DE69422254T2 - Dynamische Speicheranordnung mit mehreren internen Speisespannungen - Google Patents

Dynamische Speicheranordnung mit mehreren internen Speisespannungen

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Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft eine Halbleiter-Speichereinrichtung und insbesondere eine dynamische Speichereinrichtung mit wahlfreiem Zugriff mit einer internen Leistungsquelle, die den Pegel einer Leistungsversorgungsspannung, welche an den Speicher von außen angelegt wird (d. h. eine externe Leistungsversorgungsspannung) herabstuft oder verringert und eine interne Leistungsspannung erzeugt und einer internen Schaltung der Speichereinrichtung als eine Betriebsleistungsspannung zuführt.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Aus der US-A-4 925 863 ist eine Halbleiter-Speichereinrichtung bekannt, welche vorschlägt, einer Spannungsreglerschaltung einen Hochleistungs-Steuertransistor hinzuzufügen.
  • Das IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS, Band 27, Nr. 6, Juni 1992, New York, USA, Seiten 920 bis 926, offenbart einen Spannungsabwärtswandler mit einem Bereitschaftsstrom im Submikroamperebereich für statische Niedrigleistungs-RAMs.
  • Es ist im Stand der Technik gut bekannt, daß neueste, aus MOS- Transistoren bestehende dynamische Speichereinrichtungen eine Technik einsetzen, bei welcher eine interne Leistungsquelle verwendet wird, um eine externe Leistungsversorgungsspannung zu verringern und eine interne Leistungsspannung mit einem herabgestuften Spannungspegel einer internen Speicherschaltung als eine Betriebsleistungsspannung zur Verhinderung eines Bruchs des Gateoxidfilms und des Auftretens heißer Träger sowie auch zur Verringerung der Verlustleistung bereitzustellen. Obwohl diese Technik sehr nützlich für fein strukturierte MOS-Transistoren sowie hinsichtlich der Unterdrückung des Leistungsverbrauchs ist, muß die so erzeugte interne Leistungsspannung gegen Änderungen der Impedanz der internen Speicherschaltung stabilisiert werden. Zu diesem Zweck nutzt die interne Leistungsquelle eine Differentialverstärkerschaltung, welche die interne Leistungsspannung mit einer Referenzspannung vergleicht, um die interne Leistungsspannung zu stabilisieren. Das heißt, die interne Leistungsquelle führt einen linearen Vorgang aus und verbraucht unabhängig von einem fehlenden Zugriff auf den Speicher eine Gleichsignalleistung.
  • Wie ebenso im Stand der Technik bekannt ist, hat die Speichereinrichtung nicht nur eine aktive Betriebsart, in welcher Datenlese- und -schreibzugriffsvorgänge durchgeführt werden, sondern auch eine Bereitschaftsbetriebsart, in der auf den Datenlese/schreibzugriff gewartet wird. Die durch die Speichereinrichtung verbrauchte Leistung, insbesondere die Verlustleistung in der Bereitschaftsbetriebsart, soll bevorzugt so klein wie möglich sein. Dieser Wunsch ist in einer batteriebetriebenen Vorrichtung oder einem solchen System sehr stark.
  • Die interne Leistungsquellenschaltung verbraucht jedoch immer eine Leistung, wie vorstehend erwähnt wurde. In der aktiven Betriebsart ist die durch die interne Leistungsquellenschaltung verbrauchte Leistung sehr klein im Vergleich zu derjenigen, die durch die interne Speicherschaltung in Antwort auf eine Zugriffsanforderung verbraucht wird. In der Bereitschaftsbetriebsart andererseits wird eine durch die interne Schaltung verbrauchte Leistung gering, so daß daher die durch die interne Leistungsquelle verbrauchte Leistung zu einem Problem wird. Die durch die interne Leistungsquelle verbrauchte Leistung muß daher während einer Zeitdauer in der Bereitschaftsbetriebsart verringert werden.
