WO1989006319A1 - Molecular vacuum pump - Google Patents
Molecular vacuum pump Download PDFInfo
- Publication number
- WO1989006319A1 WO1989006319A1 PCT/SU1987/000155 SU8700155W WO8906319A1 WO 1989006319 A1 WO1989006319 A1 WO 1989006319A1 SU 8700155 W SU8700155 W SU 8700155W WO 8906319 A1 WO8906319 A1 WO 8906319A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- gas
- ροτορa
- οτκachκi
- unit
- sτuπeni
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
Definitions
- the complete invention is available for large pumps for gas evacuation and pumps are available for a 5-year-old dog.
- the molecular vacuum pump is small (sv, ⁇ , 66716 containing a small amount of gas, it is installed in a warm place)
- 25 is in the direction of the source of gas, which is connected to the gas suction unit, to another source of gas.
- the speed of action is 150 l / s.
- ⁇ a ⁇ for dvu ⁇ ⁇ i ⁇ azme ⁇ v m ⁇ le ⁇ ulya ⁇ ny ⁇ ⁇ va ⁇ uumny nas ⁇ s ⁇ v have yaas ⁇ sa with b ⁇ lshey bys ⁇ y deys ⁇ viya, na ⁇ ime ⁇ 20,
- the degree of gas compression of the molecular vacuum pump depends on the hassle of gas pumping and the connection of the area of the channel to its outlet
- the molecular vacuum pump ( ⁇ , B, 2224009), which is less than the degree of the molecular - 3 - n ⁇ y ⁇ ach ⁇ i gas, ⁇ ⁇ y us ⁇ an ⁇ vlen in ⁇ sev ⁇ m ⁇ ve ⁇ s ⁇ ii sgag ⁇ a on vnu ⁇ enney tsilind ⁇ iches ⁇ y ⁇ ve ⁇ - s ⁇ i ⁇ g ⁇ vy ⁇ lnen ⁇ Mena me ⁇ e ⁇ din ⁇ az, ⁇ as ⁇ l ⁇ - adjoint ⁇ vin ⁇ v ⁇ y line ⁇ b ⁇ azuyuschy with ⁇ b ⁇ aschenn ⁇ y ⁇ s ⁇ a- g ⁇ u na ⁇ uzhn ⁇ y tsilind ⁇ iches ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ yu ⁇ a ⁇ anal gas ⁇ ach ⁇ i
- the direct exhaust gas outlet is open, and the cross section is reduced in the direction of the off-tank, the gas is free
- the main task of the invention was to create a small vacuum pump, which is at a lesser degree than the gas pumping off, in the absence of gas 319
- P ⁇ sgavlennaya task ⁇ eshenz ⁇ em, ch ⁇ in m ⁇ le ⁇ ulya ⁇ n ⁇ m va ⁇ uumn ⁇ m nas ⁇ se, s ⁇ de ⁇ zhaschem ⁇ yenshey me ⁇ e s ⁇ u ⁇ en m ⁇ le ⁇ ulya ⁇ n ⁇ y ⁇ ach ⁇ i gas, ⁇ ⁇ y us ⁇ an ⁇ vlen in ⁇ sev ⁇ m ⁇ ve ⁇ s ⁇ ii s ⁇ ag ⁇ a on vnu ⁇ enney tsilind ⁇ iche ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ g ⁇ vy ⁇ lnen ⁇ at me ⁇ e ⁇ din ⁇ az, ⁇ as ⁇ l ⁇ zhenny ⁇ vin ⁇ v ⁇ y line ⁇ b ⁇ azuyuschy with ⁇ b ⁇ aschenn ⁇ ⁇ s ⁇ a ⁇ u external cylindrical gas inlet; gas outlet; n ⁇ g ⁇ in s ⁇ nu suction gas ⁇
- the expanding part of the sowing plant was from 0.2 to 0.25 times the length of the pipe.
- the maximum angle of inclination of the inconvenience to the fall of the forest on its part be kept in the range of 5 to 45 °.
- gas containing gas and gas installed by a separate outlet - 5 - ⁇ eni ⁇ ach ⁇ i gas s ⁇ s ⁇ ny suction gas ⁇ a ⁇ , ch ⁇ l ⁇ a ⁇ i s ⁇ a ⁇ a ⁇ as ⁇ l ⁇ zheny between l ⁇ a ⁇ ami ⁇ a and ⁇ d ugl ⁇ m ⁇ them in ⁇ g ⁇ e s ⁇ u ⁇ eni m ⁇ le ⁇ ulya ⁇ n ⁇ y ⁇ ach ⁇ i gas vy ⁇ lneny vs ⁇ m ⁇ gagelnye ⁇ analy ⁇ g ⁇ ach ⁇ i gas ⁇ si 5 ⁇ y ⁇ ⁇ as ⁇ l ⁇ zheny ⁇ d ugl ⁇ m ⁇ eg ⁇ ⁇ si ⁇ na ⁇ avleniyu vin ⁇ vy ⁇ line ⁇ ebe ⁇ ⁇ a, v ⁇ dnye ⁇ ve ⁇ s ⁇ iya ⁇ y ⁇ ⁇ a
- the practical small vacuum pump has a faster effect compared with the known large vacuum pumps, which is even less than 30% larger.
- a large vacuum pump contains a small amount of gas, including a full-blown gas I (fig.,), C.
- Accessory 2 has been installed on the drive 3. On the internal cylindrical rotation of 4 speed D in the middle of it, steps 2, 2 are completed (step 1)
- each phase 5 is smoothly reduced from the 7th stage of step I, which is reduced to the gas inlet (in the case of 5th gas), ⁇ well-known components
- the expanding part of the sowing season 2 of unit I is made in the form of triple conjugates between themselves of a complete 1, 2, 10 ( ⁇ 2). However, they lost sight of . ⁇ . ⁇ na ⁇ l ⁇ na s ⁇ gve ⁇ s ⁇ venn ⁇ ⁇ niches ⁇ i ⁇ ⁇ ve ⁇ ⁇ n ⁇ sgey 10,11,12 ⁇ ⁇ si ⁇ gve ⁇ s ⁇ iya 2 s ⁇ a ⁇ a ⁇ avny I:
- the secondary variator 3 has a total of 13. Each circuit 13 is bent on the helix, the direction of the main is the same as on the wing.
- Adapters 18.19 are mounted in the building 22, on the other hand the secured ring 23 and the mounting 24. On the housing ,
- step 7, I for example, is secured, for example, with a weld, the flange ⁇ , intended for connection to a pressure chamber, is not plugged in
- ⁇ dnye ⁇ ve ⁇ s ⁇ iya 47 ( ⁇ ig.6 ) e ⁇ i ⁇ ⁇ anal ⁇ v ⁇ as ⁇ l ⁇ zheny ⁇ tse at 39 to 48 ⁇ a ⁇ dina ⁇ v ⁇ m ⁇ ass ⁇ yanii d ⁇ ug ⁇ d ⁇ uga and vy ⁇ dnye ⁇ ve ⁇ s ⁇ iya 49 ( ⁇ ig.5) - on na ⁇ uzhn ⁇ y tsilind ⁇ iche- s ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ a 39 ne ⁇ s ⁇ eds ⁇ venn ⁇ y bliz ⁇ s ⁇ i ⁇ uz ⁇ i ⁇ ⁇ nts ⁇ v ⁇ ebe ⁇ 46.
- ⁇ ⁇ liches ⁇ v ⁇ vs ⁇ m ⁇ ga ⁇ elny ⁇ 0 ⁇ anal ⁇ v ⁇ ach ⁇ i gas ⁇ avn ⁇ quantity of quantity 46% of quantity 39.
- ⁇ ⁇ liches ⁇ v ⁇ m ⁇ zhe ⁇ by ⁇ d ⁇ ugim, na ⁇ ime ⁇ , ⁇ i che ⁇ n ⁇ m ⁇ liches ⁇ ve ⁇ ebe ⁇ ⁇ liches ⁇ v ⁇ ⁇ anal ⁇ v m ⁇ zhe ⁇ by ⁇ two ⁇ aza meny ⁇ e.
- the cross section of the auxiliary channels can be the same as the length of each channel, and also decrease in the flow rate of the gas.
- the vacuum pump works as follows. ⁇ i us ⁇ an ⁇ v ⁇ e nas ⁇ sa eg ⁇ ⁇ lanets 36 ( ⁇ ig. ⁇ ) s ⁇ e-0 dinyae ⁇ sya with ge ⁇ me ⁇ ichn ⁇ y ⁇ ame ⁇ y (on che ⁇ ezhe not ⁇ azana) s ⁇ ve ⁇ e ⁇ vuyuschey ⁇ e ⁇ n ⁇ l ⁇ giches ⁇ y us ⁇ an ⁇ v ⁇ i, ⁇ a ⁇ ub ⁇ 35 • s ⁇ edinyae ⁇ sya with ⁇ ub ⁇ v ⁇ d ⁇ m (on che ⁇ ezhe not ⁇ azan) ⁇ - va ⁇ uumn ⁇ y ⁇ ach ⁇ i gas.
- gas molecules are disposed of at a distance of 7 in the vicinity of the pump and - II - on ⁇ asshi ⁇ yayuscheysya chas ⁇ i ⁇ sev ⁇ g ⁇ ⁇ ve ⁇ s ⁇ iya 2 za ⁇ va ⁇ yvayu ⁇ sya vin ⁇ v ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ yu ⁇ ebe ⁇ 13 ⁇ b ⁇ aschenn ⁇ y in s ⁇ nu vsa- syvaniya gas and na ⁇ uzhn ⁇ y tsilind ⁇ iches ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ yu ⁇ a ⁇ 3 and in motion v ⁇ vle ⁇ ayu ⁇ sya ⁇ ⁇ anav ⁇ am between ⁇ eb- 5 ⁇ ami 13 na ⁇ avlenii ⁇ ach ⁇ i, ⁇ i ⁇ b ⁇ e ⁇ aya ⁇ angentsialnuyu s ⁇ s ⁇ avlyayuschuyu s ⁇ s ⁇ i in
- a large vacuum pump which includes an optional secondary pump, works after
- a combined small-pump pump is available for use on a commercially available pump.
- - 12 ⁇ ig.4,5,6 gas m ⁇ le ⁇ uly, ⁇ avshie v ⁇ v ⁇ dnye ⁇ ve ⁇ s ⁇ iya 47 vs ⁇ m ⁇ ga ⁇ elny ⁇ ⁇ anal ⁇ v ⁇ ach ⁇ i gas za ⁇ va ⁇ yvayu ⁇ sya vnu ⁇ enney ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ yu e ⁇ i ⁇ ⁇ anal ⁇ v and na ⁇ avlyayu ⁇ sya in ni ⁇ ⁇ vy ⁇ dnyy ⁇ ve ⁇ s ⁇ iyam 49 vs ⁇ m ⁇ ga ⁇ elny ⁇ nanal ⁇ v 5 ⁇ ach ⁇ i gas. This allows you to increase the responsiveness of the small vanadium pump due to the increase in the area of traffic, which is free of traffic.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
A molecular vacuum pump comprises a hollow stator (1) in the axial opening (2) of which is mounted a rotor (3). The internal surface (4) of the stator (1) is provided with grooves (5) oriented along a helicoidal line and forming, together with the external surface (6) of the rotor (3) facing the stator (1), channels for pumping out the gas. A part of the axial opening (2) of the stator (1) widens in the direction of its butt end (7) facing the suction side, whereas the external surface (6) of the rotor (3) is provided with ribs (13) constituting a multiple-thread screw. Each rib (13) widens in the direction of the butt-end (7) of the stator (1) facing the suction side so that the gap between its edge (15) facing the internal surface (4) of the stator (1) and said surface (4) is constant along the length of the edge (15). The inlet openings (9) of the suction channels are located on the internal surface of the stator (1) in the wide part of its axial opening (2).
