CN111308302B - 探针卡管理***和探针卡管理方法 - Google Patents

探针卡管理***和探针卡管理方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种高精度地管理探针卡的寿命的探针卡管理***和探针卡管理方法。所述探针卡管理***具备检查装置和多个管理装置。各个检查装置具有摄像机、***以及发送部。***根据由摄像机拍摄到的探针的针尖的图像来测定各探针的针尖的状态，基于测定结果使探针的针尖与设置于被检查体的多个测试垫的各测试垫接触，经由多个探针的针尖向被检查体提供电信号，由此对被检查体进行检查。发送部向管理装置发送测定结果和由探针卡进行的检查的执行次数。管理装置具有阈值确定部和通知部。阈值确定部针对每个探针卡，基于测定结果和执行次数来确定作为探针卡的寿命的执行次数的阈值。通知部向外部通知针对每个探针卡的阈值和目前为止的执行次数。

Description

探针卡管理***和探针卡管理方法
技术领域
本公开的各种方面和实施方式涉及一种探针卡管理***和探针卡管理方法。
背景技术
例如，在下述专利文献1中公开了一种具有基板载置载置台5、探针卡7、摄像部4以及判定部9的试验装置。在探针卡7设置有对载于基板载置台5的晶圆W提供试验信号的探针8。摄像部4获得探针8的图像。判定部9根据进行试验前后的探针8的图像的区别，来判定该探针8的针尖是否异常。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2009-162723号公报
发明内容
发明要解决的问题
本公开提供一种能够高精度地管理探针卡的寿命的探针卡管理***和探针卡管理方法。
用于解决问题的方案
本公开的一个方面是一种探针卡管理***，具备：多个检查装置，所述多个检查装置对被检查体进行检查；以及管理装置，其管理被用于被检查体的检查的探针卡的状态。检查装置具有摄像机、***以及发送部。摄像机对设置于探针卡的多个探针的针尖进行拍摄。***根据由摄像机拍摄到的图像来测定各个探针的针尖的状态，基于测定结果使探针的针尖与设置于被检查体的多个测试垫的各测试垫接触，经由各个探针的针尖向被检查体提供电信号，由此对被检查体进行检查。发送部向管理装置发送测定结果和由探针卡进行的检查的执行次数。管理装置具有阈值确定部和通知部。阈值确定部针对每个探针卡，基于测定结果和执行次数来确定第一阈值，该第一阈值表示作为探针卡的寿命的执行次数的阈值。通知部向外部通知针对每个探针卡的第一阈值和目前为止的执行次数。
发明的效果
根据本公开的各种方面和实施方式，能够高精度地管理探针卡的寿命。
附图说明
图1是表示本申请的一个实施方式中的探针卡管理***的一例的***结构图。
图2是表示本申请的一个实施方式中的检查装置的一例的图。
图3是表示本申请的一个实施方式中的检查单元的一例的概要截面图。
图4是表示本申请的一个实施方式中的控制单元的一例的框图。
图5是说明摄像机的移动方向与聚焦的面之间的位置的关系的一例的图。
图6是表示由摄像机拍摄到的图像的一例的图。
图7是表示在显示装置中显示的图像的一例的图。
图8是表示本申请的一个实施方式中的管理装置的一例的框图。
图9是表示测定历史记录表的一例的图。
图10是表示累计接触次数表的一例的图。
图11是用于说明第一阈值和第二阈值的估计方法的一例的图。
图12是在显示装置中显示的图像的一例的图。
图13是表示利用检查装置进行的处理的一例的流程图。
图14是表示利用管理装置进行的处理的一例的流程图。
图15是表示实现本申请的一个实施方式中的控制单元或管理装置的功能的计算机的硬件的一例的图。
具体实施方式
下面，基于附图来详细地说明公开的探针卡管理***和探针卡管理方法的实施方式。此外，公开的探针卡管理***和探针卡管理方法并不被以下的实施方式限定。
另外，在进行检查的晶圆的数量少的情况下，有时检查前的探针的状态与检查多个晶圆之后的探针的状态之间的变化少。因此，在以检查前的探针的状态为基准来判定检查多个晶圆之后的探针的状态的异常的情况下，大多情况下判定为探针的状态正常。
但是，在将规定数量的晶圆的检查执行了多次的情况下，即使在各个检查的前后判定为探针的状态正常的情况下，也存在探针的状态逐渐变化而成为异常的状态的情况。因此，在通过将检查前后的探针的状态进行比较来判定异常的情况下，难以正确地检测探针的状态的异常(例如探针卡的寿命)。
另外，当在检查后检测到探针的异常时，难以判别目前为止的检查结果之中到哪个检查结果为止是利用正常的探针进行检查得到的。因此，全部的检查结果都无效。因而，期望能够在进行检查之前估计探针卡是否会在检查中途达到寿命。
因此，本公开提供一种能够高精度地管理探针卡的寿命的技术。
[探针卡管理***1的结构]
图1是表示本申请的一个实施方式中的探针卡管理***1的一例的图。例如如图1所示，探针卡管理***1具有管理装置20和多个检查装置10A、10B及10C。管理装置20与检查装置10A、10B及10C的各检查装置经由有线线路或无线线路以能够相互通信的方式连接。下面，在不对多个检查装置10A、10B及10C的各检查装置加以区别而进行统称的情况下，记载为检查装置10。
图2是表示本申请的一个实施方式中的检查装置10的一例的图。检查装置10具有控制单元12、加载单元13、检查单元17以及显示装置131。检查装置10在控制单元12的控制下，从加载单元13向检查单元17搬送作为被检查体的半导体晶圆(以下称作“晶圆W”。)。而且，检查装置10向形成于晶圆W的被检查器件(DUT：Device Under Test：待测器件)提供电信号来检查器件的各种电特性。
加载单元13具有盒收纳部14和晶圆搬送机构(未图示)。盒收纳部14用于收纳收容有晶圆W的盒C。盒C例如为FOUP(Front Opening Unify Pod：前开式晶圆传送盒)。晶圆搬送机构在盒收纳部14中收纳的盒C与后述的设置于检查单元17的载置台179之间搬送晶圆W。
