DE19531360A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Steuern der Empfindlichkeit von Wandlern - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Steuern der Empfindlichkeit von Wandlern

Info

Publication number
DE19531360A1
DE19531360A1 DE19531360A DE19531360A DE19531360A1 DE 19531360 A1 DE19531360 A1 DE 19531360A1 DE 19531360 A DE19531360 A DE 19531360A DE 19531360 A DE19531360 A DE 19531360A DE 19531360 A1 DE19531360 A1 DE 19531360A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
transducer element
voltage
transducer
converter
detecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19531360A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19531360B4 (de
Inventor
Turuvekere R Gururaja
Darwin P Adams
Benjamin M Herrick
David M Prater
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agilent Technologies Inc
Original Assignee
Hewlett Packard Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hewlett Packard Co filed Critical Hewlett Packard Co
Publication of DE19531360A1 publication Critical patent/DE19531360A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19531360B4 publication Critical patent/DE19531360B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/52Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
    • G01S7/52017Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00 particularly adapted to short-range imaging
    • G01S7/52023Details of receivers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/0207Driving circuits
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H3/00Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
    • G01H3/005Testing or calibrating of detectors covered by the subgroups of G01H3/00
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/52Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
    • G01S7/52017Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00 particularly adapted to short-range imaging
    • G01S7/52019Details of transmitters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/52Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
    • G01S7/52017Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00 particularly adapted to short-range imaging
    • G01S7/5205Means for monitoring or calibrating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B2201/00Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups
    • B06B2201/20Application to multi-element transducer
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H04R17/04Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus
    • H04R17/08Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus signals being recorded or played back by vibration of a stylus in two orthogonal directions simultaneously

