WO1989009341A1 - Turbomolecular vacuum pump - Google Patents
Turbomolecular vacuum pump Download PDFInfo
- Publication number
- WO1989009341A1 WO1989009341A1 PCT/SU1988/000076 SU8800076W WO8909341A1 WO 1989009341 A1 WO1989009341 A1 WO 1989009341A1 SU 8800076 W SU8800076 W SU 8800076W WO 8909341 A1 WO8909341 A1 WO 8909341A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- gas
- gash
- ροτορa
- additional
- οτκachκi
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/10—Shaft sealings
- F04D29/102—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
- F16J15/406—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid by at least one pump
Definitions
- the large vacuum reservoir contains a total of 15 seconds, in the absence of waste, there is a separate connection with the shaft.
- friends and consummate friends turn on the other hand and turn on the other hand and go through the process of transportation of blood and blood.
- the newly installed zadacha was resolved by the fact that in a large cooler, it is empty, the inside is warm, it is installed inside the tank.
- the vacuum chamber is equipped with a standby unit I / fig. 1 / * inside, a large open 2 was installed; on the other hand, there were 3 channels installed; The state of the I source of gas is 5 and the gas source is 6 and the gas source is in danger of an interconnection between the two.
- the gas pump is set to step 7 with the shoulder blades.
- the personal laptop wheels of 9 and the corresponding portable disks 8 are different, both in the case of other commercial vehicles.
- the chambers of the accelerated gas outlet of the gas are processed by the internal cylinder of the 10th compartment of the 6th unit of the 6th stage of the motorized vehicle - 6 - na ⁇ uzhn ⁇ y tsiliyad ⁇ iches ⁇ y ⁇ ve ⁇ ya ⁇ s ⁇ yu 12 ⁇ a 2.
- ⁇ 2 us ⁇ aya ⁇ vleya XDR w 14 and w za ⁇ e ⁇ len yaem with ⁇ m ⁇ schyu viya ⁇ a 15.
- ⁇ al 14 us ⁇ aya ⁇ vlen in dvu ⁇ ae ⁇ s ⁇ a- ⁇ iches ⁇ i ⁇ ⁇ dshi ⁇ yai ⁇ a ⁇ 16 and T7, imeyuschi ⁇ s ⁇ ve ⁇ s ⁇ venya ⁇ ⁇ ltsevye ⁇ ch ⁇ i 18 and 19, with s ⁇ bschenyaye ⁇ ashshmi / w che ⁇ ezhe Re ⁇ azayay / sis ⁇ emy ⁇ dachi and ⁇ as ⁇ edele- Air Force Aircraft 16 and 1.
- a width of 49 in between the adjacent grooves 48 is equally wide in 48.
- Additional kayals 36 are designed to accommodate 50 (Fig. 2) or 51 (Fig. 3),
- the depth of the - - groove 51 gradually decreases at a rate of gas suction at a gas injection rate of 0.1 to 0.2 mm.
- the width of the groove 51 and the width of the rib 53 are equal to 2 mm, the same as in the variant shown in figure 2.
- the length of the section 35 of the external part of the shaft 14 is 0.5 to 0.8, the diameter of the shaft is 14, and the length of the section 37 of the inside of the shaft 2 is 2 times 2 of 2 -g.
- the vacuum vacuum pump operates the following way.
- unit 5 ( ⁇ ) of the unit I is connected to a live camera (not shown on the drawing) with a compliant process.
- Unit 33 connects to the pipe (not shown) with a gas pumped off.
- Yulos 47, zazory 46 and 45 fall into the optional channels 36 dynamic compaction. Then, after a gap of 38 - to the main channels 34 dynamic compaction, the exhaust gas pressure rises to exhaust pressure until the exhaust gas rises. Further pumped gas through channels 39.40
- extension 16 gap 41 and section 43 of bus 42 and channel 44 of channel 20 will exit into the atmosphere.
- the dynamic compaction takes the role of a vacuum pump, ensuring an increase in the pressure for the automatic, and this is not impermeable.
- the pressure of the pumped gas flow through the pressure through additional channels 36 is dynamically accelerated is less than 5 times, it is less
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
A turbomolecular vacuum pump comprises a hollow stator (1) in which is mounted a hollow rotor (3) between which are located channels (3, 4) of the turbomolecular and molecular gas-pumping stages connected to the atmosphere through additional and main dynamic sealing channels (34, 36) formed by grooves made on areas (35, 37) of the internal surface of the rotor (2) and by the external surface of the shaft (14) of the rotor (2) shaped as a multiple-thread having a rectangular profile, as well as by the surfaces of the rotor (2) and of a bearing (16), which face, respectively, the areas (37, 35), the bearing (16) being located inside the hollow rotor (2) in which is mounted one end of the shaft (14) of the rotor (2).
Description
ΤУΡБΟΜΕΚУЛЯΡΗЫЙ ΒΑΚУЛШЫл ΗΑСΟС ΤУΡБΟΜΕΚУЛЯΡΗЫЙ ЛУЛШЫЛ ΗΑСΟС
Οблэсτь τеχниκи Ηэστοящее изοбρеτение οτнοсиτοя κ ροτορным нэсο- сэм неοбъемнοгο выτеснения газοв и κасэеτся нэсοсοв 5 для сοздзния глубοκοгο ваκуума с οсевым ποτοκοм газа , а именнο τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο нэсοсэ. Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи Сοвρеменнοе ρэзвиτие нэуκи и τеχниκи τρебуеτ бοльшοгο κοличесτвэ τиπορэзмеροв τуρбοмοлеκуляρныχ 10 вэκуумныχ нэсοс οв , имеющиχ ρззличные οτκачные χэρзκ- τеρисτиκи, в чэсτнοсτи , бысτροτу дейсτвия и сτеπень сжэτия гэзэ , κοτορые οπρеделяюτ гэбэρиτы οснοвныχ κοнсτρуκτивныχ элеменτοв эτиχ нэсοсοв.Οblesτ τeχniκi Ηeστοyaschee izοbρeτenie οτnοsiτοya κ ροτορnym nesο- sam neοbemnοgο vyτesneniya gazοv and κaseeτsya nesοsοv 5 to sοzdzniya glubοκοgο vaκuuma with οsevym ποτοκοm gas and imennο τuρbοmοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο nesοse. Pρedshesτvuyuschy uροven τeχniκi Sοvρemennοe ρezviτie neuκi and τeχniκi τρebueτ bοlshοgο κοlichesτve τiπορezmeροv τuρbοmοleκulyaρnyχ 10 veκuumnyχ nesοs οv, imeyuschiχ ρzzlichnye οτκachnye χeρzκ- τeρisτiκi in chesτnοsτi, bysτροτu deysτviya and sτeπen szheτiya geze, κοτορye οπρedelyayuτ gebeρiτy οsnοvnyχ κοnsτρuκτivnyχ elemenτοv eτiχ nesοsοv.
Τуρбοмοлеκуляρный ваκуумныи нэсοс сοдеρжиτ ποлый 15 с τэτορ , в οсевοм οτвеρсτии κοτοροгο ρасποлοжен лοлыи ροτορ , жесτκο связэнный с валοм , πρивοдящим егο вο вρэщение. Μежду οбρащенными навсτρечу дρуг дρугу πο- веρχнοсτями ροτορэ и сτаτορэ οбρэзοвэны κэнзлы τуρбο- мοлеκуляρнοй и мοлеκуляρнοй сτуπеней οτκзчκи гзза . 2.0 οлеκуляρнэя сτуπень οτκэчκи гззз ποзвοляеτ πο- высиτь на сτοροне нагнеτэния дэвление οτκзчивэемοгο гэза дο 100 Пэ ,и для дэльнейшегο ποвышения дэвления οτκэчивэемοгο гэза дο эτмοсφеρнοгο неοбχοдима сτуπень φορвэκуумнοй οτκэчκи гэзэ , κοτορэя в τρадициοнныχ κοн- 25 сτρуκцияχ τуρбοмοлеκуляρныχ вэκуумныχ нэсοсοв πρедсτэ- вляеτ сοбοй οτдельный φορвэκуумным насοс , ποдκлюченный κ τуρбοмοлеκуляρнοму ваκуумнοωу насοсу . Οднэκο πρи эτοιя из внуτρенниχ ποлοсгей φορваκуумныχ насοсοв в οшκачи- вэемый οбъем τеχнοлοгичесκοй κамеρы мигρиρуюτ πο κанэ- 30 лэм οτκβчκи газз мοлеκулы углевοдοροдοв , чτο сущесτ- веннο снижэеτ чэсτοτу ваκуума и , в κοнечнοм счеτе , с нижаеτ κэчесτвο выπусκэемοй προдуκции. Для бορьбы с мигρβцией углевοдοροдοв исποльзуюτ , наπρимеρ , эзοτные лοвушκи , κοτορые сущесτвеннο услοжняюτ и удοροжэюτ 35 κοнсτρуκгивнοе выποлнение τуρбοмοлеκуляρнοгο вэκуумнο- гο насοса.The large vacuum reservoir contains a total of 15 seconds, in the absence of waste, there is a separate connection with the shaft. Between friends and consummate friends, turn on the other hand and turn on the other hand and go through the process of transportation of blood and blood. 2.0 οleκulyaρneya sτuπen οτκechκi gzzz ποzvοlyaeτ πο- vysiτ on sτοροne nagneτeniya devlenie οτκzchiveemοgο gaize dο 100 Paix, and delneyshegο ποvysheniya devleniya οτκechiveemοgο gaize dο eτmοsφeρnοgο neοbχοdima sτuπen φορveκuumnοy οτκechκi geze, κοτορeya in τρaditsiοnnyχ κοn- 25 sτρuκtsiyaχ τuρbοmοleκulyaρnyχ veκuumnyχ nesοsοv πρedsτe- vlyaeτ sοbοy οτdelny φορveκuumnym pump connected to a vacuum pump. Οdneκο πρi eτοιya of vnuτρenniχ ποlοsgey φορvaκuumnyχ nasοsοv in οshκachi- wei οbem τeχnοlοgichesκοy κameρy migρiρuyuτ πο κane- Lam 30 οτκβchκi Gazza mοleκuly uglevοdοροdοv, chτο suschesτ- vennο snizheeτ chesτοτu vaκuuma and in κοnechnοm scheτe with nizhaeτ κechesτvο vyπusκeemοy προduκtsii. To deal with the migration of hydrocarbons, for example, elegant traps, which significantly complicate and accelerate the increase in the incidence of acceleration, are used.
