WO2015197138A1 - Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide - Google Patents

Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide Download PDF

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Didier MÜLLER
Jean Eric LARCHER
Théodore ILTCHEV
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Ateliers Busch Sa
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Definitions

  • the present invention relates to a pumping method for reducing the electrical energy consumption as well as to increasing the final vacuum performance of a pumping system whose main pump is a lubricated vane vacuum pump. Also, the present invention relates to a vacuum pump system that can be used to perform the method of the present invention.
  • the purpose of the present invention is to propose a pumping method in a vacuum pump system making it possible to reduce the electrical energy necessary for evacuating a vacuum chamber and maintaining it, as well as reducing the temperature of the vacuum chambers. outlet gas.
  • Another object of the present invention is to propose a method of pumping in a vacuum pump system which makes it possible to obtain a higher flow rate at low pressure than that which can be obtained by means of a vacuum pump with lubricated vanes alone. when pumping a vacuum chamber.
  • Another object of the present invention is to propose a method of pumping in a vacuum pump system which makes it possible to obtain a better vacuum than that which can be obtained by means of a vacuum pump with vanes lubricated alone during pumping. a vacuum chamber.
  • a pumping method which is carried out as part of a vacuum pump system whose configuration essentially consists of a main vacuum pump with lubricated vanes provided with a gas inlet port connected to a vacuum chamber and a gas outlet opening in a conduit which is provided with a check valve, before opening into the atmosphere or other devices.
  • the suction of an auxiliary vacuum pump with lubricated blades is connected in parallel with this non-return valve, its outlet going to the atmosphere or joining the conduit of the main pump after the non-return valve.
  • the method according to the present invention therefore consists of
  • the invention resides in the fact that the coupling of the main vacuum pump with lubricated vanes and the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes does not require specific measurements and devices (eg pressure, temperature, current sensors, etc.), servocontrols or data management and calculation. Therefore, the vacuum pump system adapted for implementing the pumping method according to the present invention comprises a minimum number of components, is very simple and costs significantly less than existing systems.
  • the start-up of the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes is controlled in an "all or nothing" manner.
  • the control consists of controlling one or more parameters and according to certain rules, start or stop the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes.
  • the parameters provided by suitable sensors, are p. ex. the motor current of the lubricated vane main vacuum pump, the temperature or pressure of the gases in the volume of the outlet duct of the lubricated vane main vacuum pump, limited by the non-return valve, or a combination of these parameters.
  • the design of the auxiliary vacuum pump with lubricated blades is conditioned by the minimum energy consumption of its engine. It is normally single-stage. Its nominal flow rate is chosen as a function of the flow rate of the main vacuum pump with lubricated vanes, but also taking into account the size of the volume of the outlet duct of the main vacuum pump with lubricated vanes, limited by the non-return valve . This flow rate may be 1/500 to 1/5 of the nominal flow rate of the main vacuum pump with lubricated blades, but may also be lower or higher than these values.
  • the non-return valve placed in the conduit at the outlet of the lubricated vane main vacuum pump, may be a standard commercially available element. It is dimensioned according to the nominal flow rate of the main vacuum pump with lubricated blades. In particular, it is expected that the check valve closes when the suction pressure of the main vacuum pump with lubricated blades is between 500 mbar absolute and the final vacuum (eg at 400 mbar).
  • the main vacuum pump with lubricated vanes is multi-stage.
  • the auxiliary vacuum pump with lubricated blades is multi-stage.
  • the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes is preferably small.
  • the lubricated vane vacuum vacuum pump delivers the gases into the oil separator of the lubricated vane main vacuum pump.
  • the vacuum pump with lubricated vanes is integrated in the oil separator of the main vacuum pump with lubricated vanes.
  • the pressure is high, for example equal to the atmospheric pressure.
  • the pressure of the gases discharged at its outlet is higher than the atmospheric pressure (if the gases at the outlet of the main pump are discharged directly to the atmosphere) or higher than the pressure at the inlet of another device connected downstream. This causes the non-return valve to open.
  • the lubricated vane auxiliary vacuum pump In the case of controlling the lubricated vane auxiliary vacuum pump, there is an initial starting position of the pumping system when the sensors are in a defined state or give initial values. As the lubricated vane main vacuum pump pumps the gases from the vacuum chamber, the parameters such as its motor current, the temperature and the gas pressure in the volume of the outlet duct start to rise. modify and reach detected threshold values by the sensors. This causes the small auxiliary vacuum pump with lubricated vanes to start up. When these parameters return to the initial ranges (out of set points) with a time delay, the lubricated vacuum vane vacuum pump is stopped.
  • FIG. 1 schematically shows a vacuum pump system adapted for performing a pumping method according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 schematically shows a vacuum pump system adapted for carrying out a pumping method according to a second embodiment of the present invention.
  • Figure 1 shows a vacuum pump system SP adapted for implementing a pumping method according to a first embodiment of the present invention.
  • This vacuum pump system SP comprises an enclosure 1, which is connected to the suction port 2 of a main vacuum pump with pallets 3.
  • the outlet of the gases of the main vacuum pump with lubricated vanes 3 is connected to the duct 5.
  • a discharge nonreturn valve 6 is placed in the duct 5, which after this non-return valve continues in 8. The non-return valve 6, when closed, allows the formation of a volume 4, between the gas outlet port of the main vacuum pump 3 and itself.
  • the vacuum pump system SP also comprises an auxiliary vacuum pump with lubricated vanes 7, connected in parallel with the non-return valve 6.
  • the suction orifice 9 of the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes 7 is connected to the volume 4 of the duct 5 and its discharge port 10 is connected to the duct 8.
  • the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes 7 is also started up.
  • the main vacuum pump with lubricated vanes 3 draws the gases into the chamber 1 through the duct 2 connected to its inlet and compresses them to discharge them thereafter as it leaves the duct 5 and subsequently through the check valve. return 6.
  • the closing pressure of the non-return valve 6 is reached, it closes. From this moment, the pumping of the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes 7 gradually lowers the pressure in the volume 4 to its limit pressure.
  • the power consumed by the main vacuum pump with lubricated blades 3 gradually decreases. This occurs in a short period of time, for example for a certain cycle in 5 to 10 seconds.
  • Figure 2 shows an SPP vacuum pump system adapted for implementing a pumping method according to a second embodiment of the present invention.
  • the system represented in FIG. 2 represents the "piloted" pump system SPP, which furthermore comprises suitable sensors 1 1, 12, 13 which control either the motor current (sensor 1 1) of the main vacuum pump with lubricated vanes 3, ie the pressure (sensor 13) of the gases in the volume of the outlet duct of the main vacuum pump with lubricated vanes, limited by the nonreturn valve 6, that is the temperature (sensor 12) of the gases in the volume of the outlet duct of the lubricated vane main vacuum pump, limited by the nonreturn valve 6, a combination of these parameters.
  • suitable sensors 1 1, 12, 13 which control either the motor current (sensor 1 1) of the main vacuum pump with lubricated vanes 3, ie the pressure (sensor 13) of the gases in the volume of the outlet duct of the main vacuum pump with lubricated vanes, limited by the nonreturn valve 6, that is the temperature (sensor 12) of the gases in the volume of the outlet duct of the lubricated vane main vacuum pump, limited by the nonreturn valve 6, a combination of
  • the threshold value can be a percentage of the maximum value measured during a dump cycle without starting the auxiliary vacuum pump (eg 75%).
  • the threshold value may be a percentage (eg 80%) of the maximum value measured during a dump cycle without setting in operation of the auxiliary vacuum pump.
  • the threshold value (eg 100 mbar) is defined according to the flow ratio of the two pumps, the main and the auxiliary.

