TWI731167B

TWI731167B - 玻璃板

Info

Publication number: TWI731167B
Application number: TW106132419A
Authority: TW
Inventors: 佐藤啓史; 似內佑輔; 中谷嘉孝; 山田兼士; 富永龍; 米道友廣
Original assignee: 日商Ａｇｃ股份有限公司
Priority date: 2016-09-21
Filing date: 2017-09-21
Publication date: 2021-06-21
Also published as: KR20180032202A; JP2018052805A; KR102420687B1; TW201813935A; JP6836699B2

Abstract

本發明提供一種成為吸附面之面業經粗化且已提升玻璃板之方向辨別性的玻璃板。玻璃板具備第1主面、第2主面、第1端面、第2端面、第3端面及第4端面。以反應氣體之氟化氫氣體將第2主面蝕刻，同時也利用滯留氣體蝕刻第1端面。其結果，第1主面之第1表面粗度變得比第2主面之第2表面粗度小，且第1端面之第1玻璃屑剝離率大於第2端面之第2玻璃屑剝離率，從而可防止吸附於載台之第2主面的剝離靜電，輕易辨別第1端面經表面粗化的玻璃板之方向性。

Description

玻璃板

本發明涉及一種使用於平面顯示器等之玻璃板。

已知在平面顯示器等之製造過程中，以真空吸附將玻璃板保持於載台(台座)上安裝電路等後再從載台拆除玻璃板時，會發生剝離靜電而於玻璃板上產生龜裂或裂痕，因此為了防止剝離靜電，必須將吸附面粗糙化(參照專利文獻1)。

專利文獻1中揭示了一種使用有具有含SiO₂ 、Al₂ O₃ 及B₂ O₃ 之組成之硼鋁矽酸鹽玻璃之基板的玻璃板，該玻璃板具備可形成半導體元件或色膜之表面的第1表面及與第1表面為相反側之第2表面，且第2表面具有大於-1.5且小於-0.5之Rsk，其藉由表面處理減少第2表面與載置玻璃板之平台(載台)表面接觸的面積，來更有效抑制玻璃基板的帶電狀況。

先前技術文獻專利文獻專利文獻1：日本專利特開2014-69999號公報

發明概要發明欲解決之課題專利文獻1中雖有防止第2表面之剝離靜電、減少破裂，但尚存有難以辨別將玻璃板裝於托架時之方向等而難以提升作業性的課題。

本發明提供一種成為吸附面之面業經粗化且已提升玻璃板之方向辨別性的玻璃板。用以解決課題之手段

本發明之玻璃板具有：第1主面；第2主面，其與前述第1主面相對向；及端面，其連接前述第1主面與前述第2主面；其中，前述端面具備第1端面，前述第1主面之第1表面粗度小於前述第2主面之第2表面粗度，且前述第1端面之第1玻璃屑剝離率與另一端面之玻璃屑剝離率互異。發明效果

根據本發明可提供一種玻璃板，其利用反應氣體將第2主面予以表面粗化，可防止吸附於載台上後再從載台剝離時的剝離靜電，同時藉由使第1端面之第1玻璃屑剝離率與另一端面之玻璃屑剝離率互異而可輕易地辨別方向性。

用以實施發明之形態以下以圖式詳細說明本發明之玻璃板的具體實施形態。

圖1(a)~(b)顯示本發明之玻璃板一例，圖1(a)為前視立體圖，圖1(b)為輸送裝置內之輸送狀態的概念圖。圖2(a)~(c)顯示本發明之玻璃板一例，圖2(a)為前視圖，圖2(b)為右側視圖，圖2(c)為仰視圖。利用玻璃板之圖1(a)~圖2(c)詳述玻璃板一例。

本實施形態之玻璃板1呈略矩形，具備第1主面10、與第1主面10相對向之第2主面20及連接第1主面10與第2主面20之4個端面，4個端面具有第1端面30、第2端面40、第3端面50及第4端面60，其中，第2端面40與第1端面30相對向，第3端面50連接第1端面30之一端與第2端面40之一端，第4端面60則連接第1端面30之另一端與第2端面40之另一端且和第3端面50相對向。

