EP3161318B1 - Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide - Google Patents

Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide Download PDF

Info

Publication number
EP3161318B1
EP3161318B1 EP14738765.8A EP14738765A EP3161318B1 EP 3161318 B1 EP3161318 B1 EP 3161318B1 EP 14738765 A EP14738765 A EP 14738765A EP 3161318 B1 EP3161318 B1 EP 3161318B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
vacuum pump
rotary vane
lubricated rotary
auxiliary
vane vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Revoked
Application number
EP14738765.8A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP3161318A1 (fr
Inventor
Didier MÜLLER
Jean Eric LARCHER
Théodore ILTCHEV
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ateliers Busch SA
Original Assignee
Ateliers Busch SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=51177037&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP3161318(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Ateliers Busch SA filed Critical Ateliers Busch SA
Priority to PT147387658T priority Critical patent/PT3161318T/pt
Priority to PL14738765T priority patent/PL3161318T3/pl
Publication of EP3161318A1 publication Critical patent/EP3161318A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP3161318B1 publication Critical patent/EP3161318B1/fr
Revoked legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/24—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
    • F04C2/30—Rotary-piston machines or pumps having the characteristics covered by two or more groups F04C2/02, F04C2/08, F04C2/22, F04C2/24 or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C2/34—Rotary-piston machines or pumps having the characteristics covered by two or more groups F04C2/02, F04C2/08, F04C2/22, F04C2/24 or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in groups F04C2/08 or F04C2/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C2/344—Rotary-piston machines or pumps having the characteristics covered by two or more groups F04C2/02, F04C2/08, F04C2/22, F04C2/24 or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in groups F04C2/08 or F04C2/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
    • F04C29/0085—Prime movers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
    • F04C29/026—Lubricant separation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
    • F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
    • F04C29/126—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/30—Casings or housings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/40—Electric motor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/18—Pressure
    • F04C2270/185—Controlled or regulated
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation

Definitions

  • the present invention relates to a pumping method making it possible to reduce the consumption of electrical energy as well as to increase the performance in terms of final vacuum of a pumping system the main pump of which is a vacuum pump with lubricated vanes. Also, the present invention relates to a vacuum pump system which can be used to carry out the method according to the present invention.
  • Roots type booster pumps arranged upstream of the main lubricated vane pumps.
  • This type of system is bulky, works either with bypass valves with reliability problems, or by using means of measurement, control, adjustment or control.
  • these means of control, adjustment or slaving must be actively controlled, which necessarily results in an increase in the number of system components, its complexity and its cost.
  • the document US 2003/068233 A1 describes a pumping system for evacuating vacuum chambers from processes for the treatment of wafers in the semiconductor industry.
  • This system includes two pumps, a main and an auxiliary, of dry types arranged in series as well as a non-return valve mounted in an exhaust duct arranged in parallel to the auxiliary pump.
  • This system is characterized by a ratio of the volumes of the two pumps from 20 to 130.
  • the document EP 1,243,795 A1 discloses the combination of a dry primary pump (roots or claw) multi-stage and an additional dry pump (membrane or piston) and a non-return valve.
  • the effect obtained by this combination is to reduce the compression ratio in the last stage of the primary pump, when a certain level of vacuum is already reached in the enclosure to be evacuated, so that the temperature of the pump does not increase not too much and so does not lead to the destruction of it. This is a problem which can especially arise when gases with low thermal coefficient (Xenon, Argon, etc.) are used.
  • the object of the present invention is to propose a pumping method in a vacuum pump system making it possible to reduce the electrical energy necessary for the evacuation of a vacuum enclosure and its maintenance, as well as the drop in temperature of the outlet gas.
  • the present invention also aims to propose a pumping method in a vacuum pump system making it possible to obtain a higher flow rate at low pressure than that which can be obtained using a vacuum pump with lubricated vane alone. when pumping out a vacuum enclosure.
  • the present invention also aims to propose a pumping method in a vacuum pump system making it possible to obtain a better vacuum than that which can be obtained using a vacuum pump with vanes lubricated alone during pumping. of a vacuum enclosure.
  • a pumping method which is carried out within the framework of a vacuum pump system whose configuration consists essentially of a main vacuum pump with lubricated vanes provided with a gas inlet orifice connected to a vacuum enclosure and a gas outlet orifice leading into a duct which is fitted with a non-return valve, before opening into the atmosphere or into other devices.
  • the suction of an auxiliary vacuum pump with lubricated vanes is connected in parallel to this non-return valve, its outlet going to the atmosphere or joining the duct of the main pump after the non-return valve.
  • the method according to the present invention therefore essentially consists in starting an auxiliary vacuum pump with lubricated vanes simultaneously with the main vacuum pump with lubricated vanes and in operating the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes continuously all the time. that the main vacuum pump with lubricated vanes pumps the gases contained in the vacuum enclosure through the gas inlet, but also all the time that the main vacuum pump with lubricated vanes maintains a defined pressure (p. e.g. the final vacuum) in the enclosure by driving the gases rising through its outlet.
  • the invention resides in the fact that the coupling of the main vacuum pump with lubricated vanes and the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes does not require specific measurements and devices (e.g. pressure, temperature, current sensors, etc.), servos or data and calculation management. Consequently, the vacuum pump system suitable for implementing the pumping method according to the present invention comprises a minimum number of components, is very simple and costs considerably less than the existing systems.
  • the start-up of the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes is controlled in an "all or nothing" manner. Piloting consists in controlling one or more parameters and, according to certain rules, starting or stopping the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes.
  • the parameters, provided by suitable sensors, are p. ex. the motor current of the main vacuum pump with lubricated vanes, the temperature or pressure of the gases in the volume of the outlet pipe of the main vacuum pump with lubricated vanes, limited by the non-return valve, or a combination of these settings.
  • the sizing of the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes is conditioned by the minimum energy consumption of its motor. It is normally single-stage. Its nominal flow rate is chosen according to the flow rate of the main vacuum pump with lubricated vanes, but also taking into account the size of the volume of the outlet pipe of the main vacuum pump with lubricated vanes, limited by the non-return valve. . This flow can be from 1/500 to 1/5 of the nominal flow of the main vacuum pump with lubricated vanes, but can also be lower or higher than these values.
  • the non-return valve, placed in the duct at the outlet of the main vacuum pump with lubricated vanes can be a standard element available commercially. It is sized according to the nominal flow rate of the main vacuum pump with lubricated vanes. In particular, provision is made for the non-return valve to close when the suction pressure of the main vacuum pump with lubricated vanes is between 500 mbar absolute and the final vacuum (eg 400 mbar).
  • the main vacuum pump with lubricated vanes is multi-stage.
  • the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes is multi-stage.
  • the auxiliary vacuum pump with lubricated vane is preferably small.
  • the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes discharges the gases into the oil separator of the main vacuum pump with lubricated vanes.
  • the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes is integrated in the oil separator of the main vacuum pump with lubricated vanes.
  • the pressure is high, for example equal to atmospheric pressure. Due to the compression in the main vacuum pump with lubricated vanes, the pressure of the gases discharged at its outlet is higher than atmospheric pressure (if the gases at the outlet of the main pump are discharged directly to the atmosphere) or higher than the pressure at the inlet of another device connected downstream. This causes the non-return valve to open.
  • the second variant of the pumping method which is not part of the framework, that is to say in the case of piloting the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes, there is an initial position for starting the pumping system.
  • the main vacuum pump with lubricated vanes pumps the gases from the vacuum chamber, parameters such as the current of its motor, the temperature and the pressure of the gases in the volume of the outlet duct begin to modify and reach threshold values detected by the sensors.
  • these parameters return to the initial ranges (outside the setpoints) with a time delay, the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes is stopped.
  • Figure 1 shows a vacuum pump system SP suitable for implementing a pumping method according to an embodiment of the present invention.
  • This vacuum pump system SP comprises an enclosure 1, which is connected to the suction port 2 of a main vacuum pump with lubricated vanes 3.
  • the gas outlet port of the main vacuum pump with vanes lubricated 3 is connected to the duct 5.
  • a discharge check valve 6 is placed in the duct 5, which after this non-return valve continues in the gas outlet duct 8. The non-return valve 6, when it is closed, allows the formation of a volume 4, between the gas outlet orifice of the main vacuum pump 3 and itself.
  • the vacuum pump system SP also includes an auxiliary vacuum pump with lubricated vanes 7, connected in parallel to the non-return valve 6.
  • the suction port 9 of the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes 7 is connected to the volume. 4 of the duct 5 and its delivery orifice 10 is connected to the duct 8.
  • the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes 7 is also started.
  • the main vacuum pump with lubricated vane 3 draws the gases into the enclosure 1 through the duct 2 connected to its inlet and compresses them to discharge them afterwards on its outlet in the duct 5 and subsequently by the check valve. return 6.
  • the closing pressure of the non-return valve 6 is reached, it closes.
  • the pumping of the auxiliary vacuum pump with lubricated vanes 7 causes the pressure in the volume 4 to gradually decrease to its limit pressure.
  • the power consumed by the main vacuum pump with lubricated vanes 3 gradually decreases. This happens in a short period of time, for example for a certain cycle in 5-10 seconds.
  • Figure 2 represents a system of vacuum pumps SPP suitable for the implementation of a pumping method according to an embodiment not forming part of the present invention.
  • the system shown in figure 2 represents the “piloted” pumping system SPP, which also comprises suitable sensors 11, 12, 13 which control either the motor current (sensor 11) of the main vacuum pump with lubricated vanes 3, or the pressure (sensor 13 ) gases in the volume of the outlet pipe of the main vacuum pump with lubricated vanes, limited by the non-return valve 6, i.e. the temperature (sensor 12) of the gases in the volume of the pipe leaving the vacuum pump main with lubricated paddles, limited by the non-return valve 6, ie a combination of these parameters.
  • the threshold value can be a percentage of the maximum value measured during a drain cycle without switching on the auxiliary vacuum pump (eg 75%).
  • the threshold value can be a percentage (eg 80%) of the maximum value measured during an emptying cycle without setting the auxiliary vacuum pump.
  • the threshold value (eg 100 mbar) is defined according to the ratio of the flow rates of the two pumps, the main and auxiliary.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

