ES2705354T3 - Aparato óptico, aparato de procesamiento y procedimiento de fabricación de artículo - Google Patents
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Abstract
Aparato óptico que comprende: un primer elemento (13) reflectante giratorio que incluye una primera superficie reflectante plana y una segunda superficie reflectante plana; un primer sistema óptico configurado para reflejar secuencialmente a lo largo de una primera trayectoria óptica, mediante una pluralidad de superficies (14-1, 14-2, 14-3, 14-4) reflectantes planas incluidas en el mismo, la luz reflejada por la primera superficie reflectante del primer elemento (13) reflectante un número par de veces y para hacer que la luz incida sobre la segunda superficie reflectante del primer elemento (13) reflectante; un primer dispositivo (63) de ajuste configurado para cambiar un ángulo de rotación del primer elemento (13) reflectante para trasladar una trayectoria óptica de luz que es reflejada por la segunda superficie reflectante del primer elemento (13) reflectante y que abandona la misma; un segundo elemento (15) reflectante giratorio que incluye una primera superficie reflectante plana sobre la que incide la luz, que es reflejada por la segunda superficie reflectante del primer elemento (13) reflectante y que abandona la misma, y una segunda superficie reflectante plana; un segundo sistema óptico configurado para reflejar secuencialmente a lo largo de una segunda trayectoria óptica, mediante una pluralidad de superficies (16-1, 16-2, 16-3, 16-4) reflectantes planas incluidas en el mismo, la luz reflejada por la primera superficie reflectante del segundo elemento (15) reflectante un número par de veces y para hacer que la luz incida sobre la segunda superficie reflectante plana del segundo elemento (15) reflectante; y un segundo dispositivo (64) de ajuste configurado para cambiar un ángulo de rotación del segundo elemento (15) reflectante para trasladar una trayectoria óptica de luz que es reflejada por la segunda superficie reflectante del segundo elemento (15) reflectante y que abandona la misma, en el que un eje de rotación del primer elemento (13) reflectante y un eje de rotación del segundo elemento (15) reflectante no son paralelos entre sí, caracterizado por que el aparato está configurado de modo que un plano formado y rodeado por la primera trayectoria óptica del primer sistema óptico y un plano formado y rodeado por la segunda trayectoria óptica del segundo sistema óptico se intersecan entre sí.
Description
DESCRIPCIÓN
Aparato óptico, aparato de procesamiento y procedimiento de fabricación de artículo
ANTECEDENTES DE LA INVENCIÓN SECTOR DE LA INVENCIÓN
La presente invención se refiere a un aparato óptico, a un aparato de procesamiento y a un procedimiento de fabricación de artículo.
DESCRIPCIÓN DE LA TÉCNICA RELACIONADA
Por ejemplo, la patente japonesa número 4386137 y la patente japonesa abierta a inspección número 2011-121119 dan a conocer mecanismos de desplazamiento en paralelo de haces de luz en un aparato convencional de procesamiento por láser. En la patente japonesa número 4386137, un haz de luz se desplaza en paralelo girando un elemento transparente. En la patente japonesa abierta a inspección número 2011-121119, un haz de luz se desplaza en paralelo usando dos espejos de cambio de ángulo sincronizados. Asimismo en la patente US 2006/151449 A1 se emplean dichos mecanismos. Las patentes US 4299438 A y US 4215 912 A se refieren a sistemas de escaneado que hacen girar un haz óptico y a la amplificación del ángulo de desviación. La patente US 4647 144 A da a conocer un escáner óptico para líneas de formación de imágenes en un plano del objeto sobre una disposición lineal en un plano focal. El documento DE 2825550 A1 se refiere a un escáner óptico que incluye una rueda de escaneado y un espejo doblete reflector de techo. La patente FR 2 662 515 A1 da a conocer un dispositivo para trasladar un haz óptico que tiene un elemento reflectante giratorio y múltiples caras fijas reflectantes.
Sin embargo, en el mecanismo de desplazamiento en paralelo de haces de luz de la patente japonesa número 4386137, dado que la magnitud de desplazamiento en paralelo del haz de luz se determina mediante el ángulo de rotación y la longitud del elemento transparente, la inercia de rotación aumenta y, por tanto, es difícil realizar el desplazamiento del haz de luz deseado a elevada velocidad. Por ejemplo, supongamos un caso en el que la magnitud de desplazamiento en paralelo del haz de luz de 5,3 mm se consigue mediante un ángulo de rotación de ±10o de un elemento transparente (cristal de cuarzo n = 1,45) mediante el procedimiento de la patente japonesa número 4386137. En este caso, el tamaño del elemento transparente está diseñado razonablemente a unos 95 mm x 16 mm x 13 mm. Como resultado, la inercia es tan elevada como 33.000 g-mm2, y es difícil realizar un desplazamiento en paralelo a elevada velocidad.
