WO2006104115A1 - 自動搬送システム - Google Patents

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WO2006104115A1
WO2006104115A1 PCT/JP2006/306194 JP2006306194W WO2006104115A1 WO 2006104115 A1 WO2006104115 A1 WO 2006104115A1 JP 2006306194 W JP2006306194 W JP 2006306194W WO 2006104115 A1 WO2006104115 A1 WO 2006104115A1
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carrier
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PCT/JP2006/306194
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Masanao Murata
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Asyst Shinko, Inc.
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to an automatic conveyance system that manages an object to be conveyed that is conveyed by a plurality of conveyance carts according to a command from a control apparatus between at least one storage unit and a plurality of manufacturing apparatuses. is there.
  • a carrier ID bar code, RFID (Radio Frequency Identification), infrared communication ID, etc.
  • a carrier ID is transferred to a storage unit such as a manufacturing machine, a stand-by force, a temporary table, or a simple buffer device installed in parallel along the transfer path by a transfer cart
  • An ID read / write device is installed in the interface unit of the port, exit port, or both ports, and the carrier ID is checked and managed by the control device of the automatic transport system via this ID read / write device. I am writing.
  • a wireless communication function connected to a host computer is installed in various parts of a storage unit such as a manufacturing device, a temporary table, a simple buffer device, and the like.
  • the cassette (conveyed object) is equipped with a wireless communication function and an electronic module capable of storing predetermined information (identification information), and the predetermined information is read from and written to the electronic module by wireless communication.
  • predetermined information identification information
  • a technique for managing cassettes with a computer is disclosed.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-1886
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 9-283595
  • the present invention provides a safety measure for objects to be transported by a plurality of transport carts according to a command from a control device between at least one storage unit and a plurality of manufacturing apparatuses.
  • a control device between at least one storage unit and a plurality of manufacturing apparatuses.
  • the automatic transfer system is an automatic transfer system that manages an object to be transferred that is transferred by a plurality of transfer carts according to a command from a control device between at least one storage unit and a plurality of manufacturing apparatuses.
  • the object to be conveyed includes a readable / writable identification information recording unit that records identification information for identifying the object to be processed accommodated in the object to be processed, and a part of the carriage is An identification information read / write unit that reads / writes the identification information from / to the identification information recording unit based on a command from the control device, and the control device reads / writes the identification information read / written by the identification information read / write unit.
  • An identification information management unit for accumulating and managing the object to be processed in the control device based on the identification information recorded in the identification information recording unit and the identification information accumulated and managed in the identification information management unit. It is characterized by performing.
  • an identification information read / write unit that reads and writes the identification information based on a command from the control device is mounted only on some of the transport carts with respect to the identification information recording unit mounted on the transported object. Therefore, compared with the conventional case in which the identification information read / write unit is installed in all of the manufacturing apparatus and the storage unit, the cost is remarkably reduced. In addition, since the identification information read / write unit is mounted on the transport cart, the transport cart can read and write the identification information while performing normal transport operations, and can easily manage the objects to be transported. Can do.
  • the transport cart is excellent in mobility for the manufacturing equipment and storage unit, and it is easy to secure communication between the identification information read / write unit mounted on the transport cart and the identification information recording unit mounted on the transported object. It is possible to manage transported objects with high reliability.
  • the identification information read / write unit uses an identification information read / write device using a conventional communication unit using optical or wireless principles.
  • the identification information read / write unit reads the identification information from the identification information recording unit when the transported object is carried into and out of the storage unit and the manufacturing apparatus
  • the control device includes: An identification information confirmation unit for confirming whether or not the identification information read by the identification information read / write unit matches the identification information stored and managed in the identification information management unit may be further provided.
  • the identification information read / write unit is configured to remove the identification information recording unit from the identification information recording unit when carrying the object in / out of the storage unit and the manufacturing apparatus in which the identification information read / write unit is not installed.
  • the identification information is read, and the control device confirms whether the identification information read by the identification information read / write unit matches the identification information stored and managed in the identification information management unit.
  • a confirmation unit may be further provided.
  • the identification information read / write unit is installed using the conventional technology using the installed identification information read / write unit. Since the storage unit and the manufacturing apparatus use a transport carriage equipped with an identification information read / write unit, there is no need to install a new identification information read / write unit while using existing equipment. become. For storage units and manufacturing apparatuses that do not have an identification information read / write unit installed, they are read from the identification information recording unit of the transported object each time the transport carriage equipped with the identification information read / write unit carries in / out the transported object. Therefore, the identification information read / write unit is installed and the storage unit and manufacturing equipment are frequently covered. By confirming the identification information related to the transported object, the occurrence of a problem can be discovered at an early stage, and the reliability of management of the transported object can be further improved.
  • the control device matches the identification information read by the identification information read / write unit with the identification information accumulated and managed in the identification information management unit.
  • the identification information is rewritten to the identification information read by the identification information read / write unit, or the identification information In the information management unit, the conveyed object may be rearranged so as to match the identification information stored and managed.
  • the automatic conveyance system is temporarily stopped and the identification information reading / writing unit is installed.
  • the transporting cart is automatically run so as to make a round of the manufacturing device and storage unit, and all the objects to be transported or identification information read / write units are installed, and the identification information of the objects to be transported on the manufacturing apparatus and storage unit is displayed.
  • the identification information stored and managed in the identification information management unit is rewritten, or the transported object is rearranged to match the identification information stored and managed to minimize the problem.
  • the automatic transport system can be restarted at an early stage, further improving the reliability of transported object management. It can be made.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view showing an automatic transport system according to the present embodiment including a straw transport cart, a simple buffer device, and a manufacturing apparatus.
  • FIG. 2 is a schematic perspective view showing the structure of a carrier.
  • FIG. 3 is a schematic perspective view showing the structure of an OHT transport cart.
  • FIG. 4 is a side view of the OHT transport cart, the simple buffer device, and the carrier in a state where the OHT transport cart enters and exits the carrier to and from the simple buffer device.
  • FIG. 5 is a block diagram of an automatic conveyance system according to the present embodiment.
  • FIG. 6 is a top view showing a configuration of an automatic transport system including an OHT transport cart, a track of an OHT transport cart, a simple buffer device, and a manufacturing device.
  • FIG. 7 is a schematic perspective view showing a modified example of the structure of the OHT transport carriage.
  • FIG. 8 is a schematic perspective view showing a modification of the automatic transfer system according to the present embodiment including an OHT transfer carriage, a simple buffer device, and a manufacturing apparatus.
  • FIG. 9 is a schematic perspective view showing a modified example of the structure of the OHT transport carriage.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of an automatic transfer system according to this embodiment including an OHT transfer carriage, a simple buffer device, and a manufacturing apparatus.
  • FIG. 2 is a schematic perspective view showing the structure of the carrier.