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Abstract

Méthode de pompage et système de pompage (SP, SPP) comprenant : une pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompage (SP, SPP), un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) branchée en parallèle au clapet anti-retour (6). La pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) est mise en marche afin de pomper les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) par l'orifice de sortie des gaz (4), de manière simultanée, une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mise en marche, et continue d'être en fonctionnement tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) et/ou tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1).

Description

Méthode de pompage dans un système de pompes à vide
et système de pompes à vide
Domaine technique de l'invention
La présente invention se rapporte à une méthode de pompage permettant de réduire la consommation d'énergie électrique ainsi qu'augmenter les performances en termes de vide final d'un système de pompage dont la pompe principale est une pompe à vide à palettes lubrifiées. Egalement, la présente invention se rapporte à un système de pompes à vide qui peut être utilisé pour réaliser la méthode selon la présente invention.
Art antérieur
Les tendances générales d'augmentation des performances des pompes à vide, de réduction des coûts des installations et de la consommation d'énergie dans les industries ont apporté des évolutions significatives en termes de performances, d'économie d'énergie, d'encombrement, dans les entraînements, etc.
L'état de la technique montre que pour améliorer le vide final et réduire la consommation d'énergie il faut rajouter des étages supplémentaires dans les pompes à vide de type Roots multi-étagées ou Claws multi-étagées. Pour les pompes à vide à vis il faut mettre des tours supplémentaires aux vis, et/ou augmenter le taux de compression interne. Pour les pompes à vide à palettes lubrifiées, il faut typiquement également rajouter un ou plusieurs étages supplémentaires en série afin d'augmenter le taux de compression interne.
L'état de la technique concernant les systèmes de pompes à vide qui visent l'amélioration du vide final et l'augmentation du débit montre des pompes booster de type Roots agencées en amont des pompes principales à palettes lubrifiées. Ce type de systèmes est encombrant, fonctionne soit avec des clapets by-pass présentant des problèmes de fiabilité, soit en employant des moyens de mesure, contrôle, réglage ou asservissement. Cependant, ces moyens de contrôle, réglage ou asservissement doivent être pilotés d'une manière active, ce qui résulte forcément en une augmentation du nombre de composants du système, de sa complexité et de son coût.
Résumé de l'invention
La présente invention a pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant de réduire l'énergie électrique nécessaire pour la mise sous vide d'une enceinte à vide et son maintien, ainsi que la baisse de la température des gaz de sortie.
La présente invention a aussi pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant d'obtenir un débit supérieur à basse pression à celui qui peut être obtenu à l'aide d'une pompe à vide à palettes lubrifiées seule lors du pompage d'une enceinte à vide.
La présente invention a également pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant d'obtenir un meilleur vide que celui qui peut être obtenu à l'aide d'une pompe à vide à palettes lubrifiées seule lors du pompage d'une enceinte à vide.
Ces buts de la présente invention sont atteints à l'aide d'une méthode de pompage qui est réalisée dans le cadre d'un système de pompes à vide dont la configuration consiste essentiellement en une pompe à vide principale à palettes lubrifiées munie d'un orifice d'entrée des gaz reliée à une enceinte à vide et d'un orifice de sortie des gaz donnant dans un conduit qui est muni d'un clapet anti-retour, avant de déboucher dans l'atmosphère ou dans d'autres appareils. L'aspiration d'une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est branchée en parallèle à ce clapet anti-retour, sa sortie allant à l'atmosphère ou rejoignant le conduit de la pompe principale après le clapet anti-retour. Une telle méthode de pompage est notamment l'objet de la revendication indépendante 1 . Des différents modes de réalisation préférés de l'invention sont en outre l'objet des revendications dépendantes.
La méthode selon la présente invention consiste donc
essentiellement à faire fonctionner une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées en continu tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide par l'orifice d'entrée de gaz, mais aussi tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées maintient une pression définie (p. ex. le vide final) dans l'enceinte en refoulant les gaz remontant par sa sortie.
Selon un premier aspect, l'invention réside dans le fait que le couplage de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées et de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées ne nécessite pas de mesures et d'appareils spécifiques (p. ex. de capteurs de pression, de température, de courant, etc.), d'asservissements ou de gestion de données et calcul. Par conséquent, le système de pompes à vide adapté pour la mise en œuvre de la méthode de pompage selon la présente invention comprend un nombre minimal de composants, présente une grande simplicité et coûte nettement moins cher que les systèmes existants.
