドスプリング１７の延在方向と前記圧電素子１６の前
記駆動方向とがほぼ直交して交差するように構成されて
いる。

【００３４】このように圧電素子をその駆動方向がアク
チュエータ・スプリングの長手方向の中心軸に対して斜
めとなるように配置することにより、駆動長さをより長
くとることができるため磁気ヘッドの駆動範囲を広げる
ことが可能になる。また、サイドスプリング１７の延在
方向と圧電素子１６の駆動方向とが直交して交差するよ
うに構成することで、圧電素子１６の駆動力をサイドス
プリングの１７の板バネの撓み方向へ垂直に作用させて
駆動損失を抑えるとともにアクチュエータ・スプリング
をコンパクトに設計することが可能になる。

【００３５】次に、第４の実施の形態について図面を参
照して説明する。図９(ａ),（ｂ）および（ｃ）は、第
４の実施の形態における２ステージアクチュエータを示
す斜視図である。図１０（ａ）および（ｂ）は、第４の
実施例における圧電素子接続部の詳細を示す斜視図およ
び側面図である。図１１（ａ）および（ｂ）は、第４の
実施例における２ステージアクチュエータの構造を説明
した平面図、側面図および構成図である。また、図１２
（ａ）および（ｂ）は、第４の実施例における２ステー
ジアクチュエータのファインアクチュエータ部への圧電
素子の接続例を説明した側面図である。

【００３６】図９乃至図１１に示すように、第４の実施
の形態では、ファインアクチュエータ部６のアクチュエ
ータ・スプリング８を上部アクチュエータ・スプリング
１９（特許請求の範囲の第１スプリング部に相当）、下
部アクチュエータ・スプリング２０（特許請求の範囲の
第２スプリング部に相当）に分けて、すなわち上下２枚
の薄い鋼板に分けて形成している。そして、上下２枚の
薄い鋼板に分けて形成されたアクチュエータ・スプリン
グ８のうち、下部アクチュエータ・スプリング２０には
１本の短いＩ形の板バネ形状からなるセンタスプリング
１８のみをアクチュエータ・スプリングの長手方向の中
心軸上に配置している。一方、上記アクチュエータ・ス
プリング８のうち、上部アクチュエータ・スプリング部
１９には一対の長いＩ形の板バネ形状からなるサイドス
プリング１７のみをアクチュエータ・スプリング長手方
向の中心軸に直交する向きに直列に配置している。そし
て、これら上部アクチュエータ・スプリング１９、下部
アクチュエータ・スプリング２０を貼り合わせて接合す
ることによって、１枚のアクチュエータ・スプリング８
を形成したとき、下段にセンタスプリング１８が上段に
サイドスプリング１７が構成されることになる。

【００３７】なお、第４の実施の形態では、上部アクチ
ュエータ・スプリング１９にサイドスプリング１７を、
下部アクチュエータ・スプリング２０にセンタスプリン
グ１８を設定したがサイドスプリング１７とセンタスプ
リング１８を設ける箇所は逆でも構わない。上部と下部
のアクチュエータ・スプリングの接合には接着剤を用い
ても良いが、磁気ヘッド支持機構の接合で用いられるレ
ーザスポット溶接を利用してもよい。このとき、図１２
（ａ）に示すように、上部アクチュエータ・スプリング
１９の板厚（ｔ１）と下部スプリング２０の板厚（ｔ
２）は等しくなるように設定し、上下２枚のアクチュエ
ータ・スプリングを貼り合わせて１枚のアクチュエータ
・スプリングを形成したときの板厚（ｔ１＋ｔ２）は前
記第１の２ステージアクチュエータの板厚（ｔａ）と等
しくなるようしておく。

【００３８】また、図１０（ｂ）に示すように、下部ア
クチュエータ・スプリング２０の駆動隙間（ＬｐＬ）
（特許請求の範囲の第２駆動隙間に相当）は、上部アク
チュエータ・スプリングの駆動隙間（ＬｐＵ）（特許請
求の範囲の第１駆動隙間に相当）よりも圧電素子接着長
さ相当だけ短くなるように設定し、かつ上部アクチュエ
ータ・スプリングの駆動隙間（ＬｐＵ）の長さは圧電素
子の駆動方向の長さと等しくなるように設定しておく。
このため、駆動用の一対の圧電素子１６は下部アクチュ
エータ・スプリングの上に駆動隙間（ＬｐＬ）を跨ぐ形
で乗り、同時に上部アクチュエータ・スプリングの駆動
隙間（ＬｐＵ）の間に挟まれる形で接続される（図１０
（ｂ）参照）。換言すれば、第１、第２駆動隙間の一方
が他方より広く設定されることで前記第１、第２支持部
の箇所にそれぞれ段部が形成されている。そして、圧電
素子１６の前記アクチュエータ・スプリングに対する固
定は、圧電素子１６の駆動方向の一端と他端が前記段部
にはめ込まれた状態で行われている。

