JP4745779B2 - 真空装置 - Google Patents
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Description
12 ドライポンプ
16 ロータ
18 吸気口
20 排気ポート
22 主排気配管
24 逆止弁
26 エゼクタ
28 バイパス配管
30 吸込側枝管
32 吐出側枝管
Claims (7)
- 吸気口から吸引した気体を大気圧にまで圧縮して排気口から排出する機械式の真空ポンプと、
上記排気口に一端が結合され該排気口から排出された上記気体を他端に移送する排気配管と、
上記排気配管の上記一端から上記他端に向かう方向を順方向として該排気配管に設けられた逆止弁と、
上記排気配管の上記逆止弁よりも上流側に結合され駆動ガスの供給により該上流側から上記気体を吸い込み該駆動ガスと共に吐き出す補助ポンプとしてのエゼクタと、
上記エゼクタから吐き出された吐出ガスを上記排気配管の上記逆止弁よりも下流側に合流させる合流配管と、
を具備し、
上記駆動ガスとして上記気体にガスパージ処理を施すためのパージ用ガスを用いる、
真空装置。 - 上記エゼクタは上記真空ポンプよりも排気能力が小さい、請求項1に記載の真空装置。
- 上記真空ポンプはスクリュー型のドライポンプである、請求項1または2に記載の真空装置。
- 上記気体は上記ガスパージ処理を必要とするガスを含む、請求項1ないし3のいずれかに記載の真空装置。
- 上記駆動ガスは窒素ガスである、請求項1ないし4のいずれかに記載の真空装置。
- 上記駆動ガスは圧縮空気である、請求項1ないし4のいずれかに記載の真空装置。
- 上記真空ポンプは防爆対応品である、請求項1ないし6のいずれかに記載の真空装置。
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