TWI645061B - 濺鍍靶的加工方法及濺鍍靶製品的製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種濺鍍靶的加工方法，係使具有於沿著軸心之剖面中包含圓弧狀之凹曲面之刃部的切削工具繞著軸心旋轉，藉由刃部的凹曲面，對濺鍍靶的濺鍍面與側面所形成之角部，以接近於圓弧狀的目標弧面的方式去角取面而加工濺鍍靶，其中，沿著軸心的剖面中，刃部的凹曲面的曲率半徑Ra設為目標弧面的曲率半徑Rb以上，並且，以使刃部的凹曲面的兩端與濺鍍靶分離的方式，對濺鍍靶的角部去角取面。

Description

濺鍍靶的加工方法及濺鍍靶製品的製造方法
本發明係關於一種濺鍍靶的加工方法及濺鍍靶製品的製造方法。
關於濺鍍靶，已提案有一種將濺鍍靶的濺鍍面與側面所形成的角部，以機械加工去角取面成弧面的加工方法(專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
特許文獻1：日本特開2001-40471號公報。
本發明係提供一種可使弧面接近於目標弧面的濺鍍靶的加工方法及濺鍍靶製品的製造方法。
本發明的濺鍍靶的加工方法， 係使具有於沿著軸心之剖面中包含圓弧狀之凹曲面之刃部的切削工具繞著前述軸心旋轉，藉由前述刃部的前述凹曲面，對濺鍍靶的濺鍍面與側面所形成之角部，以接近於圓弧狀的目標弧面的方式去角取面而加工前述濺鍍靶，其中，沿著前述軸心的剖面中，前述刃部的前述凹曲面的曲率半徑Ra設為前述目標弧面的曲率半徑Rb以上，並且，以使前述刃部的前述凹曲面的兩端與前述濺鍍靶分離的方式，對前述濺鍍靶的角部去角取面。
根據本發明的濺鍍靶的加工方法，沿著軸心的剖面中，刃部的凹曲面的曲率半徑Ra設為目標弧面的曲率半徑Rb以上，並且，以使刃部的凹曲面的兩端與濺鍍靶分離的方式，對濺鍍靶的角部去角取面。藉此，當利用刃部的凹曲面切削濺鍍靶的角部去角取面成弧面時，可使弧面接近於目標弧面，並且可防止對弧面造成傷痕。本加工方法中，藉由將刃部的凹曲面的曲率半徑Ra設為大於目標弧面的曲率半徑Rb，而可更有效地防止對弧面造成傷痕。
此外，本發明的濺鍍靶的加工方法係：使圓板狀或圓筒狀的濺鍍靶繞著中心軸旋轉，且藉由具有包含剖面圓弧狀的凹曲面之刃部的切削工具的前述凹曲面，對旋轉中的前述濺鍍靶的濺鍍面與側面所形成的角部，以接近於圓弧狀的目標弧面的方式去角取面而加工前述濺鍍靶，其中， 前述刃部的前述凹曲面的曲率半徑Ra設為前述目標弧面的曲率半徑Rb以上，並且，以使前述刃部的前述凹曲面的兩端與前述濺鍍靶分離的方式，對前述濺鍍靶的角部去角取面。
根據本發明的濺鍍靶的加工方法，對繞著中心軸旋轉的圓板狀或圓筒狀的濺鍍靶，以刃部的凹曲面的曲率半徑Ra設為目標弧面的曲率半徑Rb以上，並且，以使刃部的凹曲面的兩端與濺鍍靶分離的方式，對濺鍍靶的角部去角取面。藉此，可效率良好地進行圓板狀或圓筒狀的濺鍍靶的角部的去角取面加工，並且可防止對弧面造成傷痕。本加工方法中，藉由將刃部的凹曲面的曲率半徑Ra設為大於目標弧面的曲率半徑Rb，而可更有效果地防止對弧面造成傷痕。