    Domaine technique de l'invention
  • La présente invention se rapporte à une méthode de pompage permettant de réduire la consommation d'énergie électrique ainsi qu'augmenter les performances en termes de vide final d'un système de pompage dont la pompe principale est une pompe à vide à palettes lubrifiées. Egalement, la présente invention se rapporte à un système de pompes à vide qui peut être utilisé pour réaliser la méthode selon la présente invention.
    • Art antérieur
  • Les tendances générales d'augmentation des performances des pompes à vide, de réduction des coûts des installations et de la consommation d'énergie dans les industries ont apporté des évolutions significatives en termes de performances, d'économie d'énergie, d'encombrement, dans les entraînements, etc.
  • L'état de la technique montre que pour améliorer le vide final et réduire la consommation d'énergie il faut rajouter des étages supplémentaires dans les pompes à vide de type Roots multi-étagées ou Claws multi-étagées. Pour les pompes à vide à vis il faut mettre des tours supplémentaires aux vis, et/ou augmenter le taux de compression interne. Pour les pompes à vide à palettes lubrifiées, il faut typiquement également rajouter un ou plusieurs étages supplémentaires en série afin d'augmenter le taux de compression interne.
  • L'état de la technique concernant les systèmes de pompes à vide qui visent l'amélioration du vide final et l'augmentation du débit montre des pompes booster de type Roots agencées en amont des pompes principales à palettes lubrifiées. Ce type de systèmes est encombrant, fonctionne soit avec des clapets by-pass présentant des problèmes de fiabilité, soit en employant des moyens de mesure, contrôle, réglage ou asservissement. Cependant, ces moyens de contrôle, réglage ou asservissement doivent être pilotés d'une manière active, ce qui résulte forcément en une augmentation du nombre de composants du système, de sa complexité et de son coût.
  • Le document US 2003/068233 A1 décrit un système de pompage pour évacuer des enceintes à vide de procédés pour le traitement de wafers dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce système comprend deux pompes, une principale et une auxiliaire, de types sèches agencées en série ainsi qu'un clapet anti-retour monté dans un conduit d'échappement agencé en paralèlle à la pompe auxiliaire. Ce sytème étant caractérisé par un ratio des volumes des deux pompes de 20 à 130.
  • Un système de pompage similaire est aussi divulgué dans les documents DE 88 16 875 U1 et DE 38 42 886 A1 . Dans ces derniers les pompes primaire et secondaire sèches sont explicitement des pompes de type roots. Ces documents proposent de résoudre le problème posé par la présence du conduit supplémentaire d'évacuation muni du clapet anti-retour lors de l'évacuation de gaz rares ou dangereux par le remplacement de la pompe auxiliaire sèche de type roots et de fabrication usuelle par une pompe sèche de type roots munie d'un mécanisme de roue libre.
  • Le document EP 1 243 795 A1 divulgue quant à lui la combinaison d'une pompe primaire sèche (roots ou claw) multi-étagée et d'une pompe additionnelle sèche (membrane ou piston) et d'un clapet anti-retour. L'effet obtenu par cette combinaison est de réduire le taux de compression dans le dernier étage de la pompe primaire, lorsqu'un certain niveau de vide est déjà atteint dans l'enceinte à évacuer, afin que la température de la pompe n'augmente pas trop et ainsi ne conduise pas à la destruction de celle-ci. C'est un problème qui peut surtout survenir lorsque des gaz à faible coefficient thermique (Xenon, Argon, etc.) sont utilisés.
    • Résumé de l'invention
  • La présente invention a pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant de réduire l'énergie électrique nécessaire pour la mise sous vide d'une enceinte à vide et son maintien, ainsi que la baisse de la température des gaz de sortie.
  • La présente invention a aussi pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant d'obtenir un débit supérieur à basse pression à celui qui peut être obtenu à l'aide d'une pompe à vide à palettes lubrifiées seule lors du pompage d'une enceinte à vide.
  • La présente invention a également pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant d'obtenir un meilleur vide que celui qui peut être obtenu à l'aide d'une pompe à vide à palettes lubrifiées seule lors du pompage d'une enceinte à vide.
  • Ces buts de la présente invention sont atteints à l'aide d'une méthode de pompage qui est réalisée dans le cadre d'un système de pompes à vide dont la configuration consiste essentiellement en une pompe à vide principale à palettes lubrifiées munie d'un orifice d'entrée des gaz reliée à une enceinte à vide et d'un orifice de sortie des gaz donnant dans un conduit qui est muni d'un clapet anti-retour, avant de déboucher dans l'atmosphère ou dans d'autres appareils. L'aspiration d'une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est branchée en parallèle à ce clapet anti-retour, sa sortie allant à l'atmosphère ou rejoignant le conduit de la pompe principale après le clapet anti-retour.
  • Une telle méthode de pompage est notamment l'objet de la revendication indépendante 1. Des différents modes de réalisation préférés de l'invention sont en outre l'objet des revendications dépendantes.
  • La méthode selon la présente invention consiste donc essentiellement à mettre en marche une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées de manière simultanée à la pompe à vide principale à palettes lubrifiées et à faire fonctionner la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées en continu tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide par l'orifice d'entrée de gaz, mais aussi tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées maintient une pression définie (p.ex. le vide final) dans l'enceinte en refoulant les gaz remontant par sa sortie.
  • Selon un premier aspect, l'invention réside dans le fait que le couplage de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées et de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées ne nécessite pas de mesures et d'appareils spécifiques (p.ex. de capteurs de pression, de température, de courant, etc.), d'asservissements ou de gestion de données et calcul. Par conséquent, le système de pompes à vide adapté pour la mise en œuvre de la méthode de pompage selon la présente invention comprend un nombre minimal de composants, présente une grande simplicité et coûte nettement moins cher que les systèmes existants.
  • Selon une deuxième variante de la méthode de pompage qui ne fait pas partie du cadre de la présente invention, pour répondre à des exigences spécifiques la mise en route de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est pilotée de manière « tout ou rien ». Le pilotage consiste à contrôler un ou plusieurs paramètres et suivant certaines règles mettre en route la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées ou l'arrêter. Les paramètres, fournis par des capteurs adéquats, sont p. ex. le courant du moteur de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, la température ou la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour, ou une combinaison de ces paramètres.
  • Le dimensionnement de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est conditionné par la consommation d'énergie minimale de son moteur. Elle est normalement mono-étagée. Son débit nominal est choisi en fonction du débit de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, mais aussi en prenant en compte la taille du volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour. Ce débit peut être de 1/500 à 1/5 du débit nominal de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, mais peut aussi être inférieur ou supérieur à ces valeurs.
  • Le clapet anti-retour, placé dans le conduit à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées peut être un élément standard disponible dans le commerce. Il est dimensionné suivant le débit nominal de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées. En particulier, il est prévu que le clapet anti-retour se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées se situe entre 500 mbar absolu et le vide final (p.ex. à 400 mbar).
  • Selon une autre variante, la pompe à vide principale à palettes lubrifiées est multi-étagée.
  • Selon une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est multi-étagée.
  • La pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est de préférence de petite taille.
  • Selon une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées.
  • Selon encore une autre variante, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées.
  • Au départ d'un cycle de vidage de l'enceinte, la pression y est élevée, par exemple égale à la pression atmosphérique. Vu la compression dans la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, la pression des gaz refoulés à sa sortie est plus haute que la pression atmosphérique (si les gaz à la sortie de la pompe principale sont refoulés directement à l'atmosphère) ou plus haute que la pression à l'entrée d'un autre appareil connecté en aval. Cela provoque l'ouverture du clapet anti-retour.