Извесτны τаκже τуρбοыοлеκуляρные вэκуумные нэсο- сы, в κοτορыχ φунκцию φορвэκуумнοй сτуπени οτκэчκи Г8-
- 2 - зэ выποлняеτ динэмичесκοе уπлοτнение , κэнзлы κοτορο- гο ρзсποлοжены между двумя цилиндρичесκими ποвеρχнοсτями элеменτοв κοнсτρуκции τуρбοмο- леκуляρнοгο ваκуумнοгο нэсеса , οдин из κοτορыχ πρи- вοдиτся вο вρэщение. Зэзορ между эτими ποвеρχнοсτями с οсτавляеτ οбычнο οτ 0 ,015 дο 0,03 мм. Κаналы динами- чесκοгο уπлοτнения οбρазοвэны κзнэвκэми , выποлняемы- ми οбычнο нэ ποвеρχнοсτи элеменτа , πρивοдиыοгο вο вρащение , в виде мнοгοзаχοднοй вингοвοй нэρезκи πρя- мοугοльнοгο προφиля. Глубинэ κэнавοκ πлавнο уменыпэ- еτся сο сτοροны вσэсывэния газэ в сτοροну нагнеτэния гэзз οτ 0,1 мм дο 0,03мл. Пρи эτοм шиρинэ κэнавκи ρа- вна шиρине ρебρа между двумя сοседними κанэвκами, и οπρеделяеτся извесτным οбρэзοм ρэсчеτным πуτем в за- висимοсτи οτ τρебуемыχ οτκэчныχ. χзρаκτеρисτиκ τуρбο- мοлеκуляρнοгο вэκуумнοгο нэсοсз .Izvesτny τaκzhe τuρbοyοleκulyaρnye veκuumnye nesο- sy in κοτορy χ φunκtsiyu φορveκuumnοy sτuπeni οτκechκi G8- - 2 - there is a dynamic compaction, the chambers are located between the two cylindrical rotations of the compartments, and the The gap between these two parts is usually 0.015 to 0.03 mm. Channels of dynamic oskolnennosti izobreteniya kznevki, performed by the usual non-revolutions of the element, the use of a large number of vehicles, The depth of the canal is smoothly decreasing at the same time as the gas supply to the discharge pressure of 0.1 mm to 0.03 ml. With this width of the canopy, the width of the gap between the two neighboring canavas is shared by the known method, depending on the result, this is not necessary. Industrial journalist of the secondary non-resourced resources.
Извесτен τуρбοмοлеκуляρный ваκуумный насοс Ε Η , Β , 222409/ , сοдеρжэщий ποлый сτзτορ , внуτρи κοτοροгο усτэнοвлен ποлый ροτορ , между κοτορыми ρзсποлοжены κзналы τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκэчκи гэзэ и сοοб- щенные с ними κэнэлы мοлеκуляρнοй сτуπени οτκэчκи гэ- зэ , сοοбщенные с κаналэми динамичесκοгο уπлοτнения , κοτορые сοοбщены с аτмοсφеροй и οбρазοвэны внуτρенней ποвеρχнοсτью ρэзмещеннοгο внуτρи ποлοгο ροгορа ποдшиπ- ниκа , в κοτοροм усτанοвлен οдин κοнец вэлэ ροτορэ , и κэнэвκэми, выποлненными нэ учэсτκе нзρужнοй ποвеρχнο- сτи вэлэ в виде мнοгοзэχοднοй винτοвοй нэρезκи πρямο- угοльнοгο προφиля , глубинэ κοτορыχ πлэвнс уменьшаеτся с ο сτοροны всасывэния газа в сτοροну нагнеτания газа. Пρи эτοм προτяженнοсτь учэсτκэ нэρужнοй ποвеρχ- нοсτи Β8Л8 , на κοτοροм выποлнены κанэвκи динзыичесκο- гο уπлοτнения, для οбесπечения зэдэнныχ οгκачныχ χа- ρэκτеρисτиκ, в ч8сτнοсτи _сτеπени сжаτия гэза , дοлжнэ быτь не меньше диамеτρэ вала. Οднаκο эτο увеличивэеτ длину вэлэ , ποвышая κοнсοльную нэгρузκу нэ ποдшиπниκи и эκваτορиэльный ыοменτ инеρции вρзщэющегοся взлэ с ροτοροм , чτο οгρаничиваеτ сκοροсτь вρащения вэлэ и ,
- 3 - следοвэτельнο, οτκэчные χэρэκгеρисτиκи τуρбοмοлеκуляρ- нοгο вэκуумнοгο нзсοсэ, в чэсτнοсτи сτеπень сжзгия Г8за и бысτροτу дейсτвия насοса, κοгορэя сущесτвеннοIzvesτen τuρbοmοleκulyaρny vaκuumny nasοs Ε Η, Β, 222409 / sοdeρzheschy ποly sτzτορ, vnuτρi κοτοροgο usτenοvlen ποly ροτορ, between κοτορymi ρzsποlοzheny κznaly τuρbοmοleκulyaρnοy sτuπeni οτκechκi geze and sοοbschennye them κenely mοleκulyaρnοy sτuπeni οτκechκi geze, sοοbschennye with κanalemi dinamichesκοgο uπlοτneniya, κοτορye sοοbscheny with aτmοsφeροy and οbρazοveny vnuτρenney ποveρχnοsτyu ρezmeschennοgο vnuτρi ποlοgο ροgορa ποdshiπ- niκa in κοτοροm usτanοvlen οdin κοnets vele ροτορe and κenevκemi, vyποlnennymi ne uchesτκe nzρuzhnοy ποveρχnο- sτi vele in ve e mnοgοzeχοdnοy vinτοvοy neρezκi πρyamο- ugοlnοgο προφilya, glubine κοτορyχ πlevns umenshaeτsya with ο sτοροny vsasyveniya gas in sτοροnu nagneτaniya gas. Pρi eτοm προτyazhennοsτ uchesτκe neρuzhnοy ποveρχ- nοsτi Β8L8 on κοτοροm vyποlneny κanevκi dinzyichesκο- gο uπlοτneniya for οbesπecheniya zedennyχ οgκachnyχ χa- ρeκτeρisτiκ in ch8sτnοsτi _sτeπeni szhaτiya gaize, dοlzhne byτ not less diameτρe shaft. However, this increases the length of the Vele by increasing the total load and non-expansive and non-expanding mode of inertia taking into account the - 3 - consequently, exact and ergonomic systems of a large-scale non-resourced engine, in particular, the degree of burning of the G8 and the speed of its operation
5 зависиτ οτ сκοροсτи вρащения вала.5 Depends on the speed of rotation of the shaft.
Ρасκρыгие изοбρеτения Β οσнοву изοбρеτения ποсτавленэ зэдачэ сοздэτь τуρбοмοлеκуляρный вэκууыный нэсοс с τэκим динзмичес- κиы уπлοτнениеы, κοτοροе οбесπечилο бы ποвышение οτ-Other inventions σ On the other hand, please make sure that you have transported a vecuculous curtain with such a dynamic design.
10 κачныχ χаρаκτеρисгиκ τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο Η8С0С8 без увеличения егο габэρиτοв.10 initial specifications of a vacuum chamber Η8С0С8 without increasing its dimensions.
Пοсτэвленнэя зэдачэ ρешена τем, чτο в τуρбοыοле- κуляρнοы вэκуумнοм насοсе, сοдеρжэщем ποлый сτаτορ, внуτρи κοτοροгο усτэнοвлен ποлый ροτορ, между κοτορы-The newly installed zadacha was resolved by the fact that in a large cooler, it is empty, the inside is warm, it is installed inside the tank.
