CN105039907A - 一种掩膜板的固定组件 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种掩膜板的固定组件，该固定组件包括：带有蒸镀区域的框架，所述框架用于固定覆盖所述蒸镀区域上的掩膜板；可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条。根据本发明的掩膜板的固定组件能够缩减掩膜板的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。
Description
技术领域
本发明涉及一种有机发光显示器(OLED，OrganicLightEmittingDisplay)的制程中不可或缺的辅助组件，具体涉及一种掩膜板的固定组件。
背景技术
在OLED的制程中，有机薄膜的形成需要使用真空蒸镀技术。具体地讲，在真空蒸镀技术中，需要依赖掩膜板阻挡一部分蒸汽流(成膜材料分子或成膜材料分子原子)，使另一部分蒸汽流透过掩膜板的蒸镀孔入射到待镀物品(例如基板)的表面，从而在待镀物品的表面上形成特定图形的固态薄膜。
掩膜板的厚度(通常为30μm-100μm)较薄，蒸镀过程容易产生变形，因此需要固定框架支撑固定。虽然已有的固定框架能够牢固地固定掩膜板，但是掩膜板的位于固定框架的蒸镀区域(即框架的中空区域)的部分还可产生变形，导致蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状存在差异，尤其是大尺寸的OLED产生的这种情况更加明显。
发明内容
为了解决上述全部或部分问题，本发明提供一种掩膜板的固定组件，该固定组件能够缩减掩膜板的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。
本发明提供了一种掩膜板的固定组件，该固定组件包括：带有中空的蒸镀区域的框架，所述框架用于固定覆盖在所述蒸镀区域上的掩膜板；可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条。
进一步地，所述支撑条构造成不遮挡所述掩膜板的蒸镀孔。
进一步地，所述框架为由一对横梁和一对纵梁组成的矩形框架，在两个所述纵梁和/或两个纵梁均设有用于容纳所述支撑条的端部的定位槽组，位于所述纵梁上的定位槽组由沿着纵向间隔开的多个定位槽组成，并且两个所述纵梁上的定位槽组关于所述蒸镀区域对称，位于横梁上的定位槽组由沿着横向间隔开的多个定位槽组成，并且两个所述横梁上的定位槽组关于所述蒸镀区域对称。
进一步地，所述支撑条具有第一拓宽部，所述定位槽具有能够容纳所述第一拓宽部并阻止所述支撑条沿着深度方向脱离的第二拓宽部。
进一步地，所述支撑条的横街面为梯形，所述定位槽的横截面与所述支撑条的横街面相匹配的梯形。
进一步地，在所述框架上设有能够在所述支撑条与掩膜板接触时把所述支撑条固定于所述框架的固定件。
进一步地，所述固定件包括设在所述框架上的且穿过所述定位槽的槽底的内螺纹孔，以及能够与所述内螺纹孔相配合的螺栓。
进一步地，所述支撑条的用于支撑所述掩膜板的表面与所述框架的用于支撑所述掩膜板的表面相齐平。
进一步地，所述支撑条和框架的材料均为不锈钢或镍铁合金材料。
进一步地，所述掩膜板通过激光焊接方式固定在所述框架的侧面上。
根据本发明的掩膜板的固定组件能够通过框架和穿过蒸镀区域的支撑条来共同支撑掩膜板，由此可大幅度地缩减掩膜板的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状近一致。
根据本发明的掩膜板的固定组件的结构简单，制造简单，使用安全可靠，便于实施推广应用。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：
图1显示了根据本发明实施例的掩膜板的固定组件和掩膜板；
图2显示了根据本发明实施例的掩膜板的固定组件；
图3为根据本发明实施例的掩膜板的固定组件的和掩膜板剖视图；
图4为根据本发明实施例的掩膜板的固定组件的支撑条的截面图；以及
图5为根据本发明实施例的掩膜板的固定组件的定位槽的截面图。
在附图中相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
图1显示了根据本发明实施例的掩膜板的固定组件10和掩膜板20，图2单独显示了根据本发明实施例的掩膜板的固定组件10。如图1和图2所示，该固定组件10包括带有中空的蒸镀区域4的框架3。框架3可由不锈钢或镍铁合金材料制成，以便适用蒸镀时的苛刻条件。框架3的形状可为圆形框架、矩形框架或其他多边形框架。在制造过程中，根据预制的显示器形状选择与之相匹配的框架3。通常情况下，框架3与预制的显示屏形状和尺寸基本相同。
框架3用于固定覆盖在蒸镀区域4上的掩膜板20。换言之，掩膜板20与框架3的侧面贴合固定，并覆盖蒸镀区域4。掩膜板20与框架3的连接可选为铆接、螺栓连接等常规固定方式。为了保证连接质量，掩膜板20与框架3的连接优选为激光焊接。
根据本发明，该固定组件10还包括可拆卸式设在框架3上并穿过蒸镀区域4的支撑条5。支撑条5可由不锈钢或镍铁合金材料制成，以便适用蒸镀时的苛刻条件。支撑条5的横截面可为矩形或梯形等多边形。支撑条5用于支撑掩膜板20，使得掩膜板20的覆盖到蒸镀区域4上的部分能够得到支撑条5充足支撑。框架3和支撑条5共同支撑掩膜板20，从而大幅度缩减掩膜板20的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。
