CN110643938B - 掩膜板组件 - Google Patents

掩膜板组件 Download PDF

Info

Publication number
CN110643938B
CN110643938B CN201911056615.5A CN201911056615A CN110643938B CN 110643938 B CN110643938 B CN 110643938B CN 201911056615 A CN201911056615 A CN 201911056615A CN 110643938 B CN110643938 B CN 110643938B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mask plate
mounting
frame
mask
supporting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911056615.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110643938A (zh
Inventor
吕守华
李宝军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Ordos Yuansheng Optoelectronics Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Ordos Yuansheng Optoelectronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Ordos Yuansheng Optoelectronics Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201911056615.5A priority Critical patent/CN110643938B/zh
Publication of CN110643938A publication Critical patent/CN110643938A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110643938B publication Critical patent/CN110643938B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本发明提供一种掩膜板组件,属于显示技术领域,其可至少部分解决现有的掩膜板组件的利用率低而造成的生产成本增加、资源浪费的问题。本发明的一种掩膜板组件,其包括:框架,包括开口部分以及围绕开口部分的边框部分;支撑掩膜板,设置于框架的一侧,支撑掩膜板包括与开口部分对应的至少一个有效开口和至少一个第一测试孔,支撑掩膜板的精度为1~10um;至少一个遮挡条,遮挡条用于覆盖第一测试孔。