【００３９】これにより、例えば、図１２（ａ）に示す
ように、圧電素子１６の接着面積を素子の下面と垂直端
面の両方で確保できるため、圧電素子の接合が強固にな
り接着剤滑りによる駆動損失を抑えることができるとと
もに、上部アクチュエータ・スプリングの板厚分（ｔ
１）だけ実装高さを低く抑えることができる。あるい
は、逆に実装高さをそのままにして圧電素子の厚み（ｔ
ＰＺＴ）を増やすことにより（素子の断面積に比例す
る）発生力を大きくすることができるとともにファイン
アクチュエータ駆動部の剛性を強くすることができ、耐
衝撃性や信頼性に優れた２ステージアクチュエータを提
供することができる。

【００４０】図１２（ａ）の例では、前記上部アクチュ
エータ・スプリングと下部アクチュエータ・スプリング
の板厚を同じとしたが、図１２（ｂ）に示す例では、前
記上部アクチュエータ・スプリングと下部アクチュエー
タ・スプリングの板厚を違えており、下部アクチュエー
タ・スプリングの板厚（ｔ２）は上部アクチュエータ・
スプリングの板厚（ｔ１）に比べて小さくなるように設
定している。この場合でも上部・下部のアクチュエータ
・スプリングを貼り合わせたときのアクチュエータ・ス
プリング８の板厚（ｔａ）は前記第１乃至第３の実施の
形態の場合と同じになるようにしておく。

【００４１】これにより、前述したような上部、下部ア
クチュエータ・スプリング１９、２０の駆動隙間の大き
さを異ならせることによって形成される段部における圧
電素子１６の上部、下部アクチュエータ・スプリング１
９、２０の箇所に対する接合面積（特に垂直端面）はさ
らに広くなり、駆動力の損失を抑えることができるとと
もに、圧電素子そのものをより厚く設計できるため十分
に強い発生力が得られる。また、圧電素子の厚みを変更
しない場合には、実装高さを小さく設定できるため狭板
間への実装が可能になる。なお、この場合、下部アクチ
ュエータ・スプリングの板厚（ｔ２）は上部アクチュエ
ータ・スプリングの板厚（ｔ１）に比べて小さくなるよ
うに設定されるため、下部アクチュエータ・スプリング
の剛性は、図１２（ａ）の場合に比較して、板厚の減少
により低下しているため、バネ幅（Ｗｃ）を広く設定す
るなどして剛性の調整を行う必要がある。

【００４２】次に、第５の実施の形態について図面を参
照して説明する。図１３の(ａ),（ｂ）および（ｃ）
は、第５の実施の形態における２ステージアクチュエー
タの構造を示す斜視図および構成図である。図１４
（ａ）,（ｂ）および（ｃ）は、第５の実施の形態の２
ステージアクチュエータを示す平面図、側面図および組
立を説明する説明図である。図１５（ａ）,（ｂ）およ
び（ｃ）は、第５の実施の形態の２ステージアクチュエ
ータにおける圧電素子の接続を説明した側面図である。

【００４３】図１３に示すように、磁気ヘッド支持機構
５はロードビーム部４を備えて構成されている。ロード
ビーム部４は、１枚の鋼板で形成されており、本体部４
Ａ、連絡部４Ｂ、補強板２３から構成されている。そし
て、ロードビーム部４は、第１の実施の形態で設定した
アクチュエータ・スプリング８のセンタスプリング部１
８およびサイドスプリング部１７を除いた部位とオーバ
ラップするように（重ね合わされるように）設定されて
いる。ここで、本体部４Ａは、アクチュエータ・スプリ
ング８の第１支持部に接合され、補強板２３は、アクチ
ュエータ・スプリング８の第２支持部に接合され、連絡
部４Ｂは、本体部４Ａと補強板２３を接続するように構
成されている。連絡部４Ｂは、図１３の例では、アクチ
ュエータ・スプリング８の中心軸を挟む２箇所において
前記中心軸と直交する方向に延在し、一端が本体部４Ａ
に接続され、他端が補強板２３に接続されている。この
とき、前記ロードビーム４で造られた圧電素子１６の駆
動隙間（ＬｐＳ：図１４（ｂ）参照）（特許請求の範囲
のロードビーム側駆動隙間に相当）は、前記アクチュエ
ータ・スプリング８において形成される駆動隙間（Ｌ
ｐ：図１４（ｂ）参照）よりも短くなるように設定して
おく。

【００４４】これにより、磁気ヘッド支持機構５をアク
チュエータ・スプリング８にレーザスポット溶接等によ
り接合したとき、駆動隙間部２５には、アクチュエータ
・スプリング８を上段にロードビーム部４を下段にした
状態で、ロードビーム４の本体部４Ａと補強板２３の一
部が駆動隙間２５（Ｌｐ）から突き出た形で圧電素子接
着位置部２１を構成している。このとき、圧電素子接着
位置部２１を側面からみるとアクチュエータ・スプリン
グ８とロードビーム４（および補強板２３）の鋼板とで
Ｌ字形の接続部位が形成されていることになる（図１４
（ｂ）参照）。このＬ字形の圧電素子接着位置部２１に
駆動用の圧電素子１６を埋め込み、素子の底面と垂直端
面を接着剤等により固定することによってアクチュエー
タ・スプリング８（およびそれに接合されているロード
ビーム４）と圧電素子１６とを接合する。換言すれば、
本体部４Ａと補強板２３の間でアクチュエータ・スプリ
ングの前記駆動隙間に対応する箇所に前記駆動隙間Ｌｐ
よりも狭いロードビーム側駆動隙間Ｌｐｓが形成される
ことで前記第１、第２支持部の箇所にそれぞれＬ字形の
接続部位（段部）が形成されている。そして、圧電素子
１６の前記アクチュエータ・スプリングに対する固定
は、前記圧電素子１６の駆動方向の一端と他端が前記Ｌ
字形の接続部位にはめ込まれた状態で行われる。

