JP5062485B2 - 物品搬送設備 - Google Patents
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Description
物品支持体は、ステーションに搬送する物品を一時的に保管するために設けられている。物品支持体は、通常、移動経路の側脇等に設けられた固定枠体に対して引退する引退位置に位置しており、物品搬送体の移動等を邪魔しないようにしている。物品支持体に物品を保管する場合や物品支持体にて保管している物品を搬送する場合に、物品支持体を引退位置から突出位置に位置変更させて、把持部にて物品支持体へ物品を受け渡したり、把持部にて物品支持体から物品を受け取るようにしている。
また、移動経路に沿う方向に複数の物品支持体を設ける場合には、物品支持体同士の間に天井側から下方側への浄化空気の流れを許容するための大きなスペースを設けなければならない。よって、移動経路に沿う方向で物品支持体同士の間に大きな空間が存在することになり、移動経路に沿う方向での設置スペースが大きくなってしまう。
前記物品支持体は、前記固定枠体に対して前記移動経路に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ前記固定枠体から下方に延びる形状に形成された移動体と、前記移動体の下端部から前記遠近方向に沿って延びるように設けられた載置体とを備え、前記載置体は、前記移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭で前記移動体の下端部から前記遠近方向に沿って延びるように設けられた当接載置部と、前記当接載置部において載置された物品の前記遠近方向の中央部が位置する箇所から前記移動経路に沿う前後方向の一端側及び他端側に延びるように設けられて物品の側面部に当接する立壁部分を先端部に備え且つ前記移動経路に対する前記遠近方向において物品よりも幅狭にかつ平面視において前記移動経路に沿って延びる方向の長さが前記移動経路に対する前記遠近方向の長さよりも長く形成された移動規制部とから構成されている点にある。
載置体は、当接載置部にて物品の底部に当接して物品を載置支持することができ、しかも、移動規制部における立壁部分が移動経路に沿う方向の物品の側面部に当接して移動経路に沿う方向での物品の移動を規制できる。当接載置部は移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭であり、移動規制部は遠近方向において物品よりも幅狭である。これにより、移動経路に沿う方向において物品の外側に突出する部分は、遠近方向で物品よりも幅狭の移動規制部だけとなり、遠近方向において移動規制部の両側部にて下方側への浄化空気の流れを許容できる。しかも、当接載置部は、移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭であることから、物品支持体の軽量化及びコストの低減を図ることができる。
この物品搬送設備は、例えば、浄化空気を天井側から下方側に通風させるダウンフロー式の浄化空気通風手段を備えたクリーンルーム内に設けられている。
図1及び図2に示すように、物品搬送設備は、複数の物品処理部1を経由する状態で案内レール2(移動経路に相当する)が設置され、この案内レール2に沿って移動自在な移動車3(物品搬送体に相当する)が設けられている。移動車3が、半導体基板を収納した容器5(物品に相当する)を複数の物品処理部1の間で搬送するように構成されている。物品処理部1では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行うように構成されている。
移動車3は、把持部4を上昇位置に位置させた状態で案内レール2に沿って移動し、複数のステーション7のうち、移載対象のステーション7に対応する停止位置に停止した状態で把持部4を上昇位置と下降位置との間で昇降させることにより、ステーション7との間で容器5の授受を行うように構成されている。
案内レール2には給電線19が設けられ、上方車体9には受電コイル20が設けられ、交流電流の通電により給電線19に磁界を発生させ、この磁界により移動車3側での必要電力を受電コイル20に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
昇降操作機構24は、ドラム駆動用モータ25により回動自在な回転ドラム26に4本のワイヤ6を巻き掛けて構成されている。そして、昇降操作機構24は、回転ドラム26を正逆回転させて4本のワイヤ6を同時に巻き取り及び巻き出しすることによって、昇降体23を略水平姿勢に維持しながら昇降操作するように構成されている。
複数の物品支持体28の夫々は、それに対する物品移載箇所に停止した移動車3の把持部4からの容器5の受け取り及び把持部4への容器5の受け渡しを行う案内レール2に接近する側に突出する物品授受用の突出位置(図10参照)と案内レール2から離間する側に引退する引退位置(図9参照)とに位置変更自在に設けられている。
以下、物品移載箇所に停止した移動車3の前後方向、すなわち案内レール2に沿う方向を「前後方向」と略称し、且つ、物品移載箇所に停止した移動車3に対する遠近方向を「遠近方向」と略称して説明する。
突出位置は、物品支持体28が突出位置に位置するときに、物品移載箇所に停止した移動車3において上昇位置に近接する位置に位置する把持部4との間で容器5を授受できるように、物品移載箇所に停止した移動車3における把持部4と水平方向において重複する位置に定められている。
また、当接載置部40は、前後方向において容器5の中央部に設けられており、容器5の前後方向の中央部に当接して容器5を載置支持することができ、容器5を安定して支持することができる。しかも、移動規制部41における立壁部分41aが容器5の側面部に当接して、前後方向での容器5の移動を規制することができる。
図9に示すように、***作体43が接近位置に位置すると、溝部45の開口部分が遠近方向に開口しているので、操作手段50が突出作動を行うことにより、係合ローラ53が遠近方向において移動車3から突出する側に移動して溝部45の開口から溝部45に嵌り込んで係合する。そして、係合ローラ53が溝部45に係合した状態で遠近方向において移動車3から突出する側に移動することにより、係合ローラ53が溝部45の側壁部を押圧しながら移動して***作体43を接近位置から離間位置に押し操作する。***作体43が接近位置から離間位置に揺動すると、第1リンクアーム47、第2リンクアーム48、及び、第3リンクアーム49が順次揺動して連係用***作体39を移動車3に接近する側に移動させることになる。したがって、連係用***作体39による移動車3に接近する側への移動によって移動体30をスライド移動させて、図10に示すように、物品支持体28が引退位置から突出位置に位置変更される。
