JP2003118834A - ガラス基板搬送装置 - Google Patents
ガラス基板搬送装置Info
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- JP2003118834A JP2003118834A JP2001321306A JP2001321306A JP2003118834A JP 2003118834 A JP2003118834 A JP 2003118834A JP 2001321306 A JP2001321306 A JP 2001321306A JP 2001321306 A JP2001321306 A JP 2001321306A JP 2003118834 A JP2003118834 A JP 2003118834A
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- glass substrate
- glass
- carrying
- glass boards
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- Pending
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- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス基板のたわみによるガラス基板の変形や
塗工部分の破損を防ぎ、搬送路の床面積が少なくて済む
ガラス基板搬送装置を提供すること。 【解決手段】ガラス基板を１枚ずつ受け取り保持して製
造装置あるいは検査装置の工程間の搬送を行う工程内搬
送装置の無人搬送台車１と、ガラス基板を受け渡しする
際は姿勢を水平に保持し、搬送する際は姿勢を垂直方向
に傾けて保持する基板移載機２と、垂直方向に傾けたガ
ラス基板を保持するクランプ４、５とを設けたことを特
徴としているので、大型ガラス基板３の自重や搬送時の
振動による変形や塗工面の破損を防ぎ、空中の微細なゴ
ミが堆積し難いガラス基板の搬送が可能である。また、
搬送路に必要となる床面積も少なくて済む。
塗工部分の破損を防ぎ、搬送路の床面積が少なくて済む
ガラス基板搬送装置を提供すること。 【解決手段】ガラス基板を１枚ずつ受け取り保持して製
造装置あるいは検査装置の工程間の搬送を行う工程内搬
送装置の無人搬送台車１と、ガラス基板を受け渡しする
際は姿勢を水平に保持し、搬送する際は姿勢を垂直方向
に傾けて保持する基板移載機２と、垂直方向に傾けたガ
ラス基板を保持するクランプ４、５とを設けたことを特
徴としているので、大型ガラス基板３の自重や搬送時の
振動による変形や塗工面の破損を防ぎ、空中の微細なゴ
ミが堆積し難いガラス基板の搬送が可能である。また、
搬送路に必要となる床面積も少なくて済む。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板を１枚
ずつ受け取り保持して、工程間の搬送および受け渡しを
行う大型ガラス基板搬送装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、液晶ディスプレイやＰＤＰ（プラ
ズマディスプレイパネル）の製造においては、製造コス
ト削減あるいは機器の大型化の傾向が進むに伴い、各辺
５００ｍｍを超える大型のガラス基板はもちろん、更に
は１０００ｍｍを超えるような大型のガラス基板を用い
て製造が行われるようになってきている。 【０００３】液晶ディスプレイやＰＤＰの製造におい
て、基板搬送装置にガラス基板を水平に移載し、水平を
維持したまま搬送台車により、ガラス基板を搬送してい
る。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいては、以下の問題がある。すなわち、大型ガラス基
板を水平を維持したまま搬送する場合には、図１に示す
ように、ガラス基板の自重とコロなどのガラス基板を支
持する機構の位置によりたわみが生じて、ガラス基板が
変形するか、または、ガラス基板上の塗工部分が破損す
るという問題がある。搬送時の振動による塗工部の破損
も起きやすいという問題もある。 【０００５】また、搬送する間はガラス基板が水平であ
るため、上方を向いている表面積が広く、空中の微細な
ゴミが堆積しやすいという問題もある。 【０００６】また、大型のガラス基板を水平を維持した
状態で搬送するガラス基板搬送装置は、装置が大型ガラ
ス基板のサイズ以上に大きくなり、工場の空間を有効に
利用できないか、または、工場レイアウトの変更が難し
いという問題もある。 【０００７】本発明は、上記のような問題点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、ガラス基
板のたわみによるガラス基板の変形や塗工部分の破損を
防ぎ、搬送路となる床面積が少なくて済むガラス基板搬
送装置を提供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のガラス基板搬送装置は、無人搬送台車を備
えた工程内搬送装置により、製造装置あるいは検査装置
に対してガラス基板の供給、回収を行うガラス基板搬送
装置において、ガラス基板を１枚ずつ受け取り保持して
製造装置あるいは検査装置の工程間の搬送を行う工程内