  • Zu diesem Zweck wurde eine solche interne Leistungsquellenschaltung wie in Fig. 6A gezeigt vorgeschlagen. Diese interne Leistungsquelle beinhaltet eine erste Leistungsversorgungsschaltung 1 und eine zweite Leistungsversorgungsschaltung 2. Die erste Leistungsversorgungsschaltung 1 beinhaltet eine Differentialverstärkerschaltung 11, die mit einer externen Leistungsspannung VCC arbeitet. Dieser Verstärker 11 umfaßt ein differentielles Paar von N-Kanal-MOS (nachstehend als "NMOS" bezeichnet)-Transistoren Q11 und Q12, einen NMOS-Transistor Q13 als eine Konstantstromquelle, ein Paar von P-Kanal-MOS (nachstehend als "PMOS" bezeichnet)-Transistoren Q14 und Q15, die einen Stromspiegel als eine Last bilden, und einen PMOS-Treibertransistor 12, der als ein Ausgangspuffertransistor dient zum Erzeugen einer internen Leistungsspannung VINT, welche wiederum der (nicht gezeigten) internen Speicherschaltung zugeführt wird. Der Transistor Q11 empfängt an seinem Gate die interne Leistungsspannung VINT, und der Transistor Q12 empfängt an seinem Gate eine Referenzspannung VREF. Diese Referenzspannung VREF wird durch einen (nicht gezeigten) Referenzspannungsgenerator eines gut bekannten Bandlücken-Reglertyps erzeugt und ist folglich gegen die Änderung der externen Leistungsspannung sowie bezüglich einer Betriebstemperatur stabilisiert. Die Referenzspannung VREF wird ferner dem Gate des Transistors Q13 zugeführt, um diesen zu veranlassen, als eine Konstantstromquelle zu arbeiten, die einen Strom I1 erzeugt. Somit wird die interne Spannung VINT durch den Verstärker 11 so gesteuert, daß sie, durch eine negative Rückkopplungsschleife, den zu der Referenzspannung VREF gleichen Pegel hat.
  • Die zweite Leistungsversorgungsschaltung 2 beinhaltet ebenfalls eine Differentialverstärkerschaltung 21. Diese Schaltung 21 umfaßt ein differentielles Paar von NMOS-Transistoren Q21 und Q22, die die interne Leistungsspannung VINT bzw. die Referenzspannung VREF empfangen, einen NMOS-Transistor Q23, der an seinem Gate mit der Referenzspannung VREF versorgt wird und folglich als eine Konstantstromquelle dient, die einen Konstantstrom I2 erzeugt, ein Paar von PMOS-Transistoren Q24 und Q25, die als eine Stromspiegelschaltung als eine Last arbeiten, und einen PMOS- Transistor 22, der als ein Ausgangspuffertransistor dient, der mit der Netzleitung gekoppelt ist, um die interne Leistungsspannung VINT bereitzustellen. Somit wird die interne Spannung VINT darüber hinaus so gesteuert, daß sie gleich der Referenzspannung VREF ist.
  • Anders als die erste interne Leistungsschaltung 1 beinhaltet die zweite Leistungsschaltung 2 jedoch ferner einen NMOS-Transistor Q26, der in Reihe mit dem Transistor Q23 verschaltet ist, und einen PMOS-Transistor Q27, der zwischen dem Gate des Transistors 22 und der Netzversorgungsleitung VCC verschaltet ist. Darüber hinaus wird ferner ein Steuersignal f0 den Gates der Transistoren Q26 und Q27 zugeführt. Dieses Steuersignal f0 wird durch Invertieren eines Zeilenadress-Taktimpulssignals RAS abgeleitet, wie in Fig. 6B gezeigt. Dieses Signal RAS ist vom niedrigpegelig aktiven Typ. Das heißt, Adressinformationen, die einem Satz von (nicht gezeigten) Adresseingangsanschlüssen zugeführt werden, werden als Zeilenadressinformationen synchron mit der Änderung des Zeilenadress-Taktimpulssignals RAS von dem hohen Pegel auf den niedrigen Pegel geholt und zwischengespeichert, wie im Stand der Technik gut bekannt ist. Der Datenlese/schreibzugriffsvorgang wird dadurch eingeleitet. Andererseits zeigt die Änderung des Signals RAS von dem niedrigen Pegel auf den hohen Pegel den Abschluß des Zugriffsvorgangs und die Bereitschaftsbetriebsart an. Demgemäß werden die Transistoren Q26 und Q27 während der Zeitdauer in der aktiven Betriebsart jeweils ein- und ausgeschaltet, und während der Zeitdauer in der Bereitschaftsbetriebsart aus- und eingeschaltet.
  • Infolgedessen wird die erste Leistungsschaltung 1 aktiviert, um nicht nur in der aktiven Betriebsart, sondern auch in der Bereitschaftsbetriebsart zu arbeiten, wohingegen die zweite Leistungsschaltung 2 aktiviert wird, um nur in der aktiven Betriebsart zu arbeiten, und in der Bereitschaftsbetriebsart deaktiviert. In der Bereitschaftsbetriebsart wird kein Zugriffsvor gang durchgeführt, so daß folglich die interne Speicherschaltung in einem Ruhezustand ist. Das heißt, es gibt keine wesentliche Änderung der Impedanz der internen Speicherschaltung. Daher ist es für die erste Leistungsschaltung 1 ausreichend, eine geringe Ansprechgeschwindigkeit und Treibfähigkeit zum Stabilisieren der internen Leistungsspannung VINT zu haben. Der durch den Transistor Q13 fließende Strom I1, d. h. der Betriebsstrom des Verstärkers 11, wird daher klein ausgelegt, um die durch die interne Leistungsquellenschaltung in der Bereitschaftsbetriebsart verbrauchte Verlustleistung zu unterdrücken. Der Konstantstrom I1 ist typisch auf etwa 100 mA ausgelegt.