Description

掩膜板组件
技术领域
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种掩膜板组件。
背景技术
在显示面板的制作过程中,通过掩膜板的设置将蒸镀材料准确的蒸镀至玻璃基板的特定位置,以形成显示屏中的各种结构,如像素结构等。在不同的工艺的需求下,掩膜板的种类有很多。其中的,一种为公共层开口掩膜板91,如图1a所示,其中具有多个开口91,每一个开口911对应一个显示屏的位置,通过公共层开口掩膜板91蒸镀至玻璃基板的蒸镀材料需要布满每个显示屏对应的玻璃基板,故公共层开口掩膜板91的精度较低;另一种为发光层遮挡掩膜板92,如图1b所示,其中具有多个有效开口,每个有效开口可以限定一个显示屏的精确的形状,故发光层遮挡掩膜板92的精度比公共层开口掩膜板的精度高。
由于发光层遮挡掩膜板92的精度比公共层开口掩膜板91的精度高,因此使用过的公共层开口掩膜板91不能用作发光层遮挡掩膜板92;又由于发光层遮挡掩膜板92具有多个测试孔921,而公共层开口掩膜板91不具有测试孔,因此使用过的发光层遮挡掩膜板92不能用作公共层开口掩膜板91。这就造成在制作显示屏的过程中生产成本增加、资源浪费。
发明内容
本发明至少部分解决现有的掩膜板组件的利用率低而造成的生产成本增加、资源浪费的问题,提供一种利用率高的掩膜板组件。
解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种掩膜板组件,包括:
框架,包括开口部分以及围绕所述开口部分的边框部分;
支撑掩膜板,设置于所述框架的一侧,所述支撑掩膜板包括与所述开口部分对应的至少一个有效开口和至少一个第一测试孔,所述支撑掩膜板的精度为1~10um;
至少一个遮挡条,所述遮挡条用于覆盖所述第一测试孔。
进一步优选的是,所述框架还包括:设置于所述边框部分朝向所述支撑掩膜板的一侧的至少一个安装槽,所述遮挡条的至少部分位于所述安装槽中以使所述遮挡条固定在所述框架上。
进一步优选的是,所述框架还包括:设于所述安装槽中的至少一个安装柱,所述安装柱的高度与所述安装槽的深度相同,所述安装柱的顶面与所述支撑掩膜板固定连接;所述遮挡条设置有位于边缘的安装结构,所述安装结构固定于所述安装槽和所述安装柱形成的间隙中,以使所述遮挡条与所述安装槽的底面固定连接。
进一步优选的是,所述安装柱的垂直于所述支撑掩膜板且平行于第一方向的横截面为梯形,所述梯形的短边靠近所述安装槽的槽底,所述梯形的长边远离所述安装槽的槽底。
进一步优选的是,每个遮挡条的两端均具有安装结构,所述安装槽的数量为多个,在平行于第二方向的方向上,所述安装槽两两相对设置,以使任意一个所述遮挡条的两端的安装结构分别设置于相对的两个所述安装槽中,所述第二方向与所述第一方向垂直,且所述第一方向和所述第二方向均与所述支撑掩膜板所在的平面平行。
进一步优选的是,所述第一测试孔的数量为多个,所述第一测试孔位于平行于任意相对的两个所述安装槽的连线的线上。
进一步优选的是,所述有效开口的数量为多个,所述有效开口位于任意相邻的两行所述第一测试孔之间,
进一步优选的是,该掩膜板组件还包括:至少一个金属掩膜条,能够覆盖所述有效开口,当所述遮挡条未设置在所述框架上时,所述金属掩膜条设置在所述支撑掩膜板远离所述框架的一侧。
进一步优选的是,所述金属掩膜条包括:与所述第一测试孔对应的第二测试孔、与所述有效开口对应的像素有效开口。
进一步优选的是,所述框架还包括:支撑部分,设置于所述边框部分背向所述支撑掩膜板的一侧,与所述边框部分远离所述开口部分的位置固定连接,用于支撑所述边框部分。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1a为现有的公共层开口掩膜板的俯视结构图;
图1b为现有的发光层遮挡掩膜板的俯视结构图
图2a为本发明的实施例的一种掩膜板组件的设有遮挡条的俯视结构图;
图2b为图2a的A-A的截面示意图;
图3a为本发明的实施例的一种掩膜板组件的设有金属掩膜条的俯视结构图;
图3b为图3a的B-B的截面示意图;
图3c为图3a的C-C的截面示意图;
图4为本发明的实施例的一种掩膜板组件的遮挡条的局部俯视图;
图5a为本发明的实施例的一种掩膜板组件的安装槽的局部俯视图;
图5b为图5a的D-D的截面示意图;
图6为本发明的实施例的一种掩膜板组件的遮挡条和安装槽的局部俯视图;
图7a为本发明的实施例的一种掩膜板组件的遮挡条、安装槽和支撑掩膜板的局部俯视图;
图7b为图7a的E-E的截面示意图;