[检查单元17的结构]
图3是表示本申请的一个实施方式中的检查单元17的一例的概要截面图。检查单元17具有中空的壳体181。在壳体181的侧壁形成有用于进行晶圆W的搬入和搬出的开口182。在壳体181内的大致中央设置有移动机构180，该移动机构180使载置台179沿上下方向(图3所示的z轴方向)和横向(图3所示的与x轴及y轴平行的xy平面内的方向)移动。在载置台179的上表面载置晶圆W。载置台179利用真空卡盘等将被载置于上表面的晶圆W吸附保持于载置台179的上表面。在载置台179的侧面设置有摄像机178。摄像机178以摄像方向朝向上方的方式安装于载置台179的侧面。
利用移动机构180使载置台179移动，由此，设置于载置台179的侧面的摄像机178也移动。移动机构180由控制单元12进行控制，移动机构180的移动量由控制单元12进行管理。因而，壳体181内的摄像机178和载置台179的位置的x坐标、y坐标及z坐标由控制单元12进行管理。
壳体181在上部具有大致圆形状的开口部，在该开口部设置有测试头171。测试头171固定于沿开口部的周缘设置的框架174。框架174经由轴173从大致圆筒状的保持件175的上方支承该保持件175。
在保持件175的下部以能够装卸的方式保持设置有多个探针177的探针卡176。设置于探针卡176的各个探针177以针尖朝向下方的方式设置于探针卡176。在图3所例示的探针卡176中图示了悬臂梁类型的探针177，但也可以在探针卡176设置有垂直针类型的探针177。或者，也可以混合地存在悬臂梁类型的探针177和垂直针类型的探针177。
此外，在本实施方式中，能够在多个不同的检查装置10A、10B及10C的检查单元17中使用探针卡176。例如，也可以是，在需要进行在检查装置10A的检查单元17安装的探针卡176的维护的情况下，卸下探针卡176，取而代之地将其它的探针卡176安装于检查装置10A的检查单元17。而且，完成了维护的探针卡176可以安装于检查装置10B或10C的检查单元17。
另外，各个探针177以在载置于载置台179的晶圆W移动至检查时的位置的情况下探针177的针尖处于与设置于晶圆W的测试垫接触的位置的方式配置于探针卡176。各个探针177与设置于探针卡176的配线连接，设置于探针卡176的各个配线经由设置于保持件175的配线而与测试头171连接。测试头171与外部测试器170连接。
在像这样构成的检查单元17中，在对载置在载置台179上的晶圆W进行检查的情况下，首先，控制单元12控制移动机构180以使摄像机178位于探针177的下方。然后，控制单元12一边控制移动机构180来使摄像机178靠近探针177，一边使摄像机178拍摄探针177。然后，控制单元12基于由摄像机178拍摄到的图像，来测定各探针177的针尖在横向和上下方向上的位置。
而且，控制单元12通过控制移动机构180来使载置有晶圆W的载置台179上升，使晶圆W的各测试垫与探针177以规定的过驱动量接触。过驱动量是在使载置有晶圆W的载置台179上升而使晶圆W的测试垫与各探针177的针尖接触之后进一步使载置台179上升时的上升量。下面，将各个探针177的针尖与对应的测试垫接触的次数记载为接触次数。
然后，控制单元12控制外部测试器170，以向测试头171输出规定的电信号。测试头171经由保持件175内的各个配线向探针卡176输出从外部测试器170输出的电信号。被输出至探针卡176的电信号经由探针卡176内的配线被提供至各个探针177，经由探针177被输出至晶圆W的测试垫。
另外，从晶圆W的测试垫输出的电信号被输出至探针177。被输出至探针177的电信号经由探针卡176内的配线和保持件175内的配线被输出至测试头171。被输出至测试头171的电信号被输出至外部测试器170。外部测试器170基于被输出至测试头171的电信号和从测试头171输出的电信号来评价晶圆W的电特性，将评价结果输出至控制单元12。
另外，控制单元12在进行探针177与晶圆W的位置对准时，基于由摄像机178拍摄到的图像来确定各探针177的针尖的位置、大小等针尖的状态。而且，控制单元12向管理装置20发送表示确定出的针尖的状态的信息。另外，控制单元12在后述的显示装置中显示从管理装置20通知的探针卡176的信息(以下记载为卡信息)。卡信息包括目前为止的接触次数、需要维护的接触次数、作为寿命的接触次数等。
在此，当重复进行针对晶圆W的检查时，探针177的针尖的状态发生变化。作为探针177的针尖的状态的变化，例如有针尖的磨耗、弯曲、探针177的缺损、堆叠、异物向针尖的附着等。例如能够根据测定出的针尖的位置与设计时的针尖的位置之差来评价针尖的磨耗、弯曲、探针177的缺损、堆叠。另外，例如能够根据测定出的针尖的大小与设计时的针尖的大小之差来评价针尖的磨耗、异物的附着。能够通过进行针尖的研磨等维护来使这样的探针177的针尖的变化恢复一些。但是，有时也由于研磨自身而探针177的针尖进一步发生变化，难以通过维护来完全恢复。探针卡176的维护由未图示的维护装置来执行。
[控制单元12的结构]
图4是表示本申请的一个实施方式中的控制单元12的一例的框图。控制单元12具有摄影控制部120、发送部121、DB(DataBase：数据库)122、确定部123、***124、接收部125、接受部126以及显示控制部127。
在从外部(例如用户)经由触摸面板等输入装置130对接受部126指示了检查的开始的情况下，该接受部126向***124指示检查开始。另外，接受部126经由输入装置130接受要进行检查的晶圆W的数量，并且向***124输出所接受的晶圆W的数量。
发送部121经由有线线路或无线线路向管理装置20发送从摄影控制部120和确定部123输出的数据。