在輸送玻璃板1之輸送裝置100中：上面為第1主面10；與旋轉輥101接觸且被反應氣體之氟化氫氣體(HF)蝕刻的面為第2主面20；輸送方向(對照圖中箭頭方向)之前端面為第1端面30；與第1端面30相反側之端面為第2端面40；從玻璃板1之第1主面10側觀看，右側為第3端面50，左側為第4端面60。

又，如圖2(a)所示，玻璃板1之第1主面10具備邊緣區11，其自第1、第2、第3、第4端面30、40、50、60之任一端面起向玻璃板1之中央側佔據預定幅寬(譬如約20mm)；及中央區12，其佔據比邊緣區11更靠中央側之部位。

如圖2(b)所示，玻璃板1之第1端面30具備佔據第1主面10側之第1區31及佔據第2主面20側之第2區32。而且，在本實施形態中第1區31與第2區32之邊界有時會因為玻璃板1彎曲而呈波形形狀。

如圖2(c)所示，玻璃板之第3端面50具備靠第1端面30側之第3區51及靠第2端面40側之第4區52。亦即，相對於玻璃板1之輸送方向，第3區51位於上游側。

本實施形態之玻璃板1可用來製造譬如液晶顯示器及有機EL顯示器等平面顯示器(FPD)。玻璃板1譬如為板厚約0.2mm~0.8mm且縱橫約600mm~3000mm之矩形。另，玻璃板亦會以玻璃基板表示。

玻璃板1之第1主面10在FPD製造步驟中係可形成含有TFT等半導體元件、彩色濾光片及黑矩陣(BM)等多層薄膜之面。

玻璃板1只要為矽酸鹽玻璃，其組成即無特別限定，譬如當為FPD用玻璃基板時，以具有含SiO₂ 、Al₂ O₃ 、B₂ O₃ 及鹼土類金屬氧化物之組成的鋁矽酸鹽玻璃為宜。又，從抑制可形成之元件的密著性及不良狀況的觀點來看，鋁矽酸鹽玻璃中又以實質上不含鹼金屬成分之所謂的無鹼玻璃較佳。另，實質上不含鹼金屬成分除了意指完全不含鹼金屬成分以外，還允許含有製造上無法避免之成分者。具體上，玻璃組成中之鹼金屬氧化物含量宜為0.1質量%以下。

圖3係顯示本實施形態之玻璃板1之輸送狀態的概念圖。以圖3詳述本發明之目的。

輸送裝置100係在製造玻璃板1之步驟中將已裁切成預定尺寸之玻璃板一片一片連續朝預定方向輸送，且其具備多個由未圖示之驅動裝置等驅動旋轉的旋轉輥101及配置於旋轉輥101下方的噴嘴102。

噴嘴102係針對由輸送裝置100輸送之玻璃板1，在對玻璃板1之輸送方向呈略垂直的方向，從玻璃板1下側噴吹反應氣體。藉此將玻璃板1之第2主面20予以蝕刻(表面粗化)。又，噴嘴102具有供給反應氣體的氣體供給徑103及抽吸反應氣體的氣體抽吸徑104。

氣體供給徑103與設於外部之譬如未圖示之供給原料氣體的原料氣體供給裝置連接。原料氣體含有譬如氟系原料氣體及載氣。

氟系原料氣體係用來生成與玻璃板1表面進行反應的氟系反應成分。氟系反應成分可藉由將氟系原料氣體電漿化(包含分解、冷氣、活性化、離子化等)而生成。載氣係用來輸送及稀釋氟系原料氣體或是進行電漿放電。在本實施形態中係使用CF₄ 作為氟系原料氣體及使用氬作為載氣。

另，氟系原料氣體不限於此，亦可使用C₂ F₆ 、C₃ F₈ 等其他全氟碳化物、CHF₃ 、CH₂ F₂ 、CH₃ F等氫氟碳及SF₆ 、NF₃ 、XeF₂ 等其他含氟化合物。又，載氣不限於此，亦可使用N₂ 、氦、氖、氙等其他惰性氣體。