  • Quand ce clapet anti-retour est ouvert, l'action de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées sur les paramètres de fonctionnement de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées est très faiblement ressentie. En revanche, quand le clapet anti-retour se ferme à une certaine pression (parce que la pression dans l'enceinte a entretemps baissé), l'action de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées provoque une réduction progressive de la différence de pression entre l'enceinte et le conduit après le clapet. La pression à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées devient celle à l'entrée de la petite pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées, celle de sa sortie étant toujours la pression dans le conduit après le clapet anti-retour. Plus la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées pompe, plus la pression à la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, dans le volume fermé, limité par le clapet anti-retour, se réduit et par conséquent la différence de pression entre l'enceinte et la sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées baisse.
  • Cette différence réduite rend les fuites internes dans la pompe à vide principale à palettes lubrifiées plus faibles et engendre une baisse plus importante de la pression dans l'enceinte ce qui améliore le vide final. En plus, la pompe à vide principale à palettes lubrifiées consomme de moins en moins d'énergie pour la compression et produit de moins en moins de chaleur de compression.
  • Selon la deuxième variante de la méthode de pompage qui ne fait pas partie du cadre, c'est-à-dire dans le cas de pilotage de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées, il existe une position initiale de démarrage du système de pompage quand les capteurs sont dans un état défini ou bien donnent des valeurs initiales. Au fur et à mesure que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées pompe les gaz de l'enceinte à vide, les paramètres tels le courant de son moteur, la température et la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie commencent à se modifier et atteignent des valeurs de seuil détectées par les capteurs. Cela provoque la mise en marche de la petite pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées. Quand ces paramètres repassent dans les plages initiales (hors consignes) avec une temporisation, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées est arrêtée.
  • D'un autre côté, il est aussi évident que l'étude du concept mécanique cherche à réduire le volume entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées et le clapet anti-retour dans le but de pouvoir y faire baisser la pression plus vite.
    • Brève description des dessins
  • Les particularités et les avantages de la présente invention apparaîtront avec plus de détails dans le cadre de la description qui suit avec des exemples de réalisation donnés à titre illustratif et non limitatif en référence aux dessins ci-annexés qui représentent :
    • la figure 1 représente de manière schématique un système de pompes à vide adapté pour la réalisation d'une méthode de pompage selon un mode de réalisation de la présente invention ; et
    • la figure 2 représente de manière schématique un système de pompes à vide adapté pour la réalisation d'une méthode de pompage selon un mode de réalisation ne faisant pas partie de la présente invention.
    Description détaillée des modes de réalisation de l'invention
  • Figure 1 représente un système de pompes à vide SP adapté pour la mise en œuvre d'une méthode de pompage selon un mode de réalisation de la présente invention.
  • Ce système de pompes à vide SP comporte une enceinte 1, laquelle est reliée à l'orifice d'aspiration 2 d'une pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3. L'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 est relié au conduit 5. Un clapet anti-retour de refoulement 6 est placé dans le conduit 5, qui après ce clapet anti-retour continue en conduit de sortie des gaz 8. Le clapet anti-retour 6, lorsqu'il est fermé, permet la formation d'un volume 4, compris entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide principale 3 et lui-même.
  • Le système de pompes à vide SP comporte aussi une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7, branchée en parallèle au clapet anti-retour 6. L'orifice d'aspiration 9 de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est relié au volume 4 du conduit 5 et son orifice de refoulement 10 est relié au conduit 8.
  • Dès la mise en route de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est elle aussi mise en route. La pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 aspire les gaz dans l'enceinte 1 par le conduit 2 branché à son entrée et les comprime pour les refouler par la suite à sa sortie dans le conduit 5 et par la suite par le clapet anti-retour 6. Lorsque la pression de fermeture du clapet anti-retour 6 est atteinte, il se ferme. A partir de ce moment, le pompage de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 fait baisser progressivement la pression dans le volume 4 jusqu'à sa pression limite. En parallèle, la puissance consommée par la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 baisse progressivement. Cela se produit en un court laps de temps, par exemple pour un certain cycle en 5 à 10 secondes.
  • Avec un ajustement judicieux du débit de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 et de la pression de fermeture du clapet anti-retour 6 en fonction du débit de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 et le volume de l'enceinte 1, il est en outre possible de réduire le temps avant la fermeture du clapet anti-retour 6 par rapport à la durée du cycle de vidage et donc réduire l'énergie électrique du moteur de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 pendant le temps avant la fermeture du clapet anti-retour 6. En revanche, l'avantage de la simplicité crédite une excellente fiabilité du système ainsi qu'un prix inférieur en comparaison avec des pompes similaires équipées d'automate programmable et ou de variateur, vannes pilotées, capteurs, etc.
  • Figure 2 représente un système de pompes à vide SPP adapté pour la mise en oeuvre d'une méthode de pompage selon un mode de réalisation ne faisant pas partie de la présente invention.
  • Par rapport au système montré à la figure 1, le système représenté à la figure 2 représente le système de pompage « piloté » SPP, qui comprend en outre des capteurs adéquats 11, 12, 13 qui contrôlent soit le courant du moteur (capteur 11) de la pompe principale à vide à palettes lubrifiées 3, soit la pression (capteur 13) des gaz dans le volume du conduit de sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour 6, soit la température (capteur 12) des gaz dans le volume du conduit à sortie de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées, limité par le clapet anti-retour 6, soit une combinaison de ces paramètres.
  • En effet, quand la pompe à vide principale à palettes lubrifiées 3 commence à pomper les gaz de l'enceinte à vide 1, les paramètres tels le courant de son moteur, la température et la pression des gaz dans le volume du conduit de sortie 4 commencent à se modifier et atteignent des valeurs de seuil détectées par les capteurs. Pour le courant du moteur, la valeur de seuil peut être un pourcentage de la valeur maximale mesurée lors d'un cycle de vidage sans mise en marche de la pompe à vide auxiliaire (p. ex. 75%). Pour la température des gaz, mesurée à un endroit bien défini dans le volume du conduit de sortie 4 la valeur de seuil peut être un pourcentage (p. ex. 80%) de la valeur maximale mesurée lors d'un cycle de vidage sans mise en marche de la pompe à vide auxiliaire. Pour la pression des gaz, la valeur de seuil (p. ex. 100 mbar) est définie en fonction du rapport des débits des deux pompes, la principale et l'auxiliaire. Après des temporisations adaptées, spécifiques à chaque paramètre, la mise en marche de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est déclenchée. Quand ces paramètres repassent dans des plages initiales (hors consignes) avec des temporisations adaptées, spécifiques à chaque paramètre, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées 7 est arrêtée. Certainement, la présente invention est sujette à de nombreuses variations quant à sa mise en œuvre. Bien que divers modes de réalisation aient été décrits, on comprend bien qu'il n'est pas concevable d'identifier de manière exhaustive tous les modes possibles. Il est bien sûr envisageable de remplacer un moyen décrit par un moyen équivalent sans sortir du cadre de la présente invention. Toutes ces modifications font partie des connaissances communes d'un homme du métier dans le domaine de la technologie du vide.