  • Andererseits wird in der aktiven Betriebsart die Impedanz der internen Speicherschaltung durch den Datenlese/schreibzugriff beträchtlich geändert. Um die interne Leistungsspannung VINT gegen diese Impedanzänderung zu stabilisieren, muß daher die interne Leistungsspannung VINT mit einer großen Treibfähigkeit erzeugt werden. Zu diesem Zweck wird auch die zweite Leistungsschaltung 2 aktiviert, um die interne Leistungsspannung VINT durch das Steuersignal f0 zu steuern, wie in Fig. 6(B) gezeigt. Das hochpegelige Steuersignal f schaltet den Transistor Q26 ein und den Transistor Q27 aus, wie vorstehend erwähnt wurde. In der folglich aktivierten zweiten Leistungsschaltung 2 ist der Treibertransistor 22 so ausgelegt, daß er eine große Treibfähigkeit hat, um die interne Leistungsspannung VINT zu stabilisieren, und ist bezüglich der Treibfähigkeit vorwiegend zehn mal so stark wie der Treibertransistor 12 der ersten Schaltung 1. Außerdem ist die Verstärkerschaltung 21 ebenfalls so ausgelegt, daß sie eine schnelle Ansprechgeschwindigkeit hat, indem sie mit dem großen Konstantstrom I2 durch die Transistoren Q23 und Q26 versorgt wird. Der Konstantstrom ist so ausgelegt, daß er typisch etwa 1 bis 2 mA beträgt.
  • Infolgedessen wird der Verluststrom zu I1 + I2 während der Zeit in der aktiven Betriebsart und zu 11 während der Zeit in der Bereitschaftsbetriebsart, wie in Fig. 6(B) gezeigt, so daß während der Bereitschaftsbetriebsart kein sinnloser Strom fließt. Die Verringerung des Leistungsverbrauchs der internen Leistungsquelle ist dadurch erreicht.
  • Jedoch ist eine weitere Verringerung des Leistungsverbrauchs in gegenwärtigen Speichereinrichtungen von großer Wichtigkeit. Es wird daher stark nach einer solchen Speichereinrichtung verlangt, die den Leistungsverbrauch so bemerkenswert wie möglich verringert.
  • KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG Aufgabe der Erfindung
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Halbleiter- Speichereinrichtung bereitzustellen, bei welcher deren Leistungsverbrauch weiter verringert ist.
  • Darüber hinaus soll die Erfindung einen dynamischen Speicher mit wahlfreiem Zugriff mit einer internen Leistungsquelle zum Erzeugen einer internen Leistungsspannung kleiner als eine externe Leistungsspannung mit weiter verringerter Verlustleistung bereitstellen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Eine Halbleiter-Speichereinrichtung gemäß der Erfindung hat eine Bereitschaftsbetriebsart und eine aktive Betriebsart, welche eine erste Periode folgend auf den Beginn der aktiven Betriebsart und eine zweite Periode nach der ersten Periode hat, und umfaßt eine Speicherschaltung und eine interne Leistungsquellenschaltung, die eine interne Leistungsspannung erzeugt, die kleiner ist als eine an die Speichereinrichtung angelegte externe Leistungsspannung, und die interne Leistungsspannung der Speicherschaltung zuführt, wobei die interne Leistungsquellenschaltung eine Leistungsschaltung aufweist zum Stabilisieren der internen Leistungsspannung mit einer Ansprechgeschwindigkeit relativ zu einem durch dieselbe fließenden Strom, und eine Stromsteuerschaltung, die den durch die Leistungsschaltung fließenden Strom während der Bereitschaftsbetriebsart auf einen ersten Wert, während der ersten Periode der aktiven Betriebsart auf einen zweiten Wert größer als der erste Wert und während der zweiten Periode der aktiven Betriebsart auf einen dritten Wert größer als der erste Wert und kleiner als der zweite Wert steuert.