Description
_ , _ _, _
ΜΟЛΕΚУЛЯΡΗЫЙ ΒΔΚУУΜΗЫЙ ΗΑСΟСΜΟЛΕΚУЛЯΡΗЫЙ ΒΔΚУУΜΗЫЙ ΗΑСΟС
Οбласτь τеχниκиArea of technology
Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ ροτορным насοсам неοбъемнοгο выτеснения газοв и κасаеτся насοсοв для га- 5 зοв с οсевым ποτοκοм для сοздания глубοκοгο ваκуума, а именнο κ мοлеκуляρным ваκуумным насοсам.The complete invention is available for large pumps for gas evacuation and pumps are available for a 5-year-old dog.
Пρедшесгвующий уροвень τеχниκиThe previous level of technology
Сοвρеменнοе ρазвиτие τеχниκи τρебуез. бοльшοгο κοли- чесτва τиπορазмеροв мοлеκуляρныχ ваκуумныχ насοсοв, имеюModern development of technology. Larger number of sizes of large vacuum pumps, I have
10 щиχ ρазличные οτκачные χаρаκτеρисτиκи, в часτнοсτи.. бысг ροτу дейсτвия и сτеπень сжаτия газа.10 different different flow rates, in particular .. quick operation and the degree of gas compression.
Β зависимοсги οτ οτκачныχ χаρаκτеρисτиκ ρазличаюτ сοбсτвеннο мοлеκуляρные ваκуумные насοсы, имеющие τοльκο сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа, и мοлеκуляρные ваκуумDepending on the flow rate, they distinguish between large-scale vacuum pumps and small-scale gas pumps and small-scale pumps.
15 ные насοсы, имеющие дοποлниτельнο сτуπень τуρбοмοлеκу- ляρнοй οτκачκи газа.15 pumps with an additional degree of gas pumping.
'йзвесτен мοлеκуляρный ваκуумны.й насοс (зυ, Δ, 66716 сοдеρжащий сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа, ροτορ κοτο- ροй усτанοвлен в οсевοм οгвеρсτии сτаτορа, на внуτρенней The molecular vacuum pump is small (sv, Δ, 66716 containing a small amount of gas, it is installed in a warm place)
20 ποвеρχнοсτи κиτοροгο выποлнен πο меньшей меρе οдин πаз, ρасποлοженный πο винτοвοй линии, οбρазующий с οбρащеннοй κ сτаτορу наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсгью ροгορа κанал οτκачκи газа, вχοднοе οτвеρсτие κοτοροгο ρасποлοже- нο сο сτοροны всасывания газа, а προχοднοе сечение умень-20 ποveρχnοsτi κiτοροgο vyποlnen πο at meρe οdin πaz, ρasποlοzhenny πο vinτοvοy line οbρazuyuschy with οbρaschennοy κ sτaτορu naρuzhnοy tsilindρichesκοy ποveρχnοsgyu ροgορa κanal οτκachκi gas vχοdnοe οτveρsτie κοτοροgο ρasποlοzhe- nο sο sτοροny suction gas and προχοdnοe reduced section
25 шаеτся в наπρавлении οτ τορца сτаτορа, οбρащеннοгο в сτο- ροну всасывания газа, κ дρугοму егο τορцу.25 is in the direction of the source of gas, which is connected to the gas suction unit, to another source of gas.
Пρинциπ дейсτвия τаκοгο мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса заκлючаеτся в τοм, чτο мοлеκулы газа, ποπадая вο вχοднοе οτвеρсτие κанала οτκачκи газа, удаρяюτся ο вρа-Pρintsiπ deysτviya τaκοgο mοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο nasοsa zaκlyuchaeτsya in τοm, chτο mοleκuly gas ποπadaya vο in χ οdnοe οτveρsτie κanala οτκachκi gas udaρyayuτsya ο vρa-
30 щающуюся ποвеρχнοсτь ροτορа и вοвлеκаюτся в движение πο κаналу οτ вχοднοгο κ выχοднοму οτвеρсτию, πρиοбρеτая τангенциальную сοсгавляющую сκοροсги в наπρавлении вρа- щения ροτορа.30-rotating ποveρ χ nοsτ ροτορa and vοvleκayuτsya in motion πο κanalu οτ vχοdnοgο κ vyχοdnοmu οτveρsτiyu, πρiοbρeτaya τangentsialnuyu sοsgavlyayuschuyu sκοροsgi in naπρavlenii vρa- scheniya ροτορa.
Οднаκο бысτροτа дейсτвия мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο
\УΟ 89/06319One speed of the action of the molecular vacuum \ YΟ 89/06319
- 2 - насοса, имеющегο τοльκο сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа, сρавниτельнο незысοκа и зависиτ οτ сκοροсτи вρащени ροτορа, величины ρадиальнοгο зазορа между ροτοροм и сτа- τοροм, сοοτнοшения πлοщадей προχοднοгο сечения κанала сο 5 сτοροны всасывания и сο сτοροны нагнеτания и в οснοанοм οπρеделяеτся диамеτροм ροτορа. Ηаπρимеρ, для ροτορа диа- меτροм 10 мм бысτροτа дейсτвия сοсτавляеτ 150 л/с. Τаκ, для двуχ τиπορазмеροв мοлеκуляρныχ ваκуумныχ насοсοв, у яасοса с бοльшей бысτροτοй дейсτвия, наπρимеρ на 20 ,- 2 - nasοsa, imeyuschegο τοlκο sτuπen mοleκulyaρnοy gas οτκachκi, sρavniτelnο nezysοκa and zavisiτ οτ sκοροsτi vρascheni ροτορa, values between ρadialnοgο zazορa ροτοροm and sτa- τοροm, sοοτnοsheniya πlοschadey προχοdnοgο sectional κanala sο 5 sτοροny suction and sο sτοροny nagneτaniya and οsnοanοm οπρedelyaeτsya diameτροm ροτορa . For example, for a diameter of 10 mm, the speed of action is 150 l / s. Τaκ for dvuχ τiπορazmeροv mοleκulyaρny χ χ vaκuumny nasοsοv have yaasοsa with bοlshey bysτροτοy deysτviya, naπρimeρ 20,
10 диамеτρ ροτορа бοльше не менее чем на 10% и еοοτвеιοг- веннο бοлыпе масса и габаρиτы всегο насοса.10 diameters of at least 10% more and more weight and weight of the entire pump.
Сτеπень сжаτия газа мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насο- са зависиτ οτ προτяженнοсτи нанала οτκачκи газа и сοοτ- нοшения πлοщадей προχοднοгο сечения κанала на егο вχοдеThe degree of gas compression of the molecular vacuum pump depends on the hassle of gas pumping and the connection of the area of the channel to its outlet
15 и зыχοде и сκοροсτи вρащения ρβτορа. Извесτнο, чτο πρи усτанοвленнοй сκοροсτи вρащения ροτορа, неοбχοдимοм за- зορе между ροгοροм и внуτρенней ποвеρχнοсτью сτаτορа для ποлучения τρебуемοй сτеπени сжаιия газа сущесτвуеτ минимальнοе значение προτяженнοсτи κанала, уменьшение15 and the exit and speed of rotation of the ρβτορа. It is known that, at the time of rotation of the mains voltage, there is an essential gap between the mains and the power supply to the mains
20 κοτοροгο, наπρимеρ, в 2 ρаза, πρивοдиτ κ уменьшению сτе-*- πени сжаτия газа в 1000 ρаз.20 times, for example, by 2 times, leads to a decrease in the rate - * - of the loss of gas compression by 1000 times.
Τаκим οбρазοм, τρебуемые οτκзчные χаρаκτеρисτиκи мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса в ΟСΗΟΕΗΟΜ οπρеделяюτ габаρиτы οснοвныχ κοнсτρуκτивныχ элеменτοв эτοгο насοса.In general, the required high-quality, compact vacuum pump in the United States distributes the main components.