La técnica de la patente japonesa abierta a inspección número 2011-121119 soluciona el problema de la elevada inercia del elemento giratorio. No obstante, dado que es difícil sincronizar de forma precisa los dos mecanismos de rotación de espejo en una operación a alta velocidad, el ángulo del haz de luz de salida no es constante, y es difícil desplazar en paralelo el haz de luz.
CARACTERÍSTICAS DE LA INVENCIÓN
La presente invención da a conocer, por ejemplo, un aparato ventajoso en velocidad de ajuste de una trayectoria óptica en el mismo.
La presente invención en su primer aspecto da a conocer un aparato óptico según se especifica en las reivindicaciones 1 y 2.
La presente invención en su segundo aspecto da a conocer un aparato de procesamiento según se especifica en las reivindicaciones 3 y 4.
La presente invención en su tercer aspecto da a conocer un procedimiento de fabricación de un artículo según se especifica en la reivindicación 5.
Otras características de la presente invención serán evidentes a partir de la siguiente descripción de realizaciones a modo de ejemplo y ejemplos de referencia (con referencia a los dibujos adjuntos). Los ejemplos de referencia están fuera del alcance de la invención según se reivindica en el presente documento.
BREVE DESCRIPCIÓN DE LOS DIBUJOS
La figura 1 es una vista que muestra la disposición de un aparato óptico según un primer ejemplo de referencia; la figura 2 es un gráfico que muestra la relación entre una magnitud de desplazamiento del haz de luz y el ángulo de rotación de un elemento de espejo en el primer ejemplo de referencia;
la figura 3 es un gráfico que muestra la influencia del grosor del elemento de espejo en la magnitud de
desplazamiento del haz de luz en el primer ejemplo de referencia;
la figura 4 es una vista que muestra la disposición de un aparato óptico según un segundo e
la figura 5 es una vista que muestra la disposición de un aparato óptico según un tercer eje
la figura 6 es una vista que muestra la disposición de un aparato óptico según una primera r
la figura 7 es una vista que muestra la disposición de un aparato de procesamiento según una segunda realización; y
la figura 8 es una vista para explicar un ejemplo del mecanismo de cambio del ángulo del elemento de espejo según una realización.
DESCRIPCIÓN DE LAS REALIZACIONES
Diversas realizaciones, características y aspectos a modo de ejemplo de la invención, así como ejemplos de referencia se describirán en detalle a continuación con referencia a los dibujos.
En adelante, se describirán en detalle realizaciones de la presente invención y ejemplos de referencia con referencia a los dibujos adjuntos. Se debe observar que las siguientes realizaciones y ejemplos de referencia no pretenden
limitar el alcance de las reivindicaciones adjuntas, y que no todas las combinaciones de las características descritas en las realizaciones son necesariamente esenciales para los medios de resolución de la presente invención.
<Primer ejemplo de referencia>
La figura 1 muestra la disposición de un aparato óptico según un primer ejemplo de referencia. El aparato óptico según este ejemplo de referencia puede controlar la trayectoria óptica de la luz de salida, por ejemplo, desplazar en paralelo un haz de luz. Un mecanismo de desplazamiento en paralelo del haz de luz (más en general, un mecanismo que realiza el ajuste de la trayectoria óptica, habitualmente, la traslación o movimiento traslacional de la trayectoria óptica) según este ejemplo de referencia incluye un elemento -2- de espejo (denominado asimismo un elemento reflectante) que refleja un haz de luz -51- de una fuente de luz -50-. Se debe observar que en la siguiente descripción, se mostrará como ejemplo un caso en el que cada superficie reflectante se puede considerar como un plano, y se realiza la traslación o movimiento traslacional de la trayectoria óptica. El elemento -2- de espejo está fabricado de vidrio, por ejemplo, e incluye una primera superficie -2a- reflectante que recibe el haz de luz -51- de la fuente de luz -50-, y una segunda superficie -2b- reflectante en el lado opuesto. Se puede aplicar un recubrimiento de espejo con elevada reflexión a cada una de la primera superficie -2a- reflectante y la segunda superficie -2b- reflectante. Se debe observar que el elemento -2- de espejo puede conformarse en forma de prisma, y la primera superficie -2a- reflectante y la segunda superficie -2b- reflectante pueden ser componentes independientes. En este caso, una configuración en la que la primera superficie reflectante y la segunda superficie reflectante están enfrentadas entre sí, son superficies separadas en el prisma y son superficies independientes, es ventajosa para reducir la influencia del calor de la luz incidente en comparación con el caso en el que estas son la misma superficie (plana).