在探针卡176被安装于检查单元17的保持件175的情况下，摄影控制部120控制移动机构180来使载置台179移动，以利用摄像机178对探针卡176的记载有卡ID的部分进行拍摄。卡ID是用于识别各个探针卡176的信息。在探针卡176贴附有记载了卡ID的贴签等。此外，探针卡176的卡ID也可以被直接打印于探针卡176。另外，探针卡176的卡ID还可以如条形码等那样以文字、数字或符号以外的形式记载。而且，摄影控制部120使摄像机178拍摄探针卡176的卡ID，经由发送部121向管理装置20发送由摄像机178拍摄到的卡ID。
另外，摄影控制部120控制移动机构180来使载置台179移动，以使摄像机178位于探针177的下方。而且，摄影控制部120使摄像机178拍摄各探针177，获取由摄像机178拍摄到的图像。将获取到的图像与探针卡176的卡ID相对应地保存在DB 122中。DB 122将由摄像机178拍摄到的各个图像与摄像机178的x坐标及y坐标相对应地进行存储。
并且，在准确地确定探针177的z坐标的情况下，摄影控制部120将摄像机178切换为景深短(浅)的高分辨率的光学***。而且，摄影控制部120控制移动机构180来使载置台179移动以使摄像机178位于探针177的下方，之后使载置台179上升。由此，摄像机178与载置台179一同上升，沿各个探针177的高度方向、即图3的z轴方向移动。而且，摄影控制部120使摄像机178在摄像机178进行移动所经过的各位置处以在一个图像内拍进多个探针177的针尖的方式拍摄多个探针177的针尖。
而且，摄影控制部120将由摄像机178拍摄到的图像与聚焦的面的z坐标相对应地保存于发送部121。在本实施方式中，预先针对摄影控制部120设定了从摄像机178的镜头到聚焦的面的被摄体距离。摄影控制部120在各图像中基于被摄体距离和拍摄到该图像时的摄像机178的镜头的位置的坐标来确定聚焦的面的z坐标。
图5是说明摄像机178的移动方向与聚焦的面之间的位置的关系的一例的图。摄影控制部120控制移动机构180，由此例如如图5的箭头所示那样使摄像机178移动，以从探针177的下方起上升。而且，摄影控制部120使摄像机178在摄像机178进行移动经过的各位置处以在一个图像内拍进多个探针177的针尖的方式拍摄多个探针177的针尖。在图5的例子中，在由摄像机178拍摄到的一个图像内拍进三个探针177-1～177-3的针尖。摄像机178上升，由此摄像机178的聚焦的面的z坐标例如如图5所示那样从Z1向Z11变化。
此外，下面，将与摄像机178的聚焦的面的z坐标即Zn(n为1～11的整数)对应的图像记载为图像Zn。在图5的例子中，在图像Z4中聚焦于探针177-1的针尖，在图像Z6中聚焦于探针177-2的针尖，在图像Z8中聚焦于探针177-3的针尖。由摄像机拍摄到的图像Z4、Z6及Z8例如如图6那样。像这样，能够与聚焦于针尖的摄像机178的z坐标相关联地确定探针177的z坐标。此外，由于摄像机178被切换为景深短(浅)的高分辨率的光学***，因此聚焦的距离的范围变得更窄，能够高精度地检测各探针177的针尖的在z轴方向上的位置。
确定部123参照DB 122，基于由摄像机178在摄像机178的各位置处拍摄到的图像来确定各个探针177的针尖的状态。而且，确定部123向发送部121输出测定信息，该测定信息包括表示确定出的各个针尖的状态的信息。表示针尖的状态的信息中包括针对针尖的每个测定项目得到的测定结果。针尖的测定项目中例如包括针尖的x坐标、针尖的y坐标、针尖的z坐标、针尖的在x轴方向上的宽度、针尖的在y轴方向上的宽度等项目。另外，测定信息中包括探针卡176的卡ID、安装有探针卡176的检查单元17的装置ID以及从***124输出的接触次数。
另外，确定部123基于检测出的图像来确定探针177的针尖的大小。而且，确定部123经由发送部121向管理装置20发送包括表示各个针尖的状态的信息、探针卡176的卡ID以及安装有该探针卡176的检查单元17的装置ID的测定信息。表示各个针尖的状态的信息中包括确定出的各个探针177的针尖的位置和大小的信息。
接收部125在从管理装置20接收到探针卡176的卡信息的情况下，向***124和显示控制部127输出接收到的探针卡176的卡信息。卡信息包括需要进行探针卡176的维护的累计接触次数和预计进行探针卡176的维护的累计接触次数、成为探针卡176的寿命的累计接触次数和预计成为探针卡176的寿命的累计接触次数的信息等。下面，将需要进行探针卡176的维护的累计接触次数和预计进行探针卡176的维护的累计接触次数记载为维护预定接触次数。另外，将成为探针卡176的寿命的累计接触次数和预计成为探针卡176的寿命的累计接触次数记载为成为寿命的累计接触次数。
***124在被接受部126指示了检查开始的情况下，通过控制移动机构180来使载置有晶圆W的载置台179移动至探针177的下方。而且，***124使载置台179上升，以使晶圆W的测试垫与探针177的针尖接触。而且，***124对外部测试器170指示检查开始，来开始检查晶圆W。此外，***124基于从确定部123输出的xy平面内的位置的信息，使检查时的xy平面内的晶圆W的位置偏移。由此，能够使各个探针177的针尖可靠地与对应的测试垫接触。
另外，***124对使各个探针177的针尖与对应的测试垫接触的接触次数进行计数，将进行计数得到的接触次数输出至确定部123。而且，在参照从接收部125输出的卡信息进行计数得到的接触次数与累计接触次数的合计达到了维护预定接触次数的情况下，***124对显示控制部127指示警报的通知。另外，在进行计数得到的接触次数与累计接触次数的合计达到了作为寿命的累计接触次数的情况下，***124中断检查，对显示控制部127指示错误的通知。
显示控制部127在被接收部125输入了探针卡176的信息的情况下，在显示装置131中显示例如如图7所示的图像40。图7是表示在显示装置131中显示的图像40的一例的图。