濺鍍靶的加工方法的一實施形態中，以使前述刃部的前述凹曲面的兩端與前述濺鍍靶分離的方式，對前述濺鍍靶的角部去角取面時，以目標R的中心點Cb為原點的座標中，前述刃部的前述凹曲面的前述曲率半徑Ra的第一中心點C1距離前述目標弧面的中心Cb的座標的水平方向與垂直方向之各別的偏離量為a[mm]時，以滿足下述條件來設定Ra、Rb、a而進行加工，弧面的截距L[mm]，表示為L=Rb-Ra{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2-a時，滿足Rb/2≦L≦Rb；並且，前述濺鍍靶的濺鍍面與前述濺鍍靶的弧面的端 部所形成之夾角θ[rad]，表示為θ=π/2-cos-1{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2時，滿足0≦θ≦π/6；並且，前述刃部的凹曲面的端部與前述濺鍍靶的濺鍍面的間隔d[mm]，表示為d=Ra-Rb+a時，滿足0.05≦d。
其中，a係以Cb為原點，當C1比Cb位於濺鍍靶內側時取負值，而C1比Cb位於外側時取正值。
根據前述實施形態，滿足Rb/2≦L≦Rb，且滿足0≦θ≦π/6，並且滿足0.05≦d。藉此，可使弧面更進一步接近於目標弧面，並且可進一步防止對弧面造成傷痕。
濺鍍靶製品的製造方法係包含藉由前述濺鍍靶的加工方法對濺鍍靶加工的步驟。
根據前述實施形態，由於藉由前述濺鍍靶的加工方法來製造濺鍍靶製品，所以可獲得弧面傷痕較少的濺鍍靶製品。
根據本發明，利用刃部的凹曲面切削濺鍍靶的角部去角取面成弧面時，可使弧面接近於目標弧面，並且可防止對弧面造成傷痕。
1、1A‧‧‧濺鍍靶
1a‧‧‧中心軸
2‧‧‧濺鍍面
3、30‧‧‧側面
4‧‧‧角部
5‧‧‧弧面
7‧‧‧旋轉部
10‧‧‧切削工具
11‧‧‧軸部
11a‧‧‧軸心
12‧‧‧刃部
20‧‧‧凹曲面
21‧‧‧第一端
22‧‧‧第二端
31‧‧‧前端面
100‧‧‧正方形
101‧‧‧第一邊
105‧‧‧目標弧面
a、b‧‧‧偏離量
C1‧‧‧第一中心點
C2‧‧‧第二中心點
Cb‧‧‧目標弧面的中心點
d‧‧‧間隙
Ra‧‧‧切削工具之刃部的凹曲面的曲率半徑
Rb‧‧‧濺鍍靶之目標弧面的曲率半徑
L‧‧‧截距
θ‧‧‧角度
第1圖係顯示本發明之濺鍍靶的加工方法的第一實施形態的立體圖。
第2圖係顯示濺鍍靶的加工方法的第一實施形態的剖面圖。
第3圖係第2圖的放大剖面圖。
第4圖係顯示本發明之濺鍍靶的加工方法的第二實施形態的立體圖。
第5圖係濺鍍靶的放大圖。
以下，根據圖式所示的實施形態詳細說明本發明。
(第一實施形態)
第1圖係顯示本發明之加工方法的第一實施形態的立體圖。第2圖係顯示本發明之加工方法的一實施形態的剖面圖。如第1圖與第2圖所示，濺鍍靶的加工方法係採用切削工具10，將濺鍍靶1的濺鍍面2與側面3所形成的角部4去角取面成弧面。
濺鍍靶1係形成長條板狀。濺鍍面2係由以短邊方向與長邊方向構成之頂面所構成。側面3係由以濺鍍面2與厚度方向構成之面所構成。角部4係以由濺鍍面2與側面3形成之邊所構成。濺鍍靶1亦可形成為圓板狀，此時，濺鍍面2係由圓形的頂面所構成，側面3係由圓形的頂面與圓形的底面之間的圓周面所構成。
濺鍍靶1的濺鍍面2係接收藉由濺鍍而電漿化(或離子化)的惰性氣體。受到惰性氣體衝擊的濺鍍面2係撞擊出包含在濺鍍靶1中的靶原子。被撞擊出的原子係 堆積在與濺鍍面2相向配置的基板上，而於此基板上形成薄膜。
濺鍍靶1係可選自鋁(Al)、銅(Cu)、鉻(Cr)、鐵(Fe)、鉭(Ta)、鈦(Ti)、鋯(Zr)、鎢(W)、鉬(Mo)、鈮(Nb)、銦(In)等金屬及由該等之合金所成群組中的材料來製作。