搬送装置の無人搬送台車と、ガラス基板を受け渡しする
際は姿勢を水平に保持し、搬送する際は姿勢を垂直方向
に傾けて保持する基板移載機と、垂直方向に傾けたガラ
ス基板を保持するクランプとを設けたことを特徴として
いる。 【０００９】 【発明の実施の形態】本発明のガラス基板搬送装置は、
製造装置あるいは検査装置において、ガラス基板を１枚
ずつ受け取り保持して、製造装置あるいは検査装置の工
程間の搬送を行うためのものである。以下、具体例を挙
げて本発明の実施の形態について説明する。 【００１０】本発明のガラス基板搬送装置では、図２に
示すように、ガラス基板を１枚ずつ受け取り保持して製
造装置あるいは検査装置の工程間の搬送を行う工程内搬
送装置の無人搬送台車１と、ガラス基板を載せる基板移
載機２と、大型ガラス基板３を保持するクランプ４、５
を有している。 【００１１】本発明のガラス基板搬送装置を正面から見
た図３を用いて、動作の概略を説明する。製造装置や検
査装置から大型ガラス基板３を移載する際は、クランプ
４、５のどちらかは、図３（ａ）に示すように開いてい
る。図３（ａ）の例では、左側のクランプ４が開き、左
側から右側に向かい水平方向に大型ガラス基板３を移動
させ、基板移載機２に移載する。なお、図示してはいな
いが、基板移載機は、大型ガラス基板３の移載と保持を
補助するコロなどの機構を有している。 【００１２】大型ガラス基板３が基板移載機２に移載さ
れた後、図３（ｂ）に示すように、開いていたクランプ
４を閉じて、搬送時のガラス基板が転倒しないように、
大型ガラス基板３を保持する。 【００１３】次に、図３（ｃ）に示すように、基板移載
機２を垂直方向に回転させて傾けた姿勢で、大型ガラス
基板３を搬送する。基板移載機２は、クランプ５側の側
面に大型ガラス基板３の自重すべてがかかるのを防ぐた
めに、完全に垂直にせず、一定の角度を保つように構成
する。 【００１４】図４は、本発明のガラス基板搬送装置の走
行に必要な空間を説明するために、装置および走路を上
から見た図である。製造装置からガラス基板を移載した
ガラス基板搬送装置は、次の製造装置または検査装置に
向かい、予め設定された軌道に沿い、走行する向きを変
更しながら搬送を行う。 【００１５】この際、従来のガラス基板を水平に保つ搬
送においては、図４に２本の破線で示した走行空間が必
要となるが、本発明のガラス基板搬送装置においては、
ガラス基板を垂直方向に傾け保持して搬送するので、図
４の斜線部分の床面積を使用せずに済み、工場の床面積
を有効に使用することができる。 【００１６】以上、本発明を実施の形態に基づいて詳細
に説明してきたが、本発明によるガラス基板搬送装置
は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本
発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能
であることは当然である。 【００１７】 【発明の効果】本発明のガラス基板搬送装置は、ガラス
基板を１枚ずつ受け取り保持して製造装置あるいは検査
装置の工程間の搬送を行う工程内搬送装置の無人搬送台
車と、ガラス基板を受け渡しする際は姿勢を水平に保持
し、搬送する際は姿勢を垂直方向に傾けて保持する基板
移載機と、垂直方向に傾けたガラス基板を保持するクラ
ンプとを設けたことを特徴としているので、ガラス基板
の自重による変形や塗工面の破損を防ぎ、空中の微細な
ゴミが堆積し難いガラス基板の搬送が可能である。ま
た、搬送路に必要となる床面積も少なくて済む。
ずつ受け取り保持して、工程間の搬送および受け渡しを
行う大型ガラス基板搬送装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、液晶ディスプレイやＰＤＰ（プラ
ズマディスプレイパネル）の製造においては、製造コス
ト削減あるいは機器の大型化の傾向が進むに伴い、各辺
５００ｍｍを超える大型のガラス基板はもちろん、更に
は１０００ｍｍを超えるような大型のガラス基板を用い
て製造が行われるようになってきている。 【０００３】液晶ディスプレイやＰＤＰの製造におい
て、基板搬送装置にガラス基板を水平に移載し、水平を
維持したまま搬送台車により、ガラス基板を搬送してい
る。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいては、以下の問題がある。すなわち、大型ガラス基
板を水平を維持したまま搬送する場合には、図１に示す
ように、ガラス基板の自重とコロなどのガラス基板を支
持する機構の位置によりたわみが生じて、ガラス基板が
変形するか、または、ガラス基板上の塗工部分が破損す
るという問題がある。搬送時の振動による塗工部の破損
も起きやすいという問題もある。 【０００５】また、搬送する間はガラス基板が水平であ
るため、上方を向いている表面積が広く、空中の微細な
ゴミが堆積しやすいという問題もある。 【０００６】また、大型のガラス基板を水平を維持した
状態で搬送するガラス基板搬送装置は、装置が大型ガラ
ス基板のサイズ以上に大きくなり、工場の空間を有効に
利用できないか、または、工場レイアウトの変更が難し
いという問題もある。 【０００７】本発明は、上記のような問題点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、ガラス基