例如如图7所示的那样，图像40包括用于显示与探针卡176有关的信息即卡信息的区域400。区域400中例如包括安装于检查单元17的探针卡176的卡ID、使用开始日、累计接触次数、维护预定接触次数以及作为寿命的累计接触次数来作为卡信息。另外，图像40中包括选择按钮402和用于输入要进行检查的晶圆W的个数的输入BOX(框)401。
在将探针卡176安装于检查单元17并开始对晶圆W进行检查之前，在显示装置131中显示图7所例示的图像40。用户向输入BOX 401输入要进行检查的晶圆W的个数，通过选择“是”(Yes)的选择按钮402来对检查装置10指示执行晶圆W的检查。此外，在选择了“否”(No)的选择按钮402的情况下，取消执行晶圆W的检查。
通过参照图像40中包括的卡信息，用户能够判断此后要使用的探针卡176是否为接近维护时期、寿命的卡。另外，通过参照卡信息，用户能够在无需在检查中途进行更换的范围内指定要进行检查的晶圆W的个数。另外，通过参照卡信息，用户能够在开始检查前避免由于在检查中途需要进行探针卡176的更换而中断检查。
另外，显示控制部127在被***124指示了警报的通知的情况下，在显示装置131中显示警报。另外，显示控制部127在被***124指示了错误的通知的情况下，在显示装置131中显示错误。
[管理装置20的结构]
图8是表示本申请的一个实施方式中的管理装置20的一例的框图。管理装置20具有显示控制部200、接收部201、DB 202、倾向确定部203、发送部204以及阈值确定部205。显示控制部200是数据管理部的一例。
在DB 202中保存例如如图9所示那样的测定历史记录表2020和例如如图10所示那样的累计接触次数表2028。图9是表示测定历史记录表2020的一例的图。在测定历史记录表2020中，与用于识别各个探针卡176的卡ID 2021相对应地保存有卡表2022。在卡表2022中，与用于识别各个探针177的针ID 2023相对应地保存有针表2024。在针表2024中，与用于识别探针177的针尖的测定项目的项目ID 2025相对应地保存有测定结果表2026。
在测定结果表2026中，与接触次数相对应地保存执行了接触次数之后的针尖的测定结果和执行了接触次数的检查单元17的装置ID。在测定结果的栏中保存由控制单元12测定出的值。其中，关于测定结果的栏中保存的“M0”，例如预先保存设计值。另外，在执行了维护的情况下，保存表示该意思的信息，删除接触次数为“0”的栏以外的数据。其中，维护前的测定历史记录表2020的信息被保存于DB 202的其它位置，能够根据需要进行参照。
图10是表示累计接触次数表2028的一例的图。在测定结果表2026中，与探针卡176的卡ID相对应地保存累计接触次数、第一阈值以及第二阈值。第一阈值是作为寿命的累计接触次数。第二阈值是维护预定接触次数。此外，也可以是，在累计接触次数表2028中针对每个卡ID保存有使用开始日等信息。
接收部201在经由有线线路或无线线路从检查装置10接收到卡ID的情况下，向发送部204输出卡ID。另外，接收部201经由有线线路或无线线路从检查装置10接收包括卡ID、表示针尖的状态的每个项目的测定结果、装置ID以及接触次数的测定信息。而且，接收部201将接收到的每个项目的测定结果及接触次数与卡ID及针ID相对应地保存于测定历史记录表2020中。而且，接收部201向发送部204输出卡ID。
倾向确定部203参照DB 202，针对每个探针卡176，基于各个探针177的测定结果和接触次数来确定测定结果相对于接触次数的变化的倾向。阈值确定部205针对每个探针卡176，基于由倾向确定部203确定出的变化的倾向来确定第一阈值和第二阈值。
图11是用于说明第一阈值和第二阈值的估计方法的一例的图。在图11的例子中，作为某个探针卡176的某个探针177的测定结果的一例，示出y轴方向上的针尖的宽度的测定结果。在此，阈值
Figure BDA0002315341900000111
是预先设定的被判断为探针177的寿命的、y轴方向上的针尖的宽度，阈值
Figure BDA0002315341900000112
是预先设定的被判断为需要进行探针177的维护的、y轴方向上的针尖的宽度。另外，在图11中，累计接触次数从“0”到“Na”的范围是针对某个检查单元17a进行安装后进行了检查的情况下的测定结果。另外，累计接触次数从“Na”到“Nb”的范围是针对检查单元17a以外的检查单元17b进行安装后进行了检查的情况下的测定结果。另外，累计接触次数从“Nb”到“Nc”的范围是针对检查单元17a和检查单元17b以外的检查单元17c进行安装后进行了检查的情况下的测定结果。
倾向确定部203例如确定对测定结果的变化进行近似得到的直线50来作为测定结果相对于累计接触次数的变化的倾向。此外，倾向确定部203例如也可以确定对测定结果的变化进行近似得到的曲线来作为测定结果相对于累计接触次数的变化的倾向。
阈值确定部205基于由倾向确定部203确定出的直线50以及探针177的测定结果和阈值
Figure BDA0002315341900000121
来确定作为寿命的累计接触次数即第一阈值NTh1。同样地，阈值确定部205基于由倾向确定部203确定出的直线50以及探针177的测定结果和阈值
Figure BDA0002315341900000122
来确定维护预定接触次数即第二阈值NTh2。
而且，阈值确定部205针对每个探针卡176，利用确定出的第一阈值和第二阈值以及最新的累计接触次数，来更新累计接触次数表2028内的第一阈值、第二阈值以及累计接触次数。