El elemento -2- de espejo está conformado para poder cambiar el ángulo con respecto al haz de luz -51- para controlar la trayectoria óptica de luz que sale del aparato óptico. La figura 8 muestra un ejemplo del mecanismo de cambio del ángulo del elemento -2- de espejo. Tal como se muestra en la figura 8, el elemento -2- de espejo está soportado axialmente por un eje -1a- de salida de un motor galvanométrico -1-. Un controlador -60- (dispositivo de ajuste) emite una señal de accionamiento al motor galvanométrico -1-. Una unidad de accionamiento de rotación (no mostrada) del motor galvanométrico -1- gira el elemento -2- de espejo a través del eje -1a- de salida la magnitud de accionamiento según la señal de accionamiento de entrada. El elemento -2- de espejo puede, de este modo, girarse.
En este caso, el elemento -2- de espejo está inclinado aproximadamente 45o con respecto al haz de luz -51- de la fuente de luz -50-.
El mecanismo de desplazamiento en paralelo del haz de luz según este ejemplo de referencia incluye un sistema óptico -80- que refleja la luz, que incide sobre el elemento -2- de espejo y es reflejada mediante el elemento -2- de espejo, secuencialmente un número par de veces mediante las superficies reflectantes y, posteriormente, hace que la luz incida en el elemento -2- de espejo de nuevo. El sistema óptico -80- incluye, por ejemplo, cuatro espejos -3-,
-4-, -5- y -6- que están dispuestos estacionariamente para ser simétricos con respecto al haz de luz -51-. La luz reflejada por la primera superficie -2a- reflectante del elemento -2- de espejo es reflejada secuencialmente por los espejos -3-, -4-, -5- y -6- y guiada a la segunda superficie -2b- reflectante del elemento -2- de espejo. La luz finalmente reflejada por la segunda superficie -2b- reflectante sale casi en la misma dirección que el haz de luz -51-.
El ángulo de la luz de salida no cambia incluso cuando cambia el ángulo de rotación del elemento -2- de espejo. Por esta razón, la trayectoria óptica de la luz que es reflejada por las superficies reflectantes del elemento -2- de espejo y sale puede ajustarse ajustando el ángulo de rotación del elemento -2- de espejo mediante el controlador -60-.
A continuación se describirá la relación entre la magnitud de desplazamiento en paralelo del haz de luz y un cambio en
el ángulo de rotación del elemento -2- de espejo. Se considera un caso en el que se supone que el grosor del elemento -2- de espejo es 0. La figura 2 muestra la relación entre la magnitud de desplazamiento del haz de luz y el cambio en el ángulo del elemento -2- de espejo en un caso en el que una distancia L periférica de un rectángulo formado por los cuatro espejos -3-, -4-, -5- y -6- es de 300 mm y un caso en el que la distancia Lperiférica es de 400 mm.
Una magnitud AS de desplazamiento en paralelo del haz de luz está determinada por
AS = L x tan(2 x A0g) ... (1)
donde A0g es la magnitud de cambio de ángulo del elemento -2- de espejo.
La ecuación (1) representa que cuanto más larga sea L, menor será el cambio en el ángulo del elemento -2- de espejo que puede implementar una magnitud elevada de desplazamiento en paralelo del haz de luz. Aumentando L se puede realizar un desplazamiento variable del haz de luz a alta velocidad.
A continuación, se supone un caso en el que se tiene en cuenta la longitud real del elemento -2- de espejo. La figura 3 muestra la diferencia de la magnitud de desplazamiento en paralelo del haz de luz entre un caso en el que se supone que el grosor del elemento -2- de espejo es 0 y un caso en el que se tiene en cuenta el grosor real.