  • FIG. 3 is a schematic perspective view showing the structure of the OHT transport cart.
  • FIG. 4 is a side view of the OHT transport cart, the simple buffer device, and the carrier in a state where the OHT transport cart enters and leaves the simple buffer device.
  • FIG. 5 is a block diagram of the automatic conveyance system according to the present embodiment.
  • FIG. 6 is a top view showing a configuration of an automatic transport system including an OHT transport cart, a track of the OHT transport cart, a simple buffer device, and a manufacturing device.
  • an OHT transport cart that travels on a rail (track) 15 attached to a ceiling 9 by a rail suspension member 16 ( Carrier cart) 10-power carrier in which substrates are stored between semiconductor manufacturing equipment (manufacturing equipment) 13 according to the manufacturing process, that is, according to the instructions of MES (Manufacturing Execution System) 5 and MCS (Material Control System) 4 described later (Transported object) 18 is automatically conveyed, and the carrier 18 is loaded and unloaded via the loading port 14a and the unloading port 14b. Also, during transportation, it is arranged on both sides (12a, 12b and 12c in Fig.
  • the simple buffer device 12 can be supported not only on the ceiling 9 but also on the wall surface or floor surface.
  • an ID read / write device is already installed in the semiconductor manufacturing apparatus 13 and the stocker (not shown), and ID data is managed by the conventional technique.
  • the simple buffer device 12 is not provided with an ID read / write device.
  • the carrier (FOUP) 18 accommodates a substrate, which is an object to be processed, in a substrate accommodating portion 22 having an openable / closable lid 23, and is provided on the upper surface of the substrate accommodating portion 22.
  • the flange 21 is held by the OHT carriage 10 and conveyed.
  • An ID force (identification information recording unit) 20 is installed on the side surface of the substrate housing portion 22.
  • the ID card 20 is installed in all carriers 18.
  • the ID card 20 records a carrier ID for identifying each carrier 18 (identification information. For example, information on a substrate accommodated in each carrier 18 and information on progress of processing of the carrier 18). It is a readable / writable data recording medium that should be removable.
  • the ID card 20 has a built-in wireless communication function, and can perform wireless communication with an ID read / write device (identification information read / write unit) 25 having a built-in wireless communication function installed in the OHT carrier 10 described later. And Then, when a carrier ID transmitted from an ID read / write device 25 described later is written, the carrier ID is transmitted to and read from an ID read / write device 25 described later. It should be noted that the ID card 20 is not limited to the position shown in FIG. 2, but can be installed at any position on the carrier 18 as long as the ID card 20 can communicate with an ID read / write device 25 installed on the OHT transport carriage 10 described later. May be.
  • the OHT transport cart 10 is installed so as to be able to travel with respect to the rail 15 via the alignment mechanism 28, and the OHT transport cart 10 is installed so as to be accommodated in the transport cart main body 27.
  • the transfer robot 11 is composed of a first stage arm 31, a second stage arm 33, a third stage arm 35, and a gripping part 26 connected to a rotary Z lifting / lowering shaft 30 that can be rotated and raised / lowered.
  • the first-stage arm 31 and the second-stage arm 33 are connected to the second-stage arm 33 and the third-stage arm 35 of the second-stage arm 33 via the rotary shaft 32 at the tip of the first-stage arm 31.
  • the third stage arm 35 and the gripping part 26 are connected to the tip of the third stage arm 35 through the rotary shaft 36, respectively.
  • the OHT transport cart 10 rotates and raises / lowers the first stage arm 31, the second stage arm 33, and the third stage arm 35 of the transfer robot 11, and grips the flange 21 of the carrier 18 by the grip part 26.
  • the carrier 18 is stored in the simple buffer device 12, the first stage arm 31, the second stage arm 33, and the third stage arm 35 of the transfer robot 11 are rotated.
  • the gripping part 26 that grips the flange 21 of the carrier 18 is moved so as to be positioned on the simple notch device 12, and after placing the carrier 18 on the simple buffer device 12, the flange of the carrier 18 Release gripping of gripping part 26 against 21.
  • the gripper 26 is moved by rotating and raising / lowering the first stage arm 31, the second stage arm 33, and the third stage arm 35 of the transfer robot 11.
  • the gripping part 26 grips the flange 21 of the carrier 18, and then the transfer robot 11 Is accommodated in the transport cart body 27.
  • the transfer robot 11 is accommodated in the transport cart body 27 to prevent collision with other equipment.
  • the transfer robot 11 faces the carrier ID card 20 in a position facing the transfer robot 11, with the transfer robot 11 accommodated in the transport carriage main body 27.
  • An ID read / write device 25 is provided at a position to be used.
  • the ID read / write device 25 is installed in a part of the OHT transport carts 10.
  • the ID read / write device 25 has a built-in wireless communication function, and can perform wireless communication with the ID card 20.
  • the ID read / write device 25 is connected to the MCS 4 described later, and the carrier ID to be written to the ID card 20 is transmitted and read from the ID card 20 based on the command of the MCS 4 force described later. Receive carrier ID.
  • the ID reader / writer 25 is not limited to the position shown in FIG. 3 and may be installed at a position where the OHT transport cart 10 is! ⁇ .
  • the automatic transfer system 1 includes a manufacturing management system MES (Manufacturing Execution System) 5 and a transfer control system (control device) MCS (Merial Control System) 4. Between the semiconductor manufacturing apparatus 13, the OHT transfer carriage 10 as a transfer system, and the storage unit 2 including the simple buffer apparatus 12 and a stocker (not shown). Communication related to directives and reports is conducted.
  • MES Manufacturing Execution System
  • MCS Management System
  • MES5 is an information processing system for progress management and production automation of the semiconductor manufacturing line. It includes scheduler and dispatcher functions, and reports the port status from the semiconductor manufacturing equipment 13 (payable report, payout completion report). Etc.), and also makes a port reservation or a payout instruction to the semiconductor manufacturing apparatus 13.
  • MCS4 receives the transport instruction from MES5, and instructs each OHT transport cart 10 and storage unit 12 to operate organically and execute the transport instruction received from MES5 accordingly.
  • the state of the OHT carriage 10 and the storage unit 12 is monitored.
  • the MCS 4 includes a carrier ID management unit (identification information management unit) 4a and a carrier ID confirmation unit (identification information confirmation unit) 4b.
  • the carrier ID management unit 4a is for accumulating and managing transport destination data issued from MES5 to each carrier corresponding to the carrier ID.
  • the carrier ID confirmation unit 4b stores and manages the carrier ID read from the ID card 20 via the ID read / write device 25 and the carrier ID management unit 4a every time the OHT transport cart 10 enters and exits the carrier 18 from the simple buffer device 12. This is for confirming whether the carrier ID is correct.