Selon une deuxième variante de la méthode de la présente invention, pour répondre à des exigences spécifiques la mise en route de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est pilotée de manière « tout ou rien ». Le pilotage consiste à contrôler un ou plusieurs paramètres et suivant certaines règles mettre en route la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées ou l'arrêter. Les paramètres, fournis par des capteurs adéquats, sont p. ex. le courant du moteur de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, la température ou la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour, ou une combinaison de ces paramètres.
Le dimensionnement de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est conditionné par la consommation d'énergie minimale de son moteur. Elle est normalement mono-étagée. Son débit nominal est choisi en fonction du débit de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, mais aussi en prenant en compte la taille du volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour. Ce débit peut être de 1/500 à 1/5 du débit nominal de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, mais peut aussi être inférieur ou supérieur à ces valeurs.
Le clapet anti-retour, placé dans le conduit à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées peut être un élément standard disponible dans le commerce. Il est dimensionné suivant le débit nominal de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées. En particulier, il est prévu que le clapet anti-retour se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées se situe entre 500 mbar absolu et le vide final (p. ex. à 400 mbar).
Selon une autre variante, la pompe à vide principale à palettes lubrifiées est multi-étagée.
Selon une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est multi-étagée.
La pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est de préférence de petite taille.
Selon une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées.
Selon encore une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées.
Au départ d'un cycle de vidage de l'enceinte, la pression y est élevée, par exemple égale à la pression atmosphérique. Vu la compression dans la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, la pression des gaz refoulés à sa sortie est plus haute que la pression atmosphérique (si les gaz à la sortie de la pompe principale sont refoulés directement à l'atmosphère) ou plus haute que la pression à l'entrée d'un autre appareil connecté en aval. Cela provoque l'ouverture du clapet anti-retour.
Quand ce clapet anti-retour est ouvert, l'action de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées sur les paramètres de fonctionnement de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées est très faiblement ressentie. En revanche, quand le clapet anti-retour se ferme à une certaine pression (parce que la pression dans l'enceinte a entretemps baissé), l'action de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées provoque une réduction progressive de la différence de pression entre l'enceinte et le conduit après le clapet. La pression à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées devient celle à l'entrée de la petite pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées, celle de sa sortie étant toujours la pression dans le conduit après le clapet antiretour. Plus la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées pompe, plus la pression à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, dans le volume fermé, limité par le clapet anti-retour, se réduit et par conséquent la différence de pression entre l'enceinte et la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées baisse.
Cette différence réduite rend les fuites internes dans la pompe à vide principale à palettes lubrifiées plus faibles et engendre une baisse plus importante de la pression dans l'enceinte ce qui améliore le vide final. En plus, la pompe à vide principale à palettes lubrifiées consomme de moins en moins d'énergie pour la compression et produit de moins en moins de chaleur de compression.
Dans le cas de pilotage de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées, il existe une position initiale de démarrage du système de pompage quand les capteurs sont dans un état défini ou bien donnent des valeurs initiales. Au fur et à mesure que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées pompe les gaz de l'enceinte à vide, les paramètres tels le courant de son moteur, la température et la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie commencent à se modifier et atteignent des valeurs de seuil détectées par les capteurs. Cela provoque la mise en marche de la petite pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées. Quand ces paramètres repassent dans les plages initiales (hors consignes) avec une temporisation, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est arrêtée.
D'un autre côté, il est aussi évident que l'étude du concept mécanique cherche à réduire le volume entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées et le clapet anti-retour dans le but de pouvoir y faire baisser la pression plus vite.
Brève description des dessins
Les particularités et les avantages de la présente invention apparaîtront avec plus de détails dans le cadre de la description qui suit avec des exemples de réalisation donnés à titre illustratif et non limitatif en référence aux dessins ci-annexés qui représentent :
- la figure 1 représente de manière schématique un système de pompes à vide adapté pour la réalisation d'une méthode de pompage selon un premier mode de réalisation de la présente invention ; et