De acuerdo con la figura 3, si el grosor del elemento -2- de espejo es pequeño con respecto a L, la diferencia con respecto a la magnitud de desplazamiento en el caso en el que el grosor del elemento -2- de espejo es 0 es pequeña, y la magnitud de desplazamiento del haz de luz se corresponde aproximadamente con la ecuación (1). Una anchura W necesaria de la superficie reflectante del elemento -2- de espejo está determinada por
W = (D Smax)/sen(45 0g) ... (2)
donde D es la anchura del haz de luz incidente en el mecanismo de desplazamiento y Smax es la magnitud de desplazamiento máxima.
De acuerdo con la disposición de este ejemplo de referencia, como resultado del diseño para implementar un desplazamiento en paralelo del haz de luz de 5,3 mm, se puede implementar el desplazamiento mediante control en el intervalo de ±0,5o en un caso en el que el grosor del elemento -2- de espejo se establece en 2 mm (inercia = 89 g-mm2) y L = 300 mm. Por tanto, la velocidad se puede aumentar significativamente en comparación con las técnicas convencionales.
Tal como se ha descrito anteriormente, un mecanismo de desplazamiento en paralelo de haz de luz a alta velocidad puede implementarse mediante la disposición utilizando el elemento -2- de espejo de cambio de ángulo que recibe luz de la fuente de luz -50- y los cuatro espejos -3-, -4-, -5- y -6-.
<Segundo ejemplo de referencia>
La figura 4 es una vista que muestra la disposición de un aparato óptico según un segundo ejemplo de referencia. Tal como se muestra en la figura 4, un elemento -7- de espejo que refleja un haz de luz -51- de una fuente de luz -50- puede tener la misma disposición que el elemento -2- de espejo según el primer ejemplo de referencia. Es decir, el elemento -7- de espejo está fabricado de vidrio, por ejemplo, e incluye una primera superficie -7a- reflectante que recibe el haz de luz -51- de la fuente de luz -50-, y una segunda superficie -7b- reflectante en el lado opuesto. Se puede aplicar un recubrimiento de espejo con elevada reflexión a cada una de la primera superficie -7a- reflectante y la segunda superficie -7b- reflectante. Se debe observar que el elemento -7- de espejo puede conformarse en forma de prisma, y la primera superficie -7a- reflectante y la segunda superficie -7b- reflectante pueden ser componentes independientes. El elemento -7- de espejo está conformado para poder cambiar el ángulo, como el elemento -2- de espejo según el primer ejemplo de referencia. En este caso, el elemento -7- de espejo está inclinado aproximadamente 45o con respecto al haz de luz -51- desde la fuente de luz -50-.
Un sistema óptico -90- incluye dos espejos -8- y -9- que están dispuestos estacionariamente de modo que la trayectoria óptica forma un triángulo, tal como se muestra en la figura 4. La luz reflejada por la primera superficie -7a- reflectante del elemento -7- de espejo es reflejada secuencialmente por los espejos -8- y -9- y guiada a la segunda superficie -7b- reflectante del elemento -7- de espejo. La luz finalmente reflejada por la segunda superficie -7b- reflectante sale por un lado, por ejemplo, en una dirección perpendicular al haz de luz -51-. En esta disposición, el desplazamiento en paralelo del haz de luz según la ecuación (1) puede implementarse girando A0g el elemento -7- de espejo mediante un motor galvanométrico.
Tal como se ha descrito anteriormente, según este ejemplo de referencia, se puede implementar un mecanismo de desplazamiento en paralelo del haz de luz a alta velocidad mediante la disposición utilizando el elemento -7- de espejo de cambio de ángulo que recibe luz desde la fuente de luz -50-, y los dos espejos -8- y -9-.
<Tercer ejemplo de referencia>
La figura 5 muestra la disposición de un aparato óptico según un tercer ejemplo de referencia. Un elemento -10- de espejo que refleja un haz de luz -51- desde una fuente de luz -50- está conformado para poder cambiar el ángulo, como el elemento -2- de espejo según el primer ejemplo de referencia. En este caso, el elemento -10- de espejo está inclinado aproximadamente 45o con respecto al haz de luz -51 - de la fuente de luz -50-.
