WO2013084383A1

WO2013084383A1 - 基板作業装置

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Publication number: WO2013084383A1
Application number: PCT/JP2012/005548
Authority: WO
Inventors: 猛志藤本
Original assignee: ヤマハ発動機株式会社
Priority date: 2011-12-06
Filing date: 2012-08-31
Publication date: 2013-06-13
Also published as: CN103975655A; CN103975655B; US20140347468A1; EP2790475A4; JP5282137B2; EP2790475B1; JP2013120785A; EP2790475A1; US9621858B2

Abstract

　基板作業装置であって、基台と、この基台上に移動可能に支持される第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルと、前記基台又は当該基台に固定される部材からなる基台側部材と第１、第２基板作業テーブルとのうち一方側に備えられる標識部と、基台側部材と第１、第２基板作業テーブルとのうち前記一方側とは異なる他方側に備えられ、前記標識部を撮像する撮像部と、撮像部に標識部を撮像させることにより、その画像データに基づき各基板作業テーブルの位置情報を取得し、さらに、当該位置情報に基づき、各基板作業テーブルの移動時に当該各基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断する制御部と、を備える。

Description

基板作業装置

　本発明は、基板作業装置に関し、特に、複数の基板作業テーブルを備えた基板作業装置に関する。

　従来、複数の基板作業テーブルを備えた基板作業装置が知られている（例えば特許文献１）。

　上記特許文献１には、２つの基板作業テーブルと２つの印刷作業部とを備え、基板作業テーブルに保持された基板にマスクを介して半田ペーストを印刷する印刷装置（基板作業装置）が開示されている。この印刷装置は、基板搬送方向（横方向）と直交する奥行き方向に並ぶ２つの基板作業テーブルを有し、これらの基板作業テーブルは、ねじ軸駆動によって個別に奥行き方向に移動可能である。これらの基板作業テーブルは、各々搬送方向上流側から基板を受け取り、印刷作業部による半田印刷作業の後、両基板作業テーブルの間の搬出位置（奥行き方向の中央部）で当該基板作業テーブルから印刷済みの基板を搬出する。この印刷装置は、各基板作業テーブルに保持される基板に対して印刷作業を並行して行い、前記搬出位置における各基板作業テーブルからの基板搬出を交互に行う。

　上記従来の印刷装置においては、前記搬出位置で基板を搬出する場合等、２つの基板作業テーブルが奥行き方向において互いに接近する場合がある。そのため、各基板作業テーブルが互いに干渉しないように各基板作業テーブルの動作を予めプログラムしておく必要がある。しかし、実際には、基板作業テーブルの駆動用のねじ軸の熱伸びによる位置ずれの発生や、基板作業テーブルの各部の組付誤差などに起因して駆動モータの座標値（基板作業テーブルの動作制御に用いる座標値）が実際の位置からずれてしまう場合があり、このような場合には、２つの基板作業テーブルが相互干渉する可能性がある。

　上記特許文献１には、このような基板作業テーブルの相互干渉について何ら開示されておらず、２つの基板作業テーブルが相互干渉するか否かを正確に判断することができないという問題点がある。

特開２００９－７０８６７号公報

　この発明の目的は、基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを正確に判断することが可能な基板作業装置を提供することである。

　そして、本発明の一の局面による基板作業装置は、基板に対して所定の作業を行う基板作業装置であって、基台と、特定方向において互いに接近することが可能となるように前記基台上に移動可能に支持される第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルと、前記基台又は当該基台に固定される部材からなる基台側部材と、前記第１及び第２基板作業テーブルと、のうち一方側に備えられる標識部と、前記基台側部材と、前記第１及び第２基板作業テーブルと、のうち前記一方側とは異なる他方側に備えられ、前記標識部を撮像する撮像部と、前記撮像部に前記標識部を撮像させることによりその画像データに基づき前記各基板作業テーブルの位置情報を取得し、さらに、当該位置情報に基づき、前記各基板作業テーブルの移動時に当該各基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断する制御部と、を備えるものである。

本発明の第１実施形態による印刷装置をＹ方向から見た側面図である。本発明の第１実施形態による印刷装置の基板作業テーブルの構成および配置を示した平面図である。本発明の第１実施形態による印刷装置を構成する基板作業テーブルをＸ方向から見た場合の模式的な断面図である。本発明の第１実施形態による印刷装置をＸ方向から見た場合の模式的な側面図である。本発明の第１実施形態による印刷装置の制御的な構成を示したブロック図である。本発明の第１実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの位置座標の取得方法を説明するための模式図である。本発明の第１実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの位置座標の取得方法を説明するための模式図である。本発明の第１実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの最小間隔を説明するための模式図である。本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の制御フロー図である。本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の基板作業テーブルの位置関係を示した模式図である。本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の基板作業テーブルの位置関係を示した模式図である。本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の基板作業テーブルの位置関係を示した模式図である。本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の基板作業テーブルの位置関係を示した模式図である。本発明の第１実施形態による印刷装置の基板作業テーブルのＹ軸移動時の制御フロー図である。本発明の第２実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの干渉基準距離を説明するための模式図である。本発明の第３実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの位置座標の取得方法を説明するための模式図である。本発明の第３実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの位置座標の取得方法を説明するための模式図である。本発明の第４実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの干渉基準距離を説明するための模式図である。本発明の第１～４実施形態の第１変形例による表面実装機を示した模式図である。本発明の第１～４実施形態の第２変形例による検査装置を示した模式図である。本発明の第１～４実施形態の変形例による基板作業テーブルの最小間隔を説明するための模式図である。

　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
　まず、図１～図８を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の構造について説明する。なお、第１実施形態においては、本発明の「基板作業装置」を印刷装置１００に適用した例について説明する。

　本発明の第１実施形態による印刷装置１００は、図１および図２に示すように、装置本体内に搬送されるプリント基板（配線基板）５の上面に半田ペーストをマスク印刷する。なお、プリント基板５は、本発明の「基板」の一例である。

　印刷装置１００は、搬送方向上流側（Ｘ方向右側）の搬入位置Ｅｎ１、Ｅｎ２において２台のローダＬＤ１、ＬＤ２からそれぞれプリント基板５を受け入れ、印刷位置Ｐ１、Ｐ２でプリント基板５への印刷を行い、搬送方向下流側（Ｘ方向左側）の搬出位置Ｅｘ１またはＥｘ２から下流側のデュアル搬送型の表面実装機Ｍへと印刷済みのプリント基板５を搬出する。搬出位置Ｅｘ１、Ｅｘ２は、表面実装機Ｍの２つの基板搬送ラインに対応するように、両搬入位置Ｅｎ１、Ｅｎ２よりもＹ方向内側に配置されている。

　なお、当例では、プリント基板５の搬送方向がＸ方向であり、水平面内でＸ方向と直交する方向がＹ方向である。また、Ｘ方向およびＹ方向と直交する上下方向がＺ方向である。このような構成により、印刷装置１００は、２本の搬送ラインを有する基板製造ライン（プリント回路基板の製造ライン）の一部を構成している。

　印刷装置１００は、基台１０と、プリント基板５を保持して搬送する２つの基板作業テーブル２０ａ、２０ｂと、２つの印刷作業部４０ａ、４０ｂ（図４参照）とを備えており、２枚のプリント基板５に対する搬送およびマスク印刷を並行して行うことが可能である。また、印刷装置１００には、以下に説明する各部の動作制御を行う、図５に示すような、後記制御装置８０が内蔵されている。なお、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂは、それぞれ、本発明の「第１基板作業テーブル」および「第２基板作業テーブル」の一例である。

　図２に示すように、２つの基板作業テーブル２０ａ、２０ｂは、Ｙ方向に並んで配置されている。一方側の基板作業テーブル２０ａは、プリント基板５を搬入位置Ｅｎ１で受け取り、印刷作業時には印刷位置Ｐ１においてプリント基板５を支持、固定し、印刷済みのプリント基板５を搬出位置Ｅｘ１またはＥｘ２から搬出する機能を有する。また、他方側の基板作業テーブル２０ｂは、プリント基板５を搬入位置Ｅｎ２で受け取り、印刷作業時には印刷位置Ｐ２においてプリント基板５を支持、固定し、印刷済みのプリント基板５を搬出位置Ｅｘ１またはＥｘ２から搬出する機能を有する。つまり、２つの基板作業テーブル２０ａ、２０ｂは、搬出位置Ｅｘ１、Ｅｘ２のいずれからも基板搬出が可能である。

　図２および図３に示すように、一方側の基板作業テーブル２０ａは、Ｙ方向に移動可能な可動台２１Ａと、この可動台２１Ａ上に配置されて基板搬送方向（Ｘ方向）に延びる一対の搬送コンベア２２と、搬送コンベア２２上のプリント基板５を当該搬送コンベア２２から上方に離間させた状態で保持（固定）しつつＸ方向に移動させるクランプユニット２３と、クランプユニット２３の上面上に設けられるテーブル認識マーク２４と、クランプユニット２３に設けられるマスク認識カメラ２５と、を含む。他方側の基板作業テーブル２０ｂも同様の構成であり、Ｙ方向に移動可能な可動台２１Ｂと、一対の搬送コンベア２２と、クランプユニット２３と、クランプユニット２３の上面上に設けられるテーブル認識マーク２４と、クランプユニット２３に設けられるマスク認識カメラ２５と、を含む。

　なお、両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの構成（構造）は略同様であるので、図４では、一方の基板作業テーブル２０ａのみを図示している。また、第１実施形態において、基板作業テーブル２０ａのテーブル認識マーク２４は、本発明の「標識部（第１標識部）」および「マーク」の一例であり、基板作業テーブル２０ｂのテーブル認識マーク２４は、本発明の「標識部（第２標識部）」および「マーク」の一例である。

　図２に示すように、各基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの可動台２１Ａ、２１Ｂは、それぞれ平面視で搬送方向に延びる略矩形形状を有し、基台１０上にＹ方向に延びるように設けられた４本のガイドレール１１上に移動可能に支持されている。各可動台２１Ａ、２１Ｂは、それぞれ４本の共通の前記ガイドレール１１で支持され、２つのテーブル駆動機構によってＹ方向に個別に移動される。具体的には、可動台２１Ａは、Ｙ方向に延びるねじ軸１２ａと、ねじ軸１２ａを回転駆動するサーボモータ１３ａとによってＹ方向に駆動される。同様に、可動台２１Ｂは、Ｙ方向に延びるねじ軸１２ｂと、ねじ軸１２ｂを回転駆動するサーボモータ１３ｂとによってＹ方向に駆動される。これにより、一方側の基板作業テーブル２０ａは、退避位置Ｐ５と、両搬出位置ＥＸ１、ＥＸ２のうち退避位置Ｐ５から遠い方の搬出位置ＥＸ２との間をＹ方向に移動可能である。また、他方側の基板作業テーブル２０ｂは、退避位置Ｐ６と、両搬出位置ＥＸ１、ＥＸ２のうち退避位置Ｐ６から遠い方の搬出位置ＥＸ１との間をＹ方向に移動可能である。つまり、各基板作業テーブル２０ａ、２０ｂは一部共通の移動領域を有している（移動範囲がオーバーラップしている）。

