DE8816875U1

DE8816875U1 - Vakuumpumpstand

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Publication number: DE8816875U1
Application number: DE8816875U
Authority: DE
Original assignee: Werner Rietschle Maschinen- und Apparatebau 7860 Schopfheim De GmbH
Current assignee: Werner Rietschle Maschinen- und Apparatebau 7860 Schopfheim De GmbH
Priority date: 1987-12-21
Filing date: 1988-12-20
Publication date: 1991-04-11
Anticipated expiration: 1998-12-21

Description

PRINZ, LEISER, BUNKE &

Patentanwälte - European Patent Attorneys

Manzingerweg 7 ■ 8000 München'6Ö*

Werner Rietschle Maschinen- 23. Oktober 1990

und Apparatebau GmbH

Roggenbachstraße 58

7860 Schopfheim

Unser Zeichen: R 1246 DE G

Vakuumpumpstand

Die Erfindung betrifft einen Vakuumpumpstand mit mindestens zwei in Reihe geschalteten Walzkolben-Pumpstufen, wobei jeweils die in Strömungsrichtung nachfolgende Pumpstufe ein geringeres Saugvermögen als di<s ihr vorausgehende Pumpstufe aufweist.

Zur Erzielung eines niedrigen Enddrucks auf der Ansaugseite werden bei Vakuumpumpstanden, die mit Wälzkolben-Vakuumpumpen ausgestattet sind, gewöhnlich mehrere Pumpstufen in Reihe geschaltet. Das Saugvermögen jeder Pumpstufe wird entsprechend dem spezifischen Volumen des von ihr geförderten Mediums bestimmt. Eine in der Reihenanordnung nachfolgende Pumpstufe weist daher stets ein kleineres Saugvermögen als die vorausgehende Pumpstufe auf.

Zu Beginn eines Auspumpvorganges arbeitet jedoch die jeweils vorgeschaltete Pumpstufe auf einem relativ hohen Druckniveau. Als Beispiel sei der Fall betrachtet, daß ein unter Atmosphärendruck stehender Rezipient gegen Atmosphäre evakuiert werden

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soll. Die vorgeschaltete Stufe fordert dann einen Volumenstrom, den die nachgeschaltete Pumpstufe aufgrund ihres kleineren Saugvermögens nicht verarbeiten kann, ohne einen Zwischendruck aufzubauen, der über dem Atmospharendruck liegt. Da der Aufbau eines über Atmospharendruck liegenden Zwischendrucks unerwünscht ist, wird die nachgeschaltete Pumpstufe durch ein Bypass-Ventil überbrückt, das den überschüssigen Volumenstrom an dieser Pumpstufe vorbeifuhrt.

Bei Forderung von aggressiven Medien oder solchen Medien, die Ablagerungen bilden, ist ein solches Bypass-Ventil aber ein gefährdetes Bauteil, dessen Funktion durch Korrosion oder Ablagerungen beeinträchtigt werden kann. Durch Wartung oder Reparatur eines nicht einwandfrei funktionierenden Bypass-Ventils werden Ausfallzeiten und Arbeitsaufwand verursacht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Vakuumpumpstand mit mehreren in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pumpstufen verschiedenen Saugvermogens die Verwendung eines die jeweils nachgeschaltete Pumpstufe überbrückenden Bypass-Ventils überflüssig zu machen.

Diese Aufgabe wird bei einem solchen Pumpstand erfindungsgemaß dadurch gelosv., daß die in Stromungsrichtung nachfolgende Pumpstufe über einen Antrieb mit Freilaufwirkung angetrieben ist. Aufgrund der Freilaufwirkung können die Walzkolben der nachgeschalteten Pumpstufe durch den Gasstrom über die Antriebsdrehzahl des zugehörigen Antriebs hinaus beschleunigt werden. Da hierfür nur wenig Energie benotigt wird, baut sich ein relativ geringer Zwischendruck vor dieser nacbgeschalteten Pumpstufe auf. Liegt beispielsweise eine Abstufung des Saugvermogens zwischen einer Niederdruckpumpstufe und der ihr nachgeschnlteten Hochdruckpumpstufe von 2:1 vor, so beschleunigt der Gasstrom die Walzkolben der Hochdruckstufe auf etwa den doppelten Wert der normalen Antriebsdrehzahl, wenn d;'e Niederdruckpumpstufe zu Beginn eines Auspumpvorganges zunächst Luft oder ein anderes Medium unter AtmosphSrendruek ansaugt. Je mehr sJch aber