Un sistema óptico -100- incluye dos espejos -11- y -12- que están dispuestos estacionariamente bajo el elemento -10- de espejo, tal como se muestra en la figura 5. La luz reflejada por una primera zona -10b- de reflexión en una primera superficie -10a- del elemento -10- de espejo, que es la superficie en el lado de la fuente de luz -50-, es reflejada secuencialmente por los espejos -11- y -12- y guiada a una segunda zona -10c- de reflexión en la primera superficie -10a- del elemento -10- de espejo. La luz reflejada por la segunda zona -10c- de reflexión sale en una dirección, por ejemplo, invertida 180o con respecto al haz de luz -51-. En esta disposición, el desplazamiento en paralelo del haz de luz según la ecuación (1) puede implementarse girando A9g el elemento -10- de espejo mediante un motor galvanométrico.
Tal como se ha descrito anteriormente, según este ejemplo de referencia, se puede implementar un mecanismo de desplazamiento en paralelo del haz de luz a alta velocidad mediante la disposición utilizando el elemento -10- de espejo de cambio de ángulo que recibe luz de la fuente de luz -50- y los dos espejos -11- y -12-.
<Primera realización>
La figura 6 muestra la disposición de un aparato óptico según una primera realización. Esta disposición es una combinación de las disposiciones mostradas en el primer ejemplo de referencia (figura 1), e incluye un primer aparato óptico -61- que recibe un haz de luz -51- de una fuente de luz -50-, y un segundo aparato óptico -62- que recibe la luz de salida del primer aparato óptico -61-.
El primer aparato óptico -61- incluye un elemento -13- de espejo de cambio de ángulo que refleja el haz de luz -51-de la fuente de luz -50-. Esto se corresponde con el elemento -2- de espejo según el primer ejemplo de referencia. El primer aparato óptico -61- incluye asimismo los espejos -14-1-, -14-2-, -14-3- y -14-4- correspondientes a los espejos -3-, -4-, -5- y -6- según el primer ejemplo de referencia, respectivamente.
El segundo aparato óptico -62- incluye un elemento -15- de espejo de cambio de ángulo que refleja el haz de luz -51- de la fuente de luz -50-. Esto se corresponde con el elemento -2- de espejo según el primer ejemplo de referencia. El segundo aparato óptico -62- incluye asimismo los espejos -16-1-, -16-2-, -16-3- y -16-4-correspondientes a los espejos -3-, -4-, -5- y -6- según el primer ejemplo de referencia, respectivamente.
El eje de rotación del elemento -13- de espejo del primer aparato óptico -61- y el eje de rotación del elemento -15- de espejo del segundo aparato óptico -62- no son paralelos y están dispuestos, por ejemplo, para ser perpendiculares entre sí.
En el primer aparato óptico -61- la luz incidente reflejada por la primera superficie reflectante del elemento -13- de espejo es reflejada secuencialmente por los espejos -14-1-, -14-2-, -14-3- y -14-4- y guiada a la segunda superficie reflectante del elemento -13- de espejo en el lado opuesto de la primera superficie reflectante. La luz reflejada por la segunda superficie reflectante incide sobre el elemento -15- de espejo del segundo aparato óptico -62-. En el segundo aparato óptico -62-, la luz incidente reflejada por la primera superficie reflectante del elemento -15- de espejo es reflejada secuencialmente por los espejos -16-1-, -16-2-, -16-3- y -16-4- y guiada a la segunda superficie reflectante del elemento -15- de espejo en el lado opuesto de la primera superficie reflectante. La luz finalmente reflejada por la segunda superficie reflectante del elemento -15- de espejo sale casi en la misma dirección que el haz de luz -51-.
Tal como se muestra en la figura 6, se puede emplear una disposición en la que un plano formado por la trayectoria óptica en la que los espejos reflejan luz en el primer aparato óptico -61- y un plano formado por la trayectoria óptica en la que los espejos reflejan luz en el segundo aparato óptico -62- se intersecan entre sí. Cuando los mecanismos de desplazamiento en paralelo del haz de luz se disponen de modo que se intersecan entre sí, se puede implementar la reducción de tamaño del aparato óptico.
Se debe observar que en el ejemplo anterior, se ha descrito un ejemplo en el que los mecanismos de desplazamiento en paralelo del haz de luz del primer ejemplo de referencia (figura 1) están dispuestos de modo que las direcciones de desplazamiento se vuelven perpendiculares entre sí. No obstante, incluso si se combinan dos mecanismos de desplazamiento en paralelo del haz de luz seleccionados de los ejemplos de referencia primero a tercero, el desplazamiento en paralelo del haz de luz se puede realizar libremente de modo similar en el plano bidimensional.