板のたわみによるガラス基板の変形や塗工部分の破損を
防ぎ、搬送路となる床面積が少なくて済むガラス基板搬
送装置を提供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のガラス基板搬送装置は、無人搬送台車を備
えた工程内搬送装置により、製造装置あるいは検査装置
に対してガラス基板の供給、回収を行うガラス基板搬送
装置において、ガラス基板を１枚ずつ受け取り保持して
製造装置あるいは検査装置の工程間の搬送を行う工程内
搬送装置の無人搬送台車と、ガラス基板を受け渡しする
際は姿勢を水平に保持し、搬送する際は姿勢を垂直方向
に傾けて保持する基板移載機と、垂直方向に傾けたガラ
ス基板を保持するクランプとを設けたことを特徴として
いる。 【０００９】 【発明の実施の形態】本発明のガラス基板搬送装置は、
製造装置あるいは検査装置において、ガラス基板を１枚
ずつ受け取り保持して、製造装置あるいは検査装置の工
程間の搬送を行うためのものである。以下、具体例を挙
げて本発明の実施の形態について説明する。 【００１０】本発明のガラス基板搬送装置では、図２に
示すように、ガラス基板を１枚ずつ受け取り保持して製
造装置あるいは検査装置の工程間の搬送を行う工程内搬
送装置の無人搬送台車１と、ガラス基板を載せる基板移
載機２と、大型ガラス基板３を保持するクランプ４、５
を有している。 【００１１】本発明のガラス基板搬送装置を正面から見
た図３を用いて、動作の概略を説明する。製造装置や検
査装置から大型ガラス基板３を移載する際は、クランプ
４、５のどちらかは、図３（ａ）に示すように開いてい
る。図３（ａ）の例では、左側のクランプ４が開き、左
側から右側に向かい水平方向に大型ガラス基板３を移動
させ、基板移載機２に移載する。なお、図示してはいな
いが、基板移載機は、大型ガラス基板３の移載と保持を
補助するコロなどの機構を有している。 【００１２】大型ガラス基板３が基板移載機２に移載さ
れた後、図３（ｂ）に示すように、開いていたクランプ
４を閉じて、搬送時のガラス基板が転倒しないように、
大型ガラス基板３を保持する。 【００１３】次に、図３（ｃ）に示すように、基板移載
機２を垂直方向に回転させて傾けた姿勢で、大型ガラス
基板３を搬送する。基板移載機２は、クランプ５側の側
面に大型ガラス基板３の自重すべてがかかるのを防ぐた
めに、完全に垂直にせず、一定の角度を保つように構成
する。 【００１４】図４は、本発明のガラス基板搬送装置の走
行に必要な空間を説明するために、装置および走路を上
から見た図である。製造装置からガラス基板を移載した
ガラス基板搬送装置は、次の製造装置または検査装置に
向かい、予め設定された軌道に沿い、走行する向きを変
更しながら搬送を行う。 【００１５】この際、従来のガラス基板を水平に保つ搬
送においては、図４に２本の破線で示した走行空間が必
要となるが、本発明のガラス基板搬送装置においては、
ガラス基板を垂直方向に傾け保持して搬送するので、図
４の斜線部分の床面積を使用せずに済み、工場の床面積
を有効に使用することができる。 【００１６】以上、本発明を実施の形態に基づいて詳細
に説明してきたが、本発明によるガラス基板搬送装置
は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本
発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能
であることは当然である。 【００１７】 【発明の効果】本発明のガラス基板搬送装置は、ガラス
基板を１枚ずつ受け取り保持して製造装置あるいは検査
装置の工程間の搬送を行う工程内搬送装置の無人搬送台
車と、ガラス基板を受け渡しする際は姿勢を水平に保持
し、搬送する際は姿勢を垂直方向に傾けて保持する基板
移載機と、垂直方向に傾けたガラス基板を保持するクラ
ンプとを設けたことを特徴としているので、ガラス基板
の自重による変形や塗工面の破損を防ぎ、空中の微細な
ゴミが堆積し難いガラス基板の搬送が可能である。ま
た、搬送路に必要となる床面積も少なくて済む。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の水平搬送の問題点の概略図である。
【図２】本発明のガラス基板搬送装置の例を示す三面図
である。 【図３】本発明のガラス基板搬送装置の動作を説明する
正面図である。 【図４】本発明のガラス基板搬送装置の搬送路の床面積
の説明図である。 【符号の説明】 １ 無人搬送台車 ２ 基板移載機 ３ 大型ガラス基板 ４、５ クランプ
である。 【図３】本発明のガラス基板搬送装置の動作を説明する
正面図である。 【図４】本発明のガラス基板搬送装置の搬送路の床面積
の説明図である。 【符号の説明】 １ 無人搬送台車 ２ 基板移載機 ３ 大型ガラス基板 ４、５ クランプ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 無人搬送台車を備えた工程内搬送装置に
より、製造装置あるいは検査装置に対して、ガラス基板
の供給、回収を行うガラス基板搬送装置であって、ガラ
ス基板を１枚ずつ受け取り保持して、製造装置あるいは
検査装置の工程間の搬送を行う工程内搬送装置の無人搬
送台車と、ガラス基板を受け渡しする際は姿勢を水平に
保持し、搬送する際は姿勢を垂直方向に傾けて保持する