　図３に示すように、前記搬送コンベア２２は、一対のコンベアレール２２ａ、２２ｂと、周回移動する一対の搬送ベルト２２ｃとを備えたベルトコンベアであり、可動台２１Ａ、２１ＢのＸ方向両端に設けられた脚部２２ｄ（図１参照）に支持されている。図２に示すように、搬送コンベア２２は、印刷装置１００のＸ方向の略全長にわたって延びており、Ｙ方向において、前記搬入位置Ｅｎ１、Ｅｎ２および前記搬出位置Ｅｘ１、Ｅｘ２に一致する位置（Ｙ軸座標）に配置されることで、基板搬入および搬出が可能となっている。なお、前記印刷位置Ｐ１、Ｐ２のＹ軸座標は、それぞれ搬入位置Ｅｎ１、Ｅｎ２のＹ軸座標と一致しており、前記搬送コンベア２２は、印刷作業中に後続のプリント基板５を受け入れて、搬送コンベア２２上の待機位置Ｐ３、Ｐ４に当該プリント基板５を待機させておくことが可能である。また、前記搬送コンベア２２の一対のコンベアレール２２ａ、２２ｂのうち印刷装置１００のＹ方向外側のコンベアレール２２ｂは、可動台２１Ａ、２１Ｂ上においてＹ方向に移動可能である。これにより前記搬送コンベア２２は、プリント基板５のサイズに合わせてコンベア幅が可変となっている。

　図３に示すように、前記クランプユニット２３は、前記搬送コンベア２２をＹ方向両外側から抱え込むように構成された可動ユニットである。前記クランプユニット２３は、ベース部５１と、搬送コンベア２２のＹ方向両側にそれぞれ配置されるアーム部５２ａ、５２ｂと、アーム部５２ａ、５２ｂの上端に設けられるクランプ機構５３と、ベース部５１上に設置される支持機構５４とを有する。

　ベース部５１は、図２に示すように、可動台２１Ａ、２１Ｂ上に設けられたＸ方向に延びる一対のガイドレール２１１に移動可能に支持されている。ベース部５１には、可動台２１Ａ、２１Ｂ上に設けられたＸ方向に延びるねじ軸２１２が螺合しており、このねじ軸２１２がサーボモータ２１３によって回転駆動されることで、ベース部５１が前記ガイドレール２１１上をＸ方向に移動する。なお、図３に示すように、アーム部５２ａ、５２ｂは、それそれ、搬送コンベア２２のコンベアレール２２ａ、２２ｂの外側側面に組み付けられたガイドレール２２ｅに対してＸ方向にスライド移動可能に係合している。この構成により、クランプユニット２３全体が、前記ガイドレール２１１および搬送コンベア２２に沿ってＸ方向に移動可能となっている。

　搬送コンベア２２の一方側のコンベアレール２２ａは、不図示の支持装置により可動台２１Ａ、２１Ｂに対してＸ方向およびＹ方向に移動不能な状態で支持される。他方側のコンベアレール２２ｂは、不図示の支持装置により可動台２１Ａ、２１Ｂに対してＸ方向に移動不能でかつＹ方向には移動可能な状態で支持される。支持装置はコンベアレール２２ｂをＹ方向に移動させる駆動装置を備える。

　アーム部５２ａ、５２ｂのうち、Ｙ方向内側のアーム部５２ａは、ベース部５１上に固定的に設置されており、Ｙ方向外側のアーム部５２ｂは、ベース部５１上に設けられたＹ方向に延びるガイドレール５１ａ上に移動可能に支持されている。この構成により、クランプユニット２３のアーム部５２ａ、５２ｂの間隔が、搬送コンベア２２のコンベア幅の変更に伴い変化する。具体的には、搬送コンベア２２の可動側のコンベアレール２２ｂのＹ方向移動に伴い、アーム部５２ａ、５２ｂのうち可動側のアーム部５２ｂがＹ方向に移動する。これにより、クランプユニット２３は、プリント基板５のＹ方向の幅が変更された場合でも当該変更後のプリント基板５を保持可能となる。なお、一方側の基板作業テーブル２０ｂの可動台２１Ｂは、他方側の基板作業テーブル２０ａの可動台２１ＡよりＹ方向の寸法が大きく形成されており、コンベア幅をより大きく変更できる。従って、基板作業テーブル２０ｂは、基板作業テーブル２０ａに比べて、よりＹ方向の幅が大きいプリント基板５に対応できる。

　クランプ機構５３は、アーム部５２ａの上端に固定的に設けられるクランプ部５３ａと、アーム部５２ｂの上端に設けられる可動のクランプ部５３ｂとを含む。クランプ機構５３は、エアシリンダ５３ｃによりクランプ部５３ｂをクランプ部５３ａに近付く方向に変位させる（駆動する）ことによって、搬送コンベア２２上のプリント基板５をＹ方向両側から挟み込んで把持する。なお、クランプ機構５３は、エアシリンダ５３ｃを逆方向に作動させることでプリント基板５のクランプを解除する。

　支持機構５４は、ベース部５１上において、前記搬送コンベア２２の一対のコンベアレール２２ａ、２２ｂの間の位置に設置される昇降可能な支持テーブル５４ａと、支持テーブル５４ａ上に設けられるバックアップピン５４ｂと、昇降機構５４ｃとを含み、昇降機構５４ｃによって支持テーブル５４ａを上昇させさることで、搬送コンベア２２上のプリント基板５を持ち上げて支持する。なお、前記クランプ機構５３は、この支持機構５４によって持ち上げられたプリント基板５を把持することにより、当該プリント基板５を搬送コンベア２２（搬送ベルト２２ｃ）から上方に離間した状態で固定的に保持する。これにより、プリント基板５を保持した状態でクランプユニット２３全体が、スクリーンマスク６の下方位置まで搬送コンベア２２に沿ってＸ方向に移動可能となり、プリント基板５は、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂ上で印刷作業を受けることが可能となる。

　第１実施形態では、図２および図３に示すように、テーブル認識マーク２４は、位置認識用のマークであり、クランプユニット２３のアーム部５２ａ、５２ｂのうち、Ｙ方向における装置中央寄りに位置する固定側のアーム部５２ａ（クランプ部５３ａ）の上面上に設けられている。テーブル認識マーク２４は、２つの基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの互いに対応する位置（Ｙ方向内側のアーム部５２ａの上面上）に設けられている。なお、テーブル認識マーク２４は、上記のように、アーム部５２ａ（クランプ部５３ａ）の上面上に設けられることで、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂ上にプリント基板５が保持されているか否かにかかわらず画像認識可能である。

　マスク認識カメラ２５は、ＣＣＤエリアセンサなどからなり、クランプユニット２３のＹ方向の外側に設けられた可動側のアーム部５２ｂに、撮像方向を上方に向けて取り付けられている。このため、マスク認識カメラ２５は、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの移動に伴ってＹ方向に移動可能であるとともに、クランプユニット２３の移動に伴ってＸ方向に移動可能である。マスク認識カメラ２５は、スクリーンマスク６の位置および姿勢を認識するために、印刷作業部４０ａ、４０ｂに保持されたスクリーンマスク６の下面に付されたマスク認識マーク（図示せず）を下方から撮像するものである。なお、スクリーンマスク６は、本発明の「マスク」の一例である。

　また、図４に示すように、基台１０上には、一対のフレーム構造体３０がＸ方向（基板搬送方向）に所定の間隔を隔てて配置（図１参照）されている。これらフレーム構造体３０は、２つの基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの上方を跨いでＹ方向に延びている。各フレーム構造体３０は、基台１０のＹ方向の両端部近傍から上方に延びる一対の脚部３１と、脚部３１の上端同士を水平方向に繋ぐ梁部３２とを備えた門型構造を有している。なお、基台１０又はフレーム構造体３０は、本発明の「基台側部材」の一例である。

　ここで、第１実施形態では、前記一対のフレーム構造体３０のうち基板搬送方向上流側（図１の右側）に位置するフレーム構造体３０の梁部３２の下面には、２つの基板認識カメラ３４ａ、３４ｂが固定的に設置されている。フレーム構造体３０は、基台１０に固定されているので、２つの基板認識カメラ３４ａ、３４ｂは、基台１０に連結固定されている。各基板認識カメラ３４ａ、３４ｂは、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂにそれぞれ対応しており、Ｙ方向に所定の間隔を隔てて配置されている。これらの基板認識カメラ３４ａ、３４ｂは、ＣＣＤエリアセンサ等からなり、撮像方向を下方に向けて設置されている。基板認識カメラ３４ａ、３４ｂは、クランプユニット２３に把持されたプリント基板５の位置および姿勢を認識するために、プリント基板５の上面に付された図外の基板認識マークを撮像する。基板認識マークは、通常、プリント基板５の四隅または一組の対角の隅部に設けられており、当該基板認識マークが各基板認識カメラ３４ａ、３４ｂにより撮像されることで、当該画像データに基づきプリント基板５の位置（位置ずれ）、および水平面内での傾きが認識される。また、第１実施形態では、基板認識カメラ３４ａ、３４ｂは、基板認識マークの撮像に加えて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのテーブル認識マーク２４を撮像可能である。なお、第１実施形態において、基板認識カメラ３４ａ（又は基板認識カメラ３４ｂ）は、本発明の「撮像部」の一例である。

　また、図１に示すように、印刷作業部４０ａ、４０ｂは、それぞれ、一対のフレーム構造体３０にＸ方向の両側を支持され、印刷位置Ｐ１、Ｐ２（図２参照）において基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの上方の位置に配置されている。印刷作業部４０ａ、４０ｂは、スクリーンマスク６を保持するためのマスク保持部４１と、スクリーンマスク６を介してプリント基板５に半田を印刷するスキージユニット４２と、を含む。

　マスク保持部４１は、スクリーンマスク６が組み付けられた略矩形状のマスク固定部材４３と、マスク固定部材４３を昇降（Ｚ軸方向移動）させるマスク昇降機構４４と、マスク固定部材４３をＺ軸回りに回動させるとともにＹ方向に移動させるための一対のマスク駆動機構４５とを有している。なお、スクリーンマスク６はマスク固定部材４３に対して着脱可能である。

