TWI796376B - 氣化系統和氣化系統用程式 - Google Patents

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Abstract

本發明提供氣化系統和氣化系統用程式，不使用壓力感測器就能適當控制液體材料的供給。氣化系統（100）包括：氣化器（21），使液體材料氣化；供給量控制設備（22），控制向氣化器（21）供給的液體材料的供給量；流量調整閥（32），調整氣化器（21）生成的氣化氣體的流量；流量感測器，測定氣化氣體的流量；閥控制部（43），向流量調整閥（32）輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量。還包括：驅動訊號值取得部（44），取得作為驅動訊號所表示的值的驅動訊號值；供給控制部（45），基於驅動訊號值向供給量控制設備（22）輸出控制訊號，控制液體材料的供給。

Description

氣化系統和氣化系統用程式
本發明涉及使液體材料氣化的氣化系統和用於氣化系統的氣化系統用程式。
以往，作為生成例如用於成膜工序等半導體製造工序的氣體的裝置，如專利文獻1所示，採用使液體材料氣化的氣化系統。
這種氣化系統包括一種如下的氣化系統：在由氣化器生成的氣化氣體的流道上設置壓力感測器，監視氣化器內的壓力。由此，在氣化器內的壓力伴隨氣化器內的液體材料的減少而下降並低於閾值時，通過向氣化器供給液體材料來防止氣化器內的液體材料枯竭，或者在氣化器內的壓力氣伴隨向氣化器供給液體材料而上升並高於閾值時，停止供給液體材料來防止液體材料從氣化器溢出。
但是，在氣化氣體的流道上設置有壓力感測器時，需要使壓力感測器能夠耐高溫，由於這種壓力感測器價格高且大型，所以妨礙了低成本化和緊湊化。
此外，例如在進行壓力感測器的零點修正等校正時，存在需要清空氣化器而導致維護性變差的問題。
專利文獻1：日本專利公開公報特開2016-211021號
本發明是為了一舉解決上述問題點而完成的，本發明的主要課題在於不使用壓力感測器就能夠適當地控制液體材料的供給。
即，本發明的氣化系統包括：氣化器，使液體材料氣化；供給量控制設備，對朝向所述氣化器供給的液體材料的供給量進行控制；流量調整閥，調整由所述氣化器生成的氣化氣體的流量；流量感測器，測定所述氣化氣體的流量；閥控制部，向所述流量調整閥輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由所述流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量，所述氣化系統的特徵在於，還包括：驅動訊號值取得部，取得作為所述驅動訊號所表示的值的驅動訊號值；以及供給控制部，基於所述驅動訊號值向所述供給量控制設備輸出控制訊號，控制所述液體材料的供給。
在此，對氣化器內的壓力與驅動訊號值之間的關係進行說明。
如果氣化器內的壓力伴隨氣化器內的液體材料的減少而下降，則流入流量調整閥的氣化氣體的壓力下降，所以為了使測定流量成為設定流量，需要使閥開度變大。因此，如果氣化器內的壓力下降，則閥控制部例如針對常開型流量調整閥，使施加電壓或施加電流等驅動訊號值變小而使閥開度變大，並且針對常閉型流量調整閥，使施加電壓或施加電流等驅動訊號值變大而使閥開度變大。
另一方面，如果氣化器內的壓力伴隨向氣化器供給液體材料而上升，則流入流量調整閥的氣化氣體的壓力上升，所以為了使測定流量成為設定流量，需要使閥開度變小。因此，如果氣化器內的壓力上升，則閥控制部例如針對常開型流量調整閥，使施加電壓或施加電流等驅動訊號值變大而使閥開度變小，並且針對常閉型流量調整閥，使施加電壓或施加電流等驅動訊號值變小而使閥開度變小。
即，在流量調整閥是常開型的情況下，如果驅動訊號值變小，則表示氣化器內的液體材料減少且氣化器內的壓力下降，如果驅動訊號值變大，則表示氣化器內的液體材料增加且氣化器內的壓力上升。