Claims (14)

  1. Méthode de pompage dans un système de pompes à vide (SP, SPP) comprenant:
    - une pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompes à vide (SP, SPP),
    - un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et
    - une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) qui a son moteur et qui est branchée en parallèle au clapet anti-retour (6),
    la méthode étant caractérisée en ce que
    la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) est mise en marche afin de pomper les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) par l'orifice de sortie des gaz (4) ;
    de manière simultanée, la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mise en marche ; et
    la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) continue de fonctionner tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) et/ou tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1).
  2. Méthode de pompage selon la revendication 1, caractérisée en ce que la sortie de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) rejoint la sortie des gaz (8) après le clapet anti-retour (6).
  3. Méthode de pompage selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est dimensionnée afin d'avoir une consommation d'énergie minimale de son moteur.
  4. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mono-étagée ou multi-étagée.
  5. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (6) se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) se situe entre 500 mbar absolu et le vide final.
  6. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
  7. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
  8. Système de pompes à vide (SP, SPP) comprenant :
    - une pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompes à vide (SP, SPP),
    - un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et
    - une pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) qui a son moteur et qui est branchée en parallèle au clapet anti-retour (6),
    le système de pompes à vide (SP, SPP) étant caractérisé en ce que
    la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est agencée pour se mettre en marche de manière simultanée avec la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) et pour rester en marche tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) et/ou tout le temps que la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1).
  9. Système de pompes à vide selon la revendication 8, caractérisée en ce que la sortie de la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) rejoint la sortie des gaz (8) après le clapet anti-retour (6).
  10. Système de pompes à vide selon la revendication 8 ou 9, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est dimensionnée afin d'avoir une consommation d'énergie minimale de son moteur.
  11. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 8 à 10 caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est mono-étagée ou multi-étagée.
  12. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 8 à 11, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (6) se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3) se situe entre 500 mbar absolu et le vide final.
  13. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 8 à 12, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) refoule les gaz dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
  14. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 8 à 13, caractérisée en ce que la pompe à vide auxiliaire à palettes lubrifiées (7) est intégrée dans le séparateur d'huile de la pompe à vide principale à palettes lubrifiées (3).
EP14738765.8A 2014-06-27 2014-06-27 Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide Revoked EP3161318B1 (fr)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PT147387658T PT3161318T (pt) 2014-06-27 2014-06-27 Método de bombagem num sistema de bombas de vácuo e sistema de bombas de vácuo
PL14738765T PL3161318T3 (pl) 2014-06-27 2014-06-27 Sposób pompowania w układzie pomp próżniowych oraz układ pomp próżniowych

