CN210193986U - 掩模板组件 - Google Patents

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徐倩
Jianpeng Wu
吴建鹏
Chang Luo
罗昶
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Abstract

本公开的实施例提供了一种掩模板组件，包括：网状掩模板；框架，所述框架与所述网状掩模板的四周相连接以支撑所述网状掩模板；以及支撑条，所述支撑条具有第一端和第二端，所述第一端固定于所述框架的一个边部，所述第二端固定于所述框架的另一边部，所述支撑条与所述框架一起支撑所述网状掩模板。该掩模板组件通过设置支撑条可减小框架的变形，提高使用该掩模板组件进行工艺制作的精度。

Description

掩模板组件
技术领域
本公开涉及半导体工艺领域，尤其涉及一种掩模板组件。该掩模板组件可特别用于有机发光二极管显示器件的制作。
背景技术
OLED(有机发光二极管)显示技术，由于其具有设备轻薄、广视角、亮度高、色彩艳丽等优点，已经成为显示技术领域的主流发展方向之一。
OLED器件的主流制作工艺是利用金属掩模板蒸镀发光材料，而蒸镀用的金属掩模板组件是通过张网焊接等工艺将掩模板固定到金属框架上组装而成。当将掩模板张网焊接到框架上时，为了保证掩模板网下垂量大小等满足规格要求，对掩模板需要施加一定大小的张网力。
实用新型内容
本公开的实施例提供了一种掩模板组件，包括：网状掩模板；框架，所述框架与所述网状掩模板的四周相连接以支撑所述网状掩模板；以及支撑条，所述支撑条具有第一端和第二端，所述第一端固定于所述框架的一个边部，所述第二端固定于所述框架的另一边部，所述支撑条与所述框架一起支撑所述网状掩模板。
在一些实施例中，所述网状掩模板包括：至少一条第一肋，所述第一肋沿着第一方向延伸；以及至少一条第二肋，所述第二肋沿着第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向相互交叉，所述多条第二肋与所述多条第一肋相互交叉，其中，所述掩模板组件包括一个或多个所述支撑条，所述一个或多个所述支撑条中的每个所述支撑条在与所述网状掩模板平行的平面上的正投影落入到所述至少一条第一肋和第二肋中的与所述支撑条对应的一条肋在与所述网状掩模板平行的平面上的正投影内。
在一些实施例中，所述掩模板组件包括沿着第一方向延伸的第一组所述支撑条和沿着第二方向延伸的第二组所述支撑条，第一组所述支撑条和第二组所述支撑条均包括一个或多个支撑条。
在一些实施例中，所述框架的内周在与所述网状掩模板平行的平面上的正投影为矩形形状，所述矩形具有长边和短边，所述掩模板组件包括沿着平行于所述矩形的短边的方向延伸的所述支撑条或者沿着平行于所述矩形的长边的方向延伸的所述支撑条。
在一些实施例中，所述掩模板组件包括沿着平行于所述矩形的短边的方向延伸的、相对于所述长边的对称轴对称分布的多个所述支撑条；或者所述掩模板组件包括沿着平行于所述矩形的长边的方向延伸的、相对于所述短边的对称轴对称分布的多个所述支撑条。
在一些实施例中，所述框架的内周在与所述网状掩模板平行的平面上的正投影为矩形形状，所述矩形具有长边和短边，所述掩模板组件包括沿着平行于所述矩形的短边的方向延伸的第一组所述支撑条以及沿着平行于所述矩形的长边的方向延伸的第二组所述支撑条。
在一些实施例中，所述第一组所述支撑条包括相对于所述长边的对称轴对称分布的多个所述支撑条；且所述第二组所述支撑条包括相对于所述短边的对称轴对称分布的多个所述支撑条。
在一些实施例中，每个所述支撑条的第一端设置于所述框架上的第一端容纳槽中，每个所述支撑条的第二端设置于所述框架上的第二端容纳槽中，在垂直于所述网状掩模板所在平面的方向上，所述第一端容纳槽和第二端容纳槽的深度大于或等于所述支撑条的厚度。
在一些实施例中，所述框架内周侧设置有掩模板容纳槽，所述网状掩模板固定于所述掩模板容纳槽处，在垂直于所述网状掩模板所在平面的方向上，所述第一端容纳槽和所述第二端容纳槽均位于所述掩模板容纳槽的远离所述网状掩模板的一侧。
在一些实施例中，每个所述支撑条接触并支撑所述网状掩模板中与所述支撑条对应的肋。
在一些实施例中，所述支撑条在垂直于所述网状掩模板所在平面的方向上的厚度在50至100微米之间。