der Ansaugdruck vor der Niederdruckpumpstufe dem halben Atmosphärendruck nähert, desto mehr nähert sich die Drehzahl der Hochdruckpumpstufe der normalen Antriebsdrehzahl. Etwa bei Erreichen des halben Atmosphärendrucks setzt der pigenn Antrieb der Hochdruckpumpstufe ein, da der Freilaufeffekt entfällt.

Die Freilaufwirkung des Antriebs einer Pumpstufe laßt sich auf verscnieuene Weise erzielen, wird ein mit konstanter Drehzahl arbeitender Antrieb verwendet, beispielsweise ein Elektromotor, so kann zwischen diesem und der Pumpstufe eine mechanische Freilaufkuppung eingefügt werden. Eine solche Freilaufkupplung kann als Klemmrollenkupplung ausgebildet sein, die sich durch Wartungsfreiheit und geringe Ve^uste auszeichnet.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist der Antrieb jeder Pumpstufe durch einen Hydraulikmotor gebildet. Die Hydraulikmotoren der aufeinanderfolgenden Pumpstufen sind in Reihe geschaltet und werden von einer gemeinsamen Druckmittelquelle gespeist. Die Verwendung von in Reihe geschalteten Hydraulikinotoren als Antrieb fur die Pumpstufen ist besonders Vorteilhaft, weil die fur das jeweilige Saugvermogen einer Pumpstufe geeignete Drehzahl sich durch entsprechende Dimensionierung des Hydraulikmotors erzielen läßt. Da die Hydraulikmotoren ebenso wie die Pumpstufen in Reihe geschaltet sind, bleibt im normalen Betrieb die gewünschte Drehzahlabstufung zwischen den Pumpstufen stets erhalten. Herkömmliche Vakuumpumpstande mit mehreren in Reihe geschalteten Waizkoiben-Pumpstufen verfugen über einen Antrieb mit einem Elektromotor und einem Zahnradgetriebe, über das die Drehzahlabstufung fur die einzelnen Pumpstufen erzielt wird. Ein solcher Antrieb ist jedoch aufwendig. Aufwendig ware auch ein Direktantrieb jeder Pumpstufe über einen zugehörigen Elektromotor.

TJm nun jede in Stromungsrichtung nachfolgende Pumps tare mit dem oben beschriebenen Frei lauf effekt auszustatten, ist weiterhin vorgesehen, daß der Einlaß jedes zu einer in Stromungs-

richtung nachfolgenden Pumpstufe gehörenden Hydraulikmotors außer mit dem Auslaß des vorausgehenden Hydraulikmotors auch über ein zum Sammelbehälter fur die Hydraulikflüssigkeit hin sperrendes Rückschlagventil mit diesem Sammelbehälter verbunden ist. Der Freilaufeffekt kommt dadurch zustande, daß jeder Hydraulikmotor, der durch die angekoppelte Pumpstufe über die normale Antriebsdrehzahl hinaus beschleunigt wird, den wegen rloT- orhnhfon nrohiahl »ncaf^Hrh honfitinfen PlüscinWoi foofrnm — -j _ -j

über das Rückschlagventil widerstandsarm aus dem Sammelbehalter nachsaugen kann. Gesonderte Freil? ifkupplungen werden daher nicht benötigt, wodurch der Gesamtaufwand erheblich vermindert wird.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung mehrere Ausführungsformen und aus der Zeichnung, auf die Bezug genommen wird. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 die erfindungsgemäße Ausführung eines Vakuumpumpstandes mit zwei in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pump-.5 hilf en j