在本實施形態中係將玻璃板1一片一片送進反應氣體中將第2主面20予以蝕刻，所以也能利用滯留在輸送裝置100內之氣體G將第1端面30側予以蝕刻。藉由將第1端面30側粗糙化，可辨別玻璃板1之偏向(方向)。為了使滯留氣體G特意存在以加以利用，便無須對每一個輸送來的玻璃板1去除反應氣體或停止流程。在本實施形態中係透過氣體抽吸徑104從輸送裝置100內抽吸反應氣體。在本實施形態，為了使相對於輸送方向位於前端側之端面的第1端面30也同時粗糙化，可特意使反應氣體滯留於輸送裝置100內。滯留氣體G之量可考慮表面粗化的程度來控制。另外亦可刻意控制使反應氣體之密度、濃度愈向玻璃板1之輸送方向後側變得愈小。如此一來，第2主面20及邊緣區11中，沿第1端面30之區域就能被氣體處理。

反應氣體係為了蝕刻第2主面20而使用，所以玻璃板1之第1主面10中尤其是中央區12不表面粗化為宜。第1主面10之第1表面粗度係小於第2主面20之第2表面粗度。在此，第1表面粗度係從中央區12內隨機抽出6處所測之值的平均，第2表面粗度則係與後述圖4(a)之(1)~(6)相對應之第2主面20上之位置的測定值平均。第1主面即為適合形成半導體元件等之面。

有時必須辨別從生產線下線後之玻璃板1在工廠內裝於托架時的方向，或是辨別在交貨點製程輸送上欲確認之該玻璃板1的方向，所以若能輕易辨識出玻璃板1之方向，便可謀求作業效率之提升。又，譬如有時會在使玻璃板1傾斜立起5度左右的狀態下進行輸送，而此時與下側輸送機接觸之邊的表面粗度若太小，玻璃板1與輸送機之摩擦就會太小而滑動。

在本實施形態中，藉由製作一個特意粗化之端面(第1端面30)，以可輕易辨別玻璃板1之方向。又，若以該端面向下來配置玻璃板1，便可輕易解除相對於載置面(輸送機)滑動之問題。

圖4(a)~(b)顯示第1主面10之氟量與Al/Si比的測定結果，圖4(a)為測定點的前視圖，圖4(b)為氟量測定結果表及Al/Si測定結果的表格。又，由於在經過追加實施簡易的洗淨後便幾乎測不到氟，因此圖4(b)係顯示洗淨前之數值，惟Al/Si值即使經過洗淨亦不變，故洗淨前之任一數值皆有效。

另外，Al/Si比係使用X射線光電子光譜法測得之玻璃板1表面(第1主面10)的Al濃度及Si濃度之比值，亦即Al之atm%及Si之atm%之比值。測定裝置係使用ULVAC-PHI, Inc.製ESCA5500，用Si(2p)及Al(2p)之尖峰，在通能117.4eV、能階0.5eV/step、掠出角(試料表面與檢測器構成之角度)150°的條件下進行測定。光譜之解析則使用解析軟體Multi Pak Ver.8.2。氟量(氟含量)亦以相同方法測定。

測定點有6個，在玻璃板1之第1主面10上以(1)~(6)標示(對照圖4(a))。(1)為第1主面10之靠近第1端面30與第4端面60之角側附近，(2)為第1主面10之靠近第1端面30與第3端面50之角側附近，(3)為第1主面10之靠近第2端面40與第3端面50之角側附近，(4)為第1主面10之靠近第2端面40與第4端面60之角側附近，(5)為第1主面10的中央附近，(6)為第1端面30附近且在(1)與(2)中間。又，測定點(1)~(4)及(6)係位於第1主面10之邊緣區11。

根據第1主面10之氟量(atm%)測定結果(對照圖4(b))，相較於其他測定點(3)、(4)、(5)，在靠近第1端面30之測定點(1)、(2)、(6)的氟量較多，而可理解為反應氣體之氟化氫氣體有所影響。從表格可稱第2主面20或邊緣區11具有氟含量為0.35atm%以上之區域。又，最大值宜為0.50atm%以上，更宜為0.70atm%以上。