  • the automatic transfer system 1 is stopped. (That is, the MCS 4 is stopped), the simple buffer device 12 is made to make a round of the OHT transport carriage 10 in which the ID read / write device 25 is installed, and is placed on the simple buffer device 12 through the ID read / write device 25.
  • the carrier IDs of all carriers 18 are also read out, the carrier IDs stored and managed by the carrier ID management unit 4a are rewritten with the read carrier IDs, and then the automatic transfer system 1 is restarted (that is, the MCS4 is restarted). To start).
  • the carrier ID read from the ID card 20 via the ID read / write device 25 matches the carrier ID stored and managed by the carrier ID management unit 4a.
  • the automatic transfer system 1 is stopped (that is, MCS4 is stopped) and each carrier is rearranged so as to match the carrier ID stored and managed in the carrier ID management unit 4a, and then the automatic transfer system 1 is restarted (that is, MCS4 is restarted).
  • the semiconductor manufacturing apparatus 13 physically or chemically processes an object to be processed such as a substrate.
  • a measurement device that measures the object to be processed (in the case of a substrate, it measures film thickness, specific resistance, pattern dimensions, number of dust, etc.).
  • ID reading / writing is performed on the ID card 20 mounted on the carrier 18 based on the MCS4 command!
  • the writing device 25 is mounted only on some OHT transport carts 10. Therefore, the cost is significantly reduced as compared with the conventional case in which the ID read / write device 25 is mounted on all of the semiconductor manufacturing device 13 and the storage unit 2.
  • the ID reading / writing device 25 is mounted on the OHT carriage 10. Therefore, the carrier ID can be read and written while the OHT transport carriage 10 performs the normal transport operation, and the carrier 18 can be managed easily.
  • the OHT transport cart 10 is excellent in mobility with respect to the semiconductor manufacturing apparatus 13 and the storage unit 2, and is provided between the ID read / write device 25 mounted on the OHT transport cart 10 and the ID card 20 mounted on the carrier 18. As soon as communication is secured, it is possible to manage the carrier 18 with high reliability.
  • the conventional technology using the installed ID read / write device is used.
  • the simple buffer device 12 the OHT carriage 10 equipped with the ID read / write device 25 is used. Accordingly, it is not necessary to newly install the ID read / write device 25 in the simple buffer device 12 while using the existing equipment, so the cost is reduced.
  • the carrier ID confirmation unit 4b of the MCS4 is loaded and the carrier 18 Since the carrier ID read from the ID card 20 and the carrier ID stored and managed in the carrier ID management unit 4a of the MCS4 match, the carrier ID related to the carrier 18 is frequently checked for the simple buffer device 12. The occurrence of problems can be detected at an early stage, and the reliability of management of the carrier 18 can be further improved.
  • the carrier ID confirmation unit 4b of MCS4 reads the carrier ID stored and managed in the carrier ID management unit 4a and the ID card 20. If a discrepancy is found with the carrier ID, the automatic transfer system 1 is stopped and the OHT transfer carriage 10 equipped with the ID read / write device 25 is automatically driven to make a round of the simple buffer device 12.
  • the carrier ID of the carrier 18 placed in the simple buffer device 12 is read, and the carrier ID stored and managed in the carrier ID management unit 4a is rewritten based on the read carrier ID, or each carrier is changed to the carrier ID management unit 4a.
  • the present invention is not limited to the force described in the above preferred embodiments. It will be understood that various other embodiments may be made without departing from the spirit and scope of the invention. Furthermore, in the present embodiment, the operation and effect of the configuration of the present invention are described. However, these operation and effect are examples, and the present invention is not limited thereto. In addition, the specific examples illustrate the configuration of the present invention and do not limit the present invention.
  • the force using the OHT transfer cart 10 as the transfer system is not limited thereto.
  • various transport systems such as an OHS transport cart, an AGV transport cart, and an R GV transport cart can be used.
  • the ID read / write device 25 and the ID card 10 communicate with each other using a wireless communication function, but the present invention is not limited to this.
  • a conventional communication unit using the principle of light may be used.
  • the OHT transfer carriage 10 holds the flange 21 of the carrier 18 by the holding portion 26 of the transfer robot 11 and performs loading and unloading.
  • a carrier indicating member 41 is configured at the tip of the third stage arm 35 of the transfer robot 11 of the OHT transport cart 10 instead of the gripping portion 26 and the rotating shaft 36.
  • the member 41 may be used for scooping the bottom surface of the carrier 18 and entering and leaving.
  • a protrusion / kinematic pin 42 is provided on the upper surface of the carrier indicating member 41 so as to fit into a recess provided on the bottom surface of the carrier 18 to ensure alignment between the carrier 18 and the transfer robot 11 and 18 and transfer robot 11 It plays a role in preventing slipping.
  • the simple buffer device 12 in which the ID read / write device is not installed is not limited to the force provided on both sides of the rail 15.
  • a simple buffer device 51 that is located directly below the rail 15 and is supported by being suspended from the ceiling 9 by a buffer suspension member 52 may be used.
  • the simple buffer device 51 can be supported not only on the ceiling but also on a rail, a wall surface, or a floor surface.
  • the OHT carriage 10 is not limited to the structure including the transfer robot 11 shown in FIG. 3, and is provided on both sides of the lifting body 45 that can be lifted up and down by the suspension belt 44 as shown in FIG.
  • a structure may be adopted in which the flange 21 of the carrier 18 is sandwiched between the grips 46 and gripped.
  • the present invention is applied only to the simple buffer device 12, and the ID read / write device already installed in the storage unit 2 and the semiconductor manufacturing device 13 other than the simple buffer device 12 is used. Based on the above, the management of the loading and unloading of the carrier 18 for these is performed according to the conventional technology, but it is not limited thereto. For example, the present invention may be applied to management of loading / unloading of the carrier 18 with respect to all the storage units 2 and the semiconductor manufacturing apparatus 13 including the simple buffer apparatus 12.
  • the ID read / write device is not installed in all the storage units 2 and the semiconductor manufacturing device 13 including the simple buffer device 12, and the simple notch device 12 is included by some OHT transport carts 10 equipped with the ID read / write device 25.
  • the ID force 20 may be read and written to perform management via the MCS 4.
  • an ID card (recording a carrier ID as identification information) is used as an identification information recording unit for recording identification information for identifying each carrier ( The identification information recording unit) 20 is not limited to this.
  • a barcode can be used as the identification information recording unit.
  • a barcode read / write device is used as the identification information read / write unit.
  • an identification information reading / writing unit that reads and writes identification information based on a command from the control device is assigned to an identification information recording queue mounted on a transported object. Since it is mounted only on the transport carts of some parts, the cost is markedly reduced compared to the conventional case where the identification information read / write unit is mounted on all of the manufacturing equipment and storage boot. In addition, since the identification information read / write unit is installed in the transport cart, the transport cart can read and write the identification information while performing normal transport operations, making it easy to manage the objects to be transported. it can.
