JP2000108069A - 基板搬送用トレイ - Google Patents
基板搬送用トレイInfo
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- JP2000108069A JP2000108069A JP28133398A JP28133398A JP2000108069A JP 2000108069 A JP2000108069 A JP 2000108069A JP 28133398 A JP28133398 A JP 28133398A JP 28133398 A JP28133398 A JP 28133398A JP 2000108069 A JP2000108069 A JP 2000108069A
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- Japan
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- glass substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】大サイズのガラス基板２を水平に搬送する際
に、撓みが発生することのない基板搬送用トレイ１を提
供すること。 【解決手段】基板搬送用トレイ１の上面にガラス基板２
を吸着固定するバキュームチャック８を具備すること。
また、バキュームチャックの周辺部に液体の侵入を防ぐ
ためのパッキング７を設けること。
に、撓みが発生することのない基板搬送用トレイ１を提
供すること。 【解決手段】基板搬送用トレイ１の上面にガラス基板２
を吸着固定するバキュームチャック８を具備すること。
また、バキュームチャックの周辺部に液体の侵入を防ぐ
ためのパッキング７を設けること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に用い
るカラーフィルタを製造する際の大サイズ基板の搬送に
関するものであり、特に、大サイズ基板を撓ますことな
く一枚づつ搬送する基板搬送用トレイに関する。
るカラーフィルタを製造する際の大サイズ基板の搬送に
関するものであり、特に、大サイズ基板を撓ますことな
く一枚づつ搬送する基板搬送用トレイに関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置に用いるカラーフィルタを
製造する際、ガラス基板などの基板を製造工程内にて水
平に搬送する方法として、例えば、回転コロ上に基板を
載せて移動させるコロ搬送、移動するベルト上に基板を
載せて移動させるベルト搬送、或いは、ロボットアーム
にて基板の下面から保持して移動させるロボット搬送な
どが採用されているが、これらの方法は何れも基板の平
坦性は保たれるものの、基板の下面はコロ、ベルト、或
いは、ロボットアームなどと直接に接触するために、基
板の下面の表面に汚れや傷などが発生し易いものであ
る。
製造する際、ガラス基板などの基板を製造工程内にて水
平に搬送する方法として、例えば、回転コロ上に基板を
載せて移動させるコロ搬送、移動するベルト上に基板を
載せて移動させるベルト搬送、或いは、ロボットアーム
にて基板の下面から保持して移動させるロボット搬送な
どが採用されているが、これらの方法は何れも基板の平
坦性は保たれるものの、基板の下面はコロ、ベルト、或
いは、ロボットアームなどと直接に接触するために、基
板の下面の表面に汚れや傷などが発生し易いものであ
る。
【０００３】一方、基板の進行方向に対し基板の左右両
端部を保持する保持具を用いた搬送方法は、基板の下面
はコロ、ベルト、或いは、ロボットアームなどと直接に
接触しないため、上記方法におけるような基板の下面の
表面に汚れや傷などは発生しにくいものである。しか
し、この基板の左右両端部を保持する保持具を用いた搬
送方法においては、基板が液晶表示装置に用いるカラー
フィルタのように可撓性のあるガラス基板である際に
は、その自重による撓みが発生し易いものである。
端部を保持する保持具を用いた搬送方法は、基板の下面
はコロ、ベルト、或いは、ロボットアームなどと直接に
接触しないため、上記方法におけるような基板の下面の
表面に汚れや傷などは発生しにくいものである。しか
し、この基板の左右両端部を保持する保持具を用いた搬
送方法においては、基板が液晶表示装置に用いるカラー
フィルタのように可撓性のあるガラス基板である際に
は、その自重による撓みが発生し易いものである。
【０００４】図５は、ガラス基板の撓み状態を示す説明
図である。図５において、ガラス基板（１１）は基板の