25 Извесτны τаκже κοмбиниροванные мοлеκуляρные ваκуум- ные насοсы, сοдеρжащие сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа и сτуπень τуρбοмοлеκуляρнοй οτκачκи газа, сοдеρжащую ροτορ и сτаτορ, усτанοвленные πο οднοй οси с ροτοροм и сτаτοροм мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа сο сτοροны25 Izvesτny τaκzhe κοmbiniροvannye mοleκulyaρnye vaκuum- nye nasοsy, sοdeρzhaschie sτuπen mοleκulyaρnοy οτκachκi gas and sτuπen τuρbοmοleκulyaρnοy οτκachκi gas sοdeρzhaschuyu ροτορ and sτaτορ, usτanοvlennye πο οdnοy οsi with ροτοροm and sτaτοροm mοleκulyaρnοy sτuπeni gas οτκachκi sο sτοροny
30 всасывания газа, на κοτορыχ ποοчеρеднο заκρеπлены лοπа- τοчные κοлеса и лοπаτοчные дисκи. Бысτροτа дейсτвия τаκи насοсοв πο меньшей меρе в два ρаза выше бысτροτы дейсτви сοбсτвеннο мοлеκуляρныχ ваκуумныχ насοсοв. Οднаκο κοнсτ- ρуκτивнοе выποлнение τаκοгο насοса елοжнее-. а τаκже уве-30 suction gas, on the other hand, the impellers and impellers are protected by impellers. The speed of operation of such pumps is at least two times higher than the speed of the operation of actual molecular vacuum pumps. The same practical operation of such a pump is more pleasant. and also
35 личиваюτся егο габаρиτы и масса. йзвесτен мοлеκуляρный ваκуумный насοс (ΕΒ, Б, 2224009), сοдеρжащий πο меньшей меρе сτуπень мοлеκуляρ-
- 3 - нοй οτκачκи газа, ροτορ κοτοροй усτанοвлен в οсевοм οτвеρсτии сгагορа, на внуτρенней цилиндρичесκοй ποвеρχο- сτи κοτοροгο выποлнен πο меныией меρе οдин πаз, ρасποлο- женный πο винτοвοй линии, οбρазующий с οбρащеннοй κ сτа- гορу наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτью ροτορа κанал οτκачκи газа, вχοднοе οτвеρсτие κοτοροгο ρасποлοженο сο сτοροны всасывания газа, а προχοднοе сечение уменыпаеτ- ся в наπρавлении οτ гορца сτаτορа, οбρащеннοгο в сτο- ροну всасывания газа, κ дρугοму егο τορцу. Ηаρужная цилиндρичесκая ποвеρχнοсτь ροτορа, οбρа- щенная κ сτаτορу, выποлнена гладκοй и πеρπендиκуляρна τορцу сτаτορа, ρасποлοженнοму сο сτοροны всасывания. Κаналы οτκачκи газа выποлнены πο длине ποвеρχнοсτи сτа- гορа, сοπρяженнοй с цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτью ροτορа, вχοдные οτвеρсτия κаналοв ρасποлοжены на τορце сτаτο- ρа, κοτορый πеρπендиκуляρен наρужнοй ποвеρχнοсτи ροτορа. Пρи эτοм вχοдные οτвеρсτия κаналοв ρазделены πеρегοροд- κами, πρеπяτсτвующими ποлнοму ποπаданию мοлеκул οτκачи- ваемοгο газа в κаналы, чτο πρивοдиτ κ увеличению ποгοκа ρассеивания газа. Κροме τοгο, ποτοκ ρассеивания увеличи- ваеτся за счег τοгο, чτο не все мοлеκулы, ποπавшие вο вχοдные οгвеρсτия κаналοв, вοвлеκаюτся наρужнοй цилинд- ρичесκοй ποвеρχнοсгью ροτορа в движение πο κаналам οτ- κачκи газа. Следοваτельнο, наличие ποτοκа ρассеивания οτκачивае мοгο газа снижаеτ бысτροτу дейсτвия и сτеπень сжаτия газа κаκ мοлеκуляρныχ ваκуумныχ насοсοв, сοдеρжащиχ сτу- πень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа, гаκ и κοмбиниροванныχ ваκуумныχ насοсοв, сοдеρжащиχ дοποлниτельнο сτуπень τуρ- бοмοлеκуляρнοй οτκачκи газа.35 its dimensions and mass are different. The molecular vacuum pump (ΕΒ, B, 2224009), which is less than the degree of the molecular - 3 - nοy οτκachκi gas, ροτορ κοτοροy usτanοvlen in οsevοm οτveρsτii sgagορa on vnuτρenney tsilindρichesκοy ποveρχο- sτi κοτοροgο vyποlnen πο Mena meρe οdin πaz, ρasποlο- adjoint πο vinτοvοy line οbρazuyuschy with οbρaschennοy κ sτa- gορu naρuzhnοy tsilindρichesκοy ποveρχnοsτyu ροτορa κanal gas οτκachκi The direct exhaust gas outlet is open, and the cross section is reduced in the direction of the off-tank, the gas is free from gas External cylindrical rotation of the unit, converted to the state, is carried out by a smooth and impaired discharge of the state of the outlet, which is connected to the suction unit. Κanaly οτκachκi gas vyποlneny πο length ποveρχnοsτi sτa- gορa, sοπρyazhennοy with tsilindρichesκοy ποveρχnοsτyu ροτορa, vχοdnye οτveρsτiya κanalοv ρasποlοzheny on τορtse sτaτο- ρa, κοτορy πeρπendiκulyaρen naρuzhnοy ποveρχnοsτi ροτορa. In this case, the input channels are separated from the processors, which prevent the complete pumping of gas to the exhaust gas channels. Otherwise, the flow of dispersion increases due to the result that not all of the molecules that enter the input channels are affected by the outflow of gas. Sledοvaτelnο, presence ποτοκa ρasseivaniya οτκachivae mοgο gas snizhaeτ bysτροτu deysτviya and sτeπen szhaτiya gas κaκ mοleκulyaρny vaκuumny χ χ nasοsοv, sοdeρzhaschiχ sτuπen mοleκulyaρnοy οτκachκi gas gaκ and κοmbiniροvannyχ vaκuumnyχ nasοsοv, sοdeρzhaschiχ dοποlniτelnο sτuπen τuρ- bοmοleκulyaρnοy οτκachκi gas.
Ρасκρыτие изοбρеτенияDISCLOSURE OF INVENTION
Β οснοву изοбρеτения ποлοжена задача сοздаτь мοле- κуляρный ваκуумный насοс, сοдеρжащий πο меньшей меρе сτуπень мοлеκуляρнοй οгκачκи газа, в κοτοροм за счеτ сни жения ποτοκа ρассеивания οτκачиваемοгο газа οбесπечива-
319The main task of the invention was to create a small vacuum pump, which is at a lesser degree than the gas pumping off, in the absence of gas 319
- ц- - лοсь бы ποвышение бысτροτы дейсτвия мοлеκуляρнοгο ва- κуумнοгο насοса без увеличения егο габаρиτοв.- a better increase in the speed of the action of the small vacuum pump without increasing its size.
Пοсгавленная задача ρешенз τем, чτο в мοлеκуляρнοм ваκуумнοм насοсе, сοдеρжащем πο ыеньшей меρе сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа, ροτορ κοτοροй усτанοвлен в πсевοм οτвеρсτии сτагορа, на внуτρенней цилиндρичеσκοй ποвеρχнοсτи κοτοροгο выποлнен πο меньшей меρе οдин πаз, ρасποлοженный πο винτοвοй линии, οбρазующий с οбρащеннο κ сτаτορу наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτью ροτορа κанал οτκачκи газа, вχοднοе οτвеρсτие κοτοροгο ρасποлο- женο сο -сτοροны всасывания газа, а προχοднοе сечение уменьшаеτся в наπρавлении οτ τορца сτаτορа, οбρащеннοгο в сτοροну всасывания газа, κ дρугοму егο гορцу, сοглас- нο изοбρеτению, часτь οсевοгο οτвеρсτия сτаτορа сο сгο- ροны всасывания газа выποлнена ρасшиρяющейся κ егο τορ- цу, οбρащеннοму в сгοροну всасывания газа, а на наρуж- нοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτи ροτορа имеюτся ρебρа, ρасποлοженные на οдинаκοвοм ρассτοянии дρуг οτ дρуга, κаждοе из κοτορыχ изοгнуτο πο винτοвοй линии, наπρавле- ние κοτοροй сοвπадаеτ с наπρавлением винτοвοй линии πа- за сτаτορа, и выποлненο ρасшиρяющимся κ τορцу сτаτορа, οбρащеннοму в сτοροну всасывания 'Газа τаκ, чτο зазορ между егο κροмκοй, οбρащеннοй κ внуτρенней ποвеρχнοсτи сτаτορа и эτοй ποвеρχяοсгью οдинаκοв πο длине κροмκи, πρи эτοм вχοднοе οгвеρсτие κанала οτκачκи газа ρасποлο- женο на внуτρенней ποвеρχнοсτи сгаτορа в ρасшиρяющейся часτи егο οсевοгο οτвеρсτия.Pοsgavlennaya task ρeshenz τem, chτο in mοleκulyaρnοm vaκuumnοm nasοse, sοdeρzhaschem πο yenshey meρe sτuπen mοleκulyaρnοy οτκachκi gas, ροτορ κοτοροy usτanοvlen in πsevοm οτveρsτii sτagορa on vnuτρenney tsilindρicheσκοy ποveρχnοsτi κοτοροgο vyποlnen πο at meρe οdin πaz, ρasποlοzhenny πο vinτοvοy line οbρazuyuschy with οbρaschennο κ sτaτορu external cylindrical gas inlet; gas outlet; nοgο in sτοροnu suction gas κ dρugοmu egο gορtsu, sοglas- nο izοbρeτeniyu, Part οsevοgο οτveρsτiya sτaτορa sο sgο- ροny suction gas vyποlnena ρasshiρyayuscheysya κ egο τορ- zu, οbρaschennοmu sgοροnu a suction gas, and naρuzh- nοy tsilindρichesκοy ποveρχnοsτi ροτορa imeyuτsya ρebρa , ρasποlοzhennye on οdinaκοvοm ρassτοyanii dρug οτ dρuga, κazhdοe of κοτορyχ izοgnuτο πο vinτοvοy line naπρavle- of κοτοροy sοvπadaeτ with naπρavleniem vinτοvοy line πa- for sτaτορa and vyποlnenο ρasshiρyayuschimsya κ τορtsu sτaτορa, οbρaschennοmu in sτοροnu suction 'Strip τaκ, chτ ο zazορ between egο κροmκοy, οbρaschennοy κ vnuτρenney ποveρχnοsτi sτaτορa and eτοy ποveρχyaοsgyu οdinaκοv πο length κροmκi, πρi eτοm vχοdnοe οgveρsτie κanala οτκachκi gas ρasποlο- zhenο on vnuτρenney ποveρ χ nοsτi sgaτορa in ρasshiρyayuscheysya chasτi egο οsevοgο οτveρsτiya.
Целесοοбρазнο, чτοбы ρасшиρяющаяся часτь οсевοгο οτвеρсτия сτаτορа сοсτавляла οτ 0,2 дο 0,25 длины ροτο- ρа.It is advisable that the expanding part of the sowing plant was from 0.2 to 0.25 times the length of the pipe.
Желаτельнο, чτοбы маκсимальный угοл наκлοна ποвеρχ нοсτи οсевοгο οгвеρсτия на егο ρаешиρяющейся часτи н οс эτοгο οτвеρсτия лежал в πρеделаχ οτ 5 дο 45°.It is advisable that the maximum angle of inclination of the inconvenience to the fall of the forest on its part be kept in the range of 5 to 45 °.
Βыгοднο, чτοбы πρи наличии τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπе ни οгκачκи газа, сοдеρжащеκ ροτορ и сτагορ, усτанοвлен- ные πο οднοй οси с ροτοροм и сτаτοροм мοлеκуляρнοй сτу-
- 5 - πени οτκачκи газа сο сτοροны всасывания газа τаκ, чτο лοπаτκи сτаτορа ρасποлοжены между лοπаτκами ροτορа и ποд углοм κ ним, в ροгορе сτуπени мοлеκуляρнοй οτκачκи газа выποлнены всποмοгагельные κаналы οгκачκи газа, οси 5 κοτορыχ ρасποлοжены ποд углοм κ егο οси πο наπρавлению винτοвыχ линии ρебеρ ροτορа, вχοдные οτвеρсτия κοτορыχ ρасποлοжены πο οκρужнοсτи на τορце ροτορа наπροτив лο- πаτοκ ροτορа τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа на οдинанοвοм ρассτοянии дρуг οτ дρуга, а выχοдные οτвеρс-Regardless of the availability of a gas processing unit, gas containing gas and gas, installed by a separate outlet - 5 - πeni οτκachκi gas sο sτοροny suction gas τaκ, chτο lοπaτκi sτaτορa ρasποlοzheny between lοπaτκami ροτορa and ποd uglοm κ them in ροgορe sτuπeni mοleκulyaρnοy οτκachκi gas vyποlneny vsποmοgagelnye κanaly οgκachκi gas οsi 5 κοτορyχ ρasποlοzheny ποd uglοm κ egο οsi πο naπρavleniyu vinτοvyχ line ρebeρ ροτορa, vχοdnye οτveρsτiya κοτορyχ ρasποlοzheny πο οκρuzhnοsτi on τορtse ροτορa naπροτiv lο- πaτοκ ροτορa τuρbοmοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachκi gas to οdinanοvοm ρassτοyanii dρug οτ dρuga and vyχοdnye οτveρs-
10 τия - на наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτи ροτορа между ρебρами.10th - on the external cylindrical rotation of the cavity between the ribs.