  • the transport cart has excellent mobility with respect to the manufacturing equipment and the storage unit, and communication between the identification information read / write unit mounted on the transport cart and the identification information recording unit mounted on the transported object is ensured, and it is immediately highly reliable. It is possible to manage the transported objects with good characteristics.

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Abstract

　少なくとも１つの保管ユニットと複数の製造装置との間を制御装置の指令により複数の搬送台車で搬送される被搬送物を安価でかつ簡便にしかも高い信頼性をもって管理する。全てのキャリア１８に無線通信機能を内蔵したＩＤカード２０を設置し、一部の搬送台車１０に無線通信機能を内蔵したＩＤ読み書き装置２５を設置する。そして、ＩＤ読み書き装置２５に接続されたＭＣＳ４の指令によりＩＤカード２０に対してキャリアＩＤを読み書きし、キャリアＩＤ管理部４ａでキャリアＩＤの管理を行う。

Description

明 細 書
自動搬送システム
技術分野
[0001] 本発明は、少なくとも 1つの保管ユニットと複数の製造装置との間を、制御装置の指 令により複数の搬送台車で搬送される被搬送物を管理する自動搬送システムに関す るものである。
背景技術
[0002] 半導体、液晶などの製造工場においては、空気中の微細な粉塵などが製品の品質 性能に悪影響を及ぼすため、製造過程の品物 (例えば、半導体製品製造施設の場 合、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光デイス ク用基板等の被製造物の中間製品）をカセットに格納し、製造プロセスに従い、搬送 システムにより製造装置やストッカゃ簡易バッファ装置等の保管ユニットの間で搬送 する自動搬送システム（AMHS: Automated Material Handling System)が用いられ ている（特許文献 1参照)。尚、搬送システムとしては、天井より懸垂された軌道上を 走行して FOUP (Front Opening Unified Pod)を搬送する OHT ( Over head Hoist Tr ansport)、 OHS (Over Head Shuttle)、床上を自立走行する搬送台車を用いた搬送 システムなど、軌道上を走行する搬送台車による搬送システムが主流となって 、る。
[0003] そして、自動搬送システムにおいては、被搬送物であるキャリアにはそれぞれキヤリ ァを識別するための識別情報であるキャリア ID (バーコード、 RFID (Radio Frequenc y Identification),赤外線通信 ID等）が付されており、搬送台車により、製造装置ゃス トツ力、仮置き台、搬送経路に沿って平行に設置される簡易バッファ装置等の保管ュ ニットにキャリアを移載する際、それらの入庫ポート、出庫ポート、或いは、両ポートの インターフェース装置部に ID読み書き装置を設置し、この ID読み書き装置を介して 、自動搬送システムの制御装置により、キャリア IDの確認と管理されるキャリア IDの読 み書きを行っている。
[0004] 例えば、特許文献 2には、製造装置ゃストツ力、仮置き台、簡易バッファ装置等の保 管ユニットの各所にホストコンピュータに接続された無線通信機能を設置するとともに 、カセット (被搬送物）に無線通信機能を備えるとともに所定情報 (識別情報)を記憶 することができる電子モジュールを装着して、無線通信により所定情報を電子モジュ ールに読み書きすることにより、ホストコンピュータでカセットの管理を行う技術が開示 されている。
[0005] 特許文献 1 :特開 2005— 1886号公報
特許文献 2：特開平 9 - 283595号公報
[0006] し力しながら、 ID読み書き装置は高価であるため、製造装置ゃストツ力、仮置き台、 搬送経路に沿って平行に設置される簡易バッファ装置等の保管ユニットの数が多い 場合は、コストがかかるという問題がある。
[0007] また、無線通信技術を用いて被搬送物の識別情報の読み書きを行う場合、無線通 信技術で用いるアンテナの指向性力 その無線通信機能の設置場所の設定が困難 であるという問題がある。即ち、被搬送物が無線通信可能範囲の死角に入ると (例え ば、被搬送物が正常な位置力もずれてしまう）、無線通信を行うことができないために 、被搬送物及び被搬送物の識別情報を確認することができないという問題がある。か カゝる際には、被搬送物及び被搬送物の識別情報を確認するために、自動搬送シス テムを停止して、手動で全ての被搬送物に対して ID読み書き装置により識別情報を 読み取らなければならず、キャリアの数が多数ある場合は、労力と時間がかかる上に 、製造工程を長期にわたって停止させることにより、製造工場の生産性に影響を与え てしまう。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0008] 以上の従来の問題点に鑑み、本発明は、少なくとも 1つの保管ユニットと複数の製 造装置の間を制御装置の指令により複数の搬送台車で搬送される被搬送物を、安 価でかつ簡便にし力も高い信頼性をもって管理することができる自動搬送システムを 提供する。
課題を解決するための手段
[0009] 本発明に係る自動搬送システムは、少なくとも 1つの保管ユニットと複数の製造装置 の間を、制御装置の指令により複数の搬送台車で搬送される被搬送物を管理する自 動搬送システムであって、前記被搬送物は、当該被搬送物に収容された被処理物を 識別する識別情報を記録する読み書き可能な識別情報記録ユニットを備え、前記搬 送台車の一部は、前記制御装置の指令に基づいて、前記識別情報記録ユニットに 対して前記識別情報の読み書きを行う識別情報読み書きユニットを備え、前記制御 装置は、前記識別情報読み書きユニットにおいて読み書きを行った前記識別情報を 蓄積管理する識別情報管理ユニットを備え、前記識別情報記録ユニットに記録した 前記識別情報と、前記識別情報管理ユニットにおいて蓄積管理した前記識別情報 に基づいて、前記制御装置において前記被処理物の管理を行うことを特徴とする。