進行方向に対し基板の左右両端部が保持具（１２）によ
り保持された状態を示している。図５に示すように、ガ
ラス基板（１１）には、その自重による撓み（１３）が
発生している。
図である。図５において、ガラス基板（１１）は基板の
進行方向に対し基板の左右両端部が保持具（１２）によ
り保持された状態を示している。図５に示すように、ガ
ラス基板（１１）には、その自重による撓み（１３）が
発生している。
【０００５】カラーフィルタを製造する際のガラス基板
（１１）は、液晶表示装置の画面が大サイズになるに従
い、例えば、画面対角１０インチから１２インチ、１４
インチへと大サイズになるに従い、カラーフィルタを製
造する際のガラス基板（１１）も大サイズになってい
る。例えば、液晶表示装置の画面が画面対角１０インチ
の際は、カラーフィルタを製造するガラス基板（１１）
は、１０インチ大カラーフィルタを４面付けした大きさ
（約４０×５０ｃｍ大）のものであるが、画面対角１２
インチの際は、約４５×５５ｃｍ大、画面対角１４イン
チの際は、約５５×６５ｃｍ大と順次に大サイズになっ
ている。
（１１）は、液晶表示装置の画面が大サイズになるに従
い、例えば、画面対角１０インチから１２インチ、１４
インチへと大サイズになるに従い、カラーフィルタを製
造する際のガラス基板（１１）も大サイズになってい
る。例えば、液晶表示装置の画面が画面対角１０インチ
の際は、カラーフィルタを製造するガラス基板（１１）
は、１０インチ大カラーフィルタを４面付けした大きさ
（約４０×５０ｃｍ大）のものであるが、画面対角１２
インチの際は、約４５×５５ｃｍ大、画面対角１４イン
チの際は、約５５×６５ｃｍ大と順次に大サイズになっ
ている。
【０００６】このようなガラス基板（１１）の図５に示
す撓み（１３）量は、ガラス基板が約４０×５０ｃｍ大
にて略３ｍｍ，約４５×５５ｃｍ大にて略４ｍｍ，約５
５×６５ｃｍ大にて略５ｍｍ程度であり、近い将来の実
用が検討されている約１００×１００ｃｍ大にては略８
〜１０ｍｍに達するものと予想され、このようなガラス
基板の撓みはカラーフィルタの製造上好ましいものでは
ない。
す撓み（１３）量は、ガラス基板が約４０×５０ｃｍ大
にて略３ｍｍ，約４５×５５ｃｍ大にて略４ｍｍ，約５
５×６５ｃｍ大にて略５ｍｍ程度であり、近い将来の実
用が検討されている約１００×１００ｃｍ大にては略８
〜１０ｍｍに達するものと予想され、このようなガラス
基板の撓みはカラーフィルタの製造上好ましいものでは
ない。
【０００７】すなわち、このようなガラス基板の撓みは
製造工程における搬送、例えば、製造工程内のある装置
からガラス基板を取り出し、移動し、次の装置への装着
をおこなう毎に、その撓みが発生し平坦な状態に戻るの
で、ガラス基板の撓みに留意した上記基板の取り出し、
移動、次の装置への装着の機構、及び、撓みに留意した
製造工程の速度となってしまい、生産効率を阻害するも
のとなる。
製造工程における搬送、例えば、製造工程内のある装置
からガラス基板を取り出し、移動し、次の装置への装着
をおこなう毎に、その撓みが発生し平坦な状態に戻るの
で、ガラス基板の撓みに留意した上記基板の取り出し、
移動、次の装置への装着の機構、及び、撓みに留意した
製造工程の速度となってしまい、生産効率を阻害するも
のとなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
に、カラーフィルタの製造工程において、大サイズのガ
ラス基板を水平に搬送する際に、例えば、約１００×１
００ｃｍ大の大サイズのガラス基板であっても撓みが発
生することのない、また、ガラス基板の下面の表面への
汚れや傷などの発生を低減させる基板搬送用トレイを提
供するものである。この基板搬送用トレイを採用するこ
とにより、ガラス基板の撓みに留意した機構は不要なも
のとなり、製造工程の速度はガラス基板の撓みに制約さ
れないものとなり、汚れや傷などの不良が低減し、生産
効率が向上したカラーフィルタの製造工程となる。
に、カラーフィルタの製造工程において、大サイズのガ
ラス基板を水平に搬送する際に、例えば、約１００×１
００ｃｍ大の大サイズのガラス基板であっても撓みが発
生することのない、また、ガラス基板の下面の表面への
汚れや傷などの発生を低減させる基板搬送用トレイを提
供するものである。この基板搬送用トレイを採用するこ
とにより、ガラス基板の撓みに留意した機構は不要なも
のとなり、製造工程の速度はガラス基板の撓みに制約さ
れないものとなり、汚れや傷などの不良が低減し、生産
効率が向上したカラーフィルタの製造工程となる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板搬送用ト
