JP2013120785A - 基板作業装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを正確に判断することが可能な基板作業装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００（基板作業装置）は、テーブル認識マーク２４と、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）と、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）およびテーブル認識マーク２４の一方が連結固定される基台１０と、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）およびテーブル認識マーク２４の他方を有し、互いに近付く方向に移動可能な基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂと、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂの各々について、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）でテーブル認識マーク２４を認識することにより得られた位置情報に基づいて、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）が移動時に干渉するか否かを判断する演算処理部８１とを備える。
【選択図】図５

Description

本発明は、基板作業装置に関し、特に、複数の基板作業テーブルを備えた基板作業装置に関する。

従来、複数の基板作業テーブルを備えた基板作業装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、２つの基板作業テーブルと２つの印刷作業部とを備え、基板作業テーブルに保持された基板にマスクを介して半田ペーストを印刷する印刷装置（基板作業装置）が開示されている。この印刷装置では、基板搬送方向（横方向）と直交する奥行き方向に２つの基板作業テーブルが並んで配置されており、ねじ軸駆動によって２つの基板作業テーブルが個別に奥行き方向に移動可能に構成されている。そして、２つの基板作業テーブルが搬送方向上流側から基板を受け取り、それぞれ印刷作業部による半田印刷作業を行った後、２つの基板作業テーブルの間の位置（奥行き方向の中央部）に配置された搬出位置で基板作業テーブルから印刷済みの基板が搬出される。この印刷装置では、基板の印刷作業を並行して行い、搬出位置での基板搬出が各基板作業テーブルで交互に行われるように構成されている。

特開２００９−７０８６７号公報

ここで、上記特許文献１では、２つの基板作業テーブルの間（奥行き方向の中央）の搬出位置で基板搬出を行う場合などには、２つの基板作業テーブルが互いに近接して動作することになる。このため、基板作業テーブルの駆動用のねじ軸の熱伸びによる位置ずれの発生や、基板作業テーブルの各部の組付誤差などに起因して駆動モータの座標値（基板作業テーブルの動作制御に用いる座標値）が実際の位置と食い違ってしまう場合には、２つの基板作業テーブル同士が相互干渉する可能性がある。しかしながら、上記特許文献１では、基板作業テーブル同士の相互干渉について何ら開示されておらず、２つの基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを正確に判断することができないという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを正確に判断することが可能な基板作業装置を提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板作業装置は、標識部と、標識部を撮像可能な撮像部と、撮像部および標識部の一方が連結固定される基台と、撮像部および標識部の他方を有し、基台上において互いに近付く方向に移動可能な、基板に対して所定の作業を行うための第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルと、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの各々について、撮像部で標識部を認識することにより得られた位置情報に基づいて、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断する制御部とを備える。

この発明の一の局面による基板作業装置では、上記のように、撮像部および標識部の一方を基台に連結固定するとともに、撮像部および標識部の他方を第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルにそれぞれ設けることによって、撮像部で標識部を認識することで第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの正確な位置情報を取得することができる。そして、得られた位置情報に基づいて、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように制御部を構成することによって、取得した位置情報が正確であるので、基板作業テーブル同士が移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、制御部は、画像認識結果に基づいて、撮像部が標識部を認識したときの第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルのそれぞれの位置座標を取得するとともに、取得した位置座標に基づいて第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている。このように構成すれば、画像認識結果を用いて、撮像部で標識部を認識したときの第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの各々の正確な位置座標を取得することができる。これにより、基板作業テーブルの座標値（基板作業テーブルの動作制御に用いる座標値）が実際の位置と食い違ってしまう場合にも、画像認識結果を用いて取得した位置座標を基準に補正することができるので、容易に、基板作業テーブルが移動時に相互干渉するか否かを正確に判断し、干渉を回避する動作制御を行うことができる。

この場合、好ましくは、制御部は、撮像部が標識部を認識したときの第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルのそれぞれの位置座標と、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルが干渉せずに近接可能な最小間隔とに基づいて、第１基板作業テーブルと第２基板作業テーブルとの間隔が最小間隔になるまでに接近可能な干渉基準距離を算出し、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの移動目標座標または現在座標と、干渉基準距離とを比較することによって、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている。このように構成すれば、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの移動時に、最小間隔になるまでに接近可能な干渉基準距離と、各テーブルの位置座標（移動目標座標または現在座標）とを比較するだけで、より容易に、基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを判断することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、制御部は、作業時に、撮像部による標識部の認識を所定のタイミングで繰り返す制御を行うように構成されている。このように構成すれば、作業時に撮像部による標識部の認識を繰り返すことによって、基板作業テーブルの駆動機構（ねじ軸など）の熱伸びなどにより位置ずれが発生した場合にも、その位置ずれ（位置情報の変化）を画像認識で取得（実測）して補正することができる。これにより、作業時に、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルに位置ずれが発生する場合にも、基板作業テーブル同士が相互干渉するか否かを適切に判断することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、撮像部は、装置内の所定位置に固定的に設けられ、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルに保持された基板を認識するための基板認識カメラであり、標識部は、基板認識カメラによって認識可能なように、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルのそれぞれに設けられている。このように構成すれば、作業時に基板を認識するための基板認識カメラを用いて第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの位置情報を取得することができる。これにより、基板作業テーブルの位置情報を取得するための専用の撮像部を別途設ける必要がないので、装置構成を複雑化させることなく、基板作業テーブルが移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

この場合において、好ましくは、基板認識カメラは、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルに対応して設けられた第１基板認識カメラおよび第２基板認識カメラを含み、制御部は、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルのそれぞれの標識部を、対応する第１基板認識カメラおよび第２基板認識カメラで認識することにより得られた位置情報と、第１基板認識カメラおよび第２基板認識カメラの間の間隔とに基づいて、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている。このように構成すれば、単一の基板認識カメラでそれぞれの標識部を認識する場合と比較して、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを同じ（単一の）基板認識カメラの位置まで移動させる必要がないので、容易かつ迅速に、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの位置情報を取得することができる。

上記撮像部が基板認識カメラである構成において、好ましくは、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルに保持された基板に対してマスクを介して半田を印刷する印刷作業部をさらに備え、撮像部は、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルにそれぞれ設けられた、マスクを認識するためのマスク認識カメラを含み、標識部は、マスク認識カメラによって認識可能な所定位置に設けられている。このように構成すれば、基板作業テーブルが移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することが可能な半田印刷作業装置を得ることができる。また、マスクを認識するためのマスク認識カメラを用いて第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの位置情報を取得することができるので、専用の撮像部を別途設ける必要がなく、装置構成が複雑化するのを抑制することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルに保持された基板に対してマスクを介して半田を印刷する印刷作業部をさらに備え、撮像部は、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルにそれぞれ設けられた、マスクを認識するためのマスク認識カメラを含み、標識部は、第１基板作業テーブルに設けられたマスク認識カメラおよび第２基板作業テーブルに設けられたマスク認識カメラにそれぞれ対応して設けられた第１標識部および第２標識部を含み、制御部は、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルのそれぞれのマスク認識カメラで、対応する第１標識部および第２標識部を認識することにより得られた位置情報と、第１標識部および第２標識部の間の間隔とに基づいて、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている。このように構成すれば、単一の標識部をそれぞれのマスク認識カメラで認識する場合と比較して、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルを同じ（単一の）標識部の位置まで移動させる必要がないので、容易かつ迅速に、第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの位置情報を取得することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、標識部は、撮像部による位置認識用のマークである。このように構成すれば、たとえば装置内の所定部位などを目印に画像認識を行う場合と比較して、確実かつ精度よく画像認識を行うことができる。

本発明によれば、上記のように、基板作業テーブル同士が移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することが可能な基板作業装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態による印刷装置をＹ方向から見た側面図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板作業テーブルの構成および配置を示した平面図である。 本発明の印刷装置を構成する基板作業テーブルをＸ方向から見た場合の模式的な断面図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置をＸ方向から見た場合の模式的な側面図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の制御的な構成を示したブロック図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの位置座標の取得方法を説明するための模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの位置座標の取得方法を説明するための模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの最小間隔を説明するための模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の制御フロー図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の基板作業テーブルの位置関係を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の基板作業テーブルの位置関係を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の基板作業テーブルの位置関係を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の基板作業テーブルの位置関係を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による印刷装置の基板作業テーブルのＹ軸移動時の制御フロー図である。 本発明の第２実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの干渉基準距離を説明するための模式図である。 本発明の第３実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの位置座標の取得方法を説明するための模式図である。 本発明の第３実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの位置座標の取得方法を説明するための模式図である。 本発明の第４実施形態による印刷装置における基板作業テーブルの干渉基準距離を説明するための模式図である。 本発明の第１〜４実施形態の第１変形例による表面実装機を示した模式図である。 本発明の第１〜４実施形態の第２変形例による検査装置を示した模式図である。 本発明の第１〜４実施形態の変形例による基板作業テーブルの最小間隔を説明するための模式図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
まず、図１〜図８を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の構造について説明する。なお、第１実施形態では、本発明の「基板作業装置」を印刷装置１００に適用した例について説明する。

本発明の第１実施形態による印刷装置１００は、図１および図２に示すように、装置本体内に搬送されるプリント基板（配線基板）５の上面に半田ペーストをマスク印刷する印刷機である。なお、プリント基板５は、本発明の「基板」の一例である。