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und auf Verfahren, die eine Rückkopplungskompensation zum Steuern der Empfindlichkeit elektrostriktiver Wandler ver­ wenden.
Auf dem Gebiet der medizinischen Diagnostik werden Wandler typischerweise in Arrays zur Verwendung bei einem Ultra­ schall-Bilderzeugungssystem angeordnet. Fig. 1 zeigt bei­ spielsweise ein Ultraschall-Bilderzeugungssystem 100, bei dem eine elektrische Anregung 102, wie z. B. ein Puls, zu einem Array von Wandlern 101 geliefert wird, welche bewirkt, daß die Wandler eine akustische Ultraschallwelle 103 über­ tragen. Die Ultraschallwelle wird in den menschlichen Körper übertragen und schließlich zumindest teilweise durch ein Objekt in dem Körper, z. B. das Herz 115, reflektiert. Die reflektierte Welle ("Echo") wird durch das Wandlerarray 101 empfangen, welches einen elektrischen Strom 104 erzeugt, der das Echo anzeigt. Verschiedene Eigenschaften des Signals 104, wie z. B. Amplitude und Phase desselben, werden dann durch eine Signalverarbeitung analysiert, um Informationen über das Objekt, wie z. B. Größe, Standort und Geschwindig­ keit desselben, zu bestimmen. Siehe beispielsweise das U.S.-Patent Nr. 5,060,651 mit dem Titel "Ultrasonic Dia­ gnostic Apparatus".
Insbesondere zeigt Fig. 1 einen Mikroprozessor 108 zum Steu­ ern eines Senders 107, eines Vorverstärkers 109, eines Strahlformers 106 und eines digitalen Abtastumwandlers 111. Das Echosignal 104 von dem Wandlerarray 101 wird zu dem Vor­ verstärker 109 und dann seriell zu dem Strahlformer 106, dem Signalprozessor 105, zu einem A/D-Wandler (A/D = Analog/Di­ gital) 110 und zu dem digitalen Abtastumwandler 111 gesen­ det. Die z-Komponente des Echosignals wird zu dem Nachverar­ beitungs-Prozessor 112 gesendet, wobei die resultierende z-Intensität auf einem CRT-Bildschirm (CRT = Cathode Ray Tube = Kathodenstrahlröhre) 104 angezeigt wird. Die x-y-Kom­ ponente wird über ein x-y-Raster 113 gesendet und auf dem CRT-Bildschirm 114 angezeigt. Eine beliebige Anzahl von ver­ schiedenen Übertragungs- und Bilderzeugungs-Verarbeitungs­ systemen kann verwendet werden.
Akustische Bilderzeugungswandler bestehen im allgemeinen aus piezoelektrischen Materialien, wie z. B. einer Blei-Zirko­ nat-Titanat-Keramik (PZT-Keramik). Sie können ferner aus "Verbundstoffen" gebildet sein, bei denen eine piezoelektri­ sche Keramik und ein Polymer für einen verbesserten Bereich von Eigenschaften kombiniert sind.
Akustische Bilderzeugungswandler wurden ferner aus elektro­ striktiven Materialien hergestellt, welche durch das Anlegen einer DC-Vorspannung (DC = Direct Current = Gleichstrom) stark polarisierbar sind. Blei-Magnesium-Niobadblei-Titanat (PMN-PT) ist ein Beispiel einer elektrostriktiven Keramik.
Sowohl piezoelektrische als auch elektrostriktive Wandler­ elemente können durch ihre Puls/Echo-Ansprechempfindlichkeit charakterisiert werden. "Empfindlichkeit" bezieht sich im allgemeinen darauf, wie effizient Energie für eine gegebene Eingabe übertragen (ausgegeben) wird. "Puls/Echo-Ansprechen" bezieht sich auf die Fähigkeit des Wandlers, elektrische Energie in akustische Energie und emittierte akustische Energie zurück in elektrische Energie umzuwandeln. Dieselbe kombiniert somit sowohl den Übertragungs- als auch den Em­ pfangs-Wirkungsgrad. Dieselbe ist durch die elektrische Pulsanregung als Eingabe und die akustische Energie als Aus­ gabe definiert.
Die Puls/Echo-Ansprech-Empfindlichkeit eines elektrostrikti­ ven Wandlers hängt von verschiedenen Materialeigenschaften, wie z. B. der relativen dielektrischen Konstante K und dem Koppelkoeffizienten kt ab. Diese Eigenschaften sind nichtli­ neare Funktionen der Betriebstemperatur, der DC-Vorspannung und der Betriebsfrequenz. Siehe beispielsweise Takeuchi u. a., "Relaxor Ferroelectric Transducers", Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (1991). Zusätzlich können diese Eigenschaften wegen inhärenten Abweichungen in dem Ausgangs­ material und/oder den Verarbeitungsbedingungen variieren. Als solche kann die Empfindlichkeit aus verschiedenen Grün­ den schwanken, wobei einige derselben schwierig zu steuern sind.
Die Federal Drug Administration (FDA) regelt den Betrag an akustischer Energie, der in einen menschlichen Körper über­ tragen werden darf. Wenn die Empfindlichkeit eines Wandlers variiert, kann ein übermäßiger Betrag an Energie übertragen werden. Ferner werden Systeme, die ihre Eingabe/Ausgabe-Be­ ziehung wesentlich variieren lassen, auf dem Markt als Sy­ steme niedriger Qualität angesehen.
Bis jetzt wurden akustische piezoelektrische Wandler gemäß dem Stand der Technik mit einer offenen Steuerungsschleife getrieben. Somit würde das herkömmliche System den Wandler elektrisch anregen, die Empfindlichkeit jedoch nicht über­ wachen, um Variationen in der Empfindlichkeit zu erfassen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Steuern der Empfindlich­ keit von Wandlerelementen zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und durch ein Verfahren gemäß Anspruch 9 gelöst.
Die vorliegende Erfindung ist auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Steuern der Empfindlichkeit eines elektro­ striktiven Wandlers gerichtet. Insbesondere werden verschie­ dene Charakteristika jedes Wandlerelements nach der Herstel­ lung getestet und dann auf einem Speichermedium aufgezeich­ net, wie z. B. auf ein EPROM (EPROM = Erasable Programmable Read Only Memory = löschbarer, programmierbarer Nur-Lese- Speicher) gebrannt. Die gespeicherten Daten werden dann zu­ sammen mit bestimmten Modellbeziehungen zum Überwachen be­ stimmter Betriebsparameter des Wandlers während der Verwen­ dung verwendet, wobei eine Rückkopplungskompensation verwen­ det wird, um die Wandlerempfindlichkeit im wesentlichen kon­ stant zu halten.
Insbesondere können die EPROM-Daten aus gemessenen Daten der Empfindlichkeit als Funktion der Versorgungsspannung bei ei­ ner vorbestimmten Betriebstemperatur bestehen. Beim Gebrauch wird das Element dann einer Systemsteuerung unterzogen, wel­ che entweder den Übertragungspegel oder den Versorgungspegel oder beide einstellt, um einen gewünschten und stetigen aku­ stischen Ausgabepegel zu erhalten.
Bei einem Ausführungsbeispiel ist zusätzlich eine Tempera­ tur-Rückkopplungskompensation vorgesehen, bei der ein Tem­ peratursensor benachbart zum Wandlerelement angeordnet ist. Eine Modellbeziehung ist vorgesehen, die die Empfindlichkeit der Materialelementklasse als Funktion der Vorspannung über einen Temperaturbereich definiert. Dann stellt die System­ steuerung entweder den Übertragungspegel und/oder die Vor­ spannung ein, um basierend auf den EPROM-Daten für das be­ stimmte Element, der Modellbeziehung und dem Temperatursi­ gnal von dem Temperatursensor die gewünschte akustische Aus­ gabe zu erreichen.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel wird ein Drucksensor statt eines Temperatursensors verwendet. Die Vorrichtung und das Verfahren sind im wesentlichen dieselben, in diesem Fall definiert die Modellbeziehung jedoch die Empfindlichkeit des Wandleraufbaus als Funktion des Ausgangspegels des Drucksen­ sors. Die Systemsteuerung stellt den Übertragungspegel und/oder die Vorspannung ein, um basierend auf den EPROM-Da­ ten, einer Modellbeziehung und dem Ausgangspegel des Druck­ sensors eine gewünschte akustische Ausgabe zu erreichen.
Bei noch einem weiteren Ausführungsbeispiel ist eine Güte­ zahl-Rückkopplungskompensation vorgesehen. Ein EPROM defi­ niert die Empfindlichkeit des Arrays als Funktion der Ver­ sorgungsspannung. Ein Modell bezieht die Empfindlichkeit auf die dielektrische Konstante (K) und den Koppelkoeffizienten (kt) für die Klasse des Wandlermaterials. Die Systemsteu­ erung stellt den Übertragungspegel und/oder die Vorspannung ein, um basierend auf dem EPROM, der Modellbeziehung und den Werten von K und kt die gewünschte akustische Ausgabe zu erreichen. Die Messungen können entweder von dem Betriebs­ element (Funktionselement) oder von einem Bezugselement in demselben Array aufgenommen werden.