发送部204在被接收部201输入了卡ID的情况下，参照DB 202内的测定历史记录表2020和累计接触次数表2028来制作卡信息。而且，接收部201经由有线线路或无线线路向检查装置10发送所制作的卡信息。在与控制单元12连接的显示装置131中显示被发送至检查装置10的卡信息，来向检查装置10的外部(例如用户)通知该卡信息。由此，发送部204能够向检查装置10的外部通知针对每个探针卡176的第一阈值和目前为止的检查的执行次数。发送部204是通知部的一例。
显示控制部200在经由触摸面板等输入装置22从管理装置20的用户接受了卡信息的显示指示的情况下，参照DB 202内的累计接触次数表2028来制作例如如图12所示的图像41。而且，显示控制部200在显示装置21中显示所制作的图像41。图12是表示在显示装置21中显示的图像41的一例的图。在图像41内记载累计接触次数表2028内的信息。用户经由输入装置22来操作图像41内的滑块411，由此能够确认与各个卡ID对应的探针卡176的状态。
在本实施方式中，显示控制部200在图像41内将与第一阈值之差为第一次数以下(例如1000次以下)的累计接触次数所对应的信息进行强调显示。在图12的例子中，用框410包围与第一阈值之差为900的累计接触次数所对应的卡ID为“C006”的信息来进行强调显示。此外，也可以是，将与第一阈值之差为第一次数以下的累计接触次数所对应的第一阈值进行强调显示，由此向外部(例如用户)通知累计接触次数即将达到第一阈值。
另外，也可以是，显示控制部200在图像41内将与第二阈值的差为第二次数以下(例如100次以下)的累计接触次数所对应的信息进行强调显示。在图12的例子中，用框410包围与第二阈值之差为50的累计接触次数所对应的卡ID为“C003”的信息来进行强调显示。此外，也可以是，对与第二阈值之差为第二次数以下的累计接触次数所对应的第二阈值进行强调显示，由此向用户通知累计接触次数即将达到第二阈值。
此外，也可以是，管理装置20即使在关于与第一阈值之差为规定值以下的累计接触次数所对应的信息未从管理装置20的用户接受卡信息的显示指示的情况下，也向规定的通知目的地进行通知。规定的通知目的地例如是探针卡管理***1的管理者的邮件地址等。
另外，显示控制部200在经由输入装置22从管理装置20的用户接受卡ID的同时接受到进行了维护的意思的通知的情况下，在DB 202的测定历史记录表2020内确定与卡ID对应的卡表2022。而且，显示控制部200将维护前的测定历史记录表2020的信息保存到DB 202的其它位置，之后在确定出的卡表2022内删除接触次数为“0”的栏以外的全部数据。另外，显示控制部200在从管理装置20的用户接受卡ID的同时接受到进行了维护的意思的通知的情况下，在DB 202的测定历史记录表2020内将与卡ID对应的累计接触次数重置为0。此外，也可以是，显示控制部200在通过维护将累计接触次数重置为0的情况下，将被重置为0的累计接触次数例如改变显示色等后显示于显示装置21以明确其意思。另外，能够根据需要来参照在DB 202的其它位置保存的维护前的测定历史记录表2020的信息。
[检查装置10的处理]
图13是表示由检查装置10进行的处理的一例的流程图。例如在探针卡176被安装于检查单元17的保持件175的情况下，控制单元12使本流程图所示的处理开始。
首先，控制单元12的摄影控制部120使摄像机178对探针卡176的记载有卡ID的部分进行拍摄，由此获取探针卡176的卡ID(S100)。然后，摄影控制部120向发送部121输出获取到的卡ID。发送部121向管理装置20发送从摄影控制部120输出的卡ID(S101)。
接着，控制单元12进行探针卡176的对准(S102)。在探针卡176的对准过程中，首先，摄影控制部120控制移动机构180来使载置台179移动，以使摄像机178位于探针177的下方。然后，摄影控制部120使摄像机178拍摄各探针177，获取由摄像机178拍摄到的图像。将获取到的图像与探针卡176的卡ID相对应地保存于DB 122。
确定部123参照DB 122，基于由摄像机178在摄像机178的各位置处拍摄到的图像来测定各个探针177的针尖的位置、大小等。
接着，接收部125从管理装置20接收卡信息(S103)。然后，接收部125向***124和显示控制部127输出接收到的卡信息。显示控制部127在显示装置131中显示卡信息(S104)。在步骤S104中，例如在显示装置131中显示图7所例示的图像40。
接着，***124判定是否经由输入装置130和接受部126被指示了检查的执行(S105)。在被指示了不执行检查的意思的情况下(S105：“否”)，即、在图7所例示的图像40中选择了表示“否”的选择按钮402的情况下，控制单元12使本流程图所示的处理结束。
另一方面，在被指示了检查的执行的情况下(S105：“是”)，***124将计数接触次数的变量n初始化为1(S106)。在被指示了检查的执行的情况下，在图7所例示的图像40中，向输入BOX 401输入检查个数，选择表示“是”的选择按钮402。
***124控制搬送机构16等，来将作为检查对象的晶圆W搬入检查单元17的壳体181内，并载置到载置台179上(S107)。然后，***124通过控制移动机构180来进行晶圆W的位置的微调整，之后使各个探针177的针尖与对应的测试垫接触，由此执行晶圆W的检查(S108)。然后，***124对搬送机构16等进行控制，来将结束了检查的晶圆W从壳体181内搬出(S109)。
接着，***124使变量n增加1(S110)。然后，***124判定变量n与在步骤S104中显示于显示装置131的卡信息中的累计接触次数na的合计值是否达到第一阈值NTh1(S111)。在变量n与累计接触次数na的合计值达到第一阈值NTh1的情况下(S111：“是”)，***124中断检查，对显示控制部127指示错误的通知。显示控制部127在显示装置131中显示表示需要进行探针卡176的更换的错误(S112)。然后，控制单元12使本流程图所示的处理结束。由此，能够防止使用已达到寿命的探针卡176来执行晶圆W的检查。
