KR101415918B1 - 레이저 멀티 스캔 장치 - Google Patents

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백승환
김택겸
김덕호
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Abstract

본 발명은 레이저 빔을 이용한 스캔 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 동시에 복수의 영역을 할 수 있으며, 최종 스캔 영역에 형성된 레이저 빔의 초점의 크기를 줄여 이미지 분해능을 향상시킬 수 있는 레이저 멀티 스캔 장치에 관한 것이다.

Description

레이저 멀티 스캔 장치{LASER MULTI-SACN APPARATUS}
본 발명은 레이저 빔을 이용한 스캔 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 동시에 복수의 영역을 할 수 있으며, 최종 스캔 영역에 형성된 레이저 빔의 초점의 크기를 줄여 이미지 분해능을 향상시킬 수 있는 레이저 멀티 스캔 장치에 관한 것이다.
일반적으로 레이저 스캔 장치는 입시되는 레이저 빔을 일정 방사각 내에서 경로가 연속적으로 변경되도록 편향시키는 스캐너가 이용된다. 스캔은 고속으로 작동될 수록 효율이 좋다. 그러나 스캐너의 작동 속도는 한계가 있으며, 이는 스캔 속도에 직접적인 영향을 미쳐 스캔을 고속화하는데 한계가 있다. 이에 고속으로 스캔할 수 있는 스캔 장치가 필요하였다.
본 발명의 목적은, 고속 스캔을 위해, 복수의 영역을 동시에 스캔하는 레이저를 이용하는 멀티 스캔 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 멀티 스캔 장치는 복수의 레이저 진행 경로에 따른 복수의 광학계를 효율적으로 배치하기 위해, 실린더형 광학계 또는 구형 렌즈의 일부를 이용하는 멀티 스캔 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
본 발명에 따른 멀티 스캔 장치는 실린더형 릴레이 광학계를 이용하여, 초점의 크기를 작게 하여 더 높은 해상도를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
본 발명에 따른 레이저 멀티 스캔 장치는, 입사된 레이저 빔을 스캐너 제어 신호에 따라 일정 방사각으로 경로를 연속적으로 변경되도록 반사하는 스캐너, 상기 스캐너에 의해 반사된 레이저빔을 측정 대상물에 주사하는 주사 광학계를 포함하고, 상기 주사 광학계는 복수의 레이저 빔을 상기 측정 대상물에 주사할 수 있다.
본 발명에 따른 멀티 스캔 장치는 복수의 영역을 동시에 스캔할 수 있어 고속 스캔이 가능하다. 또한 구형 렌즈의 일부로 형성된 협렌즈를 이용하여 각 부품의 공간 배치의 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 멀티 스캔 장치는 실린더형 릴레이 광학계를 도입하여, 최종 초점 위치에서의 초점 크기를 줄여 이미지 분해능을 향상시킬 수 있다.
도 1은 스캔 장치의 개념도,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스캔 장치를 도시한 사시도,
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스캔 장치의 사시도,
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스캔 장치의 사시도,
도 5는 본 발명의 또 따른 일실시예에 스캔 장치의 사시도 및 빔경로에 따른 전개도,
도 6은 본 발명의 또 따른 일실시예에 따른 스캔 장치의 사시도,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 멀티 스캔 장치의 사시도,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티 스캔 장치의 사시도,
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 멀티 스캔 장치를 도시한 사시도,
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 멀티 스캔 장치를 도시한 사시도, 및
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 집광 렌즈에 대한 육면도 일부를 도시한다.
제 1, 제 2등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 또한 네트워크 상의 제1 구성요소와 제2 구성요소가 연결되어 있거나 접속되어 있다는 것은, 유선 또는 무선으로 제1 구성요소와 제2 구성요소 사이에 데이터를 주고 받을 수 있음을 의미한다.
또한, 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "계", "모듈" 및 "부"는 단순히 본 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되는 것으로서, 그 자체로 특별히 중요한 의미 또는 역할을 부여하는 것은 아니다. 따라서, 상기 "계", "모듈" 및 "부"는 서로 혼용되어 사용될 수도 있다. 이와 같은 구성요소들은 실제 응용에서 구현될 때 필요에 따라 2 이상의 구성요소가 하나의 구성요소로 합쳐지거나, 혹은 하나의 구성요소가 2 이상의 구성요소로 세분되어 구성될 수 있다.
본 설명에서, 광학계는 하나의 광학 기구이거나 복수의 광학 기구 조합으로 구성될 수 있다. 또한 어느 광학 기구가 어느 광학계에 속한다고 하더라도 이는 설명의 편의일 뿐, 위 어느 광학 기구는 별도로 독립된 계를 구성할 수 있다. 이에 각 광학 기구가 어느 광학계에 속하는 지 특별히 언급하지 않으면서 서술하기로 한다.
횡모드는 광이 진행하는 축 즉, 광축에 수직인 광의 단면을 의미한다. 횡모드 성분은 광의 단면 중 어느 한 축의 광 성분을 의미한다. 제1 및 제2 횡모드 방향은 서로 수직인 것이 바람직하다. 이하, "제1 횡모드 방향"는 광축에 수직인 임의의 축으로서, 제1 축, 제1 방향, (x, y, z) 축 중 어느 한 축 또는 그 방향, 수평 및 수직 중 어느 한 축 또는 그 방향, 종방향 및 횡방향 등으로 혼용하여 서술하기로 한다. 특히 종방향(수직방향) 및 횡방향(수평방향)과 관련하여, 종방향은 레이저 빔의 경로에 의한 평면의 법선 방향을, 횡방향은 종방향 및 레이저 빔의 경로 방향에 각각 수직인 방향을 의미하거나, 지면과의 관계에서 방향이 정해질 수 있다. 아울러 "제1 횡모드"는 제1 축(방향) 성분이 제일 큰 성분을 가지는 것을 의미하기로 한다. 제1 횡모드 성분은 제1 성분으로 지칭할 수도 있다.