Bei einem weiteren alternativen Ausführungsbeispiel basiert die Rückkopplungskompensation auf der Eingangsleistung in das Wandlerelement. Die Modellbeziehung definiert die Ein­ gangsleistung in das Element, um eine gewünschte akustische Ausgabe zu erreichen. Die Systemsteuerung stellt den Über­ tragungspegel und/oder die Vorspannung ein, um basierend auf Messungen des Eingangsstroms und der Eingangsspannung eine gewünschte akustische Ausgabe zu erreichen.
Verschiedene Vorrichtungen und Verfahren zum Messen und Be­ stimmen der Elementkapazität, der dielektrischen Konstante und des Koppelkoeffizienten sind beschrieben.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 ein Blockdiagramm eines Ultraschall-Bilderzeugungs­ systems, welches ein phasengesteuertes Array ver­ wendet;
Fig. 2 ein Blockdiagramm, das ein bekanntes Verfahren zum Bauen, Testen und Aufzeichnen von Daten auf einem EPROM, die einen piezoelektrischen Wandler betref­ fen, zeigt;
Fig. 3 ein Blockdiagramm, das das Verfahren der vorliegen­ den Erfindung zum Testen und Aufzeichnen bestimmter Daten, die ein elektrostriktives Wandlerelement be­ treffen, und zum Verwenden derartiger Daten in Ver­ bindung mit dem Überwachen von bestimmten Betriebs­ parametern des Elements und zum Kompensieren von Variationen, die die Empfindlichkeit beeinträchti­ gen können, zeigt;
Fig. 4 ein schematisches Diagramm einer bekannten Schal­ tung mit einer Systemsteuerung zum Einstellen der Ausgabe eines piezoelektrischen Wandlerelements;
Fig. 5 ein schematisches Diagramm einer Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung mit einer Systemsteue­ rung zum Regeln der Ausgabe eines elektrostriktiven Wandlerelements durch Variieren der Vorspannung und/oder des Übertragungspegels;
Fig. 6 ein schematisches Diagramm einer Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung, die einen Temperatur­ sensor zur Rückkopplungskompensation verwendet;
Fig. 7 ein schematisches Diagramm einer Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung, die einen Drucksensor zur Rückkopplungskompensation verwendet;
Fig. 8 ein schematisches Diagramm einer Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung zum Messen der dielek­ trischen Konstante und des Koppelkoeffizienten und zum Schaffen einer Rückkopplungskompensation;
Fig. 9 ein schematisches Diagramm, das dem von Fig. 8 ähn­ lich ist, bei dem jedoch die Messungen bei dem Be­ triebselement (Funktionselement) durchgeführt wer­ den, im Gegensatz zu einem Bezugselement wie in Fig. 8;
Fig. 10 ein schematisches Diagramm einer Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung, die Strom- und Span­ nungssensoren zum Bestimmen der Eingangsleistung und zum Schaffen einer Rückkopplungskompensation verwendet;
Fig. 11 ein schematisches Diagramm einer Schaltung zum Mes­ sen der Kapazität eines Wandlerelements während des Betriebs, um den Koppelkoeffizienten zu bestimmen;
Fig. 12 ein schematisches Diagramm einer Schaltung zum Mes­ sen der geklemmten Kapazität eines Wandlerelements; und
Fig. 13 ein schematisches Diagramm einer Schaltung zum Mes­ sen der Ausgangsleistung eines Wandlerelements.
Bei einem bekannten System, das in den Fig. 2 und 4 darge­ stellt ist, wird ein piezoelektrischer Wandler gebaut, ge­ testet und bestimmte Daten durch Einbrennen auf einem EPROM aufgezeichnet. Die EPROM-Daten können die Empfindlichkeit dieses bestimmten Elements darstellen.
Bei der Benutzung ist das piezoelektrische Element 5 in ei­ nem akustischen Bilderzeugungssystem enthalten, das eine Sende/Empfangs-Schaltung 7 aufweist. Die EPROM-Daten 9 für das Element 5 werden zu einer Systemsteuerung 8 geliefert, welche mit der Sende/Empfangs-Schaltung 7 verbunden ist und den Sendepegel in dem Versuch, eine gewünschte akustische Ausgabe 6 von dem Element 5 zu erhalten, einstellt. Dieses offene Schleifensystem schafft jedoch nicht die notwendige Steuerung aus den vorher beschriebenen Gründen.
Im Gegensatz dazu ist ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens und der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung in den Fig. 3 und 5 dargestellt. Insbesondere wird ein elektrostriktives Wandlerelement 15 gebaut, getestet und die gemessenen Daten aus dem Testen auf einem Speichermedium aufgezeichnet, wie z. B. durch Einbrennen auf ein EPROM 19. Wie in Fig. 5 ge­ zeigt ist, ist das elektrostriktive Element 15 in einer Be­ triebsschaltung enthalten und liefert eine akustische Ausga­ be 16. Das Element 15 ist mit einer Sende/Empfangs-Schaltung 17 verbunden, welche wiederum mit einer Systemsteuerung 18 verbunden ist. Das Element 15 ist ebenfalls mit einer Vor­ spannungsquelle 11 verbunden.
Die Daten, die auf dem EPROM 19 vorgesehen sind, bestehen aus der Elementeempfindlichkeit als Funktion der Versor­ gungsspannung bei der bezeichneten Betriebstemperatur. Die Systemsteuerung, welche die EPROM-Daten empfängt, stellt entweder den Übertragungspegel aus der Schaltung 17 und/oder die Vorspannung, die durch die Vorspannungsquelle 11 einge­ stellt wird, ein, um einen gewünschten und stetigen akusti­ schen Ausgangspegel 16 zu erhalten.
Fig. 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegen­ den Erfindung zum Schaffen einer Temperatur-Rückkopplungs­ kompensation zusätzlich zu der "statischen Kompensation", die durch die EPROM-Daten und die Systemsteuerung von Fig. 5 geschaffen werden. In Fig. 6 ist die Betriebsschaltung ähn­ lich zu dem Aufbau in Fig. 5 angeordnet, um einen Vergleich zu vereinfachen, wobei ähnlichen Elementen ähnliche Bezugs­ zeichen gegeben wurden, indem zu denselben "10" addiert wurde.
Insbesondere ist ein Temperatursensor 23 neben dem Betriebs- oder Funktionselement 25 angeordnet. In der ganzen Beschrei­ bung soll es offensichtlich sein, daß das Wandler-"Element" einen einzelnen Wandler oder ein Array von Wandlern bezeich­ nen kann. Die EPROM-Daten 29 für das spezielle Element 25 definieren die gemessene Empfindlichkeit als Funktion der Vorspannung bei einer Betriebstemperatur. Die Modellbezie­ hung 22 definiert die Empfindlichkeit der Wandler-Material­ klasse als Funktion der Vorspannung über einen Bereich von Temperaturen. Die Materialklasse kann beispielsweise das Material PMN-PT sein, welches zum Herstellen des Elements 25 verwendet worden ist. Die EPROM-Daten 29 und die Modellbe­ ziehung 22 werden beide in die Systemsteuerung 28 einge­ speist, welche ferner die Ausgabe des Temperatursensors 23 (d. h. die tatsächliche Betriebstemperatur des Elements 25) empfängt. Die Systemsteuerung stellt dann entweder die Sen­ de/Empfangs-Schaltung 27 und/oder die Vorspannungsquelle 21 ein, um eine gewünschte akustische Ausgabe von dem Element 25 zu erreichen. Durch ein derartiges Messen der tatsäch­ lichen Betriebstemperatur können die EPROM-Daten, welche von einer bestimmten Betriebstemperatur ausgehen, korrigiert werden, wenn die tatsächliche Betriebstemperatur von der angenommenen Temperatur abweicht.
Fig. 7 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, das dem in Fig. 6 ähnlich ist, bei dem jedoch der Temperatursensor 23 von Fig. 6 durch einen Drucksensor 33 in Fig 7 ersetzt wur­ de. Die Betriebsschaltung von Fig. 7 wurde wieder ähnlich zu Fig. 6 aufgebaut, um einen Vergleich zu erleichtern, wobei entsprechenden Elementen ähnliche Bezugszeichen gegeben wur­ den, indem zu denselben "10" addiert wurde.
In Fig. 7 mißt der Drucksensor 33 den akustischen Ausgangs­ druck eines elektrostriktiven Elements 35 und liefert den­ selben zu einer Systemsteuerung 38. Die EPROM-Daten 39 defi­ nieren wieder die Empfindlichkeit als Funktion der Vorspan­ nung bei einer Betriebstemperatur. Die Modellbeziehung 32 definiert die Empfindlichkeit der Wandleranordnung (z. B. einschließlich eines Verstärkungsmaterials und Anpassungs­ schichten) als Funktion des Drucksensor-Ausgangspegels. Die Systemsteuerung 38, welche die EPROM-Daten, die Modellbe­ ziehung und die Drucksensorausgabe empfängt, stellt dann entweder die Sende-Empfangs-Schaltung 37 und/oder die Vor­ spannungsquelle 31 ein, um eine gewünschte akustische Aus­ gabe von dem Element 35 zu erreichen. Dieses System, das die tatsächliche akustische Druckausgabe von dem Element 35 mißt, ist ein sehr genaues Verfahren zum Steuern der Puls­ echoempfindlichkeit, wobei eine gute Genauigkeit des Druck­ sensors 33 angenommen wird. Somit kann es wünschenswert sein, den Druckwandler zu kalibrieren.