附图说明
为了更清楚地说明本公开文本的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图进行简要说明，应当知道，以下描述的附图仅仅涉及本公开文本的一些实施例，而非对本公开文本的限制，其中：
图1示出根据本公开的实施例的一种掩模板组件的结构的仰视示意图；
图2示出根据本公开的实施例的另一种掩模板组件的结构的仰视示意图；
图3示出根据本公开的实施例的再一种掩模板组件的结构的仰视示意图；
图4示意性地示出沿着图1中线A-A’截得的示意性剖视图；
图5示意性地示出图4中所示的结构的另一种替代结构的剖视图；
图6示意性地示出框架中用于容纳支撑条的槽的一种示例；以及
图7示意性地示出框架中用于容纳支撑条的槽的另一种示例。
具体实施方式
为更清楚地阐述本公开的目的、技术方案及优点，以下将结合附图对本公开的实施例进行详细的说明。应当理解，下文对于实施例的描述旨在对本公开的总体构思进行解释和说明，而不应当理解为是对本公开的限制。在说明书和附图中，相同或相似的附图标记指代相同或相似的部件或构件。为了清晰起见，附图不一定按比例绘制，并且附图中可能省略了一些公知部件和结构。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。措词“一”或“一个”不排除多个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”“顶”或“底”等等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。当诸如层、膜、区域或衬底基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。
在半导体加工工艺中，蒸镀工艺是一种重要的工艺。例如，在用于制作OLED器件的加工工艺中，就可以采用蒸镀工艺来沉积发光材料层。而在蒸镀工艺中，需要掩模板来实现对结构层(例如发光材料层)的图案化。而掩模板的精度对于加工产品的精度至关重要。如前所述，蒸镀用的金属掩模板组件可以通过张网焊接等工艺将掩模板张网固定到框架上组装而成。为使掩模板保持有较好的平整度，需要对其施加张网力。本申请的发明人已经发现，该掩模板所受的张网力会反向作用到框架上，从而导致框架发生变形，而该变形会影响掩模板的张网、蒸镀精度。框架的变形与网状掩模板的张网作用力关系密切。如果想减小框架变形，不可避免的需要减小网状掩模板的张网力，但张网力减小又会导致网状掩模板的下垂量增大，又会使得张网、蒸镀品质变差。因此，需要找到一种能够同时改善这两个矛盾点的掩模板组件结构。
为了缓解上述问题，本公开的实施例提供了一种掩模板组件100。如图1所示，该掩模板组件100包括网状掩模板10、框架20以及支撑条30。网状掩模板10是该掩模板组件100的主要部分，在蒸镀工艺中，需要基于网状掩模板10的形状来在结构层中形成图案。该网状掩模板10的具体形状可以根据期望利用该掩模板组件100所形成的图案来确定。为了简单起见，在图1中仅仅示出以简单的矩形网格结构，然而本公开的实施例不限于此。框架20与所述网状掩模板10的四周相连接以支撑所述网状掩模板10。框架20与所述网状掩模板10的具体连接方式例如可以包括焊接等固定安装的方式。在一些实施例中，网状掩模板10可以在张紧后固定在框架20上，框架20可支撑网状掩模板10并保持网状掩模板10的张紧状态。所述支撑条30可以具有第一端31和第二端32，所述第一端31固定于所述框架20的一个边部21，所述第二端32固定于所述框架20的另一边部22，于是，支撑条30可以与所述框架20一起支撑所述网状掩模板10。
需要说明的是，在本公开的实施例中，分别用于固定支撑条30的第一端31和第二端32的框架20的“一个边部”和“另一边部”并不是特指框架20的某些边部，而可以是框架20的任意边部。例如，在图1至图3的实施例中，支撑条30的两端可以分别固定在框架20的上边部和下边部，也可以分别固定在框架20的左边部和右边部。对于掩模板组件包括多个支撑条30的情况下，不同的支撑条30的端部可以固定于框架20的同样的边部，也可以固定于框架20的不同的边部。或者说，不同的支撑条30的延伸方向可以相同，也可以不同。在一些实施例中，框架20的边部可以是直的，也可以是弯曲的。