【００４５】また、前記ロードビーム４と補強板２３と
は初め１枚の鋼板で形成しておき、磁気ヘッド支持機構
５をアクチュエータ・スプリング８に接合（組み立て）
した後（このとき補強板２３の部位もロードビーム部４
と同様アクチュエータ・スプリング８に接合する）に、
ロードビーム部４と補強板２３とを接続する連絡部４Ｂ
を切除するようにすれば加工が容易である（図１４
（ｃ）参照）。

【００４６】これにより、第５の実施の形態において
も、第４の実施の形態の場合と同様に、圧電素子１６の
接着部位を素子の下面と垂直端面の両方で確保できるた
め接合が強固になり接着剤滑りによる駆動損失を抑える
ことができるとともに、アクチュエータ・スプリング８
の板厚分（ｔａ）だけ実装高さ（図１５（ａ）参照）を
低く抑えることができる。あるいは、逆に実装高さをそ
のままにしておき圧電素子１６の厚み（ｔＰＺＴ）を増
やすことにより駆動部の発生力を大きくすることができ
る（図１５（ｂ）参照）。また、図１５（ｃ）に示すよ
うに、アクチュエータ・スプリングの厚みを厚くしてフ
ァインアクチュエータ駆動部の剛性も強くすることがで
きるため耐衝撃性や信頼性に優れた２ステージアクチュ
エータを提供することができる。あるいは圧電素子の厚
みを変更しない場合、実装高さを小さく設定することが
できるため狭板間への実装が容易になる。

【００４７】次に、第６の実施の形態について図面を参
照して説明する。図１６(ａ),（ｂ）および（ｃ）は、
第６の実施の形態における２ステージアクチュエータの
構造を示す斜視図および構成図である。図１７（ａ）,
（ｂ）は、第６の実施の形態の２ステージアクチュエー
タを示す平面図、構成図である。図１８（ｉ）,（ｉ
ｉ）および（ｉｉｉ）は、第６の実施の形態の２ステー
ジアクチュエータの動作原理を説明した平面図および側
面図である。

【００４８】図１６において、第４の実施の形態の場合
と同様に、同様にアクチュエータ・スプリング８を上下
２枚の薄い鋼板で形成し、このうち上部アクチュエータ
・スプリング１９には一対の長いＩ形のサイドスプリン
グ１７のみをアクチュエータ・スプリング長手方向の中
心軸に直交する向きに直列に配置している。一方、下部
アクチュエータ・スプリング２０には、１本の短いＩ形
のセンタスプリング１８のみをアクチュエータ・スプリ
ング長手方向の中心軸上に配置している。これら上部ア
クチュエータ・スプリング１９、下部アクチュエータ・
スプリング２０を貼り合わせて１枚のアクチュエータ・
スプリング８を形成している。このとき、下段にはセン
タプリング１８が、上段にはサイドスプリング１７が構
成されることになる。

【００４９】また、上部アクチュエータ・スプリング１
９には第４の実施の形態の場合と同様に駆動隙間２５を
設けるが、下部アクチュエータ・スプリング２０には駆
動隙間は設定しないでおく。前記下部アクチュエータ・
スプリング２０の長手方向の中心軸を挟んでセンタスプ
リング１８よりホルダアーム側の箇所（特許請求の範囲
の第２支持部の箇所に相当）に一対の滑りモード（１・
５モード）で駆動する圧電素子１６の下面（特許請求の
範囲の端面に相当）を接着する。一方、磁気ヘッド支持
機構５を構成するロードビーム部４のサスペンションか
しめ位置９から後端部には、前記アクチュエータ・スプ
リングの長手方向の中心軸を挟んでホルダアーム側に伸
長する２つの圧電素子接着スペース２６（特許請求の範
囲の固定部に相当）が設けられている。圧電素子接着ス
ペース２６は、前記下部アクチュエータ・スプリング２
０の箇所とアクチュエータ・スプリングの厚み方向に間
隔をおいて対面するように構成されている。そして、圧
電素子１６は、圧電素子接着スペース２６と前記下部ア
クチュエータ・スプリング２０に挟まれた状態で、前記
圧電素子１６の上面（特許請求の範囲の端面に相当）が
圧電素子接着スペース２６に接着される。