　マスク昇降機構４４は、マスク固定部材４３を昇降可能に支持する図外のガイドレール、ねじ軸、および当該ねじ軸を回転駆動するＺ軸モータを含み、Ｚ軸モータにより前記ねじ軸を介してマスク固定部材４３を昇降させる。マスク昇降機構４４は、前記一対のフレーム構造体３０によりＸ方向の両端部が支持されている。マスク昇降機構４４は、当該一対のフレーム構造体３０上でＹ方向に移動可能で、かつ、Ｘ－Ｙ面内で所定角度だけ回動可能に構成されている。

　前記マスク駆動機構４５は、前記マスク昇降機構４４をＹ方向に移動可能に支持するガイドレール、図外のねじ軸および当該ねじ軸を駆動するＹ軸モータからなり、前記フレーム構造体３０上にそれぞれ設置されている。これら一対のマスク駆動機構４５は、前記Ｙ軸モータにより前記ねじ軸を介してマスク昇降機構４４をＹ方向に駆動する。一対のマスク駆動機構４５は、当該両方のマスク駆動機構４５が等速度で駆動されることにより、マスク固定部材４３の姿勢を維持したままで当該マスク固定部材４３をＹ方向に移動させ、各マスク駆動機構４５が速度差をもって駆動されることにより、マスク固定部材４３を水平面内（Ｘ－Ｙ面内）で回動させる。

　これにより、印刷作業部４０ａ、４０ｂにおいては、印刷位置Ｐ１、Ｐ２に搬入されるプリント基板５に対してスクリーンマスク６のＸ－Ｙ面内における詳細な位置（Ｙ方向の位置および水平面内の傾き）合わせが行われる。プリント基板５に対するスクリーンマスク６のＸ方向の位置合わせはクランプユニット２３の位置調整によりなされる。また、印刷時には、マスク昇降機構４４によりマスク保持部４１が下降（Ｚ２方向に移動）させられることにより、印刷位置Ｐ１、Ｐ２に搬入されたプリント基板５の上面にスクリーンマスク６が重ねられ、印刷後には、マスク保持部４１が上昇（Ｚ１方向に移動）させられることにより、プリント基板５の上面からスクリーンマスク６が版離される。

　スキージユニット４２は、Ｘ方向に延びる可動梁４６の中央部で支持され、マスク保持部４１の上方に配置されている。スキージユニット４２は、スクリーンマスク６の上面（Ｚ１方向側の面）に対してペースト状の半田（図示せず）を押圧しながらＹ方向に往復移動（摺動）するスキージ４２ａと、スキージ４２ａを昇降させる図外の昇降機構と、スクリーンマスク６に対するスキージ４２ａの傾き方向および傾き角度を変更するための図外のスキージ角度可変機構と、を含む。なお、前記可動梁４６は、前記一対のフレーム構造体３０の上面上に各々固定されてＹ方向に延びる一対のガイドレール３３上に移動可能に支持されている。可動梁４６には、フレーム構造体３０に設けられたＹ方向に延びる図外のねじ軸が螺合しており、このねじ軸がスキージ軸モータ３６によって回転駆動されることで可動梁４６がＹ方向に移動する。この可動梁４６の移動に伴ってスキージユニット４２（スキージ４２ａ）がＹ方向に移動し、印刷動作が行われる。

　また、図５に示すように、前記制御装置８０は、演算処理部８１、記憶部８２、外部入出力部８３、画像処理部８４およびモータ制御部８５を含む。また、制御装置８０は、表示ユニット８６に接続されている。なお、演算処理部８１は、本発明の「制御部」の一例である。

　演算処理部８１はＣＰＵからなり、印刷装置１００の動作を全般的に統括している。記憶部８２は、演算処理部８１が実行可能な制御プログラムなどが格納される動作プログラム記憶部８２ａと、印刷動作を行う際に必要となるデータ類が格納されている制御データ記憶部８２ｂとを含んでいる。

　また、外部入出力部８３は、各種センサ類およびアクチュエータ類からの入出力を制御する機能を有する。画像処理部８４は、２つの基板認識カメラ３４ａ、３４ｂおよび２つのマスク認識カメラ２５の各々が撮像した画像データの処理を行って印刷装置１００の動作に必要とされるデータを内部的に生成する役割を有する。この場合、基板認識カメラ３４ａ、３４ｂが撮像したテーブル認識マーク２４の画像データは画像処理部８４によって画像処理が行われる。前記演算処理部８１は、この画像処理が施された画像データと、制御データ記憶部８２ｂに予め記憶されている基板認識カメラ３４ａ、３４ｂの位置データとに基づき、基板認識カメラ３４ａ（又は３４ｂ）の撮像中心とテーブル認識マーク２４の位置とがＹ方向において一致する時の基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ方向の位置座標を取得する。

　モータ制御部８５は、演算処理部８１から出力される制御信号に基づいて、印刷装置１００の各サーボモータ（基板作業テーブル２０ａ、２０ｂをＹ方向に移動させるサーボモータ１３ａ、１３ｂ（図２参照）、クランプユニット２３をＸ方向に移動させるサーボモータ２１３（図３参照）、搬送コンベア２２のベルト駆動用モータ（図示せず）など）を制御する。また、モータ制御部８５は、各サーボモータが有するエンコーダ（図示せず）からの信号に基づいて基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ軸方向の位置座標、クランプユニット２３のＸ－Ｙ面内の位置、マスク保持部４１の高さ位置（Ｚ方向の位置）および回転位置（Ｘ－Ｙ面内の回転角度）などを認識する。

　ここで、第１実施形態では、制御装置８０（演算処理部８１）は、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの各々について、基板認識カメラ３４ａ（又は３４ｂ）でテーブル認識マーク２４を撮像、認識することにより得られる位置情報に基づいて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが移動時に互いに干渉するか否かを判断する。以下では、この干渉判断の詳細について説明する。

　まず、図４に示すように、基板作業テーブル２０ａのＹ軸を（Ｙ_Ｍ１）で示し、基板作業テーブル２０ｂのＹ軸を（Ｙ_Ｍ２）で示す。Ｙ軸座標は、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂがそれぞれＹ方向移動範囲の外側端に位置する場合の当該Ｙ方向外側端の位置を原点にとり、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが互いに近付く方向を正とする。また、説明の容易化のため、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置を示すものとして、それぞれの基板作業テーブル２０ａ、２０ｂに設けられたテーブル認識マーク２４の位置座標を用いる。つまり、例えば基板作業テーブル２０ａのＹ軸座標Ｙ_１Ｃというときには、Ｙ軸（Ｙ_Ｍ１）における基板作業テーブル２０ａのテーブル認識マーク２４の位置座標がＹ_１Ｃとなる。以下では、２つの基板認識カメラ３４ａ、３４ｂのうち、基板作業テーブル２０ａ側の基板認識カメラ３４ａを用いてテーブル認識マーク２４を認識する例について説明する。但し、基板作業テーブル２０ｂ側の基板認識カメラ３４ｂを用いる場合も同様である。

　まず、干渉判断のための位置座標の取得を行う。図６に示すように、基板作業テーブル２０ａを移動させて基板認識カメラ３４ａの下方にテーブル認識マーク２４を位置付け、この状態で、基板認識カメラ３４ａによりテーブル認識マーク２４を撮像させてその画像認識を行う。このとき、エンコーダ出力に基づく基板作業テーブル２０ａのＹ座標値（設計上のＹ座標値）に対して実際の基板作業テーブル２０ａの位置座標に位置ずれが生じている場合には、基板認識カメラ３４ａの撮像中心からテーブル認識マーク２４の位置がＹ方向にずれる。この位置ずれを画像認識することで、そのずれ量と基板認識カメラ３４ｂの位置データとに基づき基板作業テーブル２０ａのＹ座標値を補正し、基板認識カメラ３４ａの撮像中心とテーブル認識マーク２４の位置とがＹ方向において一致するときの実際の基板作業テーブル２０ａの位置座標（Ｙ_１Ｂ）を求める。

　図７に示すように、基板作業テーブル２０ｂも同様に移動させ、基板認識カメラ３４ａの下方の同一の位置にテーブル認識マーク２４を位置付け、この状態で、基板認識カメラ３４ａでテーブル認識マーク２４を撮像させてその画像認識を行う。そして、画像認識により取得される位置ずれ分だけ基板作業テーブル２０ａのＹ座標値を補正し、基板認識カメラ３４ａの撮像中心とテーブル認識マーク２４の位置とがＹ方向において一致するときの実際の基板作業テーブル２０ｂの位置座標（Ｙ_２Ｂ）を求める。

　また、図８に示すように、基板作業テーブル２０ａと基板作業テーブル２０ｂとが互いに干渉せずに最も近接した状態の両テーブル認識マーク２４間の距離を最小間隔Ｌ_ｍとする。この最小間隔Ｌ_ｍは、実測または設計上の値から算出される値である。

　以上の３つのパラメータ（Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂ、Ｌ_ｍ）を用いて、以下の干渉基準距離Ｌ_ｉを求める（設定する）。

　Ｙ_１Ｂ＋Ｙ_２Ｂ－Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）

　この干渉基準距離は、両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂをそれぞれ同じ位置（基板認識カメラ３４ａの下方位置）まで移動させたときの、それぞれのＹ座標の和から最小間隔Ｌ_ｍを引いた値である。この値は、同じ位置にあると仮定した基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのいずれか一方を負方向にＬ_ｍだけ移動させた状態におけるそれぞれのＹ座標の和である。この状態では、基板作業テーブル２０ａと基板作業テーブル２０ｂとは干渉することはなく、それらの間隔が最小間隔Ｌ_ｍになる。例えば基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ座標をそれぞれＹ_１、Ｙ_２とした場合、両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの間隔が最小間隔Ｌ_ｍになるまで両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが接近した状態では、両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ方向位置が如何様であってもＹ_１＋Ｙ_２＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）となる。つまり、干渉基準距離（Ｌ_ｉ）は、前記各基板作業テーブル２０ａ、２０ｂを各々前記原点位置から前記最小間隔Ｌ_ｍになる位置まで接近させたときの当該各基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの移動距離（Ｙ座標値）の和である。

　図４に示すように基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ座標の現在座標をＹ_１Ｃ、Ｙ_２Ｃ、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ座標の移動目標座標をＹ_１Ｎ、Ｙ_２Ｎとすると、前記干渉基準距離Ｌ_ｉを用いて、以下のように干渉の有無を判断することが可能となる。