- la figure 2 représente de manière schématique un système de pompes à vide adapté pour la réalisation d'une méthode de pompage selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention.
Description détaillée des modes de réalisation de l'invention
Figure 1 représente un système de pompes à vide SP adapté pour la mise en œuvre d'une méthode de pompage selon un premier mode de réalisation de la présente invention.
Ce système de pompes à vide SP comporte une enceinte 1 , laquelle est reliée à l'orifice d'aspiration 2 d'une pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3. L'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 est relié au conduit 5. Un clapet anti-retour de refoulement 6 est placé dans le conduit 5, qui après ce clapet anti-retour continue en conduit de sortie des gaz 8. Le clapet anti-retour 6, lorsqu'il est fermé, permet la formation d'un volume 4, compris entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale 3 et lui-même.
Le système de pompes à vide SP comporte aussi une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7, branchée en parallèle au clapet anti-retour 6. L'orifice d'aspiration 9 de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est relié au volume 4 du conduit 5 et son orifice de refoulement 10 est relié au conduit 8.
Dès la mise en route de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est elle aussi mise en route. La pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 aspire les gaz dans l'enceinte 1 par le conduit 2 branché à son entrée et les comprime pour les refouler par la suite à sa sortie dans le conduit 5 et par la suite par le clapet anti-retour 6. Lorsque la pression de fermeture du clapet anti-retour 6 est atteinte, il se ferme. A partir de ce moment, le pompage de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 fait baisser progressivement la pression dans le volume 4 jusqu'à sa pression limite. En parallèle, la puissance consommée par la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 baisse progressivement. Cela se produit en un court laps de temps, par exemple pour un certain cycle en 5 à 10 secondes.
Avec un ajustement judicieux du débit de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 et de la pression de fermeture du clapet anti-retour 6 en fonction du débit de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 et le volume de l'enceinte 1 , il est en outre possible de réduire le temps avant la fermeture du clapet anti-retour 6 par rapport à la durée du cycle de vidage et donc réduire l'énergie électrique du moteur de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 pendant le temps avant la fermeture du clapet anti-retour 6. En revanche, l'avantage de la simplicité crédite une excellente fiabilité du système ainsi qu'un prix inférieur en comparaison avec des pompes similaires équipées d'automate programmable et ou de variateur, vannes pilotées, capteurs, etc.
Figure 2 représente un système de pompes à vide SPP adapté pour la mise en œuvre d'une méthode de pompage selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention.
Par rapport au système montré à la figure 1 , le système représenté à la figure 2 représente le système de pompage « piloté » SPP, qui comprend en outre des capteurs adéquats 1 1 , 12, 13 qui contrôlent soit le courant du moteur (capteur 1 1 ) de la pompe principale à vide à palettes lubrifiées 3, soit la pression (capteur 13) des gaz dans le volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour 6, soit la température (capteur 12) des gaz dans le volume du conduit à sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour 6, soit une combinaison de ces paramètres.
En effet, quand la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 commence à pomper les gaz de l'enceinte à vide 1 , les paramètres tels le courant de son moteur, la température et la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie 4 commencent à se modifier et atteignent des valeurs de seuil détectées par les capteurs. Pour le courant du moteur, la valeur de seuil peut être un pourcentage de la valeur maximale mesurée lors d'un cycle de vidage sans mise en marche de la pompe à vide auxiliaire (p. ex. 75%). Pour la température des gaz, mesurée à un endroit bien défini dans le volume du conduit de sortie 4 la valeur de seuil peut être un pourcentage (p. ex. 80%) de la valeur maximale mesurée lors d'un cycle de vidage sans mise en marche de la pompe à vide auxiliaire. Pour la pression des gaz, la valeur de seuil (p. ex. 100 mbar) est définie en fonction du rapport des débits des deux pompes, la principale et l'auxiliaire. Après des temporisations adaptées, spécifiques à chaque paramètre, la mise en marche de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est déclenchée. Quand ces paramètres repassent dans des plages initiales (hors consignes) avec des temporisations adaptées, spécifiques à chaque paramètre, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est arrêtée. Certainement, la présente invention est sujette à de nombreuses variations quant à sa mise en œuvre. Bien que divers modes de réalisation aient été décrits, on comprend bien qu'il n'est pas concevable d'identifier de manière exhaustive tous les modes possibles. Il est bien sûr envisageable de remplacer un moyen décrit par un moyen équivalent sans sortir du cadre de la présente invention. Toutes ces modifications font partie des connaissances communes d'un homme du métier dans le domaine de la technologie du vide.