在本公开的实施例中，用于支撑网状掩模板10的不仅仅是框架20，支撑条30也可以对网状掩模板10起到辅助的支撑作用，例如可以使网状掩模板10所需的张网力减小，从而减小框架20的变形以提高利用该掩模板组件10进行图案化(例如在蒸镀过程中)的精度，避免导致发生混色等缺陷而影响产品良率。
在一些实施例中，所述网状掩模板10可包括：沿着第一方向(如图1中所示的x方向)延伸的多条第一肋11；以及沿着第二方向(如图1中所示的y方向)延伸的多条第二肋12。在图1所示的示例中，x方向和y方向是相互垂直的，但本公开的实施例不限于此，只要所述第二方向与所述第一方向相互交叉即可。这样，所述多条第二肋12与所述多条第一肋11能够相互交叉以形成所述网状掩模板10的网状结构。在蒸镀过程中，被蒸发的材料可以被第一肋11和第二肋12遮挡但可以从第一肋11和第二肋12之间的网孔13穿过而实现所蒸镀的材料层的图案化。应当理解，本公开的实施例中第一肋11和第二肋12的数量不限于两条或更多条，例如，也可以仅设置一条第一肋11和/或一条第二肋12。
在一些实施例中，所述掩模板组件100可以包括一个或多个所述支撑条30，每个支撑条30可以与上述第一肋和第二肋中的某条肋对应地设置。所述一个或多个所述支撑条30中的每个所述支撑条30在与所述网状掩模板10平行的平面(例如图1所在的页面)上的正投影落入到所述多条第一肋11和第二肋12中的与所述支撑条30对应的一条肋在与所述网状掩模板10平行的平面上的正投影内。这可以保证在使用掩模板组件100进行图案化的过程中，支撑条30不会遮挡第一肋11和第二肋12之间的网孔13，从而防止支撑条30影响掩模板组件100的图案化精度。
在这种情况下，每个所述支撑条30的宽度小于或等于网状掩模板10的与所述支撑条30对应的肋的宽度。这可以防止支撑条30在宽度上超出网状掩模板10的对应的肋的范围，以使得支撑条30既能够起到支撑作用，又不致妨碍掩模板组件100的正常工作。作为示例，每个所述支撑条30的宽度可以为毫米量级，例如在5毫米至10毫米范围内。
在本公开的实施例中，每个所述支撑条30接触并支撑所述网状掩模板10中与所述支撑条30对应的肋。这可以使支撑条30切实地起到支撑作用。
在一些实施例中，支撑条30可以为大致长方体的形状且在平行于网状掩模板10的平面中具有一致的宽度，但本公开的实施例不限于此，例如，支撑条30在平行于网状掩模板10的平面中的宽度也可以有一定的变化。
在一些实施例中，掩模板组件可以仅包括沿着同一方向延伸的多个支撑条。例如，在图1所示的掩模板组件100中，示出两个支撑条33、34，这两个支撑条33、34均沿着第一方向(x)延伸，而在图2所示的掩模板组件200中，所示出的两个支撑条35、36均沿着第二方向(y)延伸。而在另一些实施例中，所述掩模板组件可以包括沿着第一方向延伸的第一组所述支撑条和沿着第二方向延伸的第二组所述支撑条。例如，在图3所示的掩模板组件300中，设置有两个沿着第一方向(x)延伸的支撑条33、34以及两个沿着第二方向(y)延伸的支撑条35、36。而沿着第一方向(x)延伸的支撑条33、34则可看成是上述第一组支撑条，沿着第二方向(y)延伸的支撑条35、36则可看成是上述第二组支撑条。在实际中可以根据网状掩模板10的具体形状、张网力大小以及框架20的材质等因素来选择采用何种形式的支撑条。通常而言，采用相互交叉的两组支撑条，可以进一步增加补偿框架20的设计灵活性以期获得更好的效果。
在一些实施例中，第一组所述支撑条可包括一个或多个支撑条，第二组所述支撑条可包括一个或多个支撑条。本公开的实施例中对于支撑条的数量不做限定，可以根据实际的需要来选择各组支撑条的具体数量。
在一些实施例中，所述框架20的内周在与所述网状掩模板10平行的平面上的正投影为矩形形状，所述矩形具有长边24和短边23，如图1所示，所述掩模板组件100可以包括沿着平行于所述框架20的短边23的方向延伸的所述支撑条33、34；或者，如图2所示，所述掩模板组件100也可以包括沿着平行于所述框架的长边24的方向延伸的所述支撑条35、36。
