JPH09147553A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH09147553A
JPH09147553A JP7304663A JP30466395A JPH09147553A JP H09147553 A JPH09147553 A JP H09147553A JP 7304663 A JP7304663 A JP 7304663A JP 30466395 A JP30466395 A JP 30466395A JP H09147553 A JPH09147553 A JP H09147553A
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power supply
circuit
column
signal
wiring
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JP7304663A
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Hajime Sato
一 佐藤
Yoshiyuki Ishida
喜幸 石田
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】セルフリフレッシュを含むスタンバイ時におい
て、コラム系回路のスタンバイ電流を削減することによ
り、消費電流を低減する。 【解決手段】ロウアドレスストローブ信号RASバーに
基づいて動作するロウアドレスバッファ14、ロウデコ
ーダ16及びロウ系制御回路18は電源配線46に接続
されて電源VCCを供給される。コラムアドレスストロー
ブ信号CASバーに基づいて動作するコラムアドレスバ
ッファ20、コラムデコーダ22、データ入力バッファ
28、データ出力バッファ30、ライトアンプ32及び
データアンプ34は電源配線48に接続される。電源供
給トランジスタ44はアクティブ時にオンして配線48
に電源VCCを供給し、セルフリフレッシュを含むスタン
バイ時においてオフして配線48への電源VCCの供給を
遮断する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に係
り、詳しくはDRAM(dynamic random access memory)
の消費電流の削減に関する。
【0002】近年の半導体技術の進歩に伴って、DRA
Mを搭載した電子機器は、携帯化及び電池駆動化へと小
型化が要求されている。そのため、電子機器に搭載され
るDRAMの低消費電流化を図る必要がある。
【0003】
【従来の技術】DRAMは、メモリセルのキャパシタに
電荷を蓄えることによってデータを記憶しているため、
時間が経過するとメモリセルのデータが消失してしま
う。そのため、DRAMは実際に動作していないスタン
バイ時において、メモリセルのセルフリフレッシュが行
われる。
【0004】DRAMの内部回路は、ロウアドレススト
ローブ信号に基づいて動作するロウ系回路と、コラムア
ドレスストローブ信号に基づいて動作するコラム系回路
とを備える。これらの内部回路には一対の電源配線を介
して高電位電源VCC及び低電位電源VSSが動作電源とし
て供給されている。
【0005】ところが、DRAMはセルフリフレッシュ
を含むスタンバイ時において、内部回路が停止していて
も、内部回路を構成するトランジスタにテーリング電流
が流る。内部回路を構成するトランジスタは多数あるた
め、テーリング電流の和は無視できない大きさとなり、
DRAMの消費電流が増加する。特に、コラム系回路は
スタンバイ時において動作が完全に停止されるため、コ
ラム系回路を流れるスタンバイ電流が問題となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決するためになされたものであって、その目的は、セ
ルフリフレッシュを含むスタンバイ時において、コラム
系回路のスタンバイ電流を削減することにより、消費電
流を低減することができる半導体記憶装置を提供するこ
とにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項1の発明は、メモリセルアレイと、ロウアド
レスストローブ信号に基づいて動作するロウ系回路と、
コラムアドレスストローブ信号に基づいて動作するコラ
ム系回路とを備え、メモリセルアレイのセルフリフレッ