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2014/063725 WO2015197138A1 (fr) 2014-06-27 2014-06-27 Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP3161318A1 EP3161318A1 (fr) 2017-05-03
EP3161318B1 true EP3161318B1 (fr) 2020-02-05

Family

ID=51177037

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP14738765.8A Revoked EP3161318B1 (fr) 2014-06-27 2014-06-27 Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide

Country Status (15)

Country Link
US (2) US10760573B2 (fr)
EP (1) EP3161318B1 (fr)
JP (1) JP6608394B2 (fr)
KR (1) KR102223057B1 (fr)
CN (1) CN106662108A (fr)
AU (3) AU2014398770A1 (fr)
BR (1) BR112016030498B1 (fr)
CA (1) CA2953455C (fr)
DK (1) DK3161318T3 (fr)
ES (1) ES2774438T3 (fr)
PL (1) PL3161318T3 (fr)
PT (1) PT3161318T (fr)
RU (1) RU2666720C2 (fr)
TW (2) TWI710702B (fr)
WO (1) WO2015197138A1 (fr)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2774438T3 (es) * 2014-06-27 2020-07-21 Ateliers Busch S A Método de bombeo en un sistema de bombas de vacío y sistema de bombas de vacío
JP6785695B2 (ja) * 2016-06-08 2020-11-18 株式会社荏原製作所 除害機能付ドライ真空ポンプ
JP6473283B1 (ja) * 2017-05-30 2019-02-20 株式会社アルバック 真空ポンプ
CN107559200B (zh) * 2017-11-01 2024-06-14 广东肯富来泵业股份有限公司 平衡型罗茨真空泵***及其控制方法
CN107701482A (zh) * 2017-11-15 2018-02-16 益发施迈茨工业炉（上海）有限公司 真空炉电机的辅助启动***及方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62233492A (ja) 1986-03-31 1987-10-13 Shimadzu Corp 油回転真空ポンプ
JP2003129957A (ja) 2001-10-26 2003-05-08 Ulvac Japan Ltd 真空排気方法および真空排気装置
JP2003139055A (ja) 2001-10-31 2003-05-14 Ulvac Japan Ltd 真空排気装置
US20050000436A1 (en) * 2001-10-11 2005-01-06 Peter Muller Multi-chamber installation for treating objects under vacuum, method for evacuating said installation and evacuation system therefor
EP1589227A1 (fr) * 2004-04-21 2005-10-26 Alcatel Pompe à vide multi-étagée et installation de pompage comprenant une telle pompe