  • Somit ist die Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die aktive Betriebsart in die erste und die zweite Periode unterteilt ist und der durch die Leistungsschaltung fließende Strom entsprechend diesen Perioden gesteuert und geändert wird. Dieses Merkmal beruht auf der folgenden Beobachtung: im einzelnen wird dann, wenn die aktive Betriebsart eingeleitet wird, eine Wortleitung entsprechend der Zeilenadressinformation erregt und dann ein Satz von Leseverstärkern aktiviert, um die aus mit der erregten Wortleitung gekoppelten Speicherzellen ausgelesenen Datensignale zu verstärken und dann zurückzuspeichern (d. h. aufzufrischen), um das Datensignal in diese Speicherzellen zurückzuspeichern. Während dieser Abfolge von internen Vorgängen fließt ein großer Strom durch die Speicherschaltung. Das heißt, die interne Leistungsschaltung ist während dieser Abfolge von internen Vorgängen einer großen Änderung der Impedanz einer Lastschaltung (d. h. Speicherschaltung) unterworfen. Danach ist die Änderung der Impedanz der Speicherschaltung nicht so groß, weil nur ein Datenausgabevorgang aus der ausgewählten Speicherzelle oder der Datenschreibvorgang in dieselbe durchgeführt wird. Demgemäß deckt die erste Periode die vorstehend erwähnte Abfolge von internen Vorgängen ab, und deckt die zweite Periode die Periode nach der ersten Periode ab. Während der ersten Periode wird die Leistungsschaltung mit dem Strom mit dem zweiten, größten Strom bzw. Wert versorgt, so daß die interne Leistungsspannung VINT schnell gegen die Änderung der Impedanz der Speicherschaltung stabilisiert wird. Während der zweiten Periode wird, da die Leistungsschaltung daraufhin mit dem Strom mit dem dritten Wert kleiner als der zweite Wert versorgt wird, der Leistungsverbrauch während dieser Periode verringert. Natürlich wird die Leistungsschaltung in der Bereitschaftsbetriebsart mit dem ersten, kleinsten Strom versorgt. Somit wird der Leistungsverbrauch der Speichereinrichtung gemäß der Erfindung verglichen mit der bekannten Speichereinrichtung in der aktiven Betriebsart weiter verringert.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die vorstehend erwähnten sowie weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der Erfindung treten durch Bezugnahme auf die nachfolgende detaillierte Beschreibung der Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen deutlicher zutage. Es zeigen:
  • Fig. 1 ein Schaltungsdiagramm, das eine dynamische Speichereinrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;
  • Fig. 2 ein Zeitverlaufsdiagramm, das einen Betriebsablauf der in Fig. 1 gezeigten Speichereinrichtung darstellt;
  • Fig. 3 ein Blockdiagramm, das ein Layout der in Fig. 1 gezeigten Speichereinrichtung zeigt;
  • Fig. 4 ein Schaltungsdiagramm, das eine dynamische Speichereinrichtung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;
  • Fig. 5 ein Zeitverlaufsdiagramm, das einen Betriebsablauf der in Fig. 4 gezeigten Speichereinrichtung darstellt; und
  • Fig. 6A ein Schaltungsdiagramm, das eine herkömmliche dynamische Speichereinrichtung zeigt, und Fig. 6B ein Zeitverlaufsdiagramm, das den Betriebsablauf dieser Speichereinrichtung zeigt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Bezugnehmend auf Fig. 1 ist dort eine dynamische Speichereinrichtung mit wahlfreiem Zugriff gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung gezeigt, wobei Teile, die den Teilen der in Fig. 6 gezeigten Speichereinrichtung entsprechen, durch dieselben Bezugszeichen und Buchstaben bezeichnet sind, um deren weitere Beschreibung wegzulassen. In diesem Ausführungsbeispiel ist ferner eine dritte Leistungsversorgungsschaltung 3 zusätzlich zu der ersten Leistungsversorgungsschaltung 1 und der zweiten Leistungsversorgungsschaltung 2 bereitgestellt. Diese Schaltung 3 beinhaltet auch eine Differentialverstärkerschaltung 31 und einen Treiber 32, der auf den Ausgang der Schaltung 31 anspricht und die interne Leistungsspannung VINT steuert. Die interne Leistungsspannung VINT wird an eine Speicherschaltung 100 als eine Betriebsleistungsspannung angelegt. Obwohl nicht gezeigt, beinhaltet die Speicherschaltung 100 ein Speicherzellenfeld mit einer Vielzahl von Speicherzellen, die matrixförmig angeordnet sind, und periphere Schaltungen, wie beispielsweise einen Adresspuffer/decoder, einen Satz von Leseverstärkern und eine Datenlese/schreibschaltung, wie im Stand der Technik gut bekannt ist. Die dritte Leistungsversörgungsschaltung 3 beinhaltet ferner einen PMOS-Transistor Q37, der zwischen dem Gate des Treibertransistors 32 und der externen Leistungsspannungsleitung VCC verschaltet ist.
  • Die Verstärkerschaltung 31 beinhaltet ein differentielles Paar von NMOS-Transistoren Q31 und Q32, einen NMOS-Transistor Q33, der als eine Konstantstromquelle arbeitet, und ein Paar von PMOS-Transistoren Q34 und Q35, die einen Stromspiegel als eine Last bilden. Diese Schaltung 31 beinhaltet ferner einen NMOS- Transistor Q36, der in Reihe mit dem Transistor Q33 verschaltet ist. Die Transistoren Q36 und Q37 werden an ihren Gates mit einem Steuersignal f1 versorgt.