Fig. 2 eine Skizze, welche die herkömmliche Ausbildung eines Vakuumpumpstandes mit zwei in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pumpstufen zeigt;

Fig. 3 eine dreistufige Ausführung des erfindungsgemäßen Vakuumpumpstandes ;

Fig. 4 eine schematische Schnittansicht einer Pumpstufe;

Fig. 5 eine teilweise im Schnitt gezeigte Seitenansicht eines dreistufigen Pumpstandes;

Fig. 6 eine schematische Gesamtansicht eines dreistufigen Pumpstandes;

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&ldquor;_ Fig. 7 eine schematische Seitenansicht einer Ausführungsform

einer Freilaufkupplung;

Fig. 8 eine Schnittansicht der in Fig. 7 gezeigten Freilaufkupplung;

Fig. 9 ein Hydraulikschema des Antriebs eines dreistufigen Pumpstandes nach einer besonderen Ausführuncrsform der Erfindung;

Fig. 10 eine Seitenansicht eines Auslaßventils einer der v; nachfolgenden Pumpstufen; und

V Fig. 11 eine Draufsicht desselben Auslaßventils.

Der in Figur 2 schematisch gezeigte Vakuumpumpstand besteht ; aus zwei in Reihe geschalteten Walzkolben-Pumpstufen 1, 2. Die der Pumpstufe 1 nachfolgende Pumpstufe 2 ist durch ein Bypass-Ventil 3 überbrückt. Jede Pumpstufe 1, 2 verfügt über einen zugeordneten Antrieb 4, der mit einer bestimmten Antriebsdrehzahl arbeitet. Die Pumpstufen 1. 2 sind jeweils starr an den zugehörigen Antrieb 4 angekoppelt. Die Pumpstufe 1 besitzt beispielsweise das doppelte Saugvermogen wie die Pumpstufe 2. Wenn zu Beginn eines Auspumpvorganges die Pumpstufe 1 Luft unter atmosphärischem Druck ansaugt, während beide Pumpstufen 1, 2 mit der vorgesehenen Antriebsdrehzahl angetrieben werden, kann die nachfolgende Pumpstufe 2 aufgrund ihres geringeren Saugvermogens das vom Auslaß der Pumpstufe 1 übernommene Volumen nicht fordern, ohne daß sich ein über Atntosphärendruck liegender Zwischendruck zwischen den beiden Pumpstufen aufbaut. Um die unerwünschte Erzeugung eines Zwischendrucks zwischen den beiden Pumpstufen zu vermeiden, ist das Bypass-Ventil 3 vorgesehen, welches einen überhöhten Zwischendruck zum Auslaß der nachfolgenden Pumpstufe 2 abführt.

Bei der in Fig. 1 gezeigten erfindungsgemäßen Ausbildung des Vakuumpumpstandes kann ein solches Bypass-Ventil 3 entfallen.