シュを行うようにした半導体記憶装置において、ロウ系
回路には第1の電源を動作電源として供給し、コラム系
回路にはアクティブ時において第1の電源を動作電源と
して供給し、セルフリフレッシュを含むスタンバイ時に
おいて第1の電源よりも能力の低い第2の電源を動作電
源として供給するようにした。
【0008】請求項2の発明は、ロウ系回路に第1の電
源を供給するための第1の電源配線と、コラム系回路に
動作電源を供給するための第2の電源配線と、アクティ
ブ時とスタンバイ時とで第2の電源配線に供給する動作
電源を第1の電源と第2の電源とに切り換えるための切
換回路とを設けた。
【0009】請求項3の発明は、切換回路を、ロウアド
レスストローブ信号に基づいてセルフリフレッシュ動作
を行わせるためのエントリー信号を出力するセルフリフ
レッシュエントリー回路と、第1の電源配線及び第2の
電源配線間に設けられ、エントリー信号に基づいてオフ
されて第1の電源を遮断することにより第2の電源を生
成して第2の電源配線に供給し、エントリー信号が出力
されていないときオンされて第1の電源を第2の電源配
線に供給する電源供給トランジスタとを備えるものとし
た。
【0010】請求項4の発明は、電源供給トランジスタ
をpMOSトランジスタとし、切換回路を、エントリー
信号を第1の電源よりも電圧値の高い制御信号に変換す
るためのレベル変換回路を備えるものとした。
【0011】請求項5の発明は、切換回路を、ロウアド
レスストローブ信号に基づいてチップをスタンバイ状態
からアクティブ状態に切り換えるためのアクティブエン
トリー信号を出力するアクティブエントリー回路と、第
1の電源配線及び第2の電源配線間に設けられ、スタン
バイ時においてアクティブエントリー信号に基づいてオ
ンされて第1の電源の電圧を低下させることにより第2
の電源を生成して第2の電源配線に供給するための電源
供給用nMOSトランジスタと、第1の電源配線及び第
2の電源配線間に設けられ、アクティブ時においてアク
ティブエントリー信号に基づいてオンされて第1の電源
を第2の電源配線に供給するための電源供給用pMOS
トランジスタとを備えるものとした。
【0012】(作用)本発明によれば、セルフリフレッ
シュ動作を含むスタンバイ時において、コラム系回路に
は第1の電源よりも能力の低い第2の電源が供給される
ので、コラム系回路を構成するトランジスタのテーリン
グ電流が削減され、スタンバイ電流が低減されて消費電
流の増加が抑制される。
【0013】
【発明の実施の形態】
[第1の実施の形態]以下、本発明の第1の実施の形態
の半導体記憶装置を図1〜図4に従って説明する。
【0014】図1は本形態における半導体記憶装置とし
てのDRAM10を示す。このDRAM10には第1の
電源としての高電位電源VCCと低電位電源VSS(図2に
示す)とが動作電源として供給される。
【0015】DRAM10は、メモリセルアレイ12、
ロウアドレスバッファ14、ロウデコーダ16、及びロ
ウ系制御回路18を備えている。メモリセルアレイ12
は複数のワード線WLと、複数対のビット線対BL,B
Lバーを備えている。各ワード線WLと各ビット線対B
L,BLバーとの間にはメモリセル(図示略)が接続さ
れている。
【0016】また、DRAM10は、コラムアドレスバ
ッファ20、コラムデコーダ22、コラムゲート24、
センスアンプ26、データ入力バッファ28、データ出
力バッファ30、ライトアンプ32、データアンプ34
及びコラム系制御回路36を備える。さらに、DRAM
10は、セルフリフレッシュエントリー回路40、レベ
ル変換回路42及び電源供給トランジスタ44よりなる
切換回路38を備える。
【0017】本形態では、ロウアドレスバッファ14、
ロウデコーダ16、ロウ系制御回路18がロウ系回路を
構成している。また、コラムアドレスバッファ20、コ
ラムデコーダ22、データ入力バッファ28、データ出
力バッファ30、ライトアンプ32、データアンプ34
及びコラム系制御回路36がコラム系回路を構成してい
る。
【0018】また、DRAM10には第1及び第2の電
源配線46,48が設けられている。第1及び第2の電
源配線46,48は電源供給トランジスタ44を介して
接続されている。第1の電源配線46には図示しないバ
ッテリから高電位電源VCCが供給されている。
【0019】第1の電源配線46はメモリセルアレイ1
2、ロウアドレスバッファ14、ロウデコーダ16、ロ
ウ系制御回路18、センスアンプ26及びセルフリフレ