其中,附图标记为:1、框架;11、开口部分;12、边框部分;121、安装槽;122、安装柱;13、支撑部分;2、支撑掩膜板;21、有效开口;22、第一测试孔;3、遮挡条;31、安装结构;4、金属掩膜条;41、第二测试孔;42、像素有效开口;91、公共层开口掩膜板;911、开口;92、发光层遮挡掩膜板;921、测试孔。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。
以下将参照附图更详细地描述本发明。在各个附图中,相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见,附图中的各个部分没有按比例绘制。此外,在图中可能未示出某些公知的部分。
在下文中描述了本发明的许多特定的细节,例如部件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术,以便更清楚地理解本发明。但正如本领域的技术人员能够理解的那样,可以不按照这些特定的细节来实现本发明。
实施例1:
如图2a至图7a所示,本实施例提供一种掩膜板组件,包括:
框架1,包括开口部分11以及围绕开口部分11的边框部分12;
支撑掩膜板2,设置于框架1的一侧,支撑掩膜板2包括与开口部分11对应的至少一个有效开口21和至少一个第一测试孔22,支撑掩膜板2的精度为1~10um;
至少一个遮挡条3,遮挡条3用于覆盖第一测试孔22。
其中,支撑掩膜板2的精度为1~10um时,也就是说支撑掩膜板2的有效开口21的精度可用于制作显示屏的各个类似像素大小的结构,具体的,支撑掩膜板2的精度像素精度级。
具体的,在蒸镀过程中,框架1的底面支撑于蒸镀载台上,即框架1的边框部分12的底面支撑于蒸镀载台上,框架1的开口部分11可使蒸镀材料从下至上通过。支撑掩膜板2设置于框架1的上面,待蒸镀的玻璃基板设置于支撑掩膜板2的上面,这样蒸镀材料,经过框架1的开口部分11后,再经过支撑掩膜板2最终到达玻璃基板上,以形成特定的图案。
现有技术中的两种掩膜板:发光层遮挡掩膜板和公共层开口掩膜板。由于发光层遮挡掩膜板的精度(精度为1~10um)比公共层开口掩膜板(精度为30~200um)的精度高,因此使用过的公共层开口掩膜板不能用作发光层遮挡掩膜板;又由于发光层遮挡掩膜板具有多个测试孔,而公共层开口掩膜板不具有测试孔,因此使用过的发光层遮挡掩膜板不能用作公共层开口掩膜板。
而本实施例的掩膜板组件中,由于支撑掩膜板2的精度为像素精度级(即相当于现有技术中的发光层遮挡掩膜板精度),如图2a所示,当遮挡条3将支撑掩膜板2的第一测试孔22遮挡住、且不遮挡有效开口21时形成的掩膜板组件可用作公共层开口掩膜板,使得从下至上的蒸镀材料不会通过第一测试孔22;如图3a所示,当遮挡条3不设置在支撑掩膜板2上,即遮挡条3即不遮挡有效开口21也不遮挡第一测试孔22,框架1和支撑掩膜板2形成的掩膜板可作为发光层遮挡掩膜板。
此外,框架1可由铟瓦或镍铁合金材料形成;遮挡条3可由铟瓦合金材料形成,其厚度可为30~100μm,宽度可为1.5~5μm;支撑掩膜板2厚度可为100~200μm。
本实施例的掩膜板组件中,通过设置遮挡条3将用作发光层遮挡掩膜板的掩膜板组件变成可用作公共层开口掩膜板的掩膜板组件,从而可减少显示屏的制作中掩膜板的成本(减少发光层遮挡掩膜板的闲置处理)、减少资源的浪费。
优选的,框架1还包括:设置于边框部分12朝向支撑掩膜板2的一侧的至少一个安装槽121(预留焊接槽),遮挡条3的至少部分位于安装槽121中以使遮挡条3固定在框架1上。
具体的,如图2b所示,遮挡条3设置在框架1与边框部分12之间。并通过边框部分12的安装槽121将遮挡条3固定在框架1,此处的固定可以是焊接或者其他形式的固定连接。
此外,安装槽121深度可与遮挡条3的厚度相近,即安装槽121深度等于遮挡条3的厚度±10μm,优选的,安装槽121深度大于等于遮挡条3的厚度。
将遮挡条3通过安装槽121的方式固定在边框部分12可以避免遮挡条3对支撑掩膜板2安装的影响,即安装支撑掩膜板2的边框部分12表面不会有凸起的部分(若将遮挡条3直接固定在边框部分12的表面,遮挡条3的设置会使安装支撑掩膜板2具有凸起)。
优选的,框架1还包括:设于安装槽121中的至少一个安装柱122,安装柱122的高度与安装槽121的深度相同,安装柱122的顶面与支撑掩膜板2固定连接;遮挡条3设置有位于边缘的安装结构31,安装结构31固定于安装槽121和安装柱122形成的间隙中,以使遮挡条3与安装槽121的底面固定连接。
其中,如图4至图6所示,也就是说安装槽121的槽底具有向槽口凸起的安装柱122,且安装柱122的上表面与安装槽121槽口的边缘位于同一平面。如图4所示,遮挡条3的安装结构31具体的为能够位于安装槽121和安装柱122间隙中的细条状。