이하 도면을 참조하며 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 스캔 장치의 개념도를 나타낸다.
도 1에 도시된 스캔 장치는 레이저를 발진하는 레이저 발진부(1), 일 정점을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 스캐너(10) 및 타겟 평면(TP) 상에 초점을 형성하기 위하여 스캐너(10)에 의하여 진행 방향이 조절된 평행한 레이저 빔을 투과시켜 집광시키는 집광 렌즈(20)를 포함한다.
레이저 발진부에서 발진하는 레이저 빔은 실질적으로 평행하거나 수렴하는 것이 바람직하다. 레이저 발진부는 발진한 레이저 빔을 평행하게 하거나 수렴하도록 하는 집광 광학계를 더 구비할 수 있다. 본 실시예에서 레이저 빔은 모든 횡모드 성분이 실질적으로 동일한 대칭형(횡모드가 원형, 또는 광속이 평행)인 것으로 도시하였으나, 응용에 따라 비대칭형 횡모드(비평행형 광속)를 가질 수 있다. 도 1에서, 레이저 발진부(1)는 양의 y축 방향에 배치된 스캐너(10)를 향해 레이저를 주사한다.
스캐너(10)는 제어 장치(미도시)에서 제공되는 스캐너 제어 신호에 따라 입사되는 레이저 빔을 일정 방사각 내에서 경로가 연속적으로 변경되도록 편향시킬 수 있다. 구체적으로 스캐너(10)의 구동에 따라, 경로가 R2인 입사빔의 반사 경로는 R3에서 R4를 거쳐 R5로 변화될 수 있다. 이러한 경로 변화는 연속적이므로, 반사 경로 R3, R4, 및 R5 사이에는 도시되지 않은 무수히 많은 반사 경로들이 존재한다. 반사 빔 R3, R4, 및 R5의 거동은 도시되지 않은 다른 빔들에 대해서도 적용될 수 있다. 스캐너(10)에 의해 반사되어 일정 방사각으로 경로가 연속적으로 변경되는 반사 빔을 방사형 다경로 (레이저) 빔 또는 편향 (레이저) 빔이라 지칭하기로 한다.
스캐너(10)는 갈바노미터, 폴리곤 미러, 공진형 스캐너(resonant scanner), 음향 편향 장치(acousto-optic deflector) 등을 포함할 수 있다. 스캐너(10)는 스캐너 제어 신호에 따라 작동이 온/오프되거나, 편향 주기가 변경될 수 있다.
집광 렌즈(20)는 스캐너(10)에 의한 다경로 빔들(R3, R4, R5)이 진행하는 경로 상에 배치된다. 집광 렌즈(20)의 초점이 f인 경우, 집광 렌즈(20)와 타겟 평면(TP) 사이의 거리 또는 집광 렌즈(20)와 스캐너(10) 사이의 거리는 f인 것이 바람직하다. 집광 렌즈(20)는 구형 볼록 렌즈로 구성될 수 있다. 집광 렌즈(20)는 스캐너(10)에 의해 반사된 다경로 레이저 빔(R3, R4, R5)이 타겟 평면(TP)에 수직으로 수렴되도록 주사할 수 있다. 집광 렌즈(20)의 초점은 집광 렌즈(20)를 투과한 레이저 빔들(R6, R7, R8)은 서로 평행한 경로를 진행하며, 서로 평행한 경로를 진행하는 빔을 평행형 다경로 레이저 빔(R6, R7, R8)이라 지칭하기로 한다. 집광 렌즈(20)의 초점은 집광 렌즈(20)를 투과한 레이저 빔들(R6, R7, R8)에 의한 스캔 라인(SL)의 폭에 연관될 수 있다.
타겟 평면(TP) 상에는 스캐너(10)가 회전함에 따라 스캔 라인(SL)을 따라 다수개의 초점이 형성될 수 있다. 확대 표시된 것(S)은 레이저 빔의 초점(focual spot)을 나타낸다. 레이저 빔의 파장을 λ, 집광 렌즈(20)의 초점 거리를 f, 집광 렌즈(20)로 입사되는 레이저 빔의 직경을 D 라 할 때, 상기 레이저 빔의 포컬 스폿 사이즈 d 는 수학식 1로 알려져 있다.
Figure 112013092831001-pat00001
타겟 평면(TP)에 형성되는 레이저 빔의 크기(d)가 크면 표면 형상 측정시 이미지 분해능이 저하되고, 레이저 가공시 가공 선폭 분해능이 저하될 수 있다. 따라서, d를 작게 하려면 D를 크게 하거나 f를 작게 할 필요성이 있다. 그러나 집광 렌즈(20)에 입사되는 빔의 직경(D)은 스캐너(10)의 사이즈 제한으로 인해 최대 크기에 한계가 있다. 집광 렌즈(20)의 초점 거리 f를 줄이게 되면 스캔 폭이 적어지고, 레이저 빔의 왜곡이 심해지고, 집광 렌즈(20)의 가격이 상승될 수 있다.