另一方面，在流量調整閥是常閉型的情況下，如果驅動訊號值變大，則表示氣化器內的液體材料減少且氣化器內的壓力下降，如果驅動訊號值變小，則表示氣化器內的液體材料增加且氣化器內的壓力上升。
由此，如果是上述氣化系統，則通過基於輸入流量調整閥的驅動訊號的值，向供給量控制設備輸出控制訊號來控制液體材料的供給，由於能夠在液體材料枯竭之前向氣化器供給液體材料，或者是在液體材料從氣化器溢出之前停止液體材料的供給，所以不使用壓力感測器就能夠適當地控制液體材料的供給。
並且，在設定流量較小的情況下，如圖5所示，直到液體材料幾乎消耗完為止，基本上未觀察到伴隨氣化器內的液體材料的減少而產生的壓力下降。這是因為，在設定流量較小的情況下，能夠利用液體材料在氣化器內氣化而成的氣化氣體來補充從氣化器導出的氣化氣體，所以只要在氣化器內存在液體材料，則氣化器內的壓力與對應於液體材料溫度的蒸氣壓相等。
因此，由於直到液體材料幾乎消耗完為止，閥控制部不使閥開度變大，所以如果設定流量較小時基於驅動訊號值來控制液體材料的供給，則液體材料有可能枯竭。
在此，優選的是，所述氣化系統還包括設置於所述氣化器的液面感測器，所述供給控制部除了基於所述驅動訊號值以外，還基於來自液面感測器的檢測值，向所述供給量控制設備輸出控制訊號。
按照這種結構，由於能夠基於液面感測器的檢測值來控制液體材料的供給，所以即使設定流量較小時，也能夠適當地控制液體材料的供給。
優選的是，在所述驅動訊號值減小而低於預先設定的閾值的情況下，或者所述驅動訊號值增加而高於預先設定的閾值的情況下，所述供給控制部向所述供給量控制設備輸出控制訊號，開始所述液體材料的供給或停止所述液體材料的供給。
按照這種結構，能夠在液體材料枯竭之前向氣化器供給液體材料，或者是在液體材料從氣化器溢出之前停止液體材料的供給。
優選的是，所述閾值設定為預定的一個值。
按照這種結構，例如在設定流量設定為最大值等情況下，通過根據產生液體材料的枯竭的可能性高的條件來預先設定閾值，能夠不需要針對不同的設定流量進行閾值調整的動作、以及由供給控制部讀入針對不同的設定流量的閾值的動作等。
此外，本發明的氣化系統用程式用於氣化系統，所述氣化系統包括：氣化器，使液體材料氣化；供給量控制設備，對朝向所述氣化器供給的液體材料的供給量進行控制；流量調整閥，調整由所述氣化器生成的氣化氣體的流量；以及流量感測器，測定所述氣化氣體的流量，所述氣化系統用程式使電腦發揮以下功能：閥控制部，向所述流量調整閥輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由所述流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量；驅動訊號值取得部，取得作為所述驅動訊號所表示的值的驅動訊號值；以及供給控制部，基於所述驅動訊號值向所述供給量控制設備輸出控制訊號，控制所述液體材料的供給。
如果使用這種程式，則能夠獲得與上述氣化系統同樣的作用效果。
按照如此構成的本發明，不使用壓力感測器就能夠適當地控制液體材料的供給。
下面參照附圖，對本發明的氣化系統的一個實施方式進行說明。
本實施方式的氣化系統100例如組裝於半導體生產線等，用於向進行半導體製造工序的腔室供給預定流量的氣體，如圖1所示，其包括：氣化部2，使液體原料氣化；質量流量控制器3，控制由氣化部2氣化的氣體的流量；以及控制裝置4，控制氣化部2和質量流量控制器3的動作。
另外，在本實施方式中，構成氣化部2的各部分收容於第一箱體C1，構成質量流量控制器3的各部分收容在與第一箱體C1不同的第二箱體C2，但是也可以將構成氣化部2的各部分和構成質量流量控制器3的各部分收容於同一箱體。
氣化部2包括：氣化器21，例如利用烘烤方式使液體材料氣化；供給量控制設備22，對朝向氣化器21供給的液體材料的供給量進行控制；以及預熱器23，將朝向氣化器21供給的液體材料預熱至預定的溫度。