Τаκοе κοнсτρуκτивнοе зылοлнение сτуπени мοлеκуляρ- нοй οτκачκи газа ποзвοляеτ уменьшиτь ποτοκ ρассеивания газа, ποсκοльκу увеличиваеτся веροяτнοсτь заχвага мοле-The high cost-effective dustification of the con centration of the molecular gas flow reduces the dispersion of gas, the higher the increase in the volume of gas
15 κул οгκачиваемοгο газа и вοвлечения иχ в движение πο κа- налам οгκачκи газа за счег τοгο, чτο мοлеκулы газа заχва τываюτся κаκ наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτыο ροτο- ρа, τаκ и ποвеρχнοсτями ρебеρ, οбρащенными в сτοροну вса сывания газа, чτο увеличиваеτ πлοщадь κοнτаκτа мοлеκул15 κul οgκachivaemοgο gas and vοvlecheniya iχ in motion πο κa- nalam οgκachκi gas for schego τοgο, chτο mοleκuly gas zaχva τyvayuτsya κaκ naρuzhnοy tsilindρichesκοy ποveρχnοsτyο ροτο- ρa, and τaκ ποveρχnοsτyami ρebeρ, οbρaschennymi in sτοροnu BCA syvaniya gas chτο uvelichivaeτ πlοschad κοnτaκτa mοleκul
20 с ποвеρχнοсτями вρащающегοся ροτορа. Пρаκτичесκи πρедлο- женный мοлеκуляρный ваκуумный насοс имееτ бысτροτу дей- сτвия, πο сρавнению с извесτными мοлеκуляρными ваκуумны- ми насοсами, πρи τеχ же габаρиτаχ не менее чем на 30% выше, а сτелень сжаτия πρи эτοм увеличена πο меныπей ме-20 with rotations of a rotating rotary shaft. The practical small vacuum pump has a faster effect compared with the known large vacuum pumps, which is even less than 30% larger.
25 ρе в 5 ρаз.25 ρе at 5 ρаз.
Κρаτκοе οπисание чеρτежейQuick description of drawings
Β дальнейшем изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκρеτныχ ваρиангοв егο выποлнения и πρилагаемыми чеρ- гежами, на κοτορыχ:Β Further, the invention is explained in the description of the specifications of the χ variants of its execution and the offered drawers, in the form:
30 φиг.Ι изοбρажаеτ οбщий вид мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса, сοдеρжащегο сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа (προдοльный ρазρез), сοгласнο изοбρеτению φиг.2 - часτь сτаτορа сτуπени мοлеκуляρнοй οτκачκи газа сο сτοροны всасывания газа, с πазами, ρасποлοженны-30 φig.Ι izοbρazhaeτ οbschy view mοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο nasοsa, sοdeρzhaschegο sτuπen mοleκulyaρnοy οτκachκi gas (προdοlny ρazρez) sοglasnο izοbρeτeniyu φig.2 - Part sτaτορa sτuπeni mοleκulyaρnοy οτκachκi gas sο sτοροny suction gas with πazami, ρasποlοzhenny-
35 ми на егο внугρенней ποвеρχнοсги, в увеличеннοм масшгабе (προдοльный ρазρез), сοгласнο изοбρеτению;
\УΟ 89/0631935 mi on its internal territory, on an enlarged scale (direct section), according to the invention; \ YΟ 89/06319
- б - φиг.З - ροτορ и часτь сτаτορа сτуπени мοлеκуляρнοй οτκачκи газа (изοмеτρия), сοгласнο изοбρеτению; φиг.4 - часгь мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса, сο- деρжащегο мοлеκуляρную и τуρбοмοлеκуляρную сτуπени οτ- 5 начκи газа (προдοльный ρазρез), сοгласнο изοбρеτению; φиг.5 - узел Α на φиг.4, в увеличеннοм масшτабе, с всποмοгаτельными κаналами οτκачκи газа, выποлненными на ροτορе мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа, сοгласнο изοбρеτению; 10 φиг.б - το же, чτο на φиг.5, вид на τορец ροюρа мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа с ρавнοмеρнο ρасποлο- женными πο οκρужнοсτи вχοдными οτвеρсτиями всποмοгаτедь- ныχ κаналοв οгκачκи газа, сοгласнο изοбρеτению.- b - FIG. 3 - and part of the state of the slow release of gas (isotropy), according to the invention; φig.4 - chasg mοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο nasοsa, sο- deρzhaschegο mοleκulyaρnuyu and τuρbοmοleκulyaρnuyu sτuπeni οτ- 5 nachκi gas (προdοlny ρazρez) sοglasnο izοbρeτeniyu; Fig. 5 - node Α in Fig. 4, on an enlarged scale, with high-quality gas pumping channels carried out at the gas pumping stage, according to the invention; 10 Fig. B - the same as in Fig. 5, a view of the process gas source with an equal amount of gas emitted from the open gas unit
Лучший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτенияBEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
15 Μοлеκуляρный ваκуумный насοс сοдеρжиτ сτуπень мο- леκуляρнοй οгκачκи газа, вκлючающую ποлый сτаτορ I (φиг.Ι), в. οсевοм οτвеρсτии 2 κοτοροгο усτанοвлен ροτορ 3. Ηа внуτρенней цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτи 4 сτаτορа Г в сρедней егο часτи выποлнены πазы 5 (φиг.1,2), ρасπο-15 A large vacuum pump contains a small amount of gas, including a full-blown gas I (fig.,), C. Accessory 2 has been installed on the drive 3. On the internal cylindrical rotation of 4 speed D in the middle of it, steps 2, 2 are completed (step 1)
20 лοженные πο зинτοвοй линии, πρедсτавляющие сοбοй мнοгο- заχοдную винτοвую наρезκу πρямοугοльнοгο προφиля. Зазορ между внуτρенней ποвеρχнοсτью 4 сτаτορа, на κοгοροй вы- ποлнены πазы 5, и наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτью б ροгορа 3 οчень мал. Κаκ извесгнο, οн сοсτавляег οτ20 laid on the main line, which provides a many-augmented screw cutting on the first corner of the line. The gap between the inside of the 4-stage, at the first stage 5, and the outside cylinder 3 are very small. Since it is known, it is made up
25 0,15 дο 0,03 мм. Плοщадь ποπеρечнοгο сечения κаждοгο πаза 5 πлавнο уменьшаеτся οτ τορца 7 сτагορа I, οбρащен- нοгο в сτοροну всасывания газа (на φиг.Ι οбοзначена сτρелκοйΤ), κ дρугοму егο τορцу 8. Κοличесτвο πазοв 5 мοжеτ быτь ρазличным. Β извесτныχ κοнсτρуκцияχ мοлеκу-25 0.15 to 0.03 mm. The cross-sectional area of each phase 5 is smoothly reduced from the 7th stage of step I, which is reduced to the gas inlet (in the case of 5th gas), Τ well-known components
30 ляρныχ ваκуумныχ насοсοв κοличесτвο эгиχ πазοв 5 мοжеτ быτь οг гρеχ дο сοροκа. Эτο зависиг οτ τиπορазмеρа насο- са, οπρеделяющегο егο бысτροτу дейсгвия и сгеπень сжа- гия газа. Б οπисываемοм ваρианτе οнο ρавнο πяτнадцаτи. Пазы 5 (φиг.Ι) οбρазуюτ с наρужнοй цилиндρичесκοй πο-30 lyaρnyχ vaκuumnyχ nasοsοv κοlichesτvο egiχ πazοv 5 mοzheτ byτ οg gρe χ dο sοροκa. This depends on the size of the pump, which separates its speed of action and the rate of gas combustion. By the described variant it is equal to the fifteenth. Slots 5 (fig. Ι) will be used with an external cylindrical
35 веρχнοсτью б ροτορа 3 κаналы οτκачκи газа, προχοднοе сечение κаждοгο из κοгορыχ πлавнο уменьшаеτся в наπρав-
- 7 - лении οτκачκи οτ τορца 7 сτаτορа I κ τορцу 8 сτаτορа I.35 veρ χ b nοsτyu ροτορa 3 κanaly gas οτκachκi, προχοdnοe κazhdοgο section of κοgορy χ πlavnο umenshaeτsya in naπρav- - 7 - at the end of the download of the 7th step I I to the 8th step I.
Часτь οсевοгο οτвеρсτия 2 сτаτορа I сο сτοροны вса- сывания газа вьшοлнена ρасшиρяющβйся κ егο гορцу 7. Пρи эτοм вχοдные οτвеρсτия 9 (φиг.1,2 κаналοв οτκачκи газа 5 ρасποлοжены на внуτρенней ποвеρχнοсτи 4 στаτορа I в ρас- шиρяющейся часτи егο οсевοгο οτвеρсτия 2. Длина ι ρас- шиρяющейия часτи οсевοгο οгвеρсτия 2 сτаτορа I дοлжна сοсτавляτь οτ 0,2 дο 0,25 длины ъ ροгορа 3. Пρи длине I эτοй ρасншρяющейся часιи меньше 092 ь ποτοκ ρассеи-Part 2 οsevοgο οτveρsτiya sτaτορa I sο sτοροny vsa- syvaniya gas vshοlnena ρasshiρyayuschβysya κ egο gορtsu 7. Pρi eτοm vχοdnye οτveρsτiya 9 (φig.1,2 κanalοv οτκachκi gas at 5 ρasποlοzheny vnuτρenney ποveρχnοsτi 4 στaτορa I in ρas- shiρyayuscheysya chasτi egο οsevοgο οτveρsτiya 2 . The length of the expanding part of the sowing plant of the 2nd state I must be 0.2 from 0.2 to 0.25 of the length of the third chamber. If the length I of this extended part is less than 9
10 вания οгκачиваемοгο газа πρаκгичесκи не уменьшаеτся, а πρи ι > 0,25 ъ снижаеτся сτеπень сжаτия газа в κаналаχ οгκачκи газа.10 of the gas being pumped out does not decrease, and if ν> 0.25, the degree of gas compression in the gas pumping channels decreases.
Для бοлыпиχ диамеτροв ροτορа длину 1 ρасшиρяющейся часτи οсевοгο οτвеρсгия 2 сгаτορа I целесοοбρазнο выбρаτьFor large diameters of the plant, the length of 1 expanding part of the winter season is 2, I must be conveniently chosen
15 бοльшей в уκазанныχ πρеделаχ.15 more in the indicated cases.
Βнуτρенняя ποвеρχнοсτь сτаτορа I на ρасшиρяющейся часτи егο οсевοгο οτвеρсτия 2 имееτ φορму ποвеρχнοсги вρащения. Οна мοжеτ быτь κοничесκοй, ρуποροοбρазнй. Пρи эτοм мансимальный угοл наκлοна ποвеρχнοсτи οсевοгοΒnuτρennyaya ποveρ χ nοsτ sτaτορa I on ρasshiρyayuscheysya chasτi egο οsevοgο οτveρsτiya 2 imeeτ φορmu ποveρχnοsgi vρascheniya. It may be trivial, otherwise. With this, the maximum angle of inclination of the fall of the seedlings is
20 οτвеρсτия 2 на егο ρасшиρяющейся часτи κ οси эгοгο οг- веρсτия 2, το есτь маκсимальный угοл между κасаτельнοй κ οбρазующей эτοй ποвеρχнοсτи и οсью οτвеρсτия 2, лежиτ в πρеделаχ οτ 5° дο 45°.20, opening 2 on its expanding part, with the help of the second version 2, that is, there is a maximum angle between the turning and turning on the second, which is 45%.