본 실시예에 따른 스캔 장치는 상면에 타겟을 배치하는 스테이지(50)를 더 포함할 수 있다. 스캔 장치는 y축의 일정 폭(SL)을 스캔 한 후 스테이지(50)를 x축 방향으로 이송하도록 하는 이송장치를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 따른 스캔 장치는 타겟 평면(TP)에 반사된 레이저 빔의 강도를 검출하는 검출부(6)를 더 포함할 수 있다. 스캔 장치는 타겟 평면(TP)에 반사된 레이저 빔이 검출부(6)로 향하도록 하는 빔 분할부(30)를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 따른 스캔 장치의 스캔 방법은 레이저 발진부(1)에서 주사된 레이저는 경로 R1 (이하 "레이저 빔 R1"과 혼용)는 빔 분할부(30)에 의해 일부는 y축 방향으로 투과하고 나머지는 양의 z축 방향으로 반사된다. 빔 분할부(30)를 투과한 레이저 R2는 스캐너(10)에 의해 다경로 빔(R3, R4, F5)으로 반사된다. 다경로 빔(R3, R4, F5)은 집광 렌즈(20)에 의해 평행형 빔(R6, R7, R8)이 되어 타겟 평면(TP)에 초점이 형성된다. 타겟 평면에 의해 반사된 빔은 역으로(경로(R6, R7, R8), 경로(R3, R4, F5), 경로(R2)) 빔 분할부(30)까지 경로를 형성하고, 빔 분할부(30)에 의해 일부 빔(R9)는 음의 z축 방향으로 반사되어 검출부(6)에 도달하게 된다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스캔 장치를 도시한 사시도이다.
도 2를 참조하면, 스캔 장치는 레이저 빔을 발진하는 레이저 발진부(1), 제어 장치(미도시)에서 제공되는 스캐너 제어 신호에 따라 입사되는 레이저 빔을 일정 방사각 내에서 경로가 연속적으로 변경되도록 편향시키는 스캐너(10), 타겟 평면(TP) 상에 초점을 형성시켜 스캔 라인(SL)이 형성되도록 스캐너(10)에 의하여 진행 방향이 조절된 평행한 레이저 빔을 투과시켜 집광시키는 집광 렌즈(20), 타겟 평면(TP)에 의해 반사된 레이저 빔을 특정 위치로 굴절시키는 수광 렌즈(25), 및 수광 렌즈(25)의 초점 위치에 배치되어 타겟 평면(TP)에서 반사된 빔의 강도를 측정하는 검출부(7)를 포함할 수 있다. 수광 렌즈(25)는 구형 볼록 렌즈로 구성될 수 있다.
도 1에 도시된 스캔 장치는 타겟 평면에서 반사된 빔의 경로와 타겟 평면으로 입사되는 빔의 경로 중 일부가 중복되나, 도 2에 도시된 스캔 장치는 타겟 평면에서 반사된 빔의 경로와 타겟 평면으로 입사되는 빔의 경로가 다르다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스캔 장치의 사시도이다. 도 1을 참조한다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 스캔 장치는 도 1에 도시된 스캔 장치의 구성에 릴레이 광학계(60)를 더 포함할 수 있다. 도 3에서 검출부는 생략되었다.
릴레이 광학계(60)는 스캐너(10)에 의한 방사형 다경로 빔(편향 빔)을 다른 위치로 변경하거나, 레이저 빔의 초점 위치를 조절할 수 있다. 릴레이 광학계(60)에 의해 이동된 편향 빔은 스캐너(10)에 의한 부채꼴 형상의 편향 빔과 동일하거나 방사각이 다른 부채꼴 형상의 편향빔일 수 있다. 이는 후술할 릴레이 광학계(410)를 구성하는 광학기의 초점 거리에 따라 달라질 수 있다.
릴레이 광학계(60)는 스캐너(10)에 의한 편향 빔을 투과시켜 가상 평면(VP) 상에 초점을 형성시키며 초점 거리 f1 인 제1 볼록 렌즈(62), 가상 평면(VP)을 통과한 레이저 빔을 투과시키며 초점 거리 f2 이고 제1 볼록 렌즈(21)로부터 거리 L = f1 + f2 만큼 이격되어 배치되는 제2 볼록 렌즈(64)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 볼록 렌즈(62, 64)의 초점 거리가 같은 경우, 제2 볼록 렌즈(64)를 투과한 다경로 레이저 빔이 형성하는 방사형 다경로 레이저 빔의 경로 형상은 스캐너(10)에 의한 다경로 레이저 빔의 경로 형상과 동일할 수 있다.
도 3을 참조하면 제1 볼록 렌즈(62)의 초점 거리 f1 과 제2 볼록 렌즈(64)의 초점 거리 f2 를 조절함으로써, 집광 렌즈(20)에 입사하는 빔의 직경(D)을 크게 할 수 있는 장점이 있다. 그러나, f1 과 f2를 조절하는 것은 일정한 한계가 있을 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스캔 장치의 사시도이다. 도 3을 참조한다.
도 4에 도시된 스캔 장치는 도 3에 도시된 스캔 장치에 비해 반사부(70)를 더 포함할 수 있다. 반사부(20)는 스캔 방향을 조절할 수 있다.
도 1 내지 도 4에 도시된 스캔 장치는 빔의 포컬 스폿(spot)의 횡방향과 종방향 사이즈를 동일한 크기로 조절할 수 밖에 없다.