ッシュエントリー回路40に接続され、これらに高電位
電源VCCを供給する。
【0020】第2の電源配線48はコラムアドレスバッ
ファ20、コラムデコーダ22、データ入力バッファ2
8、データ出力バッファ30、ライトアンプ32、デー
タアンプ34及びコラム系制御回路36に接続され、こ
れらに高電位側の電源を供給する。
【0021】ロウ系制御回路18はロウアドレスストロ
ーブ信号RASバーを入力し、同信号RASバーに基づ
いてロウアドレスバッファ14及びセンスアンプ26に
制御信号を出力する。
【0022】コラム系制御回路36はコラムアドレスス
トローブ信号CASバーを入力し、同信号CASバーに
基づいてコラムアドレスバッファ20、データ入力バッ
ファ28、データ出力バッファ30、ライトアンプ32
及びデータアンプ34に制御信号を出力する。
【0023】ロウアドレスバッファ14はロウ系制御回
路18の制御信号に基づいてロウアドレス信号RAを入
力し、それをロウデコーダ16に出力する。ロウデコー
ダ16はロウアドレス信号RAをワード選択信号にデコ
ードしてメモリセルアレイ12の複数のワード線のう
ち、所定のワード線WLを選択する。
【0024】コラムアドレスバッファ20はコラム系制
御回路36の制御信号に基づいてコラムアドレス信号C
Aを入力し、それをコラムデコーダ22に出力する。コ
ラムデコーダ22はコラムアドレス信号CAをコラム選
択信号にデコードし、その選択信号をコラムゲート24
に出力し、メモリセルアレイ12の複数対のビット線対
のうち、所定のビット線対を選択する。
【0025】メモリセルアレイ12の複数のビット線対
BL,BLバーにはセンスアンプ26が接続されてい
る。センスアンプ26はビット線対BL,バーBLのデ
ータを増幅する。
【0026】データバス線対DB,DBバーはコラムゲ
ート24を介して複数のビット線対BL,BLバーに接
続されている。データバス線対DB,DBバーにはライ
トアンプ32及びデータアンプ34が接続されている。
【0027】データ入力バッファ28はデータ書き込み
時において、コラム系制御回路36の制御信号に基づい
て外部から転送されたデータDを入力し、ライトアンプ
32に出力する。ライトアンプ28はコラム系制御回路
36の制御信号に基づいてデータバス線対DB,DBバ
ーを介してメモリセルアレイ12にデータを書き込む。
【0028】データアンプ34はデータ読み出し時にお
いて、コラム系制御回路36の制御信号に基づいてデー
タバス線対DB,DBバーのデータを増幅し、その増幅
データをデータ出力バッファ30に出力する。データ出
力バッファ30はコラム系制御回路36の制御信号に基
づいてデータQを出力する。
【0029】切換回路38は、DRAM10のアクティ
ブ時とスタンバイ時(セルフリフレッシュ動作時)と
で、第2の電源配線48に供給する高電位側の電源を切
り換えるための回路である。
【0030】セルフリフレッシュエントリー回路40は
ロウアドレスストローブ信号RASバー及びコラムアド
レスストローブ信号CASバーを入力し、両信号に基づ
いてセルフリフレッシュ動作を制御するためのエントリ
ー信号SRを出力する。
【0031】すなわち、図3に示すように、ロウアドレ
スストローブ信号RASバーが立ち下がった後にコラム
アドレスストローブ信号CASバーが立ち下がると、セ
ルフリフレッシュエントリー回路40はDRAM10が
書き込み又は読み出しの通常動作であると判定し、Lレ
ベル(電源VSSの電圧)のエントリー信号SRを出力す
る。
【0032】また、図4に示すように、コラムアドレス
ストローブ信号CASバーが立ち下がった後にロウアド
レスストローブ信号RASバーが立ち下がり、ロウアド
レスストローブ信号RASバーの立ち下がりから100
μsec 経過すると、DRAM10のセルフリフレッシュ
モードであると判定し、Hレベル(電源VCCの電圧)の
エントリー信号SRを出力する。ロウアドレスストロー
ブ信号RASバーがLレベルの期間、エントリー信号S
RはHレベルに保持される。
【0033】図2に示すように、レベル変換回路42は
電源SVCC(>VCC)と低電位電源VSSとを動作電源と
して供給されている。電源SVCCはDRAM10に外部
から供給された電源である。レベル変換回路42はエン
トリー信号SRの論理振幅を電源SVCCから電源VSS
でに変換する。
【0034】レベル変換回路42は5個のpMOSトラ