基板移載機と、垂直方向に傾けたガラス基板を保持する
クランプと、を備えたことを特徴とするガラス基板搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001321306A JP2003118834A (ja) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | ガラス基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001321306A JP2003118834A (ja) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | ガラス基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003118834A true JP2003118834A (ja) | 2003-04-23 |
Family
ID=19138542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001321306A Pending JP2003118834A (ja) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | ガラス基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003118834A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012006723A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板姿勢変換装置及びガラス板姿勢変換方法 |
| JP2012051656A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 搬送システム |
| CN108153008A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-06-12 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板夹持对位装置 |
| CN112368819A (zh) * | 2018-06-29 | 2021-02-12 | 川崎重工业株式会社 | 基板搬送装置及其运转方法 |
-
2001
- 2001-10-19 JP JP2001321306A patent/JP2003118834A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012006723A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板姿勢変換装置及びガラス板姿勢変換方法 |
| JP2012051656A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 搬送システム |
| CN108153008A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-06-12 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板夹持对位装置 |
| CN108153008B (zh) * | 2018-01-18 | 2021-03-02 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板夹持对位装置 |
| CN112368819A (zh) * | 2018-06-29 | 2021-02-12 | 川崎重工业株式会社 | 基板搬送装置及其运转方法 |
| KR20210022094A (ko) * | 2018-06-29 | 2021-03-02 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 기판 반송 장치 및 그 운전 방법 |
| KR102493184B1 (ko) * | 2018-06-29 | 2023-01-30 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 기판 반송 장치 및 그 운전 방법 |
| US11839968B2 (en) | 2018-06-29 | 2023-12-12 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transfer device and method of operating the same |
| CN112368819B (zh) * | 2018-06-29 | 2024-04-05 | 川崎重工业株式会社 | 基板搬送装置及其运转方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040922 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080318 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081001 |