支撑条5与掩膜板20之间可有狭窄的间隙，但支撑条5最好能直接接合掩膜板20。在该实施例中，支撑条5的用于支撑掩膜板的表面与框架3的用于支撑掩膜板20的表面相齐平，使得掩膜板20可同时接合框架3和支撑条5，进一步缩减掩膜板20的变形程度，从而进一步促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。
支撑条5应设置成不遮挡掩膜板20的蒸镀孔，以防止支撑条5影响固态薄膜的形状。可见，支撑条5应躲避蒸镀孔的同时还应穿过框架3上的蒸镀区域4。
矩形显示器为市场上最为主流的显示器，与之相匹配的框架3的形状应为矩形。下文以矩形的框架3为例详细介绍本发明。
如图2所示，框架3选为由一对横梁31和一对纵梁32组成的矩形框架。在图2所示的实施例中，在两个横梁31和/或两个纵梁32均设有用于容纳支撑条5的端部的定位槽组。其中，位于横梁31上的定位槽组由沿着横向T间隔开的多个定位槽6组成，并且两个横梁31上的定位槽组关于蒸镀区域4对称；位于纵梁32上的定位槽组由沿着纵向L间隔开的多个定位槽6组成，并且两个纵梁32上的定位槽组关于蒸镀区域4对称。通过这种设置，使得框架3具有许多对关于蒸镀区域4对称的定位槽6，每对定位槽6均能***一个支撑条5。由于支撑条5可通过选择与相应的定位槽6来改变支撑条5的位置，因此这种方式便于把支撑条5设置在不遮挡蒸镀孔的位置。与此同时，通过这种方式还可适当地增加支撑条5的数量，从而进一步缩减掩膜板20的变形程度，再次促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。
在本实施例中，支撑条5具有第一拓宽部5a，定位槽6具有能够容纳第一拓宽部5a并阻止支撑条5沿着深度方向脱离的第二拓宽部6a，详见图4和图5。所谓的拓宽部是指横向尺寸忽然增加的部分。
在图4和图5所示的实施方式中，支撑条5的横街面为梯形，定位槽6的横截面与支撑条5的横街面相匹配的梯形。不难理解，本实施方式中的第一拓宽部5a为支撑条5的梯形的锐角部，第二拓宽部6a为梯形的定位槽6的锐角部。
在一个实施例中，在框架3上设有固定件7。固定件7能够在支撑条5与掩膜板20接触时把支撑条5固定于框架3上，以防止蒸镀途中支撑条5产生滑动。
固定件7选为卡接结构、锁扣等等。但本实施优选以下方式，固定件7包括设置在框架3上且穿过定位槽6的槽底的内螺纹孔71，以及能够与内螺纹孔71配合的螺栓72。螺栓72能够推动支撑条5并促使第一拓宽部5a与第二拓宽部6a紧密接合，并在第一拓宽部5a与第二拓宽部6a的作用下完成对支撑条5的固定。针对图3所示的实施例而言，螺栓72能够推动支撑条5并促使梯形的支撑条5与梯形的定位槽6挤压式紧密接合，从而促使支撑条5的用于支撑掩膜板的表面与框架3的用于支撑掩膜板20的表面相齐平。
综上可知，根据本发明的掩膜板的固定组件10能够通过框架3和穿过蒸镀区域4的支撑条5来同时支撑掩膜板20，由此可大幅度地缩减掩膜板20的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
Claims (10)
1.一种掩膜板的固定组件，包括：
带有中空的蒸镀区域的框架，所述框架用于固定覆盖在所述蒸镀区域上的掩膜板；
可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条。
2.根据权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述支撑条构造成不遮挡所述掩膜板的蒸镀孔。
3.根据权利要求1或2所述的固定组件，其特征在于，所述框架为由一对横梁和一对纵梁组成的矩形框架，在两个所述纵梁和/或两个纵梁均设有用于容纳所述支撑条的端部的定位槽组，位于所述纵梁上的定位槽组由沿着纵向间隔开的多个定位槽组成，并且两个所述纵梁上的定位槽组关于所述蒸镀区域对称，位于横梁上的定位槽组由沿着横向间隔开的多个定位槽组成，并且两个所述横梁上的定位槽组关于所述蒸镀区域对称。
4.根据权利要求3所述的固定组件，其特征在于，所述支撑条具有第一拓宽部，所述定位槽具有能够容纳所述第一拓宽部并阻止所述支撑条沿着深度方向脱离的第二拓宽部。
5.根据权利要求4所述的固定组件，其特征在于，所述支撑条的横街面为梯形，所述定位槽的横截面与所述支撑条的横街面相匹配的梯形。
6.根据权利要求4所述的固定组件，其特征在于，在所述框架上设有能够在所述支撑条与掩膜板接触时把所述支撑条固定于所述框架的固定件。
7.根据权利要求6所述的固定组件，其特征在于，所述固定件包括设在所述框架上的且穿过所述定位槽的槽底的内螺纹孔，以及能够与所述内螺纹孔相配合的螺栓。
8.根据权利要求1或2所述的固定组件，其特征在于，所述支撑条的用于支撑所述掩膜板的表面与所述框架的用于支撑所述掩膜板的表面相齐平。
9.根据权利要求1或2所述的固定组件，其特征在于，所述支撑条和框架的材料均为不锈钢或镍铁合金材料。
10.根据权利要求1或2所述的固定组件，其特征在于，所述掩膜板通过激光焊接方式固定在所述框架的侧面上。
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