レイであって、その上面に基板を吸着固定するバキュー
ムチャックを具備することを特徴とする基板搬送用トレ
イである。また、本発明は、上記発明の基板搬送用トレ
イにおいて、前記バキュームチャックの周辺部に液体の
侵入を防ぐためのパッキングを設けることを特徴とする
基板搬送用トレイである。
レイであって、その上面に基板を吸着固定するバキュー
ムチャックを具備することを特徴とする基板搬送用トレ
イである。また、本発明は、上記発明の基板搬送用トレ
イにおいて、前記バキュームチャックの周辺部に液体の
侵入を防ぐためのパッキングを設けることを特徴とする
基板搬送用トレイである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明を一実施の形態に基づいて
以下に説明する。図１は、本発明による基板搬送用トレ
イの一実施例を示す平面図である。図２は本発明による
基板搬送用トレイを図１におけるＸ−Ｘ’断面で示した
断面図である。図１、及び図２において、基板搬送用ト
レイ（１）の上面に吸着固定されたガラス基板（２）は
点線にて示している。
以下に説明する。図１は、本発明による基板搬送用トレ
イの一実施例を示す平面図である。図２は本発明による
基板搬送用トレイを図１におけるＸ−Ｘ’断面で示した
断面図である。図１、及び図２において、基板搬送用ト
レイ（１）の上面に吸着固定されたガラス基板（２）は
点線にて示している。
【００１１】図１、及び図２に示すように、本発明によ
る基板搬送用トレイ（１）の大きさは搬送するガラス基
板（２）の大きさより小さなものである。基板搬送用ト
レイ（１）の上面には、エアー吸引孔（３）、エアー吸
引通路（４）、バルブ（５）、ノズル（６）などで構成
される、ガラス基板（２）を吸着固定するバキュームチ
ャック（８）が設けられている。
る基板搬送用トレイ（１）の大きさは搬送するガラス基
板（２）の大きさより小さなものである。基板搬送用ト
レイ（１）の上面には、エアー吸引孔（３）、エアー吸
引通路（４）、バルブ（５）、ノズル（６）などで構成
される、ガラス基板（２）を吸着固定するバキュームチ
ャック（８）が設けられている。
【００１２】ガラス基板（２）は、バキュームチャック
（８）によって基板搬送用トレイ（１）の上面に吸着固
定されたままの状態でカラーフィルタの製造工程を水平
に搬送され、製造工程中の各々の装置に装着され、各々
の装置にて処理され、各々の装置から取り出されるもの
である。
（８）によって基板搬送用トレイ（１）の上面に吸着固
定されたままの状態でカラーフィルタの製造工程を水平
に搬送され、製造工程中の各々の装置に装着され、各々
の装置にて処理され、各々の装置から取り出されるもの
である。
【００１３】先ず、基板搬送用トレイ（１）の上面にガ
ラス基板（２）を載せ、エアー吸引装置（図示せず）に
バキュームチャック（８）のノズル（６）を連結しバル
ブ（５）を開けて、エアー吸引孔（３）、エアー吸引通
路（４）を経てエアーを吸引しガラス基板（２）を吸着
固定する。
ラス基板（２）を載せ、エアー吸引装置（図示せず）に
バキュームチャック（８）のノズル（６）を連結しバル
ブ（５）を開けて、エアー吸引孔（３）、エアー吸引通
路（４）を経てエアーを吸引しガラス基板（２）を吸着
固定する。
【００１４】次に、バルブ（５）を閉じ、エアー吸引装
置（図示せず）とノズル（６）の連結を外す。このよう
にしてガラス基板（２）を基板搬送用トレイ（１）の上
面に吸着固定の状態に保つものである。このガラス基板
（２）が基板搬送用トレイ（１）の上面に吸着固定され
たままの状態で、カラーフィルタの製造工程を水平に搬
送され、製造工程中の各々の装置に装着され、各々の装
置にて処理され、各々の装置から取り出される操作が繰
り返され、製造工程の全処理が終了した時点で、バルブ
（５）を開けて吸着固定を解除しガラス基板（２）を基
板搬送用トレイ（１）から取り外す。
置（図示せず）とノズル（６）の連結を外す。このよう
にしてガラス基板（２）を基板搬送用トレイ（１）の上
面に吸着固定の状態に保つものである。このガラス基板
（２）が基板搬送用トレイ（１）の上面に吸着固定され
たままの状態で、カラーフィルタの製造工程を水平に搬
送され、製造工程中の各々の装置に装着され、各々の装
置にて処理され、各々の装置から取り出される操作が繰
り返され、製造工程の全処理が終了した時点で、バルブ
（５）を開けて吸着固定を解除しガラス基板（２）を基
板搬送用トレイ（１）から取り外す。
【００１５】図３は、本発明による基板搬送用トレイの
