CN108257900A - 半导体制程输送***及方法 - Google Patents

半导体制程输送***及方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种半导体制程输送***及方法，该半导体制程输送***包括一位移机构、复数机台及一拿取机构。该位移机构包括一沿一第一方向延伸的第一轨道。复数机台分别设于该第一轨道的两侧，各机台具有一工作平台，该工作平台供置放至少一晶座盒。拿取机构可活动地设于该第一轨道，且可自其中一工作平台拿取一晶座盒或将一晶座盒置放于其中一工作平台。并提供具有上述结构的输送方法。本发明的半导体制程输送***及方法，可顺利置放晶座盒于位于拿取机构两侧的机台或顺利自位于拿取机构两侧的机台拿取晶座盒。

Description

半导体制程输送***及方法
技术领域
本发明有关于一种半导体制程输送***及方法。
背景技术
一般于半导体制程中，当晶圆制造完后需要输送到以进行检测或标记，以将晶圆中不良的晶片汰除，为了方便输送晶圆，已知技术为将复数晶圆堆叠置放于一晶座盒，并以一输送台车将晶座盒自集中区输送至机台，待检测作业或标记作业完后，在输送回集中区以进行下一站作业。然而，已知输送台车仅可将晶座盒输送至位于同一侧且面对同一方向的机台，当复数机台位于不同侧或面对不同方向时，则须额外设置另一相配合的输送台车方可顺利输送晶座盒，如此会使成本大幅增加厂房投资并且会增加厂房面积，存在亟待改善的缺弊。
因此，有必要提供一种新颖且具有进步性的半导体制程输送***及方法，以解决上述问题。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种半导体制程输送***及方法，可顺利置放晶座盒于位于拿取机构两侧的机台或顺利自位于拿取机构两侧的机台拿取晶座盒。
为达成上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种半导体制程输送***，其包括一位移机构、复数机台及一拿取机构。该位移机构包括一沿一第一方向延伸的第一轨道。复数机台分别设于该第一轨道的两侧，各机台具有一工作平台，该工作平台供置放至少一晶座盒，各晶座盒供容置至少一晶圆，各工作平台具有一邻近且面对该第一轨道的入料端。该拿取机构可活动地设于该第一轨道且可移动至其中一机台的入料端，以自其中一工作平台拿取一晶座盒或将一晶座盒置放于其中一工作平台。
进一步的，
所述拿取机构设有一转动机构，该转动机构连接于所述第一轨道与拿取机构之间，该转动机构可选择性地沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动，以转动所述拿取机构，以将所述晶座盒的一开口面以朝向所述机台的入料端的方向将所述晶座盒放置至所述工作平台。
所述转动机构包括一枢座及一转轴，该枢座滑设于所述第一轨道，该转轴以垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动地设于该枢座并连接于所述拿取机构。
所述转轴可沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向移动，所述第一轨道沿一横向于所述第一方向的第二方向滑设于一第二轨道，该第二方向平行于所述工作平台的平面方向。
所述第一轨道沿一横向于所述第一方向的第二方向滑设于一第二轨道，该第二方向平行于所述工作平台的平面方向。
所述拿取机构包括两侧板及一取料件，该取料件设于两侧板之间并供可选择地与所述晶座盒相连接。
各晶座盒设有一晶片，该晶片供记录容置于所述晶座盒内的复数晶圆的制程纪录，所述拿取机构设有一感应装置，该感应装置供感应所述拿取机构所拿取的晶座盒的晶片。
该半导体制程输送***还包括一置晶匣集中站，该置晶匣集中站供复数晶座盒集中容置并相互堆叠，所述拿取机构可移动至其中一机台的入料端与该置晶匣集中站之间，以自其中一工作平台拿取一晶座盒并将该晶座盒置放于该置晶匣集中站；或自该置晶匣集中站拿取一晶座盒并将该晶座盒置放于其中一工作平台。
为达成上述目的，本发明还提供一种半导体制程输送方法，其包括以下步骤：(a)提供一沿该第一方向延伸的第一轨道；(b)将复数机台分别设于该第一轨道的两侧，并将一供置放至少一晶座盒的工作平台设于各机台，将至少一晶圆供容置于各晶座盒，各工作平台具有一邻近且面对该第一轨道的入料端；(c)将一拿取机构可活动地设于该第一轨道，该拿取机构可活动至其中一机台的入料端，并通过该拿取机构自其中一工作平台拿取一该晶座盒或将一该晶座盒置放于其中一工作平台。
将一转动机构设于所述拿取机构，通过该转动机构可选择性地沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动并连接于所述第一轨道与拿取机构之间，所述拿取机构即可将所述晶座盒的一开口面朝向所述机台的入料端，并将所述晶座盒放置至所述工作平台。
本发明的优点是：