這些氣化器21、供給量控制設備22和預熱器23安裝於設備安裝面B1x，該設備安裝面B1x設定於主體塊B1（以下稱為第一主體塊B1）的一面，該主體塊B1為內部形成有流道的歧管塊。在此，第一主體塊B1例如由不鏽鋼管等金屬製成，形成為具有長邊方向的大體長方體形狀，所述設備安裝面B1x是形成為具有長邊方向的矩形的面。另外，本實施方式的第一主體塊B1以其長邊方向朝向上下方向（鉛垂方向）的方式設置於半導體生產線等。
氣化器21具有：作為氣化容器的儲存容器211，在內部具有儲存液體材料的空間；以及氣化加熱器212，設置於該儲存容器211，用於使液體材料氣化。儲存容器211設置有用於檢測儲存的液體材料的儲存量的液面感測器213。本實施方式的液面感測器213設置成從儲存容器211的上壁***內部，具體地說，是測定該液面感測器213周圍的熱阻的所謂自發熱式液面感測器。另外，液面感測器213能夠使用液溫測定式、磁式、電容式和超聲波式等各種類型的液面感測器。
供給量控制設備22是對朝向氣化器21供給的液體材料的供給流量進行控制的控制閥，在本實施方式中是電磁開閉閥。具體地說，電磁開閉閥22的未圖示的閥體將形成於第一主體塊B1的內部流道的開口打開或關閉，從而將液體材料向氣化器21供給或停止供給。
如此，與使用質量流量控制器作為供給量控制設備22的情況相比，通過使用開閉閥作為供給量控制設備22，能夠使氣化部2小型化。此外，由於使用電磁開閉閥22作為供給量控制設備22，所以能夠通過使開閉時的動作平緩而減輕氣化器21內的急劇的壓力變動。
但是，供給量控制設備22並不是必須為開閉閥。作為其一例，供給量控制設備22例如也可以是壓電閥等控制閥或具備該控制閥的質量流量控制器等。在這種情況下，通過使用上述的液面感測器213的檢測值或朝向後述的流量調整閥32輸出的驅動訊號值，對控制閥的閥開度進行控制，從而能夠對朝向氣化器21供給的液體材料的供給量進行控制。
預熱器23具有：預熱塊231，在內部形成有供液體材料流動的流道；以及預熱加熱器232，設置於該預熱塊231，用於對液體材料進行預熱。利用該預熱器23將液體材料加熱至即將氣化的溫度（小於沸點）。
利用如此構成的氣化部2，通過使從液體材料導入口P1導入的液體材料在預熱器23的預熱塊231的流道內流動，從而液體材料被加熱至預定溫度。通過控制作為供給量控制設備的電磁開閉閥22，從而將由該預熱器23預熱的液體材料導入氣化器21。並且，成為在氣化器21中始終儲存有液體材料的狀態，並且使該液體材料氣化而連續生成該氣化氣體，並將該氣化氣體連續地導出到質量流量控制器3。
接著，對質量流量控制器3進行說明。
質量流量控制器3包括：流體檢測設備31，檢測在流道內流動的氣化氣體；以及流量調整閥32，控制在流道內流動的氣化氣體的流量。另外，流體檢測設備31是設置在流道的上游側的第一發熱電阻311和設置在流道的下游側的第二發熱電阻312。此外，流量調整閥32是對上述氣化器21生成的氣化氣體的流量進行控制的控制閥，在本實施方式中是所謂的常開型壓電閥。
這些流體檢測設備31和流量調整閥32安裝於設備安裝面B2x，該設備安裝面B2x設定於主體塊B2（以下稱為第二主體塊B2）的一面，該主體塊B2為在內部形成有流道的歧管塊。在此，第二主體塊B2例如由不鏽鋼管等金屬製成，並且形成為具有長邊方向的大體長方體形狀，所述設備安裝面B2x是形成為具有長邊方向的矩形的面。另外，第二主體塊B2的設備安裝面B2x的寬度尺寸與所述第一主體塊B1的設備安裝面B1x的寬度尺寸相同。
並且，質量流量控制器3的第二主體塊B2利用螺釘等連接於所述氣化部2的第一主體塊B1，從而形成主體塊B。該主體塊B在半導體生產線等上設置成其長邊方向朝向上下方向（鉛垂方向）以使液體材料導入口P1位於下側且氣化氣體導出口P2位於上側。另外，第二主體塊B2並不是必須與第一主體塊B1直接連接，例如借助配管接頭等以流通流體的方式連接即可。由此，通過間接地連接第二主體塊B2和第一主體塊B1，能夠將質量流量控制器3從氣化部2取下而成為單獨結構。由此，質量流量控制器3不受氣化部2的溫度的影響而穩定。