藉由定在上述數值範圍內，可使第1端面30充分粗化而輕易辨別玻璃板1之方向，且第2主面20可充分粗化而容易使玻璃板1吸附於載台且容易從載台剝離玻璃板1。

根據第1主面10之Al/Si比的測定結果(對照圖4(b))，相較於其他測定點(3)、(4)、(5)，靠近第1端面30之測定點(1)、(2)、(6)的Al/Si比較低，而可理解為Al被反應氣體之氟化氫氣體瀝濾，反應氣體發揮影響。本實施形態中，玻璃板1為化學強化玻璃之一種的鋁矽酸鹽玻璃(aluminosilicate glass)，曝露在反應氣體之氟化氫氣體下的部分會被瀝濾出Al，所以Al/Si值變小。又，本實施形態中使用之玻璃組成為Al/Si值約0.3之物。另，在本實施形態，Al有可能從玻璃成分瀝濾出而被F取代。

又，從表格可稱第2主面20或邊緣區11宜具有Al/Si為0.17以下之區域。而且較宜為0.15以下，更宜為0.13以下。另外雖無特別限定，不過譬如在第2主面20或邊緣區11之任一區中Al/Si為0.01以上即可。又，第2主面20或邊緣區11宜具有Al/Si平均值小於0.20之區域，更宜具有小於0.18之區域。又雖無特別限定，不過下限值譬如可為0.01以上。

便可輕易辨別玻璃板1之方向，且容易使玻璃板1吸附於載台及容易從載台剝離玻璃板1。

根據本實施形態，可提供一種第2主面20充分粗化，同時第1端面30也經表面粗化的玻璃板1。

接著以圖5(a)~圖8根據表示粗度之數個測定值詳述第2主面20及第1端面30經過表面粗化的狀態。

圖5(a)~(b)係測定第1端面30、第2端面40、第3端面50、第4端面60之玻璃屑剝離率的表格，圖5(a)為第1樣本，圖5(b)為第2樣本。玻璃屑指從玻璃板1剝落的微小玻璃粒。又，玻璃屑剝離率(單位：%)係藉由膠帶試驗以黏附於膠帶之黏著面上之玻璃屑的佔有面積比率(玻璃屑佔有率)求算。膠帶試驗係於玻璃板1之端面黏貼膠帶後，剝去膠帶，再以顯微鏡測定「有多少玻璃屑從玻璃板1之端面剝離及有多少玻璃屑附著於膠帶之黏著面上」的試驗。在顯微鏡測定下，自膠帶黏著面內隨機抽出125μm×125μm之面積並利用二值化處理抽出存在於該面積內的玻璃屑所佔面積，以表示125μm×125μm之面積內的存在率。以此方式求出每單位面積之玻璃屑佔有面積且以百分率表記者即為玻璃屑剝離率(玻璃屑佔有率)。又，膠帶試驗中使用之膠帶譬如可為JIS Z 0237：2009中規定之180°剝去黏著力為10N/25mm之物，剝去方法則可遵照JIS Z 0237：2009。

另，以下第1端面30之玻璃屑剝離率稱作第1玻璃屑剝離率，第2端面40之玻璃屑剝離率稱作第2玻璃屑剝離率，第3端面50之玻璃屑剝離率稱作第3玻璃屑剝離率，第4端面60之玻璃屑剝離率稱作第4玻璃屑剝離率。

從圖5(a)~(b)之表格可稱，第1端面30之第1玻璃屑剝離率宜分別大於第2端面之第2玻璃屑剝離率、大於第3端面50之第3玻璃屑剝離率且大於第4端面60之第4玻璃屑剝離率。即，可稱在全部的端面40、50、60中，第1端面30的玻璃屑剝離率最高為宜。因此，玻璃板1之偏向(方向)的辨別性便會進一步提高。

又，從圖5(a)~(b)之表格可稱，第2玻璃屑剝離率、第3玻璃屑剝離率及第4玻璃屑剝離率宜為第2玻璃屑剝離率、第3玻璃屑剝離率與第4玻璃屑剝離率之平均值的0.5倍以上且1.5倍以下。如此，可理解為第2端面40、第3端面50及第4端面60不會表現出明確的傾向，彼此沒有太大差異，僅第1端面30較大。因此，玻璃板1之偏向(方向)的辨別性便會進一步提高。