　基板作業テーブル２０ａのみが移動する場合
　　Ｙ_１Ｎ＋Ｙ_２Ｃ＜Ｌ_ｉ・・・干渉しない
　　Ｙ_１Ｎ＋Ｙ_２Ｃ≧Ｌ_ｉ・・・干渉する
　基板作業テーブル２０ｂのみが移動する場合
　　Ｙ_１Ｃ＋Ｙ_２Ｎ＜Ｌ_ｉ・・・干渉しない
　　Ｙ_１Ｃ＋Ｙ_２Ｎ≧Ｌ_ｉ・・・干渉する
　基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの両方が移動する場合
　　Ｙ_１Ｎ＋Ｙ_２Ｎ＜Ｌ_ｉ・・・干渉しない
　　Ｙ_１Ｎ＋Ｙ_２Ｎ≧Ｌ_ｉ・・・干渉する

　したがって、第１実施形態では、基板印刷作業前に、基板認識カメラ３４ａが基板作業テーブル２０ａ、２０ｂそれぞれのテーブル認識マーク２４を認識したとき（基板認識カメラ３４ａの撮像中心がＹ方向においてテーブル認識マーク２４と一致したとき）の実際の基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｂ，Ｙ_２Ｂを取得しておく。なお、最小間隔Ｌ_ｍは固定値であるため既知であり、印刷装置の出荷時点で制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

　そして、印刷作業中には、演算処理部８１は、この干渉基準距離Ｌ_ｉを用いて上記のように干渉の有無を判断し、移動時に基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが互いに干渉すると判断した場合には、所定の干渉回避処理を行う。また、第１実施形態では、演算処理部８１は、印刷作業時にも所定のタイミングで基板認識カメラ３４ａによりテーブル認識マーク２４を撮像させ、位置座標Ｙ_１Ｂ，Ｙ_２Ｂを取得する。そして、演算処理部８１は、当該作業中に新たに取得した位置座標Ｙ_１Ｂ，Ｙ_２Ｂによって干渉基準距離Ｌ_ｉを更新（補正）する。なお、図４、図６～図８の例では、印刷装置１００は、２つの基板認識カメラ３４ａ、３４ｂを図示しているが、第１実施形態では何れか一方を備える構成であってもよい。

　次に、図１、図３、図６、図７および図９～図１３を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の基板印刷作業時の動作制御について説明する。以下では、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの干渉についての理解を容易にするため、基板作業テーブル２０ａは搬出位置Ｅｘ２から基板搬出を行い、基板作業テーブル２０ｂは搬出位置Ｅｘ１から基板搬出を行う例について説明する。以下の制御処理は、制御装置８０（演算処理部８１）によって行われる。なお、図１０～図１３は、図９に示したフローチャートに基づいて連続的に基板生産が行われている状態を示している。

　まず、図９に示すように、基板印刷作業前の事前準備として、ステップＳ１およびステップＳ２の処理が行われる。ステップＳ１では、図６、図７で示したように、各基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのテーブル認識マーク２４が基板認識カメラ３４ａにより撮像され、当該画像データに基づき、演算処理部８１によりテーブル認識マーク２４が認識される。この画像認識結果に基づいて、基板認識カメラ３４ａがテーブル認識マーク２４を撮像したときの基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｂ，Ｙ_２Ｂが演算処理部８１により取得されて（求められて）制御データ記憶部８２ｂに記憶される。

　次に、ステップＳ２において、前記位置座標Ｙ_１Ｂ，Ｙ_２Ｂと、予め制御データ記憶部８２ｂに記憶されている最小間隔Ｌ_ｍとに基づき、演算処理部８１により上述した干渉基準距離Ｌ_ｉが求められて制御データ記憶部８２ｂに記憶される。これにより、基板印刷作業前の事前準備が完了する。以降の処理では、基板作業テーブル２０ａおよび印刷作業部４０ａによる印刷動作と、基板作業テーブル２０ｂおよび印刷作業部４０ｂによる印刷動作とが並行して実施される。それぞれの印刷作業動作は原則として同一であるので、基板作業テーブル２０ａ側の作業について説明する。

　まず、ステップＳ３において、基板作業テーブル２０ａが、Ｙ方向において搬入位置Ｅｎ１（印刷位置Ｐ１）に一致するように配置される。これによりプリント基板５が搬送コンベア２２上に搬入される。このプリント基板５は、図１０に示すように、搬送コンベア２２上をＸ方向に移動して待機位置Ｐ３まで搬送され、この待機位置Ｐ３でクランプユニット２３によりクランプされる。すなわち、支持機構５４およびクランプ機構５３（図３参照）によって、プリント基板５が搬送コンベア２２（搬送ベルト２２ｃ）の上方で固定的に保持される。

　次に、ステップＳ４において、干渉基準距離Ｌ_ｉの補正タイミングか否かが演算処理部８１により判断される。この補正タイミングとしては、たとえば作業開始後の所定時間（たとえば、１０分）経過ごと、所定枚数（たとえば、１００枚）のプリント基板５の印刷完了ごとなどに行われるように設定される。補正タイミングでない場合には、ステップＳ６に進む。

　一方、干渉基準距離Ｌ_ｉの補正タイミングであると判断されると、ステップＳ５において、基板認識カメラ３４ａによるテーブル認識マーク２４の撮像（図６参照）が行われる。これにより、基板作業テーブル２０ａの位置座標Ｙ_１Ｂが演算処理部８１により新たに取得され、この位置座標Ｙ_１Ｂに基づいて干渉基準距離Ｌ_ｉが更新（補正）される。

　ステップＳ６では、クランプユニット２３が印刷位置Ｐ１に向けてＸ方向に移動を開始するとともに、基板作業テーブル２０ａが退避位置Ｐ５へ向けてＹ方向に移動を開始（図１０参照）する。これにより、プリント基板５を保持したクランプユニット２３のＸ方向移動と、基板作業テーブル２０ａのＹ方向移動とが同期して行われる。この移動中に、基板認識カメラ３４ａによるプリント基板５の基板認識マークの撮像（画像認識）と、マスク認識カメラ２５によるマスク認識マークの撮像（画像認識）とが行われる。この際、基板認識マークの撮像は、プリント基板５の基板認識マークが基板認識カメラ３４ａの下方に位置付けられて行われる。また、マスク認識マークの撮像は、スクリーンマスク６（図２参照）のマスク認識マークの下方にマスク認識カメラ２５が位置付けられて行われる。これらの画像データに基づき、クランプユニット２３に保持されたプリント基板５の位置および姿勢と、マスク固定部材４３に装着されたスクリーンマスク６の位置および姿勢との相対位置関係が演算処理部８１により認識される。

　次に、ステップＳ７において、図１２に示すように、クランプユニット２３が印刷位置Ｐ１に位置付けられるとともに、プリント基板５とスクリーンマスク６との版合せが行われる。まず、ステップＳ６における認識結果に基づいて、プリント基板５とスクリーンマスク６との水平位置（Ｘ方向、Ｙ方向およびＸ－Ｙ面内の角度）が一致するように位置補正される。そして、マスク昇降機構４４（図１参照）がスクリーンマスク６を下降させ、スクリーンマスク６がプリント基板５に所定の押圧力で押圧されて密着する。

　版合せが完了すると、ステップＳ８において、スクリーンマスク６上に半田が供給された状態でスキージユニット４２（可動梁４６）がＹ方向駆動される（掻き取り動作）。これによりスクリーンマスク６を介してプリント基板５の上面に半田が印刷される。また、印刷位置Ｐ１における印刷作業中には、搬入位置Ｅｎ１から後続のプリント基板５が搬送コンベア２２上に搬入され、このプリント基板５が搬送コンベア２２上をＸ方向に移動して待機位置Ｐ３まで搬送される。

　半田の印刷後、ステップＳ９において、スクリーンマスク６がＺ１方向に上昇されて版離れが行われる。そして、クランプ機構５３による印刷済みプリント基板５のクランプ、および支持機構５４によるプリント基板５２の持ち上げがそれぞれ解除され、プリント基板５が搬送コンベア２２上に載置される。

　ステップＳ１０において、図１３に示すように、搬出位置Ｅｘ２において印刷済みのプリント基板５が搬出される。この際、基板作業テーブル２０ａ（搬送コンベア２２）が、Ｙ方向において搬出位置Ｅｘ２に一致するように配置される。また、クランプユニット２３がＸ方向に移動して待機位置Ｐ３に配置された後続のプリント基板５を、支持機構５４およびクランプ機構５３が、搬送コンベア２２（搬送ベルト２２ｃ）の上方で固定的に保持する。これにより、搬出位置Ｅｘ２に位置付けられた搬送コンベア２２から印刷済みのプリント基板５のみが搬出される。また、基板作業テーブル２０ｂは、後述する干渉回避処理の結果、搬入位置Ｅｎ２から退避位置Ｐ６に退避する。

　ステップＳ１１では、所定の生産枚数分のプリント基板５の半田印刷作業が完了したか否かが演算処理部８１により判断され、生産枚数に達していない場合には、ステップＳ４に戻り、ステップＳ４～Ｓ１０の半田印刷が継続して行われる。一方、所定の生産枚数分のプリント基板５の半田印刷作業が完了した場合には、半田印刷作業動作が完了する。

　なお、基板作業テーブル２０ｂ側では、基板作業テーブル２０ａの動作に対して一定の時間差を隔てて動作制御が行われる。したがって、基板生産時には、図１０に示すように、基板作業テーブル２０ａ側の基板搬入および待機位置Ｐ３でのプリント基板５のクランプの間に、基板作業テーブル２０ｂ側の印刷が印刷位置Ｐ２で行われる。そして、図１１に示すように、基板作業テーブル２０ｂ側の基板搬出が搬出位置Ｅｘ１で行われる。この際、干渉回避処理の結果、基板作業テーブル２０ａが搬入位置Ｅｎ１から退避位置Ｐ５に退避する。この退避移動中に基板作業テーブル２０ａ側で基板認識マークおよびマスク認識マークの撮像（ステップＳ６）が行われる。このように、図１０～図１３に示すように各印刷位置Ｐ１、Ｐ２においてプリント基板５の印刷が交互に行われるとともに下流側の表面実装機Ｍへの基板搬出動作が交互に行われる。

　このため、ステップＳ５における干渉基準距離Ｌ_ｉの補正処理は、必ずしも同一のタイミングでは行われない。したがって、干渉基準距離Ｌ_ｉの補正処理においては、基板作業テーブル２０ａの位置座標Ｙ_１Ｂと、基板作業テーブル２０ｂの位置座標Ｙ_２Ｂとは同一タイミングまたは別個のタイミングで取得され、それぞれ取得されたタイミングで干渉基準距離Ｌ_ｉに反映（補正）される。