構成濺鍍靶1的材料不限於此等。就作為電極、配線材料用的濺鍍靶1的材料而言，Al為佳，較佳為純度99.99%以上的Al，更佳為99.999%的Al。高純度Al係具高導電性，故適合作為電極、配線材料用的靶材1的材料，而Al純度越高，材質越柔軟而容易變形，故本發明的加工方法可適合用於以高純度Al為材料的靶材的製造。
就切削工具10而言，可例舉端銑刀、圓角銑刀、弧面刀具等，設置切削工具10的加工裝置中，將固定濺鍍靶1，移動旋轉的切削工具10，對濺鍍靶1的角部去角取面加工。就此型態的加工裝置而言，可例舉銑床、NC銑床、綜合加工機等。
切削工具10係具有：可繞著軸心11a旋轉的軸部11、以及設置於軸部11之前端的刃部12。刃部12的中心軸係與軸部11的軸心11a一致。刃部12可對於軸心11a周圍，獨立存在兩個、三個，亦可連續地存在。此外，刃部12亦可與軸部11一體成形，亦可形成可更換刀刃端部(Tip)的樣式。切削工具10係對於濺鍍靶1配置成軸心11a與濺鍍靶1的厚度方向一致。並且，切削工具10係在繞著軸心11a旋轉的狀態下，沿著濺鍍靶1的濺鍍面 2的周圍方向(角部4的延伸方向)移動，以切削工具10的刃部12切削濺鍍靶1的角部4。藉此，角部4係去角取面成弧面5。
第3圖係第2圖的放大圖。如第3圖所示，沿著軸心11a的剖面中，刃部12的外周面係包含自後端朝前端延伸之圓弧狀的凹曲面20。凹曲面20係以軸心11a為中心軸而形成，可獨立存在兩個、三個，亦可連續地存在。此外，刃部12亦可與軸部11一體形成，亦可形成可更換刀刃端部的樣式。凹曲面20係1/4正圓的圓弧面。凹曲面20係包含前端側的第一端21以及後端側的第二端22。前端側係指對濺鍍靶1的側面3側加工之側，後端側係指對濺鍍靶1的濺鍍面2側加工之側。
再者，刃部12的外周面係包含與軸心11a平行的側面30。刃部12係部包含與軸心11a交叉的前端面31。凹曲面20的第一端21係連接於前端面31。凹曲面20的第二端22係連接側面30。
對軸心11a周圍設置的刀刃的數量係以二至四個為佳，就可應用的加工條件而言，以設定轉速100至10000rpm、工具進給速度100至3000mm/min為佳。
接著，針對加工濺鍍靶1的方法加以說明。
如第3圖所示，使切削工具10繞著軸心11a旋轉，藉由刃部12的凹曲面20，以接近於圓弧狀之目標弧面105的方式，將濺鍍靶1的角部去角取面形成弧面5，對濺鍍靶1加工。其中，第3圖中以雙點鏈線顯示目標弧 面105。目標弧面105的曲率半徑Rb係預定值。
在此，沿著軸心11a的剖面中，將刃部12的凹曲面20的曲率半徑Ra設為目標弧面105的曲率半徑Rb以上，較佳為大於該曲率半徑Rb，並且以使刃部12的凹曲面20的端部21、端部22與濺鍍靶1分離的方式，對濺鍍靶1的角部去角取面。藉此，弧面5的曲率半徑係與曲率半徑Ra相同。於凹曲面20的端部21、端部22與濺鍍靶1之間分別產生間隙d。凹曲面20的端部21、端部22分別與濺鍍靶1之間的間隙d的尺寸亦可不同。
具體而言，以刃部12的凹曲面20的端部21、端部22分別與濺鍍靶1分離的方式，對濺鍍靶1的角部去角取面時，將刃部12的凹曲面20的半徑Ra的中心點設為第一中心點C1。此時的刃部12的凹曲面20的位置係位於第3圖中實線所示的位置。
將目標弧面的中心點設為中心點Cb。而且，以刃部12的凹曲面20通過目標弧面的兩端部的方式，對濺鍍靶1的角部去角取面時，將刃部12的凹曲面20的曲率半徑Ra的中心點設為第二中心點C2。此時的刃部12的凹曲面20的位置係位於第3圖中虛線所示的位置。