  • Die vorliegende Speichereinrichtung beinhaltet ferner einen Zeitsignalgenerator 200. Diese Schaltung 200 spricht auf externe Steuersignale, ein Zeilenadress-Taktimpulssignal RAS, ein Spaltenadress-Taktimpulssignal CAS und ein Ausgabefreigabesignal OE an und erzeugt einen Satz von internen Steuersignalen 250 und führt diese der Speicherschaltung 100 zu, um einen Datenzugriffsvorgang durchzuführen. Im einzelnen wird dann, wenn sich das Zeilenadress-Taktimpulssignal RAS von dem hohen Pegel auf den niedrigen Pegel ändert, die einem Satz von Adressanschlüssen ADD zugeführte Adressinformation geholt und in der Speicherschaltung 100 als eine Zeilenadresse zwischengespeichert. Wenn sich das Spaltenädress-Taktimpulssignal CAS während des niedrigen Pegels des Signals RAS von dem hohen Pegel auf den niedrigen Pegel ändert, wird die Adressinformation als eine Spaltenadresse in die Speicherschaltung 100 geholt. Die Zeitsteuerschaltung 200 spricht ferner auf die Änderung des Zeilenadress-Taktimpulssignals RAS von dem hohen Pegel auf den niedrigen Pegel an und erzeugt ein erstes, ein zweites und ein drittes Zeitsteuersignal f0 und f1 in Übereinstimmung mit der Erfindung.
  • Wie in Fig. 2 gezeigt, ist das Steuersignal f0 äquivalent zu einem invertierten Signal des Signals RAS, wohingegen das Steuersignal f1 in Antwort auf die Änderung des Signals RAS auf den niedrigen Pegel auf den hohen Pegel geändert und auf den niedrigen Pegel zurückgeführt wird, nachdem eine vorbestimmte Zeitdauer verstrichen ist. Die Periode während des hohen Pegels des Signals f1 ist so ausgelegt, daß sie die Abfolge von internen Vorgängen einschließlich der Erregung einer ausgewählten Wortleitung bzw. ausgewählter Wortleitungen und die Aktivierung der Leseverstärker abdeckt, wie vorstehend beschrieben wurde. In diesem Ausführungsbeispiel ist die Periode des hohen Pegels des Signals f1 auf etwa 50 ns ausgelegt.
  • Mit einem solchen Schaltungsaufbau wie vorstehend beschrieben wird die erste Leistungsversorgungsschaltung 1 immer in die Bereitschaftsbetriebsart und in die aktive Betriebsart gesteuert. Da die Speicherschaltung 100 in der Bereitschaftsbetriebsart im wesentlichen keinen Vorgang durchführt, ist ein durch die Speicherschaltung 100 fließender interner Strom Int im wesentlichen null, wie in Fig. 2 gezeigt, und tritt im wesentlichen keine Pegelschwankung der internen Leistungsspannung VINT auf. Demgemäß hat der Treibertransistor 12 eine verhältnismäßig kleine Größe, um eine geringe Treibfähigkeit anzuzeigen. Außerdem wird die Ansprechgeschwindigkeit der Verstärkerschaltung 11 durch einen Konstantstrom I1 bestimmt und ist sehr langsam ausgelegt, in einer Größenordnung von beispielsweise 50 ns, da die VINT in der Bereitschaftsbetriebsart stabil ist, wie vorstehend beschrieben wurde. Daher kann der Konstantstrom I1 in dem Ausmaß klein gemacht werden, daß VINT nicht instabil wird, so daß der Konstantstrom typisch auf etwa 100 mA verringert werden kann.
  • In der Bereitschaftsbetriebsart ist die zweite Leistungsversorgung 2 durch das Steuersignal f0 deaktiviert. Im einzelnen nimmt, wie in Fig. 2 gezeigt, in der Bereitschaftsbetriebsart das Steuersignal f0 den niedrigen Pegel an, und dieses niedrigpegelige Signal f0 schaltet den Transistor Q26 aus, so daß kein Konstantstrom I2 durch die Verstärkerschaltung 21 fließt. Gleichzeitig wird der Transistor Q27 eingeschaltet, so daß ein Knoten A auf dem VCC-Pegel gehalten und der Treiber 22 ausgeschaltet wird.
  • Ebenfalls in der Bereitschaftsbetriebsart nimmt das Steuersignal f1 den niedrigen Pegel an, um die Transistoren Q36 und Q37 aus- bzw. einzuschalten. Dadurch fließt kein Strom in der Verstärkerschaltung 31. Infolgedessen wird in der Bereitschaftsbetriebsart durch die interne Leistungsquelle nur der Strom I1 als ein Gesamtstrom Isum verbraucht, wie in Fig. 2 gezeigt.