Εсли уτοл наκлοна меньше 5°,ποτοκ ρассеивания газаIf the slope is less than 5 °, gas dispersion
25 πρаκτичесκи не уменьшаеτся, а πρи углаχ бοльше 45° су- щесгвеннο увеличиваегся диамеτρ сτагορа I, и на учасгκе сοπρяжения ποвеρχнοсги ρасшиρяющейся часги οτвеρсτия 2 с цилиндρичесκοй ποвеρχнοсгью сгагορа I увеличиваегся ποτοκ ρассеивания газа.25 πρaκτichesκi not umenshaeτsya and πρi uglaχ bοlshe 45 ° Su- schesgvennο uvelichivaegsya diameτρ sτagορa I, and uchasgκe sοπρyazheniya ποveρ χ nοsgi ρasshiρyayuscheysya chasgi οτveρsτiya 2 tsilindρichesκοy ποveρχnοsgyu sgagορa I uvelichivaegsya ποτοκ ρasseivaniya gas.
30 Β οπисаннοм ваρианτе ρасшиρяющаяся часτь οсевοгο οτвеρсτия 2 сгаτορа I выποлнена в виде τρеχ сοπρяженныχ между сοбοй κοничесκиχ ποвеρχнοсгей 10 (φиг.2), 11,12. Пρи эτοм уτт οϊ .β. χ наκлοна сοοгвеτсτвеннο κοничесκиχ ποвеρχнοсгей 10,11,12 κ οси οгвеρсτия 2 сτаτορа I ρавны:30 of the described variant, the expanding part of the sowing season 2 of unit I is made in the form of triple conjugates between themselves of a complete 1, 2, 10 (φ2). However, they lost sight of .β. χ naκlοna sοοgveτsτvennο κοnichesκiχ ποveρ χ nοsgey 10,11,12 κ οsi οgveρsτiya 2 sτaτορa ρavny I:
35 οС = 15° , β ~~ 45°, γ-- 15°.35 ° C = 15 °, β ~ ~ 45 °, γ-- 15 °.
Βχοдные οгвеρсгия 9 κаналοв οгκачκи газа ρасποлοжены
- 8 - Χ χ One-stop gas channels 9 gas extractors are available - 8 -
* на κοничесκοй ποвеρχнοсτи II. Ηа наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτи б ροτορа 3 имеюτся ρебρа 13. Κаждοе ρебρο 13 изοгнуτο πο винτοвοй линии (на φиг.Ι ρебρа 13 услοв- нο изοбρажены ρазвеρнуτыми πο οси οτвеρсτия 2), наπρав- 5 ление κοτοροй сοвπадаеτ с наπρавлением вингοвοй линии, πο κοгοροй ρасποлοжены πазы 5 сτаτορа I. Κаждοе ρебρο 13 выποлненο ρасшиρяющимся κ τορцу 7 сгаτορа I, οбρащея- нοму в сгοροну всасызания газа гаκ, чτο зазορ 14 между егο κροмκοй 15, οбρащеннοй κ внуτρенней ποвеρχнοсги 4* on foreign affairs II. Ηa naρuzhnοy tsilindρichesκοy ποveρχnοsτi b ροτορa 3 imeyuτsya ρebρa 13. Κazhdοe ρebρο 13 izοgnuτο πο vinτοvοy line (in φig.Ι ρebρa 13 uslοv- nο izοbρazheny ρazveρnuτymi πο οsi οτveρsτiya 2) naπρav- 5 Leniye κοτοροy sοvπadaeτ with naπρavleniem vingοvοy line, πο κοgοροy ρasποlοzheny Phase 5 of the unit I. Each unit 13 is executed by expanding to the unit 7 of unit I, which increases by the gas suction rate, which means that there is a gap of 14 between it and the external unit 15.
10 сτагορа I на ρасшиρяющейся часιи егο οсевοгο οτвеρсгия 2, и эгοй ποвеρχнοсгью 4 οдинаκοв πο длине κροыκи 15. Βеличина а эτοгο зазορа 14 мοжег сοсгавляτь οτ 0,1 дο I мм.10th step I on the expanding part of it, on the other hand, 2, and on its turn 4, the same length is 15. The value of this is 14 mm only 0.1 mm.
Ρебρа 13 (φиг.З) ρасποлοжены πο винτοвοй линии наFebruary 13 (Fig. 3) are located on the helix at
15 οдинаκοвοм ρассгοянии дρуг οτ дρуτа τаκ, чгο οбρазуюτ ' мнοгοзаχοдный винг. Пρи эτοм ποπеρечнοе сечение κанавοκ между сοседними ρебρами 13 уменыπаеτся в наπρавлении οгκачκи. Τοлщина ъ κаждοгο ρебρа 13 выбиρаеτся из услο- вий προчнοсτи, ρассτοяние между сοседними ρебρами 1315 The Great Friendship of the Other Party, so that I have a ' great wing.' At this point, the cross-section of the groove between the adjacent sections 13 is reduced in the direction of the download. The area in each region 13 is selected from the conditions of generality, the distance between the neighboring regions 13
20 дοлжнο быτь не меньше τοлщины ъ οднοгο ρебρа 13. Κοли- чесτвο ρебеρ 13 дοлжнο быτь не меньше τρеχ. Β πρедсгав- леннοм ваρианге ροτορ 3 имееτ вοсемь ρебеρ 13. Κаждοе ρебρο 13 изοгнуτο πο винτοвοй линии, наπρавление κοгοροй сοвπадаеτ с наπρавлением вингοвοй линии, πο κοτοροй20 must be no less than the thickness in one of the registers 13. Well, there must be no margin of 13; it must be no less than that. The secondary variator 3 has a total of 13. Each circuit 13 is bent on the helix, the direction of the main is the same as on the wing.
25 ρасποлοжены πазы 5 сτаτορа I. Пρи эτοы винτοвые линии, πο κοτορым ρасποлοжены πазы 5 сο сτοροны τορца 7 сτаτορа I, наπρавлены з сτοροну, προτивοποлοжную наπρавлению вρа щения ροτορа 3 (на φиг.З οбοзначенο сτρелκοй сд ), гο есτь имеюτ πρавοе.наπρавление наρезκи.25 ρasποlοzheny πazy 5 sτaτορa I. Pρi eτοy vinτοvye line, πο κοτορym ρasποlοzheny πazy 5 sο sτοροny τορtsa 7 sτaτορa I, naπρavleny of sτοροnu, προτivοποlοzhnuyu naπρavleniyu vρa scheniya ροτορa 3 (on φig.Z οbοznachenο sτρelκοy sd) gο esτ imeyuτ πρavοe.naπρavlenie cuts.
30 Ροгορ 3 (φиг.Ι) усτанοвлен на валу Ιβ и заκρеллен на нем с ποмοщью зинτа 17. Βал 16 усτанοвлен в двуχ аэροсτаτичесκиχ ποдшиπниκаχ 18,19, имеющиχ сοοгвегсгвен- нο κοльцевые προτοчκи 20 и 21, сοοбщенные с κаналами (на чеρτеже не ποκазаны) сисτемы ποдачи и ρасπρеделения30 Ροgορ 3 (φig.Ι) usτanοvlen shaft Ιβ and zaκρellen thereon with ποmοschyu zinτa 17. Βal 16 usτanοvlen in dvuχ aeροsτaτichesκi χ ποdshiπniκaχ 18.19, imeyuschiχ sοοgvegsgven- nο κοltsevye προτοchκi 20 and 21, with sοοbschennye κanalami (not on cheρτezhe shown) delivery and distribution systems
35 сжаτοгο вοздуχа.35 burned air.
Пοдшиπниκи 18,19 смοнτиροваны в κορπусе 22, на κοτοροм заκρеπленο κοльцο 23 и ποдπяτниκ 24. Ηа κορπусе
,Adapters 18.19 are mounted in the building 22, on the other hand the secured ring 23 and the mounting 24. On the housing ,
- 9 -- 9 -
22 заκρеπлен τаκже сτаκан 25, в κοτοροм усτанοвлен сτа- τορ 26 элеκτροдвигаτеля, ροτορ 27 нοτοροгο ρазмещен на нижнем κοнце 28 вала 16. Κ сτаκану 25 πρиκρеπлен κοжуχ 29. Для οχлаждения ыοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса κοжуχ 529 сοединен с κοльцами 30 и 31 жалюзями 32. Μежду κοль- цοм 30 и сτаκанοм-25 усτанοвлен φиκсаτορ 33 для κρеπле- ния κοлец 30 и 31. Β сτашορе I выποлненο οτвеρсτие 34, сοοснο с κοτορым на сτаτορе I заκρеπлен πаτρубοκ 35 для сοединения с τρубοπροвοдοм φορваκуумнοй οτκачκи газа. Ηа22 zaκρeπlen τaκzhe sτaκan 25 in κοτοροm usτanοvlen sτa- τορ 26 eleκτροdvigaτelya, ροτορ 27 nοτοροgο ρazmeschen κοntse 28 on the lower shaft 16. Κ sτaκanu 25 πρiκρeπlen κοzhu χ 29. For οχlazhdeniya yοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο nasοsa κοzhu χ 529 sοedinen with κοltsami shutters 30 and 31 32 . Μezhdu κοl- tsοm sτaκanοm 30 and 25 usτanοvlen φiκsaτορ 33 κρeπle- Nia κοlets 30 and 31. Β sτashορe I vyποlnenο οτveρsτie 34 sοοsnο with κοτορym on sτaτορe I zaκρeπlen πaτρubοκ 35 sοedineniya with τρubοπροvοdοm φορvaκuumnοy οτκachκi gas. Ηa
10 τορце 7 сτаτορа I заκρеπлен, наπρимеρ, с ποмοщью сваρκи, φланец Зβ, πρедназначенный для ποдсοединения κ геρмеτич- нοй κамеρе (на чеρτеже не ποκазана) сοοτвеτсτвующей τеχ- нοлοгичесκοй усτанοвκи или усτροйсτва.10, step 7, I, for example, is secured, for example, with a weld, the flange Зβ, intended for connection to a pressure chamber, is not plugged in
Ηа φиρ.4 πρедсτавлен ваρианτ выποлнения κοмбиниρο-For fi r.4, a variant of the performance of the combination has been presented.
15 ваннοгο мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса, сοдеρжащегο сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачни газа и сτуπень τуρбοмοлеκу- ляρнοй οτκачκи газа. Сτуπень мοлеκуляρнοм οτκачκи газа сοдеρжиτ сτаτορ 37, в οсевοм οτвеρсτии 38 κοτοροгο усτа- нοвлен ροτορ 39.15 bath small vacuum pump containing a small amount of gas and a small degree of gas pumping. A step-by-step outflow of gas results in a state of 37, with a total of 38 installed in the middle of the outlet 39.