【００５０】この滑りモード（１・５モード）で駆動す
る圧電素子１６は、図１８に示すように下面を固定して
電圧をかけたとき上面が前後に滑るように駆動するた
め、（駆動方向の）長さが短く幅が広い正方形に近い投
影面形状になるので前記圧電素子接着スペース２６には
十分な接着面積を確保しておくことが望ましい。また、
前記圧電素子１６の厚み（ｔＰＺＴ）と前記上部アクチ
ュエータ・スプリング１９の板厚（ｔ１）とは等しくな
るように設定しておき、前記ロードビーム４の圧電素子
接着スペース２０と圧電素子１６の上面とは同一平面内
になるように留意する。このように滑りモード（１・５
モード）で駆動する一対の圧電素子を利用して２ステー
ジアクチュエータを構築する場合、ニュートラルの位置
では圧電素子Ａと圧電素子Ｂとの両方に一定の電圧（初
期電圧：図１８（ｉ）中では１５Ｖ）を印加しておき、
磁気ヘッド駆動時には片方の圧電素子を０Ｖに、他方を
ニュートラル時の２倍の電圧（図１８（ｉｉ）、（ｉｉ
ｉ）中では３０Ｖ）を印加して、両方の圧電素子を差動
で駆動させる。このような２ステージアクチュエータで
は、圧電素子の接着面積が大きく確保できると同時に圧
電素子を上下で挟み込んで接合しているのでファインア
クチュエータ駆動部の剛性を強く設計することが可能に
なる。

【００５１】圧電素子の滑りモード（１・５モード）を
利用した従来の２ステージアクチュエータでは、図２５
で示したようなヒンジを使って駆動するタイプがある。
この場合、一対の圧電素子をホルダアーム先端部に接合
するプレート上にホルダアーム長手方向の中心軸を挟ん
で左右に平行に並べ、圧電素子の下面を前記プレートに
接合し、上面は細い２本のヒンジを有するマウント・ブ
ロックに接合している。

【００５２】このとき、前記マウント・ブロックには磁
気ヘッド支持機構が接続されており、磁気ヘッドを駆動
する際には図２５（ｂ）に示すように左右一対の圧電素
子がＨＧＡ長手方向に交互に（滑り）駆動し、それによ
って前記マウント・ブロックの２本のヒンジ部が左右で
交互に（前後方向へ）ずれて、磁気ヘッド支持機構をシ
ーク方向へ微小回転駆動させている。このように細い２
本のヒンジでＨＧＡを駆動する場合、駆動倍率を稼ぐた
めにヒンジ部を極力細くし、かつ長手方向の中心軸へぎ
りぎりまで寄せて配置しなければならない。そのため、
ファインアクチュエータ駆動部の面外剛性が不足しＨＧ
Ａに大きな押圧荷重をかけることができなくなるなど、
耐衝撃性やロード／アンロード耐久性の確保等に難があ
った。

【００５３】これに対して、第６の実施の形態における
２ステージアクチュエータでは、アクチュエータ中心軸
上に短い１本のＩ形のセンタスプリング（回転駆動）を
配し、アクチュエータ左右端に長い一対のＩ形のサイド
スプリング（撓み駆動）を配置しているため、面内回転
剛性を小さく保ちつつ面外剛性を強く設定できる。した
がって磁気ヘッド支持機構の高荷重設計にも対応でき、
耐衝撃性やロード／アンロード耐久性を確保することが
容易である。

【００５４】次に第７の実施の形態について図面を参照
して説明する。図１７(ｃ)は、第７の実施の形態におけ
る２ステージアクチュエータを示す平面図である。第７
の実施の形態の２ステージアクチュエータでは、第６の
実施の形態においてロードビーム４のサスペンションか
しめ位置後端に設けていた圧電素子接着スペース２７
を、ロードビーム部４とは別部品のサブスペーサ２４
（特許請求の範囲の固定部材に相当）の後端部に設けて
いる。このため、組み立ての手順としては、まず圧電素
子１６の下面を接続した前記アクチュエータ・スプリン
グ８に磁気ヘッド支持機構５（ロードビーム４）を接合
し、しかるのちに前記サブスペーサ２４をロードビーム
４のサスペンションかしめ位置９に接続する。ここで、
サブスペーサ２４は、ロードビーム部４の本体部４Ａの
上部アクチュエータ・スプリング１９側と反対側の箇所
に接合される。このとき、同時に前記サブスペーサ２４
の圧電素子接着スペース２７の部位を前記圧電素子１６
の上面に接合する。第６の実施の形態のように、磁気ヘ
ッド支持機構５とアクチュエータ・スプリング８との接
合にスポット溶接を用いる場合には、圧電素子１６の上
面と上部アクチュエータ・スプリング１９とロードビー
ム４とが同一面上にくるため、圧電素子１６上面と圧電
素子接着スペース２７との接着剤による接合と、上部ア
クチュエータ・スプリング８とロードビーム４とのスポ
ット溶接とを同時に行わなければならず作業性が悪い。
これに対して第７の実施の形態では、圧電素子接着スペ
ース２７を有するサブスペーサ２４を用意して磁気ヘッ
ド支持機構５のアクチュエータ・スプリング８への組み
立てと圧電素子１６の接合とを別工程で行うため作業性
が向上するとともに組立精度を向上させることができ
る。

【００５５】

【発明の効果】本発明の磁気ヘッド位置決め機構によれ
ば、前記２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで
前記２つの圧電素子に駆動力を発生させ、前記駆動力に
よって前記アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓
ませることによって、前記ファインアクチュエータ部に
接続された磁気ヘッド支持機構をシーク方向に微小駆動
させ、各々の磁気ヘッドを個別に位置決め制御させるこ
とにより高精度なトラック追従動作（フォローイング）
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ１）は要部側面
図、（ｃ２）は要部平面図である。