於是，第一中心點C1係較第二中心點C2還靠濺鍍靶1的角部側偏倚。亦即，在以目標弧面的中心點Cb為原點的座標中，將第二中心點C2移往第一中心點C1時，若第一中心點C1距離目標弧面的中心點之座標的水平方向與垂直方向的各別的偏離量為a[mm]， 弧面的截距(intercept)L[mm]：表示為L=Rb-Ra{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2-a，且滿足Rb/2≦L≦Rb。例如，設Ra=3.5mm、Rb=3mm、a=-0.4mm時，Rb/2=1.5mm、L=2.6mm、Rb=3mm，而滿足Rb/2≦L≦Rb。
濺鍍靶1的濺鍍面2與濺鍍靶1的弧面5的端部所形成的夾角θ[rad]：表示為θ=π/2-cos-1{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2，且滿足0≦θ≦π/6。
例如，設Ra=3.5mm、Rb=3mm、a=-0.4mm時，θ=0.24rad、π/6=0.52，而滿足0≦θ≦π/6。
刃部12的凹曲面20的端部22(角部)與濺鍍靶1的濺鍍面2的間隔d[mm]：表示為d=Ra-Rb+a，且滿足0.05≦d。
例如，設Ra=3.5mm、Rb=3mm、a=-0.4mm時，d=0.1mm，而滿足0.05≦d。
此外，Ra[mm]、Rb[mm]、a[mm]、及第一中心點C1距離第二中心點C2的偏離量b[mm]係滿足以下的關係式。
a=b-Ra×sin{1/2×sin-1(1-Rb2/Ra2)}
本說明書中，a係以Cb為原點，當C1比Cb位於濺鍍靶內側時取負值，而C1比Cb位於外側時取正值。在此，b係以C2為原點，當C1比C2位於濺鍍靶內側時取負值，而C1比C2位於外側時取正值。
根據前述濺鍍靶1的加工方法，沿著軸心11a的剖面中，將刃部12的凹曲面20的曲率半徑Ra設為目標弧面105的曲率半徑Rb以上，較佳為大於Rb，並且以刃部12的凹曲面20的端部21、22與濺鍍靶1分離的方 式，對濺鍍靶1的角部4去角取面。藉此，以刃部12的凹曲面20切削濺鍍靶1的角部4去角取面成弧面5時，可使弧面5接近於目標弧面105，並且可防止對弧面造成傷痕。
根據前述濺鍍靶1的加工方法，滿足Rb/2≦L≦Rb，且滿足0≦θ≦π/6，並且滿足0.05≦d。藉此，可使弧面5更進一步接近於目標弧面105，並且可進一步防止對弧面5造成傷痕。
再者，就更佳的範圍而言，係滿足2Rb/3≦L≦Rb，且滿足0≦θ≦11π/90，並且滿足0.1≦d。藉此，可使弧面5更進一步接近於目標弧面105，並且可進一步防止對弧面5造成傷痕。
概括而言，可對於凹曲面20之端面21、端面22除外的區域切削濺鍍靶1的角部4，而可使弧面5的表面滑順。特別是，可防止對弧面5的濺鍍面2側造成傷痕，因此可防止濺鍍時亦即於基板與濺鍍面1之間施加高電壓時，造成異常放電。
再者，濺鍍靶1係例如為2m、3m、3m以上長度的長條體時，即使濺鍍靶1發生每個製品間的差異，亦可避免刃部12的凹曲面20的兩端21、22切入濺鍍靶1。本發明的加工方法係可應用於長方形、正方形等之長條靶或圓盤形靶、圓筒形靶等濺鍍靶的加工。為了達成本發明的效果，長邊方向的長度為1500mm以上4000mm以下，以2000mm以上3500mm以下為佳，較佳為2200mm以上3200mm以下、更佳為2500mm以上2800mm以下。 第一實施形態中，對濺鍍靶1，將切削工具10配置成軸心11a與濺鍍靶1的厚度方向一致，惟亦可配置成軸心11a與濺鍍面2平行，且沿濺鍍靶1的長邊方向(角部4的延伸方向)移動，以切削工具10的刃部切削濺鍍靶1的角部4。