需要说明的是,每个安装槽121的安装柱122可以有多个,这样遮挡条3的安装结构31可位于安装槽121和安装柱122形成的间隙中以及位于不同安装柱122形成的间隙中。安装槽121的宽度等于细条状的数量乘以细条状的宽度,细条状的宽度可为0.4~1μm。
由于支撑掩膜板2需要与框架1的边框部分12的表面固定连接,若安装槽121中不具有安装柱122时,由于安装槽121的凹陷,与安装槽121对应的支撑掩膜板2无法与边框部分12固定,可能会造成支撑掩膜板2的固定不稳定或者造成支撑掩膜板2在安装槽121处的形变,如凹陷。而如图7b所示,通过安装柱122与支撑掩膜板2的固定(支撑掩膜板2的焊接点可以连续),可以使支撑掩膜板2的固定稳定以及使支撑掩膜板2在安装槽121处不发生变形。
优选的,安装柱122的垂直于支撑掩膜板2且平行于第一方向(如图2a中的Y方向)的横截面为梯形,梯形的短边靠近安装槽121的槽底,梯形的长边远离安装槽121的槽底。
其中,也就是说,如图5b所示,安装柱122在安装槽121中呈倒立的梯形柱,面积大的底面积用于与支撑掩膜板2固定连接,面积小的底面积与安装槽121的槽底连接。
这样既保证支撑掩膜板2的固定面积比较大,也为安装结构31留下更多的空间以保证遮挡条3的固定。
优选的,每个遮挡条3的两端均具有安装结构31,安装槽121的数量为多个,在平行于第二方向(如图2a中的X方向)的方向上,安装槽121两两相对设置,以使任意一个遮挡条3的两端的安装结构31分别设置于相对的两个安装槽121中,第二方向与所述第一方向垂直,且第一方向和所述第二方向均与所述支撑掩膜板所在的平面平行。
其中,如图2a所示,即一个遮挡条3与两个相对的安装槽121固定,这样该遮挡条3经过框架1的开口部分11的部分正好将支撑掩膜板2的第一测试孔22遮挡住。
需要说明的是,遮挡条3的数量可以是多个,且每一遮挡条3对应两个安装槽121。且遮挡条3可以在沿第一方向上排布,这样可以遮挡更多位置上的第一测试孔22。
优选的,第一测试孔22的数量为多个,第一测试孔22位于平行于任意相对的两个安装槽121的连线的线上。
其中,如图2a所示,第一测试孔22呈多行排列。
当第一测试孔22位于平行于任意相对的两个安装槽121的连线的线上时,遮挡条3位于框架1的开口部分11正好可以遮挡住第一测试孔22。
优选的,有效开口21的数量为多个,有效开口21位于任意相邻的两行第一测试孔22之间。
其中,如图2a所示,将有效开口21位于任意相邻的两行第一测试孔22之间可以避免遮挡条3对有效开口21的遮挡,从而保证了掩膜板组件的结构性能。
需要说明的是,有效开口21排布不仅限于上述排布,其排布方式也可以是其他的合适的排布方式。
优选的,本实施例的掩膜板组件还包括:至少一个金属掩膜条4,能够覆盖有效开口21,当遮挡条3未设置在框架1上时,金属掩膜条4设置在支撑掩膜板2远离框架1的一侧。
其中,也就是说,如图3a所示,若遮挡条3不固定在框架1上,且将金属掩膜条4固定在支撑掩膜板2的上表面,该掩膜板组件就可以用于发光层遮挡掩膜板。
具体的,金属掩膜条4包括:与第一测试孔22对应的第二测试孔41,以及与有效开口21对应的像素有效开口42。
具体的,第一测试孔22和第二测试孔41的设置是为了检测在蒸镀过程中蒸镀材料是否能够到达玻璃基板上预定的位置,以保证蒸镀产品的良率。像素有效开口42用于形成显示屏中精度比较高的结构,例如像素、电路等。
优选的,框架1还包括:支撑部分13,设置于边框部分12背向支撑掩膜板2的一侧,与边框部分12远离开口部分11的位置固定连接,用于支撑边框部分12。
其中,如图2b所示,支撑部分13可位于蒸镀台(图中未示出)上,即支撑部分13的下表面可直接与蒸镀台接触。
为了将位于玻璃基板下面的蒸镀材料蒸镀至玻璃基板的下表面,需要通过框架1将玻璃基板支撑在蒸镀台上,使得玻璃基板的下表面与蒸镀台具有一定的距离,保证蒸镀的均匀性。
需要说明的是,框架1还包括用于设置夹持玻璃基板的夹持工具的夹持槽。
具体的,蒸镀后的玻璃基板可用于显示装置中,例如可用于液晶显示面板、有机发光二极管(OLED)显示面板、电子纸、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件中。
应当说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
依照本发明的实施例如上文所述,这些实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施例。显然,根据以上描述,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本发明的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (9)