本发明的半导体制程输送***及方法，可顺利置放一晶座盒于位于拿取机构两侧的机台或顺利自位于拿取机构两侧的机台拿取一晶座盒。并且，当拿取机构拿取一晶座盒时，即可通过检测装置感应晶座盒的晶片，判断出晶座盒内的复数晶圆的制程纪录状态，以避免进行重复作业或是遗漏掉。
附图说明
图1为本发明第一较佳实施例的立体图。
图2为本发明第一较佳实施例的俯视图。
图3为本发明第一较佳实施例的局部示意图。
具体实施方式
以下仅以实施例说明本发明可能的实施例，然并非用以限制本发明所欲保护的范畴，事先声明。
请参考图1至3，其显示本发明的一较佳实施例，本发明的半导体制程输送***及方法包括一位移机构1、复数机台2及一拿取机构3。
位移机构1包括一沿一第一方向延伸的第一轨道11。
复数机台2分别设于第一轨道11的两侧，各机台2具有一工作平台21，工作平台21供置放至少一晶座盒9，各晶座盒9供容置至少一晶圆92，各工作平台21具有一邻近且面对第一轨道11的入料端22。
拿取机构3可活动地设于第一轨道11且可移动至其中一机台2的入料端22，以自其中一工作平台21拿取一晶座盒9或将一晶座盒9置放于其中一工作平台21。于本实施例中，拿取机构3包括两侧板31及一取料件32，取料件32设于两侧板31之间并供可选择地与晶座盒9相连接，于本实施例中，取料件32以吸附方式与晶座盒9相连接，于其它实施例中，拿取机构3亦可为一机械夹件或机械手臂亦无不可。
拿取机构3设有一转动机构33，该转动机构33连接于第一轨道11与拿取机构3之间，转动机构33可选择性地沿垂直于复数工作平台21的平面方向的方向转动，以转动拿取机构3，以将晶座盒9的一开口面91以朝向机台2的入料端22的方向将晶座盒9放置至工作平台21。具体而言，转动机构33包括一枢座331及一转轴332，枢座331滑设于第一轨道11，转轴332以垂直于复数工作平台21的平面方向的方向转动地设于枢座331并连接于拿取机构3。
进一步的说，于本实施例中，半导体制程输送***还包括一置晶匣集中站5，置晶匣集中站5供复数晶座盒9集中容置并相互堆叠，拿取机构3可移动至其中一机台2的入料端22与置晶匣集中站5之间，以自其中一工作平台21拿取一晶座盒9并将晶座盒9置放于置晶匣集中站5；或自置晶匣集中站5拿取一晶座盒9并将晶座盒9置放于其中一工作平台21。详细的说，于本实施例中，容置于置晶匣集中站5的复数晶座盒9相互堆叠且复数晶座盒9的开口面91朝向同一方向，因此通过转动机构33，拿取机构3即可根据实际状况而转动，以使拿取机构3所拿取的晶座盒9的开口面91可配合地朝向一机台2的入料端22，以顺利地将晶座盒9置放于机台2的工作平台21进行制程作业，因此即使复数机台2位于第一轨道11的两侧，拿取机构3仍然可以顺利地于置晶匣集中站5与复数机台2之间输送复数晶座盒9。
较佳地，于本实施例中，第一轨道11沿一横向于第一方向的第二方向滑设于一第二轨道12，第二方向平行于工作平台21的平面方向，且转轴332可沿垂直于复数工作平台21的平面方向的方向移动。因此拿取机构3即可进行XYZ的三轴方向进行移动，可大幅增加拿取机构3移动时的机动性。
较佳地，各晶座盒9还设有一晶片41，晶片41供记录容置于晶座盒9内的复数晶圆92的制程纪录，拿取机构3设有一感应装置42，感应装置42供感应拿取机构3所拿取的晶座盒9的晶片41。于本实施例中，各机台2包括一操作单元23，于本实施例中，操作单元23为检测装置，检测装置用于检测晶圆92的良率，并将晶圆92的良率记录于容置晶圆92的晶座盒9的晶片41，因此，当拿取机构3拿取一晶座盒9时，即可通过检测装置感应晶座盒9的晶片41，判断出晶座盒9内的复数晶圆92的制程纪录状态，以避免进行重复作业或是遗漏掉。
如图1至3所示，本发明提供一种半导体制程输送方法，其包括以下步骤：(a)提供一沿第一方向延伸的第一轨道11；(b)将复数机台2分别设于第一轨道11的两侧，并将一供置放至少一晶座盒9的工作平台21设于各机台2，将至少一晶圆92供容置于各晶座盒9，各工作平台21具有一邻近且面对第一轨道11的入料端22；(c)将一拿取机构3可活动地设于第一轨道11，拿取机构3可活动至其中一机台2的入料端22，并通过拿取机构3自其中一工作平台21拿取一晶座盒9或将一晶座盒9置放于其中一工作平台21。另外另将一转动机构33设于拿取机构3，通过转动机构33可选择性地沿垂直于复数工作平台21的平面方向的方向转动并连接于第一轨道11与拿取机构3之间，拿取机构3即可将晶座盒9的一开口面91朝向机台2的入料端22，并将晶座盒9放置至工作平台21。通过半导体制程输送方法，即可顺利置放一晶座盒9于位于拿取机构3两侧的机台2或顺利自位于拿取机构3两侧的机台2拿取一晶座盒9。
综上，本发明的半导体制程输送***及方法，可顺利置放一晶座盒于位于拿取机构两侧的机台或顺利自位于拿取机构两侧的机台拿取一晶座盒。并且，当拿取机构拿取一晶座盒时，即可通过检测装置感应晶座盒的晶片，判断出晶座盒内的复数晶圆的制程纪录状态，以避免进行重复作业或是遗漏掉。
以上所述是本发明的较佳实施例及其所运用的技术原理，对于本领域的技术人员来说，在不背离本发明的精神和范围的情况下，任何基于本发明技术方案基础上的等效变换、简单替换等显而易见的改变，均属于本发明保护范围之内。