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Bei der in Figur 1 gezeigten Ausführungsform sind gleichfalls zwei Pumpstufen 1, 2 in Reihe geschaltet. Das Saugvermogen der nachfolgenden Pumpstufe 2 ist beispielsweise halb so groß wie das der Pumpstufe 1. Die Pumpstufe 1 ist starr an ihren Antrieb 4 angekoppelt. Die nachfolgende Pumpstufe 2 ist hingegen nicht starr, sonder · mit Freiiaufwirkung angetrieben. Bei der gezeigten Ausfuhrungsform ist zwischen die Pumpstufe 2 und ihren Antrieb 4 eine Freilaufkupplung eingefügt. Ferner ist die Puppstufe 2 nicht durch ein Bypass·-Ventil überbrückt. 7,\i Beginn eines Auspumpvorganges, wie er oben unter Bezugnahme auf Figur 1 erläutert wurde, bewirkt der von der Pumpstufe 1 an die nachfolgende Pumpstufe 2 übergebene Volunenstrom eine Beschleunigung -ler Wälzkolben dieser nachfolqerden Pumpstufe auf einen Wert, d°.r im vorliegenden Beispiel doppelt so groß ist wie die normale Antriebsdrehzahl dieser Pumpstufe. Die Freilaufkupplung 5 ist dabei in Funktion, so daß die Wälzkolben der Pumpstufe 2 vom Antrieb 4 abgekoppelt und nur über den von der vorausgehenden Pumpstufe abgegebenen Volumenstrom angetrieben werden. Zwischen den beiden Pumpstufen 1, 2 baut sich kein überhöhter Zwischendruck auf, da die nachfolgende Pumpstufe 2 aufgrund der erhöhten Drehzahl ihrer Wälzkolben den erhöhten Volumenstrom verarbeiten kann. Mit abnehmendem Volumenstrom am Auslaß der vorausgehenden Pumpstufe 1 nähert sich aber die Drehzahl der nachfolgenden Pumpstufe 2 ihrer normalen Arbeitsdrehzahl, die durch ihren Antrieb 4 bestimmt wird. Wenn beispielsweise die Pumpstufe 2 gegen Atmosphäre arbeitet, so ist die Drehzahl ihrer Wälzkolben auf etwa die normale Antriebsdrehzahl abgesunken, sobald der Druck zwischen den beiden Pumpstufen i, 2 im vorliegenden Beispiel dem halben Atmosphärendruck entspricht. Die Freilaufkupplung 5 verliert dann ihre Freilauffunktion, so daß die Wälzkolben der Pumpstufe 2 über den zugehörigen Antrieb 4 angetrieben werden.

Bei der in Figur 3 gezeigten Ausfuhrungsform sind drei Pumpstufen 1, 2, 6 in Reihe geschaltet. Jede Pumpstufe 1, 2, 6 verfügt über einen eigenen Antrieb 4. Wahrend die Pumpstufe 1 starr an ihren Antrieb 4 angekoppelt ist, sind die nachfolgen-

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den, jeweils ein geringeres Saugvermogen aufweisenden Pumpstufen 2, 6 an den zugehörigen Antrieb 4 jeweils über eine Freilaufkupplung 5 angekoppelt. Die Wirkungsweise ist bei dieser Ausführung prinzipiell dieselbe wie bei der zweistufigen Ausführung nach Figur 2 und wird daher nicht erneut beschrieben.

Figur 4 zeigt schematisch die Ausbildung der Pumpstufen 2 und 6. In einem Gehäuse 10 ist eine Arbeitskammer 12 gebildet, in der zwei Walzkolben 14, 16 gegensinnig rotieren. Einlaß 18 unc Auslaß 20 liegen koaxial, wodurch der mechanische Zusammenbau eines mehrstufigen Pumpstandes, dessen Pumpstufen in Reihe geschaltet sind, erleichtert wird. Der Auslaß 20 ist mit zwei Rückschlagventilen versehen, die je eiu-sm Auslaßkanal zugeordnet sind, welcher aus einer zugehörigen Hälfte der Arbeitskammer 12 herausführt. Die Pumpstufe 1 ist prinzipiell wie die Pumpstufen 2, 6 ausgebildet, jedoch nicht mit Rückschlagventilen versehen. Die Figuren 5 und 6 zeigen einen dreistufiger Pumpstand, dessen Pumpstufen 2 und 6 in der in Figur 4 gezeigten Weise ausgebildet sind. Die Pumpstufen 1, 2 und 6 sine übereinander angeordnet, wobei jeweils Einlaß und Auslaß aufeinanderfolgender Pumpstufen unmittelbar miteinander verbunder sind. Eine Besonderheit des Pumpstandes ist aus Figur 6 ersichtlich. Die drei in Reihe geschalteten Pumpstufen 1, 2, &iacgr; sind jeweils durch einen zugeordneten Hydraulikmotor 22, 24, 2( angetrieben. Die Hydraulikmotoren 22, 24, 26 sind ihrerseits in Reihe geschaltet. Eine gemeinsamen Druckmittelquelle, die durch einen Elektromotor 28 und eine durch diesen angetriebene Druckpumpe 30 mit Sammelbehälter für die Hydraulikflüssigkeit gebildet ist, versorgt über eine Rohrleitung 32 den Hydraulikmotor 22, dessen Au-jlaß mit dem Einlaß des Hydraulikmotors 24 verbunden ist, dessen Auslaß mit dem Einlaß des Hydraulikmotors 26 verbunden 1st, von dessen Auslas eine Rohrleitung 34 zur Druckinittelquelle zurückführt.