印刷装置１００は、搬送方向上流側（Ｘ方向右側）の搬入位置Ｅｎ１（Ｅｎ２）で２台のローダＬＤ１（ＬＤ２）からそれぞれプリント基板５を搬入し、印刷位置Ｐ１（Ｐ２）でプリント基板５への印刷を行い、搬送方向下流側（Ｘ方向左側）の搬出位置Ｅｘ１またはＥｘ２から下流側のデュアル搬送型の表面実装機Ｍへと印刷済みのプリント基板５を搬出するように構成されている。搬出位置Ｅｘ１およびＥｘ２は、表面実装機Ｍの２つの基板搬送ラインに対応して、搬入位置Ｅｎ１（Ｅｎ２）よりもＹ方向内側に配置されている。なお、プリント基板５の搬送方向がＸ方向であり、水平面内でＸ方向と直交する方向がＹ方向である。また、ＸおよびＹ方向と直交する上下方向がＺ方向である。このような構成により、印刷装置１００は、２本の搬送ラインを有するプリント回路基板の基板製造ラインの一部を構成している。

印刷装置１００は、基台１０と、プリント基板５を保持して搬送する２つの基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂと、２つの印刷作業部４０ａおよび４０ｂ（図４参照）とを備えており、２枚のプリント基板５に対する搬送およびマスク印刷を並行して行うことが可能に構成されている。また、図５に示すように、印刷装置１００には、以下に説明する各部の動作制御を行うための後述する制御装置８０が内蔵されている。なお、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂは、それぞれ、本発明の「第１基板作業テーブル」および「第２基板作業テーブル」の一例である。

図２に示すように、２つの基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）は、Ｙ方向に並んで配置されており、それぞれプリント基板５を搬入位置Ｅｎ１（Ｅｎ２）で受け取り、印刷作業時には印刷位置Ｐ１（Ｐ２）でプリント基板５を支持して固定し、印刷済みのプリント基板５を搬出位置Ｅｘ１またはＥｘ２から搬出する機能を有している。なお、２つの基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）は、それぞれ搬出位置Ｅｘ１およびＥｘ２のいずれからでも基板搬出が可能である。

図２および図３に示すように、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）は、それぞれ、Ｙ方向に移動可能に構成された可動台２１Ａ（２１Ｂ）と、可動台２１Ａ（２１Ｂ）上に配置された搬送方向（Ｘ方向）に延びる一対のコンベアレール２２ａ（２２ｂ）からなる搬送コンベア２２と、搬送コンベア２２上のプリント基板５を搬送コンベア２２から上方に離間した状態で印刷作業可能なように保持（固定）しつつＸ方向に移動可能なクランプユニット２３と、クランプユニット２３の上面上に設けられたテーブル認識マーク２４と、クランプユニット２３に設けられたマスク認識カメラ２５とを含む。なお、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の構成（構造）は略同様であるので、図４では基板作業テーブル２０ａのみを図示している。また、テーブル認識マーク２４は、本発明の「標識部」および「マーク」の一例である。また、マスク認識カメラ２５は、本発明の「撮像部」の一例である。

図２に示すように、可動台２１Ａ（２１Ｂ）は、それぞれ平面視で搬送方向に延びる略矩形形状を有し、基台１０上にＹ方向に延びるように設けられた４本のガイドレール１１上で移動可能に支持されている。各基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の可動台２１Ａ（２１Ｂ）は、それぞれ４本の共通のガイドレール１１で支持される一方、２つのテーブル駆動機構によってＹ方向に個別に移動されるように構成されている。具体的には、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の可動台２１Ａ（２１Ｂ）は、それぞれ、Ｙ方向に延びるねじ軸１２ａ（１２ｂ）と、ねじ軸１２ａ（１２ｂ）を回転駆動するサーボモータ１３ａ（１３ｂ）とによってＹ方向に駆動される。これにより、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）は、それぞれ、退避位置Ｐ５（Ｐ６）から、少なくともＹ方向の反対側の搬出位置ＥＸ２（ＥＸ１）までの範囲を個別にＹ軸（Ｙ方向）移動可能なように構成されており、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）は共通の移動領域を有している（移動範囲がオーバーラップしている）。

図３に示すように、一対のコンベアレール２２ａ（２２ｂ）からなる搬送コンベア２２は、周回移動する一対の搬送ベルト２２ｃを備えたベルトコンベアであり、可動台２１Ａ（２１Ｂ）のＸ方向両端に設けられた脚部２２ｄ（図１参照）によって支持されている。図２に示すように、搬送コンベア２２は印刷装置１００のＸ方向の略全長にわたって延びるように設けられており、搬送コンベア２２の位置を搬入位置Ｅｎ１（Ｅｎ２）および搬出位置Ｅｘ１（Ｅｘ２）のＹ軸座標に一致させることで、基板搬入および搬出が可能となっている。なお、印刷位置Ｐ１およびＰ２のＹ軸座標は、それぞれ搬入位置Ｅｎ１およびＥｎ２のＹ軸座標と一致しており、印刷作業中にプリント基板５を搬入して、搬送コンベア２２上の待機位置Ｐ３（Ｐ４）に後続のプリント基板５を待機させておくことが可能である。また、各搬送コンベア２２は、印刷装置１００のＹ方向外側のコンベアレール２２ｂを可動台２１Ａ（２１Ｂ）上でそれぞれＹ方向に移動させることが可能であり、搬送されるプリント基板５のサイズに合わせてコンベア幅が可変となっている。

図３に示すように、クランプユニット２３は、一対のコンベアレール２２ａ（２２ｂ）からなる搬送コンベア２２をＹ方向両外側から抱え込むように設けられた可動ユニットである。クランプユニット２３は、ベース部５１と、搬送コンベア２２のＹ方向両側にそれぞれ配置されたアーム部５２ａおよび５２ｂと、アーム部５２ａおよび５２ｂの上端に設けられたクランプ機構５３と、ベース部５１上に設置された支持機構５４とを有する。

ベース部５１は、図２に示すように、可動台２１Ａ（２１Ｂ）上にそれぞれ設けられたＸ方向に延びるねじ軸２１２と、ねじ軸２１２を回転駆動するサーボモータ２１３とによってガイドレール２１１上をＸ方向に移動可能に構成されている。なお、図４に示すように、アーム部５２ａおよび５２ｂは、それそれ、搬送コンベア２２のコンベアレール２２ａ（２２ｂ）の外側側面に組み付けられたガイドレール２２ｅとＸ方向にスライド移動可能に係合しており、ベース部５１のＸ方向移動に伴ってクランプユニット２３全体が搬送コンベア２２に沿ってＸ方向に移動可能となっている。

Ｙ方向内側のアーム部５２ａは、ベース部５１上に固定的に設置されており、Ｙ方向外側のアーム部５２ｂは、ベース部５１上でＹ方向に延びるように設けられたガイドレール５１ａ上で移動可能に支持されている。これにより、搬送コンベア２２のＹ方向可動のコンベアレール２２ｂの移動によるコンベア幅のプリント基板５のＹ方向幅の変化に対応した変更に合わせて、アーム部５２ｂもアーム部５２ａに対してＹ方向に移動する（アーム部５２ａと５２ｂとの間隔も変化し、プリント基板５のＹ方向幅の変化に対応してクランプ機構５３で保持し固定できる）ように構成されている。可動台２１Ｂは可動台２１ＡよりＹ方向に長く、コンベア幅をより大きくできるように構成されており、基板作業テーブル２０ｂの方が基板作業テーブル２０ａに比べＹ方向幅の大きなプリント基板５に対応できるようにされている。

クランプ機構５３は、アーム部５２ａの上端に固定的に設けられたクランプ部５３ａと、アーム部５２ｂの上端に設けられた可動のクランプ部５３ｂとを含む。クランプ機構５３は、エアシリンダ５３ｃを駆動させてクランプ部５３ｂをクランプ部５３ａに近付く方向に変位させることによって、搬送コンベア２２上のプリント基板５をＹ方向の両側から挟み込んで把持することが可能なように構成されている。なお、エアシリンダ５３ｃを逆方向に作動させればクランプが解除される。

支持機構５４は、ベース部５１上で搬送コンベア２２の間の位置に設置された昇降可能な支持テーブル５４ａと、支持テーブル５４ａ上に設けられたバックアップピン５４ｂとを含み、昇降機構５４ｃによって支持テーブル５４ａを上昇させ、搬送コンベア２２上のプリント基板５を持ち上げて支持するように構成されている。この支持機構５４によって持ち上げられたプリント基板５がクランプ機構５３によって把持されることにより、プリント基板５が搬送コンベア２２（搬送ベルト２２ｃ）から上方に離間した状態で固定的に保持され、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）上でプリント基板５に印刷作業を行うことが可能となる。

第１実施形態では、図２および図３に示すように、テーブル認識マーク２４は、画像認識を用いた位置認識用のマークであり、Ｙ方向の中央側に設けられた固定側のアーム部５２ａ（クランプ部５３ａ）の上面上に設けられている。したがって、テーブル認識マーク２４は、２つの基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のそれぞれにおいて、対応する位置（Ｙ方向内側のアーム部５２ａの上面上）に設けられている。また、テーブル認識マーク２４は、アーム部５２ａ（クランプ部５３ａ）の上面上に設けられることによって、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）上にプリント基板５が保持されているか否かにかかわらず画像認識可能なように構成されている。

マスク認識カメラ２５は、ＣＣＤエリアセンサなどからなり、クランプユニット２３のＹ方向の外側に設けられた可動側のアーム部５２ｂに、撮像方向を上方に向けて取り付けられている。このため、マスク認識カメラ２５は、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の移動に伴ってＹ方向に移動可能で、クランプユニット２３の移動に伴ってＸ方向に移動可能となっている。マスク認識カメラ２５は、印刷作業部４０ａ（４０ｂ）に保持されたスクリーンマスク６の下面側に付されたマスク認識マーク（図示せず）を下方から撮像して、スクリーンマスク６の位置および姿勢を認識するために設けられている。なお、スクリーンマスク６は、本発明の「マスク」の一例である。