도 5는 본 발명의 또 따른 일실시예에 스캔 장치의 사시도 및 빔경로에 따른 전개도이다. 도 3을 참조한다.
도 5를 참조하면, 스캔 장치는 레이저 발진부, 스캐너(10), 실린더형 릴레이 광학계(70), 및 집광 렌즈(20)을 포함할 수 있다.
레이저 발진부(미도시)는 광속이 평행인 레이저 빔을 스캐너(10)에 주사할 수 있다. 레이저 발진부는 응용에 따라 비대칭형 횡모드(비평행형 광속)를 가지는 레이저 빔을 발진할 수도 있다.
스캐너(10)는 제어 장치(미도시)에서 제공되는 스캐너 제어 신호에 따라 입사되는 레이저 빔을 일정 방사각으로 경로가 연속적으로 변경되도록 편향하여, 편향 빔(L1, L2, L3)을 릴레이 광학계(70)로 입사되도록 할 수 있다.
실린더형 릴레이 광학계(70)는 실린더형 광학기를 구비할 수 있다. 실린더형 광학기는 일방향으로만 곡률을 가져, 입사 빔을 1차원 방향으로만 집광 또는 확산되도록 투과 또는 반사시키는 광학기를 의미한다. 제1 방향 실린더형 광학기는 입사빔의 제1 방향 성분을 집광 또는 확산되도록 하는 실린더형 광학기를 의미하기로 한다. 실린더형 렌즈는 투과형을 의미하며, 실린더형 거울은 반사형을 의미한다. 실린더형 렌즈는 여러 형상을 가질 수 있다. 예를 들어 일 측면만 곡률을 가지거나(입사면 또는 출사면), 양 측면(입사면 및 출사면) 모두 곡률을 가질 수도 있다.
실린더형 릴레이 광학계(70)는 제1 및 제2 실린더형 렌즈(72, 74)로 구성될 수 있다. 제1 및 제2 실린더형 렌즈(72, 74)는 실린더형 볼록 렌즈인 것이 바람직하다. 실린더형 렌즈를 사용함으로써 입사 빔의 특정 횡모드 성분의 발산 정도를 변경시킬 수 있어, 초점의 한 축 사이즈를 조절할 수 있다. 제1 및 제2 실린더형 렌즈(420, 430)는 수평 방향으로만 곡률을 가지는 것이 바람직하다. 입사하는 방사형 다경로 빔이 형성하는 평면이 수평면이기 때문이다. 실린더형 광학기를 이용하는 경우, 구형 렌즈와 달리, 렌즈 크기에 따른 배치에 제한을 덜 받을 수 있다.
제1 실린더형 렌즈(420)는 입사되는 방사형 다경로 레이저 빔의 경로가 제1 실린더형 렌즈(420)의 광축과 평행하도록 입사되는 편향 빔을 굴절시킨다. 제1 실린더형 렌즈(420)를 투과한 서로 평행한 경로의 다경로 빔을 평행형 다경로 빔이라 지칭하기로 한다. 제1 실린더형 렌즈(420)는 입사 빔의 수평 성분이 수렴되도록 할 수 있다. 투과 빔의 광속이 수렴되는 위치는 제1 실린더형 렌즈(420)의 초점거리(f3)와 실질적으로 동일할 수 있다.
제2 실린더형 렌즈(74)는 제1 실린더형 렌즈(72)를 투과한 평행형 다경로 빔이 제2 실린더형 렌즈(74)의 투과면 방향의 초점(f4)을 통과하도록 평행형 다경로 빔을 굴절시킨다. 제2 실린더형 렌즈(74)는 입사되는 빔의 수평 성분의 발산 정도를 변화시킨다. 본 실시예에서 제1 및 제2 실린더형 렌즈(72, 74)의 빔 이동 거리는 제1 및 제2 실린더형 렌즈(72, 74)의 초점 거리들(f3, f4)의 합과 동일한 것이 바람직하다. 이 경우, 발산하는 입사빔은 제2 실린더형 렌즈(430)에 의해 평행빔으로 변경된다.
집광 렌즈(20)는 제2 실린더형 렌즈(74)을 투과한 레이저 빔이 진행하는 경로 상에 배치된다. 집광 렌즈(74)의 광축과 제2 실린더형 렌즈(74)의 광축은 일치하는 것이 바람직하다. 집광 렌즈(20)는 제2 실린더형 렌즈(74)을 투과한 레이저 빔이 타겟 평면(TP)에 수렴되도록 주사할 수 있다. 집광 렌즈(20)는 구형 볼록 렌즈인 것이 바람직하다.
제1 및 제2 실린더형 렌즈(72, 74)의 초점 거리들(f3, f4)의 크기를 적절히 선택하면, 제1 실린더형 렌즈(72)에 입사하는 빔의 수평 성분 크기와 비해 제2 실린더형 렌즈(74)을 투과하는 빔의 수평 성분 크기의 비율을 조절할 수 있다. 조절되는 비율은 수학식 1에 연관될 수 있다. 아울러 집광 렌즈(20)의 초점(f)의 크기와 그 위치를 조절하면, 집광 렌즈(20)에 입사되는 빔의 크기를 크게 하여 집광 렌즈(20)에 의한 초점의 크기를 수학식 1에 의해 더 작게 할 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 따른 일실시예에 따른 스캔 장치의 사시도이다. 도 5를 참조한다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 스캔 장치는 레이저 발진부(미도시), 스캐너(10), 실린더형 릴레이 광학계(80), 및 대상 렌즈(20)을 포함할 수 있다. 실린더형 릴레이 광학계(70)는 실린더형 오목 거울(82), 평면 거울(83), 및 제3 실린더형 렌즈(84)를 구비할 수 있다.