[0010] これにより、被搬送物に搭載された識別情報記録ユニットに対して、制御装置の指 令に基づいて識別情報の読み書きを行う識別情報読み書きユニットを、一部の搬送 台車にのみ搭載していることから、製造装置及び保管ユニットの全てに識別情報読 み書きユニットを搭載した従来の場合に比べ、格段のコスト低減になる。また、搬送台 車に識別情報読み書きユニットを搭載して 、ることから、搬送台車が通常の搬送動作 を実施しながら識別情報の読み書きを行うことができ、簡便に被搬送物を管理するこ とができる。更に、搬送台車は製造装置及び保管ユニットに対する機動性に優れ、搬 送台車に搭載された識別情報読み書きユニットと被搬送物に搭載された識別情報記 録ユニットとの間の通信が確保しやすぐ高い信頼性をもって被搬送物を管理するこ とが可能である。尚、本発明において、識別情報読み書きユニットは、光や無線の原 理を用いた従来の通信ユニットを使用した識別情報読み書き装置を用いる。
[0011] ここで、前記識別情報読み書きユニットは、前記保管ユニット及び前記製造装置に 前記被搬送物の搬入出を行う際に、前記識別情報記録ユニットから前記識別情報を 読み取り、前記制御装置は、前記識別情報読み書きユニットで読み取った前記識別 情報と、前記識別情報管理ユニットに蓄積管理した前記識別情報とがー致している か確認する識別情報確認ユニットを更に備えて良い。
[0012] これにより、識別情報読み書きユニットを搭載した搬送台車が保管ユニット及び製 造装置に被搬送物の搬入出を行う度に、被搬送物の識別情報記録ユニットから読み 取った識別情報と、制御ユニットの識別情報管理ユニットに蓄積管理した識別情報と がー致するかどうか確認することから、頻繁に被搬送物に関する識別情報を確認して 早期に問題発生を発見することができ、被搬送物の管理の信頼性を更に向上させる ことができる。
[0013] また、前記識別情報読み書きユニットは、前記識別情報読み書きユニットが設置さ れていない前記保管ユニット及び前記製造装置に前記被搬送物の搬入出を行う際 に、前記識別情報記録ユニットから前記識別情報を読み取り、前記制御装置は、前 記識別情報読み書きユニットで読み取った前記識別情報と、前記識別情報管理ュニ ットに蓄積管理した前記識別情報とがー致している力確認する識別情報確認ユニット を更に備えて良い。
[0014] これにより、既に識別情報読み書きユニットが設置されている保管ユニット及び製造 装置については設置されている識別情報読み書きユニットを用いた従来技術を活用 し、識別情報読み書きユニットが設置されて 、な 、保管ユニット及び製造装置にっ 、 ては、識別情報読み書きユニットを搭載した搬送台車を用いることから、既存の設備 を用いつつ、新たに識別情報読み書きユニットを設置する必要がないため、コスト低 減になる。そして、識別情報読み書きユニットが設置されていない保管ユニット及び 製造装置については、識別情報読み書きユニットを搭載した搬送台車が被搬送物の 搬入出を行う度に、被搬送物の識別情報記録ユニットから読み取った識別情報と、 制御ユニットの識別情報管理ユニットに蓄積管理した識別情報とがー致するかどうか 確認することから、識別情報読み書きユニットが設置されて 、な 、保管ユニット及び 製造装置について頻繁に被搬送物に関する識別情報を確認して早期に問題発生を 発見することができ、被搬送物の管理の信頼性を更に向上させることができる。
[0015] ここで、前記制御装置は、前記識別情報確認ユニットにおいて、前記識別情報読 み書きユニットで読み取った前記識別情報と、前記識別情報管理ユニットに蓄積管 理した前記識別情報とがー致して!/、な!、と判断した場合に、前記識別情報管理ュニ ットにおいて蓄積管理する前記識別情報を、前記識別情報読み書きユニットにより読 み取った前記識別情報に書き換える、或いは、前記識別情報管理ユニットにおいて 蓄積管理する前記識別情報に一致させるよう前記被搬送物を再配置させて良い。 発明の効果
[0016] これにより、システムトラブルによりデータに混乱が生じた場合等、識別情報確認ュ ニットにおいて、識別情報管理ユニットに蓄積管理した識別情報と識別情報読み書 きユニットで読み取った識別情報とに不一致が発見された場合、例えば、自動搬送 システムを一旦停止させ、識別情報読み書きユニットを搭載した搬送台車に製造装 置及び保管ユニットを一巡するように自動走行させて全ての被搬送物又は識別情報 読み書きユニットを搭載して 、な 、製造装置及び保管ユニット上の被搬送物の識別 情報を読み取り、読み取った識別情報に基づいて識別情報管理ユニットに蓄積管理 する識別情報を書き換える、或いは、蓄積管理する識別情報に一致させるように被 搬送物を再配置させることにより、問題を最小限にとどめることができ、早期に自動搬 送システムを再開することができ、被搬送物の管理の信頼性を更に向上させることが できる。
図面の簡単な説明
[0017] [図 1]ΟΗΤ搬送台車、簡易バッファ装置及び製造装置を含む本実施形態に係る自 動搬送システムを示す概略斜視図である。
[図 2]キャリアの構造を示す概略斜視図である。
[図 3]OHT搬送台車の構造を示す概略斜視図である。
[図 4]OHT搬送台車が簡易バッファ装置にキャリアを入出庫する状態における OHT 搬送台車と簡易バッファ装置とキャリアの側面図である。
[図 5]本実施形態に係る自動搬送システムのブロック図である。
[図 6]OHT搬送台車、 OHT搬送台車の軌道、簡易バッファ装置及び製造装置を含 む自動搬送システムの構成を示す上面図である。
[図 7]OHT搬送台車の構造の変形例を示す概略斜視図である。
[図 8]OHT搬送台車、簡易バッファ装置及び製造装置を含む本実施形態に係る自 動搬送システムの変形例を示す概略斜視図である。
[図 9]OHT搬送台車の構造の変形例を示す概略斜視図である。
符号の説明
[0018] 1 自動搬送システム
2 保管ユニット
4 MCS (制御装置） 4a キャリア ID管理部 (識別情報管理ュ-：ット）
4b キャリア ID確認部 (識別情報確認ュ- ：ット）
10 OHT搬送台車 (搬送台車）
12 簡易バッファ装置 (保管ユニット）
13 半導体製造装置 (製造装置）
18 キャリア (被搬送物）
20 IDカード (識別情報記録ユニット）
25 ID読み書き装置 (識別情報読み書きユニット) 発明を実施するための最良の形態
[0019] 以下、図面を参照しつつ、本発明に係る自動搬送システムを実施するための最良 の形態について、具体的な一例に即して説明する。
[0020] 本実施形態に係る自動搬送システムについて、図 1〜図 6を用いて説明する。図 1 は、 OHT搬送台車、簡易バッファ装置及び製造装置を含む本実施形態に係る自動 搬送システムの概略斜視図である。図 2は、キャリアの構造を示す概略斜視図である 。図 3は、 OHT搬送台車の構造を示す概略斜視図である。図 4は、 OHT搬送台車 が簡易バッファ装置にキャリアを入出庫する状態における OHT搬送台車と簡易バッ ファ装置とキャリアの側面図である。図 5は、本実施形態に係る自動搬送システムの ブロック図である。図 6は、 OHT搬送台車、 OHT搬送台車の軌道、簡易バッファ装 置及び製造装置を含む自動搬送システムの構成を示す上面図である。