【図２】 第１の実施の形態のファインアクチュエータ
部の詳細を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側
面図、（ｃ）はアクチュエータ・スプリングの平面図で
ある。

【図３】 本発明の第１の実施の形態における２ステー
ジアクチュエータの構成を説明した斜視図である。

【図４】 本発明の第１の実施の形態におけるアクチュ
エータ・スプリング部の構造と動作原理を示す図であ
り、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。

【図５】 本発明の第１の実施の形態における２ステー
ジアクチュエータの駆動方法を説明する平面図である。

【図６】 本発明の第１の実施の形態におけるファイン
アクチュエータ動作時のスプリング挙動を示す図であ
り、（ａ）,（ｂ）はスプリング挙動を示す変位図、
（ｃ）は要部拡大図である。

【図７】 本発明の第１の実施の形態における２ステー
ジアクチュエータの圧電素子変位に対する磁気ヘッド駆
動距離の関係を示すグラフと周波数特性を示す特性線図
である。

【図８】 本発明の第２、第３の実施の形態における２
ステージアクチュエータを示す図であり、（ａ）は第２
の実施の形態における２ステージアクチュエータの平面
図、（ｂ）は第３の実施の形態における２ステージアク
チュエータの平面図である。

【図９】 本発明の第４の実施の形態における２ステー
ジアクチュエータを示す斜視図である。

【図１０】 本発明の第４の実施の形態における２ステ
ージアクチュエータの圧電素子接続部の詳細を説明した
図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図である。

【図１１】 本発明の第４の実施の形態における２ステ
ージアクチュエータの構造を説明した図であり、（ａ）
は平面図と側面図、（ｂ）は構成図である。

【図１２】 本発明の第４の実施の形態における２ステ
ージアクチュエータの圧電素子接続部を示す図であり、
（ａ）は圧電素子接続部の一例を示す側面図、（ｂ）は
他の例を示す側面図である。

【図１３】 第５の実施の形態における２ステージアク
チュエータの構成を示す図であり、（ａ）は組み立て状
態を示す斜視図、（ｂ）は圧電素子との関係を示す斜視
図、（ｃ）はアクチュエータ・スプリングとロードビー
ム部との関係を示す斜視図である。

【図１４】 第５の実施の形態における２ステージアク
チュエータの構成を示す図であり、（ａ）は平面図およ
び側面図、（ｂ）は拡大した側面図、（ｃ）は組み立て
方法を示す説明図である。

【図１５】 第５の実施の形態における２ステージアク
チュエータの圧電素子厚みと実装高さの関係を説明した
図であり、（ａ）は圧電素子の厚みがアクチュエータ・
スプリングの厚みと同じ場合の側面図、（ｂ）は圧電素
子の厚みがアクチュエータ・スプリングの厚みよりも厚
い場合の側面図、（ｃ）はアクチュエータ・スプリング
と圧電素子の厚みが厚くかつ同じ場合の側面図である。

【図１６】 第６の実施の形態における２ステージアク
チュエータの構成を示す図であり、（ａ）は組み立て状
態を示す斜視図、（ｂ）は圧電素子との関係を示す斜視
図、（ｃ）はアクチュエータ・スプリングとロードビー
ム部との関係を示す斜視図である。

【図１７】 第６、第７の実施の形態における２ステー
ジアクチュエータの構成を示す図であり、（ａ）は第６
の実施の形態の２ステージアクチュエータを示す平面
図、（ｂ）は第６の実施の形態の２ステージアクチュエ
ータを示す構成図、（ｃ）は第７の実施の形態の２ステ
ージアクチュエータを示す側面図と構成図である。

【図１８】 第６の実施の形態における２ステージアク
チュエータの駆動方法を説明する説明図である。

【図１９】 磁気ヘッド位置決め機構の従来例を示す平
面図・側面図・動作図、および磁気ヘッド支持機構の構
成を示す斜視図および平面図である。

【図２０】 ２ステージアクチュエータの従来例（ヘッ
ド素子駆動方式）を示す斜視図である。

【図２１】 ２ステージアクチュエータの従来例（スラ
イダ駆動方式）を示す斜視図および平面図である。

【図２２】 ２ステージアクチュエータの従来例（力−
加速度型のＨＧＡ駆動方式）を示す斜視図および平面図
である。

【図２３】 ２ステージアクチュエータの従来例（力−
変位型のＨＧＡ駆動方式１）を示す平面図である。

【図２４】 ２ステージアクチュエータの従来例（力−
変位型のＨＧＡ駆動方式２）を示す説明図である。

【図２５】 ２ステージアクチュエータの従来例（力−
変位型のＨＧＡ駆動方式３）を示す斜視図である。

【符号の説明】

１……磁気ヘッド、２……スライダ、３……ジンバルス
プリング、４……ロードビーム部、４Ａ……本体部、４
Ｂ……連絡部、５……磁気ヘッド支持機構（サスペンシ
ョン）、６……ファインアクチュエータ部、７……コー
スアクチュエータ部、８……アクチュエータ・スプリン
グ、９……サスペンションかしめ位置、１０……ホルダ
アームかしめ位置、１１……ホルダアーム、１２……可
動コイル、１３……アームブロック（キャリッジ）、１
６……圧電素子、１７……サイドスプリング、１８……
センタスプリング、１９……上部アクチュエータ・スプ
リング、２０……下部アクチュエータ・スプリング、２
１……圧電素子接着位置、２３……補強板、２４……サ
ブスペーサ、２５……駆動隙間、２６……圧電素子接着
スペース。