在另一些实施例中，如图3所示，所述框架20的内周在与所述网状掩模板10平行的平面上的正投影也为矩形形状，所述矩形具有长边24和短边23，所述掩模板组件包括沿着平行于所述框架20的短边23的方向延伸的第一组所述支撑条33、34以及沿着平行于所述框架的长边24的方向延伸的第二组所述支撑条35、36。
在上述实施例中，框架20的内周在与所述网状掩模板10平行的平面上的正投影为矩形结构，而每个支撑条30的两端分别固定于框架20的两个彼此相对的边部(例如上边部和下边部或者左边部和右边部)。这种结构更为稳固，支撑条的支撑和补偿框架变形的效果也更好。在一些实施例中，在沿着平行于所述框架20的短边23的方向延伸的支撑条有多条的情况下，这些支撑条应当沿着长边24的对称轴X1对称分布；类似地，在沿着平行于所述框架20的长边24的方向延伸的支撑条有多条的情况下，这些支撑条也应当沿着短边23的对称轴Y1对称分布。
在一些实施例中，每个所述支撑条30的第一端31可以设置于所述框架20上的第一端容纳槽27中，每个所述支撑条30的第二端32可以设置于所述框架20上的第二端容纳槽28中。
图4和图5分别示出了支撑条30与网状掩模板10和框架20在垂直于所述网状掩模板10所在平面的方向(例如竖直方向)上的相互位置关系的两种示例。在图4的示例中，网状掩模板10镶嵌于所述框架20内周侧的掩模板容纳槽26(掩模板容纳槽26例如可以为环绕框架20内周侧的凹槽，该凹槽在朝向框架20的上表面25的一侧上可以是开放的(或称所述掩模板容纳槽26的远离支撑条30的一侧是开放的)，如图4所示)中，在此情况下，为了起到支撑作用，支撑条30可位于网状掩模板10的下方，具体地，支撑条30的第一端31可以设置于所述框架20上的、位于掩模板容纳槽26下方的第一端容纳槽27中，而支撑条30的第二端32可以设置于所述框架20上的、位于掩模板容纳槽26下方的第二端容纳槽28中。或者说，在垂直于所述网状掩模板10所在平面的方向上，所述第一端容纳槽27和所述第二端容纳槽28位于所述掩模板容纳槽26的同一侧，如所述第一端容纳槽27和所述第二端容纳槽28均位于所述掩模板容纳槽26的远离网状掩模板10的一侧。
而在图5的示例中，网状掩模板10固定于所述框架20的上表面(在掩模板组件工作时框架20的面朝上的表面)25上，在此情况下，支撑条30同样可位于网状掩模板10的下方，具体地，支撑条30的第一端31可以容纳于所述框架20上的第一端容纳槽27中，而支撑条30的第二端32可以容纳于所述框架20上的第二端容纳槽28中。在该示例中，由于网状掩模板10固定于框架20的上表面25，所以与图4所示的示例相比，支撑条30的位置可以更靠近框架20的上表面25。
需要说明的是，为了更好地示出支撑条30，图1至图3均采取仰视图的方式。而由于遮挡关系的原因，不论网状掩模板10是固定于框架20内周侧的掩模板容纳槽26，还是固定于框架20的上表面25，图1所示的仰视图都是相同的，因此，图4和图5的剖视图所对应的仰视图均可以看成是图1。
在本公开的实施例中，所述第一端容纳槽27和第二端容纳槽28的深度可以大于或等于所述支撑条30在垂直于所述网状掩模板10所在平面的方向上的厚度。为了更清楚地示出第一端容纳槽27和第二端容纳槽28，图6和图7分别示意性地给出了沿着图1中的线B-B’得到的剖视图的两种不同的示例。图6对应于图5，图7对应于图4。在图6中，可以看出第一端容纳槽27(或第二端容纳槽28)位于掩模板容纳槽26的下方。在图7中，可以看出第一端容纳槽27(或第二端容纳槽28)位于靠近框架20的上表面25的位置。
在一些实施例中，所述第一端容纳槽27和第二端容纳槽28在垂直于所述网状掩模板10所在平面的方向上的深度期望与所述支撑条30在垂直于所述网状掩模板10的方向上的厚度相一致。这可以使支撑条30更好地支撑所述网状掩模板10。另外，考虑网状掩模板10可以具有一定的下垂量，第一端容纳槽27和第二端容纳槽28的上述深度可以略大于所述支撑条30的上述厚度，例如第一端容纳槽27和第二端容纳槽28的上述深度可以大于所述支撑条30的上述厚度10微米以内。
在本公开的一些实施例中，所述支撑条30在垂直于所述网状掩模板10所在平面的方向上的厚度可以在50至100微米之间。但是本公开的实施例不限于此，所述支撑条30也可以具有其他的厚度。
在本公开的实施例中，网状掩模板10、框架20、支撑条30可以由金属材料制成(例如网状掩模板10和支撑条30可以由银、铝等制成)，也可以由其他任何能够承受张网力的材料制成。