(第二實施形態)
第4圖係顯示本發明的濺鍍靶的加工方法的第二實施形態的立體圖。第二實施形態中，與第一實施形態相同的符號為與第一實施形態相同的構成，故省略其說明。
第一實施形態中，係以將濺鍍靶固定、藉由旋轉的切削工具對濺鍍靶的角部去角取面加工的銑床、NC銑床、綜合加工機等的加工裝置為例進行說明，惟第二實施形態中，係以使圓板狀或圓筒狀的濺鍍靶繞著中心軸旋轉、不使切削工具的刃部旋轉而對濺鍍靶的角部進行去角取面加工。
如第4圖所示，將圓板狀的濺鍍靶1A安裝於加工裝置的旋轉部7，使旋轉部7旋轉而使濺鍍靶1A繞著中心軸1a旋轉。濺鍍靶1A的中心軸1a係指對濺鍍面2垂直交叉、並且通過濺鍍面2的中心的直線。就去角取面加工的加工裝置而言，可採用車床、NC車床等。
之後，藉由切削工具10的刃部10的凹曲面20，對旋轉中的濺鍍靶1A的濺鍍面2與側面3所形成的角部4去角取面成接近於目標弧面。具體的去角取面方法係與第一實施形態相同。切削工具10的刃部12的形狀可與用於第一實施形態之銑床等之加工裝置的切削工具相 同形狀。
濺鍍靶1A為圓板狀時，藉由車床、NC車床等之加工裝置的使用，可效率良好地進行加工，並且可防止對弧面造成傷痕。去角取面加工時，繞著濺鍍靶1A的中心軸1a的轉速、切削工具10的刃部的進給速度，可因應濺鍍靶1A的材質適當選擇，通常，轉速可設為5至1000rpm，工具進給速度可設為1mm/每旋轉以下。
即使是圓筒狀的濺鍍靶，亦可與圓板狀的濺鍍靶相同地加工。亦即，使圓筒狀的濺鍍靶繞著中心軸旋轉，並藉由切削工具，對濺鍍靶的角部去角取面加工。圓筒狀的濺鍍靶中，濺鍍面係由圓筒材的外周面所構成，側面係由圓筒材的厚度方向之面所構成。圓筒狀靶的中心軸係指與外周面平行、並且通過側面之中心的直線。
進行圓板狀或圓筒狀的濺鍍靶的去角取面加工時，切削工具的接近、接觸的形態，可為切削工具的軸部相對於濺鍍面設為垂直，或者亦可相對於側面設為垂直者。可因應濺鍍靶的形狀、加工裝置的種類適當地選擇。
(第三實施形態)
針對濺鍍靶製品的製造方法加以說明。藉由第一實施形態或第二實施形態的濺鍍靶的加工方法對濺鍍靶加工，製造濺鍍靶製品。
若具體描述該製造方法，例如，將靶材料藉由溶解、鑄造等，形成為長方體形狀或圓柱形狀之後，藉由壓延加工、鍛造加工、擠壓加工等的塑性加工，獲得 板狀、圓筒狀的濺鍍靶。之後，藉由前述加工方法對濺鍍靶加工。將經加工的板狀濺鍍靶接合於支撐背板，製造濺鍍靶製品。
亦可因應需要，對藉由前述加工方法進行之加工後及/或接合後的濺鍍靶的表面施以精細加工。亦可省略支撐背板，而僅以經加工之濺鍍靶來製造濺鍍靶製品。亦可對接合後的濺鍍靶，藉由前述濺鍍靶的加工方法來製造濺鍍靶製品。製造圓筒狀的濺鍍靶時，亦可於其端部的某一方或兩方，熔接安裝裝置設備用的轉接器。
支撐背板係由導電性材料所構成，包含金屬或其合金等。就金屬而言，例如有：銅、鋁、鈦等。濺鍍靶與支撐背板的接合時，例如採用銲材。就銲材的材料而言，例如有：銦、錫、鋅、鉛等的金屬或其合金。
因此，濺鍍靶製品的製造方法中，由於採用前述加工方法，所以可獲得品質提升的濺鍍靶製品。
本發明不限於上述的實施形態，可在不脫離本發明的要旨的範圍改變設計。
(實施例1)