  • Wenn sich das Zeilenadress-Taktimpulssignal RAS von dem hohen Pegel auf den niedrigen Pegel ändert, um einen Datenzugriffsvorgang einzuleiten, werden die Steuersignale f0 und f1 auf den hohen Pegel geändert, um sowohl die Leistungsschaltung 2 als auch die Leistungsschaltung 3 zu aktivieren. Wie vorstehend erwähnt wurde und ferner in Fig. 2 gezeigt ist, fließt durch die Einleitung des Datenzugriffs aufgrund der Erregung von Wortleitung(en) und die Aktivierung der Leseverstärker zum Abfragen und Zurückspeichern von Daten ein großer Strom Int durch die Speicherschaltung 100. Daher muß die interne Leistungsversorgungsschaltung eine hohe Treibfähigkeit und eine schnelle Ansprechgeschwindigkeit haben, um die interne Leistungsspannung VINT zu stabilisieren. Zu diesem Zweck werden beide der Leistungsversorgungsschaltungen 2 und 3 in Antwort auf die entsprechenden hochpegeligen Signale f0 und f1 aktiviert. Ferner ist jeder der Treibertransistoren 22 und 23 so ausgelegt, daß er eine größere Größe als der Transistor 12 hat, um eine größere Treibfähigkeit als der Transistor 12 darzustellen. Außerdem ist der Transistor 32 größer als der Transistor 22, um die größte Treibfähigkeit zu haben. Ein Verhältnis der Treibfähigkeiten zwischen den Treibern 22 und 32 kann auf beliebige erforderliche Weise festgelegt werden. Darüber hinaus sind die Konstantströme I2 und I3 groß festgelegt, so daß genügend Ansprechgeschwindigkeit zum schnellen Stabilisieren der internen Leistungsspannung VINT während der Abfrage- und Zurückspeichervorgänge in der Speicherschaltung 100 erhalten wird. Somit wird der durch die interne Leistungsversorgungsschaltung fließende Strom Isum auf eine Summe aus I1, I2 und I3 erhöht, wie in Fig. 2 gezeigt.
  • Wenn der Datenabfragevorgang sowie der Datenzurückspeichervorgang abgeschlossen sind, wird das Steuersignal f1 auf den niedrigen Pegel geändert, wie in Fig. 2 gezeigt. Infolgedessen wird die dritte Leistungsversorgungsschaltung 3 deaktiviert, so daß kein Strom I3 durch diese fließt. Die Speicherschaltung 100 wird danach in einen Datenausgabevorgang oder einen Datenschreibvorgang gebracht und benötigt folglich einen bestimmten Strom. Während dieses Vorgangs arbeiten jedoch die erste und die zweite Leistungsschaltung 1 und 2, um die interne Leistungsspannung VINT zu stabilisieren. Der durch die vorliegende interne Leistungsversorgungsschaltung fließende Strom Isum nimmt einen Pegel aus einer Summe von I1 und I2 an, wie in Fig. 2 gezeigt.
  • Durch die Änderung des Signals RAS auf den hohen Pegel, um den Abschluß des Datenzugriffsvorgangs anzuzeigen, wird das Steuersignal f0 auf den niedrigen Pegel geändert, um die zweite Leistungsschaltung 2 zu deaktivieren. Der durch die Leistungsquellenschaltung verbrauchte Strom Isum wird folglich auf den kleinsten Pegel I1 verringert, wie in Fig. 2 gezeigt.
  • In der Zeitsteuerschaltung 200 wird, obwohl nicht gezeigt, das Steuersignal f0 durch eine Inverterschaltung abgeleitet, die das Zeilenadress-Taktimpulssignal RAS empfängt, und wird das Steuersignal f1 durch, beispielsweise, ein NICHT-ODER-Tor mit zwei Eingängen, bei dem ein erster Eingangsknoten mit einem Signal RAS versorgt wird, und eine Inverter-Verzögerungsschaltung, die das Signal RAS empfängt und das verzögerte, invertierte Signal RAS an den zweiten Eingangsknoten des NICHT-ODER-Tors ausgibt, abgeleitet. Falls erwünscht, ist die aus den Transistoren Q36 und Q33 bestehende Reihenschaltung parallel mit der aus den Transistoren Q26 und Q23 bestehenden Reihenschaltung verschaltet, anstelle die dritte Leistungsversorgungsschaltung 3 bereitzustellen. In dieser Modifikation werden im wesentlichen dieselben Wirkungen und Betriebsabläufe der Schaltung von Fig. 1 abgeleitet.