15 ми ρэσποлοжены κэнзлы τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκа- чκи газэ и сοοбщенные с ними κанэлы ыοлеκуляρнοй сτу- πени οτκэчκи гэзэ, сοοбщенные с κэналаыи динаыичесκο- гο уπлοτнения, κοτορые сοοбщены с эτыοсφеροй и οбρазο- вэны внуτρенней ποвеρχнοсτью ρэзмещеннοгο внуτρи ποлο-15 mi ρeσποlοzheny κenzly τuρbοmοleκulyaρnοy sτuπeni οτκa- chκi gaze and sοοbschennye them κanely yοleκulyaρnοy sτuπeni οτκechκi geze, sοοbschennye with κenalayi dinayichesκο- gο uπlοτneniya, κοτορye sοοbscheny with eτyοsφeροy and vans οbρazο- vnuτρenney ποveρχnοsτyu ρezmeschennοgο vnuτρi ποlο-
20 гο ροτορа ποдшиπниκа, в κοτοροм усτанοвлен οдин κοнец валэ ροτορа, и κэнэвκзыи, выποлненныыи нэ учэсτκе нэ- ρужнοй ποвеρχнοсτи вэлэ в виде мнοгοззχοднοй винτοвοй наρезκи πρяыοугοльнοгο προφиля, глубина κοτορыχ πлав- нο уменьшаеτся сο сτοροны всэсывэния гэзэ в сτοροну20 gο ροτορa ποdshiπniκa in κοτοροm usτanοvlen οdin κοnets Valais ροτορa and κenevκzyi, vyποlnennyyi ne uchesτκe ne- ρuzhnοy ποveρχnοsτi vele as mnοgοzzχοdnοy vinτοvοy naρezκi πρyayοugοlnοgο προφilya depth κοτορyχ πlav- nο umenshaeτsya sο sτοροny vsesyveniya geze in sτοροnu
25 нэгнеτэния гэза, сοглэснο изοбρегению, иыеюτся дοποл- ниτельные κаналы динамичесκοгο уπлοτнения, сοοбщенные с οснοвныыи κанэлами динамичесκοгο уπлοτнения и с κэ- Η8Л8ЫИ ыοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газэ и οбρэзοвэн- ные выποлненными нэ учэсτκе внуτρенней ποвеρχнοοτи25 negneτeniya gaize, sοglesnο izοbρegeniyu, iyeyuτsya dοποl- niτelnye κanaly dinamichesκοgο uπlοτneniya, sοοbschennye with οsnοvnyyi κanelami dinamichesκοgο uπlοτneniya and κe- Η8L8YI yοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachκi gaze and οbρezοven- vyποlnennymi nye ne uchesτκe vnuτρenney ποveρχnοοτi
30 ροτορэ κзнавκэми в виде ынοгοзэχοднοи вингοвοи нэρез- κи πρямοугοльнοгο προφиля и οбρэщеннοй κ эгοму учэсг- κу нзρужнοй ποвеρχнοсτью ποдшиπниκэ.30 business offers in the form of a one-day non-consumable non-public holiday and a widespread business experience.
Для ποвышения бысτροτы дейсτвия и сτеπени сжаτия газа в τуρбοмοлеκуляρнοм вэκуумнοм нэсοсе целесοοбρэз-To increase the speed of action and the degree of compression of gas in a turbulent vacuum source, it is expedient
35 нο, чτοбы πρи выποлнении κанэвοκ οснοвныχ и дοποлни- τельныχ κэнэлοв динамичесκοгο уπлοτнения с προτивοπο- лοжным наπρэвлением винτοвοй нэρезκи, глубинз κэнэвοκ дοποлниτельныχ κэналοв πлавнο уменьшэлэсь сο сτοροны
- - нагнеτания газа в еτοροну всасывания газа.35 nο, chτοby πρi vyποlnenii κanevοκ οsnοvnyχ and dοποlni- τelnyχ κenelοv dinamichesκοgο uπlοτneniya with προτivοπο- lοzhnym naπρevleniem vinτοvοy neρezκi, glubinz κenevοκ dοποlniτelny χ κenalοv πlavnο umensheles sο sτοροny - - injection of gas into the suction gas.
Для ποвышения надежнοсτи ρэбοτы τуρбοмοлеκуляρ- нοгο взκуумнοгο наσοσэ выгοднο, чτοбы πρи выποлнении κанавοκ οснοвныχ и дοποлниτельныχ κаналοв динэмичес- κοгο уπлοτнения с οдинзκοвым нэπρавлением вингοвοй нэρезκи , глубинэ κэнэвοκ дοποлниτельныχ κэнэлοв πлав- нο уменьшалэсь сο сτοροны всасывания газа в сτοροну нагнеτания газа.. Ηβличие дοποлниτельныχ κанэлοв динэыичесκοгο уπ- лοгнения, οбρззοванныχ κэнавκами , выποлненными на внуτρенней цилиндρичесκοй ποвеρχнοсτи ροτορа , диэыеτρ κοτοροй πο меньшей ыеρе в двэ ρэзэ бοлыпе диэмеτρэ вэла., на κοτοροм выποлнены κанзвκи οснοвныχ κаналοв динэмичесκοгο уπлοτнения, ποзвοляеτ увеличиτь πлοщадь προχοднοгο сечения дοποлниτельныχ κэнэлοв динэыичесκο- гο уπлοτнения πο сρэвнению с πлοщздью προχοднοгο сече- ния οснοвныχ κэнэлοв динзмичесκοгο уπлοτнения, чτο, в свοю οчеρедь, ποзвοляеτ увеличиτь οτκэчные . χзρэκτеρис- τиκи τуρбοмοлеκуляρнοгο вэκуумнοгο нзсοσэ .For ποvysheniya nadezhnοsτi ρebοτy τuρbοmοleκulyaρ- nοgο vzκuumnοgο naσοσe vygοdnο, chτοby πρi vyποlnenii κanavοκ οsnοvnyχ and dοποlniτelnyχ κanalοv dinemiches- κοgο uπlοτneniya with οdinzκοvym neπρavleniem vingοvοy neρezκi, glubine κenevοκ dοποlniτelnyχ κenelοv πlav- nο umenshales sο sτοροny suction gas in the gas sτοροnu nagneτaniya .. Ηβlichie dοποlniτelnyχ κanelοv dineychennye improvements made by the canoes performed on the internal cylin a. on κοτοροm vyποlneny κanzvκi οsnοvnyχ κanalοv dinemichesκοgο uπlοτneniya, ποzvοlyaeτ uvelichiτ πlοschad προχοdnοgο section dοποlniτelnyχ κenelοv dineyichesκο- gο uπlοτneniya πο sρevneniyu with πlοschzdyu προχοdnοgο section οsnοvnyχ κenelοv dinzmichesκοgο uπlοτneniya, chτο in svοyu οcheρed, ποzvοlyaeτ uvelichiτ οτκechnye. Industrial technology of the secondary non-ferrous industry.
Κροые гοгο, зτο ποзвοляеτ уменьшиτь длину κэнэ- лοв οσнοвнοгο динзмичесκοгο уπлοτнения, το есτь длину вэлэ , чτο снижэеτ эκвэτορиэльный мοменτ инеρπии вэлэ с ροτοροм и ποзвοляег зэ счеτ увеличения сκοροсги вρэ- щения ροτορэ ποвысиτь бысτροτу дейсτвия τуρбοмοлеκу- ляρнοгο ваκуумнοгο нэсοсэ не менее чем на 20^, без изменения егο гэбэρиτοв.Κροye gοgο, zτο ποzvοlyaeτ umenshiτ length κene- lοv οσnοvnοgο dinzmichesκοgο uπlοτneniya, το esτ length vele, chτο snizheeτ eκveτορielny mοmenτ ineρπii vele with ροτοροm and ποzvοlyaeg ze scheτ increase sκοροsgi vρe- scheniya ροτορe ποvysiτ bysτροτu deysτviya τuρbοmοleκu- lyaρnοgο vaκuumnοgο nesοse not less than 20 ^, without changing its geberativ.
Κρагκοе οπисэние чеρгежей Β дэльнейшем изοбρеτение ποяσняеτся οπисэнием κοнκρеτнοгο вэρизнτэ егο выποлнения и πρилэгаемыыи чеρτежβыи , на κοτορыχ: φиг.Ι изοбρзжэеτ οбщий вид τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκууынοгο насοσа /προдοльный ρэзρез/ , сοглзснο изο- бρеτению φиг.2 - узел Α нз φиг.Ι в увеличеннοм ыэсшτабе , с κэнзвκаыи, οбρэзующими дοποлниτельные κэнзлы динэ- мичесκοгο уπлοτнения, нзπρэвление винτοвοй нэρезκи κοτορыχ προτивοποлοжнο нэπρэвлению винτοвοй нэρезκи
- 5 - κанавοκ, οбρазующиχ οсяοвные κаналы динамичесκοгο уπлοτяения, сοгласнο изοбρеτению; φиг. З - το же, чτο на φиг.2, с κанавκами , οбρа- зующими дοποяниτельные κавалы динамичеοκοгο уπлοτяе- яия, шπρавление вяяτοвαй наρезκи κοτορыχ οοвшдаеτ с ваπρавлением винτοвοй аρезκи κанавοκ, οбρэзующиχ οснοвные κаяалы динамичесκοгο уπлοτнения, сοгласнο изοбρеτеяию. Лучший ваρиаяτ οсущесτвлеяия изοбρеτенияΚρagκοe οπisenie cheρgezhey Β delneyshem izοbρeτenie ποyaσnyaeτsya οπiseniem κοnκρeτnοgο veρiznτe egο vyποlneniya and πρilegaemyyi cheρτezhβyi on κοτορyχ: φig.Ι izοbρzzheeτ οbschy view τuρbοmοleκulyaρnοgο vaκuuynοgο nasοσa / προdοlny ρezρez / sοglzsnο izο- bρeτeniyu φig.2 - Α node NZ φig.Ι in uvelichennοm yesshτabe with κenzvκayi, οbρezuyuschimi dοποlniτelnye κenzly dine- michesκοgο uπlοτneniya, nzπρevlenie vinτοvοy neρezκi κοτορy χ προτivοποlοzhnο neπρevleniyu vinτοvοy neρezκi - 5 - Groove, educational alimentary channels of dynamic use, according to the invention; φig. W - το same chτο on φig.2 with κanavκami, οbρa- binder dοποyaniτelnye κavaly dinamicheοκοgο uπlοτyae- yaiya, shπρavlenie vyayaτοvαy naρezκi κοτορyχ οοvshdaeτ with vaπρavleniem vinτοvοy aρezκi κanavοκ, οbρezuyuschiχ οsnοvnye κayaaly dinamichesκοgο uπlοτneniya, sοglasnο izοbρeτeyaiyu. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Τуρбοмοлеκуляρяый ваκуумяый наοοс сοдеρжиτ ποдый сτаτορ I /φиг. 1/ * внуτρи κοτοροгο усτанοвлен ποлый ροτορ 2, мевду κοτορыми ρасποлοжены κаналы 3 τуρбο- мοлеκуляρяοй сτуπеяи οτκачκи газа и κаналы 4 мοлеκу- ляρнοй сτуπени οτκачκи газа , сοοбщеяные между сοбοй. Сτаτορ I сοдеρжиτ κορπус 5 τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа и κορπус 6 мοлеκуляρнοй сτуπеяи οτκачκи газа , жесτκο связаняые меязду сοбοй , наπρимеρ с ποмοщыο ρезьбοвοгο сοединеяия. Β κορπусе 5 τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи га- за усτаяοвлена сτуπипа 7 с τρемя лοπаτοчными дисκамиThe vacuum chamber is equipped with a standby unit I / fig. 1 / * inside, a large open 2 was installed; on the other hand, there were 3 channels installed; The state of the I source of gas is 5 and the gas source is 6 and the gas source is in danger of an interconnection between the two. In body 5 of the city, the gas pump is set to step 7 with the shoulder blades.
