CN201681417U - 探针卡扎针次数计数装置及探针卡 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种探针卡扎针次数计数装置，包括接口、计数模块和显示模块，所述计数模块与接口、显示模块相连接；所述接口接收探针台吸盘的上升/下降信号，并传输给计数模块；所述计数模块记录吸盘的上升/下降次数，作为探针卡的扎针次数，并将所述扎针次数传输给显示模块；所述显示模块接收并显示扎针次数。还涉及一种集成了上述探针卡扎针次数计数装置的探针卡。上述探针卡扎针次数计数装置能够自动统计探针卡扎针次数，快捷准确。还可以根据每片晶圆的扎针次数计算该晶圆应该摊负的探针卡折旧费。

Description

探针卡扎针次数计数装置及探针卡
【技术领域】
本实用新型涉及半导体工业中的测试技术，特别是涉及一种探针卡扎针次数计数装置，还涉及一种具有扎针次数计数功能的探针卡。
【背景技术】
探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台与测试机的信号连接等功能。
测试机(Automatic Test Equipment，ATE)是用于晶圆和其他成品测试的一种专用设备，可以实现各种电参数的测量，和探针台配合可以完成晶圆电参数的测试，其有多个与探针台连接的接口。
探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件，探针卡上的探针直接与晶圆上的锡垫(pad)或凸块(bump)接触，引出电信号，再配合测试机进行测量。探针卡上探针的数量从几根到几百根不等，数量越大探针卡价格越昂贵。探针卡的使用寿命一般都在1000万次以上，因此一个新的探针卡从投入使用到报废的这个过程中需要多次维护。一般要求扎针次数达到100万次时就需要对探针卡进行第一次维护保养，之后每30万次就要进行定期的维护保养。因此，需要对探针卡的扎针次数做出统计。
传统技术中采用人工统计的方法，即由操作员记录探针卡的使用次数。但人工统计非常麻烦、效率低下且容易出错。
【实用新型内容】
为了解决传统的人工统计探针卡扎针次数效率低下且容易出错的问题，有必要提供一种探针卡扎针次数计数装置。
一种探针卡扎针次数计数装置，包括接口、计数模块和显示模块，所述计数模块与接口、显示模块相连接；所述接口接收探针台吸盘的上升/下降信号，并传输给计数模块；所述计数模块记录吸盘的上升/下降次数，作为探针卡的扎针次数，并将所述扎针次数传输给显示模块；所述显示模块接收并显示扎针次数。
优选的，还包括与所述计数模块连接的报警模块；所述计数模块或报警模块内存储有报警阈值，当扎针次数达到报警阈值时，报警模块报警。
优选的，还包括输入模块，所述输入模块与所述计数模块连接，设定报警阈值和对计数模块记录的扎针次数清零；或所述输入模块与报警模块连接，设定报警阈值。
优选的，所述报警模块包括用于取消报警的复位键。
优选的，所述显示模块采用液晶模组进行显示。
还有必要提供一种内置探针卡扎针次数计数装置的探针卡。
一种探针卡，包括探针卡扎针次数计数装置，所述装置包括接口、计数模块和显示模块，所述计数模块与接口、显示模块相连接；所述接口接收探针台吸盘的上升/下降信号，并传输给计数模块；所述计数模块记录吸盘的上升/下降次数，作为探针卡的扎针次数，并将所述扎针次数传输给显示模块；所述显示模块接收并显示扎针次数。
优选的，所述探针卡扎针次数计数装置还包括与所述计数模块连接的报警模块；所述计数模块或报警模块内存储有报警阈值，当扎针次数达到报警阈值时，报警模块报警。
优选的，所述探针卡扎针次数计数装置还包括输入模块，所述输入模块与所述计数模块连接，设定报警阈值和对计数模块记录的扎针次数清零；或所述输入模块与报警模块连接，设定报警阈值。
优选的，所述报警模块包括用于取消报警的复位键。
优选的，所述显示模块采用液晶模组进行显示。
上述探针卡扎针次数计数装置能够自动统计探针卡扎针次数，快捷准确。还可以根据每片晶圆的扎针次数计算该晶圆应该摊负的探针卡折旧费。
上述探针卡内置了探针卡扎针次数计数装置，能够自动统计探针卡扎针次数，快捷准确。还可以根据每片晶圆的扎针次数计算该晶圆应该摊负的探针卡折旧费。增加了产品的易用性且功能更强大，提高了探针卡的附加价值。
【附图说明】
图1是吸盘的上升/下降信号的传输图；
图2是一个实施例中探针卡扎针次数计数装置的结构示意图；
图3是另一个实施例中探针卡扎针次数计数装置的结构示意图；
图4是一个实施例中集成了探针卡扎针次数计数装置的探针卡的示意图。
【具体实施方式】
探针台是使用吸盘(Chuck)对晶圆进行固定，然后通过对吸盘发送上升/下降信号来实现晶圆与探针卡的接触的。传统的探针台会将吸盘的上升/下降信号输出到探针台控制面板的指示灯上。图1是吸盘的上升/下降信号的传输图，探针台100包括主板110和指示灯120，主板110需要将吸盘的上升/下降信号输出给指示灯120。
图2是一个实施例中探针卡扎针次数计数装置的结构示意图。探针卡扎针次数计数装置200包括接口210、计数模块220、显示模块230、报警模块240以及输入模块250。计数模块220与接口210、显示模块230、报警模块240以及输入模块250均相连接。
接口210接收上述输出给指示灯120的吸盘的上升/下降信号，并传输给计数模块220。
计数模块220接收吸盘的上升/下降信号，并进行计数。可以是接收到一对上升、下降信号就加1，也可以是接收到一个上升(或下降)信号就加1。由于吸盘每上升(或下降)一次晶圆与探针卡就会进行一次接触，即扎针一次。所以计数模块220记录的数据就是探针卡的扎针次数。记录的数据送入显示模块230，当达到事先设定的需要对探针卡进行维护的扎针次数(在优选的实施例中为每300000次)，即报警阈值时，计数模块220对报警模块240发出报警指令。