ンジスタ51〜55及び3個のnMOSトランジスタ5
6〜58を備える。pMOSトランジスタ51,52及
びnMOSトランジスタ56は電源SVCC及び電源VSS
間に直列に接続され、pMOSトランジスタ52及びn
MOSトランジスタ56のゲートにはインバータ50を
介してエントリー信号SRの反転信号が入力されてい
る。
【0035】pMOSトランジスタ53,54及びnM
OSトランジスタ57は電源SVCC及び電源VSS間に直
列に接続され、pMOSトランジスタ54及びnMOS
トランジスタ57のゲートにはエントリー信号SRが入
力されている。
【0036】pMOSトランジスタ51のゲートはpM
OSトランジスタ54及びnMOSトランジスタ57間
のノードN1に接続され、pMOSトランジスタ53の
ゲートはpMOSトランジスタ52及びnMOSトラン
ジスタ56間のノードN2に接続されている。
【0037】pMOSトランジスタ55及びnMOSト
ランジスタ58は電源SVCC及び電源VSS間に直列に接
続され、pMOSトランジスタ55及びnMOSトラン
ジスタ58のゲートは前記ノードN1に接続されてい
る。そして、pMOSトランジスタ55及びnMOSト
ランジスタ58のドレインから制御信号φを出力する。
【0038】従って、エントリー信号SRがLレベルで
あると、pMOSトランジスタ54がオンしnMOSト
ランジスタ57がオフする。そのため、ノードN1はH
レベル(電源SVCCの電圧レベル)となる。ノードN1
がHレベルになると、pMOSトランジスタ55はオフ
しnMOSトランジスタ58はオンする。その結果、制
御信号φはLレベル(電源VSSの電圧レベル)となる。
【0039】逆に、エントリー信号SRがHレベルであ
ると、pMOSトランジスタ54がオフしnMOSトラ
ンジスタ57がオンする。そのため、ノードN1はLレ
ベル(電源VSSの電圧レベル)となり、pMOSトラン
ジスタ55がオンしnMOSトランジスタ58はオフす
る。その結果、制御信号φはHレベル(電源SVCCの電
圧レベル)となる。すなわち、Hレベル(電源VCCの電
圧)のエントリー信号SRはHレベル(電源SVCCの電
圧)の制御信号φに変換される。
【0040】電源供給トランジスタ44はpMOSトラ
ンジスタであり、電源配線46に接続されたソースと、
電源配線48に接続されたドレインと、前記制御信号φ
が入力されたゲートとを備える。
【0041】電源供給トランジスタ44はDRAM10
が通常動作時であると、Lレベルの制御信号φに基づい
てオンされて電源VCCを電源配線48に供給する。ま
た、電源供給トランジスタ44はDRAM10がセルフ
リフレッシュを含むスタンバイ時であると、Hレベルの
制御信号φに基づいてオフされて電源VCCを遮断する。
このとき、制御信号φの電圧は電源SVCCの電圧レベル
となるため、電源供給トランジスタ44は完全にオフ
し、電源供給トランジスタ44のテーリング電流は完全
になくなる。
【0042】次に、上記のように構成されたDRAM1
0の作用を図3,4に従って説明する。図3に示すよう
に、ロウアドレスストローブ信号RASバーが立ち下が
った後にコラムアドレスストローブ信号CASバーが立
ち下がると、DRAM10は書き込み又は読み出しの通
常動作となる。
【0043】そのため、セルフリフレッシュエントリー
回路40のエントリー信号SRはLレベル(電源VSS
電圧)となり、制御信号φもLレベル(電源VSSの電
圧)となる。Lレベルの制御信号φに基づいて電源供給
トランジスタ44がオンし、コラム系回路には電源配線
48を介して高電位側の電源として電源VCCが供給され
る。
【0044】そして、ロウアドレス信号RAに基づいて
メモリセルアレイ12の所定のワード線が選択されると
ともに、コラムアドレス信号CAに基づいて所定のビッ
ト線対BL,BLバーが選択される。その選択されたメ
モリセルに対するデータの書き込み又は読み出しが行わ
れる。
【0045】また、図4に示すように、コラムアドレス
ストローブ信号CASバーが立ち下がった後にロウアド
レスストローブ信号RASバーが立ち下がり、ロウアド
レスストローブ信号RASバーの立ち下がりから100
μsec 経過すると、DRAM10のセルフリフレッシュ
モードとなる。
【0046】そのため、セルフリフレッシュエントリー
回路40のエントリー信号SRはHレベル(電源VCC
電圧)となり、制御信号φはHレベル(電源SVCCの電
圧)となる。Hレベルの制御信号φに基づいて電源供給