8, ρасποлοжеяяыми между чеτыρьмя лοπаτοчными κοдесами8, located between the four blade arms
9, жесτκο связанными с ροτοροм 2, между κοτορыми οб- ρазοваяы κаналы 3 τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа.9, which are tightly connected with the discharge 2, between the quick access channels 3 of the accelerated gas supply.
Κοличесτвο лοπаτοчныχ κοлес 9 и сοοτвеτсτвеняο лοπаτοчныχ дисκοв 8 мοκеτ быτь ρазличяым, κаκ и в дρу- гиχ извесτныχ κοнсτρуκцияχ τуρбοмοлеκуляρныχ ваκуумяыχ яасοοοв. Οнο мοжеτ быτь οτ двуχ дο двадаτи и бοлее и, κаκ извесτнο, зависиτ οτ геοмеτρичесκиχ паρамеτροв κοнсτρуκτивныχ элеменτοв наοοса , в часτнοсτи οτ πлο- πρди προχοдяοгο сечения межлοπаτοчяыχ κаналοв лοπаτοч- яыχ κοлес 9 и οτ τρебуемыχ οτκачяыχ χаρаκτеρисτиκ τуρ- бοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса. Κашлы сτуπеяи мοлеκуляρяοй οτκачκи газа οбρа- зοваяы выποляенными ш внуτρеяяей цилиндρичесκοδ πο- веρχяοсτи 10 κορπуса 6 сτаτορа I πазами II в виде мяο- гοзаχοднοй винτοвοй шρезκи πρямοугοльнοгο προφиля и
- 6 - наρужнοй цилиядρичесκοй ποвеρχяοсτью 12 ροτορа 2. Гдубиш шзοв II πшвнο уменьпвеτся в шπρавлении сο сτοροны ν /ш чеρτеже οбοзшчеяο сτρелκοй/ всасыва- ния гаш в сτοροяу κ /ш чеρτеже οбοзшченο сτρел- κсй/ шгяеτания газа οτ 3,0 дο 0,5 мм. Зазορ 13 ме- аςцу шρуκнοй цилиадρичесκοй ποвеρχнοсτью 12 ροτορа 2 и внуτρеяяей цилиядρичесκοй ποвеρχнοсτью 10 κορπуса 6 οτаτορа I дοсτаτοчнο мал, κаκ извесτяο, οн сοсτавляеτ οτ 0, 15 дο 0, 03 мм и сοздаеτ сρавяиτельнο бοльшοе οο- προτивление οбρаτяοму ποτοκу газа, το есτь πρеπяτсτ- вуеτ πеρеτеκаяию газа сο сτοροяы н нагяеτаяия газа в сτοροну ν всасышяия газа.The personal laptop wheels of 9 and the corresponding portable disks 8 are different, both in the case of other commercial vehicles. Οnο mοzheτ byτ οτ dvuχ dο dvadaτi and bοlee and κaκ izvesτnο, zavisiτ οτ geοmeτρichesκiχ paρameτροv κοnsτρuκτivnyχ elemenτοv naοοsa in chasτnοsτi οτ πlο- πρdi προχοdyaοgο section mezhlοπaτοchyayχ κanalοv lοπaτοch- yayχ κοles 9 and οτ τρebuemyχ οτκachyayχ χaρaκτeρisτiκ τuρ- bοmοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο nasοsa. The chambers of the accelerated gas outlet of the gas are processed by the internal cylinder of the 10th compartment of the 6th unit of the 6th stage of the motorized vehicle - 6 - naρuzhnοy tsiliyadρichesκοy ποveρχyaοsτyu 12 ροτορa 2. Gdubish shzοv II πshvnο umenpveτsya in shπρavlenii sο sτοροny ν / w cheρτezhe οbοzshcheyaο sτρelκοy / vsasyva- Nia gash in sτοροyau κ / w cheρτezhe οbοzshchenο sτρel- κsy / gas shgyaeτaniya οτ 3,0 dο 0 5 mm. Zazορ 13 Me- aςtsu shρuκnοy tsiliadρichesκοy ποveρχnοsτyu 12 ροτορa 2 and vnuτρeyayaey tsiliyadρichesκοy ποveρχnοsτyu 10 κορπusa 6 οτaτορa I dοsτaτοchnο small κaκ izvesτyaο, οn sοsτavlyaeτ οτ 0, 15 dο 0, 03 mm and sοzdaeτ sρavyaiτelnο bοlshοe οο- προτivlenie οbρaτyaοmu ποτοκu gas, το esτ There is no gas inlet and gas is being pumped to the suction side of the gas.
Ροτορ 2 усτаяοвлея ш шлу 14 и заκρеπлен ш яем с ποмοщью вияτа 15. Βал 14 усτаяοвлен в двуχ аэροсτа- τичесκиχ ποдшиπяиκаχ 16 и Г7, имеющиχ сοοτвеτсτвеняο κοльцевые προτοчκи 18 и 19, сοοбщеняые с κашшми /ш чеρτеже яе ποκазаяы/ сисτемы ποдачи и ρасπρеделе- яия сгаτοгο вοздуχа аэροсτаτичесκиχ ποдшиπяиκοв 16 и 1 .Ροτορ 2 usτayaοvleya XDR w 14 and w zaκρeπlen yaem with ποmοschyu viyaτa 15. Βal 14 usτayaοvlen in dvuχ aeροsτa- τichesκiχ ποdshiπyaiκaχ 16 and T7, imeyuschiχ sοοτveτsτvenyaο κοltsevye προτοchκi 18 and 19, with sοοbschenyaye κashshmi / w cheρτezhe Re ποκazayay / sisτemy ποdachi and ρasπρedele- Air Force Aircraft 16 and 1.
Пοдшиπяиκи 16, 17 смοяτиροваны в κορπусе 20. С κορπусοм 20 жесτκο, шπρимеρ с ποмοщью ρезьбοвοгο сο- единения, связая ποдπяτниκ 21, усτаяοвленный в сτаκа- яе 22 вмесτе с κοльцοм 23. Β сτаκаяе 22 усτаяοвлен сτаτορ 24 элеκτροдвига- τеля, ροτορ 25 κοτοροгο ρазмещея ш нижнем κοнце 26 вала 14. Κ сτаκаяу 22 πρиκρеπлея κοщχ 27. Для οχлаж- деяия τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумяοгο насοса κοжуχ 27 сοедияея с κοльщми 28 и 29 л шлюзями 30. Μевду κοль- цοм 28 и сτаκанοм 22 усτанοвлен φиκсаτορ 31 для κρеπ- леяия κοлец 28 и 29. Β κορπусе 6 сτаτορа I выποляеяο οτвеρсτие 32, сοοсяο с κοτορым на яем заκρеπлея шτρу- бοκ 33 для сοедияеяия с τρубοπροвοдοм /ш чеρτеже яе ποκашя/ φορваκуумяοй οτκачκи газа, πρедяазяаченным для цρедшρиτельнοй οτκачκи газа из геρмеτизиρуемοй κамеρы /ш чеρτеже яе ποκазаш/.Pοdshiπyaiκi 16, 17 in smοyaτiροvany κορπuse 20. κορπusοm 20 zhesτκο, shπρimeρ with ποmοschyu ρezbοvοgο sο- unity communication ποdπyaτniκ 21 usτayaοvlenny in sτaκayae 22 vmesτe with κοltsοm 23. Β sτaκayae 22 usτayaοvlen sτaτορ 24 eleκτροdviga- τelya, ροτορ 25 κοτοροgο ρazmescheya br κοntse bottom 26 of the shaft 14. Κ sτaκayau 22 πρiκρeπleya κοschχ 27. οχlazh- deyaiya τuρbοmοleκulyaρnοgο vaκuumyaοgο nasοsa κοzhuχ 27 sοediyaeya κοlschmi with 28 and 29 l gateway 30. Μevdu κοl- tsοm 28 and 22 sτaκanοm usτanοvlen φiκsaτορ 31 κρeπ- leyaiya κοlets 28 and 29. On page 6 of step I, I take 32, which is connected with a short meal accessory box 33 for connecting to a pipe / gas source that is not supplied with gas / gas;
Для τοгο, чτοбы πρи ποддеρшяии шκуума в эτοй κамеρе οτκачиваемый ποτοκ газа οτвοдился неποсρедсτ-
- 7 - веянο в аτмοсφеρу, в κοнсτρуκции τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο яасοса имееτся динамичесκοе уπлοτяение, οбесπечишющее ποвышеяие давлеяия οτκачишемοгο газа οτ давления ш выχοде κаяалοв 4 мοлеκуляρяαй сτуπеяи οτκачκи газа дο аτмοсφеρяοгο давлеяия. Дишмичесκοе уπлοτяение сοдеρжиτ οсяοвные κашлы 34, ρасποлοжеяные между учасτκοм 35 шρужнαи ποвеρχяοсτи шла 14 и οб- ρащеяяοй κ зτοму учасτκу 35 вяуτρеяяей ποвеρχнοοτью ηοдшиπяиκа 16.For this reason, in order to prevent noise in this chamber, the exhausted gas flow is not in use. - 7 - veyanο in aτmοsφeρu in κοnsτρuκtsii τuρbοmοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο yaasοsa imeeτsya dinamichesκοe uπlοτyaenie, οbesπechishyuschee ποvysheyaie davleyaiya οτκachishemοgο gas pressure οτ br vyχοde κayaalοv 4 mοleκulyaρyaαy sτuπeyai οτκachκi gas dο aτmοsφeρyaοgο davleyaiya. Dysmotic loss consists of live coughs 34, located between section 35, and the foreigners went on for 14 and involved 16 people.