第1表顯示實施例1。第1表係顯示：改變切削工具10的半徑Ra[mm]、第一中心點C1之距離目標弧面的中心點Cb的偏離量a[mm]、第一中心點C1之距離第二中心點C2的偏離量b[mm]時之截距L[mm]、弧面5的角度θ[rad]、及間隙d[mm]的關係。其中，b係以C2為原點，當C1比C2位於濺鍍靶內側時取負值，而C1比C2位於外側時取 正值。
使Ra變化為3mm、3.25mm、3.5mm、3.75mm、4mm、4.25mm、4.5mm。將Rb設為3mm。此外，以各Ra之第二中心點C2為基準，使b變化為0mm、0.1mm、0.2mm、0.3mm。
使用第5圖的濺鍍靶1的放大圖，針對截距L、弧面的角度θ、間隙d加以說明。
以雙點鏈線顯示目標弧面105。以虛線顯示以目標弧面105與對角線上之頂點交叉的圓弧的一邊Rb形成的正方形100。方形100的四邊當中，位於濺鍍靶1的外側的第一邊100係與濺鍍面2相接。
針對截距L、角度θ加以說明。第一邊101中，位於弧面5之外側的部分的長度係設為截距L。第一邊101中，位於弧面5之外側的部分與弧面5之間所形成的角度係設為弧面的角度θ。
針對間隙d加以說明。如第3圖所示，凹曲面20的兩端21、22與濺鍍靶1之間的距離係設為間隙d。
根據第1表作成第2表至第4表。第2表係顯示Ra及b與截距L的關係，第3表係顯示Ra及b與弧面的角度θ的關係，第4表係顯示Ra及b與間隙d的關係。
第2表至第4表中，框選的範圍係確保凹曲面20的端部21、端部22與濺鍍靶1之間的距離的狀態下，可使弧面5接近於目標弧面105的範圍。
第2表與第3表中，實線框選的區域係本案實施形態 所界定之L與θ的範圍，單點鏈線框選的區域係該範圍中之較佳的範圍。
第4表中，實線框選的區域係本實施形態所界定之d的範圍，而單點鏈線框選的區域係該範圍中之較佳的範圍。再者，雙點鏈線框選的區域係d、θ、L所有之界定範圍所重疊的範圍。虛線框選的區域係d、θ、L所有之較佳的範圍所重疊的範圍。
如第4表所示，Ra=3、b=0時，間隔d=0.00，刃部12的凹曲面20的兩端21、22係與濺鍍靶1接觸的狀態，但由於加工處理時之濺鍍靶1的材質的形變、刃部12的振動等的些許差異，造成刃部12的凹曲面20的端部21、端部22切入，而判斷為對濺鍍靶1造成傷痕的可能性極高。當間隔d係設定為0.05以上時，可推測即使產生材質撓曲、刃部12的振動等，仍可抑制刃部12的端部21、端部22對於濺鍍靶1的接觸、切入，而可容易防止傷痕產生。
如第1表至第4表所示，滿足Rb/2≦L≦Rb，且滿足0≦θ≦π/6，並且滿足0.05≦d時，弧面5可接近於目標弧面105，並且可容易防止對弧面5造成傷痕。
(實施例2)
實施例2係使Ra、Rb的值不同。除了使Ra變化為2mm、2.25mm、2.5mm、2.75mm、3mm、3.25mm、3.5mm之外，其他係以與實施例1相同條件對濺鍍靶加工。Rb係設為2mm。
第5表係顯示Ra及b與截距L的關係，第6表係顯示Ra及b與弧面的角度θ的關係，第7表係顯示Ra及b與間隙d的關係。
如第5表至第7表所示，滿足Rb/2≦L≦Rb，且滿足0≦θ≦π/6，並且滿足0.05≦d時，可使弧面5接近於目標弧面105，並且可容易防止對弧面5造成傷痕。
第5表與第6表中，實線框選的區域係本案實施形態 所界定之L與θ的範圍，單點鏈線框選的區域係該範圍中之較佳的範圍。
第7表中，實線框選的區域係本案實施形態所界定之d的範圍，單點鏈線框選的區域係該範圍中之較佳的範圍。再者，雙點鏈線框選的區域係d、θ、L所有之界定範圍所重疊的範圍，虛線框選的區域係d、θ、L所有之較佳的範圍所重疊的範圍。