トランジスタ44がオフして電源VCCの電源配線48へ
の供給が遮断される。
【0047】そして、ロウ系制御回路18によってロウ
アドレスバッファ14及びロウデコーダ16が制御さ
れ、メモリセルアレイ12の所定のワード線が選択され
る。選択されたワード線に接続された複数のメモリセル
がリフレッシュされる。
【0048】さて、本実施の形態は、以下の効果があ
る。 (1)DRAM10のセルフリフレッシュを含むスタン
バイ時には電源供給トランジスタ44をオフさせて電源
配線48への電源VCCの供給を遮断する。そのため、ス
タンバイ時にコラム系回路に供給される高電位側の電源
と低電位側の電源とが等しくなり、コラム系回路を構成
するトランジスタに流れるテーリング電流をなくしてス
タンバイ電流を低減し、DRAM10の消費電流の増加
を抑制することができる。
【0049】(2)DRAM10のセルフリフレッシュ
時において、電源供給トランジスタ44のゲートに供給
する制御信号φの電圧を電源SVCCの電圧としているた
め、電源供給トランジスタ44のテーリング電流を完全
になくすことができる。
【0050】[第2の実施の形態]次に、本発明の第2
の実施の形態の半導体記憶装置をを図5,図6に従って
説明する。なお、説明の便宜上、図1と同様の構成につ
いては同一の符号を付して説明する。
【0051】図5は本形態における半導体記憶装置とし
てのDRAM60を示す。このDRAM60には第1の
電源としての高電位電源VCCと低電位電源VSSとが動作
電源として供給される。
【0052】DRAM60はロウ系回路62及びコラム
系回路64を備えるとともに、アクティブエントリー回
路63、電源供給用nMOSトランジスタ66及び電源
供給用pMOSトランジスタ68を備える。本形態で
は、アクティブエントリー回路63、電源供給用nMO
Sトランジスタ66及び電源供給用pMOSトランジス
タ68によって切換回路が構成されている。
【0053】第1の電源配線46はロウ系回路62及び
アクティブエントリー回路63に接続され、これらに高
電位電源VCCを供給する。第2の電源配線48はコラム
系回路64に接続され、これらに高電位側の電源を供給
する。
【0054】電源供給用nMOSトランジスタ66は電
源配線46に接続されたドレインと、電源配線48に接
続されたソースと、アクティブエントリー信号ACTが
入力されたゲートとを備える。電源供給用pMOSトラ
ンジスタ68は電源配線46に接続されたソースと、電
源配線48に接続されたドレインと、アクティブエント
リー信号ACTが入力されたゲートとを備える。
【0055】電源供給用nMOSトランジスタ66はD
RAM60がスタンバイ時であると、Hレベルのアクテ
ィブエントリー信号ACTに基づいてオンされて電源V
CCの電圧をトランジスタ66のしきい値電圧Vthだけ低
下させた第2の電源を生成して電源配線48に供給す
る。
【0056】電源供給用pMOSトランジスタ68はD
RAM60がアクティブ時であると、Lレベルのアクテ
ィブエントリー信号ACTに基づいてオンされて電源V
CCを電源配線48に供給する。
【0057】さて、本実施の形態は、以下の効果があ
る。 (1)DRAM60のスタンバイ時には電源供給用nM
OSトランジスタ66によって電源VCCの電圧をトラン
ジスタ66のしきい値電圧Vthだけ低下させた第2の電
源を電源配線48に供給している。そのため、スタンバ
イ時にコラム系回路に供給される高電位側の電源と電源
SSとの電位差を、アクティブ時における電位差よりも
小さくでき、コラム系回路64を構成するトランジスタ
に流れるテーリング電流を削減してスタンバイ電流を低
減し、DRAM60の消費電流の増加を抑制することが
できる。
【0058】なお、本発明は次のように任意に変更して
具体化することも可能である。 (1)上記各実施の形態において、DRAM10,60
の内部に昇圧回路を設けて、電源VCCに基づいて電源S
CCを生成するようにしてもよい。
【0059】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1の発明
は、セルフリフレッシュを含むスタンバイ時において、
コラム系回路のスタンバイ電流を削減することにより、
消費電流を低減することができる半導体記憶装置を提供
するできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態のDRAMを示すブロック図