도 6의 스캔 장치는 도 6의 스캔 장치와 대부분 대응되며, 실린더형 릴레이 광학계만 서로 상이하다. 대응하는 구성요소에 대한 설명은 생략한다.
실린더형 릴레이 광학계(80)는 스캐너(10)에 의해 편향된 방사형 다경로 레이저 빔을 다른 위치로 이동시킬 수 있다. 도 5의 실린더형 릴레이 광학계(70)의 제1 실린더형 렌즈(72) 대신 실린더형 오목 거울(82)을 이용하여 스캐너(10)에 의한 방사형 다경로 레이저 빔(L1, L2, L3)을 평행형 다경로 레이저 빔으로 변환하였다. 실린더형 오목 거울(82)은 오목한 부분에 반사 물질이 도포되거나 반사판이 부착된 것이 바람직하다. 실린더형 볼록 렌즈의 경우 빔이 투과하여 왜곡이 발생할 수 있으나, 실린더형 오목 거울의 경우 빔이 투과하지 않으므로 매질 투과에 따른 왜곡이나 오차를 줄이거나 없앨 수 있다.
평면 거울(83)은 실린더형 오목 거울(82)에 의해 반사된 평행형 다경로 빔의 경로를 적절한 방향으로 변경할 수 있다. 본 장치를 구성하는 요소들의 배치에 의해 평면 거울(83)을 이용하여 타겟 평면(TP)으로 빔이 경로를 변경할 필요가 있는 경우 유용할 수 있다. 아울러, 실린더형 오목 거울의 입사 빔과 반사 빔의 반사 각도가 큰 경우 왜곡이나 오차가 발생할 수 있어, 평면 거울(530)을 이용하여 상기 반사 각도를 줄일 수 있다. 따라서 실린더형 오목 거울(520)에 입사하는 빔과 반사하는 빔의 경로에 따른 각도는 작을 수록(0에 가까울 수록) 바람직하다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 멀티 스캔 장치의 사시도이다. 도 1을 참조하며, 도 1과 대응하는 구성요소에 대한 자세한 설명은 생략한다.
도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 레이저 빔을 발진하는 제1 및 제2 레이저 발진기(101, 102), 입사된 레이저 빔을 스캐너 제어 신호에 따라 일정 방사각 내에서 경로가 연속적으로 변경되도록 반사하는 스캐너(10), 스캐너에 의해 반사된 레이저빔을 측정 대상물에 주사하는 제1 및 제2 집광 렌즈(130, 135)를 포함할 수 있다.
제1 레이저 발진기(101)에서 발진하는 빔 L01 및 제2 레이저 발진기(102)에서 발진하는 빔 L02의 진행 경로는 서로 상이하며, 양 빔 L01 및 L02는 스캐너(10)를 향해 진행한다. 빔 L01 및 L02는스캐너(10)에 의해 각각 경로 L11에서 경로 L12를 포함하는 다중 경로 및 경로 L21에서 경로 L22를 포함하는 다중 경로로 진행하게 된다. 빔 L01 및 L02는 스캐너(10)의 회전 중심 축을 향하는 것이 바람직하다.
제1 레이저 발진기(101)에 의한 제1 다중 경로 빔(L11, L12)는 제1 집광 렌즈(130)에 의해 서로 평행한 경로를 진행하는 빔이 되어 스테이지(20) 상에 배치된 타겟 평면을 스캔하게 된다.
제2 레이저 발진기(102)에 의한 제2 다중 경로 빔(L21, L22)는 제2 집광 렌즈(135)에 의해 서로 평행한 경로를 진행하는 빔이 되어 스테이지(20) 상에 배치된 타겟 평면을 스캔하게 된다. 동시간대 제2 레이저 발진기(102)에 의한 스캔 영역과 제1 레이저 발진기(101)에 의한 스캔 영역은 서로 상이하다. 즉 한 번에 복수의 영역을 스캔할 수 있어, 스캔 시간을 단축시킬 수 있다. 제2 레이저 발진기(102)에 의한 스캔 방향과 제1 레이저 발진기(101)에 의한 스캔 방향은 서로 평행한 것이 바람직하다.
본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 스테이지를 이동시키는 이송부(미도시) 및 상기 이송부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다. 이송부는 제1 및 제2 레이저 발진기(101, 102)에 의한 복수의 레이저 빔의 타겟 평면으로의 입사 방향(xy평면 방향) 및 제1 및 제2 레이저 발진기(101, 102)에 의한 복수의 레이저 빔의 타겟 평면에서의 스캔 방향(x축 방향)에 각각 상이한 y축 방향으로 이송부가 이송되도록 제어할 수 있다. 제1 및 제2 레이저 발진기(101, 102)에 의한 복수의 레이저 빔에 의한 1차원 스캔이 완료되면, 제어부는 타겟의 다음 스캔 라인이 스캔되도록 이송부가 길이 d1 만큼 y축 방향으로 이송되도록 제어할 수 있다. 제1 및 제2 레이저 발진기(101, 102)에 의한 복수의 레이저 빔에 의한 스캔 영역이 중복되지 않도록, 제어부는 이송부가 길이 d2 만큼 y축 방향으로 이송되도록 제어할 수 있다. 길이 d1은 길이 d2 보다 작은 것이 바람직하다. 제어부는 길이 d2 이송 제어를 길이 d1 이송 제어 보다 우선적으로 처리되도록 제어하는 것이 바람직하다.
