JP7054297B2 - 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム - Google Patents
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Description
L 流路
10 本体ブロック
20 流量センサ
30 流体制御弁
32 弁体
32a 着座面
34 ソレノイドコイル
35 弁座
35a 弁座面
40 筐体
50 基板
51 ダイオード
60 制御部
65 補正部
66 制御量算出部
Claims (7)
- 流体の圧力又は流量を測定する流体センサと、
前記流体を制御する流体制御弁と、
前記流体制御弁の温度を測定する温度センサと、
前記流体センサで測定される流体測定値が予め定められた流体目標値に近づくように、前記流体制御弁に対してその弁開度を制御するための制御量を出力する制御部と、を具備し、
前記制御部が、
前記流体測定値と前記流体目標値との偏差に基づき前記制御量を算出する制御量算出部と、
前記温度センサで測定される温度測定値が予め定められた温度設定値に対して低温側である場合と高温側である場合とで、前記制御量算出部において前記偏差が同一である場合に算出される前記制御量が異なる値になるように補正する補正部と、を備え、
前記補正部が、前記温度測定値が前記温度設定値に対して低温側である場合よりも高温側である場合の方が、前記制御量算出部において前記偏差が同一である場合に算出される制御量が小さい値になるように補正することを特徴とする流体制御装置。 - 前記制御部が、前記偏差に基づき前記流体制御弁の弁開度をPID制御するものであり、
前記補正部が、前記温度測定値が前記温度設定値に対して低温側である場合よりも高温側である場合の方が、前記PID制御の係数が小さい値になるように変化させるものである請求項1記載の流体制御装置。 - 前記補正部が、前記温度測定値が前記温度設定値よりも低い温度である場合に用いられる前記PID制御の初期係数の倍率を変化させることにより、前記温度測定値が前記温度設定値よりも高い温度になるに従って前記PID制御の係数が前記初期係数よりも徐々に小さい値になるように変化させるものである請求項2記載の流体制御装置。
- 前記流体制御弁が、前記制御部から入力される制御量に基づき駆動するソレノイドコイルによって弁開度を変化するように構成されている請求項1乃至3のいずれかに記載の流体制御装置。
- 前記温度センサが、前記流体制御弁の周囲に設置された電子回路に組み込まれている素子であって、当該素子の温度特性に基づき前記流体制御弁の周囲温度を測定するものである請求項1乃至4のいずれかに記載の流体制御装置。
- 前記温度センサが、前記流体制御弁に設置され、前記流体制御弁自体の温度を測定するものである請求項1乃至4のいずれかに記載の流体制御装置。
- 流体の圧力又は流量を測定する流体センサと、前記流体を制御する流体制御弁と、前記流体制御弁の温度を測定する温度センサと、前記流体センサで測定される流体測定値が予め定められた流体目標値に近づくように、前記流体制御弁に対してその弁開度を制御するための制御量を出力する制御部と、を具備する流体制御弁に用いられる流体制御装置用プログラムであって、
前記制御部が、前記流体測定値と前記流体目標値との偏差に基づき前記制御量を算出する場合に、前記温度センサで測定される温度測定値が予め定められた温度設定値に対して低温側である場合と高温側である場合とで、前記偏差が同一である場合に算出される前記制御量が異なる値になるように補正する機能をコンピュータに発揮させる構成において、
前記制御部が、前記温度測定値が前記温度設定値に対して低温側である場合よりも高温側である場合の方が、前記制御量の算出において前記偏差が同一である場合に算出される制御量が小さい値になるように補正することを特徴とする流体制御装置用プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017239268A JP7054297B2 (ja) | 2017-12-14 | 2017-12-14 | 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2017043648A1 (ja) | 2015-09-11 | 2017-03-16 | 日立金属株式会社 | 質量流量制御装置 |
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2017
- 2017-12-14 JP JP2017239268A patent/JP7054297B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2017043648A1 (ja) | 2015-09-11 | 2017-03-16 | 日立金属株式会社 | 質量流量制御装置 |
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