Claims (21)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ヘッド支持機構と２ステージアクチ
   ュエータを備え、 前記磁気ヘッド支持機構は、磁気ヘッドを搭載したスラ
   イダを支持するように構成され、 前記２ステージアクチュエータは、磁気ヘッド支持機構
   を前記磁気ヘッドのシーク方向に微小量変位させるファ
   インアクチュエータ部と、前記ファインアクチュエータ
   部をボイス・コイル・モータにより前記磁気ヘッドのシ
   ーク方向に変位させるコースアクチュエータ部とから構
   成され、 前記ファインアクチュエータ部は、前記磁気ヘッド支持
   機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと
   ２つの圧電素子を有してなり、 前記磁気ヘッド支持機構の前記磁気ヘッドのシーク方向
   への微小量変位は、前記２つの圧電素子に交互に電圧を
   印加することで前記２つの圧電素子に駆動力を発生さ
   せ、前記駆動力によって前記アクチュエータ・スプリン
   グ部を弾性的に撓ませることによって行われ、 前記アクチュエータ・スプリングは、前記磁気ヘッド支
   持機構を支持する第１支持部と、前記コースアクチュエ
   ータ部に支持される第２支持部と、前記第１支持部およ
   び前記第２支持部の間を接続するスプリング部とを備
   え、 前記スプリング部は、１本のＩ形の板バネからなるセン
   タスプリングと、２本のＩ形の板バネからなるサイドス
   プリングとを有してなり、前記センタスプリングは、前
   記アクチュエータ・スプリングの長手方向の中心軸上で
   前記中心軸方向に延在し、前記２本のサイドスプリング
   は、前記中心軸を挟む箇所で前記中心軸と直交する方向
   に延在する、 ことを特徴とする磁気ヘッド位置決め機構。
2. 【請求項２】 前記圧電素子はその駆動方向が前記中心
   軸と平行方向となるように配設されていることを特徴と
   する請求項１記載の磁気ヘッド位置決め機構。
3. 【請求項３】 磁気ヘッド支持機構と２ステージアクチ
   ュエータを備え、 前記磁気ヘッド支持機構は、磁気ヘッドを搭載したスラ
   イダを支持するように構成され、 前記２ステージアクチュエータは、磁気ヘッド支持機構
   を前記磁気ヘッドのシーク方向に微小量変位させるファ
   インアクチュエータ部と、前記ファインアクチュエータ
   部をボイス・コイル・モータにより前記磁気ヘッドのシ
   ーク方向に変位させるコースアクチュエータ部とから構
   成され、 前記ファインアクチュエータ部は、前記磁気ヘッド支持
   機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと
   ２つの圧電素子を有してなり、 前記磁気ヘッド支持機構の前記磁気ヘッドのシーク方向
   への微小量変位は、前記２つの圧電素子に交互に電圧を
   印加することで前記２つの圧電素子に駆動力を発生さ
   せ、前記駆動力によって前記アクチュエータ・スプリン
   グ部を弾性的に撓ませることによって行われ、 前記アクチュエータ・スプリングは、前記磁気ヘッド支
   持機構を支持する第１支持部と、前記コースアクチュエ
   ータ部に支持される第２支持部と、前記第１支持部およ
   び前記第２支持部の間を接続するスプリング部とを備
   え、 前記スプリング部は、１本のＩ形の板バネからなるセン
   タスプリングと、２本のＩ形の板バネからなるサイドス
   プリングとを有してなり、前記センタスプリングは、前
   記中心軸上で前記中心軸方向に延在し、前記２本のサイ
   ドスプリングは、前記中心軸を挟む箇所で、前記第２支
   持部側の間隔よりも前記第１支持部側の間隔が大となる
   ように前記中心軸と交差する方向に延在する、 ことを特徴とする磁気ヘッド位置決め機構。
4. 【請求項４】 前記２つの圧電素子は、前記アクチュエ
   ータ・スプリング上において前記中心軸を挟む箇所で、
   前記第１支持部側の間隔よりも前記第２支持部側の間隔
   が大となるように前記圧電素子の駆動方向が前記中心軸
   と交差するように設けられていることを特徴とする請求
   項３記載の磁気ヘッド位置決め機構。
5. 【請求項５】 前記中心軸に対して同じ側に位置する前
   記サイドスプリングと前記圧電素子は、前記サイドスプ
   リングの延在方向と前記圧電素子の前記駆動方向とがほ
   ぼ直交して交差するように構成されていることを特徴と
   する請求項４記載の磁気ヘッド位置決め機構。
6. 【請求項６】 前記センタスプリングを構成するＩ形の
   板バネはバネ幅に比べてバネ長がほぼ等しくなるように
   構成され、前記サイドスプリングを構成するＩ形の板バ
   ネはバネ幅に比べてバネ長が十分長くなるように構成さ
   れていることを特徴とする請求項１乃至５に何れか１項
   記載の磁気ヘッド位置決め機構。