また、図４に示すように、基台１０上には、２つの基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の上方を跨いでＹ方向に延びるように設けられた一対のフレーム構造体３０がＸ方向（基板搬送方向）に所定の間隔を隔てて配置（図１参照）されている。また、各々のフレーム構造体３０は、門型構造を有しており、基台１０のＹ方向の両端部近傍から上方に延びる一対の脚部３１と、脚部３１の上端同士を水平方向に繋ぐ梁部３２とを含んでいる。

ここで、第１実施形態では、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の上方を跨ぐ搬送方向上流側（図１の右側）のフレーム構造体３０（梁部３２）の下面側には、２つの基板認識カメラ３４ａおよび３４ｂが固定的に設置されている。フレーム構造体３０は基台１０に固定されているので、２つの基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）は、基台１０に連結固定されるとともに、それぞれ基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）に対応して設けられており、Ｙ方向に所定の間隔を隔てて配置されている。これらの基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）は、ＣＣＤエリアセンサなどからなり、撮像方向を下方に向けて設置されている。基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）は、プリント基板５の上面に付された図示しない基板認識マークを撮像して、クランプユニット２３に把持されたプリント基板５の位置および姿勢を認識するように構成されている。基板認識マークは、通常、プリント基板５の四隅または対角に設けられており、基板認識マークを画像認識することにより、プリント基板５の位置（位置ずれ）、および水平面内での傾きを取得することができる。また、第１実施形態では、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）は、基板認識マークの認識に加えて、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のテーブル認識マーク２４を撮像可能に構成されている。なお、基板認識カメラ３４ａは、本発明の「撮像部」および「第１基板認識カメラ」の一例であり、基板認識カメラ３４ｂは、本発明の「撮像部」および「第２基板認識カメラ」の一例である。

また、図１に示すように、印刷作業部４０ａ（４０ｂ）は、それぞれ、一対のフレーム構造体３０にＸ方向の両側を支持され、印刷位置Ｐ１（Ｐ２）（図２参照）において基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の上方の位置に配置されている。印刷作業部４０ａ（４０ｂ）は、スクリーンマスク６を保持するためのマスク保持部４１と、スクリーンマスク６を介してプリント基板５に半田を印刷するスキージユニット４２とを含んでいる。

マスク保持部４１は、スクリーンマスク６が着脱可能に組み付けられた略矩形状のマスク固定部材４３と、マスク固定部材４３を昇降（Ｚ軸方向移動）させるマスク昇降機構４４と、マスク固定部材４３をＺ軸回りに回動させるとともに、Ｙ方向に移動させるための一対のマスク駆動機構４５とを有している。

マスク昇降機構４４は、図示しないガイドレール、ねじ軸、および、ねじ軸を駆動するＺ軸モータによってマスク固定部材４３を昇降可能に支持するとともに、一対のフレーム構造体３０上にＸ方向の両端を支持されている。また、マスク昇降機構４４は、一対のフレーム構造体３０上でＹ方向に移動可能で、かつ、Ｘ−Ｙ面内で所定角度だけ回動可能に構成されている。

一対のマスク駆動機構４５は、図示しないガイドレール、ねじ軸、および、ねじ軸を駆動するＹ軸モータからなり、一対のフレーム構造体３０上にそれぞれ設置されている。一対のマスク駆動機構４５は、Ｘ方向の両側からマスク昇降機構４４をＹ方向に駆動することが可能なように構成されている。一対のマスク駆動機構４５の両方を等速度で駆動すれば、マスク昇降機構４４ごとマスク固定部材４３を平行にＹ方向に移動させることが可能であり、一対のマスク駆動機構４５で駆動速度に差を設ければ、マスク昇降機構４４ごとマスク固定部材４３を水平面内（Ｘ−Ｙ面内）で回動させることが可能である。

これにより、印刷作業部４０ａ（４０ｂ）では、印刷位置Ｐ１（Ｐ２）に搬入されたプリント基板５に対して、マスク保持部４１に保持されたスクリーンマスク６のＸ−Ｙ面内における詳細な位置合わせ（Ｙ方向位置および水平面内の傾き）が行われるように構成されている。Ｘ方向位置の位置合わせはクランプユニット２３の移動調整によりなされる。また、印刷時には、マスク昇降機構４４によってマスク保持部４１に保持されたスクリーンマスク６をＺ２方向に下降させて印刷位置Ｐ１（Ｐ２）に搬入されたプリント基板５の上面に当接させるとともに、印刷後には、スクリーンマスク６をＺ１方向に上昇させてプリント基板５の上面からの版離れ動作を行うように構成されている。

スキージユニット４２は、Ｘ方向に延びる可動梁４６の中央部で支持され、マスク保持部４１の上方に配置されている。スキージユニット４２は、スクリーンマスク６の上面（Ｚ１側）に対してペースト状の半田（図示せず）を押圧しながらＹ方向に往復して摺動するスキージ４２ａと、印刷時にスキージ４２ａを昇降させる図示しない昇降機構と、スクリーンマスク６に対するスキージ４２ａの傾き方向および傾き角度を変更するための図示しないスキージ角度可変機構とを含む。また、可動梁４６は、一対のフレーム構造体３０の上面上にＹ方向に沿って延びるように設けられた一対のガイドレール３３上で移動可能に支持されている。そして、可動梁４６は、フレーム構造体３０に設けられたＹ方向に延びる不図示のねじ軸およびスキージ軸モータ３６によってＹ方向に移動可能に構成されており、この可動梁４６の移動に伴ってスキージユニット４２（スキージ４２ａ）をＹ方向に移動させることにより、印刷動作を行うように構成されている。

また、図５に示すように、制御装置８０は、演算処理部８１、記憶部８２、外部入出力部８３、画像処理部８４およびモータ制御部８５によって主に構成されている。また、制御装置８０は、表示ユニット８６と接続されている。なお、演算処理部８１は、本発明の「制御部」の一例である。

演算処理部８１はＣＰＵからなり、印刷装置１００の動作を全般的に統括している。記憶部８２は、演算処理部８１が実行可能な制御プログラムなどが格納されている動作プログラム記憶部８２ａと、印刷動作を行う際に必要となるデータ類が格納されている制御データ記憶部８２ｂとを含んでいる。

また、外部入出力部８３は、各種センサ類およびアクチュエータ類からの入出力を制御する機能を有している。画像処理部８４は、２つの基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）および２つのマスク認識カメラ２５の各々が撮像した画像データの処理を行って、印刷装置１００の動作に必要とされるデータを内部的に生成する役割を有している。この場合、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）が撮像したテーブル認識マーク２４の画像データは画像処理部８４によって画像処理が行われる。これにより、演算処理部８１により基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）の中央がテーブル認識マーク２４の位置にＹ方向において一致する時の基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のＹ軸方向の位置座標が取得されるように構成されている。

モータ制御部８５は、演算処理部８１から出力される制御信号に基づいて、印刷装置１００の各サーボモータ（基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）をＹ方向に移動させるサーボモータ１３ａ（１３ｂ）（図２参照）、クランプユニット２３をＸ方向に移動させるサーボモータ２１３（図３参照）、搬送コンベア２２のベルト駆動用モータ（図示せず）など）を制御するように構成されている。また、モータ制御部８５は、各サーボモータが有するエンコーダ（図示せず）からの信号に基づいて基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のＹ軸方向の位置座標、クランプユニット２３のＸ−Ｙ面内の位置、マスク保持部４１の高さ位置（Ｚ方向）および回転位置（Ｘ−Ｙ面内の回転角度）などを認識可能に構成されている。

ここで、第１実施形態では、制御装置８０（演算処理部８１）は、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂの各々について、基板認識カメラ３４ａ（または３４ｂ）でテーブル認識マーク２４を認識することにより得られた位置情報に基づいて、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている。以下では、干渉判断の詳細について説明する。

まず、図４に示すように、基板作業テーブル２０ａのＹ軸を（Ｙ_Ｍ１）で示し、基板作業テーブル２０ｂのＹ軸を（Ｙ_Ｍ２）で示す。Ｙ軸座標は、それぞれＹ方向移動範囲の外側端に位置する場合のＹ方向外側端部の位置を原点にとり、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂが互いに近付く方向を正とする。また、説明の容易化のため、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置を示すものとして、それぞれの基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）に設けられたテーブル認識マーク２４の位置座標を用いる。つまり、基板作業テーブル２０ａのＹ軸座標Ｙ_１Ｃというとき、Ｙ軸（Ｙ_Ｍ１）における基板作業テーブル２０ａのテーブル認識マーク２４の位置座標がＹ_１Ｃとなる。以下では、２つの基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）のうち、基板作業テーブル２０ａ側の基板認識カメラ３４ａを用いてテーブル認識マーク２４を認識する例について説明するが、基板認識カメラ３４ｂを用いる場合も同様である。

まず、干渉判断のための位置座標の取得を行う。図６に示すように、基板作業テーブル２０ａを移動させて基板認識カメラ３４ａの下方にテーブル認識マーク２４を位置付けた状態で、基板認識カメラ３４ａでテーブル認識マーク２４を撮像して画像認識を行う。このとき、エンコーダ出力に基づく基板作業テーブル２０ａのＹ座標値に対して実際の基板作業テーブル２０ａの位置座標に位置ずれが生じている場合には、基板認識カメラ３４ａの撮像中心からテーブル認識マーク２４がずれた位置に配置される。この位置ずれを画像認識によって取得することで基板作業テーブル２０ａのＹ座標値を補正し、基板認識カメラ３４ａの撮像中心がテーブル認識マーク２４とＹ方向で一致するときの実際の基板作業テーブル２０ａの位置座標をＹ_１Ｂとする。