[0021] 図 1及び図 6に示すように、本実施形態に係る自動搬送システム 1において、レー ル吊り部材 16により天井 9に取り付けられたレール (軌道） 15上を走行する OHT搬 送台車 (搬送台車） 10力 製造プロセスに従い、即ち、後述する MES (Manufacturin g Execution System) 5及び MCS (Material Control System) 4の指令に従い、半導体 製造装置 (製造装置） 13間において、基板の収納されたキャリア (被搬送物） 18を自 動搬送し、入庫ポート 14a及び出庫ポート 14bを介してキャリア 18の搬入出を行う。ま た、搬送の際に、工程調整のため必要に応じて、搬送台車のレール 15の両側（図 6 中の 12a、 12b及び 12c)に配置され、ノ ッファ吊り部材 17により天井 9に取り付けら れた簡易バッファ装置 (保管ユニット） 12にキャリア 18を一時保管する。尚、簡易バッ ファ装置 12は、天井 9のみならず、壁面や床面に支持させることも可能である。ここで 、本実施形態においては、半導体製造装置 13及びストッカ（図示せず）には、 ID読 み書き装置が既に設置されており、従来技術により IDデータの管理が行われるもの とする。また、簡易バッファ装置 12には、 ID読み書き装置は設置されていない。
[0022] キャリア (FOUP) 18は、図 2に示すように、開閉自在な蓋 23を備える基板収容部 2 2に被処理物である基板を収容し、基板収容部 22の上面に設けられたフランジ 21を OHT搬送台車 10に把持されて搬送される。また、基板収容部 22の側面には、 ID力 ード (識別情報記録ユニット） 20が設置されている。尚、 IDカード 20は、全てのキヤリ ァ 18に設置されている。ここで、 IDカード 20は、各キャリア 18を識別するためのキヤ リア ID (識別情報。例えば、各キャリア 18が収容する基板に関する情報やキャリア 18 の加工工程進拔に関する情報等)を記録することができる読み書き可能なデータ記 録媒体であり、着脱自在であることが望ましい。また、 IDカード 20は、無線通信機能 を内蔵しており、後述する OHT搬送台車 10に設置された無線通信機能を内蔵する I D読み書き装置 (識別情報読み書きユニット） 25と無線通信が行えるようになって 、る 。そして、後述する ID読み書き装置 25から送信されたキャリア IDが書き込まれると共 に、後述する ID読み書き装置 25に対してキャリア IDを送信して読み取られる。尚、 I Dカード 20は、図 2に示す位置に限らず、後述する OHT搬送台車 10に設置された I D読み書き装置 25と通信可能な位置であれば、キャリア 18のいずれの位置に設置さ れていても良い。
[0023] OHT搬送台車 10は、図 3に示すように、位置合せ機構 28を介してレール 15に対 して走行可能に設置されており、搬送台車本体 27内に収容可能に設置された回転- 昇降機能を有する移載ロボット 11を搭載している。移載ロボット 11は、回転'昇降可 能な回転 Z昇降軸 30に接続された 1段目アーム 31と、 2段目アーム 33と、 3段目ァ ーム 35と、把持部 26により構成されている。ここで、 1段目アーム 31と 2段目アーム 3 3は 1段目アーム 31の先端部において回転軸 32を介して、 2段目アーム 33と 3段目 アーム 35は 2段目アーム 33の先端部にお!、て回転軸 34を介して、 3段目アーム 35 と把持部 26は 3段目アーム 35の先端部において回転軸 36を介して、それぞれ接続 されている。そして、 OHT搬送台車 10は、移載ロボット 11の 1段目アーム 31、 2段目 アーム 33、 3段目アーム 35を回転'昇降させて、把持部 26でキャリア 18のフランジ 2 1を把持する。例えば、図 4に示すように、簡易バッファ装置 12にキャリア 18を入庫す る際には、移載ロボット 11の 1段目アーム 31、 2段目アーム 33、 3段目アーム 35を回 転.昇降させることにより、キャリア 18のフランジ 21を把持した把持部 26を簡易ノッフ ァ装置 12上に位置するように移動させて、キャリア 18を簡易バッファ装置 12に載置し た後に、キャリア 18のフランジ 21に対する把持部 26の把持を解除する。一方、簡易 ノッファ装置 12からキャリア 18を出庫する際には、移載ロボット 11の 1段目アーム 31 、 2段目アーム 33、 3段目アーム 35を回転 '昇降させることにより、把持部 26を簡易 ノ ッファ装置 12のキャリア 18上に位置するように移動させて、キャリア 18を簡易バッ ファ装置 12に載置した後に、把持部 26によりキャリア 18のフランジ 21を把持した後、 移載ロボット 11を搬送台車本体 27内に収容する。尚、 OHT搬送台車 10が走行する 際は、移載ロボット 11を搬送台車本体 27内に収容し、他の設備との衝突を防止する
[0024] また、搬送台車本体 27の内側の側面部には、移載ロボット 11に対向する位置であ つて、移載ロボット 11を搬送台車本体 27に収容した状態でキャリアの IDカード 20と 対向する位置に、 ID読み書き装置 25が設けられている。尚、 ID読み書き装置 25は 、一部の台数の OHT搬送台車 10に設置されている。また、 ID読み書き装置 25は、 無線通信機能を内蔵しており、 IDカード 20と無線通信を行うことが可能になっている 。また、 ID読み書き装置 25は、後述する MCS4に接続されており、後述する MCS4 力も指令に基づ 、て、 IDカード 20に対して書き込むべきキャリア IDを送信すると共 に、 IDカード 20から読み取るべきキャリア IDを受信する。尚、 ID読み書き装置 25は 、図 3に示す位置に限らず、 IDカード 20と通信可能な位置であれば、 OHT搬送台 車 10の!ヽずれの位置に設置されて!、ても良!ヽ。
[0025] ここで、自動搬送システム 1は、図 5に示すように、製造管理システムである MES (M anufacturing Execution System) 5及び搬送制御システム（制御装置）である MCS (M aterial Control System) 4と、半導体製造装置 13と、搬送システムである OHT搬送台 車 10と、簡易バッファ装置 12や図示しないストッカを備える保管ユニット 2と、の間で 指令や報告等に関する通信が行われる。
[0026] MES5は、半導体製造ラインの進拔管理、生産自動化のための情報処理システム であり、スケジューラとディスパッチャの機能を含み、半導体製造装置 13からポートの 状態報告 (払出可能報告、払出完了報告等)を受信すると共に、半導体製造装置 13 に対してポート予約や払出指示などを行う。