　次に、図１１、図１２および図１４を参照して、印刷装置１００の基板印刷作業時における基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ軸（Ｙ方向）の移動動作制御について説明する。以下の制御処理は、制御装置８０（演算処理部８１）によって行われる。

　この制御は、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ軸移動時に個別に（基板作業テーブル毎に）実施される。なお、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの移動動作制御は同一であるので、ここでは、一方側の基板作業テーブル２０ａがＹ軸移動を行う場合について説明する。

　図１４に示すように、自テーブル（基板作業テーブル２０ａ）がＹ軸移動を開始する際には、まず、ステップＳ２１において、相手テーブル（基板作業テーブル２０ｂ）が移動中であるか否かが演算処理部８１により判断される。相手テーブルが移動中でない場合には、ステップＳ２２において、相手テーブルの現在座標Ｙ_２Ｃが取得される。一方、相手テーブルが移動中である場合には、ステップＳ２３において、相手テーブルの移動目標座標Ｙ_２Ｎが取得される。

　次に、ステップＳ２４において、自テーブルの移動の結果、相手テーブルと干渉するか否かが演算処理部８１により判断される。すなわち、自テーブルの移動目標座標Ｙ_１Ｎと相手テーブルのＹ軸座標（現在座標Ｙ_２Ｃまたは移動目標座標Ｙ_２Ｎ）との和と、干渉基準距離Ｌ_ｉとの上述の関係に基づき、干渉の有無が判断される。

　ステップＳ２４で干渉すると判断された場合には、ステップＳ２５に進み、演算処理部８１により所定の干渉回避処理が実行される。

　ここで、干渉回避処理では、相手テーブルの動作状態に応じた処理が実行される。たとえば、相手テーブルが移動中の場合には、自テーブルまたは相手テーブルのいずれかを待機させるか、または干渉しない所定の退避位置に移動させる。この場合には、先に移動を開始した方を優先するか、または、目標位置に近い方の基板作業テーブルを優先する。一方、相手テーブルが移動停止中である場合には、相手テーブルが干渉しない位置に移動するまで、自テーブルをその場で停止させ待機させる処理を行うことが可能である。これにより、図１１の例では、相手テーブル（基板作業テーブル２０ｂ）が搬出位置Ｅｘ１に移動する間、自テーブル（基板作業テーブル２０ａ）は退避位置Ｐ５に退避しており、図１２の例では、自テーブル（基板作業テーブル２０ａ）が搬出位置Ｅｘ２に移動する間、相手テーブル（基板作業テーブル２０ｂ）は退避位置Ｐ６に退避している。

　ステップＳ２５で干渉回避処理を実行した場合には、ステップＳ２１に戻る。したがって、自テーブルが移動目標座標Ｙ_１Ｎに移動する際に相手テーブルに干渉すると判断された場合には、ステップＳ２１～Ｓ２３における相手テーブルの情報取得と、ステップＳ２４における干渉するか否かの判断と、ステップＳ２５における干渉回避処理とを繰り返し行う。

　ステップＳ２４で干渉しないと判断された場合、または、ステップＳ２５における干渉回避処理の結果、ステップＳ２４で干渉しないと判断された場合には、ステップＳ２６に進み、移動目標座標Ｙ_１Ｎに向けて自テーブルのＹ軸移動を開始する。

　以上のようにして、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ軸移動（Ｙ方向移動）が行われる。

　第１実施形態では、上記のように、基台１０に連結固定された基板認識カメラ３４ａ（又は３４ｂ）により、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂにそれぞれ設けられたテーブル認識マーク２４を撮像、認識するため、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの正確な位置情報を取得することができる。そして、このような正確な位置情報に基づいて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが互いに干渉するか否かを演算処理部８１が判断するため、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

　また、第１実施形態では、画像処理部８４により画像認識を行い、演算処理部８１は、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの座標値（エンコーダ出力に基づく座標値）と実際の位置とがずれている場合には、画像認識により取得される位置ずれ分だけ基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ座標値を補正し、当該基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの正確な位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂ、つまり基板認識カメラ３４ａ、３４ｂの撮像中心とテーブル認識マーク２４の位置とがＹ方向において一致する位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂを取得する。従って、演算処理部８１は、正確な位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂに基づいて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが互いに干渉するか否かを、容易にかつ正確に判断し、干渉を回避する動作制御を行うことができる。

　また、第１実施形態では、演算処理部８１は、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂと最小間隔Ｌ_ｍとに基づいて干渉基準距離Ｌ_ｉを算出する。そして、演算処理部８１は、例えば一方の基板作業テーブル（基板作業テーブル２０ａ）の移動目標座標Ｙ_１Ｎと相手側の基板作業テーブル（基板作業テーブル２０ｂ）の位置座標（現在座標Ｙ_２Ｃまたは移動目標座標Ｙ_２Ｎ）との和と、干渉基準距離Ｌｉとを比較することによって、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが互いに干渉するか否かを判断する。従って、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの移動時には、最小間隔Ｌ_ｍになるまでに接近可能な干渉基準距離Ｌ_ｉと、各テーブルの位置座標（移動目標座標または現在座標）とを比較するだけで、容易に、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂ同士が相互干渉するか否かを判断することができる。

　また、第１実施形態では、演算処理部８１は、印刷装置１００の作業中に、基板認識カメラ３４ａ（又は３４ｂ）によるテーブル認識マーク２４の認識を所定のタイミング（所定時間経過毎又は所定枚数のプリント基板５の印刷完了毎）で繰り返し実施し、これにより干渉基準距離Ｌ_ｉを更新（補正）する。従って、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの駆動機構（ねじ軸１２ａ、１２ｂ等）の経時的な熱伸縮などにより基板作業テーブル２０ａ、２０ｂに位置ずれが発生するような場合でも、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂ同士が相互干渉するか否かを適切に判断することができる。

　また、第１実施形態では、フレーム構造体３０の梁部３２の所定位置に固定的に設置された基板認識カメラ３４ａ、３４ｂにより撮像可能となるように、各基板作業テーブル２０ａ、２０ｂにテーブル認識マーク２４を設けておき、プリント基板５を認識するための前記基板認識カメラ３４ａ（又は３４ｂ）を用いて基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのテーブル認識マーク２４を撮像、認識することで、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂを取得する。そのため、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂを取得するための専用の撮像部を別途設ける必要がなく、従って、印刷装置１００の構成を複雑化させることなく、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、基板認識カメラ３４ａ（又は３４ｂ）による位置認識用のテーブル認識マーク２４を標識部として設けているため、たとえば印刷装置１００内の所定部位などを目印（標識部）として画像認識を行う場合と比較すると、より確実にかつ精度よく標識部の画像認識を行うことができる。

（第２実施形態）
　次に、図１５を参照して、本発明の第２実施形態による印刷装置１００ａについて説明する。この第２実施形態では、基板認識カメラ３４ａ、３４ｂの両方を用いて基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂを取得する例について説明する。なお、第２実施形態による印刷装置１００ａの装置構成は上記第１実施形態の印刷装置１００と同様であるので、説明を省略する。なお、第２実施形態において、基板作業テーブル２０ａのテーブル認識マーク２４は、本発明の「標識部（第１標識部）」および「マーク」の一例であり、基板作業テーブル２０ｂのテーブル認識マーク２４は、本発明の「標識部（第２標識部）」および「マーク」の一例である。また、基板認識カメラ３４ａは、本発明の「撮像部（第１基板認識カメラ）」の一例であり、基板認識カメラ３４ｂは、本発明の「撮像部（第２基板認識カメラ）」の一例である。

　上記の通り、２つの基板認識カメラ３４ａ、３４ｂは、フレーム構造体３０の梁部３２に固定的に設けられているので、図１５に示すように、第２実施形態では、この２つの基板認識カメラ３４ａ、３４ｂの間隔（Ｙ方向の距離）を実測または設計上の値から算出し、Ｙ_ｃａｍとして予め制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

　干渉基準距離Ｌ_ｉの設定に関し、第２実施形態では、基板作業テーブル２０ａを移動させて基板認識カメラ３４ａの下方にテーブル認識マーク２４を位置付け、この状態で、基板認識カメラ３４ａでテーブル認識マーク２４を撮像させてその画像認識を行う。この画像認識結果に基づいて、基板認識カメラ３４ａの撮像中心とテーブル認識マーク２４の位置とがＹ方向において一致するときの実際の位置座標Ｙ_１Ｂ求め、当該位置座標Ｙ_１Ｂを制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

　同様に、基板作業テーブル２０ｂを移動させて基板認識カメラ３４ｂの下方にテーブル認識マーク２４を位置付け、この状態で、基板認識カメラ３４ｂでテーブル認識マーク２４を撮像させてその画像認識を行う。この画像認識結果に基づいて、基板認識カメラ３４ｂの撮像中心とテーブル認識マーク２４の位置とがＹ方向において一致するときの実際の位置座標Ｙ_２Ｂ求め、当該位置座標Ｙ_２Ｂを制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。なお、最小間隔Ｌ_ｍは、上記第１実施形態と同様に制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

　以上の４つのパラメータ（Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂ、Ｌ_ｍ、Ｙ_ｃａｍ）を用いて、上記第１実施形態と同様の干渉基準距離Ｌｉを、次式で設定する。

　Ｙ_１Ｂ＋Ｙ_２Ｂ＋Ｙ_ｃａｍ－Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）

　これにより、制御装置８０（演算処理部８１）は、干渉基準距離Ｌ_ｉを用いて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの干渉の有無を判断する。制御装置８０（演算処理部８１）による干渉の有無の判断の詳細や、印刷装置１００の動作制御については、上記第１実施形態と同様に行うことが可能である。

　第２実施形態では、上記のように、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのそれぞれのテーブル認識マーク２４を、対応する基板認識カメラ３４ａ、３４ｂで認識することにより、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの正確な位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂを取得することができる。演算処理部８１は、取得した位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂと基板認識カメラ３４ａ、３４ｂの間隔Ｙ_ｃａｍとに基づいて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが移動時に干渉するか否かを判断するが、上記の通り、取得した位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂが正確であるため、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

　また、第２実施形態では、第１実施形態のように、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂを同じ基板認識カメラ３４ａの位置まで移動させる必要がないので、より容易かつ迅速に、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂを取得することができる。

　なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

（第３実施形態）
　次に、図１６および図１７を参照して、本発明の第３実施形態による印刷装置１００ｂについて説明する。この第３実施形態では、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのマスク認識カメラ２５を用いて基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標を取得する例について説明する。