Das Hydraulikschema des in Figur 6 gezeigten Pumpstanries ist in Figur 9 gssslgt· "sr; srksrint: dort dsn "lcktromOcOi 26, üie c urch diasen angetriebene Druckpumpe 30, die Rohrleitung 32,

die Hydraulikmotoren 22, 24, 26 sowie die Rohrleitung 34, die in den Sammelbehalter 31 zurückführt. Die Hydraulikmotoren 22, 24, 26 sind jeweils so dimensioniert, daß sie die für das Saugvermogen der zugehörigen Pumpstufe geeignete Antriebsdrehzahl erzeugen. Da die Hydraulikmotoren 22, 24, 26 in Reihe geschaltet sind, bleibt das Verhältnis der Antriebsdrehzahlen bei stationärem Betrieb konstant. i:

Um nun zu erreichen, daß die Pumpstufen 2, 6 in gleicher Weise &idigr;\

wie bei Figur 3 mit Frei lauf wirkung angetrieben werden und so- f;|

mit zu Beginn des Auspumpvorganges mit einer Drehzahl laufen -;

können, die hoher ist als ihre normale Antriebsdrehzahl, be- &iacgr;

steht eine Stroiaungsverbindung zwischen dem Sammelbehälter 31

=1 und dem Verbindungspunkt zwischen den Hydraulikmotoren 22, 24 ■'< einerseits sowie 24, 26 andererseits. Diese Stromungsverbin- ^:; dung erfolgt über ein Rückschlagventil 36 bzw. 38, das in Richtung vom Sammelbehälter 31 zu den Hydraulikmotoren hin widerstandsarm durchströmt werden kann, in der entgegengesetzten Richtung jedoch sperrt. Wenn zu Beginn des Auspumpvorganges die Pumpstufen 2_C 6 über ihre normale Antriebsdrehzahl hinaus beschleunigt werden, so können die Hydraulikmotoren 24, 26, die gleichfalls mit erhöhter Drehzahl laufen, da's hierfür be- ; notigte Flüssigkeitsvolumen über die Rückschlagventile 36, 38 aus dem Sammelbehälter 31 nachsaugen.

Die Figuren 7 und 8 zeigen eine mechanische Ausführung einer Freilaufkupplung. Es handelt sich um eine an sich bekannte Klemmrollenkupplung. Diese Klemmrollenkupplung besteht aus einem Außenring 40, der den Ausgang der Freilaufkupplung bildet und triebschlüssig an die zugehörige Pumpstufe 2, 6 angekoppelt ist, aus einem an den Antrieb 4 angekoppelten Innenläufer 42 und aus Wal &zgr; korpern AA, die zwischen der Innenfliehe des Außenrings 40 und rampenformigen Außenflächen des Innenlaufers 42 liegen. Bei Drehung des Innenlaufers 42 entgegen dem Uhrzeigersinn in Figur 7 wird der Außenring 40 über die Wälzkörper AA mitgencsHTssn, da diese zwischen Innenlaufer un<5 Außenring verklemmt werden. Der Außenring 40 kann jedoch den Innen-

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laufer 42 überholen, da eine Relativdrehung des Außenringes 40 im Uhrzeigersinn zum Innenläufer 42 dazu führt, daß die WaIzkorper 44 freikommen.