제1 및 제2 집광 렌즈(130, 135)는 서로 간격이 좁아, 일반적인 구형 렌즈를 사용하는데 무리가 있을 수 있다. 이에 제1 및 제2 집광 렌즈(130, 135)는 구형 렌즈의 일부로 형성되는 것이 바람직하다. 구형 렌즈의 일부로 형성된 렌즈에 대해서는 도 11을 참조한다.
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 집광 렌즈에 대한 육면도 일부를 도시한다.
도 11(a)의 이점 쇄선은 일반 구형 렌즈가 절단되는 선을 표시한 것이다. 도 11의 (b) 내지 (e)는 도 11(a)의 이점 쇄선에 의해 절단된 이후의 협렌즈의 사시도, 평면도, 우측면도 및 정면도를 도시한 것이다. 도 7에 도시된 제1 다중 경로 빔(L11, L12) 및 제2 다중 경로 빔(L21, L22)은 실질적으로 2차원 평면을 가진다. 따라서 도 11에 도시된 구형 렌즈의 일부인 협렌즈는 입사빔의 경로를 변경 할 수 있으면서, 부피를 적게 차지할 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티 스캔 장치의 사시도이다. 도 1을 참조하며, 도 1과 대응하는 구성요소에 대한 자세한 설명은 생략한다.
도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 레이저 빔을 발진하는 레이저 발진기(201), 입사된 레이저 빔을 스캐너 제어 신호에 따라 일정 방사각 내에서 경로가 연속적으로 변경되도록 편향하는 스캐너(10), 입사된 레이저 빔을 복수의 빔으로 분광하는 빔 분할기(250), 및 빔 분할기(250)에서 분광된 복수의 레이저 빔을 측정 대상물에 주사하는 제3 및 제4 집광 렌즈(230, 235)를 포함할 수 있다.
레이저 발진기(201)에서 발진하는 빔 L0는 스캐너(10)에 의해 다중 경로(L1, L2, L3)를 진행하게 된다.
방사형 다중 경로 빔들(L1, L2, L3)는 빔 분할기에 의해 제3 다중 경로 빔(L11, L12, L13) 및 제4 다중 경로 빔(L21, L22, L23)으로 분할된다. 제3 다중 경로 빔(L11, L12, L13) 및 제4 다중 경로 빔(L21, L22, L23) 각각은 제3 및 제4 집광 렌즈(230, 235)에 의해 각각 평행 다중 경로 빔으로 되어 스테이지(20) 상에 배치된 타겟 평면을 스캔하게 된다. 제3 다중 경로 빔(L11, L12, L13) 및 제4 다중 경로 빔(L21, L22, L23)에 의해 동시간대 복수의 영역을 스캔할 수 있어, 스캔 시간을 단축할 수 있다.
본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 스테이지를 이동시키는 이송부(미도시) 및 상기 이송부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다. 제어부는 이송부의 y축 방향으로의 이동 속도를 상이하게 제어하여, 제3 다중 경로 빔(L11, L12, L13) 및 제4 다중 경로 빔(L21, L22, L23)에 의한 다중 스캔 영역이 중첩되지 않도록 할 수 있다. 이에 대한 상세한 기술은 도 7을 참조할 수 있다.
제3 및 제4 집광 렌즈(230, 235)는 부피를 적게 차지하는 것이 바람직하다. 이에 제3 및 제4 집광 렌즈(230, 235)는 도 11에 도시된 구형 렌즈의 일부인 협렌즈인 것이 바람직하다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 멀티 스캔 장치를 도시한 사시도이다. 도 5 및 도 7을 참조한다. 본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 도 7의 멀티 스캔 장치에 릴레이 광학부를 추가하여 레이저 빔의 초점 거리를 이동시킬 수 있는 장치에 대응할 수 있다. 릴레이 광학부는 도 5에 도시된 실린더형 릴레이 광학부인 것이 바람직하다. 도 9의 구성요소 중 도 5 및 도 7의 대응하는 구성요소에 대한 자세한 설명은 위에서 설명된 내용으로 대체될 수 있다.
도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 레이저 빔을 발진하는 제1 및 제2 레이저 발진기(101, 102), 입사된 레이저 빔을 스캐너 제어 신호에 따라 일정 방사각 내에서 경로가 연속적으로 변경되도록 반사하는 스캐너(10), 스캐너(10)에 의해 반사된 각각의 레이저빔을 릴레이하는 제1 릴레이 광학부(160, 165) 및 제2 릴레이 광학부(170, 175), 제1 및 제2 릴레이 광학부를 통과한 각각의 레이저 빔을 반사하는 제1 및 제2 반사경(115, 117), 및 제1 및 제2 반사경(115, 117)에 의해 반사된 각각의 빔을 측정 대상물에 주사하는 제1 및 제2 집광 렌즈(130, 135)를 포함할 수 있다.
제1 릴레이 광학부(160, 165) 및 제2 릴레이 광학부(170, 175)를 구성하는 각각의 렌즈(160과 165, 170과 175)는 도 5에 도시된 것과 같은 실린더형 볼록 렌즈인 것이 바람직하다. 본 실시예에서 릴레이 광학부는 도 5의 릴레이 광학부가 이용되었지만 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 도 6에 도시된 실린더형 오목 거울이 구비된 릴레이 광학부가 이용될 수 있다. 본 실시예에 따른 실린더형 릴레이 광학부에 의해 타겟 평면에서의 레이저 빔은 더 작은 초점 반경을 형성할 수 있다.