【図2】図1のレベル変換回路の詳細を示す回路図
【図3】図1のDRAMの通常動作時のタイムチャート
【図4】図1のDRAMのセルフリフレッシュ動作時の
タイムチャート
【図5】第2の実施の形態のDRAMの概略を示すブロ
ック図
【図6】図5のDRAMの作用を示すタイムチャート
【符号の説明】
12 メモリセルアレイ 38 切換回路 40 セルフリフレッシュエントリー回路 42 レベル変換回路 44 電源供給トランジスタ(pMOSトランジスタ) 46 第1の電源配線 48 第2の電源配線 62 ロウ系回路 63 アクティブエントリー回路 64 コラム系回路 66 電源供給用nMOSトランジスタ 68 電源供給用pMOSトランジスタ ACT アクティブエントリー信号 CASバー コラムアドレスストローブ信号 RASバー ロウアドレスストローブ信号 SR エントリー信号 VCC 第1の電源

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリセルアレイと、 ロウアドレスストローブ信号に基づいて動作するロウ系
    回路と、 コラムアドレスストローブ信号に基づいて動作するコラ
    ム系回路とを備え、前記メモリセルアレイのセルフリフ
    レッシュを行うようにした半導体記憶装置において、 前記ロウ系回路には第1の電源を動作電源として供給
    し、 前記コラム系回路にはアクティブ時において前記第1の
    電源を動作電源として供給し、セルフリフレッシュを含
    むスタンバイ時において前記第1の電源よりも能力の低
    い第2の電源を動作電源として供給するようにした半導
    体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記ロウ系回路に前記第1の電源を供給
    するための第1の電源配線と、 前記コラム系回路に動作電源を供給するための第2の電
    源配線と、 アクティブ時とスタンバイ時とで前記第2の電源配線に
    供給する動作電源を前記第1の電源と前記第2の電源と
    に切り換えるための切換回路とを備える請求項1に記載
    の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記切換回路は、 前記ロウアドレスストローブ信号に基づいてセルフリフ
    レッシュ動作を行わせるためのエントリー信号を出力す
    るセルフリフレッシュエントリー回路と、 前記第1の電源配線及び第2の電源配線間に設けられ、
    前記エントリー信号に基づいてオフされて前記第1の電
    源を遮断することにより前記第2の電源を生成して前記
    第2の電源配線に供給し、前記エントリー信号が出力さ
    れていないときオンされて前記第1の電源を前記第2の
    電源配線に供給する電源供給トランジスタとを備える請
    求項2に記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記電源供給トランジスタはpMOSト
    ランジスタであり、前記切換回路は、前記エントリー信
    号を前記第1の電源よりも電圧値の高い制御信号に変換
    するためのレベル変換回路を備える請求項3に記載の半
    導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記切換回路は、 前記ロウアドレスストローブ信号に基づいてチップをス
    タンバイ状態からアクティブ状態に切り換えるためのア
    クティブエントリー信号を出力するアクティブエントリ
    ー回路と、 前記第1の電源配線及び第2の電源配線間に設けられ、
    スタンバイ時において前記アクティブエントリー信号に
    基づいてオンされて前記第1の電源の電圧を低下させる
    ことにより前記第2の電源を生成して前記第2の電源配
    線に供給するための電源供給用nMOSトランジスタ
    と、 前記第1の電源配線及び第2の電源配線間に設けられ、
    アクティブ時において前記アクティブエントリー信号に
    基づいてオンされて前記第1の電源を前記第2の電源配
    線に供給するための電源供給用pMOSトランジスタと
    を備える請求項2に記載の半導体記憶装置。
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