Οсяοвные κашлы 34 дияамичесκοгο уπлοτяения сο сτοροны ν всасываняя газа сοοбщеяы с дοποлниτель- ными κаналами 36, динамячесκοгο уπлοτнения, ρасποлο- жеяяыми мевду учасτκοм 37 вяуτρенней ποвеρχнοсτи ροτο- ρа 2 и οбρащеннοй κ эτοму учасτκу 37 наρужнοй ποвеρχ- яοсτью ποдшиπяиκа 16 чеρез шзορ 38 между веρχним τορ- цем ποдшиπяиκа 16 и οбρащеянοй κ нему ποвеρχнοсτью ροτορа 2.Οsyaοvnye κashly 34 diyaamichesκοgο uπlοτyaeniya sο sτοροny ν suction gas sοοbscheyay with dοποlniτel- GOVERNMENTAL κanalami 36 dinamyachesκοgο uπlοτneniya, ρasποlο- zheyayaymi LKAU uchasτκοm 37 vyauτρenney ποveρχnοsτi ροτο- ρa 2 and κ οbρaschennοy eτοmu uchasτκu 37 naρuzhnοy ποveρχ- yaοsτyu ποdshiπyaiκa 16 cheρez shzορ 38 between veρχnim The factory is equipped with 16 and the public relations with it 2.
Οснοвяые κашлы 34 дишмичесκοгο уπлοτяения сο сτοροяы Ν нагнеτания газа сοοбщеяы с аτмοсφеραй чеρез ρадиальный и προдοльяый κашлы 39, 40, выποлнея- ные в ποдшиπяиκе 16, зазορ 41 между валοм 14 и вτул- κοй 42, и чеρез ρадиальные сοοсяые κашлы 43 и 44, выποлненяые сοοτвеτсτвеннο вο вτулκе 42 и κορπусе 20. Дοποляиτельные κаяалы 36 дишмичесκοгο уπлοτяе- ния сοοбщеяы с κашлами 4 мοлеκуляρнοй сτуπеяи οτκач- κи газа чеρез шзορы 45, 46 мевду внуτρенней ποвеρχ- яοсτью ροτορа 2 и шρужными ποвеρχяοсτями ποдшиπяиκа 16 и κορπуса 20 и κοльцевую ποлοсτь 47 между внуτρен- ней ποвеρχнοсτью 10 κορπуса 6 сτаτορа I и яаρужнοй ποвеρχнοсτью κορπуса 20.Οsnοvyaye κashly 34 dishmichesκοgο uπlοτyaeniya sο sτοροyay Ν nagneτaniya gas sοοbscheyay with aτmοsφeραy cheρez ρadialny and προdοlyay κashly 39, 40, vyποlneya- nye in ποdshiπyaiκe 16, 41 between zazορ valοm vτul- κοy 14 and 42 and cheρez ρadialnye sοοsyaye κashly 43 and 44 vyποlnenyaye sοοτveτsτvennο vο vτulκe 42 and 20. κορπuse Dοποlyaiτelnye κayaaly 36 dishmichesκοgο uπlοτyae- Nia sοοbscheyay with κashlami 4 mοleκulyaρnοy sτuπeyai οτκach- κi gas cheρez shzορy 45, 46 LKAU vnuτρenney ποveρχ- yaοsτyu ροτορa 2 and shρuzhnymi ποveρχyaοsτyami ποdshiπyaiκa κορπusa 16 and 20 and between 47 κοltsevuyu ποlοsτ on the inside ρχnοsτyu 10 κορπusa 6 sτaτορa I and yaaρuzhnοy ποveρχnοsτyu κορπusa 20.
Οсяοвяые κашлы 34 дишмичесκοгο уπлοτяения οб- ρазοваяы κашвκами 48 /φиг.2, 3/, выποлненяыми ш уча- сτκе 35 шρужнοй ποвеρχнοсτи шла 14 ροτορа 2 в виде мнοгοзаχοднοй винτοвοй шρезκи πρямοугοльнοгο προφи- ля. Глубиш • κашвοκ 48 πлавяο умеяышеτся сο сτο- ροны ν всасьшаяия газа в сτοροну и нагнеτаяия газа οτ 0, 1 дο 0, 03 мм.
- 8 -Larger coughs 34 for various purposes of using standard mashups 48 / Fig. 2, 3 /, performed at a frequency of 35 vehicles, and 14 Glubysh • kashvok 48 is able to swim at a constant speed ν suction gas to the country and gas discharge from 0, 1 to 0, 03 mm. - 8 -
Κοличесτвο заχοдοв винτοвοй шρезκи и длиш ь /φиг.2/ или ъ-- /φиг. З/ учасτκа 35 Сφиг.2,3) швисиτ οτ даамеτρа вала 14. Шиρива ъ κававοκ 48 οдишκοшHelical screwdrivers and longer / fig.2/ or b-- / fig. Section 35 of Section 2.3) whispers shaft 14. Front cover 48 section
5 πο всей длияе ь учасτκа 35 и ρавш 2 мм, шиρиш а ρебеρ 49 между сοседними κанавκами 48 ρавна шиρияе ъ κашвοκ 48.5 For the entire length of section 35 and 2 mm in width, a width of 49 in between the adjacent grooves 48 is equally wide in 48.
Дοποляиτельяые κаяалы 36 дишмичесκοгο уπлοτяе- ния οбρазοшяы κашвκами 50 (φиг.2) или 51 (φиг.З) ,Additional kayals 36 are designed to accommodate 50 (Fig. 2) or 51 (Fig. 3),
10 выποляеяными ш учасτκе 37 (φиг.2,3) внуτρеяней πο- веρχнοсτи ροτορа 2 в виде мяοгοзаχοдяα.. винτοвοй яа- ρезκи πρямοугοльнοгο προφиля. Глубиш £-- κашвοκ 50, 51 πлавнο изменяеτся πο длияе Η (φиг.2) или Ηχ (φиг. З) учасτκа 37 (φиг.2,3) для οбесπечения πеρедада10 completed section 37 (Fig. 2, 3) inside the second part of the building in the form of a materiel .. screwdriver on the first corner. Depth £ - part 50, 51 changes smoothly to Η (fig. 2) or Ηχ (fig. 3) section 37 (fig. 2,3) to ensure the prevention of
15 давлеяия газа ш вχοде и выχοде κашлοв 36 . диш- мичесκοгο уπлοτяеяия. Ηаπρавлеяие измеяеяия глубияы ^ κашвοκ 50, 51 зависиτ οτ шπρавлеяия винτοвοй шρезκи κашвοκ 48.15 pressures of gas at the inlet and outlet of the chambers 36. Dysmological impairment. Dependence on changing depths 50%, 51 depends on the size of screwing 80.
Для ποвышеяия οысτροτы дейсτвия и сτеπени сшτияTo increase the speed of action and the degree of progress
20 гаш шπρавлеяие винτοвοй шρезκи κашвοκ 50 (φиг.2) , οбρазующиχ дοποляиτельяые κашлы 36 дишмичесκοгο уπ- лοτяения, προτявοποлοжнο наπρавлению винτοвοй шρезκи κашвοκ 48, οбρазующиχ οсяοвные κашлы 34 динамичесκο- гο уπлοτяеяия. Пρи эτοм глубиш - -г κаяавοκ 50 πлавнο20 canopy of screwdriver for casting 50 (Fig. 2); At this depth - -kayavka 50 smoothly
25 уменышеτся сο сτοροяы Ν нагнёτания га'за в -сτοροну V всасывания газа οτ 0, 1 дο 0, 2 мм. Шиρиш Ь ^ κаяавκи 50 οдишκοш πο всей ее длияе и ρавш 2 мм. Шиρина ρебρа 52 между сοседними κашвκами 50 ρавш ши- ρияе 1>2 κаяавκи 50. Длиш ь учасτκа 35 наρужнοй25 umenysheτsya sο sτοροyay Ν nagnoτaniya m 'of a V -sτοροnu suction gas οτ 0, 1 dο 0, 2 mm. Shirish kaavka 50 outlets for all of its length and 2 mm. Width 52 in between adjacent patches 50 is greater than 1> 2 in patches 50. The remaining area is 35 outdoor
30 ποвеρχнοсτи шла 14, ш κοτοροй выποднеяы κанавκи 48, сοсτавляеτ πρимеρнο οτ 0,3 дο 0, 5 диамеτρа вала 14, а длиш Η учасτκа 37 вяуτρеяней ποвеρχяοсτи ροτορа 2 сοсτавляеτ πρимеρнο 2/3 ь . Βйбορ зшчеяий ь и Η и иχ сοοτяοшений зависиτ οτ τρебуемыχ οτκачяыχ χа-30 rotations went 14, a short recess of grooves 48, makes an average of 0.3 to 0, 5 shaft diameters 14, and for the other two Anything else and both and their relationships depend on what is needed.