他の例を示す平面図である。図４は図３におけるＸ−
Ｘ’断面を示した断面図である。図３、及び図４に示す
ように、本発明による基板搬送用トレイ（２１）のバキ
ュームチャック（８）の周辺部には液体の侵入を防ぐた
めのパッキング（７）が設けられている。
他の例を示す平面図である。図４は図３におけるＸ−
Ｘ’断面を示した断面図である。図３、及び図４に示す
ように、本発明による基板搬送用トレイ（２１）のバキ
ュームチャック（８）の周辺部には液体の侵入を防ぐた
めのパッキング（７）が設けられている。
【００１６】このような基板搬送用トレイ（２１）は、
カラーフィルタの製造工程にて液相処理を行う際に基板
搬送用トレイ（２１）の上面のバキュームチャック
（８）とガラス基板（２）との隙間からの液体の侵入を
防ぐことができるものとなる。
カラーフィルタの製造工程にて液相処理を行う際に基板
搬送用トレイ（２１）の上面のバキュームチャック
（８）とガラス基板（２）との隙間からの液体の侵入を
防ぐことができるものとなる。
【００１７】上記のように、本発明による基板搬送用ト
レイ（１）、（２１）を採用することにより、例えば、
約１００×１００ｃｍ大の大サイズのガラス基板を水平
に搬送してもガラス基板に撓みが発生することはなく、
また、ガラス基板の下面の表面への汚れや傷などの発生
を低減させるものとなる。従って、ガラス基板の撓みに
留意した機構は不要なものとなり、製造工程の速度はガ
ラス基板の撓みに制約されないものとなり、汚れや傷な
どの不良が低減し、生産効率が向上したカラーフィルタ
の製造工程となる。
レイ（１）、（２１）を採用することにより、例えば、
約１００×１００ｃｍ大の大サイズのガラス基板を水平
に搬送してもガラス基板に撓みが発生することはなく、
また、ガラス基板の下面の表面への汚れや傷などの発生
を低減させるものとなる。従って、ガラス基板の撓みに
留意した機構は不要なものとなり、製造工程の速度はガ
ラス基板の撓みに制約されないものとなり、汚れや傷な
どの不良が低減し、生産効率が向上したカラーフィルタ
の製造工程となる。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、基板搬送用トレイにおいて、
その上面に基板を吸着固定するバキュームチャックを具
備しているので、カラーフィルタを製造する際に、例え
ば、約１００×１００ｃｍ大の大サイズのガラス基板を
水平に搬送しても撓みが発生することのない、また、ガ
ラス基板の下面の表面への汚れや傷などの発生を低減さ
せる基板搬送用トレイとなる。従って、本発明による基
板搬送用トレイを採用することにより、ガラス基板の撓
みに留意した機構は不要なものとなり、製造工程の速度
はガラス基板の撓みに制約されないものとなり、汚れや
傷などの不良が低減し、生産効率が向上したカラーフィ
ルタの製造工程となる。
その上面に基板を吸着固定するバキュームチャックを具
備しているので、カラーフィルタを製造する際に、例え
ば、約１００×１００ｃｍ大の大サイズのガラス基板を
水平に搬送しても撓みが発生することのない、また、ガ
ラス基板の下面の表面への汚れや傷などの発生を低減さ
せる基板搬送用トレイとなる。従って、本発明による基
板搬送用トレイを採用することにより、ガラス基板の撓
みに留意した機構は不要なものとなり、製造工程の速度
はガラス基板の撓みに制約されないものとなり、汚れや
傷などの不良が低減し、生産効率が向上したカラーフィ
ルタの製造工程となる。
【００１９】また、本発明は、基板搬送用トレイにおい
て、その上面に基板を吸着固定するバキュームチャック
の周辺部に液体の侵入を防ぐためのパッキングを設けて
いるので、カラーフィルタを製造する際に、例えば、約
１００×１００ｃｍ大の大サイズのガラス基板を水平に
搬送しても撓みが発生せず、液相処理を行っても基板搬
送用トレイの上面のバキュームチャックとガラス基板と
の隙間からの液体の侵入を防ぐことができ、また、ガラ
ス基板の下面の表面への汚れや傷などの発生を低減させ
る基板搬送用トレイとなる。従って、本発明による基板
搬送用トレイを採用することにより、ガラス基板の撓み
に留意した機構は不要なものとなり、製造工程の速度は
ガラス基板の撓みに制約されないものとなり、汚れや傷
などの不良が低減し、生産効率が向上したカラーフィル
タの製造工程となる。
て、その上面に基板を吸着固定するバキュームチャック
の周辺部に液体の侵入を防ぐためのパッキングを設けて
いるので、カラーフィルタを製造する際に、例えば、約
１００×１００ｃｍ大の大サイズのガラス基板を水平に
搬送しても撓みが発生せず、液相処理を行っても基板搬