(實施例3)
實施例3中，除了Ra、Rb的值不同之外，其他係以與實施例1相同條件對濺鍍靶加工。使Ra變化為4mm、4.25mm、4.5mm、4.75mm、5mm、5.25mm、5.5mm。Rb係設為4mm。
第8表係顯示Ra及b與截距L的關係，第9表係顯示Ra及b與弧面的角度θ的關係，第10表係顯示Ra及b與間隙d的關係。
如第8表至第10表所示，滿足Rb/2≦L≦Rb，且滿足0≦θ≦π/6，並且滿足0.05≦d時，可使弧面5接近於目標弧面105，並且可容易防止對弧面5造成傷痕。
第8表與第9表中，實線框選的區域係本案實施形態 所界定之L與θ的範圍，單點鏈線框選的區域係該範圍中之較佳的範圍。
第10表中，實線框選的區域係本案實施形態所界定之d的範圍，單點鏈線框選的區域係該範圍中之較佳的範圍。再者，雙點鏈線框選的區域係d、θ、L所有之界定範圍所重疊的範圍，虛線框選的區域係d、θ、L所有之較佳的範圍所重疊的範圍。
(實驗例)
接著，針對本案實施例的實驗資料加以說明。準備純度99.999%之高純度之Al製壓延板。於門型綜合加工機設置表面加工用的刀具，側面加工用的端銑刀，進行切削加工，獲得長邊為2300mm，短邊為190mm的濺鍍靶材。並且，於門型綜合加工機固定弧面加工用的切削工具(弧面刀具)，以轉速8000rpm、工具進給速度1000mm/min的加工條件來進行濺鍍靶材之角部的加工，獲得濺鍍靶。此時，設定Ra=3.25、Rb=3、a=0.009(b=0.25)而進行加工時，由於刀刃對於濺鍍靶造成傷痕的不良率為0%。再者，設定Ra=3.5、Rb=3、a=-0.369(b=0.1)而進行加工時，由於刀刃對於濺鍍靶造成傷痕的不良率為0%。

Claims (7)

  1. 一種濺鍍靶的加工方法，係使具有於沿著軸心之剖面中包含圓弧狀之凹曲面之刃部的切削工具繞著前述軸心旋轉，藉由前述刃部的前述凹曲面，對濺鍍靶的濺鍍面與側面所形成之角部，以接近於圓弧狀的目標弧面的方式去角取面而加工前述濺鍍靶，其中，沿著前述軸心的剖面中，前述刃部的前述凹曲面的曲率半徑Ra設為比前述目標弧面的曲率半徑Rb還大，並且，以使前述刃部的前述凹曲面的兩端與前述濺鍍靶分離的方式，對前述濺鍍靶的角部去角取面。
  2. 一種濺鍍靶的加工方法，係使圓板狀或圓筒狀的濺鍍靶繞著中心軸旋轉，且藉由具有包含剖面圓弧狀的凹曲面之刃部的切削工具的前述凹曲面，對旋轉中的前述濺鍍靶的濺鍍面與側面所形成的角部，以接近於圓弧狀的目標弧面的方式去角取面而加工前述濺鍍靶，其中，前述刃部的前述凹曲面的曲率半徑Ra係設為比前述目標弧面的曲率半徑Rb還大，並且，以使前述刃部的前述凹曲面的兩端與前述濺鍍靶分離的方式，對前述濺鍍靶的角部去角取面。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的濺鍍靶的加工方法，其中，以使前述刃部的前述凹曲面的兩端與前述濺鍍靶分離的方式，對前述濺鍍靶的角部去角取面時，以目標弧面的中心點Cb為原點的座標中，前述刃部的前述凹曲面的前述曲率半徑Ra的第一中心點C1距離前述目標弧面的中心Cb的座標的水平方向與垂直方向之各別的偏離量為a[mm]時，以滿足下述條件來設定Ra、Rb、a而進行加工，弧面的截距L[mm]，表示為L=Rb-Ra{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2-a時，滿足Rb/2≦L≦Rb；並且，前述濺鍍靶的濺鍍面與前述濺鍍靶的弧面的端部所形成之夾角θ[rad]，表示為θ=π/2-cos-1{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2時，滿足0≦θ≦π/6；並且，前述刃部的凹曲面的端部與前述濺鍍靶的濺鍍面的間隔d[mm]，表示為d=Ra-Rb+a時，滿足0.05≦d。
