JP2016206105A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態によるプローブカード1の一構成例を示した図であり、カンチレバー型のプローブカード1が示されている。図中の(a)には、プローブカード1の下面が示され、(b)には、プローブカード1を水平方向から見た場合が示されている。図2は、図1のプローブカード1をA−A切断線により切断した場合の切断面を示した断面図である。
図3は、図1のプローブカード1を下方から撮影するカメラ110を備えるプローバ100の構成例を模式的に示した説明図である。図4は、図3のプローバ100の動作の一例を示した図である。図中の(a)には、カメラ110を用いてプローブ2の針先部24を撮影する場合が示され、(b)には、セラミック板3のアライメントピン32を撮影する場合が示されている。
10 配線基板
11 外部端子
12 電極パッド
2 プローブ
20 プローブ列
21 針元部
22 中間部
23 屈曲部
24 針先部
3 セラミック板
31 凹部
32 アライメントピン
33 凹部
4 支持板
41 凸部
5 台座板
6 補強板
7 開口部
100 プローバ
101 ウエハチャック
102 半導体ウエハ
103 可動ステージ
110 カメラ
111,112 撮影画像
h 突出高さ
Claims (5)
- 2以上の電極パッドが下面に設けられた配線基板と、
針元部、中間部、屈曲部及び針先部を有し、前記針元部が前記電極パッドに接続され、前記中間部が前記針元部及び前記屈曲部を連結し、前記屈曲部が前記配線基板から離れる方向へ屈曲して前記針先部に連結する2以上のカンチレバー型のプローブと、
前記プローブの前記中間部を支持して、前記配線基板に固定される支持板とを備え、
前記支持板の下面に、セラミック板が設置されていることを特徴とするプローブカード。 - 前記セラミック板は、平板であり、前記配線基板と平行に配置されることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 前記セラミック板は、下面にアライメント用の凹部又は貫通孔を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
- 前記セラミック板は、下面に凹部を有し、上下方向に延びる棒状のアライメントピンが前記凹部内に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
- 前記セラミック板は、下面が、前記配線基板と垂直な方向の距離において、前記針先部の先端と前記屈曲部との間となるように設置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のプローブカード。
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JP2015090491A JP6653996B2 (ja) | 2015-04-27 | 2015-04-27 | プローブカード |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114113968A (zh) * | 2022-01-26 | 2022-03-01 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 晶圆测试装置的调节方法 |
KR102441689B1 (ko) * | 2022-07-28 | 2022-09-08 | 주식회사 유니밴스 | 커넥팅 프로브 카드 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5989430A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-05-23 | アングリアテク・リミテツド | 集積回路の試験用探針器およびその製造方法 |
JPH04113443U (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-05 | 安藤電気株式会社 | プローブへの過負荷防止機構 |
JPH08327658A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-12-13 | Tokyo Electron Ltd | 基板検査装置 |
US6617866B1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-09-09 | Lsi Logic Corporation | Apparatus and method of protecting a probe card during a sort sequence |
JP2007278859A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
-
2015
- 2015-04-27 JP JP2015090491A patent/JP6653996B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5989430A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-05-23 | アングリアテク・リミテツド | 集積回路の試験用探針器およびその製造方法 |
JPH04113443U (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-05 | 安藤電気株式会社 | プローブへの過負荷防止機構 |
JPH08327658A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-12-13 | Tokyo Electron Ltd | 基板検査装置 |
US6617866B1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-09-09 | Lsi Logic Corporation | Apparatus and method of protecting a probe card during a sort sequence |
JP2007278859A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114113968A (zh) * | 2022-01-26 | 2022-03-01 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 晶圆测试装置的调节方法 |
KR102441689B1 (ko) * | 2022-07-28 | 2022-09-08 | 주식회사 유니밴스 | 커넥팅 프로브 카드 |
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