Fig. 8 zeigt noch ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem eine Gütezahl-Rückkopplungskompensation vorgesehen ist, wo­ bei Messungen an einem getrennten Bezugselement durchgeführt werden. Der Aufbau von Fig. 8 ist wieder den vorherigen Schaltungen ähnlich, um einen Bezug zu erleichtern, wobei entsprechenden Elementen ähnliche Bezugszeichen gegeben wur­ den, indem zu denselben "10" addiert wurde.
Insbesondere zeigt Fig. 8 ein erstes elektrostriktives Wand­ lerelement 45, welches das Betriebs- oder Funktionselement ist, während ein zweites elektrostriktives Wandlerelement 43, mutmaßlich von dem gleichen Array, als das Bezugselement dient. In diesem Fall ist eine Vorrichtung 44 vorgesehen, um die dielektrische Konstante K und den Koppelkoeffizienten kt des Bezugselements zu messen, wobei die Messungen von der Systemsteuerung 48 zusammen mit den EPROM-Daten 49 und einer Modellbeziehung 42 geliefert werden. Die EPROM-Daten beste­ hen aus der Empfindlichkeit als Funktion der Vorspannung für alle Elemente des Arrays (mutmaßlich für das Array konstant) bei einer Betriebstemperatur. Das Modell 42 bezieht die Em­ pfindlichkeit auf die dielektrische Konstante und den Kop­ pelkoeffizienten für die Klasse von elektrostriktiven Mate­ rialien, die bei den Elementen 45, 43 verwendet worden sind. Eine Systemsteuerung stellt dann entweder die Sende/Em­ pfangs-Schaltung 47 und/oder die Vorspannungsquelle 41 ein, um eine gewünschte Akustikausgabe 46 zu erreichen. Eine Vorrichtung zum Messen der dielektrischen Konstante und des Koppelkoeffizienten ist nachfolgend bezüglich den Fig. 11 bis 12 beschrieben.
Eine Gütezahl, die für das Modell 42 verwendet werden kann, ist in J. Callerame u. a. "Transmitters And Receivers For Me­ dical Ultrasonics", 1979 Ultrasonics Symposium, IEEE (1979), Seiten 407 - 411 beschrieben. Der Callerame-Artikel be­ schreibt beispielsweise zwei Parameter TP und RP, welche ein Maß für das Sender- bzw. Empfängeransprechen liefern. Der Parameter TP, der nachfolgend definiert wird, gilt streng­ genommen nur bei Frequenzen, die weit unter der Resonanzfre­ quenz des Wandlers liegen, derselbe ist jedoch ebenfalls ein guter Anhaltspunkt für den Übertragungswirkungsgrad in der Nähe der Resonanz, wenn der Wandler in einem Breitbandmodus betrieben wird:
wobei kt die Dickenmodus-Koppelkonstante ist,
εS₃₃ die dielektrische Konstante bei konstanter Dehnung ist, und
cD₃₃ die elastische Steifheitskonstante ist.
Ein guter Schätzwert für die relative Empfängerempfindlich­ keit, welcher weit entfernt von der Resonanz gültig ist, ist durch den Empfänger-Empfindlichkeitsparameter RP der offenen Schaltung definiert und folgendermaßen gegeben:
wobei t die Wandlerdicke ist.
Fig. 9 ist unter allen Gesichtspunkten Fig. 8 ähnlich, mit Ausnahme davon, daß die Messungen der dielektrischen Kon­ stante und des Koppelkoeffizienten bezüglich des Funktions­ elements im Gegensatz zu dem Bezugselement durchgeführt werden. Wie gezeigt ist, ist eine Vorrichtung 54 zum Messen von K und kt des Funktionselements 55 vorgesehen. Die Sy­ stemsteuerung 58 empfängt die EPROM-Daten 59, eine Modellbe­ ziehung 52 und Messungen von K und kt. Die Systemsteuerung stellt die Ausgabe der Sender/Empfänger-Schaltung 57 und/oder die Vorspannungsquelle 51 ein, um eine gewünschte akustische Ausgabe 56 von dem Element 55 zu erreichen.
Fig. 10 zeigt ein abschließendes Ausführungsbeispiel zum Schaffen einer Eingangsleistungs-Rückkopplungskompensation. Wieder wurde die Betriebsschaltung ähnlich der früheren Schaltungen aufgebaut, um einen Bezug zu erleichtern, wobei entsprechenden Bezugszeichen ähnliche Nummern gegeben wur­ den, indem zu denselben "10" addiert wurde.
In Fig. 10 sind ein Stromsensor 63 und ein Spannungssensor 64 parallel zu einem Funktionselement 65 zum Bestimmen der Eingangsleistung in das Element 65 geschaffen. Die Ausgaben des Stromsensors 63 und des Spannungssensors 64 werden zu einer Systemsteuerung 68 zusammen mit den EPROM-Daten 69 und einer Modellbeziehung 62 geliefert. Die EPROM-Daten stellen wieder die Empfindlichkeit als Funktion der Vorspannung für dieses Element bei einer Betriebstemperatur dar. Das Modell 62 definiert den Zusammenhang der Eingangsleistung in das Funktionselement und der akustischen Ausgabe dieses Ele­ ments. Die Systemsteuerung stellt entweder den Senderpegel aus der Sende/Empfangs-Schaltung 67 und/oder den Vorspan­ nungspegel der Quelle 61 ein, um eine gewünschte akustische Ausgabe 66 zu erreichen. Eine detailliertere Beschreibung einer Vorrichtung zum Bestimmen der Eingangsleistung ist hierin nachfolgend bezüglich Fig. 13 beschrieben.
Messung der Kapazität des Wandlers während des Betriebs, um K und kt zu bestimmen
Das Puls/Echo-Ansprechen eines Wandlers hängt von der elek­ tromechanischen Koppelkonstante kt und der relativen dielek­ trischen Konstante K ab. Diese Informationen können aus der Geometrie und der Kapazität des Wandlers bestimmt werden. Wenn der Wandler z. B. vernünftigerweise als ein Parallel- Plattenkondensator modelliert werden kann, kann die relative dielektrische Konstante K mit der folgenden Gleichung be­ stimmt werden:
K = Cd/ε₀A (1)
wobei C die Kapazität, d die Dicke zwischen den Elektroden des Wandlers, A die Plattenfläche der Elektroden und ε₀ die Permittivität des freien Raums (8,854 × 10-12 Farad/Meter) sind. Die elektromechanische Koppelkonstante kt kann wieder­ um mit der folgenden Gleichung bestimmt werden:
KS = KT(1-kt²) (2)
wobei KS die relative dielektrische Konstante ist, die bei einer Frequenz oberhalb der Betriebsfrequenz des Wandlers gemessen wurde, d. h. "eine geklemmte-Kapazität"-Frequenz, und KT die relative dielektrische Konstante ist, die bei ei­ ner Frequenz unterhalb der Betriebsfrequenz gemessen wurde, d. h. bei "einer ungeklemmten-Kapazität"-Frequenz. Diese beiden Frequenzen sollten ausreichend von der Resonanzfre­ quenz des Wandlers entfernt sein, derart, daß keine Reso­ nanzauswirkung auf die gemessene Kapazität vorhanden ist. Somit kann die elektromechanische Koppelkonstante kt be­ stimmt werden, indem die Kapazität des Wandlerelements wäh­ rend des Betriebs, sowohl bei einer geklemmten Kapazität- Frequenz als auch bei einer ungeklemmten-Kapazität-Frequenz gemessen wird. Damit können K und kt dann von einem Steuer­ ungssystem des Bilderzeugungssystems verwendet werden, d. h. zu demselben rückgekoppelt werden. Das Steuerungssystem kann wiederum die DC-Vorspannung demgemäß variieren. Durch Vari­ ieren der DC-Vorspannung können Abweichungen in der Empfind­ lichkeit des Wandlers kompensiert werden. Wenn die Empfind­ lichkeit beispielsweise derart variiert, daß der Wandler einen erhöhten Betrag an akustischer Energie überträgt, kann die Vorspannung verringert werden. Wenn insbesondere ein elektrostriktiver Wandler eine Vorspannung von 250 V DC be­ nötigt, kann es nötig sein, daß die DC-Vorspannungsschaltung die Spannung um ± 25V DC variieren muß. Eine Ansprechzeit zum Verändern der Vorspannung von etwa einer halben Sekunde sollte ausreichend sein, da die Empfindlichkeit nicht derart schnell schwankt.
Wie in Fig. 11 gezeigt ist, ist ein Wandlerelement 220a ein Element aus einem Array 201 von derartigen Elementen dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist das Element 220a für Steuerungszwecke bestimmt. Daher werden die anderen Elemente des Arrays, d. h. die, die zur Bilderzeugung verwendet wer­ den, den Erfassungsbetrieb, der für Steuerungsmessungen be­ nötigt wird, nicht beeinträchtigen. Ebenso werden Spannun­ gen, die an das bestimmte Steuerungselement 220a angelegt werden, die Bilderzeugungselemente nicht beeinträchtigen. Alternativ kann das Wandlerelement 220a zum Bilderzeugen verwendet werden. Damit wird das Messen von verschiedenen Eigenschaften des Elements 220a Informationen über ein Ele­ ment liefern, das tatsächlich zur Bilderzeugung verwendet wird. Vorzugsweise werden die Eigenschaften des Elements 220a gemessen, wenn sich die Abtasteinrichtung des Bilder­ zeugungssystems im Leerlauf befindet, d. h. wenn das Array der Elemente nicht zur Bilderzeugung verwendet wird.