接著，對控制裝置4進行說明。
控制裝置4通過控制上述電磁開閉閥22，從而在氣化運轉時向氣化器21供給液體材料。
具體地說，控制裝置4是具有CPU、記憶體、AC/DC轉換器和輸入裝置等的所謂的電腦，通過由CPU執行存儲於所述記憶體的程式，從而如圖2所示，具有作為設定流量接收部41、流量算出部42、閥控制部43、驅動訊號值取得部44和供給控制部45的功能。
該氣化系統用程式能夠存儲於電腦可讀取的存儲介質來提供，這種「電腦可讀取的存儲介質」例如包括CD-ROM等光學介質或存儲卡等磁存儲介質等。此外，也可以通過網路下載來提供這種氣化系統用程式。
以下，對各部分進行說明。
設定流量接收部41接收設定流量訊號，所述設定流量訊號例如表示使用者利用鍵盤等輸入裝置進行輸入操作而發送的設定流量，或者從其他設備發送的設定流量。
流量算出部42取得來自流體檢測設備31的輸出訊號，算出在第二主體塊B2的內部流道內流動的氣化氣體的流量。在此，該流量算出部42和上述流體檢測設備31構成測定氣化氣體的流量的流量感測器，本實施方式的流量感測器是熱式流量感測器。另外，流量感測器也可以是壓力式流量感測器。
閥控制部43基於設定流量和由流量算出部42算出的測定流量來控制流量調整閥32，在此，向流量調整閥32輸出驅動訊號來控制閥開度，以使測定流量成為設定流量。驅動訊號是表示向流量調整閥32施加的施加電壓或施加電流（以下也稱為驅動訊號值）的訊號，在此，通過將該驅動訊號向流量調整閥32輸出，從而對閥開度進行回饋控制。
更具體地說，例如如果氣化器21內的壓力伴隨氣化器21內的液體材料的減少而下降，則流入流量調整閥32的氣化氣體的壓力下降，因此為了使測定流量成為設定流量，需要使流量調整閥32的閥開度變大。此時，閥控制部43使朝向流量調整閥32輸出的驅動訊號值變動，以使閥開度變大。
另一方面，例如如果向氣化器21內供給液體材料而使氣化器21內的壓力上升，則流入流量調整閥32的氣化氣體的壓力上升，因此為了使測定流量成為設定流量，需要使流量調整閥32的閥開度變小。此時，閥控制部43使朝向流量調整閥32輸出的驅動訊號值變動，以使閥開度變小。
在本實施方式中，如上所述，由於流量調整閥32是常開型，所以如圖3所示，在氣化器21內的壓力下降時（即，氣化器21內的液體材料減少而液位下降時），閥控制部43使驅動訊號值變小而使閥開度變大。另一方面，在氣化器21內的壓力上升時（即，氣化器內的液體材料增加而液位上升時），閥控制部43使驅動訊號值變大而使閥開度變小。
另外，如果流量調整閥32是常閉型，則在氣化器21內的壓力下降時，閥控制部43使驅動訊號值變大而使閥開度變大，在氣化器21內的壓力上升時，閥控制部43使驅動訊號值變小而使閥開度變小。
驅動訊號值取得部44取得從閥控制部43向流量調整閥32輸出的驅動訊號值，並且將該驅動訊號值向後述的供給控制部45發送。
供給控制部45基於由驅動訊號值取得部44取得的驅動訊號值來控制上述電磁開閉閥22。
具體地說，如圖3所示，供給控制部45對驅動訊號值與預先設定的閾值進行比較來控制電磁開閉閥22。在本實施方式中，如上所述，如果氣化器21內的壓力伴隨氣化器21內的液體材料的減少而下降，則從閥控制部43向流量調整閥32輸出的驅動訊號值也變小，因此驅動訊號值減小而低於閾值時，供給控制部45向電磁開閉閥22輸出控制訊號而開始液體材料的供給。
此後，從開始供給液體材料經過了預定時間後，供給控制部45向電磁開閉閥22輸出控制訊號而停止液體材料的供給。
另一方面，如上所述，如果氣化器21內的壓力伴隨向氣化器21內供給液體材料而上升，則從閥控制部43向流量調整閥32輸出的驅動訊號值也變大，因此驅動訊號值增加而高於閾值時，供給控制部45向電磁開閉閥22輸出控制訊號而停止液體材料的供給。在此，針對驅動訊號值減小的情況設定的閾值與針對驅動訊號值增加的情況設定的閾值是相同的值，但是也可以是不同的值。