[0027] MCS4は、 MES5からの搬送指令を受け付け、それに従って OHT搬送台車 10及 び保管ユニット 12の個々が有機的に動作して MES5から受けた搬送指示を遂行す るように指示を出すとともに、この OHT搬送台車 10及び保管ユニット 12の状態を監 視する。また、 MCS4は、キャリア ID管理部 (識別情報管理ユニット) 4aと、キャリア ID 確認部 (識別情報確認ユニット) 4bと、を含む。キャリア ID管理部 4aは、 MES5から 各キャリアに対しそのキャリア IDに対応して出される搬送先データを蓄積管理するた めのものである。キャリア ID確認部 4bは、 OHT搬送台車 10がキャリア 18を簡易バッ ファ装置 12に入出庫する都度、 ID読み書き装置 25を介して IDカード 20から読み取 つたキャリア IDとキャリア ID管理部 4aで蓄積管理するキャリア IDがー致しているかど うかを確認するためのものである。
[0028] そして、 ID読み書き装置 25を介して IDカード 20から読み取ったキャリア IDとキヤリ ァ ID管理部 4aで蓄積管理するキャリア IDがー致して 、な 、場合は、自動搬送シス テム 1を停止させ (即ち、 MCS4を停止させ）、 ID読み書き装置 25が設置された OH T搬送台車 10に簡易バッファ装置 12を一巡させて、 ID読み書き装置 25を介して簡 易バッファ装置 12に載置されている全てのキャリア 18の IDカード 20力もキャリア ID を読み出して、キャリア ID管理部 4aで蓄積管理するキャリア IDを読み出したキャリア I Dに書き換えた後、自動搬送システム 1を再開させる（即ち、 MCS4を再起動させる） 。或いは、 ID読み書き装置 25を介して IDカード 20から読み取ったキャリア IDとキヤリ ァ ID管理部 4aで蓄積管理するキャリア IDがー致して 、な 、場合は、自動搬送シス テム 1を停止させ (即ち、 MCS4を停止させ）、各キャリアをキャリア ID管理部 4aに蓄 積管理するキャリア IDに一致するよう再配置させた後、自動搬送システム 1を再開さ せる（即ち、 MCS4を再起動させる）。
[0029] 尚、半導体製造装置 13は、基板等の被処理物を物理的あるいは化学的に処理す るプロセス装置と、被処理物を測定する (基板の場合は膜厚、比抵抗、パターンの寸 法、ごみの数等を測定する)測定装置を含むものである。
[0030] このように、本実施形態に係る自動搬送システム 1によると、キャリア 18に搭載され た IDカード 20に対して、 MCS4の指令に基づ!/、てキャリア IDの読み書きを行う ID読 み書き装置 25を、一部の OHT搬送台車 10にのみ搭載している。従って、半導体製 造装置 13及び保管ユニット 2の全てに ID読み書き装置 25を搭載した従来の場合に 比べ、格段のコスト低減になる。
[0031] また、 OHT搬送台車 10に ID読み書き装置 25を搭載して 、る。従って、 OHT搬送 台車 10が通常の搬送動作を実施しながらキャリア IDの読み書きを行うことができ、簡 便にキャリア 18を管理することができる。
[0032] また、 OHT搬送台車 10は半導体製造装置 13及び保管ユニット 2に対する機動性 に優れ、 OHT搬送台車 10に搭載された ID読み書き装置 25とキャリア 18に搭載され た IDカード 20との間の通信が確保しやすぐ高い信頼性をもってキャリア 18を管理 することが可能である。
[0033] また、既に ID読み書き装置が設置されている保管ユニット 2 (簡易バッファ装置 12 以外の保管ユニット)及び半導体製造装置 13については設置されている ID読み書 き装置を用いた従来技術を活用し、簡易バッファ装置 12については、 ID読み書き装 置 25を搭載した OHT搬送台車 10を用いている。従って、既存の設備を用いつつ、 簡易バッファ装置 12に新たに ID読み書き装置 25を設置する必要がないため、コスト 低減になる。
[0034] そして、簡易バッファ装置 12については、 ID読み書き装置 25を搭載した OHT搬 送台車 10がキャリア 18の搬入出を行う度に、 MCS4のキャリア ID確認部 4b〖こおい て、キャリア 18の IDカード 20から読み取ったキャリア IDと、 MCS4のキャリア ID管理 部 4aに蓄積管理したキャリア IDとが一致するかどうか確認することから、簡易バッファ 装置 12について頻繁にキャリア 18に関するキャリア IDを確認して早期に問題発生を 発見することができ、キャリア 18の管理の信頼性を更に向上させることができる。
[0035] また、システムトラブルによりデータに混乱が生じた場合等、 MCS4のキャリア ID確 認部 4bにおいて、キャリア ID管理部 4aに蓄積管理したキャリア IDと IDカード 20で読 み取ったキャリア IDとに不一致が発見された場合、自動搬送システム 1をー且停止さ せ、 ID読み書き装置 25を搭載した OHT搬送台車 10に簡易バッファ装置 12を一巡 するように自動走行させて簡易バッファ装置 12に載置されたキャリア 18のキャリア ID を読み取り、読み取ったキャリア IDに基づいて、キャリア ID管理部 4aに蓄積管理す るキャリア IDを書き換える、或いは、各キャリアをキャリア ID管理部 4aに蓄積管理す るキャリア IDに一致するよう再配置させる。従って、問題を最小限にとどめることがで き、早期に自動搬送システム 1を再開することができ、キャリア 18の管理の信頼性を 更に向上させることができる。
[0036] 以上、本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されている力 本発明はそれだ けに制限されな 、。本発明の精神と範囲力も逸脱することのな 、様々な実施形態が 他になされることは理解されよう。さら〖こ、本実施形態において、本発明の構成による 作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限 定するものではない。また、具体例は、本発明の構成を例示したものであり、本発明 を限定するものではない。
[0037] 本実施形態に係る自動搬送システム 1にお 、て、搬送システムとして OHT搬送台 車 10を用いている力 それに限らない。例えば、 OHS搬送台車、 AGV搬送台車、 R GV搬送台車等の様々な搬送システムを用いることができる。
[0038] また、本実施形態に係る自動搬送システム 1にお 、て、 ID読み書き装置 25及び ID カード 10は、無線通信機能を用いて通信を行うようになっているが、それに限らない 。例えば、光の原理を用いた従来の通信ユニットを使用しても良い。
[0039] また、本実施形態に係る自動搬送システム 1にお!、て、 OHT搬送台車 10が、移載 ロボット 11の把持部 26によりキャリア 18のフランジ 21を把持して入出庫を行うもので あるが、それに限らない。例えば、図 7に示すように、 OHT搬送台車 10の移載ロボッ ト 11の 3段目アーム 35の先端に、把持部 26及び回転軸 36の代わりにキャリア指示 部材 41が構成され、このキャリア指示部材 41によりキャリア 18の底面をすくい上げて 入出庫を行うものであっても良い。尚、キャリア指示部材 41の上面には、キャリア 18 の底面に設けられた窪みに勘合する突起 ·キネマティックピン 42が設けられ、キャリア 18と移載ロボット 11の位置合せを確実にするとともに、キャリア 18と移載ロボット 11と の滑り防止の役割を果たして 、る。