35 ρаκτеρисτиκ и οπρеделяеτся ρасчеτяым πуτем извесτяым οбρазοм. Пρи эτοм з_ всегда меяьше диамеτρа шла 14, а Η всегда меньше ъ , чτο ποзвοляеτ уменыииτь эκш- τορиальяый мοменτ ияеρции шла 14 с ροτοροм 2 .
- 9 - Для сοχρанения ρабοτοсποсοбнοсτи τуρбοмοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса πρи случайнοм ποвышении давления дο аτмοсφеρнοгο в κοльцевοй ποлοсτи 47 (φиг.Ι), сοοбщеннοй с φορваκуумнοй магисτρалью (на чеρτеже не ποκазана) , κанавκи 51 (φиг.З), οбρазующие дοποлниτельные κаналы 36 динамичесκοгο уπлοτнения, имеюτ винτοвую наρезκу, наπρав- ление κοτοροй сοвπадаеτ с наπρавлением винτοвόй наρезιш κанавοκ 48, οбρазующиχ οснοвные κаналы 36 динамичесκοгο уπлοτнения. Пρи эτοм глубина £-- κанавοκ 51 πлавнο уменьшаеτся сο сτοροны ν всасывания газа в сτοροну ц нагнеτания газа οτ 0,1 дο 0,2 мм. Шиρша κанавοκ 51 и шиρина ρебеρ 53 ρавны 2 мм, τаκие же, κаκ и в ваρианτе, ποκазаннοм на φиг.2. Длина ъ-- учасτκа 35 наρужнοй πο- веρχнοсτи вала 14 сοсτавляеτ οτ 0,5 дο 0,8 диамеτρа ва- ла 14, а длина Η-г_ учасτκа 37 внуτρеιшей ποвеρχнοсτи ρο- τορа 2 сοсτавляеτ οτ 1/2 дο 2/3 Ь-г.35 The processing and distribution are calculated by the known method. In this case, it was always 14 smaller than the diameter, and Η always smaller than,, which makes it possible to reduce the current moment of 14 with ροτορο 2. - 9 - To sοχρaneniya ρabοτοsποsοbnοsτi τuρbοmοleκulyaρnοgο vaκuumnοgο nasοsa πρi sluchaynοm pressure ποvyshenii dο aτmοsφeρnοgο in κοltsevοy ποlοsτi 47 (φig.Ι) sοοbschennοy with φορvaκuumnοy magisτρalyu (on cheρτezhe not ποκazana) κanavκi 51 (φig.Z) οbρazuyuschie dοποlniτelnye κanaly 36 dinamichesκοgο uπlοτneniya , has a helical cut, the direction of the quicker coincides with the direction of the helical cut of the groove 48, the main channels 36 of the dynamic compaction. At the same time, the depth of the - - groove 51 gradually decreases at a rate of gas suction at a gas injection rate of 0.1 to 0.2 mm. The width of the groove 51 and the width of the rib 53 are equal to 2 mm, the same as in the variant shown in figure 2. The length of the section 35 of the external part of the shaft 14 is 0.5 to 0.8, the diameter of the shaft is 14, and the length of the section 37 of the inside of the shaft 2 is 2 times 2 of 2 -g.
_. Βыбορ κοнκρеτныχ значений ъ- и Ηг_ и иχ сοοτκοшений τаκже зависиτ οτ τρебуемыχ οτκачныχ χаρаκτеρисτиκ τуρбο- мοлеκуляρнοгο ваκуумнοгο насοса и οπρеделяеτся ρасчеτным πуτем извесτным οбρазοм._. Accurate and erratic accidents are also at risk of erratic and inaccurate readings.
Τуρбοмοлеκуляρный ваκуумный насοс ρабοτаеτ следую- щим οбρазοм. Пρи усτанοвκе насοса κορπус 5 (φиг.Ι) сτа- τορа I сοединяеτся с геρνιеτизиρуемοй κамеροй (на чеρτеже не шκазана) сοοτзеτсτвующей τеχнοлοгичесκοй усτанοвκи. Паτρубοκ 33 сοединяеτся с τρубοπροвοдοм (на чеρτеже не ποκазан) φορваκуумнοй οτκачκи газа. Пοсле эτοгο в зазορы мевду валοм 14 и аэροсτаτичесκими ποдшшιниκами 16 и 17 чеρез προτοчκи 18 и 19 ποдаеτся сжаτый вοздуχ ποд давле- нием 0,59 ΜПа и вал 14 "всπлываеτ" в аэροсτаτичесκиχ ποд- шиπяиκаχ 16 и 17. Пροизвοдиτся φορваκуумная οτκачκа газа из геρмеτизиρуемοй κамеρы.The vacuum vacuum pump operates the following way. When the pump is installed, unit 5 (Ι) of the unit I is connected to a live camera (not shown on the drawing) with a compliant process. Unit 33 connects to the pipe (not shown) with a gas pumped off. Pοsle eτοgο in zazορy LKAU valοm aeροsτaτichesκimi ποdshshιniκami 14 and 16 and 17 cheρez προτοchκi 18 and 19 ποdaeτsya szhaτy vοzduχ ποd pressure Niemi 0.59 ΜPa and shaft 14 "vsπlyvaeτ" in aeροsτaτichesκiχ ποd- shiπyaiκaχ 16 and 17. Pροizvοdiτsya φορvaκuumnaya οτκachκa gas from geρmeτiziρuemοy cameras.
Заτем πρи ποдаче наπρяжения на сτаτορ 24 элеκτρο- двигаτеля, егο ροτοροм 25 πρивοдиτся вο вρащение вал 14 с ροτοροм 2. Пρи вρащении ροτορа 2 мοлеκулы газа из οτ- κачиваемοгο οбъема геρмеτизиρуемοй κамеρы заχваτываюτся лοπаτκами лοπаτοчныχ κοлес 9 и нагнеτаюτся в κаналы 3 τуρбοмοлеκуляρнοй сτуπени οτκачκи газа, κοτορая на выχοде
- 10 - οбесπечиваеτ τρебуемую ρасчеτную величияу ποвышения давления газа. Пροизвοдиτся πеρеκρыτие τρубοπροвοда φορваκуумнοй οτκачκи газа κлаπанοм(на чеρτеже не ποκазан).Zaτem πρi ποdache naπρyazheniya on sτaτορ 24 eleκτρο- dvigaτelya, egο ροτοροm 25 πρivοdiτsya vο vρaschenie shaft 14 ροτοροm 2. Pρi vρaschenii ροτορa 2 mοleκuly gas from οτ- κachivaemοgο οbema geρmeτiziρuemοy κameρy zaχvaτyvayuτsya lοπaτκami lοπaτοchnyχ κοles 9 and nagneτayuτsya in κanaly 3 τuρbοmοleκulyaρnοy sτuπeni gas οτκachκi , κοτορaya on you χ οde - 10 - Ensures the required calculated magnitude of the increase in gas pressure. There is a conversion of a vented gas pump by a valve (not shown).
5 йз κаналοв 3 τуρбοмοлеκуляρнοй οτκачκи газа мοле- κулы газа ποπадаюτ в κаналы 4 мοлеκуляρнοй сτуπени οτ- κачκи газа, на выχοде κοτορыχ давление в ποτοκе οτκнчи- ваемοгο газа ποвышаеτся οτ Ι0~2 Па дο 10 Па. Далее мοлеκулы οτκачиваемοгο ποτοκа газа чеρез' κοльцевую πο-5 ds κanalοv 3 τuρbοmοleκulyaρnοy οτκachκi gas mοle- κuly gas ποπadayuτ in κanaly 4 mοleκulyaρnοy sτuπeni οτκachκi gas to you χ χ οde κοτορy pressure ποτοκe οτκnchi- vaemοgο gas ποvyshaeτsya οτ Ι0 ~ 2 Pa 10 Pa dο. Further mοleκuly οτκachivaemοgο ποτοκa gas cheρez 'κοltsevuyu πο-
Ю лοсτь 47, зазορы 46 и 45 ποπадаюτ в дοποлниτельные κаналы 36 динамичесκοгο уπлοτнения. Заτем чеρез зазορ 38 - в οснοвные κаналы 34 динамичесκοгο уπлοτнения, на выχο- де κοτορыχ давление οτκачиваемοгο газа ποвышаеτся дο аτмοсφеρнοгο. Далее οτκачиваемый газ чеρез κаналы 39,40Yulos 47, zazory 46 and 45 fall into the optional channels 36 dynamic compaction. Then, after a gap of 38 - to the main channels 34 dynamic compaction, the exhaust gas pressure rises to exhaust pressure until the exhaust gas rises. Further pumped gas through channels 39.40
15 ποдшиπниκа 16, зазορ 41 и οτвеρсτие 43 вτулκи 42 и κа- нал 44 κορπуса 20 выχοдиτ в аτмοсφеρу. Динамичесκοе уπлοτнение выποлняеτ ροль φορваκуумнοгο насοса, οбесπе- чивая ποвышение даΕления дο аτмοсφеρнοгο, πρи эτοм οτκа- чиваемый οбъем геρмеτизиρуемοκ κамеρы не загρязняеτся15, extension 16, gap 41 and section 43 of bus 42 and channel 44 of channel 20 will exit into the atmosphere. The dynamic compaction takes the role of a vacuum pump, ensuring an increase in the pressure for the automatic, and this is not impermeable.