在本實施方式中，如圖4所示，當設定流量變化時，針對該變化前後的不同的設定流量，驅動訊號值的閾值不變而保持為相同的值。但是，驅動訊號值的閾值也可以根據設定流量而設定為不同的值。
並且，當設定流量較小時，如圖5所示，直到液體材料幾乎消耗完為止，基本上未觀察到伴隨氣化器21內的液體材料的減少而產生的壓力下降。其原因在於，在設定流量較小時，利用液體材料在氣化器21內氣化而成的氣化氣體來補充從氣化器21導出的氣化氣體，所以只要存在液體材料，則氣化器21內的壓力與對應於液體材料溫度的蒸氣壓相等。由此，直到液體材料幾乎消耗完為止，閥控制部43不會以使閥開度變大的方式進行動作。即，當設定流量較小時，由於直到液體材料幾乎消耗完為止，從閥控制部43向流量調整閥32輸出的驅動訊號值幾乎不變動，所以如果想要基於驅動訊號值來控制液體材料的供給，則液體材料有可能枯竭。
對此，本實施方式的控制裝置4還具備作為液面取得部46的功能，閥控制部43除了基於上述的驅動訊號值以外，還基於由液面感測器213檢測出的檢測值來控制液體材料的供給。
液面取得部46取得從上述液面感測器213輸出的檢測值訊號，並且將該檢測值訊號所表示的檢測值（在此為液位）向上述供給控制部45發送。
並且，本實施方式的供給控制部45如圖4所示，在由液面感測器213檢測出的液位低於預定的最低液位時或高於預定的最高液位時，將表示該情況的異常訊號從液面取得部46向供給控制部45輸出，供給控制部45與驅動訊號值無關地強制性地使電磁開閉閥22導通或斷開。
具體地說，例如當由液面感測器213檢測出的液位低於最低液位時，供給控制部45向電磁開閉閥22輸出控制訊號，開始向氣化器21供給液體材料，當由液面感測器213檢測出的液位高於最高液位時，停止液體材料的供給。
接著，參照圖6的流程圖，對本實施方式的氣化系統100的動作進行說明。
首先，如果開始氣化系統100的動作，則液面取得部46取得由液面感測器檢測出的液位，判斷液位是高於最高液位、低於最低液位、還是處於最高液位和最低液位之間（S1）。
當液位低於最低液位時，表示該情況的異常訊號從液面取得部46向供給控制部45輸出，供給控制部45使電磁開閉閥22打開（S2）。此外，當液位高於最高液位時，表示該情況的異常訊號從液面取得部46向供給控制部45輸出，供給控制部45使電磁開閉閥22關閉（S3）。
另一方面，當液位處於最高液位和最低液位之間時，驅動訊號值取得部44從閥控制部43取得驅動訊號值，並且供給控制部45基於該驅動訊號值向電磁開閉閥22輸出控制訊號。
具體地說，供給控制部45對驅動訊號值和預定的閾值進行比較，判斷是驅動訊號值低於閾值，還是驅動訊號值高於閾值（S4）。
並且，當驅動訊號值減小而低於閾值時，供給控制部45向電磁開閉閥22輸出控制訊號而使電磁開閉閥22打開（S2），從而開始液體材料的供給。
另一方面，當驅動訊號值高於閾值時，供給控制部45向電磁開閉閥22輸出控制訊號而使電磁開閉閥關閉（S3），從而停止液體材料的供給。
此後返回S1，反復進行上述動作，直到用於使氣化系統100的動作結束的動作結束訊號被輸入控制裝置4。
按照如此構成的本實施方式的氣化系統100，由於供給控制部45基於從閥控制部43向流量調整閥32輸出的驅動訊號值，向電磁開閉閥22輸出控制訊號，所以不設置用於檢測氣化器21內的壓力的壓力感測器，就可以在氣化器21內的液體材料枯竭之前的適當時機向氣化器21供給液體材料，或者是在液體材料從氣化器21溢出之前停止液體材料的供給。
其結果，由於不需要壓力感測器，所以相應地在實現成本削減和系統小型化的基礎上，不需要進行壓力感測器校正時所需的清空氣化器21的作業，從而也實現了維護性的提高。
另外，除了驅動訊號值以外，例如也可以考慮利用溫度等各種參數來算出閥控制部43的閥開度，並且利用該閥開度來控制電磁開閉閥22，但是由於包含各種參數而使控制變得複雜從而難以利用。