図７に示すように、基板作業テーブル２０ｂも同様に移動させ、基板認識カメラ３４ａの下方の同一の位置にテーブル認識マーク２４を位置付け、基板認識カメラ３４ａでテーブル認識マーク２４を撮像して画像処理部８４により画像認識を行う。そして、演算処理部８１において画像認識により取得される位置ずれ分だけ基板作業テーブル２０ａのＹ座標値を補正し、基板認識カメラ３４ａの撮像中心がテーブル認識マーク２４とＹ方向で一致するときの実際の基板作業テーブル２０ｂの位置座標をＹ_２Ｂとする。

また、図８に示すように、基板作業テーブル２０ａと基板作業テーブル２０ｂとが干渉せずに最も近接した状態におけるテーブル認識マーク２４間の距離を、実測または設計上の値から算出し、近接可能な最小間隔Ｌ_ｍとする。

以上の３つのパラメータ（Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂ、Ｌ_ｍ）を用いて、次の値を干渉基準距離Ｌ_ｉとして設定する。
Ｙ_１Ｂ＋Ｙ_２Ｂ−Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）
この干渉基準距離は、両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂを仮にそれぞれ同じ位置（基板認識カメラ３４ａの下方位置）まで移動させ得たとした時の、それぞれのＹ座標の和から最小間隔Ｌ_ｍを引いたものであり、それぞれ同じ位置にあると仮定した基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのいずれか一方を負方向にＬ_ｍだけ移動させた状態におけるそれぞれのＹ座標の和となる。この状態においては、基板作業テーブル２０ａと基板作業テーブル２０ｂは実体として干渉することはなく、間隔が最小間隔Ｌ_ｍになるまでに接近している。両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂの間隔が最小間隔Ｌ_ｍになるまでに接近している状態であれば、両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのいずれか一方のＹ方向位置が如何様であっても、その時の両基板作業テーブル２０ａ、２０ｂのＹ座標をそれぞれのＹ座標をＹ_１、Ｙ_２とすれば、Ｙ_１＋Ｙ_２＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）となる。

この干渉基準距離Ｌ_ｉを用いて、図４に示すように基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂのＹ座標の現在座標をＹ_１ＣおよびＹ_２Ｃ、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂのＹ座標の移動目標座標をＹ_１ＮおよびＹ_２Ｎとすると、以下のように干渉の有無を判断することが可能となる。

基板作業テーブル２０ａのみが移動する場合
Ｙ_１Ｎ＋Ｙ_２Ｃ＜Ｌ_ｉ・・・干渉しない
Ｙ_１Ｎ＋Ｙ_２Ｃ≧Ｌ_ｉ・・・干渉する
基板作業テーブル２０ｂのみが移動する場合
Ｙ_１Ｃ＋Ｙ_２Ｎ＜Ｌ_ｉ・・・干渉しない
Ｙ_１Ｃ＋Ｙ_２Ｎ≧Ｌ_ｉ・・・干渉する
基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの両方が移動する場合
Ｙ_１Ｎ＋Ｙ_２Ｎ＜Ｌ_ｉ・・・干渉しない
Ｙ_１Ｎ＋Ｙ_２Ｎ≧Ｌ_ｉ・・・干渉する

したがって、第１実施形態では、基板印刷作業前に、基板認識カメラ３４ａがそれぞれのテーブル認識マーク２４を認識したとき（基板認識カメラ３４ａの撮像中心がＹ方向においてテーブル認識マーク２４と一致したとき）の実際の基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂの位置座標Ｙ_１ＢおよびＹ_２Ｂを取得しておく。なお、最小間隔Ｌ_ｍは固定値であるため既知であり、印刷装置の出荷時点で制御データ記憶部８２ｂに記憶しておけば足りる。

そして、印刷作業時には、演算処理部８１は、この干渉基準距離Ｌｉを用いて上記のように干渉の有無を判断し、移動時に基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂが干渉すると判断した場合には、所定の干渉回避処理を行うように構成されている。また、第１実施形態では、演算処理部８１は、印刷作業時にも所定のタイミングで基板認識カメラ３４ａによるテーブル認識マーク２４の撮像を行い、位置座標Ｙ_１ＢおよびＹ_２Ｂを取得するように構成されている。そして、演算処理部８１は、作業中に新たに取得した位置座標Ｙ_１ＢおよびＹ_２Ｂによって干渉基準距離Ｌ_ｉを補正するように構成されている。すなわち、図４、図６〜図８に基板認識カメラ３４ａ、３４ｂの両方を図示しているが、第１実施形態では一方だけあれば良い。

次に、図１、図３、図６、図７および図９〜図１３を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の基板印刷作業時の動作制御について説明する。以下では、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の干渉についての理解を容易にするため、基板作業テーブル２０ａでは搬出位置Ｅｘ２から基板搬出を行い、基板作業テーブル２０ｂでは搬出位置Ｅｘ１から基板搬出を行う場合の例について説明する。以下の制御処理は、制御装置８０（演算処理部８１）によって行われる。なお、図１０〜図１３は、図９に示したフローチャートに基づいて連続的に基板生産が行われている状態を示している。

まず、図９に示すように、基板印刷作業前の事前準備として、ステップＳ１およびステップＳ２の処理を行う。ステップＳ１では、図６および図７で示した基板認識カメラ３４ａによるテーブル認識マーク２４の撮像が、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂの各々について実行される。この画像認識結果に基づいて、基板認識カメラ３４ａがテーブル認識マーク２４を認識したときの基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂの位置座標Ｙ_１ＢおよびＹ_２Ｂがそれぞれ取得され、制御データ記憶部８２ｂに記憶される。

次に、ステップＳ２において、取得した位置座標Ｙ_１ＢおよびＹ_２Ｂと、予め制御データ記憶部８２ｂに記憶された最小間隔Ｌ_ｍとに基づいて、上述した干渉基準距離Ｌ_ｉが設定される。これにより、基板印刷作業前の事前準備が完了する。以降の処理では、基板作業テーブル２０ａおよび印刷作業部４０ａによる印刷動作と、基板作業テーブル２０ｂおよび印刷作業部４０ｂによる印刷動作とが並行して実施される。それぞれの印刷作業動作は原則として同一であるので、基板作業テーブル２０ａ側の作業について説明する。

まず、ステップＳ３において、基板作業テーブル２０ａのＹ座標を搬入位置Ｅｎ１（印刷位置Ｐ１）に一致させ、プリント基板５を搬送コンベア２２上に搬入する。図１０に示すように、プリント基板５が搬送コンベア２２上をＸ方向に移動して待機位置Ｐ３まで搬送されると、クランプユニット２３により待機位置Ｐ３でプリント基板５がクランプされる。すなわち、支持機構５４およびクランプ機構５３（図３参照）によって、プリント基板５が搬送コンベア２２（搬送ベルト２２ｃ）の上方で固定的に保持される。

次に、ステップＳ４において、干渉基準距離Ｌ_ｉの補正タイミングか否かが判断される。この補正タイミングとしては、たとえば作業開始後の所定時間（たとえば、１０分）経過ごと、所定枚数（たとえば、１００枚）のプリント基板５の印刷完了ごとなどに行われるように設定される。補正タイミングでない場合には、ステップＳ６に進む。

一方、干渉基準距離Ｌ_ｉの補正タイミングであると判断されると、ステップＳ５において、基板認識カメラ３４ａによるテーブル認識マーク２４の撮像（図６参照）が行われる。これにより、基板作業テーブル２０ａの位置座標Ｙ_１Ｂが取得され、新たに取得された位置座標Ｙ_１Ｂに基づいて干渉基準距離Ｌｉが補正される。

ステップＳ６では、クランプユニット２３が印刷位置Ｐ１に向けてＸ方向に移動を開始するとともに、基板作業テーブル２０ａが退避位置Ｐ５へ向けてＹ方向に移動を開始（図１０参照）し、プリント基板５を保持したクランプユニット２３のＸ方向移動と、基板作業テーブル２０ａのＹ方向移動とが同期して行われる。この移動中に、基板認識カメラ３４ａによるプリント基板５の基板認識マークの撮像（画像認識）と、マスク認識カメラ２５によるマスク認識マークの撮像（画像認識）とが行われる。この際、基板認識マークの撮像は、プリント基板５の基板認識マークが基板認識カメラ３４ａの下方に位置付けられて行われ、マスク認識マークの撮像は、スクリーンマスク６（図２参照）のマスク認識マークの下方にマスク認識カメラ２５が位置付けられて行われる。画像認識の結果、クランプユニット２３に保持されたプリント基板５の位置および姿勢と、マスク固定部材４３に装着されたスクリーンマスク６の位置および姿勢との相対位置関係が取得される。

次に、ステップＳ７において、図１２に示すように、クランプユニット２３が印刷位置Ｐ１に位置付けられるとともに、プリント基板５とスクリーンマスク６との版合せが行われる。まず、ステップＳ６における認識結果に基づいて、プリント基板５とスクリーンマスク６との水平位置（Ｘ方向、Ｙ方向およびＸ−Ｙ面内の角度）が一致するように位置補正される。そして、マスク昇降機構４４（図１参照）がスクリーンマスク６を下降させ、スクリーンマスク６がプリント基板５に所定の押圧力で押圧されて密着する。