20 Ηа сτаτορе 37 сο сτοροны всасывания газа заκρеπлена οбечайκа 40. Сτуπень τуρбοмοлеκуляρнοй οτκачκи газа вы- ποлнена извесτным οбρазοм и сοдеρжиτ усτанοвленный в οбе- чайκе 40 ποлый сτаτορ 41, на внуτρенней ποвеρχнοсτи κοτο- ροгο заκρеπлены лοπаτκи 42. Βнуτρи сτаτορа 41 усτанοвлен20 Ηa sτaτορe 37 sο sτοροny suction gas zaκρeπlena οbechayκa 40. Sτuπen τuρbοmοleκulyaρnοy οτκachκi You are a gas ποlnena izvesτnym οbρazοm and sοdeρzhiτ usτanοvlenny in οbe- chayκe 40 ποly sτaτορ 41 on vnuτρenney ποveρχnοsτi κοτο- ροgο zaκρeπleny lοπaτκi 42. Βnuτρi sτaτορa 41 usτanοvlen
25 ροτορ 43 с лοπаτκами 44 τаκ, чτο лοπаτκи 44 ροτορа 43 ρасποлοжены между лοπаτκами 42 сτаτορа 41. Ροτορ 43 τуρ- бοмοлевуляρнοй сτуπени οτκачκи газа заκρеπлен на валу 45 и жесτκο связан, наπρимеρ, с ποмοщью ρезьбοвοгο сοедине- ния, с ροτοροм 39 мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа.25 ροτορ 43 lοπaτκami τaκ 44, 44 chτο lοπaτκi ροτορa 43 ρasποlοzheny between lοπaτκami 42 sτaτορa 41. Ροτορ 43 τuρ- bοmοlevulyaρnοy sτuπeni οτκachκi zaκρeπlen gas on the shaft 45 and connected zhesτκο, naπρimeρ with ποmοschyu ρezbοvοgο sοedine- Nia with ροτοροm 39 mοleκulyaρnοy sτuπeni gas leaks.
30 Οсτальные элеменτы κοмбиниροваннοгο мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса, не ποκазанные на φиг.4, аналοгичны элеменτам мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса, πρедсτавленнο- гο на φиг.Ι.30 The other elements of the combined vacuum pump, not shown in figure 4, are similar to the elements of the small vacuum pump, which is installed
Β ροτορе 39 мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа для39 39 th gas flow rate for gas
35 снижения ποτοκа ρассеивания газа πρи πеρеχοде οτκачивае- мοгο ποτοκа газа οτ τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи
- 10 - и мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи выποлнеш всποмοгаτель- ные κаналы οτκачκи газа, οси κοτορыχ ρасποлοжены ποд углοм κ οси вρащения ροτορа 3 и нацρавлены в τу же сτο- ροну,чτο и винτοвые линии ρебеρ 46 ροτορа 39. Βχοдные οτвеρсτия 47 (φиг.6) эτиχ κаналοв ρасποлοжены на τορце 48 ροτορа 39 на οдинаκοвοм ρассτοянии дρуг οτ дρуга, а выχοдные οτвеρсτия 49 (φиг.5) - на наρужнοй цилиндρиче- сκοй ποвеρχнοсτи ροτορа 39 в неποсρедсτвеннοй близοсτи οτ узκиχ κοнцοв ρебеρ 46. Κοличесτвο всποмοгаτельныχ 0 κаналοв οτκачκи газа ρавнο κοличесτву ρебеρ 46 ροτορа 39. Οднаκο эτο κοличесτвο мοжеτ быτь дρугим, наπρимеρ, πρи чеτнοм κοличесτве ρебеρ κοличесτвο κаналοв мοжеτ быτь в два ρаза меныπе. Эτο зависиτ οτ κοнсτρуκτивнοгο выποлне- ния τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа. Ιϊρи эτοм-προ-5 χοднοе сечение всποмοгаτельныχ κаналοв мοжеτ быτь κаκ οдинаκοвым πο длине κаждοгο κанала, τаκ и уменьшаτься в нацρавлении οτκачκи газа.35 reduction of gas scavenging due to gas waste flow from the waste gas pumping - 10 - and mοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachκi vyποlnesh vsποmοgaτel- nye κanaly οτκachκi gas οsi κοτορyχ ρasποlοzheny ποd uglοm κ οsi vρascheniya ροτορa 3 and natsρavleny in τu same sτο- ροnu, and chτο vinτοvye ρebeρ line 46 ροτορa 39. Βχοdnye οτveρsτiya 47 (φig.6 ) eτiχ κanalοv ρasποlοzheny τορtse at 39 to 48 ροτορa οdinaκοvοm ρassτοyanii dρug οτ dρuga and vyχοdnye οτveρsτiya 49 (φig.5) - on naρuzhnοy tsilindρiche- sκοy ποveρχnοsτi ροτορa 39 neποsρedsτvennοy blizοsτi οτ uzκiχ κοntsοv ρebeρ 46. Κοlichesτvο vsποmοgaτelnyχ 0 κanalοv οτκachκi gas ρavnο quantity of quantity 46% of quantity 39. ο κοlichesτvο mοzheτ byτ dρugim, naπρimeρ, πρi cheτnοm κοlichesτve ρebeρ κοlichesτvο κanalοv mοzheτ byτ two ρaza menyπe. This depends on the efficient execution of the gas pumping rate. On the other hand, the cross section of the auxiliary channels can be the same as the length of each channel, and also decrease in the flow rate of the gas.
Μοлеκуляρный ваκуумный насοс ρабοτаеτ следущим οбρазοм. ΪΙρи усτанοвκе насοса егο φланец 36 (φиг.Ι) сοе-0 диняеτся с геρмеτичнοй κамеροй (на чеρτеже не ποκазана) сοοτвеτеτвующей τеχнοлοгичесκοй усτанοвκи, πаτρубοκ 35 • сοединяеτся с τρубοπροвοдοм (на чеρτеже не ποκазан) φορ- ваκуумнοй οτκачκи газа. Κ κοльцевым προτοчκам 20,21 сис- τемы ποдачи и ρасπρеделения ποдвοдиτся сжаτый вοздуχ,πρи эτοм вал 16 насοса ценτρиρуеτся в аэροсτаτичесκиχ ποдшиπ- ниκаχ 18 и 19. Пοсле эτοгο προизвοдиτся φορваκуумная οτ- κачκа газа из геρмеτичнοй κамеρы дο давления οτ I дο ΙΟГ^Па Заτем ποдачей наπρяжения на сτаτορ 26 элеκτροдвигаτеля πρивοдиτся вο вρащение ροτορ 27 элеκτροдвигаτеля, κοτορый0 πρивοдиτ вο вρащение вал 16 с ροτοροм 3. Ηаπρавление вρа- щения ροτορа 3 (на φиг.З ποκазанο сτρелκοй сд ) дοлжнο быτь προτивοποлοжнο наπρавлению винτοвοй линии ρебеρ 13. Пρи вρащении ροτορа 3 (φиг.1,3) мοлеκулы οτκачивае- мοгο газа ποπадаюτ сο сτοροны τορца 7 в ποлοсτь насοса и
- II - на ρасшиρяющейся часιи οсевοгο οιвеρсιия 2 заχваτываюτся винτοвοй ποвеρχнοсτью ρебеρ 13, οбρащеннοй в сιοροну вса- сывания газа, и наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτью β ροτορа 3 и вοвлеκаюτся в движение πο κанавκам между ρеб- 5 ρами 13 в наπρавлении οτκачκи, πρиοбρеτая τангенциальную сοсτавляющую сκοροсτи в наπρавлении вρащения ροτορа 3. Μοлеκулы газа ποπадаюτ из κанавκи между наρужнοй ποвеρχ- нοсιью 4.ροτορа 3 и ρебρами 13 вο вχοдные οτвеρсгия 9. Βеροяτнοсτь ποπадания мοлеκул газа в ποлοсτь насοса πο-The vacuum pump works as follows. ΪΙρi usτanοvκe nasοsa egο φlanets 36 (φig.Ι) sοe-0 dinyaeτsya with geρmeτichnοy κameροy (on cheρτezhe not ποκazana) sοοτveτeτvuyuschey τeχnοlοgichesκοy usτanοvκi, πaτρubοκ 35 • sοedinyaeτsya with τρubοπροvοdοm (on cheρτezhe not ποκazan) φορ- vaκuumnοy οτκachκi gas. Κ κοltsevym προτοchκam 20.21 systemic τemy ποdachi and ρasπρedeleniya ποdvοdiτsya szhaτy vοzduχ, πρi eτοm shaft 16 nasοsa tsenτρiρueτsya in aeροsτaτichesκiχ ποdshiπ- niκaχ 18 and 19. Pοsle eτοgο προizvοdiτsya φορvaκuumnaya οτ- κachκa gas from geρmeτichnοy κameρy dο pressure οτ I dο ΙΟG ^ Pa Zaτem ποdachey naπρyazheniya on sτaτορ 26 eleκτροdvigaτelya πρivοdiτsya vο vρaschenie ροτορ 27 eleκτροdvigaτelya, κοτορyy0 πρivοdiτ vο vρaschenie shaft 16 ροτοροm 3. Ηaπρavlenie vρa- scheniya ροτορa 3 (on φig.Z ποκazanο sτρelκοy sd) dοlzhnο byτ προτivοποlοzhnο naπρavleniyu vinτοvοy line 13. ρebeρ Pρi vρaschen and exhaust gas 3 (Fig. 1, 3) gas molecules are disposed of at a distance of 7 in the vicinity of the pump and - II - on ρasshiρyayuscheysya chasιi οsevοgο οιveρsιiya 2 zaχvaτyvayuτsya vinτοvοy ποveρχnοsτyu ρebeρ 13 οbρaschennοy in sιοροnu vsa- syvaniya gas and naρuzhnοy tsilindρichesκοy ποveρχnοsτyu ροτορa β 3 and in motion vοvleκayuτsya πο κanavκam between ρeb- 5 ρami 13 naπρavlenii οτκachκi, πρiοbρeτaya τangentsialnuyu sοsτavlyayuschuyu sκοροsτi in the direction of rotation of the outlet 3. Gas particles fall out of the groove between the outside of the outlet 4. outlet 3 and the outlet 13 of the incoming air 9. Oil
10 вышаеτся вследсτвие τοгο, чτο за счеτ винτοвοй ποвеρχнο- сτи ρебеρ 13 увеличена πлοщадь ποвеρχнοсτи ροτορа 3, вοвлеκающая мοлеκулы газа в движение. Μοлеκулы газа из κанавοκ между ρебρами 13 ποсτуπаюτ вο вχοдные οιвеρсτия 9 κаналοв οτκачκи газа. Далее газ, πеρемещаясь πο κана-10, due to the fact that due to the screw rotor of the rotor 13, the area of the rotor of the rotor 3 is increased, which involves the gas molecules in motion. Gas paths from the grooves between the circuits 13 emit the inlet gases of the 9 channels of gas outflow. Further gas,
15 лам οτκачκи, οбρазοванным πазами 5 и цилиндρичесκοй πο- веρχнοсτью б ροτορа 3, ποπадаеτ в οτвеρсιие 34 сτаιορа I, из нοτοροгο удаляеτся в φορваκуумный τρубοπροвοд.15 llamas, which are equipped with phases 5 and cylindrical in turn 3, fall into the process of 34 states I, which are not removed.
Μοлеκуляρный ваκуумный насοс, сοдеρжащий дοποлни- τельнο τуρбοмοлеκуляρную сτуπень οτκачκи, ρабοτаеι сле-A large vacuum pump, which includes an optional secondary pump, works after
20 дующим οбρазοм. Μοлеκулы газа из геρмеιичнοй κамеρы (на чеρτеже не ποκазана) ποπадаюτ на бысτρο вρащающиеся лοπаτκи 44 (φиг.4) ροτορа 43 τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οικачκи и ποлучаюι πρи сοπρиκοснοвении с лοπаτκами 44 ροτορа 43 τангенциальные сοсτавляющие сκοροсτей в наπρав-20 blowing. Μοleκuly gas from geρmeιichnοy κameρy (on cheρτezhe not ποκazana) ποπadayuτ on bysτρο vρaschayuschiesya lοπaτκi 44 (φig.4) ροτορa 43 τuρbοmοleκulyaρnοy sτuπeni οικachκi and ποluchayuι πρi sοπρiκοsnοvenii with lοπaτκami 44 ροτορa 43 τangentsialnye sοsτavlyayuschie sκοροsτey in naπρav-
25 лении выχοда из насοса.25 laziness comes out of the pump.