1.一种掩膜板组件,其特征在于,包括:
框架,包括开口部分以及围绕所述开口部分的边框部分;
支撑掩膜板,设置于所述框架的一侧,所述支撑掩膜板包括与所述开口部分对应的至少一个有效开口和至少一个第一测试孔,所述支撑掩膜板的精度为1~10um;
至少一个遮挡条,所述遮挡条上不具有开孔,且其在所述支撑掩膜板表面上的投影呈长方形,所述遮挡条用于覆盖所述第一测试孔;当所述遮挡条覆盖全部所述第一测试孔且不遮挡所述有效开口时,所述掩膜板组件用作公共层开口掩膜板;当所述遮挡条不覆盖所述第一测试孔且不遮挡所述有效开口时,所述掩膜板组件用作发光层遮挡掩膜板;
至少一个金属掩膜条,能够覆盖所述有效开口,当所述遮挡条未设置在所述框架上时,所述金属掩膜条设置在所述支撑掩膜板远离所述框架的一侧。
2.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述框架还包括:设置于所述边框部分朝向所述支撑掩膜板的一侧的至少一个安装槽,所述遮挡条的至少部分位于所述安装槽中以使所述遮挡条固定在所述框架上。
3.根据权利要求2所述的掩膜板组件,其特征在于,所述框架还包括:设于所述安装槽中的至少一个安装柱,所述安装柱的高度与所述安装槽的深度相同,所述安装柱的顶面与所述支撑掩膜板固定连接;
所述遮挡条设置有位于边缘的安装结构,所述安装结构固定于所述安装槽和所述安装柱形成的间隙中,以使所述遮挡条与所述安装槽的底面固定连接。
4.根据权利要求3所述的掩膜板组件,其特征在于,所述安装柱的垂直于所述支撑掩膜板且平行于第一方向的横截面为梯形,所述梯形的短边靠近所述安装槽的槽底,所述梯形的长边远离所述安装槽的槽底。
5.根据权利要求4所述的掩膜板组件,其特征在于,每个遮挡条的两端均具有安装结构,所述安装槽的数量为多个,在平行于第二方向的方向上,所述安装槽两两相对设置,以使任意一个所述遮挡条的两端的安装结构分别设置于相对的两个所述安装槽中,所述第二方向与所述第一方向垂直,且所述第一方向和所述第二方向均与所述支撑掩膜板所在的平面平行。
6.根据权利要求5所述的掩膜板组件,其特征在于,所述第一测试孔的数量为多个,所述第一测试孔位于平行于任意相对的两个所述安装槽的连线的线上。
7.根据权利要求6所述的掩膜板组件,其特征在于,所述有效开口的数量为多个,所述有效开口位于任意相邻的两行所述第一测试孔之间。
8.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述金属掩膜条包括:与所述第一测试孔对应的第二测试孔、与所述有效开口对应的像素有效开口。
9.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述框架还包括:支撑部分,设置于所述边框部分背向所述支撑掩膜板的一侧,与所述边框部分远离所述开口部分的位置固定连接,用于支撑所述边框部分。
CN201911056615.5A 2019-10-31 2019-10-31 掩膜板组件 Active CN110643938B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911056615.5A CN110643938B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 掩膜板组件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911056615.5A CN110643938B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 掩膜板组件