Según diversos ejemplos de referencia y la realización descrita anteriormente, el aparato óptico incluye un elemento de espejo giratorio, y un sistema óptico que recibe luz reflejada por el elemento de espejo y la hace salir en una dirección predeterminada. El sistema óptico refleja secuencialmente la luz un número par de veces mediante las
superficies reflectantes y hace que la luz incida de nuevo sobre el elemento de espejo. La luz que incide de nuevo es reflejada por el elemento de espejo y, de este modo, sale en una dirección predeterminada. Según los análisis del presente inventor, la presente invención no puede contenerse en una disposición con un sistema óptico que refleja la luz un número no par de veces sino un número impar de veces.
<Segunda realización>
A continuación se describirá un ejemplo de un aparato de procesamiento que incluye un elemento óptico para guiar la luz que ha salido del aparato óptico descrito en la primera realización a un objeto. La figura 7 muestra la disposición de un aparato de procesamiento por láser según una segunda realización. El aparato de procesamiento por láser según esta realización incluye un mecanismo -17- de desplazamiento en paralelo del haz de luz descrito en la primera realización en una etapa posterior de una fuente -71- de luz láser. Los sistemas -18- y -19- de ampliación del haz de luz están dispuestos en la etapa posterior del mecanismo -17- de desplazamiento en paralelo del haz de luz, aumentando así en la magnitud necesaria la magnitud de desplazamiento del haz de luz/sistema de haz de luz. Una lente condensadora -22- está dispuesta en la etapa posterior de los sistemas de ampliación del haz de luz, y un objeto -23- dispuesto en el plano focal es irradiado con el haz de láser condensado. Los ángulos de los espejos -20-y -21- proporcionados entre el sistema -19- de ampliación del haz de luz y la lente condensadora -22- pueden ajustarse para guiar el haz de luz a una posición deseada sobre el objeto -23-.
En esta disposición, el mecanismo -17- de desplazamiento en paralelo del haz de luz desplaza paralelamente el haz de luz, cambiando así libremente el ángulo del haz de láser que irradia el objeto -23-. Como resultado, se puede realizar el procesamiento de orificio cónico o corte de una sección inclinada.
[Realización del procedimiento de fabricación de artículo]
El aparato de procesamiento según la realización anteriormente descrita se puede utilizar para un procedimiento de fabricación de artículo. El procedimiento de fabricación de artículo puede incluir una etapa de procesamiento de un objeto utilizando el aparato de procesamiento, y una etapa de procesamiento del objeto procesado en la etapa. El procesamiento puede incluir, por ejemplo, al menos uno de un procesamiento diferente del procesamiento anteriormente descrito, transporte, inspección, selección, montaje (imposición) y empaquetado. El procedimiento de fabricación de artículo según esta realización es superior a un procedimiento convencional en, por lo menos, uno del rendimiento, calidad, productividad y coste de fabricación del artículo.
Aunque la presente invención se ha descrito con referencia a las realizaciones a modo de ejemplo, se debe entender que la invención no está limitada a las realizaciones a modo de ejemplo dadas a conocer. Se le debe conceder al alcance de las siguientes reivindicaciones la interpretación más amplia para abarcar todas dichas modificaciones y estructuras y funciones equivalentes.
Claims (5)
1. Aparato óptico que comprende:
un primer elemento (13) reflectante giratorio que incluye una primera superficie reflectante plana y una segunda superficie reflectante plana;
un primer sistema óptico configurado para reflejar secuencialmente a lo largo de una primera trayectoria óptica, mediante una pluralidad de superficies (14-1, 14-2, 14-3, 14-4) reflectantes planas incluidas en el mismo, la luz reflejada por la primera superficie reflectante del primer elemento (13) reflectante un número par de veces y para hacer que la luz incida sobre la segunda superficie reflectante del primer elemento (13) reflectante;
un primer dispositivo (63) de ajuste configurado para cambiar un ángulo de rotación del primer elemento (13) reflectante para trasladar una trayectoria óptica de luz que es reflejada por la segunda superficie reflectante del primer elemento (13) reflectante y que abandona la misma;
un segundo elemento (15) reflectante giratorio que incluye una primera superficie reflectante plana sobre la que incide la luz, que es reflejada por la segunda superficie reflectante del primer elemento (13) reflectante y que abandona la misma, y una segunda superficie reflectante plana;
un segundo sistema óptico configurado para reflejar secuencialmente a lo largo de una segunda trayectoria óptica, mediante una pluralidad de superficies (16-1, 16-2, 16-3, 16-4) reflectantes planas incluidas en el mismo, la luz reflejada por la primera superficie reflectante del segundo elemento (15) reflectante un número par de veces y para hacer que la luz incida sobre la segunda superficie reflectante plana del segundo elemento (15) reflectante; y un segundo dispositivo (64) de ajuste configurado para cambiar un ángulo de rotación del segundo elemento (15) reflectante para trasladar una trayectoria óptica de luz que es reflejada por la segunda superficie reflectante del segundo elemento (15) reflectante y que abandona la misma,
en el que un eje de rotación del primer elemento (13) reflectante y un eje de rotación del segundo elemento (15) reflectante no son paralelos entre sí,
caracterizado por que el aparato está configurado de modo que un plano formado y rodeado por la primera trayectoria óptica del primer sistema óptico y un plano formado y rodeado por la segunda trayectoria óptica del segundo sistema óptico se intersecan entre sí.