　第３実施形態では、図１６に示すように、基板搬送方向（Ｘ方向）上流側のフレーム構造体３０の下面には、マスク認識カメラ２５によって認識可能なように、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置認識用の位置認識マーク１１０が固定的に設けられている。従って、位置認識マーク１１０はフレーム構造体３０を介して基台１０に連結固定されている。位置認識マーク１１０は、印刷装置１００ｂのＹ方向の中央の位置に配置されている。なお、第３実施形態において、位置認識マーク１１０は、本発明の「標識部」および「マーク」の一例である。また、基板作業テーブル２０ａのマスク認識カメラ２５は、本発明の「撮像部（第１マスク認識カメラ）」の一例であり、基板作業テーブル２０ｂのマスク認識カメラ２５は、本発明の「撮像部（第２マスク認識カメラ）」の一例である。

　第３実施形態のその他の構成は、上記第１および第２実施形態と同様である。

　次に、第３実施形態による基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標の取得と干渉基準距離の設定について説明する。

　第３実施形態では、図１６および図１７に示すように、まず、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのそれぞれにおいて、マスク認識カメラ２５とテーブル認識マーク２４との間のＹ方向の距離を実測または設計上の値から算出し、Ｌ_Ｃ１、Ｌ_Ｃ２として予め制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

　そして、図１６に示すように、基板作業テーブル２０ａを移動させてマスク認識カメラ２５を位置認識マーク１１０の下方に位置付け、この状態で、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０を撮像させてその画像認識を行う。この画像認識結果に基づいて、マスク認識カメラ２５の撮像中心と位置認識マーク１１０の位置とがＹ方向において一致するときの実際の基板作業テーブル２０ａの位置座標Ｙ_１Ｍ（第１実施形態と同様に原点を設定し、この原点からテーブル認識マーク２４ａまでの距離）を求め、この位置座標Ｙ_１Ｍを制御データ記憶部８２ｂに記憶する。

　同様に、図１７に示すように、基板作業テーブル２０ｂを移動させてマスク認識カメラ２５を位置認識マーク１１０の下方に位置付け、この状態で、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０を撮像させてその画像認識を行う。この画像認識結果に基づいて、マスク認識カメラ２５の撮像中心と位置認識マーク１１０の位置とがＹ方向において一致するときの実際の基板作業テーブル２０ｂの位置座標Ｙ_２Ｍを求め、この位置座標Ｙ_２Ｍを制御データ記憶部８２ｂに記憶する。なお、最小間隔Ｌ_ｍは、上記第１実施形態と同様に制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

　以上の５つのパラメータ（Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍ、Ｌ_ｍ、Ｌ_Ｃ１、Ｌ_Ｃ２）を用いて、上記第１実施形態と同様の干渉基準距離Ｌｉを、次式で設定する。

　（Ｙ_１Ｍ－Ｌ_Ｃ１）＋（Ｙ_２Ｍ－Ｌ_Ｃ２）－Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）

　これにより、制御装置８０（演算処理部８１）は、干渉基準距離Ｌｉを用いて、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの干渉の有無を判断する。制御装置８０（演算処理部８１）による干渉の有無の判断の詳細や、印刷装置１００ｂの動作制御については、上記第１実施形態と同様に行うことが可能である。

　第３実施形態では、上記のように、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの各々について、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０を認識することにより、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの正確な位置情報を取得することができる。演算処理部８１は、取得した位置座標Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍに基づいて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが移動時に相互干渉するか否かを判断するが、上記の通り、取得した位置座標Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍが正確であるため、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

　また、第３実施形態では、上記のように、スクリーンマスク６を認識するためのマスク認識カメラ２５を用いて基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍを取得することができるので、専用の撮像部を別途設ける必要がなく、従って、印刷装置１００の装置構成が複雑化するのを抑制することができる。

　なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

（第４実施形態）
　次に、図１８を参照して、本発明の第４実施形態による印刷装置１００ｃについて説明する。この第４実施形態では、上記第３実施形態とは異なり、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂに対応する２つの位置認識マーク１１０ａ、１１０ｂを撮像して基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標を取得する例について説明する。なお、第４実施形態において、位置認識マーク１１０ａは、本発明の「標識部（第１標識部）」および「マーク」の一例であり、位置認識マーク１１０ｂは、本発明の「標識部（第２標識部）」および「マーク」の一例である。また、基板作業テーブル２０ａのマスク認識カメラ２５は、本発明の「撮像部（第１マスク認識カメラ）」の一例であり、基板作業テーブル２０ｂのマスク認識カメラ２５は、本発明の「撮像部（第２マスク認識カメラ）」の一例である。

　第４実施形態では、図１８に示すように、搬送方向（Ｘ方向）上流側のフレーム構造体３０の下面には、マスク認識カメラ２５によって認識可能な位置認識マーク１１０ａ、１１０ｂが基板作業テーブル２０ａ、２０ｂに各々対応して固定的に設けられている。位置認識マーク１１０ａ、１１０ｂは、対応する基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのマスク認識カメラ２５によって撮像可能な位置に配置されている。両位置認識マーク１１０ａ、１１０ｂの間隔はＹ_ｍａｒｋである。

　第４実施形態のその他の構成は、上記第３実施形態と同様である。

　次に、第４実施形態による基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標の取得と干渉基準距離の設定について説明する。

　第４実施形態では、基板作業テーブル２０ａを移動させてマスク認識カメラ２５を位置認識マーク１１０ａの下方に位置付け、この状態で、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０ａを撮像させてその画像認識を行う。この画像認識結果に基づいて、マスク認識カメラ２５の撮像中心と位置認識マーク１１０ａの位置とがＹ方向において一致するときの基板作業テーブル２０ａの位置座標Ｙ_１Ｍ求め、この位置座標Ｙ_１Ｍを制御データ記憶部８２ｂに記憶する。

　同様に、基板作業テーブル２０ｂを移動させてマスク認識カメラ２５を位置認識マーク１１０ｂの下方に位置付け、この状態で、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０ｂを撮像させてその画像認識を行う。この画像認識結果に基づいて、マスク認識カメラ２５の撮像中心と位置認識マーク１１０ｂの位置とがＹ方向において一致するときの基板作業テーブル２０ｂの位置座標Ｙ_２Ｍ求め、この位置座標Ｙ_２Ｍを制御データ記憶部８２ｂに記憶する。

　第４実施形態では、位置認識マーク１１０ａ、１１０ｂの間の距離Ｙ_ｍａｒｋを予め取得して、制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。なお、最小間隔Ｌ_ｍ、および、マスク認識カメラ２５とテーブル認識マーク２４との間のＹ方向の距離Ｌ_Ｃ１、Ｌ_Ｃ２は、上記第３実施形態と同様に制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

　以上の６つのパラメータ（Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍ、Ｌ_ｍ、Ｌ_Ｃ１、Ｌ_Ｃ２、Ｙ_ｍａｒｋ）を用いて、上記第３実施形態と同様の干渉基準距離Ｌｉを、次式で設定することができる。

　（Ｙ_１Ｍ－Ｌ_Ｃ１）＋（Ｙ_２Ｍ－Ｌ_Ｃ２）＋Ｙ_ｍａｒｋ－Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）

　これにより、制御装置８０（演算処理部８１）は、干渉基準距離Ｌ_ｉを用いて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの干渉の有無を判断することが可能である。干渉の有無の判断の詳細や、制御装置８０（演算処理部８１）による印刷装置１００ｃの動作制御については、上記第１実施形態と同様に行うことが可能である。

　第４実施形態では、上記のように、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのそれぞれのマスク認識カメラ２５で対応する位置認識マーク１１０ａ、１１０ｂを認識することにより得られた位置座標Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍと、位置認識マーク１１０ａ、１１０ｂの間隔Ｙ_ｍａｒｋとに基づいて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが移動時に干渉するか否かを判断するように演算処理部８１が構成されている。よって、単一の位置認識マークをそれぞれのマスク認識カメラ２５で認識する場合と比較すると、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂを共通の（単一の）位置認識マークの位置まで移動させる必要がない分、容易にかつ迅速に、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置座標Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍを取得することができる。

　なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第３実施形態と同様である。

　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

　たとえば、上記第１～第４実施形態では、本発明の基板作業装置の一例として、プリント基板に対して半田印刷作業を行う印刷装置１００（１００ａ～１００ｃ）に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、プリント基板に対して部品実装作業を行う表面実装機２００（図１９参照）や、プリント基板上の部品の外観検査作業を行う検査装置３００（図２０参照）に、本発明を適用してもよい。なお、表面実装機２００および検査装置３００は、それぞれ、本発明の「基板作業装置」の一例である。

　具体例（第１変形例）として、図１９に表面実装機２００を示す。この表面実装機２００は、基台２０１と、Ｙ方向に並んだ２つの基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂと、基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂにそれぞれ対応するヘッドユニット１４０ａ、１４０ｂとを備えている。なお、基板作業テーブル１２０ａは、本発明の「第１基板作業テーブル」の一例であり、基板作業テーブル１２０ｂは、本発明の「第２基板作業テーブル」の一例である。

　ヘッドユニット１４０ａ、１４０ｂは、それぞれ基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂの上方でＸ－Ｙ方向に移動可能であり、部品供給部１５０から部品を取り出し、基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂに保持されたプリント基板５に当該部品を実装する。基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂは、共通のガイドレール１２１上をそれぞれＹ方向に移動可能である。これら基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂのうち、一方側の基板作業テーブル１２０ａは、プリント基板５への実装作業が行われる実装作業位置Ｐ１１と、基台２０１のＹ方向中央の搬入出位置Ｐ１３とに亘って移動可能であり、他方側の基板作業テーブル１２０ｂは、プリント基板５への実装作業が行われる実装作業位置Ｐ１２と、前記搬入出位置Ｐ１３とに亘って移動可能である。搬入出位置Ｐ１３は、基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂに対してプリント基板５の搬入出が行われる位置である。各基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂの上面上の隅部（図中右下隅）には、テーブル認識マーク１２５が設けられている。また、基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂの上方の位置には、テーブル認識マーク１２５を認識するためのマーク認識カメラ１６０が撮像方向を下方（基板作業テーブル側）に向けて設けられている。マーク認識カメラ１６０は、図示しないフレームを介して基台２０１に連結固定されている。なお、テーブル認識マーク１２５は、本発明の「標識部」および「マーク」の一例であり、マーク認識カメラ１６０は、本発明の「撮像部」の一例である。

　これにより、基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂのテーブル認識マーク１２５をマーク認識カメラ１６０の下方位置に位置付けて撮像することで、基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂの位置情報（Ｙ軸位置座標）を取得することができる。なお、図１９は、基板作業テーブル１２０ａのテーブル認識マーク１２５をマーク認識カメラ１６０の下方位置に位置付けた状態を示している。この第１変形例による表面実装機２００でも、上記第１実施形態と同様にして干渉基準距離Ｌ_ｉを設定することが可能であり、この干渉基準距離Ｌ_ｉに基づいて、基板作業テーブル１２０ａ、１２０ｂが互いに干渉するか否かを判断することができる。

