DE3613344A1 - Turbomolekular-vakuumpumpe fuer hoeheren druck - Google Patents
Turbomolekular-vakuumpumpe fuer hoeheren druckInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekular-Vakuumpumpe.
Molekularpumpen erzeugen im Gebiet der Molekularströmung ein
konstantes Druckverhältnis und im Gebiet der Laminarströmung
eine konstante Druckdifferenz. Bei den Molekularpumpen nach
der Bauart von z. B. Gaede, Hollweck oder Siegbahn sind bei sehr
engen Spalten sowohl das Druckverhältnis im Molekulargebiet
als auch die Druckdifferenz im Laminargebiet besonders hoch.
Turbomolekularpumpen als Weiterentwicklung der Molekularpumpen
der früheren Bauart erzeugen bei größeren Spalten im Molekulargebiet
ein sehr hohes Druckverhältnis, im Laminargebiet jedoch
nur eine geringe Druckdifferenz.
Eine Molekularpumpe nach der Bauart von Hollweck wird zum
Beispiel in dem CH-Patent 2 22 288 dargestellt. Der grundsätzliche
Aufbau und die Funktionsweise einer Turbomolekularpumpe werden in
der Zeitschrift "Vakuumtechnik", Heft 9/10 - 1966 unter dem
Titel "Die Turbomolekularpumpe" von W. Becker beschrieben. Bei
beiden Pumpentypen handelt es sich um Molekularpumpen, d. h. sie
arbeiten im molekularen Strömungsgebiet, und der Gastransport
erfolgt durch Impulsübertragung von bewegten Wänden auf die
Moleküle des zu fördernden Gases.
Der Arbeitsbereich von Turbomolekularpumpen ist aber nach höheren
Drücken hin begrenzt, da sie nur im molekularen Strömungsgebiet
voll wirksam sind. Das molekulare Strömungsgebiet wird begrenzt
durch den Druck, bei dem die mittlere freie Weglänge der Moleküle
auf die Größenordnung der Gefäßdimensionen absinkt.
Daher arbeiten Turbomolekularpumpen nur in Kombination mit
Vorvakuumpumpen. In der Regel sind dies zweistufige Drehschieberpumpen.
Wenn es nun gelingt, den Arbeitsbereich von Turbomolekularpumpen
nach höheren Drücken hin zu verschieben, dann könnte
der Aufwand zur Erzeugung des Vorvakuums verringert werden.
Zum Beispiel würden einstufige Drehschieberpumpen ausreichen.
In anderen Fällen könnte man die ölgedichteten Drehschieberpumpen
z. B. durch trockene Membranpumpen ersetzen.
Man kann den Arbeitsbereich einer Turbomolekularpumpe nach
höheren Drücken hin verschieben, indem man im Anschluß an die
Vorvakuumstufe eine Molekularpumpe nach Art einer Holweck-Pumpe
anbringt. Solche Kombinationen sind zum Beispiel in der
DE-AS 24 09 857 und in der EP 01 29 709 beschrieben.
Wesentlich für die Funktion einer solchen Hollweck-Pumpe ist,
daß der Abstand zwischen Rotor und Stator sehr geriing ist. Nur
dann arbeitet sie auch bei höheren Drücken als eine Turbomolekularpumpe
noch im molekularen Strömungsgebiet und entwickelt
ihr volles Druckverhältnis, welches den Arbeitsbereich zu höheren
Drücken hin verschiebt. Theorie und experimentelle Ergebnisse
erfordern einen Abstand zwischen Rotor und Stator von
einigen hundertstel Millimetern.
Eine weitere Voraussetzung für einen guten Wirkungsgrad einer
Molekularpumpe ist eine hohe Drehzahl des Rotors.
Diese beiden extremen Erfordernisse, hohe Drehzahl und enge
Spalte, bedeuten für die Konstruktion einer Molekularpumpe
zwei Bedingungen, die schwer miteinander zu vereinbaren sind.