  • Zu Fig. 3 übergehend, ist in einem tatsächlichen Layout auf einem Halbleiterplättchen der in Fig. 1 gezeigten Speichereinrichtung das Speicherzellenfeld in der Speicherschaltung 100 in vier Blöcke 150-1 bis 150-4 unterteilt. Außerdem ist die interne Leistungsschaltung so aufgebaut, daß sie vier zweite Leistungsschaltungen 2-1 bis 2-4, die jeweils denselben Schaltungsaufbau wie die in Fig. 1 gezeigte Schaltung 2 haben, und vier dritte Leistungsschaltungen 3-1 bis 3-4 mit demselben Schaltungsaufbau wie die in Fig. 3 gezeigte Schaltung 3 hat, und diese Schaltungen sind wie in Fig. 3 gezeigt angeordnet. Die jedem Speicherzellenblock 150 zugeführte interne Leistungsspannung VINT wird dadurch stabiler gesteuert.
  • Obwohl die interne Leistungsquellenschaltung der wie in Fig. 1 gezeigten Speichereinrichtung die maximale Treibfähigkeit und Ansprechgeschwindigkeit während der gesamten Abfrage- und Zurückspeichervorgänge hat, kann ihre Treibfähigkeit und Ansprechgeschwindigkeit wenig nachdem der Spitzenstrom in dem Zurückspeichervorgang fließt gering sein. Dies ist darauf zurückzuführen, daß danach ein weiterer großer Strom nicht länger durch die Speicherschaltung 100 fließen muß und es daher der internen Leistungsquellenschaltung erlaubt ist, die interne Leistungsspannung VINT mit einer verhältnismäßig geringen Treibfähigkeit und Ansprechgeschwindigkeit zu steuern. Basierend auf dieser Ansicht weist eine Speichereinrichtung als ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung wie in Fig. 4 gezeigt eine Verbesserung zum weiteren Verringern des Leistungsverbrauchs auf, wobei dieselben Bestandteile wie die in Fig. 1 gezeigten durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet sind, um deren weitere Beschreibung wegzulassen. In Fig. 4 beinhaltet die zweite Leistungsschaltung 2 ferner eine Reihenschaltung aus NMOS-Transistoren Q28 und Q29, die parallel mit der Reihenschaltung der Transistoren Q26 und Q23 verschaltet ist, und beinhaltet die dritte Leistungsschaltung 3 ferner eine Reihenschaltung aus NMOS-Transistoren Q38 und Q39, die parallel mit der Reihenschaltung der Transistoren Q36 und Q33 verschaltet sind. Die Gates der Transistoren Q29 und Q39 werden mit der Referenzspannung VREF versorgt, und die Gates der Transistoren Q28 und Q38 werden mit einem dritten Steuersignal f2 versorgt. Dieses Steuersignal f2 wird durch den Zeitsteuergenerator 200 in Antwort auf das Zeilenadress-Taktimpulssignal RAS erzeugt und nimmt während der den Abfragevorgang abdeckenden Periode und eines Abschnitts des Zurückspeichervorgangs, während welchem Abschnitt der Spitzenstrom fließt, um in die Speicherzellen zurückzuspeichern oder diese wiederherzustellen, den aktiven hohen Pegel an, wie in Fig. 5 gezeigt. Das Steuersignal f2 wird durch ein NICHT-ODER- Tor und eine Inverter-Verzögerungsschaltung ähnlich der Schaltung zum Erzeugen des Steuersignals f1 erzeugt. In diesem Ausführungsbeispiel ist das Signal f2 für etwa 20 ns auf den hohen Pegel ausgelegt.
  • Mit einem solchen Schaltungsaufbau wie vorstehend beschrieben sind während des hohen Pegels des Steuersignals f2 die Transistoren Q28 und Q38 beide eingeschaltet, um Ströme I13 und I15 an die Differentialverstärker 2 bzw. 3 zu liefern. Während dieser Periode sind die Transistoren Q26 und Q36 ebenfalls in dem leitfähigen Zustand. Demgemäß hat die interne Leistungsquellenschaltung die maximale Treibfähigkeit und Ansprechgeschwindigkeit, um die interne Leistungsspannung VINT gegen die Änderung der höhen Impedanz der Speicherschaltung 100 zu stabilisieren. Nach der Änderung des Signals f2 auf den niedrigen Pegel empfängt der Verstärker 3 nur den Strom I14 und empfängt der Verstärker 2 nur den Strom I12, um die interne Leistungsspannung VINT mit einer Treibfähigkeit und Ansprechgeschwindigkeit kleiner als die vorstehende maximale Treibfähigkeit und Ansprechgeschwindigkeit zu stabilisieren. Das Steuersignal f1 wird danach auf den niedrigen Pegel geändert. Die dritte Leistungsschaltung 3 wird dadurch deaktiviert, ähnlich zu der in Fig. 1 gezeigten Speichereinrichtung. Folglich wird der durch die vorliegende interne Leistungsquellenschaltung fließende Strom Isum in Übereinstimmung mit der Abfolge der internen Vorgänge geändert, wie in Fig. 5 gezeigt.