Um die sog. "ungeklemmte Kapazität" zu messen, überträgt ei­ ne Niederfrequenz-Stromquelle 250 ein bekanntes Signal, bei­ spielsweise eine Sinuswelle von 1000 Hz auf einem Kabel 251, welches das Wandlerelement 220a mit der nachfolgend be­ schriebenen Meßvorrichtung verbindet. Die an einem Knoten 252 gemessene resultierende Spannung hängt von der Frequenz, d. h. 1000 Hz, und der Gesamtkapazität der Last ("CLast") ab. CLast ist die Kapazität des Kabels 251 und des Wandlerele­ ments 220a. Die Spannung ("V") an dem Knoten 252 bezieht sich auf den bekannten Strom ("I") und CLast entsprechend der folgenden Gleichungen:
CLast = CKabel + CWandler (4)
Folglich kann CLast durch Aufnehmen des absoluten Werts der gemessenen Spannung (siehe einen Spannungssensor 254) an ei­ nem Knoten 253 bestimmt werden. Sobald CLast bestimmt ist, kann CWandler mittels Gleichung (4) gelöst werden, da CKabel von vornherein bekannt ist.
Da nicht erwartet wird, daß die Empfindlichkeit des Wandlers mit einer hohen Frequenz schwankt, muß die Berechnung von CWandler nicht sehr schnell und nicht sehr häufig durchge­ führt werden. Somit kann eine Schaltung mit relativ niedri­ ger Geschwindigkeit verwendet werden. Die erfaßte Spannung an dem Knoten 252 kann beispielsweise mit einem Analog/Digi­ tal-Wandler digitalisiert werden. Die digitalisierte Span­ nung 253 kann dann von einem Mikroprozessor in dem Bilder­ zeugungssystem empfangen werden, welcher dann die Gleichun­ gen (3) und (4) löst.
Alternativ kann die ungeklemmte Kapazität des Wandlers 220 bestimmt werden, indem ein bekannter DC-Strom zu dem Element geliefert und die Zeit ("t") gemessen wird, die das Element benötigt, um einen spezifizierten Spannungspegel ("V") zu erreichen. CLast kann dann aus dem folgenden Zusammenhang bestimmt werden:
Dann kann CWandler mit Gleichung (4) gelöst werden.
Mit einem gegebenen CWandler bei einer ungeklemmten-Kapazi­ tät-Frequenz kann KT unter Verwendung der entsprechenden Ka­ pazitätsgleichung, wie z. B. der Gleichung (1) für Parallel- Plattenkondensatoren, gelöst werden.
Viele weitere einfache Kapazitätsmessungen könnten entworfen werden. Diese beiden werden als repräsentativ für die Tech­ nik angesehen.
Die sog. "geklemmte Kapazität" des Wandlers wird bei einer bedeutend höheren Frequenz gemessen, derart, daß sich das Element als Reaktion auf das angelegte Signal nicht bedeu­ tend bewegt. Unter diesen Umständen wirkt das Element, als ob es mechanisch eingeklemmt wäre, und dasselbe speichert beträchtlich weniger Ladung als ein Wandler bei der unge­ klemmten Frequenz. Für einen Wandler 220a mit einer Reso­ nanzfrequenz von 5,0 MHz sollte eine Messung bei 10 MHz oder höher ausreichend sein, um die geklemmte Kapazität zu be­ stimmen. Bei diesen Frequenzen wird die Impedanz des Wand­ lers jedoch eine resistive Komponente sowie eine kapazitive Komponente aufweisen. Ferner wird die kapazitive Komponente, d. h. die Reaktanz, relativ klein sein, d. h. in der Größen­ ordnung von 10 bis 20 Ohm. Folglich werden Hochfrequenz-Meß­ techniken benötigt.
Bezugnehmend auf Fig. 12 liefert eine Hochfrequenz-Span­ nungsquelle 260 ein bekanntes Signal 261 zu einem Richtkopp­ ler 258. Dieses Signal wird oft als "einfallendes Signal" bezeichnet. Der Koppler 258 trennt das einfallende Signal und ein reflektiertes Signal. Das einfallende Signal wird von dem Koppler 258 empfangen und auf dem Kabel 251 über­ tragen. Das reflektierte Signal (d. h. das Echo) wird durch den Koppler 258 von demselben Kabel 251 empfangen, nachdem das einfallende Signal durch ein Element 220b teilweise re­ flektiert wurde. Wenn der Koppler 258, das Kabel 251, eine Stromquelle 260 und ein Widerstand R₀ alle eine Nennimpedanz von 50 Ohm aufweisen, existiert jede zu dem Wandler 258 zurückreflektierte Signalform aufgrund des Wandlerelements 220b, welches eine andere Impedanz aufweist. (Das Element 220b stellt ferner ein für Steuerungszwecke bestimmtes Wand­ lerelement dar.) Folglich kann die Impedanz des Wandlers ("ZWandler") mit der folgenden Gleichung bestimmt werden:
Die komplexe Spannung Vi stellt die einfallende Signalspan­ nung dar, die an einem Knoten 262 durch einen Spannungssen­ sor 254a gemessen wird. Die ebenfalls komplexe Spannung Vr stellt die von dem Wandler reflektierte Spannung dar und wird von dem Koppler 258 zu einem Spannungssensor 254b ge­ liefert.
Sobald ZWandler bekannt ist, kann die kapazitive Komponente desselben bestimmt und folglich KS berechnet werden. Sobald KT und KS bekannt sind, kann das Steuerungssystem die Em­ pfindlichkeit des Wandlers steuern, indem die Vorspannung demgemäß geändert wird. Der tatsächliche Betrag des Delta in der Vorspannung liegt voraussichtlich in der Größenordnung von ±25 V DC für eine Vorspannung von 250 V DC. Diese Zah­ len hängen jedoch von den tatsächlich verwendeten Materia­ lien ab, da der nichtlineare Zusammenhang zwischen der Em­ pfindlichkeit und der Vorspannung bei elektrostriktiven Ma­ terialien variiert. Die eingestellte Vorspannung kann dann an alle Wandler des Arrays 201 angelegt werden.
Alternativ kann ein einzelnes Wandlerelement verwendet wer­ den. In diesem Fall würden Fachleute wissen, wie sie die Gleichungen (3) bis (5) modifizieren müßten, damit dieselben den modifizierten Verbindungen entsprechen, die Vorrichtun­ gen von Fig. 11 und 12 mit einem Element und nicht mit zwei Elementen verbinden.
Messen der Eingangsleistung des Wandlers (I)
In Fig. 13 ist ein spezielles Ausführungsbeispiel zum Messen der Eingangsleistung in den Wandler gezeigt. Ein Element 220c ist ein aktives Element, d. h. das Element 220c wird für Bilderzeugungszwecke verwendet. Eine Leitung 266 stellt den Standard-Empfangs- und Sende-Kanal des Bilderzeugungssystems dar.
Ein Stromsensor 265, z. B. ein Transformator, empfängt und überträgt das auf der Leitung 266 empfangene Signal zu einem Kabel 251. Zusätzlich überträgt derselbe ebenso ein Signal auf einer Leitung 268a, welches den übertragenen Strom an­ zeigt. Ein Spannungssensor 254c erfaßt die Spannung, bei der das Element 220c arbeitet und überträgt ein Signal auf einer Leitung 268b, welches dieselbe anzeigt. Ein Multiplizierer 268 empfängt die Signale auf den Leitungen 268a und 268b und multipliziert dieselben. Da Leistung das Produkt von Span­ nung und Strom ist, bestimmt der Multiplizierer den augen­ blicklichen Wert der zu dem Element 220c übertragenen Lei­ stung. Ein Signal, das die augenblickliche Leistung anzeigt, wird auf einer Leitung 268c übertragen und durch ein Tief­ paßfilter 267 empfangen. Das Tiefpaßfilter führt eine Durch­ schnittsbildungs-Operation des Eingangssignals bezüglich der Zeit durch. Das Durchschnitts-Leistungssignal 267a kann dann von dem Steuerungssystem empfangen werden, welches dann die zu dem Element 220c gelieferte Leistung überwachen kann. Da die zu dem Element 220c gelieferte Leistung die Empfindlich­ keit anzeigt, kann das Steuerungssystem daraufhin die DC- Vorspannung demgemäß variieren.
Wenn sich die Betriebsbedingungen beispielsweise verändern, um einen Anstieg der an das Element 220c gelieferten Lei­ stung zur Folge zu haben, würde das Steuerungssystem den Anstieg in der gelieferten Leistung erkennen und demgemäß kompensieren, indem das Array 201 auf einen eingestellten Pegel vorgespannt wird.
Dieses Ausführungsbeispiel bietet den Vorteil des Durchfüh­ rens der Messungen bei tatsächlichen Betriebsfrequenzen des Elements 220c. Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel führt die Messungen durch, wenn das Element 220c mit einer Mittenfre­ quenz des Elements, d. h. einer Resonanzfrequenz, angeregt wird.
Nach einer Beschreibung bestimmter Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden verschiedene Modifikationen und Verbesserungen für Fachleute ohne weiteres offensicht­ lich sein. Ein anderer Benutzer könnte es beispielsweise effektiver und hinsichtlich der Produktionskosten billiger finden, nicht jeden Wandler zu messen und die Daten in einem EPROM zu speichern. Demgemäß dient die vorangegangene Be­ schreibung lediglich als Beispiel, während die Erfindung durch die folgenden Ansprüche definiert ist.