此外，圖5(a)之(第1端面30之玻璃屑剝離率)/(第2端面之玻璃屑剝離率)≒3.78、圖5(b)之(第1端面30之玻璃屑剝離率)/(第2端面之玻璃屑剝離率)≒5.24，由此可稱第1玻璃屑剝離率宜為第2玻璃屑剝離率之3倍以上。即可知，比起其他的端面40、50、60，僅第1端面30特別大。因此，藉由使第1端面30顯著粗糙化，可進一步提高玻璃板1之偏向(方向)的辨別性。又，上限值無特別限定，譬如可為20倍以下。又，在膠帶試驗中，第1樣本未產生長徑6μm以上的玻璃屑。另，第2樣本未產生長徑9μm以上的玻璃屑。此外，第2樣本作為玻璃基板具有充分的強度，而第1樣本的強度又比第2樣本強度高。由此可稱，從第1端面30剝離之玻璃屑大小宜為長徑10μm以下，較宜為小於長徑9μm，更宜為小於長徑6μm。即可知，第1端面30的玻璃屑容易剝離，但太大的玻璃屑不會剝離。藉由設定在上述範圍內，控制滯留氣體G之濃度即可使第1端面30粗化，且同時可抑制第1端面30之端面強度降低。又，下限值無特別限定，譬如可為長徑0.1μm以上。

另外，第1端面30中之第2主面側容易被蝕刻，因此第1玻璃屑剝離率可稱第2區32大於第1區31。而且，前文曾提及第1區31與第2區32之邊界有時會因為玻璃板彎曲而呈波形形狀。因此，在確認玻璃板1之方向的作業中可輕易地辨別玻璃板1之偏向(方向)。

就第3端面50之第3玻璃屑剝離率而言，可稱第3區51大於第4區52。即，第3端面50之側邊中，容易觸及滯留氣體G之輸送方向上游的玻璃屑剝離率較高，更加提高玻璃板1之偏向(方向)的辨別性。

圖6(a)~(b)係玻璃屑透過電子顯微鏡所得照片，圖6(a)為第1端面30，圖6(b)為第2端面40。黑色部分為玻璃屑，其他部分為膠帶。可知，比起第2端面40，第1端面30之玻璃屑較多。

圖7係測定第1端面30、第2端面40、第3端面50、第4端面60之粗度的表格。表中表示各粗度之指標(Ra及Rδc)定義如下。又，該等值如JIS B 0601：2013中規定。另，該等值係在各端面隨機測定5點，並將該等值予以平均所得。 Ra：「算術平均粗度」，係表示在基準長度之Z(x)(1個曲線的集合體)之絕對值平均值。 Rδc：「粗度曲線之裁切程度差異」，係表示與二個負載長度比(load length ratio)一致之高度方向上的裁切程度c之差值。

從圖7之表格可知，第1端面30之Ra及Rδc之值大於其他端面40、50、60之值。即，可稱第1端面30之表面粗度宜大於第2端面40之表面粗度。

而且，從圖5(a)~(b)及圖7之表格可知，第1主面10之第1表面粗度小於第2主面20之第2表面粗度，且第1端面30之第1玻璃屑剝離率大於第2端面40之第2玻璃屑剝離率。

因此，藉由將吸附於載台且要進行剝離之側的第2主面20之表面粗化可防止剝離靜電，且玻璃板1可輕易從真空吸附分離，而藉由第1端面30之表面粗化則可輕易知悉玻璃板1的方向性，譬如在交貨點進行輸送時，可謀求載置側之辨別作業的效率提升。

又，邊緣區11宜具有表面粗度大於中央區12之區域。在圖4(a)~(b)中可在第1主面之邊緣區11的輸送方向下游側確認反應氣體之影響，因此認為第1主面之邊緣區11也和第2主面20有同樣的表面特性。邊緣區11若具有表面粗度大於中央區12之區域，空氣便容易從該部位進入，所以可輕易剝離積層玻璃板1時的間隔紙。即，玻璃板1的周緣有一部分粗化，所以很容易掀起間隔紙。另外，邊緣區11若不適合半導體元件之形成，則可在後續步驟中切除，而僅將中央區12用於半導體元件之形成即可。