台車用制御部は、搬送先のステーション7に対応する停止位置に移動車3が停止すると、搬送元のステーション7から容器5を受け取る場合と同様に、把持部4の昇降作動や把持動作用モータ27の作動を制御することにより、搬送先のステーション7に容器5を卸すように構成されている。
台車用制御部が、まず、移載対象の物品支持体28に対応する物品移載箇所に移動車3を移動させるべく、移動車3の移動を制御する。次に、台車用制御部は、移載対象の物品支持体28に対応する物品移載箇所に移動車3を停止させた状態で、操作手段50を突出作動させる。操作手段50が突出作動を行うことにより、物品支持体28を引退位置から突出位置に位置変更させる。台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置に把持部4を下降させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ27を作動させて一対の把持具4aを解除姿勢に切り換え、把持部4から物品授受用位置に位置する物品支持体28に容器5を卸す。その後、台車用制御部は、把持部4を上昇位置まで上昇させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、操作手段50を引退作動させる。そして、操作手段50が引退作動を行うことにより、物品支持体28を突出位置から引退位置に位置変更させる。
台車用制御部は、保管指令が指令された場合と同様に、移動車3の移動を制御することにより、移載対象の物品支持体28に対応する物品移載箇所に移動車3を停止させる。そして、台車用制御部は、操作手段50を突出作動させることにより、物品支持体28を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させる。その後、台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置へ把持部4を下降させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ27を作動させて一対の把持具4aを把持姿勢に切り換え、物品支持体28から把持部4に容器5を受け取る。そして、台車用制御部は、上昇位置まで把持部4を上昇させるべく、把持部4の昇降作動を制御したのち、操作手段50を引退作動させる。操作手段50が引退作動を行うことにより、物品支持体28を突出位置から引退位置に位置変更させる。
(1)上記実施形態では、物品支持体28が、突出位置において、上昇位置に近接する位置に位置する把持部4との間で容器5を授受するように設けられているが、例えば、突出位置において、上昇位置に位置する把持部4との間で容器5を授受するように物品支持体29を設けることもできる。
また、突出位置において、物品支持体28が把持部4との間で容器5を授受する位置については、上昇位置に近接する位置または上昇位置に限らず、上昇位置よりも設定高さだけ下降した位置であってもよい。この場合には、物品支持体28を突出位置に位置させた状態で、把持部4を上昇位置から設定高さだけ下降させることにより、物品支持体28と把持部4との間での容器5の授受を行うことができることになる。
3 物品搬送体(移動車)
28 物品支持体
29 固定枠体
30 移動体
31 載置体
32 支持レール体
32a 受け止め支持部
40 当接載置部
41 移動規制部
41a 立壁部分
42 遠近方向移動規制部
42a 立壁部分
Claims (6)
- 物品支持体に対する物品移載箇所を経由する天井側の移動経路に沿って移動自在な物品搬送体が設けられ、
前記物品支持体は、天井側に設置された固定枠体に対して前記移動経路に接近する側に突出する物品授受用の突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに移動自在に支持され、
前記物品搬送体は、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品支持体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている物品搬送設備であって、
前記物品支持体は、前記固定枠体に対して前記移動経路に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ前記固定枠体から下方に延びる形状に形成された移動体と、前記移動体の下端部から前記遠近方向に沿って延びるように設けられた載置体とを備え、
前記載置体は、前記移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭で前記移動体の下端部から前記遠近方向に沿って延びるように設けられた当接載置部と、前記当接載置部において載置された物品の前記遠近方向の中央部が位置する箇所から前記移動経路に沿う前後方向の一端側及び他端側に延びるように設けられて物品の側面部に当接する立壁部分を先端部に備え且つ前記移動経路に対する前記遠近方向において物品よりも幅狭にかつ平面視において前記移動経路に沿って延びる方向の長さが前記移動経路に対する前記遠近方向の長さよりも長く形成された移動規制部とから構成されている物品搬送設備。 - 前記物品支持体は、前記移動経路に沿う方向において隣接する状態で複数設けられている請求項1に記載の物品搬送設備。
- 前記当接載置部は、前記移動経路に対する遠近方向において物品よりも幅狭に形成され、
前記当接載置部から前記遠近方向に延びるように設けられて物品の側面部に当接する立壁部分を備え且つ前記移動経路に沿う方向において前記当接載置部よりも幅狭に形成された遠近方向移動規制部が設けられている請求項1又は2に記載の物品搬送設備。 - 前記当接載置部には、複数の孔部が設けられている請求項1〜3の何れか1項に記載の物品搬送設備。
- 前記固定枠体は、前記引退位置の前記物品支持体と前記移動経路に沿う方向及び前記遠近方向において重複するように配設され、前記移動経路に沿う方向において前記当接載置部よりも幅狭でかつ下方を開口させた筒状に形成されている請求項1〜4の何れか1項に記載の物品搬送設備。
- 前記遠近方向に間隔を隔てた一対の固定枠体支持用の支持レール体が前記移動経路に沿うように天井側に設けられ、
前記固定枠体は、前記一対の支持レール体の夫々における受け止め支持部にて受け止め支持された状態で前記一対の支持レール体に吊り下げ支持されている請求項1〜5の何れか1項に記載の物品搬送設備。
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