Die in Figur 8 gezeigte Schnittansicht zeigt, daß die Wälzkorper 44 zylindrisch ausgebildet sind. Es sind aber auch Ausführungen mit kugelförmigen Wälzkorpern möglich.

In Figur 4 sind im Bereich des Auslasses 20 der Pumpstufe zwei Rückschlagventile gezeigt. Durch diese Rückschlagventile wird eine Rückstromung des gepumpten Mediums verhindert, um so die zwischen Einlaß und Auslaß erzielte Druckdifferenz zu vergrößern. Insbesondere wird die bei herkömmlichen Wal&zgr;kolbenpumpen auftretende Rückstromung in die vom Einlaß herkommende und den Ein.aßdruck aufweisende Arbeitskammer, wenn diese Arbeitskammer in den Bereich des Auslasses gelangt, unterbunden. Wenn nun, wie im Stund der Technik üblich, jede nachfolgende Pumpstufe entsprechend ihrem Saugvermogen kleiner dimensioniert wird als die ihr vorausgehende Pumpstufe, damit MlIe Pumpstufen mit derselben Drehzahl betrieben werden können, so ergibt sich eine derart hohe Arbeitsfrequenz für etwa vorhandene Auslaßventile, daß die öffnungs- und Schließphasen nicht mehr einwandfrei aufgelost werden, die angestrebte Unterbindung einer Rückstromung also in Frage gestellt ist. Bei dem erfindungsgemaßen Vakuumpumpstand sind aber die jeweils nachfolgenden Pumpstufen gleich groß dimensioniert wie die vorausgehenden Pumpstufen und laufen mit einer entsprechend ihrem kleineren Saugvermogen verminderten Drehzahl, wodurch die Arbeitsfrequenz der Rückschlagventile entsprechend niedrig ist.

überdies wird erfindungsgemäß ein besonders schnell arbeitendes, einfaches und wartungsfreies Auslaßventil vorgesehlagen, das eine hohe Lebensdauer aufweist. Dieses Auslaßventil ist in den Figuren 10 und 11 dargestellt. Es besteht aus einer Ventilzunge 60, die an ihrem einen Ende mittels einer Schraube 62 fest am Gehäuse «3pr Pumpstufe sir.gespar.r.t ist und Ei It ihjrea anderen, freien Ende über der zugehörigen Auslaßoffnung 64

liegt. Die Ventilzunge 60 besteht vorzugsweise aus einem dünnen Federstahl. Sie ist in Fig. 10 mit durchgezogenen Linien in der Schließstellung und gestrichelt in der Öffnungsstellung gezeigt, die sie einnimmt, sobald der Druck auf der Seite der Auslaßoffnung den Druck auf der Außenseite übersteigt. Vorzugsweise ist der Ventilzunge 60 eine Dichtlamelle 61 zugeordnet, die in der Schließstellung durch die Ventilzunge 60 dichtend gegen die Auslaßoffnung 64 gedrückt wird. In der Öffnungsstellung begrenzt die Ventil lamelle den öf fnungshuh· der Dichtlamelle 61, die aus Kunststoff besteht.

Claims

PRINZ. LEISER, BUNKE & PARTNER

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Patentanwälte European Patent Attorney« j