본 실시예에서 스캔용 레이지 빔의 진행경로 및 스테이지(20)에 대한 다른 구성요소의 배치가 허락되면, 제1 및 제2 반사경(115, 117)이 사용되지 않을 수 있다.
제1 및 제2 집광 렌즈(130, 135)는 도 11에 도시된 구형 렌즈의 일부로 형성된 협렌즈인 것이 바람직하다.
본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 스테이지(20)를 적절하게 이동되도록 하여, 중첩 스캔 영역을 회피하도록 하는 이송부 및 제어부를 더 포함할 수 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 멀티 스캔 장치를 도시한 사시도이다. 도 5 및 도 8을 참조한다. 본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 도 8의 멀티 스캔 장치에 릴레이 광학부를 추가하여 레이저 빔의 초점 거리를 이동시킬 수 있는 장치에 대응할 수 있다. 릴레이 광학부는 도 5에 도시된 실린더형 릴레이 광학부인 것이 바람직하다. 도 10의 구성요소 중 도 5 및 도 7의 대응하는 구성요소에 대한 자세한 설명은 위에서 설명된 내용으로 대체될 수 있다.
도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 레이저 빔을 발진하는 레이저 발진기(201), 입사된 레이저 빔을 스캐너 제어 신호에 따라 일정 방사각 내에서 경로가 연속적으로 변경되도록 편향하는 스캐너(10), 입사된 레이저 빔을 복수의 빔으로 분광하는 빔 분할기(250), 빔 분할기(250)에서 분광된 복수의 레이저 빔 각각을 릴레이하는 제3 릴레이 광학부(260, 265) 및 제4 릴레이 광학부(270, 275), 제3 릴레이 광학부(260, 265) 및 제4 릴레이 광학부(270, 275)에 의해 초점 위치가 릴레이된 각각의 레이저 빔을 스테이지(20) 방향으로 반사시키는 제3 및 제4 반사경(215, 217), 및 제3 및 제4 반사경(215, 217)에 의해 반사된 각각의 레이저 빔을 스테이지(20) 상의 측정 대상물에 주사하는 제3 및 제4 집광 렌즈(230, 235)를 포함할 수 있다.
제3 릴레이 광학부(260, 265) 및 제4 릴레이 광학부(270, 275)를 구성하는 각각의 렌즈(260과 265, 270과 275)는 도 5에 도시된 것과 같은 실린더형 볼록 렌즈인 것이 바람직하다. 본 실시예에서 릴레이 광학부는 도 5의 릴레이 광학부가 이용되었지만 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 도 6에 도시된 실린더형 오목 거울이 구비된 릴레이 광학부가 이용될 수 있다. 본 실시예에 따른 실린더형 릴레이 광학부에 의해 타겟 평면에서의 레이저 빔은 더 작은 초점 반경을 형성할 수 있다.
본 실시예에서 스캔용 레이지 빔의 진행경로 및 스테이지(20)에 대한 다른 구성요소의 배치가 허락되면, 제3 및 제4 반사경(215, 217)이 사용되지 않을 수 있다.
제3 및 제4 집광 렌즈(230, 235)는 도 11에 도시된 구형 렌즈의 일부로 형성된 협렌즈인 것이 바람직하다.
본 실시예에 따른 멀티 스캔 장치는 스테이지(20)를 적절하게 이동되도록 하여, 중첩 스캔 영역을 회피하도록 하는 이송부 및 제어부를 더 포함할 수 있다.
또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 될 것이다.
10: 스캐너 20: 집광 렌즈
25: 수광 렌즈 60: 릴레이 광학계

Claims (15)

  1. 입사된 레이저 빔을 스캐너 제어 신호에 따라 일정 방사각으로 경로를 연속적으로 변경되도록 반사하는 스캐너; 및
    상기 스캐너에 의해 반사된 레이저빔을 측정 대상물에 주사하는 주사 광학계를 포함하고,
    상기 주사 광학계는 복수의 레이저 빔을 상기 측정 대상물의 복수의 영역에 주사하고,
    상기 측정 대상물을 상면에 배치하는 스테이지;
    상기 복수의 레이저 빔이 측정 대상물이 주사되는 방향과 상이한 제1 방향으로 상기 스테이지를 이동시키기 위한 이송부; 및
    상기 스테이지가 상기 제1 방향으로 제1 거리 및 제2 거리 중 어느 하나의 거리 만큼 이동되도록 상기 이송부를 제어하는 제어부를 더 포함하는, 멀티 스캔 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 레이저 빔은 복수의 레이저 광원에서 출사된 빔에 의한 것인, 멀티 스캔 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    입사된 빔을 복수의 빔으로 투과시키는 적어도 하나의 빔 스플리터를 더 포함하고,
    상기 복수의 레이저 빔은 상기 적어도 하나의 빔 스플리터에 의한 것인, 멀티 스캔 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 빔 스플리터는 상기 스캐너와 상기 주사 광학계 사이에 배치되는, 멀티 스캔 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 레이저 빔은 상기 측정 대상물에 주사되는 방향 및 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 스캔되고,
    상기 제어부는 상기 복수의 레이저 빔이 상기 제2 방향으로의 스캔이 완료된 이후에 상기 스테이지가 상기 제1 거리 만큼 이송되도록 상기 이송부를 제어하는, 멀티 스캔 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 복수의 레이저 빔의 각각의 스캔 영역이 중복되지 않도록 상기 스테이지가 상기 제2 거리 만큼 이송되도록 상기 이송부를 제어하는, 멀티 스캔 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 거리는 상기 제2 거리 보다 작으며,
    상기 제어부는 상기 스테이지의 상기 제2 거리 이송을 상기 제1 거리 이송 보다 우선하여 처리하는 것을 특징으로 하는, 멀티 스캔 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 주사 광학계는 상기 복수의 레이저 빔 각각의 초점이 상기 측정 대상물의 상기 복수의 영역에 형성되도록 상기 복수의 레이저 빔 각각의 경로에 배치되는 복수의 주사 렌즈를 구비하는, 멀티 스캔 장치.