7. 【請求項７】 磁気ヘッド支持機構と２ステージアクチ
   ュエータを備え、 前記磁気ヘッド支持機構は、磁気ヘッドを搭載したスラ
   イダを支持するように構成され、 前記２ステージアクチュエータは、磁気ヘッド支持機構
   を前記磁気ヘッドのシーク方向に微小量変位させるファ
   インアクチュエータ部と、前記ファインアクチュエータ
   部をボイス・コイル・モータにより前記磁気ヘッドのシ
   ーク方向に変位させるコースアクチュエータ部とから構
   成され、 前記ファインアクチュエータ部は、前記磁気ヘッド支持
   機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと
   ２つの圧電素子を有してなり、 前記磁気ヘッド支持機構の前記磁気ヘッドのシーク方向
   への微小量変位は、前記２つの圧電素子に交互に電圧を
   印加することで前記２つの圧電素子に駆動力を発生さ
   せ、前記駆動力によって前記アクチュエータ・スプリン
   グ部を弾性的に撓ませることによって行われ、 前記アクチュエータ・スプリングは、前記磁気ヘッド支
   持機構を支持する第１支持部と、前記コースアクチュエ
   ータ部に支持される第２支持部と、前記第１支持部およ
   び前記第２支持部の間を接続するスプリング部とを備
   え、 前記スプリング部は、２本のＩ形の板バネからなるセン
   タスプリングと、２本のＩ形の板バネからなるサイドス
   プリングとを有してなり、前記２本のサイドスプリング
   は、前記中心軸を挟む箇所で前記アクチュエータ・スプ
   リングの長手方向の中心軸と直交する方向に延在し、前
   記２本のセンタスプリングは、前記中心軸を挟み、前記
   ２本のサイドスプリングよりも前記第２支持部に近く、
   かつ、前記２本のサイドスプリングよりも前記中心軸に
   近い箇所で前記中心軸と直交する方向に延在する、 ことを特徴とする磁気ヘッド位置決め機構。
8. 【請求項８】 前記圧電素子はその駆動方向が前記中心
   軸と平行方向となるように配設されていることを特徴と
   する請求項７記載の磁気ヘッド位置決め機構。
9. 【請求項９】 前記２つの圧電素子は、前記アクチュエ
   ータ・スプリング上で前記アクチュエータ・スプリング
   の中心軸を挟む箇所に配設され、一端は前記第１支持部
   の箇所に固定され、他端は前記第２支持部の箇所に固定
   され、前記第１支持部の箇所と前記第２支持部の箇所と
   の間には、前記圧電素子が駆動するための駆動隙間が形
   成されていることを特徴とする請求項１乃至８に何れか
   １項記載の磁気ヘッド位置決め機構。
10. 【請求項１０】 前記アクチュエータ・スプリングは、
    厚み方向に重ね合わされた状態で接合された薄板状の第
    １スプリング部と第２スプリング部からなり、前記第
    １、第２スプリング部の一方には前記サイドスプリング
    が設けられ、前記他方には前記センタスプリングが設け
    られていることを特徴とする請求項１乃至８に何れか１
    項記載の磁気ヘッド位置決め機構。
11. 【請求項１１】 前記２つの圧電素子は、前記アクチュ
    エータ・スプリング上で前記アクチュエータ・スプリン
    グの中心軸を挟む箇所に配設され、前記圧電素子の駆動
    方向の一端は前記第１支持部の箇所に固定され、前記圧
    電素子の駆動方向の他端は前記第２支持部の箇所に固定
    され、前記第１支持部の箇所と前記第２支持部の箇所と
    の間には、前記圧電素子が駆動するための駆動隙間が形
    成されていることを特徴とする請求項１０記載の磁気ヘ
    ッド位置決め機構。
12. 【請求項１２】 前記駆動隙間は、前記第１スプリング
    部に設けられた第１駆動隙間と、前記第２スプリング部
    に設けられた第２駆動隙間とからなり、前記第１、第２
    駆動隙間の一方が他方より広く設定されることで前記第
    １、第２支持部の箇所にそれぞれ段部を形成し、前記圧
    電素子の前記アクチュエータ・スプリングに対する固定
    は、前記圧電素子の駆動方向の一端と他端が前記段部に
    はめ込まれた状態で行われていることを特徴とする請求
    項１１記載の磁気ヘッド位置決め機構。
13. 【請求項１３】 前記磁気ヘッド支持機構は、一端部が
    前記磁気ヘッドを保持し、他端部が前記アクチュエータ
    ・スプリングと厚み方向に重ね合わされた状態で接合さ
    れるロードビーム部を備え、前記ロードビーム部は、前
    記第１支持部に接合される本体部と、前記第２支持部に
    接合される補強板部と、前記本体部と前記補強板部を接
    続する連絡部とを備え、前記連絡部は、前記本体部と前
    記第１支持部が接合され、かつ、前記補強板部と前記第
    ２支持部の接合された後で切断されるように構成されて
    いることを特徴とする請求項１乃至８、１０に何れか１
    項記載の磁気ヘッド位置決め機構。