显示模块230接收计数模块220记录的数据并进行显示。在优选的实施例中，显示模块230可以采用液晶模组进行显示，以获得较小的体积；在其他实施例中也可以采用数码管或其他方式进行显示。在优选的实施例中，显示模块230可以只提供6位数的显示功能，即最大为999999，这样可以节省成本(不光是显示模块230的成本，还包括涉及存储或缓存计数模块220记录的数据的存储单元成本，这些存储单元只要能存储大于999999的数便可，所以成本便可相应减少)。因为用户关心的最主要问题是何时该对探针卡进行维护保养，所以显示模块230能够显示的位数仅需满足探针卡两次维护之间的扎针次数便可(也就是计数模块220记录的位数能大于探针卡两次维护之间的扎针次数便可)。当然，显示模块230也可以采用能显示更多位数的部件，记录探针卡整个寿命中扎针的次数。
报警模块240接收计数模块220发出的报警指令进行报警，提醒操作员探针卡需要维护了。报警模块240还包括复位键，用于取消报警。
输入模块250用于设定报警阈值。输入模块250还具备对计数模块220清零的功能。在优选的实施例中，清零可以是达到报警阈值后自动进行。
图3是另一个实施例中探针卡扎针次数计数装置的结构示意图。在这个实施例中，探针卡扎针次数计数装置200包括接口210、计数模块220、显示模块230、报警模块240。计数模块220与接口210、显示模块230、报警模块240均相连接。
其与上一个实施例的主要区别在于，报警模块240自带设置报警阈值的功能，计数模块220亦自带清零的功能。并且计数模块220不用于发送报警指令，而是将记录的数据传输给报警模块240，由报警模块240根据报警阈值来进行是否报警的判断。
上述装置统计出的扎针次数为估算成本提供了科学依据。例如一块探针卡的总扎针次数是1000万次，探针卡价格为4万圆，在某片圆片的测试中扎针次数为1万次，则在这片圆片上摊负的探针卡的折旧费为：40000*10000/10000000＝40圆。
上述探针卡扎针次数计数装置既可以采用“外挂式”，即做成一个独立的装置；也可以做成“嵌入式”，即集成在探针卡上。“外挂式”方案通用性强，适用于不同种类的探针台和探针卡，且可以反复多次使用。而“嵌入式”方案比较适合探针卡的生产厂家，集成了上述探针卡扎针次数计数装置的探针卡，增加了产品的易用性且功能更强大，提高了探针卡的附加价值。
图4是一个实施例中集成了探针卡扎针次数计数装置的探针卡的示意图。探针卡300包括探针卡与测试机的测试接口310和探针320，还集成了探针卡扎针次数计数装置。探针卡扎针次数计数装置的结构与图2或图3所示实施例相同，但是计数模块220和输入模块250等并非设于探针卡300表面，因此图4中未示，图中只能看见接口210、显示模块230及报警模块240。
上述探针卡扎针次数计数装置能够自动统计探针卡扎针次数，快捷准确。还可以根据每片晶圆的扎针次数计算该晶圆应该摊负的探针卡折旧费。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种探针卡扎针次数计数装置，其特征在于，包括接口、计数模块和显示模块，所述计数模块与接口、显示模块相连接；
所述接口接收探针台吸盘的上升/下降信号，并传输给计数模块；
所述计数模块记录吸盘的上升/下降次数，作为探针卡的扎针次数，并将所述扎针次数传输给显示模块；
所述显示模块接收并显示扎针次数。
2.根据权利要求1所述的探针卡扎针次数计数装置，其特征在于，还包括与所述计数模块连接的报警模块；
所述计数模块或报警模块内存储有报警阈值，当扎针次数达到报警阈值时，报警模块报警。
3.根据权利要求2所述的探针卡扎针次数计数装置，其特征在于，还包括输入模块，所述输入模块与所述计数模块连接，设定报警阈值和对计数模块记录的扎针次数清零；或所述输入模块与报警模块连接，设定报警阈值。
4.根据权利要求2或3所述的探针卡扎针次数计数装置，其特征在于，所述报警模块包括用于取消报警的复位键。
5.根据权利要求1-3中任意一项所述的探针卡扎针次数计数装置，其特征在于，所述显示模块采用液晶模组进行显示。
6.一种探针卡，其特征在于，包括探针卡扎针次数计数装置，所述装置包括接口、计数模块和显示模块，所述计数模块与接口、显示模块相连接；
所述接口接收探针台吸盘的上升/下降信号，并传输给计数模块；
所述计数模块记录吸盘的上升/下降次数，作为探针卡的扎针次数，并将所述扎针次数传输给显示模块；
所述显示模块接收并显示扎针次数。
7.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡扎针次数计数装置还包括与所述计数模块连接的报警模块；
所述计数模块或报警模块内存储有报警阈值，当扎针次数达到报警阈值时，报警模块报警。
8.根据权利要求7所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡扎针次数计数装置还包括输入模块，所述输入模块与所述计数模块连接，设定报警阈值和对计数模块记录的扎针次数清零；或所述输入模块与报警模块连接，设定报警阈值。
9.根据权利要求7或8所述的探针卡，其特征在于，所述报警模块包括用于取消报警的复位键。
10.根据权利要求6-8中任意一项所述的探针卡，其特征在于，所述显示模块采用液晶模组进行显示。
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