Claims (10)

1.半导体制程输送***，其特征在于，包括：
一位移机构，包括一沿一第一方向延伸的第一轨道；
复数机台，复数机台分别设于该第一轨道的两侧，各机台具有一工作平台，该工作平台供置放至少一晶座盒，各晶座盒供容置至少一晶圆，各工作平台具有一邻近且面对该第一轨道的入料端；
一拿取机构，可活动地设于该第一轨道且可移动至其中一机台的入料端，以自其中一工作平台拿取一晶座盒或将一晶座盒置放于其中一工作平台。
2.如权利要求1所述的半导体制程输送***，其特征在于，所述拿取机构设有一转动机构，该转动机构连接于所述第一轨道与拿取机构之间，该转动机构可选择性地沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动，以转动所述拿取机构，以将所述晶座盒的一开口面以朝向所述机台的入料端的方向将所述晶座盒放置至所述工作平台。
3.如权利要求2所述的半导体制程输送***，其特征在于，所述转动机构包括一枢座及一转轴，该枢座滑设于所述第一轨道，该转轴以垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动地设于该枢座并连接于所述拿取机构。
4.如权利要求3所述的半导体制程输送***，其特征在于，所述转轴可沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向移动，所述第一轨道沿一横向于所述第一方向的第二方向滑设于一第二轨道，该第二方向平行于所述工作平台的平面方向。
5.如权利要求1所述的半导体制程输送***，其特征在于，所述第一轨道沿一横向于所述第一方向的第二方向滑设于一第二轨道，该第二方向平行于所述工作平台的平面方向。
6.如权利要求1所述的半导体制程输送***，其特征在于，所述拿取机构包括两侧板及一取料件，该取料件设于两侧板之间并供可选择地与所述晶座盒相连接。
7.如权利要求1所述的半导体制程输送***，其特征在于，各晶座盒设有一晶片，该晶片供记录容置于所述晶座盒内的复数晶圆的制程纪录，所述拿取机构设有一感应装置，该感应装置供感应所述拿取机构所拿取的晶座盒的晶片。
8.如权利要求1所述的半导体制程输送***，其特征在于，还包括一置晶匣集中站，该置晶匣集中站供复数晶座盒集中容置并相互堆叠，所述拿取机构可移动至其中一机台的入料端与该置晶匣集中站之间，以自其中一工作平台拿取一晶座盒并将该晶座盒置放于该置晶匣集中站；或自该置晶匣集中站拿取一晶座盒并将该晶座盒置放于其中一工作平台。
9.半导体制程输送方法，其特征在于，包括以下步骤：
(a)提供一沿一第一方向延伸的第一轨道；
(b)将复数机台分别设于该第一轨道的两侧，并将一供置放至少一晶座盒的工作平台设于各机台，将至少一晶圆供容置于各晶座盒，各工作平台具有一邻近且面对该第一轨道的入料端；
(c)将一拿取机构可活动地设于该第一轨道，该拿取机构可活动至其中一机台的入料端，并通过该拿取机构自其中一工作平台拿取一晶座盒或将一晶座盒置放于其中一工作平台。
10.如权利要求9所述的半导体制程输送方法，其特征在于，将一转动机构设于所述拿取机构，通过该转动机构可选择性地沿垂直于复数工作平台的平面方向的方向转动并连接于所述第一轨道与拿取机构之间，所述拿取机构即可将所述晶座盒的一开口面朝向所述机台的入料端，并将所述晶座盒放置至所述工作平台。
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