此外，像以往那樣對壓力感測器檢測出的氣化容器211內的壓力和閾值進行比較來控制液體材料的供給時，由於根據質量流量控制器3的設定流量的不同，所需要的氣化容器211內的壓力也不同，所以需要根據各設定流量來設定壓力的閾值。此外，當設定流量較大時，在氣化容器211內氣化的氣化氣體的流量有時追趕不上從氣化容器211導出的氣化氣體的流量，於是，氣化容器211內的壓力變動（下降），所以非常難以適當地設定閾值。此外，由於由壓力感測器檢測出的壓力受到質量流量控制器3的次級（下游側）的壓力的影響，所以需要在質量流量控制器的次級另行設置壓力感測器等，並且進行與次級壓力對應的閾值的設定和考慮次級壓力的修正等。
對此，如上所述，由於本實施方式的氣化系統100可以不需要壓力感測器，所以能夠解決伴隨使用壓力感測器的控制而產生的上述各種問題。
在此，例如因氣化氣體流動的流道或流量調整閥32堵塞等而產生壓力損失時，為了確保氣化氣體的流量，質量流量控制器3以使流量調整閥32的閥開度變大的方式進行動作。
此時，按照本實施方式的氣化系統100，以如下方式動作：取得使上述閥開度變大的動作的驅動訊號值，對該驅動訊號值和閾值進行比較並向容器供給液體材料，從而提高容器內的壓力。因此，即使在產生了上述壓力損失的情況下，也不需要進行特別的修正或設置閾值，能夠長期使用而實現長壽命化。
此外，由於驅動訊號值的閾值針對不同的設定流量設定為相同的值，所以能夠不需要針對不同的設定流量進行閾值調整的動作、以及由供給控制部45讀入針對不同的設定流量設定的閾值的動作等。
此外，由於供給控制部45除了基於驅動訊號值以外，還基於來自液面感測器213的檢測值，向電磁開閉閥22輸出控制訊號，所以即使在設定流量較小的情況下，也能夠基於液面感測器的檢測值來控制液體材料的供給，從而能夠針對各種設定流量適當地控制液體材料的供給。
另外，本發明並不限定於所述實施方式。
例如，在所述實施方式中，對流量調整閥32是常開型的情況進行了說明，但是在流量調整閥32是常閉型的情況下，如果氣化器21內的壓力伴隨氣化器21內的液體材料的減少而下降，則從閥控制部43向流量調整閥32輸出的驅動訊號值變大。在這種情況下，作為供給控制部45的功能，可以列舉如下方式：當驅動訊號值增加而高於閾值時，向電磁開閉閥22輸出控制訊號而開始液體材料的供給。
此外，控制裝置4也可以包括控制方式切換部，該控制方式切換部基於設定流量，將供給控制部45控制電磁開閉閥22的控制方式切換為第一控制方式和第二控制方式，該第一控制方式基於驅動訊號值向電磁開閉閥22輸出控制訊號，該第二控制方式基於來自液面感測器213的檢測值向電磁開閉閥22輸出控制訊號。另外，也可以代替設定流量，而是使用由流量算出部42算出的測定流量。
具體地說，該控制方式切換部可以列舉以下述方式構成：對設定流量和預先設定的第一流量進行比較，當設定流量大於第一流量時，使供給控制部45成為第一控制方式，並且當設定流量小於第一流量時，使供給控制部45的控制方式從第一控制方式變為第二控制方式。
此外，該控制方式切換部也可以如下構成：當預定的第二流量大於第一流量且設定流量比該預定的第二流量更大時，將供給控制部45的控制方式從第一控制方式切換為第二控制方式。
在所述實施方式中，用於控制質量流量控制器3的動作的設定流量接收部41、流量算出部42和閥控制部43的功能，以及用於對朝向氣化器21的液體材料的供給進行控制的驅動訊號值取得部44、供給控制部45和液面取得部46的功能由共通的控制裝置4所具備，但是這些功能也可以由不同的兩個或兩個以上的控制裝置所具備。
此外，第一主體塊B1和第二主體塊B2配置成其長邊方向朝向上下方向（鉛垂方向），但是也可以將第一主體塊B1和第二主體塊B2配置成其長邊方向朝向水平方向。此外，第一主體塊B1和第二主體塊B2也可以是一體塊。
此外，基於朝向流量調整閥施加的施加電壓或施加電流等驅動訊號值，來控制流量調整閥的上游側的流體的流量或壓力的方法並不限定應用於氣化系統，能夠應用於各種流體控制系統，由此，能夠不使用壓力感測器來控制流體。
此外，所述實施方式的氣化系統用於使液體材料氣化，但是例如也可以用於使固體材料熔化而成的液體材料氣化。
