JP6695610B2 - レーザ加工装置、および、レーザ加工方法 - Google Patents
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Description
前記被加工物を前記所定の方向に直交する方向に移動し、前記ポリゴンミラーを回転駆動することで、分岐したレーザ光線を前記一方向に偏向させて、孔が千鳥状に配置されるように加工することを特徴とする。
このレーザ加工装置は、レーザ光線を発する光源Sと、光源Sから発せられるレーザ光線Lを反射して偏向走査させる偏向体としての、回転駆動され、複数のミラー面を備えたポリゴンミラー2と、ポリゴンミラー2により反射された光線をさらに集光レンズ4に導くベンドミラー3と、被加工物Wの表面またはその近傍にレーザ光線の焦点を結ばせる集光レンズ4と、光源Sとポリゴンミラー2との間のレーザ光線Lの光路中にレーザ光線Lを複数の光線に分岐させる回折格子1と、を備えている。
L レーザ光線
1 回折格子
2 ポリゴンミラー
3 ベンドミラー
4 集光レンズ
W ワーク
Claims (4)
- レーザ光線を発する光源と、
前記光源から発せられるレーザ光線を反射して偏向走査させる複数のミラー面を備え回転駆動されるポリゴンミラーと、
被加工物表面または当該表面近傍に前記ポリゴンミラーにより反射されるレーザ光線の焦点を結ばせる集光レンズと、
前記レーザ光線の光路中に設けられて当該レーザ光線を所定の一方向に直線上に分岐させる回折格子と、を少なくとも備え、
前記ポリゴンミラーが回転駆動されることにより、分岐された複数の光線が前記一方向に偏向され、前記被加工物に対して千鳥状に配置されるように孔開け加工することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記回折格子が、前記レーザ光線を同一平面内の複数の光線に分岐させる回折格子であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- シリンドリカルレンズを前記集光レンズの前記レーザ光線出射側に備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置を用いたレーザ加工方法であって、
前記光源が発したレーザ光線を、前記回折格子が所定の一方向に直線上に分岐して孔開け加工した後、
前記被加工物を前記所定の方向に直交する方向に移動し、
前記ポリゴンミラーを回転駆動することで、分岐したレーザ光線を前記一方向に偏向させて、孔が千鳥状に配置されるように加工することを特徴とするレーザ加工方法。
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