　図２０は、他の具体例（第２変形例）として検査装置３００を示す。検査装置３００は、基台３０１と、Ｙ方向に並んだ２つの基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂと、基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂにそれぞれ対応する検査ヘッド２４０ａ、２４０ｂとを備えている。なお、基板作業テーブル２２０ａは、本発明の「第１基板作業テーブル」の一例であり、基板作業テーブル２２０ｂは、本発明の「第２基板作業テーブル」の一例である。

　検査ヘッド２４０ａ、２４０ｂは、それぞれ、Ｘ方向に移動可能な検査用カメラ２４１を有し、基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂのＹ方向移動に同期して検査用カメラ２４１をＸ方向に移動しながら基板を撮像する。これにより、検査装置３００は、プリント基板５の外観検査作業を行う。基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂは、共通のガイドレール２２１上をそれぞれＹ方向に移動可能であり、一方側の基板作業テーブル２２０ａは、Ｙ方向一端側の検査作業・搬入位置Ｐ２１でプリント基板５を受け入れ、Ｙ方向中央の搬出位置Ｐ２３でプリント基板５の搬出を行う。他方側の基板作業テーブル２２０ｂは、Ｙ方向他端側の検査作業・搬入位置Ｐ２２でプリント基板５を受け入れ、前記搬出位置Ｐ２３でプリント基板５の搬出を行う。各基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂの上面の隅部（図中右上隅）には、テーブル認識マーク２２５が設けられている。また、基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂの上方の位置には、テーブル認識マーク２２５を認識するためのマーク認識カメラ２６０が撮像方向を下方（基板作業テーブル側）に向けて設けられている。マーク認識カメラ２６０は、図示しないフレームを介して基台３０１に連結固定されている。なお、テーブル認識マーク２２５は、本発明の「標識部」および「マーク」の一例であり、マーク認識カメラ２６０は、本発明の「撮像部」の一例である。

　これにより、基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂのテーブル認識マーク２２５をマーク認識カメラ２６０の下方位置に位置付けて撮像することにより、基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂの位置情報（Ｙ軸位置座標）を取得することが可能である。この第２変形例による検査装置３００でも、上記第１実施形態と同様にして干渉基準距離Ｌ_ｉを設定することが可能であり、この干渉基準距離Ｌ_ｉに基づいて、基板作業テーブル２２０ａ、２２０ｂが互いに干渉するか否かを判断することができる。

　なお、上記第１、第２実施形態では、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の固定側のアーム部５２ａ（クランプ部５３ａ）の上面にテーブル認識マーク２４を設け、これを基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）で撮像する例を示したが、本発明はこれに限られない。上記第１変形例や第２変形例のように、テーブル認識マークを基板作業テーブルのアーム部以外の箇所に設けるとともに、専用のマーク認識カメラを設けてテーブル認識マークを撮像するように構成してもよい。

　また、上記第１、第２実施形態では、基板認識カメラ３４ａ、３４ｂをフレーム構造体３０に固定的に設置した例を示し、上記第３、第４実施形態では、位置認識マーク１１０（１１０ａおよび１１０ｂ）をフレーム構造体３０に固定的に設置した例を示したが、本発明はこれに限られない。基板認識カメラ３４ａ、３４ｂや位置認識マーク１１０（１１０ａおよび１１０ｂ）をフレーム構造体３０以外の場所に設置してもよい。

　また、上記第１実施形態では、基板作業テーブル２０ａのＹ座標（Ｙ_１ＣまたはＹ_１Ｎ）と基板作業テーブル２０ｂのＹ座標（Ｙ_２ＣまたはＹ_２Ｎ）との和と、干渉基準距離Ｌ_ｉとの大小関係に基づいて干渉の有無を判断する例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、移動時に、基板作業テーブル２０ａのＹ座標（Ｙ_１ＣまたはＹ_１Ｎ）と基板作業テーブル２０ｂのＹ座標（Ｙ_２ＣまたはＹ_２Ｎ）とから基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの間隔を算出し、この間隔を最小間隔Ｌ_ｍと比較して干渉の有無を判断するようにしてもよい。

　また、上記第１～第４実施形態では、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置基準として、それぞれの基板作業テーブル２０ａ、２０ｂに設けられたテーブル認識マーク２４の位置座標を用いた例を示したが、本発明はこれに限られない。基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置基準は、テーブル認識マーク２４以外の位置座標を用いてもよい。

　たとえば、図１８において括弧書きするように、マスク認識カメラ２５の位置座標Ｙ_１Ｋ、Ｙ_２Ｋを基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置基準に設定してもよい。また、基板作業テーブル２０ａと基板作業テーブル２０ｂとが干渉せずに最も近接した状態におけるマスク認識カメラ２５間の距離を、最小間隔Ｌ_ｍ（図２１参照）とする。この結果、次の値を干渉基準距離Ｌ_ｉとして定義することが可能である。

　Ｙ_１Ｋ＋Ｙ_２Ｋ＋Ｙ_ｍａｒｋ－Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）

　したがって、この場合、上記第４実施形態で用いたマスク認識カメラ２５とテーブル認識マーク２４との間のＹ方向の距離Ｌ_Ｃ１、Ｌ_Ｃ２を用いる必要はない。

　また、上記第１～第４実施形態では、位置認識用のマーク（テーブル認識マーク２４、位置認識マーク１１０、１１０ａ、１１０ｂ）を撮像して画像認識する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、撮像部による画像認識が可能であれば、装置内の所定部位を撮像して位置情報を取得してもよい。例えば、アーム部５２ａ（クランプ部５３ａ）の上面にテーブル認識マーク２４を設ける代わりに、クランプ部５３ａの端部分を撮像するように構成してもよい。

　また、上記第１実施形態では、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが共通の移動領域を有する（移動範囲がオーバーラップする）例を示したが、本発明はこれに限られない。基板作業テーブル２０ａ、２０ｂは、オーバーラップしない個別の移動領域を有していてもよい。このような場合でも、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂが互いに近接した位置まで移動可能な構成であれば、相互干渉の可能性があるので本発明を適用する意義がある。

　また、上記第１実施形態では、基板認識カメラによるテーブル認識マークの認識を所定のタイミング、具体的には所定時間経過毎、または所定枚数のプリント基板５の印刷完了毎に繰り返す制御を行う例を示したが、本発明はこれに限られない。このような所定のタイミングとしては、たとえば、装置内部の所定位置に温度センサを設けておき、作業時に温度センサの検出温度が所定以上変化したタイミングとしてもよい。

　また、上記第１～第４実施形態では、２つの印刷作業部４０ａ、４０ｂを設けて、対応する２カ所の印刷位置Ｐ１、Ｐ２で半田印刷作業を実行するように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、Ｙ方向の中央（搬出位置）に１つの印刷作業部を設けて、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂに保持されたプリント基板に対して、それぞれ中央の印刷位置において共通の印刷作業部で印刷作業を行うように構成してもよい。

　また、上記第１～第４実施形態では、２つの印刷作業部４０ａ、４０ｂを設けて、それぞれ個別にプリント基板の印刷が行われる例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、１枚のプリント基板に対して２つのスクリーンマスクを用いて半田印刷を行う場合がある。この場合には、２つの印刷作業部に１回目印刷用のスクリーンマスクと、２回目印刷用のスクリーンマスクを配置して、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂがそれぞれ２カ所の印刷作業位置に移動して印刷作業を行うように構成してもよい。この場合、基板作業テーブルの移動範囲を考慮して、２つの印刷作業部をＹ軸方向の中央寄りの位置に配置すればよい。

　また、上記第１～第４実施形態では、デュアル搬送方式の表面実装機Ｍに対応して、２カ所の搬出位置Ｅｘ１、Ｅｘ２で基板搬出を行う印刷装置の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、シングル搬送方式の表面実装機に対応して、Ｙ方向の中央の１カ所の搬出位置から、印刷済みのプリント基板を搬出するように構成してもよい。

　また、上記第１～第４実施形態では、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ座標の現在座標Ｙ_１Ｃ、Ｙ_２Ｃと、移動目標座標Ｙ_１Ｎ、Ｙ_２Ｎとを用いて、干渉判断および干渉回避処理を行うよう例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板作業テーブルの移動速度なども考慮して、リアルタイムの干渉回避制御を行うように構成してもよい。

　具体的には、相手テーブルの現在座標または移動目標座標から干渉すると判断された場合でも、自テーブルのＹ軸移動を開始するとともに相手テーブルおよび自テーブルの移動速度を調整し、少なくとも最小間隔Ｌ_ｍよりも大きい間隔が保たれるように制御する。たとえば、移動開始時に相手テーブルの現在座標が、相互干渉を招く位置座標であったとしても、自テーブルの移動開始後に相手テーブルが離間する方向へ移動する場合には、自テーブルの移動速度を減速して移動目標座標への到達タイミングを遅らせるで、干渉を回避することが可能となる。この場合に、移動中の各時点における各テーブルの位置座標の和が干渉基準距離よりも小さければ、最小間隔Ｌ_ｍよりも大きい間隔が保たれ、相互干渉が回避される。

　また、上記第１～第４実施形態では、テーブル認識マーク２４をクランプユニット２３の固定側のアーム部５２ａに設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、テーブル認識マーク２４を可動側のアーム部５２ｂに設けてもよい。可動側のアーム部５２ｂの移動に対応して、可動側のアーム部５２ｂと固定側のアーム部５２ａとの間の距離を求めることで、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ座標を算出することができるからである。

　なお、上記第１、第２実施形態では、フレーム構造体３０に設置された基板認識カメラ３４ａ、３４ｂにより、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂに設けられたテーブル認識マーク２４を撮像するが、基台１０に設置されたカメラにより、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの別の位置に設けられたテーブル認識マークを撮像することにより、テーブル位置を認識するようにしても良い。また、上記第３、第４実施形態では、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂに設けられたマスク認識カメラ２５で、フレーム構造体３０に設けられた、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置認識マーク１１０を撮像するようにしているが、基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの別の位置に設けられたカメラにより、基台１０に設置される、基板板作業テーブル２０ａ、２０ｂの位置認識マークを撮像し、テーブル位置を認識するようにしても良い。これらにおいて、基台１０は、本発明の「基台側部材」の一例である。