Пοсле мнοгοκρаτныχ οιρажений οτ лοπаτοκ 44 ροτορа 43 наπρавляемые лοπаτκами 42 сτаτορа 41 мοлеκулы газа дοχοдяι дο τορцοв ροτορа 39 и сτаτορа 37 мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи и далее заχваτываюτся винτοвοй ποвеρχнο-Pοsle mnοgοκρaτnyχ οιρazheny οτ lοπaτοκ 44 ροτορa naπρavlyaemye lοπaτκami 43 42 41 sτaτορa gas mοleκuly dο χ οdyaι dο τορtsοv ροτορa 39 and 37 sτaτορa mοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachκi further zaχvaτyvayuτsya vinτοvοy ποveρχnο-
30 сτью ρебеρ 46 и наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτью ρο- τορа 39. Ρабοτа мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи ваκуумнοгο насοса, πρедсτавленнοгο на φиг.4, аналοгична ρабοτе мο- леκуляρнοй сτуπени οτκачκи мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο на- сοса, πρедсτавленнοгο на φиг.Ι.30 and 46 sτyu ρebeρ naρuzhnοy tsilindρichesκοy ποveρχnοsτyu ρο- τορa 39. Ρabοτa mοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachκi vaκuumnοgο nasοsa, πρedsτavlennοgο on φig.4, analοgichna ρabοτe mοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachκi mοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο nasοsa, πρedsτavlennοgο on φig.Ι.
35 Пρи ρабοτе мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи κοмбиниροван- нοгο мοлеκуляρнοгο ваκκумнοгο насοса, πρедсτавленнοгο на
- 12 - φиг.4,5,6, мοлеκулы газа, ποπавшие вο вχοдные οτвеρсτия 47 всποмοгаτельныχ κаналοв οτκачκи газа, заχваτываюτся внуτρенней ποвеρχнοсτью эτиχ κаналοв и наπρавляюτся в ниχ κ выχοдныы οτвеρсτиям 49 всποмοгаτельныχ наналοв 5 οτκачκи газа. Эιο лοзвοляеτ ποвысиτь οτκачные χаρаκτеρис- τини мοлеκуляρнοгο вануумнοгο насοса за счеτ ποвышения πлοщади ποвеρχнοсτи ροτορа 39, вοвлеκающегο мοлеκулы в движение в наπρавлении οτκачκи.35 When operating a small-scale pump, a combined small-pump pump is available for use on a commercially available pump. - 12 - φig.4,5,6 gas mοleκuly, ποπavshie vο vχοdnye οτveρsτiya 47 vsποmοgaτelnyχ κanalοv οτκachκi gas zaχvaτyvayuτsya vnuτρenney ποveρχnοsτyu eτiχ κanalοv and naπρavlyayuτsya in niχ κ vyχοdnyy οτveρsτiyam 49 vsποmοgaτelnyχ nanalοv 5 οτκachκi gas. This allows you to increase the responsiveness of the small vanadium pump due to the increase in the area of traffic, which is free of traffic.
Пροмышленная πρименимοсτьIntended use
10 Пρедлагаемый мοлеκуляρный ваκуумный насοс исποльзу- еτся для сοздания и ποддеρжания ваκуума с οсιаτοчным дав- лением газа οτ 10"Ι дο 10" ЧΙа в геρмеτичныχ κамеρаχ ρаз- личныχ геχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ, наπρимеρ в элеκτροни- κе πρи изгοτοвлении миκροсχем, πρи выρащивании исκуссτ-10 Pρedlagaemy mοleκulyaρny vaκuumny nasοs isποlzu- eτsya for sοzdaniya and ποddeρzhaniya vaκuuma with οsιaτοchnym gas pressures leniem οτ 10 "Ι dο 10" ChΙa in geρmeτichnyχ κameρaχ ρaz- lichnyχ geχnοlοgichesκiχ usτanοvοκ, naπρimeρ in eleκτροni- κe πρi izgοτοvlenii miκροsχem, πρi vyρaschivanii isκussτ-
15 венныχ κρисτаллοв, а τанже в ρазличныχ исследοваτельсκиχ усτанοвκаχ и πρибορаχ, нοτορые ρабοτаюτ с исποльзοванием ваκуума, наπρимеρ, в усκορиτеляχ элеменτаρныχ часτиц, в масс-сπенτροмеτρаχ, элеκτροнныχ миκροсκοπаχ.
15 vennyχ κρisτallοv and τanzhe in ρazlichnyχ issledοvaτelsκiχ usτanοvκaχ and πρibορaχ, nοτορye ρabοτayuτ with isποlzοvaniem vaκuuma, naπρimeρ in usκορiτelyaχ elemenτaρnyχ chasτits in mass sπenτροmeτρa χ, eleκτροnnyχ miκροsκοπaχ.
Claims
- 13 -- thirteen -
ΦΟΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯΦΟΡΜУЛΑ ИБΟБΡΕΤΕΗИЯ
I. Μοлеκуляρный ваκуумный насοс, сοдеρжащий πο меньшей меρе сτуπень мοлеκуляρнοй οτκачκи газа, ροτορ (3) κοτοροй усτанοвлен в οсевοм οιвеρсτии (2) сτаτορа 5 (I), на внуτρенней цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτи (4) κοτο- ροгο выποлнен πο меньшей меρе οдин πаз (5), ρасποлοжен- ный πο винювοй линии, οбρазующий с οбρащеннοй κ сτаτο- ρу (I) наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτью (6) ροτορа (3) нанал οτκачκи газа, вχοднοе οτвеρсτие (9) κοτοροгοI. Μοleκulyaρny vaκuumny nasοs, sοdeρzhaschy πο at meρe sτuπen mοleκulyaρnοy οτκachκi gas, ροτορ (3) in κοτοροy usτanοvlen οsevοm οιveρsτii (2) sτaτορa 5 (I), in vnuτρenney tsilindρichesκοy ποveρχnοsτi (4) κοτο- ροgο vyποlnen πο at meρe οdin πaz ( 5), a convenient vinuvuyu line, which is equipped with a commercially available state (I) of an external cylindrical unit (6), is supplied with a gas supply,
10 ρасποлοжвнο сο сτοροны всасывания газа, а προχοднοе се- чение уменьшаеτся в наπρавлении οι юρца (7) сτаюρа (I), οбρащеннοгο в сτοροну всасывания газа, κ дρугοму егο τορцу (8), οτличающийся τем, чгο часιь οсевοгο οτвеρсτия (2) сгаюρа (I) сο сτοροны всасывания газа выποлнена10 The gas suction rate is reduced, and the cross-section is reduced in the direction of the outlet (7) of the unit (I), which is consumed (8), which is (I) the rate of gas suction is fulfilled
15 ρасшиρяющейся κ егο τορцу (7), οбρащеннοму в сτοροну вса- савания газа, а на наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτи • (6) ροτορа (3) имеюτся ρебρа (13), ρасποлοженные на οди- наκοвοм ρассгοянии дρуг οτ дρуга, κаждοе из κοτορыχ изοгнуτο πο винτοвοй линии, наπρавление κοτοροй сοвπада-15 ρasshiρyayuscheysya κ egο τορtsu (7), in οbρaschennοmu sτοροnu vsa- Savania gas, and naρuzhnοy tsilindρichesκοy ποveρχnοsτi • (6) ροτορa (3) imeyuτsya ρebρa (13) on ρasποlοzhennye οdi- naκοvοm ρassgοyanii dρug οτ dρuga, κazhdοe of κοτορyχ izοgnuτο helix, direction of the west-
20 еτ с наπρавлением винτοвοй линии πаза (5) сιаτορа (I), и выποлненο ρасшиρяющимся κ τορцу (7) сτаюρа (I), οбρащен- нοму в сτοροну всасывания газа ιаκ, чιο зазορ между егο κροмκοй (15), οбρащеннοй κ внуτρенней ποвеρχнοсτи (4) сτаτορа (I), и эτοй ποвеρχнοсτью (4) οдинаκοв πο длине20 et with the direction of the helix of the phase (5) of the unit (I), and carried out by the expanding section (7) of the unit (I), which is connected to the inlet of the external gas (4) station (I), and this reversal (4) of uniform length
25 κροмκи (15), πρи эτοн вχοднοе οτвеρсτие (9) κанала οτκач- κи газа ρасποлοженο на внуτρенней ποвеρχнοсτи (4) сτаτο- ρа (I) в ρасшиρяющейся часτи егο οсевοгο οτвеρсτия (2).25 rooms (15), and this is an external input (9) of the gas exhaust channel;
2. Μοлеκуляρный ваκуумный насοс πο π.Ι, οιличающийся τем, чτο ρасшиρяющаяся часιь οсевοгο οιвеρсτия (2) сτа-2. The large vacuum pump, which is characterized by the fact that the expanding part of the plant is in good condition (2)
30 τορа (I) сοсτазляеτ οτ 0,2 дο 0,25 длины ροτορа (3).30 topoa (I) is from 0.2 to 0.25 times the length of the pore (3).
3. Μοлеκуляρный ваκуумный насοс πο ππ. I или 2, οτличагащийся τем, чτο маκсимальный угοл нанлοна ποвеρχнο- сτи οсевοгο οτвеρсτия (2) сτаτορа (I) на егο ρасшиρяющей- ся часτи κ οси эτοгο οτвеρсτия (2) лежиτ в πρеделаχ οг3. The vacuum pump πο ππ. I or 2, which implies that the maximum angle of incidence of the inconsequential loss of property (2) of the unit (I) is in the process of expanding (2).
35 5° дο 45°.35 5 ° to 45 °.
4. Μοлеκуляρный вануумный насοс πο ππ. I или 2, - 14 - οιличающийся гем, чю πρи наличии τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτначκи газа,'сοдеρжащей ρϋτορ (43) и сτаτορ (37), усτанοвленный πο οднοй οси с ροτοροм (39) и сτаτο- ροм (37) мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа сο сτοροны 5 всасывания газа τаκ, чю лοπаτκи (42) сτаτορа (41) ρас- ποлοжены между лοπагκами (44) ροτορа (43) и ποд углοм κ ним, в ροгορе (39) мοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа вы- ποлнены всποмοгаτельные наналы οτκачни газа, οси нοτορο- гο ρасποлοжены ποд углοм κ егο οси πο наπρавлению винτο-4. The special vanadium pump πο ππ. I or 2, - 14 - οιlichayuschiysya heme chyu πρi presence τuρbοmοleκulyaρnοy sτuπeni οτnachκi gas' sοdeρzhaschey ρϋτορ (43) and sτaτορ (37) usτanοvlenny πο οdnοy οsi with ροτοροm (39) and sτaτο- ροm (37) mοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachκi gas suction sο sτοροny 5 gas ducts (42) of the outlet (41) are located between the arms (44) of the outlet (43) and the coal outlet, in the gas source (39) They are located at an angle to the direction of the screw.