另一方面，在变量n与累计接触次数na的合计值未达到第一阈值NTh1的情况下(S111：“否”)，***124判定变量n与累计接触次数na的合计值是否为第二阈值NTh2以上(S113)。在变量n与累计接触次数na的合计值小于第二阈值NTh2的情况下(S113：“否”)，***124执行步骤S115所示的处理。另一方面，在变量n与累计接触次数na的合计值为第二阈值NTh2以上的情况下(S113：“是”)，***124对显示控制部127指示警报的通知。显示控制部127在显示装置131中显示表示需要进行探针卡176的维护的警报(S114)。由此，能够促使外部(例如用户)进行探针卡176的维护。
接着，***124判定是否执行了与输入BOX 401(参照图7)中输入的检查个数相应的量的检查(S115)。在未执行与输入BOX 401中输入的检查个数相应的量的检查的情况下(S115：“否”)，***124再次执行步骤S107所示的处理。
另一方面，在执行了与输入BOX 401中输入的检查个数相应的量的检查的情况下(S115：“是”)，***124向确定部123输出变量n的值。然后，控制单元12进行探针卡176的对准(S116)。步骤S116中的探针卡176的对准是与步骤S102中的探针卡176的对准相同的处理，因此省略详细的说明。
接着，确定部123向发送部121输出测定信息，该测定信息包括表示各个探针177的针尖的状态的信息、变量n的值、探针卡176的卡ID以及检查单元17的装置ID。表示各个探针177的针尖的状态的信息包括在步骤S116的探针卡176的对准中确定出的各个探针177的针尖的位置、大小等信息。另外，变量n是所执行的接触次数。发送部121向管理装置20发送从确定部123输出的测定信息(S117)。由此，管理装置20能够在每当执行规定次数的检查时，收集探针卡176的各个探针177的针尖的位置、大小等信息。
[管理装置20的处理]
图14是表示由管理装置20进行的处理的一例的流程图。
首先，接收部201判定是否从检查装置10接收到卡ID(S200)。在接收到卡ID的情况下(S200：“是”)，接收部201向发送部204输出接收到的卡ID。发送部204参照DB 202收集与从接收部201输出的卡ID对应的信息来制作卡信息(S201)。然后，发送部204向检查装置10发送所制作的卡信息(S202)。然后，再次执行步骤S200所示的处理。
在未接收到卡ID的情况下(S200：“否”)，接收部201判定是否从检查装置10接收到测定信息(S203)。在从检查装置10接收到测定信息的情况下(S203：“是”)，接收部201将接收到的测定信息中包括的每个项目的测定结果及接触次数与卡ID及针ID相对应地保存于测定历史记录表2020(S204)。另外，接收部201从累计接触次数表2028中提取与测定信息中包括的卡ID对应的累计接触次数，将提取出的累计接触次数与测定信息中包括的接触次数进行合计。然后，接收部201利用合计值来更新与测定信息中包括的卡ID相对应地保存在累计接触次数表2028中的累计接触次数。然后，接收部201向发送部204输出卡ID。
接着，倾向确定部203参照DB 202，针对每个探针卡176，基于各个探针177的测定结果和接触次数来确定测定结果相对于接触次数的变化的倾向(S205)。
接着，阈值确定部205针对每个探针卡176，基于由倾向确定部203确定出的变化的倾向来确定第一阈值和第二阈值(S206)。另外，阈值确定部205针对每个探针卡176，利用确定出的第一阈值和第二阈值来更新累计接触次数表2028中的第一阈值和第二阈值(S207)。然后，发送部204执行步骤S201所示的处理。
在未从检查装置10接收到测定信息的情况下(S203：“否”)，显示控制部200判定是否经由输入装置22接受了显示指示(S208)。在接受了显示指示的情况下(S208：“是”)，显示控制部200参照DB 202中的累计接触次数表2028来制作记载有卡信息的图像41(参照图12)。然后，显示控制部200在显示装置21中显示所制作的图像41(S209)。然后，再次执行步骤S200所示的处理。
在未接受显示指示的情况下(S208：“否”)，显示控制部200判定是否在经由输入装置22输入卡ID的同时输入了已进行维护的意思(S210)。在未输入已进行维护的意思的情况下(S210：“否”)，再次执行步骤S200所示的处理。
另一方面，在输入卡ID的同时输入了已进行维护的意思的情况下(S210：“是”)，在DB 202的测定历史记录表2020中确定与卡ID对应的卡表2022。然后，显示控制部200将维护前的测定历史记录表2020的信息保存在DB 202的其它位置，之后在确定出的卡表2022中删除接触次数为“0”的栏以外的全部的测定结果(S211)。另外，显示控制部200在DB 202的测定历史记录表2020中将与卡ID对应的累计接触次数重置为0(S212)。在通过步骤S209显示的图像41中，将进行了维护的探针卡176例如变更显示色等以明确已进行维护。然后，再次执行步骤S200所示的处理。
[硬件]
上述的控制单元12或管理装置20例如由图15所示的具有硬件的计算机60来实现。图15是表示实现本申请的一个实施方式中的控制单元12或管理装置20的功能的计算机60的硬件的一例的图。计算机60具备CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)61、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)62、ROM(Read Only Memory：只读存储器)63以及辅助存储装置64。另外，计算机60具备通信接口(I/F)65、输入输出接口(I/F)66以及介质接口(I/F)67。