  10. 입사된 레이저 빔을 스캐너 제어 신호에 따라 일정 방사각으로 경로를 연속적으로 변경되도록 반사하는 스캐너; 및
    상기 스캐너에 의해 반사된 레이저빔을 측정 대상물에 주사하는 주사 광학계를 포함하고,
    상기 주사 광학계는 복수의 레이저 빔을 상기 측정 대상물의 복수의 영역에 주사하고,
    상기 주사 광학계는 상기 복수의 레이저 빔 중 제1 레이저 빔이 상기 스캐너에 의해 반사되어 일정 방사각으로 반사되는 방사형 다경로 빔이 다른 위치에서 제2 방사각으로 방사되도록 조절하는 릴레이 광학계를 적어도 하나 구비하는, 멀티 스캔 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 릴레이 광학계에 속하는 적어도 하나의 렌즈 중 적어도 하나의 렌즈는 단면이 원형인 구형 렌즈의 일부를 절단하여 형성된 바형 렌즈인 것을 특징으로 하는, 멀티 스캔 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 릴레이 광학계는
    상기 제1 레이저 빔의 상기 스캐너에 의한 방사형 다경로 빔을 제4 방향으로 굴절되도록 하는 제1 굴절 광학계 및
    상기 제1 굴절 광학계에 의한 상기 제4 방향으로의 다경로 빔이 임의의 위치를 통과하도록 굴절시키는 제2 굴절 광학계를 구비하는, 멀티 스캔 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 굴절 광학계는 제1 및 제2 초점거리를 가지는 각각의 구형렌즈와 각각 대응하는 제1 및 제2 바형 렌즈인, 멀티 스캔 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 굴절 광학계는 제3 및 제4 초점거리를 가지는 제1 및 제2 실린더형 렌즈인, 멀티 스캔 장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 제1 굴절 광학계는 상기 제1 레이저 빔의 상기 스캐너에 의한 방사형 다경로 빔을 다른 평면에서 상기 제4 방향으로 향하도록 실린더형 거울 및 평면 거울로 구성된 것인, 멀티 스캔 장치.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109828259A (zh) * 2019-02-14 2019-05-31 昂纳信息技术（深圳）有限公司 一种激光雷达及组合扫描装置
KR102091829B1 (ko) 2019-06-26 2020-05-15 주식회사 에프앤디파트너스 광 각도 분해능을 향상시킨 가변 패턴 생성장치
KR102249842B1 (ko) 2020-11-30 2021-05-10 주식회사 에프앤디파트너스 3차원 스캐너 장치
KR102325561B1 (ko) 2020-11-30 2021-11-12 주식회사 에프앤디파트너스 인체 측정용 3차원 스캐너 시스템
KR102456998B1 (ko) 2022-02-03 2022-10-21 주식회사 에프앤디파트너스 폴리곤미러 기반 미세 격자 패턴 생성 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980067363A (ko) * 1997-02-04 1998-10-15 김광호 멀티 빔 레이저 스캐너
JP2000043333A (ja) 1998-07-28 2000-02-15 Nec Eng Ltd カラーレーザプリンタ
KR20030087830A (ko) * 2002-05-10 2003-11-15 삼성전자주식회사 칼라 레이저 프린터
JP2008529068A (ja) * 2005-01-24 2008-07-31 ソルラブス、 インコーポレイテッド 高速に波長スキャンする小型マルチモードレーザ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980067363A (ko) * 1997-02-04 1998-10-15 김광호 멀티 빔 레이저 스캐너
JP2000043333A (ja) 1998-07-28 2000-02-15 Nec Eng Ltd カラーレーザプリンタ
KR20030087830A (ko) * 2002-05-10 2003-11-15 삼성전자주식회사 칼라 레이저 프린터
JP2008529068A (ja) * 2005-01-24 2008-07-31 ソルラブス、 インコーポレイテッド 高速に波長スキャンする小型マルチモードレーザ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109828259A (zh) * 2019-02-14 2019-05-31 昂纳信息技术（深圳）有限公司 一种激光雷达及组合扫描装置
KR102091829B1 (ko) 2019-06-26 2020-05-15 주식회사 에프앤디파트너스 광 각도 분해능을 향상시킨 가변 패턴 생성장치
KR102249842B1 (ko) 2020-11-30 2021-05-10 주식회사 에프앤디파트너스 3차원 스캐너 장치
KR102325561B1 (ko) 2020-11-30 2021-11-12 주식회사 에프앤디파트너스 인체 측정용 3차원 스캐너 시스템
KR102456998B1 (ko) 2022-02-03 2022-10-21 주식회사 에프앤디파트너스 폴리곤미러 기반 미세 격자 패턴 생성 장치

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