20 углевοдοροдами.20 carbohydrates.
Давление οτκачиваемοгο ποτοκа газа πρи προχοжде- нии чеρвз дοποлниτельные κаналы 36 динамичесκοгο уπлοτ- нения ποвышаеτся πο меньшей меρе в 5 ρаз, οбесπечивая τем еамым уменыπение πеρеπада даΕления οτκачиваемοгοThe pressure of the pumped gas flow through the pressure through additional channels 36 is dynamically accelerated is less than 5 times, it is less
25 ποτοκа газа в οснοвныχ κаналаχ 34 динамичесκοгο уπлοτне- ния, чτο ποзвοляеτ за счеτ уменьшения длины οснοвныχ κа- налοв 34 динамичесκοгο уπлοτнения снизиτь эκваτορиаль- ный мοменτ инеρции вρащащегοся вала 14 с ροτοροм 2 и ποвысиτь сκοροсτь вρащения ροτορа 2. Эτο οбесπечишеτ -25 ποτοκa gas in οsnοvnyχ κanalaχ 34 dinamichesκοgο uπlοτneniya, chτο ποzvοlyaeτ on account shortener οsnοvnyχ κa- nalοv 34 dinamichesκοgο uπlοτneniya sniziτ eκvaτορial- ny mοmenτ ineρtsii vρaschaschegοsya shaft 14 ροτοροm 2 and ποvysiτ sκοροsτ vρascheniya ροτορa 2. Eτο οbesπechisheτ -
30 πθΕЫπение οτκачныχ χаρаκτеρисτиκ τуρбοмοлеκуляρнοгο ва- κуумнοгο насοса без изменения егο габаρиτοв не менее чем на 2С .30 Reciprocating process flow of a vacuum pump without changing its size by at least 2C.
Давление ποτοκа газа, προχοдящегο чеρез дοποлни- τельные κаналы 36 динамичесκοгο уπлοτнения, οбρазοван-Gas supply pressure, through optional channels 36 dynamic compaction,
35 ные κанавκами 50 (φиг.2) , глубина κοτορыχ πлавнο уме-
- II - ныиаеτся сο сτοροны Ν нагнеτания газа в сτοροну ν всасывания гаш , ποвыивеτся πρимеρяο на πορядοκ, чτο ποзвοляеτ ποвысиτь οτκачяые χаρаκτеρисτиκи τуρбοмο-35 grooves 50 (Fig. 2), depth for smooth - II - there is a situation in which gas is pumped to the suction line;
5 леκуляρнοгο шκуумяοгο насοса яе менее чем ш 30$. Давлеяие ποτοκа гаш , προχοдящегο чеρез дοποляи- τельные κашлы 36 динамичесκοгο уπлοτнеяия, οбρазο- шянοгο κашвκами 52 /φиг. З/, глубиш κοτορыχ πлавнο уменьшэеτся сο сτοροны -ν всасывания гаш в сτορο-5 lekulyarno shkumumogo pump less than w $ 30. Pressure of cannabis flowing through optional coughs 36 dynamic adjustments, obsolete shingles 52 / ig. З /, the depth of the sink gradually decreases from the rate of suction of the gash in the speed
10 яу Ν нагнеτ ния- гаш, ποвышаеτся πρимеρнο в 5 ρаз, чτο ποзвοляеτ ποвысиτь οτκачяые χаρаκτеρисτяκи τуρбο- мοлеκуляρяοгο шκуумяοгο дасοса не менее, чем ш 20$.10 yu Ν pumping-up the gash, it is increased by about 5 times, which makes it possible to increase the flowing performance of the cooler for a little more than 20 noise.
Οднаκο бοлышм πρеимущесτвοм τаκοгο выποлнеяия дοποляиτельяыχ κашлοв 36 дишмичесκοгο уπлοτненияOn the other hand, there is the benefit of such extra payments for 36 dummies.
15 являеτся το, чτο οяи ποзвοляюτ πρедοτвρаτиτь ποлοмκу τуρбοмοлеκуляρнοгο шκуумнοгο яасοса πρи вяезаπнοм ποвышении давления в ποлοсτи 47 ш счеτ τοгο, чτο в эτиχ κанадаχ 36 сοздаеτся сοπροτивлеяие вязκοсτяοму ποτοκу гаш .15 yavlyaeτsya το, chτο οyai ποzvοlyayuτ πρedοτvρaτiτ ποlοmκu τuρbοmοleκulyaρnοgο shκuumnοgο yaasοsa πρi vyaezaπnοm pressure ποvyshenii in ποlοsτi 47 w scheτ τοgο, chτο in eτiχ κanadaχ 36 sοzdaeτsya sοπροτivleyaie vyazκοsτyaοmu ποτοκu gash.
20 Пροмышленная πρπменямοсτь20 Deliberate change
Пρедлагаемый τуρбοмοлеκуляρяый шκуумный яасοс мοжеτ быτь исποльзοвая в ρазличныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвκаχ для сοздаяия и ποддеρшния шκуума с οсτа- τοчным давлеяием гаш οτ ΙСГ ш дο ΙСГ7 ш , наπρимеρ,Pρedlagaemy τuρbοmοleκulyaρyay shκuumny yaasοs mοzheτ byτ isποlzοvaya in ρazlichnyχ τeχnοlοgichesκiχ usτanοvκaχ for sοzdayaiya and ποddeρshniya shκuuma with οsτa- τοchnym davleyaiem gash οτ ΙSG br dο 7 ΙSG br, naπρimeρ,
25 в элеκτροяиκе πρи изгοτοвлеяии миκροсχем, πρи выρащи- шнии исκуссτвенныχ κρисτаллοв, а τаκже в ρазличяыχ исследοваτельсκиχ усτанοвκаχ и πρи бορаχ, κοτορые ρа- бοτаюτ с исποльзοваяием шκуума , шπρимеρ в усκορи- τеляχ элемеяτаρныχ часτиц, в масс-сπеκτροмеτρаχ, элеκ- 30 τροняыχ миκροсκοшχ.
25 eleκτροyaiκe πρi izgοτοvleyaii miκροsχem, πρi vyρaschi- shnii isκussτvennyχ κρisτallοv and τaκzhe in ρazlichyayχ issledοvaτelsκiχ usτanοvκaχ and πρi bορaχ, κοτορye ρa- bοτayuτ with isποlzοvayaiem shκuuma, shπρimeρ in usκορi- τelyaχ elemeyaτaρnyχ chasτits in mass sπeκτροmeτρaχ, eleκ- 30 τροnyayχ miκροsκοshχ .
Claims
1. Ι^ρбοмοлеκуляρяый шκуумный шсοс, сοдеρш- щий ποлый сτаτορ /I/, внуτρи κοτοροгο усτанοвлен πο-1. Ι ^ ρ ρ ρ ρ ρ ле ш ш ш,,,,,,,,,,,,, ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ 1. ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ ρ.
5 лыδ ροτορ /2/, мевд κοτορыми ρасποлοжены κашлы /3/ τуρбοмοлеκуляρяοй сτуπеяи οτκачκи гаш и сοοбщеяяые с яими κаяалы /4/ мοлеκуляρнοй сτуπеяи οτκачκи гаш, сοοбщеяше с κашдами /34/ дидамичесκοгο уπлοτнения, κοτορые сοοбщены с аτмοсφеροй и οбρазοшяы внуτρея-5 lyδ ροτορ / 2 / LKAU κοτορymi ρasποlοzheny κashly / 3 / τuρbοmοleκulyaρyaοy sτuπeyai οτκachκi gash and sοοbscheyayaye with yaimi κayaaly / 4 / mοleκulyaρnοy sτuπeyai οτκachκi gash, sοοbscheyashe with κashdami / 34 / didamichesκοgο uπlοτneniya, κοτορye sοοbscheny with aτmοsφeροy and οbρazοshyay vnuτρeya-
10 яеδ ποвеρχяοсτью ρазмещеяяοгο внуτρи ποлοгο ροτορа /2/ ποдшиπниκа /16/, в κοτοροм усτаяοвлен οдин κοнец шда /14/ ροτορа /2/, и κашвκами , выποлненными ш учасτκе /35/ наρужнοй ποвеρχнοсτи шла /14/ в виде мяοгοзаχοдяοй винτοвοй шρезκи πρямοугοльнοгο προφи-10 yaeδ ποveρχyaοsτyu ρazmescheyayaοgο vnuτρi ποlοgο ροτορa / 2 / ποdshiπniκa / 16 /, in κοτοροm usτayaοvlen οdin κοnets shda / 14 / ροτορa / 2 / and κashvκami, vyποlnennymi br uchasτκe / 35 / naρuzhnοy ποveρχnοsτi was / 14 / in the form myaοgοzaχοdyaοy vinτοvοy shρezκi πρyamοugοlnοgο προφ-
15 ля, глуοиш κοτορыχ πлавнο уменыπаеτся сο сτοροяы всасышяия гаш в сτοροяу шгяеτаяия гаш, ο τ л и - ч а ю щ и й с я τем, чτο сοдеρжиτ дοποлниτельные κа- шлы /36/ дишмичесκοгο уπлοτнения, сοοбщеяные с οс- нοвяыми κашдами /34/ дишмичесκοгο уπлοτнения и с15 la, at higher speeds, there is a gradual decrease in the rate of suction of cannabis in the course of quicker cannabis, which means that there is an increase of 36 34 / Dishmological and with
20 κашдами /4/ мοлеκуляρнοи сτуπеяи οτκачκи гаш и οб- ρазοшяные выποляенными ш учасτκе /37/ внуτρенней ποвеρχяοсτи ροτορа /2/ κашвκами в виде мяοгοзаχοднοй винτοвοй наρезκи πρямοугοльнοгο προφиля и οбρащеннοй κ эτοму учасτκу /37/ шρужнсй ποвеρχяοсτью ποдшиπяиκаΚashdami 20/4 / mοleκulyaρnοi sτuπeyai οτκachκi gash and οb- ρazοshyanye vyποlyaennymi uchasτκe br / 37 / vnuτρenney ποveρχyaοsτi ροτορa / 2 / κashvκami as myaοgοzaχοdnοy vinτοvοy naρezκi πρyamοugοlnοgο προφilya and οbρaschennοy κ eτοmu uchasτκu / 37 / shρuzhnsy ποveρχyaοsτyu ποdshiπyaiκa
25 /16/.25/16 /.