CPU 61基于从ROM 63或辅助存储装置64中读出后在RAM 62上展开的程序进行动作，来进行各部的控制。ROM 63用于保存在计算机60启动时由CPU 61执行的启动程序、依赖于计算机60的硬件的程序等。
辅助存储装置64例如是HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)或SSD(Solid StateDrive：固态硬盘)等，用于保存由CPU 61执行的程序和由该程序使用的数据等。CPU 61将该程序从辅助存储装置64中读出后加载到RAM 62上，并执行所加载的程序。
通信I/F 65经由有线或无线的通信线路来与外部装置之间进行通信。在计算机60作为控制单元12发挥功能的情况下，外部装置例如是加载单元13、检查单元17以及管理装置20。在计算机60作为管理装置20发挥功能的情况下，外部装置例如是多个检查装置10A、10B及10C。通信I/F 65经由通信线路从外部装置接收数据并将该数据发送至CPU 61，CPU61经由通信线路将所生成的数据发送至外部装置。
CPU 61经由输入输出I/F 66来控制触摸面板等输入装置以及显示器等输出装置。CPU 61经由输入输出I/F 66获取从输入装置输入的信号并将该信号发送至CPU 61。另外，CPU 61经由输入输出I/F 66将所生成的数据输出至输出装置。
介质I/F 67将记录介质68中保存的程序或数据读出后保存于辅助存储装置64。记录介质68例如是DVD(Digital Versatile Disc：数字多功能光盘)、PD(Phase changerewritable Disk：相变可擦写光盘)等光学记录介质、MO(Magneto-Optical disk：磁光盘)等磁光记录介质、带介质、磁记录介质或半导体存储器等。
在计算机60作为控制单元12发挥功能的情况下，CPU 61执行RAM 62上的程序，由此实现摄影控制部120、发送部121、确定部123、***124、接收部125、接受部126以及显示控制部127的各功能。另外，在辅助存储装置64中保存DB 122中的数据。
另外，在计算机60作为管理装置20发挥功能的情况下，CPU 61执行被加载到RAM62上的程序，由此实现显示控制部200、接收部201、倾向确定部203、发送部204以及阈值确定部205的各功能。另外，在辅助存储装置64中保存DB 202中的数据。
CPU 61将被加载到RAM 62上的程序从记录介质68中读出后保存于辅助存储装置64，但作为其它例，也可以经由通信线路从其它装置获取程序后保存于辅助存储装置64。
以上说明了一个实施方式。如上述那样，本实施方式中的探针卡管理***1具备对晶圆W进行检查的多个检查装置10以及管理被用于晶圆W的检查的探针卡176的状态的管理装置20。各个检查装置10具有摄像机178、***124以及发送部121。摄像机178对设置于探针卡176的多个探针177的针尖进行拍摄。***124根据由摄像机178拍摄到的图像来测定各个探针177的针尖的状态，基于测定结果使探针177的针尖与设置于晶圆W的多个测试垫的各测试垫接触，经由多个探针177的针尖向晶圆W提供电信号，由此对晶圆W进行检查。发送部121向管理装置20发送测定结果和由探针卡176进行的检查的执行次数。管理装置20具备阈值确定部205和发送部204。阈值确定部205针对每个探针卡176，基于测定结果和执行次数来确定第一阈值，该第一阈值表示作为探针卡176的寿命的执行次数的阈值。发送部204向用户等外部通知针对每个探针卡176的第一阈值和目前为止的执行次数。由此，探针卡管理***1能够高精度地管理各个探针卡176的寿命。
另外，在上述的实施方式中，管理装置20具有倾向确定部203，该倾向确定部203确定测定结果相对于所述执行次数的变化的倾向。阈值确定部205针对每个探针卡176，基于倾向确定部203确定出的变化的倾向来确定第一阈值。
另外，在上述的实施方式中，阈值确定部205针对每个探针卡176，还基于测定结果的变化的倾向来确定第二阈值，该第二阈值表示需要进行探针卡176的维护的检查的执行次数的阈值。发送部204还向用户等外部通知针对每个探针卡176的第二阈值。由此，用户能够在执行了多次检查的情况下识别是否需要进行探针卡176的维护。
另外，在上述的实施方式中，管理装置20具有显示控制部200，该显示控制部200针对每个探针卡176，将第一阈值和第二阈值显示于显示装置21。由此，管理装置20的用户能够容易地管理多个探针卡176中的接近寿命的探针卡176、需要维护的探针卡176。
另外，在上述的实施方式中，关于第一阈值与目前为止的执行次数之差为第一次数以下的探针卡176，显示控制部200将第一阈值强调显示于显示装置21。另外，关于第二阈值与目前为止的执行次数之差为第二次数以下的探针卡176，显示控制部200将第二阈值强调显示于显示装置21。由此，管理装置20的用户能够在多个探针卡176之中迅速地识别接近维护时期的探针卡176。
另外，在上述的实施方式中，管理装置20具有DB 202，该DB 202针对每个探针卡176保持测定结果和执行次数。显示控制部200在进行了探针卡176的维护的情况下，从DB202中删除该探针卡176的测定结果和执行次数。由此，能够高精度地管理进行了维护的探针卡176的下一次维护时期、寿命。
另外，在上述的实施方式中，由确定部123测定出的各个探针177的针尖的测定结果包括各个探针177的针尖的位置和大小的测定值。由此，能够根据测定结果的变化的倾向来确定各个探针177的针尖的消耗状态的倾向。
另外，在上述的实施方式中，确定部123使用由摄像机178在各个探针177的高度方向上的各位置处以在一个图像内拍进多个探针177的针尖的方式拍摄到的图像，针对每个探针177，基于聚焦的探针177的针尖的图像和拍摄到该图像时的摄像机178的位置来确定探针177的针尖的位置。由此，能够在短时间内高精度地确定各个探针177的针尖的位置。