Claims

Revendications
1 . Méthode de pompage dans un système de pompes à vide (SP, SPP) comprenant:
- une pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1 ) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompes à vide (SP, SPP),
- un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et
- une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) branchée en parallèle au clapet anti-retour (6), la méthode étant caractérisée en ce que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) est mise en marche afin de pomper les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1 ) par l'orifice de sortie des gaz (4) ; de manière simultanée, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mise en marche ; et la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) continue de fonctionner tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1 ) et/ou tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1 ).
2. Méthode de pompage selon la revendication 1 , caractérisée en ce que la sortie de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) rejoint la sortie des gaz (8) après le clapet anti-retour (6).
3. Méthode de pompage selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est dimensionnée afin d'avoir une consommation d'énergie minimale de son moteur.
4. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que le débit nominal de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est choisi en fonction du volume du conduit de sortie (5) de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) qui est limité par le clapet anti-retour (6).
5. Méthode de pompage selon la revendication 4, caractérisée en ce que le débit de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est de 1/500 à 1/5 du débit nominal de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
6. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mono-étagée ou multi-étagée.
7. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (6) se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) se situe entre 500 mbar absolu et le vide final.
8. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
9. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
10. Système de pompes à vide (SP, SPP) comprenant : - une pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1 ) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompes à vide (SP, SPP),
- un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et
- une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) branchée en parallèle au clapet anti-retour (6), le système de pompes à vide (SP, SPP) étant caractérisé en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est agencée pour pouvoir être mise en marche tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1 ) et/ou tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1 ).
1 1 . Système de pompes à vide selon la revendication 16, caractérisée en ce que la sortie de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) rejoint la sortie des gaz (8) après le clapet anti-retour (6).
12. Système de pompes à vide selon la revendication 16 ou 17, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est dimensionnée afin d'avoir une consommation d'énergie minimale de son moteur.
13. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 16 à 18, caractérisée en ce que le débit nominal de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est choisi en fonction du volume du conduit de sortie (5) de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) qui est limité par le clapet anti-retour (6).
14. Système de pompes à vide selon la revendication 19, caractérisée en ce que le débit de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est de 1/500 à 1/5 du débit nominal de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
15. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 10 à 14, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mono-étagée ou multi-étagée.
16. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 10 à 15, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (6) se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) se situe entre 500 mbar absolu et le vide final.
17. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 10 à 16, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
18. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 10 à 17, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
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