版合せが完了すると、ステップＳ８において、スクリーンマスク６上に半田が供給された状態でスキージユニット４２（可動梁４６）がＹ方向駆動されること（掻き取り動作）により、スクリーンマスク６を介してプリント基板５の上面に半田が印刷される。また、印刷位置Ｐ１における印刷作業中には、搬入位置Ｅｎ１から後続のプリント基板５が搬送コンベア２２上に搬入され、搬送コンベア２２上をＸ方向に移動して待機位置Ｐ３まで搬送される。

半田の印刷後、ステップＳ９において、マスク保持部４１に保持されたスクリーンマスク６がＺ１方向に上昇されて版離れが行われる。そして、印刷済みのプリント基板５に対するクランプが解除され、プリント基板５が搬送コンベア２２上に載置される。

ステップＳ１０において、図１３に示すように、搬出位置Ｅｘ２において印刷済みのプリント基板５が搬出される。この際、基板作業テーブル２０ａ（搬送コンベア２２）のＹ座標位置を搬出位置Ｅｘ２に一致させるとともに、クランプユニット２３がＸ方向に移動して待機位置Ｐ３に配置された後続のプリント基板５をクランプする。これにより、搬出位置Ｅｘ２に位置付けられた搬送コンベア２２から印刷済みのプリント基板５のみが搬出される。また、基板作業テーブル２０ｂは、後述する干渉回避処理の結果、搬入位置Ｅｎ２から退避位置Ｐ６に退避する。

ステップＳ１１では、所定の生産枚数分のプリント基板５の半田印刷作業が完了したか否かが判断され、生産枚数に達していない場合には、ステップＳ４に戻り、ステップＳ４〜Ｓ１０の半田印刷が継続して行われる。一方、所定の生産枚数分のプリント基板５の半田印刷作業が完了した場合には、半田印刷作業動作が完了する。

なお、基板作業テーブル２０ｂ側では、基板作業テーブル２０ａの動作に対して一定の時間差を隔てて動作制御が行われる。したがって、基板生産時には、図１０に示すように、基板作業テーブル２０ａ側の基板搬入および待機位置Ｐ３でのクランプの間に、基板作業テーブル２０ｂ側の印刷が印刷位置Ｐ２で行われる。そして、図１１に示すように、基板作業テーブル２０ｂ側の基板搬出が搬出位置Ｅｘ１で行われる。この際、干渉回避処理の結果、基板作業テーブル２０ａが搬入位置Ｅｎ１から退避位置Ｐ５に退避する。この退避移動中に基板作業テーブル２０ａ側で基板認識マークおよびマスク認識マークの撮像（ステップＳ６）が行われる。このように、図１０〜図１３に示すように各印刷位置Ｐ１（Ｐ２）においてプリント基板５の印刷が交互に行われるとともに下流側の表面実装機Ｍへの基板搬出動作も交互に行われる。

このため、ステップＳ５における干渉基準距離Ｌ_ｉの補正処理は、必ずしも同一のタイミングでは行われない。したがって、干渉基準距離Ｌ_ｉの補正処理においては、基板作業テーブル２０ａの位置座標Ｙ_１Ｂと、基板作業テーブル２０ｂの位置座標Ｙ_２Ｂとは同一タイミングまたは別個のタイミングで取得され、それぞれ取得されたタイミングで干渉基準距離Ｌ_ｉに反映（補正）されていくように制御される。

次に、図１１、図１２および図１４を参照して、本発明の第１実施形態による印刷装置１００の基板印刷作業時における基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂのＹ軸（Ｙ方向）の移動動作制御について説明する。以下の制御処理は、制御装置８０（演算処理部８１）によって行われる。

この制御は、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂのＹ軸移動時に個別に（テーブルごとに）実施される。なお、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂの移動動作制御は同一であるので、ここでは、基板作業テーブル２０ａがＹ軸移動を行う場合について説明する。

図１４に示すように、基板作業テーブル２０ａがＹ軸移動を開始する際には、まず、ステップＳ２１において、相手テーブル（基板作業テーブル２０ｂ）が移動中であるか否かが判断される。相手テーブルが移動中でない場合には、ステップＳ２２において、相手テーブルの現在座標Ｙ_２Ｃが取得される。一方、相手テーブルが移動中である場合には、ステップＳ２３において、相手テーブルの移動目標座標Ｙ_２Ｎが取得される。

次に、ステップＳ２４において、基板作業テーブル２０ａの移動の結果、相手テーブル（基板作業テーブル２０ｂ）と干渉するか否かが判断される。すなわち、基板作業テーブル２０ａの移動目標座標Ｙ_１Ｎと相手テーブルの座標（現在座標Ｙ_２Ｃまたは移動目標座標Ｙ_２Ｎ）との和と、干渉基準距離Ｌ_ｉとの上述の関係に基づき、干渉の有無が判断される。

ステップＳ２４で干渉すると判断された場合には、ステップＳ２５に進み、所定の干渉回避処理が実行される。

ここで、干渉回避処理では、相手テーブルの動作状態に応じた処理が実行される。たとえば、相手テーブルが移動中の場合には、自テーブルまたは相手テーブルのいずれかを待機させるか、または干渉しない所定の退避位置に移動させる。この場合には、先に移動を開始した方を優先するか、または、目標位置に近い方の作業テーブルを優先する。一方、相手テーブルが移動停止中である場合には、相手テーブルが干渉しない位置に移動するまでその場で停止して待機する処理を行うことが可能である。これにより、図１１では、基板作業テーブル２０ｂが搬出位置Ｅｘ１に移動する間、基板作業テーブル２０ａが退避位置Ｐ５に退避しており、図１２では、基板作業テーブル２０ａが搬出位置Ｅｘ２に移動する間、基板作業テーブル２０ｂが退避位置Ｐ６に退避している。

ステップＳ２５で干渉回避処理を実行した場合には、ステップＳ２１に戻る。したがって、移動目標座標Ｙ_１Ｎに移動する際に干渉すると判断された場合には、ステップＳ２１〜Ｓ２３における相手テーブルの情報取得と、ステップＳ２４における干渉するか否かの判断と、ステップＳ２５における干渉回避処理とを繰り返し行う。

そして、ステップＳ２４で干渉しないと判断された場合、または、ステップＳ２５における干渉回避処理の結果、ステップＳ２４で干渉しないと判断された場合には、ステップＳ２６に進み、移動目標座標Ｙ_１Ｎに向けてＹ軸移動を開始する。

以上のようにして、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂのＹ軸移動（Ｙ方向移動）が行われる。

第１実施形態では、上記のように、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）を基台１０に連結固定するとともに、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂにそれぞれテーブル認識マーク２４を設けることによって、基板認識カメラ３４ａ（または３４ｂ）でテーブル認識マーク２４を認識することで基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの正確な位置情報を取得することができる。そして、得られた位置情報に基づいて、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂが移動時に干渉するか否かを判断するように演算処理部８１を構成することによって、取得した位置情報が正確であるので、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）が移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、画像処理部８４により画像認識を行い、演算処理部８１は、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の座標値（エンコーダ出力に基づく座標値）が実際の位置と食い違ってしまう場合にも、画像認識により取得される位置ずれ分だけ基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のＹ座標値を補正し、基板認識カメラ３４ａ（または３４ｂ）の撮像中心がテーブル認識マーク２４とＹ方向で一致する基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のそれぞれの正確な位置座標Ｙ_１Ｂ（Ｙ_２Ｂ）を取得する。そして、演算処理部８１は、正確な位置座標Ｙ_１Ｂ（Ｙ_２Ｂ）に基づいて、容易に、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）が移動時に干渉するか否かを正確に判断し、干渉を回避する動作制御を行うことができる。

また、第１実施形態では、上記のように、演算処理部８１を、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のそれぞれの位置座標Ｙ_１Ｂ（Ｙ_２Ｂ）と、最小間隔Ｌ_ｍとに基づいて干渉基準距離Ｌ_ｉを算出し、一方の基板作業テーブル（たとえば基板作業テーブル２０ａ）の移動目標座標Ｙ_１Ｎおよび相手側の基板作業テーブル（２０ｂ）の位置座標（現在座標Ｙ_２Ｃまたは移動目標座標Ｙ_２Ｎ）と、干渉基準距離Ｌ_ｉとを比較することによって、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）が移動時に干渉するか否かを判断するように構成する。これにより、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の移動時に、最小間隔Ｌ_ｍになるまでに接近可能な干渉基準距離Ｌ_ｉと、各テーブルの位置座標（移動目標座標または現在座標）とを比較するだけで、より容易に、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）同士が相互干渉するか否かを判断することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、演算処理部８１を、作業時に、基板認識カメラ３４ａ（または３４ｂ）によるテーブル認識マーク２４の認識を所定のタイミング（所定時間経過ごとまたは所定枚数のプリント基板５の印刷完了ごと）で繰り返す制御を行うように構成することによって、作業時に基板認識カメラ３４ａ（または３４ｂ）によるテーブル認識マーク２４の認識を繰り返すことにより、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の駆動機構（ねじ軸１２ａおよび１２ｂなど）の熱伸びなどにより位置ずれが発生した場合にも、その位置ずれ（位置座標の変化）を画像認識で取得（実測）して補正することができる。これにより、作業時に、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂに位置ずれが発生する場合にも、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）同士が相互干渉するか否かを適切に判断することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、フレーム構造体３０の梁部３２の所定位置に固定的に設置されたプリント基板５を認識するための基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）を用いてテーブル認識マーク２４の撮像を行うとともに、テーブル認識マーク２４を、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）によって認識可能なように、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のそれぞれに設けることによって、印刷作業時にプリント基板５を認識するための基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）を用いて基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標Ｙ_１Ｂ（Ｙ_２Ｂ）を取得することができる。これにより、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標を取得するための専用の撮像部を別途設ける必要がないので、装置構成を複雑化させることなく、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）が移動時に相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）による位置認識用のテーブル認識マーク２４を設けることによって、たとえば印刷装置１００内の所定部位などを目印に画像認識を行う場合と比較して、確実かつ精度よく画像認識を行うことができる。

（第２実施形態）
次に、図１５を参照して、本発明の第２実施形態による印刷装置１００ａについて説明する。この第２実施形態では、基板認識カメラ３４ａおよび３４ｂの両方を用いて基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標Ｙ_１Ｂ（Ｙ_２Ｂ）を取得する例について説明する。なお、第２実施形態による印刷装置１００ａの装置構成は上記第１実施形態の印刷装置１００と同様であるので、説明を省略する。

上記の通り、２つの基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）は、フレーム構造体３０の梁部３２に固定的に設けられているので、図１５に示すように、第２実施形態では、この２つの基板認識カメラ３４ａと３４ｂとの間の間隔（Ｙ方向の距離）を実測または設計上の値から算出し、Ｙ_ｃａｍとして予め制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

干渉基準距離を設定する際、第２実施形態では、基板作業テーブル２０ａを移動させて基板認識カメラ３４ａの下方にテーブル認識マーク２４を位置付けた状態で、基板認識カメラ３４ａでテーブル認識マーク２４を撮像して画像認識を行う。画像認識結果に基づいて、基板認識カメラ３４ａがテーブル認識マーク２４を認識したときの実際の基板作業テーブル２０ａの位置座標をＹ_１Ｂとして制御データ記憶部８２ｂに記憶する。

同様に、基板作業テーブル２０ｂを移動させて基板認識カメラ３４ｂの下方にテーブル認識マーク２４を位置付けた状態で、基板認識カメラ３４ｂでテーブル認識マーク２４を撮像して画像認識を行う。画像認識結果に基づいて、基板認識カメラ３４ｂがテーブル認識マーク２４を認識したときの実際の基板作業テーブル２０ｂの位置座標をＹ_２Ｂとして制御データ記憶部８２ｂに記憶する。なお、最小間隔Ｌ_ｍは、上記第１実施形態度同様に制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

以上の４つのパラメータ（Ｙ_１Ｂ、Ｙ_２Ｂ、Ｌ_ｍ、Ｙ_ｃａｍ）を用いて、上記第１実施形態と同様の干渉基準距離Ｌ_ｉを、次式で設定することができる。
Ｙ_１Ｂ＋Ｙ_２Ｂ＋Ｙ_ｃａｍ−Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）

これにより、制御装置８０（演算処理部８１）は、干渉基準距離Ｌ_ｉを用いて、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの干渉の有無を判断することが可能である。制御装置８０（演算処理部８１）による干渉の有無の判断の詳細や、印刷装置１００の動作制御については、上記第１実施形態と同様に行うことが可能である。

第２実施形態では、上記のように、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂのそれぞれのテーブル認識マーク２４を、対応する基板認識カメラ３４ａおよび３４ｂで認識することにより、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの正確な位置座標Ｙ_１ＢおよびＹ_２Ｂを取得することができる。演算処理部８１は、取得した位置情報と、基板認識カメラ３４ａおよび３４ｂの間の間隔Ｙ_ｃａｍとに基づいて、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）が移動時に干渉するか否かを判断するようにされており、取得した位置情報が正確であるので、正確に判断することができる。

また、第２実施形態では、上記のように、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂを同じ基板認識カメラ（３４ａ）の位置まで移動させる必要がないので、容易かつ迅速に、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標Ｙ_１Ｂ（Ｙ_２Ｂ）を取得することができる。

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

（第３実施形態）
次に、図１６および図１７を参照して、本発明の第３実施形態による印刷装置１００ｂについて説明する。この第３実施形態では、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のマスク認識カメラ２５を用いて基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標を取得する例について説明する。

第３実施形態では、図１６に示すように、搬送方向（Ｘ方向）上流側のフレーム構造体３０の下面には、マスク認識カメラ２５によって認識可能なように、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置認識用の位置認識マーク１１０が固定的に設けられており、フレーム構造体３０を介して基台１０に連結固定されている。位置認識マーク１１０は、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂの間の位置で、印刷装置１００ｂのＹ方向の中央の位置に配置されている。なお、位置認識マーク１１０は、本発明の「標識部」および「マーク」の一例である。

第３実施形態のその他の構成は、上記第１および第２実施形態と同様である。

次に、第３実施形態による基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標の取得と干渉基準距離の設定について説明する。

第３実施形態では、図１６および図１７に示すように、まず、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のそれぞれにおいて、マスク認識カメラ２５とテーブル認識マーク２４との間のＹ方向の距離を実測または設計上の値から算出し、Ｌ_Ｃ１（Ｌ_Ｃ２）として予め制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

そして、基板作業テーブル２０ａを移動させてマスク認識カメラ２５を位置認識マーク１１０の下方に位置付けた状態で、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０を撮像して画像認識を行う。画像認識結果に基づいて、マスク認識カメラ２５の撮像中心が位置認識マーク１１０とＹ方向において一致するときの実際の基板作業テーブル２０ａの位置座標（第１実施形態と同様に原点を設定し、この原点からテーブル認識マーク２４までの距離）をＹ_１Ｍとして制御データ記憶部８２ｂに記憶する。

同様に、図１８に示すように、基板作業テーブル２０ｂを移動させてマスク認識カメラ２５を位置認識マーク１１０の下方に位置付けた状態で、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０を撮像して画像認識を行う。画像認識結果に基づいて、マスク認識カメラ２５の撮像中心が位置認識マーク１１０とＹ方向において一致するときの実際の基板作業テーブル２０ｂの位置座標をＹ_２Ｍとして制御データ記憶部８２ｂに記憶する。なお、最小間隔Ｌ_ｍは、上記第１実施形態と同様に制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

以上の５つのパラメータ（Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍ、Ｌ_ｍ、Ｌ_Ｃ１、Ｌ_Ｃ２）を用いて、上記第１実施形態と同様の干渉基準距離Ｌ_ｉを、次式で設定することができる。
（Ｙ_１Ｍ−Ｌ_Ｃ１）＋（Ｙ_２Ｍ−Ｌ_Ｃ２）−Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）

これにより、制御装置８０（演算処理部８１）は、干渉基準距離Ｌ_ｉを用いて、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの干渉の有無を判断することが可能である。制御装置８０（演算処理部８１）による干渉の有無の判断の詳細や、印刷装置１００ｂの動作制御については、上記第１実施形態と同様に行うことが可能である。

第３実施形態では、上記のように、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂにそれぞれマスク認識カメラ２５を設けるとともに、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの各々について、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０を認識することにより、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの正確な位置情報を取得することができる。演算処理部８１は、取得した位置情報に基づいて、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）が移動時に相互干渉するか否かを判断するようにされており、取得した位置情報が正確であるので、相互干渉するか否かを正確に判断することができる。

また、第３実施形態では、上記のように、スクリーンマスク６を認識するためのマスク認識カメラ２５を用いて基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標Ｙ_１Ｍ（Ｙ_２Ｍ）を取得することができるので、専用の撮像部を別途設ける必要がなく、装置構成が複雑化するのを抑制することができる。

なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

（第４実施形態）
次に、図１８を参照して、本発明の第４実施形態による印刷装置１００ｃについて説明する。この第４実施形態では、上記第３実施形態とは異なり、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）に対応する２つの位置認識マーク１１０ａおよび１１０ｂを撮像して基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標を取得する例について説明する。なお、位置認識マーク１１０ａは、本発明の「標識部」、「マーク」および「第１標識部」の一例であり、位置認識マーク１１０ｂは、本発明の「標識部」、「マーク」および「第２標識部」の一例である。

第４実施形態では、図１８に示すように、搬送方向（Ｘ方向）上流側のフレーム構造体３０の下面において、マスク認識カメラ２５によって認識可能な位置認識マーク１１０ａおよび１１０ｂがそれぞれ基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂに対応して固定的に設けられている。位置認識マーク１１０ａおよび１１０ｂは、それぞれ、対応する基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂのマスク認識カメラ２５によって撮像可能な位置に配置されており、位置認識マーク１１０ａおよび１１０ｂの間の距離はＹ_ｍａｒｋである。

第４実施形態のその他の構成は、上記第３実施形態と同様である。

次に、第４実施形態による基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標の取得と干渉基準距離の設定について説明する。

第４実施形態では、基板作業テーブル２０ａを移動させてマスク認識カメラ２５を位置認識マーク１１０ａの下方に位置付けた状態で、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０ａを撮像して画像認識を行う。画像認識結果に基づいて、マスク認識カメラ２５の撮像中心が位置認識マーク１１０ａとＹ方向において一致するときの基板作業テーブル２０ａの位置座標をＹ_１Ｍとして制御データ記憶部８２ｂに記憶する。

同様に、基板作業テーブル２０ｂを移動させてマスク認識カメラ２５を位置認識マーク１１０ｂの下方に位置付けた状態で、マスク認識カメラ２５で位置認識マーク１１０ｂを撮像して画像認識を行う。画像認識結果に基づいて、マスク認識カメラ２５の撮像中心が位置認識マーク１１０ｂとＹ方向において一致するときの基板作業テーブル２０ｂの位置座標をＹ_２Ｍとして制御データ記憶部８２ｂに記憶する。

第４実施形態では、位置認識マーク１１０ａおよび１１０ｂの間の距離Ｙ_ｍａｒｋを予め取得して、制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。なお、最小間隔Ｌ_ｍ、および、マスク認識カメラ２５とテーブル認識マーク２４との間のＹ方向の距離Ｌ_Ｃ１（Ｌ_Ｃ２）は、上記第３実施形態と同様に制御データ記憶部８２ｂに記憶しておく。

以上の６つのパラメータ（Ｙ_１Ｍ、Ｙ_２Ｍ、Ｌ_ｍ、Ｌ_Ｃ１、Ｌ_Ｃ２、Ｙ_ｍａｒｋ）を用いて、上記第３実施形態と同様の干渉基準距離Ｌ_ｉを、次式で設定することができる。
（Ｙ_１Ｍ−Ｌ_Ｃ１）＋（Ｙ_２Ｍ−Ｌ_Ｃ２）＋Ｙ_ｍａｒｋ−Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）

これにより、制御装置８０（演算処理部８１）は、干渉基準距離Ｌ_ｉを用いて、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂの干渉の有無を判断することが可能である。干渉の有無の判断の詳細や、制御装置８０（演算処理部８１）による印刷装置１００ｃの動作制御については、上記第１実施形態と同様に行うことが可能である。

第４実施形態では、上記のように、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂのそれぞれのマスク認識カメラ２５で対応する位置認識マーク１１０ａおよび１１０ｂを認識することにより得られた位置座標Ｙ_１ＭおよびＹ_２Ｍと、位置認識マーク１１０ａおよび１１０ｂの間の間隔Ｙ_ｍａｒｋとに基づいて、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）が移動時に干渉するか否かを判断するように演算処理部８１を構成することによって、単一の位置認識マークをそれぞれのマスク認識カメラ２５で認識する場合と比較して、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂを同じ（単一の）位置認識マークの位置まで移動させる必要がないので、容易かつ迅速に、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置座標Ｙ_１Ｍ（Ｙ_２Ｍ）を取得することができる。

なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第３実施形態と同様である。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記第１〜第４実施形態では、本発明の基板作業装置の一例として、プリント基板に対する半田印刷作業を行う印刷装置１００（１００ａ〜１００ｃ）に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、プリント基板に対して部品実装作業を行う表面実装機２００（図１９参照）や、プリント基板上の部品の外観検査作業を行う検査装置３００（図２０参照）に、本発明を適用してもよい。なお、表面実装機２００および検査装置３００は、それぞれ、本発明の「基板作業装置」の一例である。

具体的には、図１９に示す第１変形例による表面実装機２００は、基台２０１と、Ｙ方向に並んだ２つの基板作業テーブル１２０ａおよび１２０ｂと、基板作業テーブル１２０ａおよび１２０ｂにそれぞれ対応するヘッドユニット１４０ａおよび１４０ｂとを備えている。なお、基板作業テーブル１２０ａは、本発明の「第１基板作業テーブル」の一例であり、基板作業テーブル１２０ｂは、本発明の「第２基板作業テーブル」の一例である。

ヘッドユニット１４０ａ（１４０ｂ）は、それぞれ基板作業テーブル１２０ａおよび１２０ｂの上方でＸ−Ｙ方向に移動可能であり、部品供給部１５０から部品を取得して基板作業テーブル１２０ａ（１２０ｂ）に保持されたプリント基板５に部品を実装するように構成されている。基板作業テーブル１２０ａおよび１２０ｂは、共通のガイドレール１２１上をそれぞれＹ方向に移動可能であり、それぞれヘッドユニット１４０ａおよび１４０ｂによるプリント基板５への実装作業が行われる実装作業位置Ｐ１１およびＰ１２に移動可能に構成されている。また、基板作業テーブル１２０ａおよび１２０ｂは、Ｙ方向中央の搬入出位置Ｐ１３に移動して、プリント基板５の搬入出を行うように構成されている。各基板作業テーブル１２０ａおよび１２０ｂの上面上の隅部（図中右下隅）には、テーブル認識マーク１２５が設けられている。また、基板作業テーブル１２０ａおよび１２０ｂの上方の位置には、テーブル認識マーク１２５を認識するためのマーク認識カメラ１６０が撮像方向を下方（基板作業テーブル側）に向けて設けられている。マーク認識カメラ１６０は、図示しないフレームを介して基台２０１に連結固定されている。なお、テーブル認識マーク１２５は、本発明の「標識部」および「マーク」の一例であり、マーク認識カメラ１６０は、本発明の「撮像部」の一例である。

これにより、基板作業テーブル１２０ａ（１２０ｂ）のテーブル認識マーク１２５をマーク認識カメラ１６０の下方位置に位置付けることにより、基板作業テーブル１２０ａ（１２０ｂ）のＹ軸位置座標を取得することが可能である。なお、図１９では、基板作業テーブル１２０ａのテーブル認識マーク１２５をマーク認識カメラ１６０の下方位置に位置付けた状態を示している。この第１変形例による表面実装機２００でも、上記第１実施形態と同様にして干渉基準距離Ｌ_ｉを設定することが可能であり、この干渉基準距離Ｌ_ｉに基づいて、基板作業テーブル１２０ａ（１２０ｂ）の移動時に干渉するか否かを判断することができる。

また、図２０に示す第２変形例による検査装置３００は、基台３０１と、Ｙ方向に並んだ２つの基板作業テーブル２２０ａおよび２２０ｂと、基板作業テーブル２２０ａおよび２２０ｂにそれぞれ対応する検査ヘッド２４０ａおよび２４０ｂとを備えている。なお、基板作業テーブル２２０ａは、本発明の「第１基板作業テーブル」の一例であり、基板作業テーブル２２０ｂは、本発明の「第２基板作業テーブル」の一例である。

検査ヘッド２４０ａおよび２４０ｂは、それぞれ、Ｘ方向移動可能な検査用カメラ２４１を有し、基板作業テーブル２２０ａ（２２０ｂ）のＹ方向移動に同期して検査用カメラ２４１をＸ方向に移動させながら基板撮像を行うことで、プリント基板５の外観検査作業を行うように構成されている。基板作業テーブル２２０ａおよび２２０ｂは、共通のガイドレール２２１上をそれぞれＹ方向に移動可能であり、基板作業テーブル２２０ａ（２２０ｂ）は、それぞれＹ方向両側の検査作業・搬入位置Ｐ２１（Ｐ２２）でプリント基板５を搬入するとともに、検査ヘッド２４０ａ（２４０ｂ）と同期して基板検査作業を行う。また、基板作業テーブル２２０ａ（２２０ｂ）は、Ｙ方向中央の搬出位置Ｐ２３でプリント基板５の搬出を行うように構成されている。各基板作業テーブル２２０ａおよび２２０ｂの上面上の隅部（図中右上隅）には、テーブル認識マーク２２５が設けられている。また、基板作業テーブル２２０ａおよび２２０ｂの上方の位置には、テーブル認識マーク２２５を認識するためのマーク認識カメラ２６０が撮像方向を下方（基板作業テーブル側）に向けて設けられている。マーク認識カメラ２６０は、図示しないフレームを介して基台３０１に連結固定されている。なお、テーブル認識マーク２２５は、本発明の「標識部」および「マーク」の一例であり、マーク認識カメラ２６０は、本発明の「撮像部」の一例である。

これにより、基板作業テーブル２２０ａ（２２０ｂ）のテーブル認識マーク２２５をマーク認識カメラ２６０の下方位置に位置付けることにより、基板作業テーブル２２０ａ（２２０ｂ）のＹ軸位置座標を取得することが可能である。この第２変形例による検査装置３００でも、上記第１実施形態と同様にして干渉基準距離Ｌ_ｉを設定することが可能であり、この干渉基準距離Ｌ_ｉに基づいて、基板作業テーブル２２０ａ（２２０ｂ）の移動時に干渉するか否かを判断することができる。

なお、上記第１および第２実施形態では、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の固定側のアーム部５２ａ（クランプ部５３ａ）の上面上にテーブル認識マーク２４を設け、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）で撮像した例を示したが、本発明はこれに限られない。上記第１変形例や第２変形例のように、テーブル認識マークを基板作業テーブルのアーム部以外の箇所に設けるとともに、専用のマーク認識カメラを設けてテーブル認識マークを撮像するように構成してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）をフレーム構造体に固定的に設置した例を示し、上記第３および第４実施形態では、位置認識マーク１１０（１１０ａおよび１１０ｂ）をフレーム構造体に固定的に設置した例を示したが、本発明はこれに限られない。基板認識カメラ３４ａ（３４ｂ）や位置認識マーク１１０（１１０ａおよび１１０ｂ）をフレーム構造体以外の場所に設置してもよい。

また、上記第１実施形態では、基板作業テーブル２０ａのＹ座標（Ｙ_１ＣまたはＹ_１Ｎ）と基板作業テーブル２０ｂのＹ座標（Ｙ_２ＣまたはＹ_２Ｎ）との和と、干渉基準距離Ｌ_ｉとの大小関係に基づいて干渉の有無を判断する例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、移動時に、基板作業テーブル２０ａのＹ座標（Ｙ_１ＣまたはＹ_１Ｎ）と基板作業テーブル２０ｂのＹ座標（Ｙ_２ＣまたはＹ_２Ｎ）とから基板作業テーブル２０ａと２０ｂとの間の間隔を算出し、この間隔を最小間隔Ｌ_ｍと比較して干渉の有無を判断するようにしてもよい。

また、上記第１〜第４実施形態では、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置基準として、それぞれの基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）に設けられたテーブル認識マーク２４の位置座標を用いた例を示したが、本発明はこれに限られない。基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置基準は、テーブル認識マーク２４以外の位置座標を用いてもよい。

たとえば、図１８において括弧書きするように、マスク認識カメラ２５の位置座標Ｙ_１Ｋ（Ｙ_２Ｋ）を基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）の位置基準に設定してもよい。また、基板作業テーブル２０ａと基板作業テーブル２０ｂとが干渉せずに最も近接した状態におけるマスク認識カメラ２５間の距離を、最小間隔Ｌ_ｍ（図２１参照）とする。この結果、次の値を干渉基準距離Ｌ_ｉとして定義することが可能である。
Ｙ_１Ｋ＋Ｙ_２Ｋ＋Ｙ_ｍａｒｋ−Ｌ_ｍ＝Ｌ_ｉ（干渉基準距離）
したがって、この場合、上記第４実施形態で用いたマスク認識カメラ２５とテーブル認識マーク２４との間のＹ方向の距離Ｌ_Ｃ１（Ｌ_Ｃ２）を用いる必要はない。

また、上記第１〜第４実施形態では、位置認識用のマーク（テーブル認識マーク２４、位置認識マーク１１０、１１０ａ、１１０ｂ）を撮像して画像認識するように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、撮像部による画像認識が可能であれば、装置内の所定部位を撮像して位置情報を取得してもよい。たとえば、アーム部５２ａ（クランプ部５３ａ）の上面上にテーブル認識マーク２４を設ける代わりに、クランプ部５３ａの端部分を撮像するように構成してもよい。

また、上記第１実施形態では、基板作業テーブル２０ａと２０ｂとが共通の移動領域を有する（移動範囲がオーバーラップする）例を示したが、本発明はこれに限られない。基板作業テーブル２０ａと２０ｂとは、オーバーラップしない個別の移動領域を有していてもよい。このような場合でも、基板作業テーブル２０ａと２０ｂとが近接した位置まで移動可能に構成されていれば相互干渉する可能性があるので、本発明を適用することが可能である。

また、上記第１実施形態では、基板認識カメラによるテーブル認識マークの認識を所定のタイミング（所定時間経過ごとまたは所定枚数のプリント基板５の印刷完了ごと）で繰り返す制御を行うように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。このような所定のタイミングとしては、たとえば、装置内部の所定位置に温度センサを設けておき、作業時に温度センサの検出温度が所定以上変化したタイミングとしてもよい。

また、上記第１〜第４実施形態では、２つの印刷作業部４０ａ（４０ｂ）を設けて、対応する２カ所の印刷位置Ｐ１（Ｐ２）で半田印刷作業を実行するように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、Ｙ方向の中央（搬出位置）に１つの印刷作業部を設けて、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂに保持されたプリント基板に対して、それぞれ中央の印刷位置において共通の印刷作業部で印刷作業を行うように構成してもよい。

また、上記第１〜第４実施形態では、２つの印刷作業部４０ａ（４０ｂ）を設けて、それぞれ個別にプリント基板の印刷が行われるように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、１枚のプリント基板に対して２つのスクリーンマスクを用いて半田印刷を行う場合がある。この場合には、２つの印刷作業部に１回目印刷用のスクリーンマスクと、２回目印刷用のスクリーンマスクを装着して、基板作業テーブル２０ａおよび２０ｂがそれぞれ２カ所の印刷作業位置に移動して印刷作業を行うように構成してもよい。この場合、基板作業テーブルの移動範囲を考慮して、２つの印刷作業部をＹ軸方向の中央寄りの位置に配置すればよい。

また、上記第１〜第４実施形態では、デュアル搬送方式の表面実装機Ｍに対応して、２カ所の搬出位置Ｅｘ１（Ｅｘ２）で基板搬出を行うように構成した印刷装置例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、シングル搬送方式の表面実装機に対応して、Ｙ方向の中央の１カ所の搬出位置から、印刷済みのプリント基板を搬出するように構成してもよい。

また、上記第１〜第４実施形態では、基板作業テーブル２０ａおよび基板作業テーブル２０ｂのＹ座標の現在座標Ｙ_１ＣおよびＹ_２Ｃと、移動目標座標をＹ_１ＮおよびＹ_２Ｎとを用いて、干渉判断および干渉回避処理を行うように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板作業テーブルの移動速度なども考慮して、リアルタイムの干渉回避制御を行うように構成してもよい。

具体的には、相手テーブルの現在座標または移動目標座標から干渉すると判断された場合でも、自テーブルのＹ軸移動を開始するとともに、相手テーブルおよび自テーブルの移動速度を調整して、少なくとも最小間隔Ｌ_ｍよりも大きい間隔が保たれるように制御する。たとえば、移動開始時に相手テーブルの現在座標が干渉する位置座標にあったとしても、自テーブルの移動開始後に相手テーブルが離間する方向へ移動する場合には、自テーブルの移動速度を減速して移動目標座標への到達タイミングを遅らせることにより、干渉を回避することが可能となる。この場合に、移動中の各時点における各テーブルの位置座標の和が干渉基準距離よりも小さければ、最小間隔Ｌ_ｍよりも大きい間隔が保たれ、干渉が回避される。

また、上記第１〜第４実施形態では、テーブル認識マーク２４をクランプユニット２３の固定側のアーム部５２ａに設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、テーブル認識マーク２４を可動側のアーム部５２ｂに設けてもよい。可動側のアーム部５２ｂの移動に対応して、可動側のアーム部５２ｂと固定側のアーム部５２ａの間の距離を求めることで、基板作業テーブル２０ａ（２０ｂ）のＹ座標を算出することができるからである。

５ プリント基板（基板）
６ スクリーンマスク（マスク）
１０、２０１、３０１ 基台
２０ａ、１２０ａ、２２０ａ 基板作業テーブル（第１基板作業テーブル）
２０ｂ、１２０ｂ、２２０ｂ 基板作業テーブル（第２基板作業テーブル）
２４、１２５、２２５ テーブル認識マーク（標識部、マーク）
２５ マスク認識カメラ（撮像部）
３４ａ 基板認識カメラ（撮像部、第１基板認識カメラ）
３４ｂ 基板認識カメラ（撮像部、第２基板認識カメラ）
４０ａ、４０ｂ 印刷作業部
８１ 演算処理部（制御部）
１００ 印刷装置（基板作業装置）
１１０ 位置認識マーク（標識部、マーク）
１１０ａ 位置認識マーク（標識部、マーク、第１標識部）
１１０ｂ 位置認識マーク（標識部、マーク、第２標識部）
１６０、２６０ マーク認識カメラ（撮像部）
２００ 表面実装機（基板作業装置）
３００ 検査装置（基板作業装置）

Claims (9)

1. 標識部と、
   前記標識部を撮像可能な撮像部と、
   前記撮像部および前記標識部の一方が連結固定される基台と、
   前記撮像部および前記標識部の他方を有し、前記基台上において互いに近付く方向に移動可能な、基板に対して所定の作業を行うための第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルと、
   前記第１基板作業テーブルおよび第２基板作業テーブルの各々について、前記撮像部で前記標識部を認識することにより得られた位置情報に基づいて、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断する制御部とを備える、基板作業装置。
2. 前記制御部は、画像認識結果に基づいて、前記撮像部が前記標識部を認識したときの前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルのそれぞれの位置座標を取得するとともに、取得した前記位置座標に基づいて前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている、請求項１に記載の基板作業装置。
3. 前記制御部は、
   前記撮像部が前記標識部を認識したときの前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルのそれぞれの位置座標と、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルが干渉せずに近接可能な最小間隔とに基づいて、前記第１基板作業テーブルと前記第２基板作業テーブルとの間隔が前記最小間隔になるまでに接近可能な干渉基準距離を算出し、
   前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルの移動目標座標または現在座標と、前記干渉基準距離とを比較することによって、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている、請求項２に記載の基板作業装置。
4. 前記制御部は、作業時に、前記撮像部による前記標識部の認識を所定のタイミングで繰り返す制御を行うように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板作業装置。
5. 前記撮像部は、装置内の所定位置に固定的に設けられ、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルに保持された基板を認識するための基板認識カメラであり、
   前記標識部は、前記基板認識カメラによって認識可能なように、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルのそれぞれに設けられている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板作業装置。
6. 前記基板認識カメラは、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルに対応して設けられた第１基板認識カメラおよび第２基板認識カメラを含み、
   前記制御部は、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルのそれぞれの前記標識部を、対応する前記第１基板認識カメラおよび前記第２基板認識カメラで認識することにより得られた位置情報と、前記第１基板認識カメラおよび前記第２基板認識カメラの間の間隔とに基づいて、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている、請求項５に記載の基板作業装置。
7. 前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルに保持された基板に対してマスクを介して半田を印刷する印刷作業部をさらに備え、
   前記撮像部は、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルにそれぞれ設けられた、前記マスクを認識するためのマスク認識カメラを含む、請求項５または６に記載の基板作業装置。
8. 前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルに保持された基板に対してマスクを介して半田を印刷する印刷作業部をさらに備え、
   前記撮像部は、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルにそれぞれ設けられた、前記マスクを認識するためのマスク認識カメラを含み、
   前記標識部は、前記第１基板作業テーブルに設けられた前記マスク認識カメラおよび前記第２基板作業テーブルに設けられた前記マスク認識カメラにそれぞれ対応して設けられた第１標識部および第２標識部を含み、
   前記制御部は、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルのそれぞれのマスク認識カメラで、対応する前記第１標識部および前記第２標識部を認識することにより得られた位置情報と、前記第１標識部および前記第２標識部の間の間隔とに基づいて、前記第１基板作業テーブルおよび前記第２基板作業テーブルが移動時に干渉するか否かを判断するように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板作業装置。
9. 前記標識部は、前記撮像部による位置認識用のマークである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の基板作業装置。

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