14. 【請求項１４】 前記連絡部は、前記本体部に一端が接
    続され、前記補強板部に他端部が接続されたＩ形の支持
    部材から構成されていることを特徴とする請求項１３記
    載の磁気ヘッド位置決め機構。
15. 【請求項１５】 前記２つの圧電素子は、前記アクチュ
    エータ・スプリング上で前記アクチュエータ・スプリン
    グの中心軸を挟む箇所に配設され、前記圧電素子の駆動
    方向の一端は前記第１支持部の箇所に固定され、前記圧
    電素子の駆動方向の他端は前記第２支持部の箇所に固定
    され、前記第１支持部の箇所と前記第２支持部の箇所と
    の間には、前記圧電素子が駆動するための駆動隙間が形
    成されていることを特徴とする請求項１３または１４記
    載の磁気ヘッド位置決め機構。
16. 【請求項１６】 前記本体部と前記補強板部の間で前記
    アクチュエータ・スプリングの前記駆動隙間に対応する
    箇所に前記駆動隙間よりも狭いロードビーム側駆動隙間
    が形成されることで前記第１、第２支持部の箇所にそれ
    ぞれ段部を形成し、前記圧電素子の前記アクチュエータ
    ・スプリングに対する固定は、前記圧電素子の駆動方向
    の一端と他端が前記段部にはめ込まれた状態で行われて
    いることを特徴とする請求項１５記載の磁気ヘッド位置
    決め機構。
17. 【請求項１７】 前記磁気ヘッド支持機構は、一端部が
    前記磁気ヘッドを保持し、他端部が前記アクチュエータ
    ・スプリングと厚み方向に重ね合わされた状態で接合さ
    れるロードビーム部を備え、前記アクチュエータ・スプ
    リングは、厚み方向に重ね合わされた状態で接合された
    薄板状の第１スプリング部と第２スプリング部からな
    り、前記第１スプリング部には前記サイドスプリングが
    設けられ、前記第２スプリング部には前記センタスプリ
    ングが設けられことを特徴とする請求項１乃至８に何れ
    か１項記載の磁気ヘッド位置決め機構。
18. 【請求項１８】 前記ロードビーム部は、前記第１スプ
    リング部側の前記第１支持部に接合される本体部と、前
    記第２スプリング側の前記第２支持部の箇所と前記アク
    チュエータ・スプリングの厚み方向に所定間隔を挟んで
    対面する２つの固定部とを備え、前記２つの固定部は、
    前記アクチュエータ・スプリングの長手方向の中心軸を
    挟む箇所に配設され、前記圧電素子は、前記アクチュエ
    ータ・スプリングの厚み方向と直交する方向にすべり駆
    動されるように構成され、前記圧電素子の互いにすべり
    駆動する２つの端面は、前記固定部に対面する前記第２
    支持部の箇所と前記固定部との間に挟まれた状態で前記
    第２支持部の箇所と前記固定部の箇所とにそれぞれ固定
    されていることを特徴とする請求項１７記載の磁気ヘッ
    ド位置決め機構。
19. 【請求項１９】 前記ロードビーム部は、前記第１スプ
    リング部側の前記第１支持部に接合される本体部を備
    え、前記本体部の前記第１スプリング部側と反対側の箇
    所に固定されると共に、前記第２スプリング側の前記第
    ２支持部の箇所と前記アクチュエータ・スプリングの厚
    み方向に所定間隔を挟んで対面する２つの固定部を具備
    する固定部材を設け、前記２つの固定部は前記アクチュ
    エータ・スプリングの長手方向の中心軸を挟む箇所に配
    設され、前記圧電素子は、前記アクチュエータ・スプリ
    ングの厚み方向と直交する方向にすべり駆動されるよう
    に構成され、前記圧電素子の互いにすべり駆動する２つ
    の端面は、前記固定部に対面する前記第２支持部の箇所
    と前記固定部との間に挟まれた状態で前記第２支持部の
    箇所と前記固定部の箇所とにそれぞれ固定されているこ
    とを特徴とする請求項１７記載の磁気ヘッド位置決め機
    構。
20. 【請求項２０】 前記コースアクチュエータ部は、前記
    ファインアクチュエータ部を複数個支持し、前記コース
    アクチュエータ部による前記ファインアクチュエータ部
    の前記シーク方向への変位は、複数個の前記ファインア
    クチュエータ部を一括して行うように構成されているこ
    とを特徴とする請求項１乃至１９に何れか１項記載の磁
    気ヘッド位置決め機構。
21. 【請求項２１】 前記２つの圧電素子は、前記アクチュ
    エータ・スプリング上で前記アクチュエータ・スプリン
    グの長手方向の中心軸を挟む箇所に配設され、一端は前
    記第１支持部の箇所に固定され、他端は前記第２支持部
    の箇所に固定され、前記第１支持部の箇所と前記第２支
    持部の箇所との間には、前記圧電素子が駆動するための
    駆動隙間が形成されていることを特徴とする請求項１、
    ３または７記載の磁気ヘッド位置決め機構。