Je höher die Drehzahl ist, umso größer muß der minimale
Abstand zwischen rotierenden und stehenden Teilen sein, um
einen Anlauf zu verhindern. Bei sehr hohen Drehzahlen und
sehr engen Spalten stellen alle bisher bekannten Konstruktionen
von Molekularpumpen, außer Turbomolekularpumpen, äußerst
kritische Bauteile dar. Dies gilt besonders dann, wenn durch
die thermische Ausdehnung des Rotors, bedingt durch den
elektrischen Antrieb, Reibungsverluste und Kompressionsarbeit
der Spalt sich weiter verringert. Dann kommt es leicht zum
Anlaufen des Rotors am Stator und als Folge davon in vielen
Fällen zur Zerstörung der Pumpe.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Molekularpumpe
zu konstruieren, bestehend aus einer Turbomolekularpumpe
und einer Vorvakuumstufe als Molekularpumpe, die nach der Art
einer Hollweck-Pumpe ausgebildet ist. Dabei soll die als Vorvakuumstufe
dienende Molekularpumpe so konstruiert sein,
daß unter den extremen Bedingungen von sehr engen Spalten
zwischen Rotor und Stator und hohen Drehzahlen auch bei
Ausdehnung des Rotors, z. B. durch Temperaturerhöhung, ein
sicherer Betrieb gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des
Anspuchs 1 gelöst. Die Ansprüche 2 und 3 kennzeichnen
weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.
Anspruch 6 kennzeichnet die Molekularpumpstufe alleine.
Durch die Tatsache, daß das Lager dieser Pumpkombination,
welches den Rotor axial fixiert, sich am spitzen Ende des
Kegels bzw. in der gedachten Spitze eines Kegelstumpfes
befindet, bleibt der Abstand zwischen Rotor und Stator der
so gebildeten Pumpstufe bei Ausdehnung des Rotors konstant.
Die Änderungen des Abstandes zwischen Rotor- und Statorscheiben
der Turbomolekular-Pumpstufe variiert wie bei
den bekannten Konstruktionen von Turbomolekularpumpen
innerhalb der Toleranzgrenzen, welche etwa um den Faktor
10 größer sind als bei einer nach Art einer Hollweck-Pumpe
ausgebildeten Molekularpumpe.
Daß die Spaltbreite an der kegelförmigen Molekularpumpe
bei Ausdehnung des Rotors konstant bleibt, wenn der Kegel
in der Spitze fixiert ist, läßt sich anhand der Fig. 3
zeigen. Bei isotroper Wärmeausdehnung des Rotors gilt
Somit bleibt der Winkel α konstant, und ein Punkt
P auf dem Rotor verschiebt sich parallel zum Kegelmantel
nach P′.
Bei dem Ausführungsbeispiel in Fig. 2 befindet sich die
Kegelspitze auf der der Turbomolekularpumpstufe zugewandten
Seite des Rotors. Bei dieser Konstruktion gelten die gleichen
Verhältnisse für die Spaltbreite a. Man hat hierbei jedoch
noch den Vorteil, daß die Zentrifugalkraft eine zusätzliche
Pumpwirkung hervorruft. Beim Austritt aus der Turbomolekularpumpe
wird das Gas bei kleinem Radius in die Vorpumpenstufe
aufgenommen und bei großem Radius ausgestoßen.
Selbstverständlich kann die kegelförmige Molekularpumpstufe
auch separat oder in Verbindung mit einer andersartigen
Hochvakuumpumpe vorteilhaft eingesetzt werden.
Anhand der Fig. 1 bis 3 soll der Erfindung näher erläutert
werden.
Es zeigen:
Fig. 1: Erfindungsgemäße Turbomolekularpumpe, bei der die
Kegelspitze der Turbomolekularpumpstufe abgewandt
ist.
Fig. 2: Erfindungsgemäße Turbomolekularpump, bei der die
Kegelspitze der Turbomolekularpumpstufe zugewandt
ist.