根据本公开的实施例的掩模板组件100、200、300可以用于在蒸镀工艺中的图案化，但本公开的实施例不限于此，该掩模板组件也可以用于其他用途。
虽然结合附图对本公开进行了说明，但是附图中公开的实施例旨在对本公开的实施例进行示例性说明，而不能理解为对本公开的一种限制。附图中的尺寸比例仅仅是示意性的，并不能理解为对本公开的限制。
上述实施例仅例示性的说明了本公开的原理及构造，而非用于限制本公开，本领域的技术人员应明白，在不偏离本公开的总体构思的情况下，对本公开所作的任何改变和改进都在本公开的范围内。本公开的保护范围，应如本申请的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (11)

1.一种掩模板组件，包括：
网状掩模板；
框架，所述框架与所述网状掩模板的四周相连接以支撑所述网状掩模板；以及
支撑条，所述支撑条具有第一端和第二端，所述第一端固定于所述框架的一个边部，所述第二端固定于所述框架的另一边部，所述支撑条与所述框架一起支撑所述网状掩模板。
2.根据权利要求1所述的掩模板组件，其中，所述网状掩模板包括：
至少一条第一肋，所述第一肋沿着第一方向延伸；以及
至少一条第二肋，所述第二肋沿着第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向相互交叉，所述多条第二肋与所述多条第一肋相互交叉，
其中，所述掩模板组件包括一个或多个所述支撑条，所述一个或多个所述支撑条中的每个所述支撑条在与所述网状掩模板平行的平面上的正投影落入到所述至少一条第一肋和第二肋中的与所述支撑条对应的一条肋在与所述网状掩模板平行的平面上的正投影内。
3.根据权利要求2所述的掩模板组件，其中，所述掩模板组件包括沿着第一方向延伸的第一组所述支撑条和沿着第二方向延伸的第二组所述支撑条，第一组所述支撑条和第二组所述支撑条均包括一个或多个支撑条。
4.根据权利要求2所述的掩模板组件，其中，所述框架的内周在与所述网状掩模板平行的平面上的正投影为矩形形状，所述矩形具有长边和短边，所述掩模板组件包括沿着平行于所述矩形的短边的方向延伸的所述支撑条或者沿着平行于所述矩形的长边的方向延伸的所述支撑条。
5.根据权利要求4所述的掩模板组件，其中，所述掩模板组件包括沿着平行于所述矩形的短边的方向延伸的、相对于所述长边的对称轴对称分布的多个所述支撑条；或者
所述掩模板组件包括沿着平行于所述矩形的长边的方向延伸的、相对于所述短边的对称轴对称分布的多个所述支撑条。
6.根据权利要求2所述的掩模板组件，其中，所述框架的内周在与所述网状掩模板平行的平面上的正投影为矩形形状，所述矩形具有长边和短边，所述掩模板组件包括沿着平行于所述矩形的短边的方向延伸的第一组所述支撑条以及沿着平行于所述矩形的长边的方向延伸的第二组所述支撑条。
7.根据权利要求6所述的掩模板组件，其中，所述第一组所述支撑条包括相对于所述长边的对称轴对称分布的多个所述支撑条；且
所述第二组所述支撑条包括相对于所述短边的对称轴对称分布的多个所述支撑条。
8.根据权利要求2至7中任一项所述的掩模板组件，其中，每个所述支撑条的第一端设置于所述框架上的第一端容纳槽中，每个所述支撑条的第二端设置于所述框架上的第二端容纳槽中，在垂直于所述网状掩模板所在平面的方向上，所述第一端容纳槽和第二端容纳槽的深度大于或等于所述支撑条的厚度。
9.根据权利要求8所述的掩模板组件，其中，所述框架内周侧设置有掩模板容纳槽，所述网状掩模板固定于所述掩模板容纳槽处，在垂直于所述网状掩模板所在平面的方向上，所述第一端容纳槽和所述第二端容纳槽均位于所述掩模板容纳槽的远离所述网状掩模板的一侧。
10.根据权利要求2至7中任一项所述的掩模板组件，其中，每个所述支撑条接触并支撑所述网状掩模板中与所述支撑条对应的肋。
11.根据权利要求1至7中任一项所述的掩模板组件，其中，所述支撑条在垂直于所述网状掩模板所在平面的方向上的厚度在50至100微米之间。
CN201921302981.XU 2019-08-12 2019-08-12 掩模板组件 Active CN210193986U (zh)

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