Claims (12)

1. Vorrichtung zum Liefern einer akustischen Leistung zu einem menschlichen Körper mit folgenden Merkmalen:
  • (a) einer Übertragungsschaltung (17);
  • (b) einem elektrostriktiven Wandlerelement (15), das durch die Übertragungsschaltung getrieben wird; und
  • (c) einer Einrichtung (18) zum Regeln des Betrags der akustischen Ausgangsleistung von dem Wandlerele­ ment.
2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der die Übertragungs­ schaltung eine Quelle (11) zum Anlegen einer Vorspan­ nung an das Wandlerelement aufweist, wobei die Rege­ lungseinrichtung (18) den Vorspannungspegel einstellt.
3. Vorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Über­ tragungsschaltung (17) eine Übertragungsleistung zum Treiben des Wandlerelements (15) ausgibt, wobei die Re­ gelungseinrichtung (18) den Übertragungsleistungspegel einstellt.
4. Vorrichtung gemäß einem beliebigen der vorhergehenden Ansprüche, die ein Speichermedium (19) zum Speichern gemessener Daten bezüglich der Empfindlichkeit des Wandlerelements aufweist, wobei die Regelungseinrich­ tung (18) eine Einrichtung aufweist, die auf die gespeicherten Daten anspricht, um die akustische Aus­ gangsleistung von dem Wandlerelement einzustellen.
5. Vorrichtung gemäß einem beliebigen der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Regelungseinrichtung folgende Merkmale aufweist:
ein Speichermedium (19) zum Speichern gemessener Daten bezüglich der Empfindlichkeit des Wandlerelements;
eine Einrichtung (23; 33; 44; 54; 63-64) zum Überwachen eines Betriebsparameters, der die von dem Wandlerele­ ment erzeugte Akustikleistung anzeigt;
ein Modell (22), das die Ausgabe der Überwachungsein­ richtung auf die durch das Wandlerelement erzeugte Aku­ stikleistung bezieht; und
eine Einrichtung (21), die auf die Ausgabe der Überwa­ chungseinrichtung, die gespeicherten Daten und das Mo­ dell anspricht, um den Betrag der von dem Wandlerele­ ment erzeugten akustischen Ausgangsleistung zu regeln.
6. Vorrichtung gemäß Anspruch 5, bei der die Überwachungs­ einrichtung aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus ei­ nem oder mehrerer der folgenden Merkmale besteht:
einem Temperatursensor (23);
einem Drucksensor (33);
einer Einrichtung (44; 54) zum Messen der dielektri­ schen Konstante und des Koppelkoeffizienten des Wand­ lerelements; und
einer Einrichtung (63-64) zum Messen der zu dem Wand­ lerelement gelieferten Eingangsleistung.
7. Vorrichtung gemäß Anspruch 5 oder 6, die ein erstes und zweites Wandlerelement (220a; 220b) eines Wandlerarrays aufweist und bei der die Überwachungseinrichtung fol­ gende Merkmale aufweist:
eine Stromquelle (250) zum Treiben des ersten Wandler­ elements (220a) bei einer ungeklemmten Frequenz;
einen ersten Spannungssensor (254) zum Erfassen einer ersten Spannung, die eine Kapazität des ersten Wandler­ elements anzeigt;
eine Spannungsquelle (260) zum Treiben des zweiten Wandlerelements (220b) bei einer geklemmten Kapazität- Frequenz;
einen zweiten Spannungssensor (254a) zum Erfassen einer einfallenden Spannung, die zu dem zweiten Wandlerele­ ment übertragen wird;
einen dritten Spannungssensor (254b) zum Erfassen einer reflektierten Spannung von dem zweiten Wandlerelement; und
eine Vorspannungsschaltung (21) zum Vorspannen der Wandlerelemente des Arrays, welche auf die erste, zwei­ te und dritte Spannung anspricht.
8. Vorrichtung gemäß Anspruch 5 oder 6, bei der das Wand­ lerelement ein Teil eines Arrays ist und die Überwa­ chungseinrichtung folgende Merkmale aufweist:
einen Stromsensor (265) zum Erfassen eines zu dem Wand­ lerelement übertragenen Stroms;
einen Spannungssensor (254c) zum Erfassen der Spannung, bei der das Wandlerelement arbeitet;
einen Multiplizierer (268), welcher eine erste Eingabe von dem Stromsensor empfängt, welche den Strom anzeigt, und eine zweite Eingabe von dem Spannungssensor, welche die Spannung anzeigt, wobei der Multiplizierer eine Ausgabe schafft, die das Produkt der ersten und zweiten Eingabe anzeigt; und
eine Vorspannungsschaltung (21) zum Vorspannen des Ar­ rays, die auf die Ausgabe des Multiplizierers an­ spricht.
9. Verfahren zum Steuern der Empfindlichkeit eines elek­ trostriktiven Wandlerelements in einem System, das eine Übertragungsschaltung und eine Vorspannungsquelle auf­ weist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
  • (a) Überwachen des elektrostriktiven Wandlerelements auf Betriebsparameter, die die durch das Wandler­ element erzeugte akustische Leistung anzeigen; und
  • (b) Anlegen einer Rückkopplungskompensation als Reak­ tion auf den Überwachungsschritt.
10. Verfahren gemäß Anspruch 9, bei dem der Schritt (a) das Bestimmen der Kapazität des Wandlerelements bei einer ungeklemmten Kapazität-Frequenz durch Erfassen einer ersten Spannung, die die Kapazität anzeigt, aufweist.
11. Verfahren gemäß Anspruch 9 oder 10, bei dem der Schritt (a) ein Bestimmen einer zweiten Kapazität des Wandler­ elements bei einer geklemmten Kapazität-Frequenz auf­ weist, indem eine zweite Spannung erfaßt wird, die ein einfallendes Signal anzeigt, das zu dem Wandlerelement übertragen wird, und indem eine dritte Spannung erfaßt wird, die ein reflektiertes Signal anzeigt, das von dem Wandlerelement reflektiert wird.
12. Verfahren gemäß Anspruch 9, bei dem der Schritt (a) ei­ ne an das Wandlerelement gelieferte Leistung bei einer Betriebsfrequenz überwacht, indem der zu dem Wandler­ element gelieferte Strom erfaßt und indem eine Spannung erfaßt wird, bei der der Wandler arbeitet.
DE19531360A 1994-10-31 1995-08-25 Vorrichtung und Verfahren zum Steuern der Empfindlichkeit von Wandlern Expired - Fee Related DE19531360B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/332,287 US5585546A (en) 1994-10-31 1994-10-31 Apparatus and methods for controlling sensitivity of transducers
US08/332287 1994-10-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19531360A1 true DE19531360A1 (de) 1996-05-02
DE19531360B4 DE19531360B4 (de) 2004-11-04