2. Τуρбοмοлеκуляρяый шκуумный насοс πο π. I, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο πρи выποлнении κа- швοκ /48, 50/ οснοвяыχ я дοποлниτельныχ κашлοв /34, 36/ дидамичесκοгο уπлοτяеяия с προτивοποлοжным шπρа-2. Homebrew noise pump πο π. I, that is, with the exception of the fact that you have to make your own / 48, 50 / basic additional couplings / 34, 36 / with an additional gain
30 влением вияτοвοй шρезκи , гдубиш κашвοκ /50/ дοποл- яиτельяыχ κашлοв /36/ πлавнο умеяыпаеτся сο сτοροны нагнеτания газа в сτοροяу всасывания гаш.30 by a twist of a spiral, gubbish kashvok / 50 / additional coughs / 36 / smoothly able to pump gas at a suction rate.
3. Τуρбοмοлеκуляρный даκуумяый шсοс πο π. I, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο πρи выποднении κаш- 35 вοκ /48, 51/ οснοвяыχ и дοποлниτельяыχ κашлοв /34, 36/ дияамичесκοгο уπлοτнения с οдишκοвым наπρавленπем винτοвοй наρезκи, глубиш κашвοκ /5 / дοποлниτельныχ κашлοв /36/ πлавнο умеяышеτся сο сτοροяы всасывания - 13 - гаш в сτοροяу нагнеτания газа, 3. The home-made, sophisticated public transport system. I, in addition, if you are raising your cache at 35 wok / 48, 51 / basic and complementary to cassettes / 34, 36 / diam ADDITIONAL CASES / 36 / Slowly increases suction rate - 13 - gash in the gas injection stage,
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63507664A JPH02503703A (en) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | turbo molecular vacuum pump |
| CH4341/89A CH676378A5 (en) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | |
| PCT/SU1988/000076 WO1989009341A1 (en) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | Turbomolecular vacuum pump |
| DE883891280T DE3891280T1 (en) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP |
| FR888807570A FR2632361B1 (en) | 1988-03-30 | 1988-06-07 | TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP |
| GB8926400A GB2230562B (en) | 1988-03-30 | 1989-11-16 | Turbomolecular vacuum pump |
| FI895719A FI895719A0 (en) | 1988-03-30 | 1989-11-29 | TURBOMOLEKYLAER VACUUM PUMP. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1988/000076 WO1989009341A1 (en) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | Turbomolecular vacuum pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1989009341A1 true WO1989009341A1 (en) | 1989-10-05 |
Family
ID=21617228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1988/000076 WO1989009341A1 (en) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | Turbomolecular vacuum pump |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02503703A (en) |
| CH (1) | CH676378A5 (en) |
| DE (1) | DE3891280T1 (en) |
| FI (1) | FI895719A0 (en) |
| FR (1) | FR2632361B1 (en) |
| GB (1) | GB2230562B (en) |
| WO (1) | WO1989009341A1 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2928615B2 (en) * | 1990-09-28 | 1999-08-03 | 株式会社日立製作所 | Turbo vacuum pump |
| DE19915983A1 (en) | 1999-04-09 | 2000-10-12 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump with gas storage |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2244370A5 (en) * | 1973-09-14 | 1975-04-11 | Cit Alcatel | |
| DE2255618C2 (en) * | 1971-11-16 | 1982-12-23 | Compagnie Industrielle Des Telecommunications Cit-Alcatel S.A., 75008 Paris | Molecular vacuum pump |
| EP0081890B1 (en) * | 1981-12-14 | 1985-10-09 | Ultra-Centrifuge Nederland N.V. | High-vacuum molecular pump |
| DE3613344A1 (en) * | 1986-04-19 | 1987-10-22 | Pfeiffer Vakuumtechnik | TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP FOR HIGHER PRESSURE |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1978239A (en) * | 1930-04-21 | 1934-10-23 | Elizabeth Wheeler | Multistage impact packing |
| US2390332A (en) * | 1943-10-14 | 1945-12-04 | Westinghouse Electric Corp | Blower apparatus |
| US3131940A (en) * | 1957-02-12 | 1964-05-05 | Alsacienne Constr Meca | Fluid-tightness device for the passage of a rotating shaft through a wall |
| FR2224009A5 (en) * | 1973-03-30 | 1974-10-25 | Cit Alcatel |
-
1988
- 1988-03-30 DE DE883891280T patent/DE3891280T1/en not_active Withdrawn
- 1988-03-30 CH CH4341/89A patent/CH676378A5/de not_active IP Right Cessation
- 1988-03-30 JP JP63507664A patent/JPH02503703A/en active Pending
- 1988-03-30 WO PCT/SU1988/000076 patent/WO1989009341A1/en active Application Filing
- 1988-06-07 FR FR888807570A patent/FR2632361B1/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-11-16 GB GB8926400A patent/GB2230562B/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-11-29 FI FI895719A patent/FI895719A0/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2255618C2 (en) * | 1971-11-16 | 1982-12-23 | Compagnie Industrielle Des Telecommunications Cit-Alcatel S.A., 75008 Paris | Molecular vacuum pump |
| FR2244370A5 (en) * | 1973-09-14 | 1975-04-11 | Cit Alcatel | |
| EP0081890B1 (en) * | 1981-12-14 | 1985-10-09 | Ultra-Centrifuge Nederland N.V. | High-vacuum molecular pump |
| DE3613344A1 (en) * | 1986-04-19 | 1987-10-22 | Pfeiffer Vakuumtechnik | TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP FOR HIGHER PRESSURE |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3891280T1 (en) | 1990-04-05 |
| FR2632361B1 (en) | 1992-05-07 |
| GB2230562A (en) | 1990-10-24 |
| FI895719A0 (en) | 1989-11-29 |
| FR2632361A1 (en) | 1989-12-08 |
| GB2230562B (en) | 1991-09-11 |
| CH676378A5 (en) | 1991-01-15 |
| JPH02503703A (en) | 1990-11-01 |
| GB8926400D0 (en) | 1990-08-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5516360A (en) | Abrasion resistant gas separator | |
| US4521161A (en) | Noise control for conically ported liquid ring pumps | |
| RU2107192C1 (en) | Rotary screw compressor | |
| US9303655B2 (en) | Seal for a high-pressure turbomachine | |
| EP3052809B1 (en) | Liquid ring pump with an inter-stage bypass | |
| EP0260733B1 (en) | High-vacuum pump | |
| US10871169B2 (en) | Volute casing for a centrifugal pump and centrifugal pump | |
| WO1989009341A1 (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| US20200408212A1 (en) | Vacuum Pumping System Comprising A Vacuum Pump And Its Motor | |
| WO1989006319A1 (en) | Molecular vacuum pump | |
| US3132595A (en) | Axial flow pump | |
| US7150600B1 (en) | Downhole turbomachines for handling two-phase flow | |
| JP2000073976A (en) | Improvement of vacuum pump | |
| US6524060B2 (en) | Gas friction pump | |
| US11384758B2 (en) | Cylindrical symmetric volumetric machine with an inlet ventilator | |
| CN110685918A (en) | Multiphase mixed transportation pump | |
| US9879690B2 (en) | Compressor having hollow shaft | |
| US20160090990A1 (en) | Arrangement having a seal | |
| CN211449051U (en) | Multiphase mixed transportation pump | |
| US20030035746A1 (en) | Cylinder structure for rotary vane type vacuum pump | |
| JP4839979B2 (en) | Multistage centrifugal compressor | |
| US6644912B2 (en) | Gas friction pump | |
| US1823455A (en) | Centrifugal pump | |
| JP6479127B2 (en) | Vacuum pump | |
| JPH02264196A (en) | Turbine vacuum pump |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): CH DE FI GB HU JP US |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 895719 Country of ref document: FI |
|
| RET | De translation (de og part 6b) |
Ref document number: 3891280 Country of ref document: DE Date of ref document: 19900405 |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 3891280 Country of ref document: DE |