送用トレイの上面のバキュームチャックとガラス基板と
の隙間からの液体の侵入を防ぐことができ、また、ガラ
ス基板の下面の表面への汚れや傷などの発生を低減させ
る基板搬送用トレイとなる。従って、本発明による基板
搬送用トレイを採用することにより、ガラス基板の撓み
に留意した機構は不要なものとなり、製造工程の速度は
ガラス基板の撓みに制約されないものとなり、汚れや傷
などの不良が低減し、生産効率が向上したカラーフィル
タの製造工程となる。
【図１】本発明による基板搬送用トレイの一実施例を示
す平面図である。
す平面図である。
【図２】本発明による基板搬送用トレイを図１における
Ｘ−Ｘ’断面で示した断面図である。
Ｘ−Ｘ’断面で示した断面図である。
【図３】本発明による基板搬送用トレイの他の例を示す
平面図である。
平面図である。
【図４】図３におけるＸ−Ｘ’断面を示した断面図であ
る。
る。
【図５】ガラス基板の撓み状態を示す説明図である。
１、２１…基板搬送用トレイ ２、１１…ガラス基板 ３…エアー吸引孔 ４…エアー吸引通路 ５…バルブ ６…ノズル ７…パッキング ８…バキュームチャック １２…保持具 １３…撓み
Claims (2)
- 【請求項１】基板搬送用トレイであって、その上面に基
板を吸着固定するバキュームチャックを具備することを
特徴とする基板搬送用トレイ。 - 【請求項２】前記バキュームチャックの周辺部に液体の
侵入を防ぐためのパッキングを設けることを特徴とする
請求項１記載の基板搬送用トレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28133398A JP2000108069A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | 基板搬送用トレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28133398A JP2000108069A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | 基板搬送用トレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000108069A true JP2000108069A (ja) | 2000-04-18 |
Family
ID=17637654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28133398A Pending JP2000108069A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | 基板搬送用トレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000108069A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103522743A (zh) * | 2012-07-04 | 2014-01-22 | 雅马哈发动机株式会社 | 搬送夹具及基板制造方法 |
| CN112536740A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-23 | Scm集团公司 | 具有用于锁定工件的改进的***的加工工具 |
-
1998
- 1998-10-02 JP JP28133398A patent/JP2000108069A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103522743A (zh) * | 2012-07-04 | 2014-01-22 | 雅马哈发动机株式会社 | 搬送夹具及基板制造方法 |
| KR101531583B1 (ko) * | 2012-07-04 | 2015-06-25 | 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 | 반송 지그 및 기판 제조 방법 |
| CN112536740A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-23 | Scm集团公司 | 具有用于锁定工件的改进的***的加工工具 |
| CN112536740B (zh) * | 2019-09-20 | 2022-08-05 | Scm集团公司 | 具有用于锁定工件的改进的***的加工工具 |
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