[0040] また、本実施形態に係る自動搬送システム 1にお 、て、 ID読み書き装置が設置さ れていない簡易バッファ装置 12が、レール 15の両側に設けられている力 それに限 らない。例えば、図 8に示すように、レール 15の直下に位置し、バッファ吊り部材 52に より天井 9より吊り下げ支持される簡易バッファ装置 51であっても良い。尚、簡易バッ ファ装置 51は、天井のみならず、レールや壁面、或いは床面に支持させることも可能 である。かかる場合、 OHT搬送台車 10は、図 3に示す移載ロボット 11を備える構造 に限らず、図 9に示すような、懸架ベルト 44により上下方向に昇降可能な昇降体 45 の両側に設けられたグリツノ 46でキャリア 18のフランジ 21を挟み込んでグリップする 構造であっても良い。
[0041] また、本実施形態に係る自動搬送システム 1において、簡易バッファ装置 12のみ本 発明を適用し、簡易バッファ装置 12以外の保管ユニット 2及び半導体製造装置 13に は既に設置された ID読み書き装置に基づ 、て、これらに対するキャリア 18の入出庫 の管理を従来技術に従って行っているがそれに限らない。例えば、簡易バッファ装 置 12を含めた全ての保管ユニット 2及び半導体製造装置 13に対するキャリア 18の入 出庫の管理に本発明を適用しても良い。即ち、簡易バッファ装置 12を含めた全ての 保管ユニット 2及び半導体製造装置 13に ID読み書き装置を設置せず、 ID読み書き 装置 25を備えた一部の OHT搬送台車 10により、簡易ノッファ装置 12を含めた全て の保管ユニット 2及び半導体製造装置 13に対するキャリア 18の入出庫に際し、 ID力 ード 20の読み書きを行うことにより、 MCS4を介して管理を行うようにしても良い。
[0042] また、本実施形態に係る自動搬送システム 1にお 、て、各キャリアを識別するため の識別情報を記録する識別情報記録ユニットとして、識別情報であるキャリア IDを記 録する IDカード (識別情報記録ユニット） 20を用いて 、るがそれに限らな 、。例えば 、識別情報記録ユニットとして、バーコードを用いることもできる。かかる場合は、識別 情報読み書きユニットとしてバーコード読み書き装置を用いる。
本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲 を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明ら かである。 本出願は、 2005年 3月 28日出願の日本特許出願 (特願 2005— 91673)に基づくもの であり、その内容はここに参照として取り込まれる。
産業上の利用可能性
本発明の自動搬送システムによれば、被搬送物に搭載された識別情報記録ュ-ッ トに対して、制御装置の指令に基づいて識別情報の読み書きを行う識別情報読み書 きユニットを、一部の搬送台車にのみ搭載していることから、製造装置及び保管ュ- ットの全てに識別情報読み書きユニットを搭載した従来の場合に比べ、格段のコスト 低減になる。また、搬送台車に識別情報読み書きユニットを搭載していることから、搬 送台車が通常の搬送動作を実施しながら識別情報の読み書きを行うことができ、簡 便に被搬送物を管理することができる。更に、搬送台車は製造装置及び保管ユニット に対する機動性に優れ、搬送台車に搭載された識別情報読み書きユニットと被搬送 物に搭載された識別情報記録ユニットとの間の通信が確保しやすぐ高い信頼性を もって被搬送物を管理することが可能である。

Claims

請求の範囲
[1] 少なくとも 1つの保管ユニットと複数の製造装置との間を、制御装置の指令により複 数の搬送台車で搬送される被搬送物を管理する自動搬送システムであって、 前記被搬送物は、当該被搬送物に収容された被処理物を識別する識別情報を記 録する読み書き可能な識別情報記録ユニットを備え、
前記搬送台車の一部は、前記制御装置の指令に基づいて、前記識別情報記録ュ ニットに対して前記識別情報の読み書きを行う識別情報読み書きユニットを備え、 前記制御装置は、前記識別情報読み書きユニットにおいて読み書きを行った前記 識別情報を蓄積管理する識別情報管理ユニットを備え、
前記識別情報記録ユニットに記録した前記識別情報と、前記識別情報管理ュニッ トにお 1、て蓄積管理した前記識別情報に基づ 、て、前記制御装置にお!/、て前記被 処理物の管理を行うことを特徴とする自動搬送システム。
[2] 前記識別情報読み書きユニットは、前記保管ユニット及び前記製造装置に前記被 搬送物の搬入出を行う際に、前記識別情報記録ユニットから前記識別情報を読み取 り、
前記制御装置は、前記識別情報読み書きユニットで読み取った前記識別情報と、 前記識別情報管理ユニットに蓄積管理した前記識別情報とがー致している力確認す る識別情報確認ユニットを更に備えることを特徴とする請求項 1に記載の自動搬送シ ステム。
[3] 前記識別情報読み書きユニットは、前記識別情報読み書きユニットが設置されて!、 ない前記保管ユニット及び前記製造装置に前記被搬送物の搬入出を行う際に、前 記識別情報記録ユニットから前記識別情報を読み取り、
前記制御装置は、前記識別情報読み書きユニット読み取った前記識別情報と、前 記識別情報管理ユニットに蓄積管理した前記識別情報とがー致している力確認する 識別情報確認ユニットを更に備えることを特徴とする請求項 1に記載の自動搬送シス テム。
[4] 前記制御装置は、前記識別情報確認ユニットにお!ヽて、前記識別情報読み書きュ ニットで読み取った前記識別情報と、前記識別情報管理ユニットに蓄積管理した前 記識別情報とがー致して 、な 、と判断した場合に、前記識別情報管理ユニットにお いて蓄積管理する前記識別情報を、前記識別情報読み書きユニットにより読み取つ た前記識別情報に書き換える、或いは、前記識別情報管理ユニットにおいて蓄積管 理する前記識別情報に一致させるよう前記被搬送物を再配置させることを特徴とする 請求項 2に記載の自動搬送システム。
前記制御装置は、前記識別情報確認ユニットにおいて、前記識別情報読み書きュ ニットで読み取った前記識別情報と、前記識別情報管理ユニットに蓄積管理した前 記識別情報とがー致して 、な 、と判断した場合に、前記識別情報管理ユニットにお いて蓄積管理する前記識別情報を、前記識別情報読み取りユニットにより読み取つ た前記識別情報に書き換える、或いは、前記識別情報管理ユニットにおいて蓄積管 理する前記識別情報に一致させるよう前記被搬送物を再配置させることを特徴とする 請求項 3に記載の自動搬送システム。
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