在輸送裝置100內輸送之玻璃板1最先進入的第1端面30會因反應氣體而變得比其他端面40、50、60更粗，且玻璃屑剝離率變大，故可辨別第1端面30。於是可賦予玻璃板1之偏向(方向)的辨別性，從而可輕易辨別玻璃板1之方向。

圖8係顯示以表示各粗度之指標測定第2主面20之數值的表格，樣本數N為5個(N=5)。

表中表示各粗度之指標(Rku、Rsk等)定義如下。又，該等指標由JIS B 0601：2013規定。

Rku：「粗度曲線之峰度」，係表示以均方根高度Rq之四次方進行無因次化的基準長度之Z(x)的四次方平均值。

Rsk：「粗度曲線之偏斜度」，係表示以均方根高度Rq之三次方進行無因次化的基準長度之Z(x)的三次方平均。其意指歪度，表示以平均線為中心時峰部與谷部之對稱性之值。亦為表示可利用原子力顯微鏡測定表面凹凸形狀的一種參數。

Rsm：「粗度曲線要素之平均長度」，係表示基準長度之輪廓曲線要素之長度Xs的平均值。 Rv：「粗度曲線之最大谷部深度」，係基準長度之輪廓曲線之谷部深度Zv的最大值。 Rz：「最大高度粗度」，係表示基準長度之輪廓曲線的峰部高度Zp之最大值Rp與谷部深度Zv之最大值Rv之和之值(Rz=Rp+Rv)。

比表面積率增加量係表示令基準平面之表面積為1時，測定第1主面10或第2主面20之比表面積後，該等值與基準平面之表面積的差值(亦即，從第1主面10或第2主面20之比表面積值減1所得之數值)(單位：%)。

在圖8之表格中，可顯示第2主面20或第1主面10之邊緣區11有進行所欲之表面粗化的證據，重要的即有Rsk值為正值且比表面積率增加量之數值高。

由該表可稱，第2主面20或第1主面10之邊緣區11含有Rsk(粗度曲線之偏斜度)為正值的區域。而且，Rsk之最大值宜為0.2以上，較宜為0.4以上，更宜為0.6以上。又，Rsk之最小值宜為0.1以下，較宜為0.05以下。此外，在第2主面20整體Rsk可為正值，屆時，第2主面20整體來看宜為0.005以上，較宜為0.008以上，更宜為0.010以上。

藉由表面粗化，可抑制剝離靜電，於是可輕易地將玻璃板1吸附於載台且輕易從載台剝離玻璃板1，也能輕易辨別玻璃板1之方向性。

又，由圖8之表格可稱，第2主面20或第1主面10之邊緣區11具備比表面積率增加量宜為0.01%以上的區域。而且，比表面積率增加量較宜為0.02%以上，更宜為0.03%以上。又，比表面積率增加量的最大值宜為0.05%以上，較宜為0.07%以上，更宜為0.10%以上。

在本實施形態之說明中雖採用了第1、第2等詞，但並非限定位置或方向性之用語。又，雖然說明了第1端面30之表面粗化，但依生產線，有時將第3端面50或第4端面60粗糙化可能較為有利，故方向性辨別只要有一端面粗糙化即可，無特別限定。

又，本發明不受上述實施形態限定，可適當進行變形、改良等。此外，只要可達成本發明，上述實施形態中之各構成要素的材質、形狀、尺寸、數值、形態、數量、配置處等皆為任意，不受限定。