Fig. 3: Ausschnitt aus Fig. 1.
In den Fig. 1 und 2 sind zwei verschiedene Ausführungsformen
dargestellt, die sich grundsätzlich dadurch unterscheiden,
daß in Fig. 1 die Kegelspitze der Molekularpumpe der Vorvakuumseite
und in Fig. 2 der Seite, auf der sich die Turbomolekularpumpstufe
befindet, zugewandt ist.
Somit kann in dem Ausführungsbeispiel der Fig. 2 die Fliehkraft
zusätzlich als Pumpeffekt mit ausgenutzt werden.
In dem Gehäuse 1 der Turbomolekularpumpstufe befinden sich
Rotor- 2 und Statorscheiben 3. Der hochvakuumseitige Teil
wird durch einen Flansch 4 abgeschlossen. Ein Lager 5,
welches zum Beispiel als Magnetlager ausgebildet sein kann,
dient zur radialen Führung des Rotors. Dieses Lager 5 muß
nicht unbedingt auf der Hochvakuumseite angebracht sein.
Wenn ein ölgeschmiertes Kugellager verwendet wird, ist es
vorzuziehen, dieses auf der Vakuumseite der Turbomolekularpumpstufe
anzuordnen.
Der vakuumseitige Teil der Pumpkombination ist mit 6 bezeichnet.
Der Rotor dieser Pumpstufe wird durch einen Kegelstumpf 7
mit spiralförmigen Nuten 8 gebildet. Der zugehörige
Stator besteht aus einem der Kegelform angepaßten Konus 9.
Die gedachte Spitze des Kegelstumpfes 7 befindet sich bei 10.
An dieser Stelle ist auch ein Lager 11 angebracht, welches
den Rotor axial fixiert. Der Vorvakuumanschluß ist mit 12
und der elektrische Antriebsmotor mit 13 bezeichnet.
In Fig. 3 sind die geometrischen Verhältnisse bei einer Wärmeausdehnung
des Rotors dargestellt. Wenn der Rotor in der
Spitze des Kegels bzw. in der gedachten Spitze des Kegelstumpfes
10 axial fixiert ist, bleibt die Spaltbreite a
zwischen Rotor und Stator bei einer isotropen Ausdehnung
des Rotors konstant.
Claims (4)
1. Turbomolekular-Vakuumpumpe, dadurch gekennzeichnet, daß
der hochvakuumseitige Teil (1) als Turbomolekularpumpe
mit Rotor- (2) und Statorscheiben (3) ausgebildet ist,
und der dem Vorvakuum zugewandte Teil des Rotors (7)
durch einen Kegel oder einen Kegelstumpf gebildet wird,
auf dem sich spiralförmige Nuten (8) befinden und der
zugehörige Stator aus einem der Kegelform angepaßten
Konus (9) besteht, wobei das Lager (11), welches den
Rotor axial fixiert, sich am spitzen Ende (10) des Kegels
bzw. sich in der gedachten Spitze (10) des Kegelstumpfes
befindet.
2. Turbomolekular-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das spitze Ende (10) des Kegels bzw.
des Kegelstumpfes sich auf der der Turbomolekularpumpstufe
abgewandten Seite des Rotors befindet.
3. Turbomolekular-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das spitze Ende (10) des Kegels bzw.
des Kegelstumpfes sich auf der der Turbomolekularpumpstufe
zugewandten Seite des Rotors befindet.
4. Molekularpumpe, dadurch gekennzeichnet, daß der Rotor
(7) durch einen Kegel oder einen Kegelstumpf gebildet
wird, auf dem sich spiralfärmig Nuten (8) befinden und
der zugehörige Stator aus einem der Kegelform angepaßten
Konus (9) besteht, wobei das Lager (11), welches den
Rotor axial fixiert, sich am spitzen Ende (10) des
Kegels bzw. sich in der gedachten Spitze (10) des
Kegelstumpfes befindet.
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