  4. 一種濺鍍靶製品的製造方法，係使用申請專利範圍第1至3項中任一項所述之濺鍍靶的加工方法來加工濺鍍靶，而製造濺鍍靶製品。
  5. 一種濺鍍靶的加工方法，係使具有於沿著軸心之剖面中包含圓弧狀之凹曲面之刃部的切削工具繞著前述軸心旋轉，藉由前述刃部的前述凹曲面，對濺鍍靶的濺鍍面與側面所形成之角部，以接近於圓弧狀的目標弧面的方式去角取面而加工前述濺鍍靶，其中，沿著前述軸心的剖面中，以使前述刃部的前述凹曲面的兩端與前述濺鍍靶分離的方式，對前述濺鍍靶的角部去角取面，以目標弧面的曲率半徑Rb的中心點Cb為原點的座標中，前述刃部的前述凹曲面的前述曲率半徑Ra的第一中心點C1距離前述目標弧面的曲率半徑Rb的中心Cb的座標的水平方向與垂直方向之各別的偏離量為a[mm]時，以滿足下述條件來設定Ra、Rb、a而進行加工，弧面的截距L[mm]，表示為L=Rb-Ra{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2-a時，滿足Rb/2≦L≦Rb；並且，前述濺鍍靶的濺鍍面與前述濺鍍靶的弧面的端部所形成之夾角θ[rad]，表示為θ=π/2-cos-1{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2時，滿足0≦θ≦π/6；並且，前述刃部的凹曲面的端部與前述濺鍍靶的濺鍍面的間隔d[mm]，表示為d=Ra-Rb+a時，滿足0.05≦d。
  6. 一種濺鍍靶的加工方法，係使圓板狀或圓筒狀的濺鍍靶繞著中心軸旋轉，且藉由具有包含剖面圓弧狀的凹曲面之刃部的切削工具的前述凹曲面，對旋轉中的前述濺鍍靶的濺鍍面與側面所形成的角部，以接近於圓弧狀的目標弧面的方式去角取面而加工前述濺鍍靶，其中，以使前述刃部的前述凹曲面的兩端與前述濺鍍靶分離的方式，對前述濺鍍靶的角部去角取面，以目標弧面的曲率半徑Rb的中心點Cb為原點的座標中，前述刃部的前述凹曲面的前述曲率半徑Ra的第一中心點C1距離前述目標弧面的曲率半徑Rb的中心Cb的座標的水平方向與垂直方向之各別的偏離量為a[mm]時，以滿足下述條件來設定Ra、Rb、a而進行加工，弧面的截距L[mm]，表示為L=Rb-Ra{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2-a時，滿足Rb/2≦L≦Rb；並且，前述濺鍍靶的濺鍍面與前述濺鍍靶的弧面的端部所形成之夾角θ[rad]，表示為θ=π/2-cos-1{1-(Rb-a)2/Ra2}1/2時，滿足0≦θ≦π/6；並且，前述刃部的凹曲面的端部與前述濺鍍靶的濺鍍面的間隔d[mm]，表示為d=Ra-Rb+a時，滿足0.05≦d。
  7. 一種濺鍍靶製品的製造方法，係使用申請專利範圍第5項或第6項所述之濺鍍靶的加工方法來加工濺鍍靶，而製造濺鍍靶製品。
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