2. Aparato, según la reivindicación 1, en el que
la primera superficie reflectante y la segunda superficie reflectante del primer elemento reflectante y respectivamente del segundo elemento reflectante son superficies opuestas entre sí,
la pluralidad de las superficies reflectantes del primer sistema óptico y del segundo sistema óptico son cuatro superficies reflectantes, respectivamente, y
dicho plano formado y rodeado por la primera trayectoria óptica del primer sistema óptico y dicho plano formado y rodeado por la segunda trayectoria óptica del segundo sistema óptico se intersecan entre sí de modo que la línea de intersección está dispuesta entre el primer y el segundo elementos reflectantes.
3. Aparato de procesamiento que comprende:
el aparato óptico según la reivindicación 1 o 2.
4. Aparato, según la reivindicación 3, que comprende, además, un elemento óptico configurado para dirigir luz, que ha salido del aparato óptico, a un objeto.
5. Procedimiento de fabricación de un artículo, comprendiendo el procedimiento las etapas de:
procesar un objeto utilizando el aparato de procesamiento según la reivindicación 3 o 4; y
procesar el objeto procesado para fabricar el artículo.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014231050 | 2014-11-13 | ||
| JP2015207497A JP6595879B2 (ja) | 2014-11-13 | 2015-10-21 | 光学装置、加工装置、および、物品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2705354T3 true ES2705354T3 (es) | 2019-03-22 |
Family
ID=56089448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES15003083T Active ES2705354T3 (es) | 2014-11-13 | 2015-10-28 | Aparato óptico, aparato de procesamiento y procedimiento de fabricación de artículo |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JP6595879B2 (es) |
| KR (1) | KR101959775B1 (es) |
| ES (1) | ES2705354T3 (es) |
| TW (1) | TWI604220B (es) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6851751B2 (ja) | 2016-08-30 | 2021-03-31 | キヤノン株式会社 | 光学装置、加工装置、および物品製造方法 |
| BE1026484B1 (fr) * | 2018-07-24 | 2020-02-25 | Laser Eng Applications | Méthode et dispositif optique pour fournir deux faisceaux laser décalés |
| JP7412925B2 (ja) | 2019-08-26 | 2024-01-15 | キヤノン株式会社 | 光学装置、および、物品の製造方法 |
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| JP4386137B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-12-16 | トヨタ自動車株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
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| CN203817621U (zh) * | 2013-12-03 | 2014-09-10 | 张立国 | 一种激光分束振镜扫描加工装置 |
-
2015
- 2015-10-21 JP JP2015207497A patent/JP6595879B2/ja active Active
- 2015-10-28 ES ES15003083T patent/ES2705354T3/es active Active
- 2015-11-09 TW TW104136871A patent/TWI604220B/zh active
- 2015-11-13 KR KR1020150159566A patent/KR101959775B1/ko active IP Right Grant
-
2019
- 2019-09-24 JP JP2019173403A patent/JP2020073966A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6595879B2 (ja) | 2019-10-23 |
| JP2020073966A (ja) | 2020-05-14 |
| KR101959775B1 (ko) | 2019-03-19 |
| KR20160057341A (ko) | 2016-05-23 |
| TW201617684A (zh) | 2016-05-16 |
| JP2016103007A (ja) | 2016-06-02 |
| TWI604220B (zh) | 2017-11-01 |
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