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3536418A (en) * 1969-02-13 1970-10-27 Onezime P Breaux Cryogenic turbo-molecular vacuum pump
GB1303430A (fr) * 1969-06-12 1973-01-17
US4426450A (en) 1981-08-24 1984-01-17 Fermentec Corporation Fermentation process and apparatus
SU1170190A1 (ru) * 1984-01-17 1985-07-30 Предприятие П/Я А-1614 Система смазки механического вакуумного насоса
JPH0776553B2 (ja) * 1986-02-14 1995-08-16 株式会社島津製作所 複連形油回転真空ポンプ
JPS63104693A (ja) * 1986-10-22 1988-05-10 Nissho:Kk 産業廃棄物の処理方法
JPH0442557Y2 (fr) * 1986-12-25 1992-10-07
DE8816875U1 (de) 1987-12-21 1991-04-11 Werner Rietschle Maschinen- Und Apparatebau Gmbh, 7860 Schopfheim Vakuumpumpstand
DE3842886A1 (de) * 1987-12-21 1989-07-06 Rietschle Masch App Vakuumpumpstand
DE3819692A1 (de) * 1988-06-09 1989-12-14 Provac Gmbh & Co Trockenlaufende drehschieber-vakuumpumpe
SU1700283A1 (ru) * 1989-05-05 1991-12-23 Предприятие П/Я А-3634 Вакуумный насос
US5004407A (en) * 1989-09-26 1991-04-02 Sundstrand Corporation Method of scavenging air and oil and gear pump therefor
JPH0436091A (ja) * 1990-05-29 1992-02-06 Shimadzu Corp 油回転真空ポンプ
KR100190310B1 (ko) * 1992-09-03 1999-06-01 모리시따 요오이찌 진공배기장치
DE4327583A1 (de) * 1993-08-17 1995-02-23 Leybold Ag Vakuumpumpe mit Ölabscheider
JP3386202B2 (ja) * 1993-09-08 2003-03-17 株式会社アルバック ２段式油回転真空ポンプ
DE19709206A1 (de) * 1997-03-06 1998-09-10 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
FR2822200B1 (fr) * 2001-03-19 2003-09-26 Cit Alcatel Systeme de pompage pour gaz a faible conductivite thermique
DE10131516B4 (de) 2001-07-02 2004-05-06 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Steuereinheit zur Flussregulierung
KR100876318B1 (ko) 2001-09-06 2008-12-31 가부시키가이샤 아루박 진공배기장치 및 진공배기장치의 운전방법
US6589023B2 (en) * 2001-10-09 2003-07-08 Applied Materials, Inc. Device and method for reducing vacuum pump energy consumption
JP4077196B2 (ja) * 2001-12-25 2008-04-16 滋 山口 油回転真空ポンプ
JP2004263635A (ja) 2003-03-03 2004-09-24 Tadahiro Omi 真空装置および真空ポンプ
US7254961B2 (en) 2004-02-18 2007-08-14 Denso Corporation Vapor compression cycle having ejector
US7632084B2 (en) * 2004-08-02 2009-12-15 Panasonic Corporation Oilless rotary vane pump having open ends of vane grooves being inclined rearward in the rotation direction
US7655140B2 (en) 2004-10-26 2010-02-02 Cummins Filtration Ip Inc. Automatic water drain for suction fuel water separators
US8807158B2 (en) 2005-01-20 2014-08-19 Hydra-Flex, Inc. Eductor assembly with dual-material eductor body
DE102005008887A1 (de) 2005-02-26 2006-08-31 Leybold Vacuum Gmbh Einwellige Vakuum-Verdränderpumpe
WO2007003215A1 (fr) * 2005-07-05 2007-01-11 Vhit S.P.A. Pompe à vide à palettes avec soupape de refoulement
WO2007010851A1 (fr) 2005-07-21 2007-01-25 Nabtesco Corporation Système à vide et procédé d'exploitation correspondant
JP4745779B2 (ja) 2005-10-03 2011-08-10 神港精機株式会社 真空装置
DE102006022772A1 (de) * 2006-05-16 2007-11-22 Pfeiffer Vacuum Gmbh Antriebsanordnung für eine Vakuumpumpe
DE102006058837C5 (de) * 2006-12-13 2022-05-05 Pfeiffer Vacuum Gmbh Schmiermittelgedichtete Drehschiebervakuumpumpe
JP5438279B2 (ja) * 2008-03-24 2014-03-12 アネスト岩田株式会社 多段真空ポンプ及びその運転方法
TWI467092B (zh) 2008-09-10 2015-01-01 Ulvac Inc 真空排氣裝置
GB2465374A (en) 2008-11-14 2010-05-19 Mann & Hummel Gmbh Centrifugal separator with venturi
JP5303249B2 (ja) * 2008-11-26 2013-10-02 株式会社荏原製作所 ドライ真空ポンプユニット
DE102009024336A1 (de) * 2009-06-09 2010-12-23 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
FR2952683B1 (fr) * 2009-11-18 2011-11-04 Alcatel Lucent Procede et dispositif de pompage a consommation d'energie reduite
JP5677202B2 (ja) * 2011-06-02 2015-02-25 株式会社荏原製作所 真空ポンプ
FR2993614B1 (fr) 2012-07-19 2018-06-15 Pfeiffer Vacuum Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
DE102012220442A1 (de) 2012-11-09 2014-05-15 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer sowie Verfahren zur Steuerung eines Vakuumpumpensystems
GB2509182A (en) 2012-12-21 2014-06-25 Xerex Ab Vacuum ejector with multi-nozzle drive stage and booster
ITTO20121157A1 (it) * 2012-12-27 2014-06-28 Vhit Spa Sistema di lubrificazione per una pompa per vuoto rotativa.
ES2774438T3 (es) * 2014-06-27 2020-07-21 Ateliers Busch S A Método de bombeo en un sistema de bombas de vacío y sistema de bombas de vacío

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62233492A (ja) 1986-03-31 1987-10-13 Shimadzu Corp 油回転真空ポンプ
US20050000436A1 (en) * 2001-10-11 2005-01-06 Peter Muller Multi-chamber installation for treating objects under vacuum, method for evacuating said installation and evacuation system therefor
JP2003129957A (ja) 2001-10-26 2003-05-08 Ulvac Japan Ltd 真空排気方法および真空排気装置
JP2003139055A (ja) 2001-10-31 2003-05-14 Ulvac Japan Ltd 真空排気装置
EP1589227A1 (fr) * 2004-04-21 2005-10-26 Alcatel Pompe à vide multi-étagée et installation de pompage comprenant une telle pompe