尤其在本實施形態中雖以略矩形之玻璃板表示，但亦可為稱為切角之已切去矩形玻璃板之四角的玻璃板。

根據以上事項，本說明書揭示下列內容。 [1]一種玻璃板，其特徵在於具有：第1主面；第2主面，其與前述第1主面相對向；及端面，其連接前述第1主面與前述第2主面；其中，前述端面具備第1端面，前述第1主面之第1表面粗度小於前述第2主面之第2表面粗度，且前述第1端面之第1玻璃屑剝離率與另一端面之玻璃屑剝離率互異。 [2]如[1]記載之玻璃板，其中前述端面具備與前述第1端面相對向之第2端面，且前述第1端面之前述第1玻璃屑剝離率大於前述第2端面之第2玻璃屑剝離率。 [3]如[1]或[2]記載之玻璃板，其中前述端面具備：第3端面，其連接前述第1端面之一端與前述第2端面之一端；及第4端面，其連接前述第1端面之另一端與前述第2端面之另一端並與前述第3端面相對向；並且，前述第1玻璃屑剝離率大於前述第3端面之第3玻璃屑剝離率，且前述第1玻璃屑剝離率大於前述第4端面之第4玻璃屑剝離率。 [4]如[3]記載之玻璃板，其中前述第2玻璃屑剝離率、前述第3玻璃屑剝離率及前述第4玻璃屑剝離率為前述第2玻璃屑剝離率、前述第3玻璃屑剝離率與前述第4玻璃屑剝離率之平均值的0.5倍以上且1.5倍以下。 [5]如[2]至[4]中任一項記載之玻璃板，其中前述第1玻璃屑剝離率為前述第2玻璃屑剝離率之3倍以上。 [6]如[1]至[5]中任一項記載之玻璃板，其自前述第1端面剝離之玻璃屑的大小為長徑10μm以下。 [7]如[2]記載之玻璃板，其中前述第1端面之表面粗度大於前述第2端面之表面粗度。 [8]如[1]至[7]中任一項記載之玻璃板，其中前述第1端面具備佔據前述第1主面側之第1區及佔據前述第2主面側之第2區，且前述第1玻璃屑剝離率係前述第2區大於前述第1區。 [9]如[8]記載之玻璃板，其中前述第1區與前述第2區之邊界呈波形形狀。 [10]如[3]載之玻璃板，其中前述第3端面具備靠前述第1端面側之第3區及靠第2端面側之第4區，且前述第3玻璃屑剝離率係前述第3區大於前述第4區。 [11]如[3]記載之玻璃板，其中前述第1主面具備：邊緣區，其自前述第1、第2、第3、第4端面之任一端面起，向前述玻璃板之中央側佔據預定幅寬；及中央區，其佔據比前述邊緣區更靠中央側之部位；並且，前述邊緣區具有表面粗度大於前述中央區之區域。 [12]如[11]記載之玻璃板，其中前述第2主面或前述邊緣區具有粗度曲線之偏斜度(Rsk)為正值的區域。 [13]如[11]記載之玻璃板，其中前述第2主面或前述邊緣區具有比表面積率增加量為0.01%以上之區域。 [14]如[11]記載之玻璃板，其中前述第2主面或前述邊緣區具有氟含量為0.35atm%以上之區域。 [15]如[11]記載之玻璃板，其中前述第2主面或前述邊緣區具有Al/Si為0.17以下之區域。 [16]如[11]記載之玻璃板，其中前述邊緣區係一自前述第1端面起向前述玻璃板之中央側佔據預定幅寬的區域。

產業上之可利用性本發明之玻璃板可防止與載台接觸面之剝離靜電，適合用於需要辨別端面側之方向的玻璃板。

雖已參照特定實施態樣詳細說明本發明，但顯然熟知此項技藝之人士可在不脫離本發明精神及範圍之前提下施予各種變更或修正。本申請案係立基於2016年9月21日提申之日本專利申請案2016-184655及2017年9月19日提申之日本專利申請案2017-178952，並在此將其內容納入作參考。

1‧‧‧玻璃板(玻璃基板)10‧‧‧第1主面11‧‧‧邊緣區12‧‧‧中央區20‧‧‧第2主面30‧‧‧第1端面31‧‧‧第1區32‧‧‧第2區40‧‧‧第2端面50‧‧‧第3端面51‧‧‧第3區52‧‧‧第4區60‧‧‧第4端面100‧‧‧輸送裝置101‧‧‧旋轉輥102‧‧‧噴嘴103‧‧‧氣體供給徑104‧‧‧氣體抽吸徑G‧‧‧滯留氣體