[其它]
此外，本申请所公开的技术并不限定于上述的实施方式，能够在其主旨的范围内进行各种变形。
例如，在上述的实施方式中，对探针卡176贴附有记载了卡ID的贴签等，控制单元12根据由摄像机178拍摄到的图像来获取探针卡176的卡ID，但公开的技术不限于此。作为其它例，也可以是，在探针卡176安装例如记录有卡ID的RF标签，控制单元12经由设置在检查单元17内的读取装置来获取RF标签中的卡ID。
另外，在上述的实施方式中，在检查开始前进行探针卡176的对准，之后，每当由用户指定的数量的晶圆W的检查结束时，进行探针卡176的对准。但是，公开的技术不限于此。也可以是，每当一张晶圆W的检查结束时，进行探针卡176的对准。或者，也可以是，与由用户指定的数量无关地，每当规定数(例如25张)晶圆W的检查结束时，进行探针卡176的对准。
此外，应该认为本次公开的实施方式在所有方面均为例示，而非限制性的。实际上，上述的实施方式能够由多种方式来具体实现。例如，可以是针对一个或多个加载单元设置有多个检查单元的检查装置。在该情况下，可以将该检查装置视作一个检查装置，也可以将多个检查单元视作多个检查装置。另外，上述的实施方式可以不脱离所附的权利要求书及其主旨的范围内以各种方式进行省略、置换、变更。

Claims (9)

1.一种探针卡管理***，具备：
多个检查装置，所述多个检查装置对被检查体进行检查；以及
管理装置，其与各个所述检查装置以能够相互通信的方式连接，并管理各个所述检查装置的被用于所述被检查体的检查的探针卡的状态，
其中，各个所述检查装置具有：
摄像机，其对设置于所述探针卡的多个探针的针尖进行拍摄；
***，其根据由所述摄像机拍摄到的图像来测定各个所述探针的针尖的状态，基于测定结果使所述探针的针尖与设置于所述被检查体的多个测试垫的各测试垫接触，经由多个所述探针的针尖向所述被检查体提供电信号，由此对所述被检查体进行检查；以及
发送部，其向所述管理装置发送所述测定结果和由所述探针卡进行的所述检查的执行次数，
所述管理装置具有：
阈值确定部，其针对每个所述探针卡，基于所述测定结果和所述执行次数来确定第一阈值，该第一阈值表示作为所述探针卡的寿命的所述执行次数的阈值；以及
通知部，其向外部通知针对每个所述探针卡的所述第一阈值和目前为止的所述执行次数，
并且，所述测定结果中包括各个所述探针的针尖的位置和大小的测定值。
2.根据权利要求1所述的探针卡管理***，其特征在于，
所述管理装置具有倾向确定部，所述倾向确定部确定所述测定结果相对于所述执行次数的变化的倾向，
所述阈值确定部针对每个所述探针卡，基于由所述倾向确定部确定出的变化的倾向来确定所述第一阈值。
3.根据权利要求2所述的探针卡管理***，其特征在于，
所述阈值确定部针对每个所述探针卡，还基于所述变化的倾向来确定第二阈值，该第二阈值表示需要进行所述探针卡的维护的所述检查的执行次数的阈值，
所述通知部还向外部通知针对每个所述探针卡的所述第二阈值。
4.根据权利要求3所述的探针卡管理***，其特征在于，
所述管理装置具有数据管理部，所述数据管理部针对每个所述探针卡，将所述第一阈值及所述第二阈值与目前为止的所述执行次数一同显示于显示装置。
5.根据权利要求4所述的探针卡管理***，其特征在于，
关于所述第一阈值与目前为止的所述执行次数的差为第一次数以下的所述探针卡，所述数据管理部将所述第一阈值强调显示于所述显示装置，关于所述第二阈值与目前为止的所述执行次数的差为第二次数以下的所述探针卡，所述数据管理部将所述第二阈值强调显示于所述显示装置。
6.根据权利要求4或5所述的探针卡管理***，其特征在于，
所述管理装置具有保持部，所述保持部针对每个所述探针卡保持所述测定结果和所述执行次数，
所述数据管理部在进行了所述探针卡的维护的情况下，从所述保持部删除该探针卡的所述测定结果和所述执行次数。
7.根据权利要求6所述的探针卡管理***，其特征在于，
所述检查装置具有确定部，所述确定部使用由所述摄像机在各个所述探针的高度方向上的各位置处以在一个图像内拍进多个所述探针的针尖的方式拍摄到的图像，针对每个所述探针，基于聚焦的所述探针的针尖的图像和拍摄到该图像时所述摄像机的位置来确定所述探针的针尖的位置。
8.一种探针卡管理方法，是探针卡管理***中的探针卡管理方法，所述探针卡管理***具备：多个检查装置，所述多个检查装置对被检查体进行检查；以及管理装置，所述管理装置与各个所述检查装置以能够相互通信的方式连接，并管理各个所述检查装置的被用于所述被检查体的检查的探针卡的状态，
各个所述检查装置执行以下工序：
摄影工序，利用摄像机对设置于所述探针卡的各个探针进行拍摄；
测定工序，使用由所述摄像机拍摄到的图像来测定各个所述探针的状态；
检查工序，使用所述探针卡使所述探针的针尖与设置于所述被检查体的多个测试垫的各测试垫接触，经由多个所述探针的针尖向所述被检查体提供电信号，由此对所述被检查体进行检查；以及
发送工序，向所述管理装置发送所述测定的结果和由所述探针卡进行的所述检查的执行次数，
所述管理装置执行以下工序：
阈值确定工序，针对每个所述探针卡，基于所述测定的结果和所述执行次数来确定第一阈值，该第一阈值表示作为所述探针卡的寿命的所述执行次数的阈值；以及
通知工序，向外部通知针对每个所述探针卡的所述第一阈值，
并且，所述测定的结果中包括各个所述探针的针尖的位置和大小的测定值。
9.根据权利要求8所述的探针卡管理方法，其特征在于，
所述管理装置执行确定所述测定的结果相对于所述执行次数的变化的倾向的倾向确定工序，
在所述阈值确定工序中，针对每个所述探针卡，基于确定出的变化的倾向来确定所述第一阈值。
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