  • In diesem Ausführungsbeispiel wird daher der Leistungsverbrauch der internen Leistungsquellenschaltung weiter verringert, ohne den Spannungsstabilisierungsvorgang zu verschlechtern.
  • Es ist ersichtlich, daß die Erfindung nicht auf die vorstehenden Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern geändert und modifiziert werden kann, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.

Claims (6)

1. Halbleiter-Speichereinrichtung mit einer Bereitschaftsbetriebsart und einer aktiven Betriebsart, welche aktive Betriebsart eine erste Periode folgend auf den Beginn der aktiven Betriebsart und eine zweite Periode nach der ersten Periode beinhaltet, wobei die Speichereinrichtung eine Speicherschaltung (100) und eine interne Leistungsquellenschaltung (1, 2, 3), die eine interne Leistungsspannung (VINT) für die Speicherschaltung erzeugt und liefert, umfaßt, die interne Leistungsspannung kleiner ist als eine der Speichereinrichtung zugeführte externe Leistungsspannung, und die interne Leistungsquellenschaltung eine Leistungsschaltung (11, 21, 31) aufweist zum Stabilisieren der internen Leistungsspannung auf einen vorbestimmten Pegel mit einer Antwortgeschwindigkeit relativ zu einem durch die Leistungsschaltung und eine Stromsteuerschaltung (Q13, Q26, Q28, Q36, Q38) zum Ändern des durch die Leistungsschaltung fließenden Stroms auf einen ersten Wert (I 1) während der Bereitschaftsbetriebsart fließenden Strom, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromsteuerschaltung ferner den durch die Leistungsschaltung fließenden Strom auf einen zweiten Wert (I1+I2+I3; I1+I12+I14+I13+I15) größer als der erste Wert während der ersten Periode der aktiven Betriebsart und einen dritten Wert (I1+I2; I1+I12+I14) größer als der erste Wert und kleiner als der zweite Wert während der zweiten Periode der aktiven Betriebsart ändert.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, bei der die Speichereinrichtung ferner eine Zeitsteuerschaltung (200) umfaßt, die auf eine Änderung eines Steuersignals (RAS) von einem inaktiven Pegel auf einen aktiven Pegel anspricht und ein erstes Signal (φ1) und ein zweites Signal (φ0) erzeugt, welches erste Signal einen aktiven Pegel während der ersten Periode annimmt, und welches zweite Signal einen aktiven Wert während einer Periode annimmt, die die erste und die zweite Periode überdeckt, wobei die Stromsteuerschaltung auf das erste und das zweite Signal anspricht, um den Strom auf den zweiten bzw. dritten Wert zu ändern.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, bei der das Steuersignal ein Zeilenadress-Impulssignal aus ( ) ist und die Änderung des Zeilenadress-Impulssignals von dem inaktiven Pegel auf den aktiven Pegel die aktive Betriebsart beginnt.
4. Einrichtung nach Anspruch 1, bei der die Leistungsschaltung eine erste (Q13), eine zweite (Q33) und eine dritte (Q23) Stromquelle umfaßt; wobei die Stromsteuerschaltung die erste Stromquelle während der Bereitschaftsbetriebsart aktiviert, die zweite und die dritte Stromquelle während der ersten Periode der aktiven Betriebsart aktiviert, und die dritte Stromquelle während der zweiten Periode der aktiven Betriebsart aktiviert.
5. Einrichtung nach Anspruch 1, bei der die aktive Betriebsart ferner eine dritte Periode nach der zweiten Periode beinhaltet und die Stromsteuerschaltung ferner den durch die Leistungsschaltung fließenden Strom auf einen vierten Wert (I1+I12) größer als der erste Wert und kleiner als der dritte Wert während der dritten Periode der aktiven Betriebsart ändert.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, bei der die Leistungsschaltung eine erste (Q13), eine zweite (29 und Q39), eine dritte (Q33) und eine vierte (Q23) Stromquelle umfaßt und die Stromsteuerschaltung die erste Stromquelle während der Bereitschaftsbetriebsart und der aktiven Betriebsart aktiviert, die zweite, die dritte und die vierte Stromquelle während der ersten Periode der aktiven Betriebsart aktiviert, die dritte und die vierte Stromquelle während der zweiten Periode der aktiven Betriebsart aktiviert, und die vierte Stromquelle während der dritten Periode der aktiven Betriebsart aktiviert.
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