圖1(a)~(b)顯示本發明之玻璃板一例，圖1(a)為前視立體圖，圖1(b)為輸送裝置內之輸送狀態的概念圖。圖2(a)~(c)顯示本發明之玻璃板一例，圖2(a)為前視圖，圖2(b)為右側視圖，圖2(c)為仰視圖。圖3係顯示本發明之玻璃板之輸送狀態一例的概念圖。圖4(a)~(b)顯示本發明之玻璃板之第1主面之氟量與Al/Si比的測定結果，圖4(a)為測定點的前視圖，圖4(b)為氟量測定結果及Al/Si測定結果的表格。圖5(a)~(b)係測定本發明之玻璃板之各端面玻璃屑剝離率的表格，圖5(a)為第1樣本，圖5(b)為第2樣本。圖6(a)~(b)係本發明之玻璃板之玻璃屑透過電子顯微鏡所得照片，圖6(a)為第1端面，圖6(b)為第2端面。圖7係測定本發明之玻璃板之各端面粗度的表格。圖8係顯示利用表示本發明玻璃板之各粗度之指標所測之值的表格。

1‧‧‧玻璃板(玻璃基板)

10‧‧‧第1主面

20‧‧‧第2主面

30‧‧‧第1端面

40‧‧‧第2端面

50‧‧‧第3端面

60‧‧‧第4端面

100‧‧‧輸送裝置

101‧‧‧旋轉輥

102‧‧‧噴嘴

103‧‧‧氣體供給徑

104‧‧‧氣體抽吸徑

Claims

一種玻璃板，其特徵在於具有：第1主面；第2主面，其與前述第1主面相對向；及端面，其連接前述第1主面與前述第2主面，其中，前述端面具備：第1端面；第2端面，其與前述第1端面相對向；第3端面，其連接前述第1端面之一端與前述第2端面之一端；及第4端面，其連接前述第1端面之另一端與前述第2端面之另一端並與前述第3端面相對向，前述第1主面之第1表面粗度小於前述第2主面之第2表面粗度，且前述第1端面之第1玻璃屑剝離率與另一端面之玻璃屑剝離率互異，前述第1主面具備：邊緣區，其自前述第1、第2、第3、第4端面之任一端面起，向前述玻璃板之中央側佔據預定幅寬；及中央區，其佔據比前述邊緣區更靠中央側之部位；並且，前述邊緣區具有表面粗度大於前述中央區之區域。
如請求項1之玻璃板，其中前述第1端面之前述第1玻璃屑剝離率大於前述第2端面之第2玻璃屑剝離率。
如請求項2之玻璃板，其中前述第1玻璃屑剝離率大於前述第3端面之第3玻璃屑剝離率，且前述第1玻璃屑剝離率大於前述第4端面之第4玻璃屑剝離率。
如請求項3之玻璃板，其中前述第2玻璃屑剝離率、前述第3玻璃屑剝離率及前述第4玻璃屑剝離率為前述第2玻璃屑剝離率、前述第3玻璃屑剝離率與前述第4玻璃屑剝離率之平均值的0.5倍以上且1.5倍以下。
如請求項2或4之玻璃板，其中前述第1玻璃屑剝離率為前述第2玻璃屑剝離率之3倍以上。
如請求項1或2之玻璃板，其自前述第1端面剝離之玻璃屑的大小為長徑10μm以下。
如請求項1或2之玻璃板，其中前述第1端面之表面粗度大於前述第2端面之表面粗度。
如請求項1或2之玻璃板，其中前述第1端面具備佔據前述第1主面側之第1區及佔據前述第2主面側之第2區，且前述第1玻璃屑剝離率係前述第2區大於前述第1區。
如請求項8之玻璃板，其中前述第1區與前述第2區之邊界呈波形形狀。
如請求項1或2之玻璃板，其中前述第3端面具備靠前述第1端面側之第3區及靠第2端面側之第4區，且前述第3端面之第3玻璃屑剝離率係前述第3區大於前述第4區。
如請求項1或2之玻璃板，其中前述第2主面或前述邊緣區具有粗度曲線之偏斜度(Rsk)為正值的區域。
如請求項1或2之玻璃板，其中前述第2主面或前述邊緣區具有氟含量為0.35atm%以上之區域。
如請求項1或2之玻璃板，其中前述邊緣區係一自前述第1端面起向前述玻璃板之中央側佔據預定幅寬的區域。
如請求項3之玻璃板，其中前述第1玻璃屑剝離率為前述第2玻璃屑剝離率之3倍以上。