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110643938A CN110643938A (zh) 2020-01-03
CN110643938B true CN110643938B (zh) 2022-07-05

Family

ID=68995348

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911056615.5A Active CN110643938B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 掩膜板组件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110643938B (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105039907A (zh) * 2015-09-22 2015-11-11 深圳市华星光电技术有限公司 一种掩膜板的固定组件
CN107419218A (zh) * 2017-07-28 2017-12-01 京东方科技集团股份有限公司 掩模版框架、蒸镀装置及掩模版框架定位方法
CN108220885A (zh) * 2016-12-14 2018-06-29 大日本印刷株式会社 蒸镀掩模装置和蒸镀掩模装置的制造方法
CN108374145A (zh) * 2017-02-01 2018-08-07 三星显示有限公司 掩模组件
CN108588639A (zh) * 2018-04-25 2018-09-28 京东方科技集团股份有限公司 掩膜组件和掩膜***
CN108977762A (zh) * 2017-06-05 2018-12-11 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板、套装掩膜板和蒸镀***
CN109585695A (zh) * 2017-09-29 2019-04-05 昆山国显光电有限公司 蒸镀掩膜板、oled面板及***及蒸镀监控方法
CN110048007A (zh) * 2019-04-25 2019-07-23 云谷(固安)科技有限公司 掩膜版及其制造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105039907A (zh) * 2015-09-22 2015-11-11 深圳市华星光电技术有限公司 一种掩膜板的固定组件
CN108220885A (zh) * 2016-12-14 2018-06-29 大日本印刷株式会社 蒸镀掩模装置和蒸镀掩模装置的制造方法
CN108374145A (zh) * 2017-02-01 2018-08-07 三星显示有限公司 掩模组件
CN108977762A (zh) * 2017-06-05 2018-12-11 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板、套装掩膜板和蒸镀***
CN107419218A (zh) * 2017-07-28 2017-12-01 京东方科技集团股份有限公司 掩模版框架、蒸镀装置及掩模版框架定位方法
CN109585695A (zh) * 2017-09-29 2019-04-05 昆山国显光电有限公司 蒸镀掩膜板、oled面板及***及蒸镀监控方法
CN108588639A (zh) * 2018-04-25 2018-09-28 京东方科技集团股份有限公司 掩膜组件和掩膜***
CN110048007A (zh) * 2019-04-25 2019-07-23 云谷(固安)科技有限公司 掩膜版及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN110643938A (zh) 2020-01-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20230079712A1 (en) Mask frame and evaporation mask assembly
US9709864B2 (en) Array substrate and its manufacturing method and display device
US20210164087A1 (en) Mask frame assembly and evaporation device
JP4444909B2 (ja) マスク組立体及びそれを用いたマスクフレーム組立体
CN109487206B (zh) 掩膜版及采用该掩膜版的掩膜装置
CN110629160B (zh) 掩膜板组件
CN110262108B (zh) 显示面板和显示装置
KR101082610B1 (ko) 터치패널용 면상 부재 및 이의 제조 방법
KR20190032492A (ko) 액정 디스플레이 패널 및 액정 디스플레이 장치
CN110376776B (zh) 一种显示面板及显示装置
JP2017503219A (ja) ディスプレイ装置及びその製造方法
US20220384726A1 (en) Mask device and manufacturing method thereof, evaporation method and display device
US11100832B2 (en) Display panel having special-shaped area and display device
US20210208449A1 (en) Liquid crystal display panel and method for manufacturing same, and liquid crystal display
CN210193986U (zh) 掩模板组件
CN103424925A (zh) 一种阵列基板及其制造方法、显示装置
US9810954B2 (en) Display panel with primary spacer and secondary spacer and method for manufacturing the same and display device
CN110643938B (zh) 掩膜板组件
CN111638616A (zh) 显示基板及其制作方法、显示面板及其制作方法
US20210302795A1 (en) Display panel and manufacturing method thereof
US11957035B2 (en) Mask assembly and display device including island shelters contacting substrate through mounting holes
CN105140240B (zh) 柔性基板及其制作方法、显示装置
WO2021052259A1 (zh) 一种掩膜版、掩膜版制备方法以及驱动背板母板
KR20190034334A (ko) 어레이 기판 및 액정 디스플레이 패널
US20200142537A1 (en) Touch panel and display device

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant