WO2008003419A3 - Verfahren und vorrichtung zur erzeugung eines bildes einer dünnen schicht eines objekts - Google Patents

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Abstract

Bei einem Verfahren zur Erzeugung eines Bildes einer Schicht eines Objekts (4) mittels einer Weitfeldoptik (5) auf einem ortsauflösenden Detektor (6), wird das Objekt (4) in wenigstens einer Objektebene (3) mit wenigstens zwei binären Beleuchtungsmustern (26, 27; 33, 34) fokussiert beleuchtet und für jedes der Beleuchtungsmuster (26, 27; 33, 34) werden entsprechende Bilder erfaßt, wobei die Beleuchtungsmuster (26, 27; 33, 34) jeweils Dunkelbereiche (27; 34) und Hellbereiche (26; 33) aufweisen, von denen die Hellbereiche und/oder die Dunkelbereiche bei Überlagerung der Beleuchtungsmuster (26, 27; 33, 34) das Objekt (4) vollständig überdecken. Aus den erfaßten Bildern wird ein Schichtbild ermittelt, das Teilsegmente umfaßt, die jeweils einen Teilbereich des Objekts (4) wiedergeben, der so innerhalb eines Hellbereichs eines der verwendeten Beleuchtungsmuster liegt, daß dessen Ränder von den Rändern des Hellbereichs um wenigstens einen vorgegebenen Mindestabstand beabstandet sind, und die jeweils unter wenigstens teilweiser Falschlichtkorrektur unter Verwendung von wenigstens zwei Bildern ermittelt sind, die bei jeweils verschiedenen Beleuchtungsmustern erfaßt wurden, in denen der dem jeweiligen Teilsegment entsprechende Teilbereich ganz innerhalb eines Hellbereichs eines ersten der verschiedenen Beleuchtungsmuster bzw. ganz innerhalb eines Dunkelbereichs eines zweiten der verschiedenen Beleuchtungsmuster liegt.
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