此外，本發明並不限定於所述實施方式，能夠在不脫離本發明宗旨的範圍內進行各種變形。
100‧‧‧氣化系統2‧‧‧氣化部21‧‧‧氣化器211‧‧‧儲存容器212‧‧‧氣化加熱器213‧‧‧液面感測器22‧‧‧供給量控制設備23‧‧‧預熱器231‧‧‧預熱塊232‧‧‧預熱加熱器3‧‧‧質量流量控制器31‧‧‧流體檢測設備311‧‧‧第一發熱電阻312‧‧‧第二發熱電阻32‧‧‧流量調整閥4‧‧‧控制裝置41‧‧‧流量接收部42‧‧‧流量算出部43‧‧‧閥控制部44‧‧‧驅動訊號值取得部45‧‧‧供給控制部46‧‧‧液面取得部B‧‧‧主體塊B1‧‧‧第一主體塊B1x、B2x‧‧‧設備安裝面B2‧‧‧第二主體塊C1‧‧‧第一箱體C2‧‧‧第二箱體P1‧‧‧液體材料導入口P2‧‧‧氣化氣體導出口
圖1是示意性表示本實施方式的氣化系統的整體結構的圖。 圖2是表示同一實施方式的控制裝置的功能的功能框圖。 圖3是用於說明同一實施方式的控制裝置的控制內容的圖。 圖4是用於說明同一實施方式的控制裝置的第一控制方式和第二控制方式的圖。 圖5是表示氣化器內的液體材料的儲存量與氣化器內的壓力之間的關係的圖。 圖6是表示同一實施方式的控制裝置的動作的流程圖。

Claims (5)

  1. 一種氣化系統，其包括：氣化器，使液體材料氣化；供給量控制設備，對朝向所述氣化器供給的液體材料的供給量進行控制；流量調整閥，調整由所述氣化器生成的氣化氣體的流量；流量感測器，測定所述氣化氣體的流量；閥控制部，向所述流量調整閥輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由所述流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量，所述氣化系統的特徵在於，還包括：驅動訊號值取得部，取得作為由所述閥控制部向所述流量調整閥輸出的所述驅動訊號所表示的值的驅動訊號值，且所述驅動訊號值表示向流量調整閥施加的施加電壓或施加電流；以及供給控制部，基於表示向流量調整閥施加的施加電壓或施加電流的所述驅動訊號值向所述供給量控制設備輸出控制訊號，控制所述液體材料的供給。
  2. 如請求項1所述的氣化系統，其特徵在於，還包括設置於所述氣化器的液面感測器，所述供給控制部除了基於所述驅動訊號值以外，還基於來自液面感測器的檢測值，向所述供給量控制設備輸出控制訊號。
  3. 如請求項1所述的氣化系統，其特徵在於，在所述驅動訊號值減小而低於預先設定的閾值的情況下，或者所述驅 動訊號值增加而高於預先設定的閾值的情況下，所述供給控制部向所述供給量控制設備輸出控制訊號，開始所述液體材料的供給或停止所述液體材料的供給。
  4. 如請求項3所述的氣化系統，其特徵在於，所述閾值設定為預定的一個值。
  5. 一種氣化系統用程式，用於氣化系統，其特徵在於，所述氣化系統包括：氣化器，使液體材料氣化；供給量控制設備，對朝向所述氣化器供給的液體材料的供給量進行控制；流量調整閥，調整由所述氣化器生成的氣化氣體的流量；以及流量感測器，測定所述氣化氣體的流量，所述氣化系統用程式的特徵在於，使電腦發揮以下功能：閥控制部，向所述流量調整閥輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由所述流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量；驅動訊號值取得部，取得作為由所述閥控制部向所述流量調整閥輸出的所述驅動訊號所表示的值的驅動訊號值，且所述驅動訊號值表示向流量調整閥施加的施加電壓或施加電流；以及供給控制部，基於表示向流量調整閥施加的施加電壓或施加電流的所述驅動訊號值向所述供給量控制設備輸出控制訊號，控制所述液體材料的供給。
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