　以上説明した本発明をまとめると以下の通りである。

　本発明の一の局面による基板作業装置は、基板に対して所定の作業を行う基板作業装置であって、基台と、特定方向において互いに接近することが可能となるように前記基台上に移動可能に支持される第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルと、前記基台又は当該基台に固定される部材からなる基台側部材と、前記第１及び第２基板作業テーブルと、のうち一方側に備えられる標識部と、前記基台側部材と、前記第１及び第２基板作業テーブルと、のうち前記一方側とは異なる他方側に備えられ、前記標識部を撮像する撮像部と、前記撮像部に前記標識部を撮像させることにより、その画像データと、前記標識部及び前記撮像部のうち前記基台側部材に備えられるものの位置データと、に基づき前記各基板作業テーブルの位置情報を取得し、さらに、当該位置情報に基づき、前記各基板作業テーブルの移動時に当該各基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断する制御部と、を備えるものである。

　この基板作業装置によれば、撮像部で標識部を認識することで第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの正確な位置情報を取得することができる。そして、このような正確な位置情報に基づいて、各基板作業テーブルが移動時に互いに干渉するか否かを判断するように制御部が構成されているため、基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

　この基板作業装置において、前記位置情報は、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの位置座標である。

　この構成によれば、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの正確な位置座標が取得され、当該位置座標に基づいて、各基板作業テーブルが移動時に互いに干渉するか否かが判断される。従って、基板作業テーブルの実際の位置が本来の座標値（動作制御に用いる座標値）からずれるような場合でも、基板作業テーブルが移動時に相互干渉するか否かを容易にかつ正確に判断して、干渉を回避する動作制御を行うことができる。

　この基板作業装置において、前記制御部は、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの前記位置座標と、前記特定方向において各基板作業テーブルを互いに干渉させることなく接近させることが可能な両基板作業テーブルの最小間隔とに基づいて、前記各基板作業テーブルを各々所定の原点位置から前記最小間隔になる位置まで接近させるときの当該各基板作業テーブルの移動距離の和である干渉基準距離を算出し、さらに、前記両基板作業テーブルの移動目標座標または現在座標と前記干渉基準距離とを比較することにより、前記基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断するものであるのが好適である。

　この構成によれば、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの移動時に、上記干渉基準距離と、各テーブルの位置座標（移動目標座標または現在座標）とを比較するだけで、より容易に、基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを判断することが可能となる。

　なお、上記の基板作業装置において、前記制御部は、前記所定の作業中に、前記撮像部に所定のタイミングで前記標識部を撮像させることにより前記位置情報を繰り返し取得する制御を行うものであるのが好適である。

　この構成すれば、作業中に撮像部による標識部の認識が繰り返し行われることで、駆動機構（ねじ軸など）の熱収縮などによって基板作業テーブルに位置ずれが発生した場合にも、その位置ずれ（位置情報の変化）を画像認識することにより補正することができる。従って、基板作業テーブルに位置ずれが発生する場合にも、基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを適切に判断することができる。

　上記一の局面による基板作業装置において、前記撮像部は、前記基台側部材に固定的に設けられ、かつ、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルに保持される前記基板を認識するための基板認識カメラであり、前記標識部は、前記第１基板作業テーブルのうち前記基板認識カメラによって撮像可能な位置に設けられる第１標識部および前記第２基板作業テーブルのうち前記基板認識カメラによって撮像可能な位置に設けられる第２標識部を含むものであるのが好適である。

　この構成によれば、作業時に基板を認識するための基板認識カメラを用いて第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの位置情報を取得することができる。よって、基板作業テーブルの位置情報を取得するための専用の撮像部を別途設けることによる装置構成の複雑化を伴うことなく、基板作業テーブルが移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することが可能となる。

　この基板作業装置において、前記基板認識カメラは、前記第１基板作業テーブルに対応する第１基板認識カメラおよび前記第２基板作業テーブルに対応する第２基板認識カメラを含み、前記制御部は、前記第１基板作業テーブルの前記第１標識部を前記第１基板認識カメラで撮像させるとともに前記第２基板作業テーブルの前記第２標識部を前記第２基板認識カメラで撮像させることにより前記各基板作業テーブルの前記位置情報と、前記特定方向における両基板認識カメラの間隔とに基づいて、前記各基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断するものであってもよい。

　この構成によれば、単一の基板認識カメラで各基板作業テーブルそれぞれの標識部を認識する場合のように、各基板作業テーブルを共通（単一）の基板認識カメラの位置まで移動させる必要がない。そのため、より容易にかつ迅速に、各基板作業テーブルの位置情報を取得することが可能となる。

　上記一の局面による基板作業装置においては、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルに保持される前記基板に対してマスクを介して半田を印刷する印刷作業部をさらに備え、前記撮像部は、前記マスクを認識するために、前記第１基板作業テーブルに備えられる第１マスク認識カメラおよび前記第２基板作業テーブルに備えられる第２マスク認識カメラであり、前記標識部は、前記基台側部材のうち、前記両マスク認識カメラにより撮像可能な位置に設けられているものであってもよい。

　この構成によれば、基板に半田印刷を行う基板作業装置（印刷装置）であって、基板作業テーブルが移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することが可能なものを提供することが可能となる。また、マスクを認識するためのマスク認識カメラを用いて第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの位置情報を取得することができるので、基板作業テーブルの位置情報を取得するための専用の撮像部を別途設けることによる装置構成の複雑化を伴うことなく、基板作業テーブルが移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することが可能となる。

　この基板作業装置において、前記標識部は、前記第１マスク認識カメラによって撮像可能な位置に設けられる第１標識部および前記第２マスク認識カメラによって撮像可能な位置に設けられる第２標識部を含み、前記制御部は、前記第１マスク認識カメラにより前記第１標識部を撮像させるとともに前記第２マスク認識カメラにより前記第２標識部を撮像させることにより得られる前記各基板作業テーブルの前記位置情報と、前記特定方向における前記両標識部の間隔とに基づいて、前記各基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断するものであってもよい。

　この構成によれば、単一の標識部を各基板作業テーブルのマスク認識カメラで認識する場合のように、各基板作業テーブルを共通（単一）の標識部の位置まで移動させる必要がない。そのため、より容易にかつ迅速に、各基板作業テーブルの位置情報を取得することが可能となる。

　なお、上記一の局面による基板作用装置において、前記標識部は、位置認識用のマークであるのが好適である。

　この構成によれば、例えば装置内の所定部位などを目印（標識部）として画像認識を行う場合に比べて、より確実かつ精度よく標識部の画像認識を行うことが可能となる。

　以上のように、本発明の基板作業装置は、２つの基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを正確に判断することが可能なものであり、従って、互いに接近する方向に移動可能な２つの基板作業テーブルで基板を保持した状態で作業を進める印刷装置、表面実装機及び検査装置などの製造分野において有用なものである。

Claims

　基板に対して所定の作業を行う基板作業装置であって、
　基台と、
　特定方向において互いに接近することが可能となるように前記基台上に移動可能に支持される第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルと、
　前記基台又は当該基台に固定される部材からなる基台側部材と、前記第１及び第２基板作業テーブルと、のうち一方側に備えられる標識部と、
　前記基台側部材と、前記第１及び第２基板作業テーブルと、のうち前記一方側とは異なる他方側に備えられ、前記標識部を撮像する撮像部と、
　前記撮像部に前記標識部を撮像させることにより、その画像データと、前記標識部及び前記撮像部のうち前記基台側部材に備えられるものの位置データと、に基づき前記各基板作業テーブルの位置情報を取得し、さらに、当該位置情報に基づき、前記各基板作業テーブルの移動時に当該各基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断する制御部と、を備えることを特徴とする基板作業装置。
　前記位置情報は、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの位置座標であることを特徴とする請求項１に記載の基板作業装置。
　前記制御部は、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの前記位置座標と、前記特定方向において各基板作業テーブルを互いに干渉させることなく接近させることが可能な両基板作業テーブルの最小間隔と、に基づいて、前記各基板作業テーブルを各々所定の原点位置から前記最小間隔になる位置まで接近させるときの当該各基板作業テーブルの移動距離の和である干渉基準距離を算出し、さらに、前記両基板作業テーブルの移動目標座標又は現在座標と、前記干渉基準距離と、を比較することにより、前記基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断することを特徴とする請求項２に記載の基板作業装置。
　前記制御部は、前記所定の作業中に、前記撮像部に所定のタイミングで前記標識部を撮像させることにより前記位置情報を繰り返し取得する制御を行うことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の基板作業装置。
　前記撮像部は、前記基台側部材に固定的に設けられ、かつ、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルに保持される前記基板を認識するための基板認識カメラであり、
　前記標識部は、前記第１基板作業テーブルのうち前記基板認識カメラによって撮像可能な位置に設けられる第１標識部、および前記第２基板作業テーブルのうち前記基板認識カメラによって撮像可能な位置に設けられる第２標識部を含むことを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載の基板作業装置。
　前記基板認識カメラは、前記第１基板作業テーブルに対応する第１基板認識カメラおよび前記第２基板作業テーブルに対応する第２基板認識カメラを含み、
　前記制御部は、前記第１基板作業テーブルの前記第１標識部を前記第１基板認識カメラで撮像させるとともに前記第２基板作業テーブルの前記第２標識部を前記第２基板認識カメラで撮像させることにより前記各基板作業テーブルの前記位置情報と、前記特定方向における両基板認識カメラの間隔とに基づいて、前記各基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断することを特徴とする請求項５に記載の基板作業装置。
　前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルに保持される前記基板に対してマスクを介して半田を印刷する印刷作業部をさらに備え、
　前記撮像部は、前記マスクを認識するために、前記第１基板作業テーブルに備えられる第１マスク認識カメラおよび前記第２基板作業テーブルに備えられる第２マスク認識カメラであり、
　前記標識部は、前記基台側部材のうち、前記両マスク認識カメラにより撮像可能な位置に設けられている、ことを特徴とする請求項１～４の何れか一項に記載の基板作業装置。
　前記標識部は、前記第１マスク認識カメラによって撮像可能な位置に設けられる第１標識部、および前記第２マスク認識カメラによって撮像可能な位置に設けられる第２標識部を含み、
　前記制御部は、前記第１マスク認識カメラにより前記第１標識部を撮像させるとともに前記第２マスク認識カメラにより前記第２標識部を撮像させることにより得られる前記各基板作業テーブルの前記位置情報と、前記特定方向における前記両標識部の間隔と、に基づいて、前記各基板作業テーブルが互いに干渉するか否かを判断する、ことを特徴とする請求項７に記載の基板作業装置。
　前記標識部は、位置認識用のマークである、ことを特徴とする請求項１～８のいずれか一項に記載の基板作業装置。