Family

ID=23297581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19531360A Expired - Fee Related DE19531360B4 (de) 1994-10-31 1995-08-25 Vorrichtung und Verfahren zum Steuern der Empfindlichkeit von Wandlern

Country Status (3)

Country Link
US (3) US5585546A (de)
JP (1) JPH08229036A (de)
DE (1) DE19531360B4 (de)

Families Citing this family (73)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5898031A (en) 1996-06-06 1999-04-27 Isis Pharmaceuticals, Inc. Oligoribonucleotides for cleaving RNA
US9096636B2 (en) 1996-06-06 2015-08-04 Isis Pharmaceuticals, Inc. Chimeric oligomeric compounds and their use in gene modulation
US7812149B2 (en) 1996-06-06 2010-10-12 Isis Pharmaceuticals, Inc. 2′-Fluoro substituted oligomeric compounds and compositions for use in gene modulations
FR2790635B1 (fr) * 1999-03-05 2001-04-13 France Etat Dispositif triboelectrique
GB9908427D0 (en) * 1999-04-13 1999-06-09 Deltex Guernsey Ltd Improvements in or relating to ultrasound devices
US6338716B1 (en) 1999-11-24 2002-01-15 Acuson Corporation Medical diagnostic ultrasonic transducer probe and imaging system for use with a position and orientation sensor
WO2002016925A1 (fr) * 2000-08-23 2002-02-28 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Dispositif non destructif d'inspection
US6737789B2 (en) * 2002-01-18 2004-05-18 Leon J. Radziemski Force activated, piezoelectric, electricity generation, storage, conditioning and supply apparatus and methods
CA2505330A1 (en) 2002-11-05 2004-05-27 Isis Pharmaceuticals, Inc. Sugar surrogate-containing oligomeric compounds and compositions for use in gene modulation
US7028529B2 (en) * 2003-04-28 2006-04-18 Sonora Medical Systems, Inc. Apparatus and methods for testing acoustic probes and systems
US7303530B2 (en) 2003-05-22 2007-12-04 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Transducer arrays with an integrated sensor and methods of use
US7156551B2 (en) * 2003-06-23 2007-01-02 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Ultrasound transducer fault measurement method and system
WO2005046443A2 (en) * 2003-11-07 2005-05-26 Georgia Tech Research Corporation Combination catheter devices, methods, and systems
WO2005077012A2 (en) * 2004-02-06 2005-08-25 Georgia Tech Research Corporation Cmut devices and fabrication methods
US7612483B2 (en) * 2004-02-27 2009-11-03 Georgia Tech Research Corporation Harmonic cMUT devices and fabrication methods
US7646133B2 (en) * 2004-02-27 2010-01-12 Georgia Tech Research Corporation Asymmetric membrane cMUT devices and fabrication methods
US8008835B2 (en) * 2004-02-27 2011-08-30 Georgia Tech Research Corporation Multiple element electrode cMUT devices and fabrication methods
US8569474B2 (en) 2004-03-09 2013-10-29 Isis Pharmaceuticals, Inc. Double stranded constructs comprising one or more short strands hybridized to a longer strand
JP4558354B2 (ja) * 2004-03-12 2010-10-06 パナソニック株式会社 超音波診断装置
US8394947B2 (en) 2004-06-03 2013-03-12 Isis Pharmaceuticals, Inc. Positionally modified siRNA constructs
US7479878B2 (en) * 2004-07-28 2009-01-20 Senstar-Stellar Corporation Triboelectric, ranging, or dual use security sensor cable and method of manufacturing same
US7884086B2 (en) 2004-09-08 2011-02-08 Isis Pharmaceuticals, Inc. Conjugates for use in hepatocyte free uptake assays
US8333703B2 (en) * 2004-10-15 2012-12-18 Hitachi Medical Corporation Ultrasonic diagnostic apparatus
EP1899720A2 (de) * 2005-06-29 2008-03-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optimierte temperaturmessung in einem ultraschallwandler
US7554343B2 (en) * 2005-07-25 2009-06-30 Piezoinnovations Ultrasonic transducer control method and system
WO2007055320A1 (ja) * 2005-11-11 2007-05-18 Hitachi Medical Corporation 超音波探触子及び超音波診断装置
US8079263B2 (en) * 2006-11-10 2011-12-20 Penrith Corporation Transducer array imaging system
KR100810148B1 (ko) 2007-02-08 2008-03-06 한국표준과학연구원 어레이 초음파 변환기의 성능 검사 시스템
JP4911000B2 (ja) * 2007-11-21 2012-04-04 コニカミノルタエムジー株式会社 超音波探触子および超音波診断装置
JP4910999B2 (ja) * 2007-11-21 2012-04-04 コニカミノルタエムジー株式会社 超音波探触子および超音波診断装置
JP2009219656A (ja) * 2008-03-17 2009-10-01 Fujifilm Corp 医用撮像装置
DE102008043958A1 (de) * 2008-11-21 2010-05-27 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler, Ultraschallsensor und Verfahren zum Betreiben eines Ultraschallsensors
JP5424847B2 (ja) * 2009-12-11 2014-02-26 キヤノン株式会社 電気機械変換装置
JP5131939B2 (ja) * 2010-08-26 2013-01-30 株式会社村田製作所 圧電デバイス
JP5734620B2 (ja) * 2010-10-27 2015-06-17 オリンパス株式会社 超音波プローブ装置及びその制御方法
US8974366B1 (en) 2012-01-10 2015-03-10 Piezo Energy Technologies, LLC High power ultrasound wireless transcutaneous energy transfer (US-TET) source
US8997550B2 (en) * 2012-06-19 2015-04-07 General Electric Company Method and system for correcting for temperature variations in ultrasonic testing systems
CN103207376B (zh) * 2013-03-05 2015-08-05 广东电网公司电力科学研究院 一种gis局部放电超声检测装置的标定方法及装置
KR101501479B1 (ko) * 2013-05-09 2015-03-11 알피니언메디칼시스템 주식회사 초음파 최적화 방법과 그를 위한 초음파 의료 장치
US10445547B2 (en) 2016-05-04 2019-10-15 Invensense, Inc. Device mountable packaging of ultrasonic transducers
US10670716B2 (en) 2016-05-04 2020-06-02 Invensense, Inc. Operating a two-dimensional array of ultrasonic transducers
US10325915B2 (en) 2016-05-04 2019-06-18 Invensense, Inc. Two-dimensional array of CMOS control elements
US10315222B2 (en) 2016-05-04 2019-06-11 Invensense, Inc. Two-dimensional array of CMOS control elements
US10656255B2 (en) 2016-05-04 2020-05-19 Invensense, Inc. Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT)
US10441975B2 (en) 2016-05-10 2019-10-15 Invensense, Inc. Supplemental sensor modes and systems for ultrasonic transducers
US10539539B2 (en) 2016-05-10 2020-01-21 Invensense, Inc. Operation of an ultrasonic sensor
US11673165B2 (en) 2016-05-10 2023-06-13 Invensense, Inc. Ultrasonic transducer operable in a surface acoustic wave (SAW) mode
US10600403B2 (en) 2016-05-10 2020-03-24 Invensense, Inc. Transmit operation of an ultrasonic sensor
US10562070B2 (en) 2016-05-10 2020-02-18 Invensense, Inc. Receive operation of an ultrasonic sensor
US10408797B2 (en) * 2016-05-10 2019-09-10 Invensense, Inc. Sensing device with a temperature sensor
US10632500B2 (en) 2016-05-10 2020-04-28 Invensense, Inc. Ultrasonic transducer with a non-uniform membrane
US10706835B2 (en) 2016-05-10 2020-07-07 Invensense, Inc. Transmit beamforming of a two-dimensional array of ultrasonic transducers
US10452887B2 (en) 2016-05-10 2019-10-22 Invensense, Inc. Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers
US10891461B2 (en) 2017-05-22 2021-01-12 Invensense, Inc. Live fingerprint detection utilizing an integrated ultrasound and infrared sensor
US10474862B2 (en) 2017-06-01 2019-11-12 Invensense, Inc. Image generation in an electronic device using ultrasonic transducers
US10643052B2 (en) 2017-06-28 2020-05-05 Invensense, Inc. Image generation in an electronic device using ultrasonic transducers
US10936841B2 (en) 2017-12-01 2021-03-02 Invensense, Inc. Darkfield tracking
US10984209B2 (en) 2017-12-01 2021-04-20 Invensense, Inc. Darkfield modeling
US10997388B2 (en) 2017-12-01 2021-05-04 Invensense, Inc. Darkfield contamination detection
US11151355B2 (en) 2018-01-24 2021-10-19 Invensense, Inc. Generation of an estimated fingerprint
US10755067B2 (en) 2018-03-22 2020-08-25 Invensense, Inc. Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers
US10936843B2 (en) 2018-12-28 2021-03-02 Invensense, Inc. Segmented image acquisition
US11188735B2 (en) 2019-06-24 2021-11-30 Invensense, Inc. Fake finger detection using ridge features
US11216681B2 (en) 2019-06-25 2022-01-04 Invensense, Inc. Fake finger detection based on transient features
US11176345B2 (en) 2019-07-17 2021-11-16 Invensense, Inc. Ultrasonic fingerprint sensor with a contact layer of non-uniform thickness
US11216632B2 (en) 2019-07-17 2022-01-04 Invensense, Inc. Ultrasonic fingerprint sensor with a contact layer of non-uniform thickness
US11232549B2 (en) 2019-08-23 2022-01-25 Invensense, Inc. Adapting a quality threshold for a fingerprint image
US11392789B2 (en) 2019-10-21 2022-07-19 Invensense, Inc. Fingerprint authentication using a synthetic enrollment image
CN115551650A (zh) 2020-03-09 2022-12-30 应美盛公司 具有非均匀厚度的接触层的超声指纹传感器
US11243300B2 (en) 2020-03-10 2022-02-08 Invensense, Inc. Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers and a presence sensor
US11328165B2 (en) 2020-04-24 2022-05-10 Invensense, Inc. Pressure-based activation of fingerprint spoof detection
US11995909B2 (en) 2020-07-17 2024-05-28 Tdk Corporation Multipath reflection correction
DE102021114988A1 (de) * 2021-06-10 2022-12-15 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Verfahren zum betreiben eines ultraschallsensors, computerprogrammprodukt, ultraschallsensorsystem und fahrzeug

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2946154A1 (de) * 1979-11-13 1981-06-04 Zschimmer, Gero, 8000 München Ultraschall-sonde
DE3317045A1 (de) * 1983-05-10 1984-11-15 Martin Walter Ultraschalltechnik GmbH, 7516 Karlsbad Verfahren und anordnung zur konstanten leistungsabgabe von ultraschall-reinigungsanlagen
DE3625149A1 (de) * 1986-07-25 1988-02-04 Herbert Dipl Ing Gaessler Verfahren zur phasengesteuerten leistungs- und frequenzregelung eines ultraschallwandlers sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US4821706A (en) * 1987-10-15 1989-04-18 North American Philips Corporation High voltage pulse power drive
US4868476A (en) * 1987-10-30 1989-09-19 Hewlett-Packard Company Transducer with integral memory
US4954960A (en) * 1986-11-07 1990-09-04 Alcon Laboratories Linear power control for ultrasonic probe with tuned reactance
US5060651A (en) * 1989-10-02 1991-10-29 Hitachi Medical Corporation Ultrasonic diagnostic apparatus
DE4013607A1 (de) * 1990-04-27 1991-10-31 Elektrotechnik Horst Kahl Kg Verfahren und einrichtung zur steuerung und regelung von ultraschall-piezosystemen
DE4307669C2 (de) * 1993-03-11 1995-06-29 Wolf Gmbh Richard Gerät zur Erzeugung von Schallimpulsen für den medizinischen Anwendungsbereich