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017523339A (ja) 2017-08-17
CA2953455C (fr) 2022-03-29
KR20170028381A (ko) 2017-03-13
RU2017102492A (ru) 2018-07-27
KR102223057B1 (ko) 2021-03-05
BR112016030498B1 (pt) 2022-06-28
PL3161318T3 (pl) 2020-08-10
AU2019204608B2 (en) 2021-07-22
US10760573B2 (en) 2020-09-01
AU2019204608A1 (en) 2019-07-18
RU2666720C2 (ru) 2018-09-11
TW201608135A (zh) 2016-03-01
EP3161318A1 (fr) 2017-05-03
WO2015197138A1 (fr) 2015-12-30
ES2774438T3 (es) 2020-07-21
JP6608394B2 (ja) 2019-11-20
CA2953455A1 (fr) 2015-12-30
TW202043623A (zh) 2020-12-01
BR112016030498A2 (fr) 2017-08-22
RU2017102492A3 (fr) 2018-07-27
US11725662B2 (en) 2023-08-15
DK3161318T3 (da) 2020-03-09
US20170122321A1 (en) 2017-05-04
PT3161318T (pt) 2020-03-06
TWI734588B (zh) 2021-07-21
TWI710702B (zh) 2020-11-21
CN106662108A (zh) 2017-05-10
AU2017100332A4 (en) 2017-04-27
AU2014398770A1 (en) 2017-01-19
US20200318640A1 (en) 2020-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3161318B1 (fr) Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide
EP3201469B1 (fr) Systeme de pompage pour generer un vide et procede de pompage au moyen de ce systeme de pompage
EP2501936B1 (fr) Procede et dispositif de pompage a consommation d'energie reduite
EP3198148B1 (fr) Système de pompage pour générer un vide et procédé de pompage au moyen de ce système de pompage
WO2018010970A1 (fr) Procédé de descente en pression dans un sas de chargement et de déchargement et groupe de pompage associé
EP3137771B1 (fr) Méthode de pompage dans un système de pompage et système de pompes à vide
EP3867531B1 (fr) Procédé de contrôle de la température d'une pompe à vide, pompe à vide et installation associées
EP3676589B1 (fr) Détecteur de fuites et procédé de détection de fuites pour le contrôle de l'étanchéité d'objets à tester
CA2943315C (fr) Methode de pompage dans un systeme de pompes a vide et systeme de pompes a vide
FR3094762A1 (fr) Pompe à vide de type sèche et installation de pompage
FR2968730A1 (fr) Dispositif de pompage a consommation d'energie reduite

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20170124

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: EXAMINATION IS IN PROGRESS

17Q First examination report despatched

Effective date: 20190301

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20191017

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE PATENT HAS BEEN GRANTED

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 1230098

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20200215

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 602014060600

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: BOVARD AG PATENT- UND MARKENANWAELTE, CH

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: FRENCH

REG Reference to a national code

Ref country code: PT

Ref legal event code: SC4A

Ref document number: 3161318

Country of ref document: PT

Date of ref document: 20200306

Kind code of ref document: T

Free format text: AVAILABILITY OF NATIONAL TRANSLATION

Effective date: 20200228

REG Reference to a national code

Ref country code: DK

Ref legal event code: T3

Effective date: 20200303

REG Reference to a national code

Ref country code: SE

Ref legal event code: TRGR

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: FP

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FG2A

Ref document number: 2774438

Country of ref document: ES

Kind code of ref document: T3

Effective date: 20200721

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200505

Ref country code: RS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG4D

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200506

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200605

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200505

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: SM

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R026

Ref document number: 602014060600

Country of ref document: DE

PLBI Opposition filed

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009260

PLAX Notice of opposition and request to file observation + time limit sent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNOBS2

26 Opposition filed

Opponent name: EDWARDS LIMITED

Effective date: 20201105

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

PLBB Reply of patent proprietor to notice(s) of opposition received

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNOBS3

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: UEP

Ref document number: 1230098

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20200205

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R103

Ref document number: 602014060600

Country of ref document: DE

Ref country code: DE

Ref legal event code: R064

Ref document number: 602014060600

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

RDAF Communication despatched that patent is revoked

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNREV1

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

Ref country code: AL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200205

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Payment date: 20220620

Year of fee payment: 9

Ref country code: PT

Payment date: 20220617

Year of fee payment: 9

Ref country code: NL

Payment date: 20220620

Year of fee payment: 9

Ref country code: MC

Payment date: 20220623

Year of fee payment: 9

Ref country code: LU

Payment date: 20220620

Year of fee payment: 9

Ref country code: IT

Payment date: 20220624

Year of fee payment: 9

Ref country code: IE

Payment date: 20220621

Year of fee payment: 9

Ref country code: GB

Payment date: 20220627

Year of fee payment: 9

Ref country code: DK

Payment date: 20220622

Year of fee payment: 9

Ref country code: DE

Payment date: 20220620

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Payment date: 20220624

Year of fee payment: 9

Ref country code: PL

Payment date: 20220622

Year of fee payment: 9

Ref country code: BE

Payment date: 20220620

Year of fee payment: 9

Ref country code: AT

Payment date: 20220621

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20220628

Year of fee payment: 9

RDAG Patent revoked

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009271

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: PATENT REVOKED

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Payment date: 20220830

Year of fee payment: 9

27W Patent revoked

Effective date: 20220331

GBPR Gb: patent revoked under art. 102 of the ep convention designating the uk as contracting state

Effective date: 20220331

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MA03

Ref document number: 1230098

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20220331

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20220613

Year of fee payment: 9

REG Reference to a national code

Ref country code: SE

Ref legal event code: ECNC