Manzingerweg 7 8000 München 60

Werner Rietschle Maschinen- 23. Dktnber 1990

und Apparatebau GmbH

Roggenbachstraße 58

7860 Schopfheim

Unser Zeichen: R 1246 DE G

Schutzanspruche

1. Vakuumpumpstand mit mindestens zwei in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pumpstufen, von denen jeweils die in Stromungsrichtung nachfolgende Pumpstufe ein geringeres Saugvermögen als die ihr vorausgehende Pumpstufe aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die in Strömungsri<~htung nachfolgende Pumpstufe (2, 6) über einen Antrieb (4) mit Freilaufwirkung angetrieben ist.
2. Vakuumpumpstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mit Frei laufwirkung (5) angetriebene Pumpstufe (2, 6) nicht durch ein Bypass-Ventil (3) überbrückt ist.
3. Vakuumpumpstand nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei dreistufiger Ausführung die Mitteldruckstufe (2) und die Hochdruckstufe (6) jeweils mit Freilaufwirkung angetrieben sind.
4. Vakuumpumpstand nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die in Stromungsrichtung nachfolgende Puir.pstufe {2, 6} über eine mechanische Freilaufkupplung (5) an ihren Antrieb (4) angekoppelt ist.

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5. Vakuumpumpetand nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Freilaufkupplung als Klemmrol lenkupplung (40, 42, 44) ausgebildet ist,
6. Vakuumpumpetand nach einem der Ansprüche 1 Ms 3, dadurch gekennzeichnet, daß die als Hydraul ikmotoren (22, 24, 26) ausgebildeten Antriebe der Pumpstufen (1, 2, 6) in Reihe geschaltet sind und der Einlaß jedes zu einer in Stromungsrichtung nachfolgenden Pumpstufe gehörenden Hydraulikmotors außer mit dem Auslaß des vorausgehenden Hydraulikmotor auch über ein zum Sammelbehälter (31) für die Hydraulikflüssigkeit hin sperrendes Ruckschlagventil (36, 38) mit diesem Sammelbehalter (31) verbunden ist.
7. Vakuumpumpstand mit mehreren in Reihe geschalteten WaIzkolben-Pumpstufen, von denen jeweils die in Stromungsrichtung nachfolgende Pumpstufe ein geringeres Saugvermogen als die ihr vorausgehende Pumpstufe aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß jede Pumpstufe (1, 2, 6) einen als Hydraulikmotor (22, 24, 2 6) ausgebildeten Antrieb aufweist, daß die Hydraulikmotoren (22, 24, 26) in Reihe geschaltet sind und von einer einzigen Druckmittelquelle (30) gespeist werden und daß die Hydraulikmotoren (22, 24, 26) so dimensioniert sind, daß sie für die zugehörige Pumpstufe (1, 2, 6) jeweils die ihrem Saugvermogen entsprechende Antriebsdrehzahl erzeugen.
8. Vakuumpumpstand nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung zwischen dem Auslaß eines in der Reihenanordnung vorausgehenden Hydraulikmotors (22, 23) und dem Einlaß des nachfolgenden Hydraulikmotors (23, 24) jeweils über ein Rückschlagventil (36, 38) mit dem Sammelbehälter (31) für die Hydraulikflüssigkeit verbunden ist und das Ruckschlagventil (36, 38) in der Richtung von dem Sammelbehälter (31) zu den Hydraul ikmotoren (23, 24) öffnet bzw. in der entgegengesetzten Richtung sperrt.
9. Vakuumpumpstand nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die in Reihe geschalteten Pumpstufen (1, 2, 6) gleich dimensioniert sind und die Abstufung des Gangvermogens dieser Saugstufen durch Verminderung der Drehzahl jeder Pumpstufe (2, 6) gegenüber der jeweils vorausgehenden Pumpstufe (1, 2) bewirkt ist.
10. Vakuumpumpstand nach Anspruch 9. dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die letzte Pumpstufe (6) der Reihenanordnung, vorzugsweise jede der nachfolgenden Pumpstufen (2, 6), an ihrem Auslaß mit einer Rückschlagventilanordnung versehen ist.
11. Vakuumpumpstand nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückschlagventilanordnung durch mindestens eine Ventilzunge gebildet ist, die an ihrem einen Ende fest eingespannt ist und mit ihrem anderen, freien Ende über einer Auslaßoffnung liegt, sich aber von dieser Auslaßoffnung abhebt, sobald der Druck im Inneren der Pumpstufe den Außendruck übersteigt.