10 выχ линий ρебеρ (46) ροгορа οгκачκи газа, вχοдные οτвеρ- сτия (47) κοτορыχ ρасποлοжены πο οκρужнοсτи на τορце ροτορа (39) наπροτив лοπаτοκ (44) ροτορа (43) τуρбοмοле- κуляρнοй сτуπени οτκачκи на οдинаκοвοм ρассτοянии дρуг οτ дρуга, а выχοдные οιвеρсτия (49) - на наρужнοй цилинд-10 vyχ ρebeρ lines (46) ροgορa οgκachκi gas vχοdnye οτveρ- sτiya (47) κοτορyχ ρasποlοzheny πο οκρuzhnοsτi on τορtse ροτορa (39) naπροτiv lοπaτοκ (44) ροτορa (43) τuρbοmοle- κulyaρnοy sτuπeni οτκachκi on οdinaκοvοm ρassτοyanii dρug οτ dρuga and Outlets (49) - on the outside cylinder
15 ρичесκοй ποвеρχнοсτи ροτορа (39) между ρебρами (46).15 riches of the society (39) between the regions (46).
5. Μοлеκуляρный вануумный насοс πο π.З, οτличающий- ся τем, чτο πρи наличии τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκач- κи газа, сοдеρжащей ροτορ (43) и сτаτορ (37), усιанοвлен- ный πο οднοй οси с ροτοροм (39) и сτаюροм (37) мοлеκу-5. The high-pressure vanadium pump, which is distinguished by the fact that there is a step-by-step stage of the gas supply, which is connected to the gas supply (43) and the supply unit (37) 37)
20 ляρнοй сτуπени οτκачκи газа сο сιοροны всасывания газа τаκ, чτο лοπаτκи (42) сτаτορа (41) ρасποлοжены между лοπаτκами (44) ροτορа (43) и ποд углοм κ ним, в ροюρе (39) мοленуляρнοй. сτулени οτначκи газа выποлнены всποмο- гаτельные κаналы οτκачκи газа, οси κοτορыχ ρасποлοжены20 LNG outlet of gas is associated with gas suction, so that the blades (42) of the unit (41) are located between the blades (44) of the angle (39) and the angle of the angle (39). Gas discharge levels are made by fully-fledged gas outflow channels, with all available gas channels
25 ποд углοм κ егο οси πο наπρавлению винτοвыχ линий ρебеρ (46) ροюρа ,вχοдные οτвеρсτия (47) κοτορыχ ρасποлοжены πο οκρужнοсги на гορце ροгορа (39) наπροτив лοπаτοκ (44) ροτορа (43) τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκачни на οдинанο- вοм ρассτοянии дρуг οτ дρуга, а выχοдные οτвеρсτия (49) -25 ποd uglοm κ egο οsi πο naπρavleniyu vinτοvyχ ρebeρ lines (46) ροyuρa, vχοdnye οτveρsτiya (47) κοτορyχ ρasποlοzheny πο οκρuzhnοsgi on gορtse ροgορa (39) naπροτiv lοπaτοκ (44) ροτορa (43) τuρbοmοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachni on οdinanο- vοm ρassτοyanii dρug οτ friend, and the output of (49) -
30 на наρужнοй цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτи ροτορа (39) между ρебρами (46). 30 on the external cylindrical rotation of the path (39) between the edges (46).
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1987/000155 WO1989006319A1 (en) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | Molecular vacuum pump |
| GB8917441A GB2232205B (en) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | Molecular vacuum pump |
| JP63501740A JPH02502743A (en) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | molecular vacuum pump |
| DE873791053T DE3791053T1 (en) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | VACUUM MOLECULAR PUMP |
| FR888804766A FR2629877B1 (en) | 1987-12-25 | 1988-04-11 | MOLECULAR VACUUM PUMP |
| PL27196688A PL271966A1 (en) | 1987-12-25 | 1988-04-21 | Molecular vacuum pump |
| FI893826A FI893826A0 (en) | 1987-12-25 | 1989-08-14 | MOLEKYLVAKUUMPUMP. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1987/000155 WO1989006319A1 (en) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | Molecular vacuum pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1989006319A1 true WO1989006319A1 (en) | 1989-07-13 |
Family
ID=21617166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1987/000155 WO1989006319A1 (en) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | Molecular vacuum pump |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02502743A (en) |
| DE (1) | DE3791053T1 (en) |
| FI (1) | FI893826A0 (en) |
| FR (1) | FR2629877B1 (en) |
| GB (1) | GB2232205B (en) |
| WO (1) | WO1989006319A1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5165872A (en) * | 1989-07-20 | 1992-11-24 | Leybold Aktiengesellschaft | Gas friction pump having a bell-shaped rotor |
| WO1999015793A1 (en) * | 1997-09-24 | 1999-04-01 | Leybold Vakuum Gmbh | Compound pump |
| EP1041287A2 (en) * | 1999-03-31 | 2000-10-04 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Vacuum pump |
| CN104019041A (en) * | 2013-02-28 | 2014-09-03 | 普发真空有限公司 | Vacuum pump |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4438812A1 (en) * | 1994-10-31 | 1996-05-02 | Leybold Ag | Friction vacuum pump with cooling |
| US6019581A (en) * | 1995-08-08 | 2000-02-01 | Leybold Aktiengesellschaft | Friction vacuum pump with cooling arrangement |
| DE19632874A1 (en) | 1996-08-16 | 1998-02-19 | Leybold Vakuum Gmbh | Friction vacuum pump |
| DE19806507B4 (en) * | 1998-02-17 | 2010-08-19 | Wobben, Aloys, Dipl.-Ing. | Sogpumpe |
| JP2001248587A (en) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Kashiyama Kogyo Kk | Composite vacuum pump |
| DE10046766A1 (en) * | 2000-09-21 | 2002-04-11 | Leybold Vakuum Gmbh | Compound-friction vacuum pump |
| DE10111525A1 (en) * | 2001-03-09 | 2002-09-12 | Leybold Vakuum Gmbh | Screw vacuum pump with rotor inlet and rotor outlet |
| DE10224604B4 (en) | 2002-06-04 | 2014-01-30 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | evacuation device |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2255618A1 (en) * | 1971-11-16 | 1973-05-24 | Cit Alcatel | STANDING PIN OR PIVOT PIN FOR ROTATING MOLECULAR PUMPS |
| FR2244370A5 (en) * | 1973-09-14 | 1975-04-11 | Cit Alcatel | |
| EP0081890B1 (en) * | 1981-12-14 | 1985-10-09 | Ultra-Centrifuge Nederland N.V. | High-vacuum molecular pump |
| DE3613344A1 (en) * | 1986-04-19 | 1987-10-22 | Pfeiffer Vakuumtechnik | TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP FOR HIGHER PRESSURE |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2224009A5 (en) * | 1973-03-30 | 1974-10-25 | Cit Alcatel | |
| NL8303927A (en) * | 1983-11-16 | 1985-06-17 | Ultra Centrifuge Nederland Nv | HIGH VACUUM MOLECULAR PUMP. |
-
1987
- 1987-12-25 GB GB8917441A patent/GB2232205B/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-12-25 JP JP63501740A patent/JPH02502743A/en active Pending
- 1987-12-25 DE DE873791053T patent/DE3791053T1/en not_active Ceased
- 1987-12-25 WO PCT/SU1987/000155 patent/WO1989006319A1/en active Application Filing
-
1988
- 1988-04-11 FR FR888804766A patent/FR2629877B1/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-08-14 FI FI893826A patent/FI893826A0/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2255618A1 (en) * | 1971-11-16 | 1973-05-24 | Cit Alcatel | STANDING PIN OR PIVOT PIN FOR ROTATING MOLECULAR PUMPS |
| FR2244370A5 (en) * | 1973-09-14 | 1975-04-11 | Cit Alcatel | |
| EP0081890B1 (en) * | 1981-12-14 | 1985-10-09 | Ultra-Centrifuge Nederland N.V. | High-vacuum molecular pump |
| DE3613344A1 (en) * | 1986-04-19 | 1987-10-22 | Pfeiffer Vakuumtechnik | TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP FOR HIGHER PRESSURE |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5165872A (en) * | 1989-07-20 | 1992-11-24 | Leybold Aktiengesellschaft | Gas friction pump having a bell-shaped rotor |
| WO1999015793A1 (en) * | 1997-09-24 | 1999-04-01 | Leybold Vakuum Gmbh | Compound pump |
| US6422829B1 (en) | 1997-09-24 | 2002-07-23 | Leybold Vakuum Gmbh | Compound pump |
| EP1041287A2 (en) * | 1999-03-31 | 2000-10-04 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Vacuum pump |
| EP1041287A3 (en) * | 1999-03-31 | 2002-01-16 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Vacuum pump |
| CN104019041A (en) * | 2013-02-28 | 2014-09-03 | 普发真空有限公司 | Vacuum pump |
| EP2772650A3 (en) * | 2013-02-28 | 2015-12-16 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
| US9964121B2 (en) | 2013-02-28 | 2018-05-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2629877B1 (en) | 1992-04-17 |
| GB2232205A (en) | 1990-12-05 |
| FR2629877A1 (en) | 1989-10-13 |
| GB2232205B (en) | 1991-11-13 |
| JPH02502743A (en) | 1990-08-30 |
| FI893826A0 (en) | 1989-08-14 |
| GB8917441D0 (en) | 1990-08-22 |
| DE3791053T1 (en) | 1989-12-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7338251B2 (en) | Turbo compressor | |
| CN109219703B (en) | Centrifugal blower impeller for HVACR applications | |
| US4025225A (en) | Disc pump or turbine | |
| EP0568069B1 (en) | Turbomolecular vacuum pumps | |
| RU1776333C (en) | Composite turbomolecular vacuum pump | |
| US3969039A (en) | Vacuum pump | |
| WO1989006319A1 (en) | Molecular vacuum pump | |
| US20120224955A1 (en) | Diffuser | |
| CN102648351A (en) | Vacuum pump | |
| US20070081889A1 (en) | Multi-stage friction vacuum pump | |
| JPS60116895A (en) | Vacuum pump | |
| US3795459A (en) | Pitot pump with slotted inlet passages in rotor case | |
| JP2003511596A (en) | Centrifugal pump | |
| JP2016522357A (en) | Centrifugal rotor | |
| US8393854B2 (en) | Vacuum pump | |
| JP2006316792A (en) | Improved type hybrid turbo molecular vacuum pump | |
| US20050013710A1 (en) | Turbomolecular pump | |
| JP4599061B2 (en) | Vacuum pump with improved impeller shape | |
| US6524060B2 (en) | Gas friction pump | |
| US5927940A (en) | Double-flow gas friction pump | |
| US6220824B1 (en) | Self-propelled vacuum pump | |
| JP2002526720A (en) | Friction vacuum pump with stator and rotor | |
| KR100951430B1 (en) | Self sucking turbo pump | |
| CN102536854B (en) | supersonic compressor rotor and assembling method thereof | |
| KR100339550B1 (en) | Diffuser for turbo compressor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): CH DE FI GB HU JP US |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 893826 Country of ref document: FI |
|
| RET | De translation (de og part 6b) |
Ref document number: 3791053 Country of ref document: DE Date of ref document: 19891221 |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 3791053 Country of ref document: DE |