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3525037A (en) * 1967-11-14 1970-08-18 Ampex Method and apparatus for measuring subsurface electrical impedance utilizing first and second successively transmitted signals at different frequencies
US3524135A (en) * 1968-01-08 1970-08-11 Forbro Design Corp Error reducing metering for a constant current regulated power supply
SU470708A1 (ru) * 1973-04-06 1975-05-15 Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Медицинского Приборостроения Измеритель мощности ультразвука
US3937937A (en) * 1973-12-26 1976-02-10 Xerox Corporation Primary power fault detector
US3961173A (en) * 1974-11-20 1976-06-01 Varian Associates Heat unit integrator for X-ray tubes
US4039999A (en) * 1976-02-17 1977-08-02 John Weston Communication system
US4163194A (en) * 1977-07-22 1979-07-31 California Institute Of Technology Voltage-current-power meter for photovoltaic solar arrays
US4307613A (en) * 1979-06-14 1981-12-29 University Of Connecticut Electronically focused ultrasonic transmitter
US4296302A (en) * 1979-08-21 1981-10-20 Colt Industries Operating Corp Adaptive control of gap voltage and power to control servo operation of an electrical discharge machining apparatus
FR2466164A1 (fr) * 1979-09-26 1981-03-27 Labo Electronique Physique Transducteur ultrasonore a sensibilite variable et dispositif d'emission-reception ultrasonore equipe de ce transducteur
US4434648A (en) * 1981-02-26 1984-03-06 Cornell Research Foundation, Inc. Electroacoustic transducer calibration method and apparatus
US4445064A (en) * 1983-04-25 1984-04-24 E. I. Du Pont De Nemours And Company Self resonant power supply for electro-acoustical transducer
US4509193A (en) * 1983-07-11 1985-04-02 Industrial Research Products, Inc. Miniature acoustical transducer with filter/regulator power supply circuit
JPH0783518B2 (ja) * 1985-10-09 1995-09-06 株式会社日立製作所 超音波探触子
US5032558A (en) * 1987-10-09 1991-07-16 Martin Marietta Corporation Electrostrictive ceramic material including a process for the preparation thereof and applications thereof
US4868379A (en) * 1988-06-20 1989-09-19 Utility Power Group Photovoltaic array with two-axis power maximization tracking
US5297436A (en) * 1988-07-20 1994-03-29 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization Optical fibre ultrasonic sensor
JPH0294579A (ja) * 1988-09-30 1990-04-05 Hitachi Ltd 超音波振動子用電歪磁器組成物
US5003252A (en) * 1989-08-16 1991-03-26 Load Controls Incorporated Apparatus and method for measuring power factor and torque on the output of variable frequency drives
US4973876A (en) * 1989-09-20 1990-11-27 Branson Ultrasonics Corporation Ultrasonic power supply
US5113706A (en) * 1990-07-03 1992-05-19 Hewlett-Packard Company Ultrasound system with dynamic transmit focus
US5233994A (en) * 1991-05-13 1993-08-10 Advanced Technology Laboratories, Inc. Detection of tissue abnormality through blood perfusion differentiation
US5175472A (en) * 1991-12-30 1992-12-29 Comdel, Inc. Power monitor of RF plasma
DE4229817C2 (de) * 1992-09-07 1996-09-12 Siemens Ag Verfahren zur zerstörungsfreien und/oder nichtinvasiven Messung einer Temperaturänderung im Inneren eines insbesondere lebenden Objektes
JPH0698888A (ja) * 1992-09-22 1994-04-12 Toshiba Corp 超音波診断装置
JPH06125901A (ja) * 1992-10-21 1994-05-10 Yokogawa Medical Syst Ltd 超音波プローブ,超音波カプラントおよび超音波診断装置
US5469510A (en) * 1993-06-28 1995-11-21 Ford Motor Company Arbitration adjustment for acoustic reproduction systems
US5446682A (en) * 1994-03-21 1995-08-29 Square D Company System for calibrating a line isolation monitor

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2946154A1 (de) * 1979-11-13 1981-06-04 Zschimmer, Gero, 8000 München Ultraschall-sonde
DE3317045A1 (de) * 1983-05-10 1984-11-15 Martin Walter Ultraschalltechnik GmbH, 7516 Karlsbad Verfahren und anordnung zur konstanten leistungsabgabe von ultraschall-reinigungsanlagen
DE3625149A1 (de) * 1986-07-25 1988-02-04 Herbert Dipl Ing Gaessler Verfahren zur phasengesteuerten leistungs- und frequenzregelung eines ultraschallwandlers sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US4954960A (en) * 1986-11-07 1990-09-04 Alcon Laboratories Linear power control for ultrasonic probe with tuned reactance
US4821706A (en) * 1987-10-15 1989-04-18 North American Philips Corporation High voltage pulse power drive
US4868476A (en) * 1987-10-30 1989-09-19 Hewlett-Packard Company Transducer with integral memory
US5060651A (en) * 1989-10-02 1991-10-29 Hitachi Medical Corporation Ultrasonic diagnostic apparatus
DE4013607A1 (de) * 1990-04-27 1991-10-31 Elektrotechnik Horst Kahl Kg Verfahren und einrichtung zur steuerung und regelung von ultraschall-piezosystemen
DE4307669C2 (de) * 1993-03-11 1995-06-29 Wolf Gmbh Richard Gerät zur Erzeugung von Schallimpulsen für den medizinischen Anwendungsbereich

Also Published As

Publication number Publication date
US5585546A (en) 1996-12-17
JPH08229036A (ja) 1996-09-10
US5684243A (en) 1997-11-04
DE19531360B4 (de) 2004-11-04
US5889194A (en) 1999-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19531360B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Steuern der Empfindlichkeit von Wandlern
EP2041529B1 (de) VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG UND/ODER ÜBERWACHUNG EINER PROZESSGRÖßE EINES MEDIUMS
EP0272244B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung von Schwingungseigenschaften sowie zum Betreiben eines piezoelektrischen Wandlers
DE69632871T2 (de) Temperatursender mit prozessgekoppelter kalibrierung mittels johnson-widerstandsrauschen
DE2832835C2 (de) Ultraschall-Meßanordnung
DE3741568C2 (de)
EP1478947B1 (de) Verfahren und messgerät zur ortung eingeschlossener objekte
DE2303936C2 (de) Drehmomentmesser
DE10027348A1 (de) Verfahren, Vorrichtung und Programme zur Temperaturkompensation bei einem Ultraschallwandler
DE112007000433T5 (de) Kapazitive Abstandsmessung bei Halbleiterverarbeitungswerkzeugen
DE2900382A1 (de) Spannungsmesser-druckwandlergeraet
EP0145861A1 (de) Vorrichtung zum Messen von Drucken und zeitlichen Druckverläufen
DE3700366C2 (de)
DE102018102535B3 (de) Temperaturmessung mittels der Impedanz eines Ultraschalltransducers
DE2627954A1 (de) Vibrationsdensitometer
EP1478949B1 (de) Verfahren und messgerät zur ortung eingeschlossener objekte
EP1314047A2 (de) Sensorsystem und verfahren, insbesondere zur entfernungsbestimmung
EP3314210B1 (de) Feldgerät mit kompensationsschaltung zur eliminierung von umgebungseinflüssen
EP1478948A1 (de) Verfahren und messgerät zur ortung eingeschlossener objekte
EP3513152B1 (de) Kompensation einer phasenverschiebung zumindest einer komponente einer elektronik eines vibronischen sensors
DE112018004944B4 (de) Konzentrationsmessgerät
CH456191A (de) Verfahren zur Temperaturmessung und Einrichtung zur Ausführung des Verfahrens
DE3736904A1 (de) Messeinrichtung mit sensorelementen
WO2020109565A1 (de) Verfahren und sensor zum bestimmen eines die impedanz einer suspension anzeigenden werts
DE102022134932A1 (de) Integrierte halbleiterschaltung, ultraschallsensor und fahrzeug

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D.STAATES DELA

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee