TWI591347B - A probe unit, a substrate inspection apparatus, and a probe unit manufacturing method - Google Patents

Description

探針單元、基板檢查裝置及探針單元製造方法

本發明係關於一種具有複數個探針與支撐各探針之支撐部之探針單元、具有該探針單元之基板檢查裝置及製造該探針單元之探針單元製造方法。

此種探針單元眾所周知有開示於日本特開2009-8585號公報之檢查治具。此檢查治具係一種被搭載在進行檢查對象之電性檢查之檢查裝置上，被使用之檢查治具，其中，其具有：探針；尖端側支撐體，支撐探針的尖端側；後端側支撐體，支撐探針的後端側；以及支撐柱，連結尖端側支撐體與後端側支撐體。探針係由導電導線、及被形成於除了導電導線中之尖端側部分及後端側部分外之部分的外周面上之絕緣被覆所構成。尖端側支撐體係由層積三塊支撐板所構成。又，在各支撐板形成有穿孔，藉各穿孔構成貫穿有探針的尖端側部分之尖端側貫穿孔。又，尖端側貫穿孔係沿著相對於支撐板而言垂直的方向形成。在此情形下，各穿孔係各內徑比探針的尖端側部分的外徑還要大，而且，比絕緣被覆的形成部分的外徑還要小，如此一來，藉形成穿孔(尖端側貫穿孔)，防止探針往檢查對象側掉出。

後端側支撐體係由層積五塊支撐板所構成。又， 在各支撐板形成有穿孔，藉各穿孔構成貫穿有探針的後端側部分之後端側貫穿孔。在此情形下，後端側貫穿孔係在少許偏移各穿孔的中心之狀態下，被層積支撐板，藉此，被形成使得相對於支撐板(相對於尖端側貫穿孔的中心軸)而言傾斜。當組立此檢查治具時，首先，以支撐柱連結尖端側支撐體與後端側支撐體。接著，在卸下後端側支撐板後之狀態下，自後端側支撐體的後端側貫穿孔往尖端側支撐體的尖端側貫穿孔，***探針，使絕緣被覆的形成部分中之尖端部，抵接在構成尖端側貫穿孔之穿孔的緣部上。接著，安裝後端側支撐板。藉此，探針藉尖端側支撐體與後端側支撐體而被支撐。在此情形下，後端側貫穿孔相對於尖端側貫穿孔而言傾斜，所以，被尖端側支撐體與後端側支撐體支撐之探針，係中間部份傾斜。因此，在檢查時，當探針的尖端部位抵接壓入檢查對象時，傾斜之探針的中間部份有可能很容易撓曲。

【先行技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特開2009-8585號公報(第4~6頁、第1~4圖)

在先前的檢查治具，有以下的問題點。亦即，在此檢查治具中，在使分別形成於構成後端側支撐體之複數支撐板上之穿孔的中心，少許偏移之狀態下，層積各支撐板，藉此，形成有相對於尖端側貫穿孔而言傾斜之後端側貫穿孔。在此情 形下，在支撐板必須形成數量與探針數量相同之穿孔，當在數量很多之支撐板(在上述例中，係五塊支撐板)上，正確形成數量很多之穿孔，需要很長的加工時間。又，正確地少許偏移各穿孔的中心，使得後端側貫穿孔傾斜到事先被決定之傾斜方向，以層積各支撐板之作業，也需要很高難度之技術。而且，在此檢查治具中，後端側貫穿孔相對於支撐板而言傾斜，尖端側貫穿孔相對於支撐板而言成垂直，所以，當使自後端側貫穿孔***之探針的尖端部貫穿尖端側貫穿孔時，需要在彈性變形探針的尖端部之狀態下壓入之繁雜作業。因此，在貫穿數量很多的探針時，需要很長的時間。因此，在此檢查治具中，存在有因為這些加工及作業所造成之製造成本增加之問題點。

本發明係鑑於上述問題點而研發出者，其主要目的在於提供一種可減少製造成本之探針單元、基板檢查裝置及探針單元製造方法。

為達成上述目的之申請專利範圍第1項所述之探針單元，係一種探針單元，其具有：複數個探針，用於使尖端部接觸到基板的導體部，以進行電氣訊號之輸出入；以及支撐部，支撐前述探針，其特徵在於：前述支撐部之構成係具有：第l支撐板，具有第1支撐孔，以支撐貫穿該第1支撐孔之前述尖端部；第2支撐板，具有第2支撐孔，以支撐貫穿該第2支撐孔之前述探針的基端部；以及第3支撐板，具有第3支撐孔，以支撐貫穿該第3支撐孔之前述基端部；而被配置使得該各支撐板以此順序相向，同時構成為具有間隔物被配設於前述第1支撐板與前述第2支撐板間，前述各支撐部在前述第2支 撐板及前述第3支撐板在抵接或接近之狀態下，係以前述第1支撐板與該第2支撐板係分離，同時前述第1支撐孔、前述第2支撐孔及前述第3支撐孔的各開口面，沿著相對於該各支撐板的層積方向而言傾斜之傾斜方向，在假想直線上相向之姿勢固定於該間隔物，前述探針係維持前述尖端部沿著前述第1支撐孔延伸，同時除了該尖端部之部分係沿著前述傾斜方向延伸之狀態，在前述第1支撐板，形成有可被第1定位銷以及第2定位銷貫穿的第1貫穿孔，在前述第2支撐板以及前述第3支撐板，各自形成有可被前述第1定位銷貫穿的第2貫穿孔以及可被第3定位銷貫穿的第3貫穿孔，在前述間隔物，在相向前述第1支撐板的面形成有可被前述第2定位銷貫穿的第1貫入孔，同時在相向前述第2支撐板的面形成有可被前述第3定位銷貫穿的第2貫入孔，前述第1貫穿孔以及前述第2貫穿孔係各自形成於，當前述第1支撐孔、前述第2支撐孔及前述第3支撐孔的各開口面，沿著相對於該各支撐部而言垂直之垂直方向，在假想直線上相向地彼此抵接或接近之狀態下被重疊時，該各貫穿孔的中心軸成為同軸之位置，前述第1貫入孔係形成於，當前述各支撐板為前述姿勢時，該各第1貫入孔的中心軸與前述第1貫穿孔的中心軸成為同軸之位置，前述第3貫穿孔以及前述第2貫入孔係各自形成於，當前述各支撐板為前述姿勢時，該各第3貫穿孔的中心軸與該各第2貫入孔的中心軸成為同軸之位置，前述第1支撐板、前述第2支撐板以及前述第3支撐板係各自形成俯視為四邊形，前述第1貫穿孔，在前述第1支撐板中一對的對角位置各形成一個，前述第2貫穿孔， 在相向前述第1支撐板的前述各對角位置的前述第2支撐板中一對的對角位置各形成一個，同時在相向前述第1支撐板的前述各對角位置的前述第3支撐板中一對的對角位置各形成一個，前述第3貫穿孔，在與前述第2支撐板中前述一對的對角位置相異之另一對的對角位置各形成一個，同時在與前述第3支撐板中前述一對的對角位置相異之另一對對角位置各形成一個。

又，申請專利範圍第2項所述之探針單元，係在申請專利範圍第1項所述之探針單元中，前述間隔物係圍繞前述各探針形成俯視為ㄈ字形。

又，申請專利範圍第3項所述之基板檢查裝置係具有：探針單元，如申請專利範圍第1或2項所述；以及檢查部，依據透過接觸到基板的導體部之前述探針單元的前述探針以輸入之電氣訊號，檢查前述基板。

又，申請專利範圍第4項所述之探針單元製造方法，係其製造探針單元，前述探針單元具有：複數個探針，用於使尖端部接觸到基板的導體部，以進行電氣訊號之輸出入；以及支撐部，支撐前述探針，其特徵在於：使用前述支撐部，前述支撐部之構成係具有：第1支撐板，具有第1支撐孔，以支撐貫穿該第1支撐孔之前述尖端部；第2支撐板，具有第2支撐孔，以支撐貫穿該第2支撐孔之前述探針的基端部；以及第3支撐板，具有第3支撐孔，以支撐貫穿該第3支撐孔之前述基端部；而被配置使得該各支撐板以此順序相向，同時構成為具有間隔物被配設於前述第1支撐板與前述第2支撐板間， 前述第1支撐板、前述第2支撐板以及前述第3支撐板係各自形成俯視為四邊形，以第1定位銷貫穿在前述第1支撐板中一對的對角位置各形成一個之第1貫穿孔，以及在相向前述第1支撐板的前述各對角位置的前述第2支撐板中一對的對角位置各形成一個同時在相向前述第1支撐板的前述各對角位置的前述第3支撐板中一對的對角位置各形成一個之第2貫穿孔，維持前述第1支撐孔、前述第2支撐孔及前述第3支撐孔的各開口面，沿著相對於前述各支撐部而言垂直之垂直方向，在假想直線上相向地，使前述各支撐板彼此抵接或接近以重疊之之狀態，在此狀態下貫穿前述探針到該各支撐孔，之後，在前述第2支撐板及前述第3支撐板抵接或接近之狀態下，分離前述第1支撐板與該第2支撐板，拔出前述第1定位銷，並在前述第1支撐板與前述第2支撐板之間配設前述間隔物，以第2定位銷貫穿前述第1貫穿孔以及在前述間隔物中相向前述第1支撐板的面形成之第1貫入孔，同時以第3定位銷貫穿在與前述第2支撐板中前述一對的對角位置相異之另一對的對角位置各形成一個且在與前述第3支撐板中前述一對的對角位置相異之另一對對角位置各形成一個之第3貫穿孔以及在前述間隔物中相向前述第1支撐板的面形成之第2貫入孔，使該各支撐板轉換成前述第1支撐孔、前述第2支撐孔及前述第3支撐孔的各開口面，沿著相對於該各支撐板的層積方向而言傾斜之傾斜方向，在假想直線上相向之姿勢，在此狀態下該各支撐板被固定於前述間隔物，前述尖端部沿著前述第1支撐孔延伸，同時除了該尖端部之部分係沿著前述傾斜方向延伸之狀態下，維持前 述探針以製造前述探針單元。

又，申請專利範圍第5項所述之探針單元製造方法，係在申請專利範圍第4項所述之探針單元製造方法中，形成俯視為ㄈ字形的前述間隔物係圍繞前述各探針地配設於前述第1支撐板與前述第2支撐板之間。

在申請專利範圍第1項所述之探針單元、申請專利範圍第3項所述之基板檢查裝置、及申請專利範圍第4項所述之探針單元製造方法中，在使各支撐板維持之狀態下，貫穿探針到各支撐孔，之後，使各支撐板轉移姿勢，以維持該狀態，藉各支撐板保持探針。因此，在探針單元、基板檢查裝置及探針單元製造方法中，在組立時，偏移各支撐板的位置，藉此，可使第1支撐孔、第2支撐孔及第3支撐孔的各開口面，沿著傾斜方向在假想直線上相向，結果，無須在偏移各穿孔的中心之狀態下，層積複數支撐板，以形成一塊基端部側支撐部之高難度技術，所以，藉此可充分降低探針單元及基板檢查裝置之製造成本。

又，在探針單元、基板檢查裝置及探針單元製造方法中，僅以兩塊支撐板支撐探針的基端部。在此情形下，此種支撐板係形成很多個***探針而支撐之支撐孔，所以，製造成本很高。因此，當依據此探針單元、基板檢查裝置及探針單元製造方法時，與使用數量很多之支撐板之構成及方法相比較下，支撐板減少之部分，可充分降低製造成本。又，在此探針單元、基板檢查裝置及探針單元製造方法中，在使各支撐板維 持之狀態下，貫穿探針到各支撐孔後，使各支撐板轉移姿勢，藉此，在尖端部側係沿著第1支撐孔延伸，除了尖端部側之部分係沿著傾斜方向延伸之狀態下，可使全部探針暫時維持(彈性變形)，以組立探針單元。因此，與使自各開口面事先沿著傾斜方向相向地被形成之各支撐孔***之探針持續彈性變形，***各開口面沿著垂直方向相向之支撐孔之作業，係針對一支一支的探針進行，以組立探針單元之構成及方法相比較下，可充分縮短組立工序。因此，當依據此探針單元、基板檢查裝置及探針單元製造方法時，組立工序被縮短之部分，可充分減少製造成本。

又，當依據申請專利範圍第2項所述之探針單元、及申請專利範圍第5項所述之探針單元製造方法時，在第1支撐板與第2支撐板之間配設圍繞各探針形成俯視為ㄈ字形間隔物，固定各支撐板在間隔物上，藉此，以簡易之構成及方法，就可以在短時間內確實且容易地使各支撐板維持姿勢，所以，能充分提高探針單元之製造效率，進而能充分提高基板檢查裝置之製造效率。

1‧‧‧基板檢查裝置

2‧‧‧探針單元

6‧‧‧檢查部

11‧‧‧探針

12‧‧‧本體部

21‧‧‧尖端部

22‧‧‧中間部

23‧‧‧基端部

31‧‧‧尖端部側支撐部

32‧‧‧基端部側支撐部

33‧‧‧間隔物

34a,34b,34c‧‧‧定位銷

41~44‧‧‧支撐板

51~54‧‧‧支撐孔

61a,62a,63a,64a‧‧‧貫穿孔

65a,65b‧‧‧貫入孔

65c‧‧‧螺孔

100‧‧‧基板

第1圖係表示基板檢查裝置1的構成之構成圖。

第2圖係表示探針單元2的構成之構成圖。

第3圖係探針11之俯視圖。

第4圖係使尖端部側支撐部31朝下之狀態之本體部12的分解立體圖。

第5圖係使基端部側支撐部32朝下之狀態之本體部12的分解立體圖。

第6圖係本體部12的立體圖。

第7圖係說明探針單元2製造方法之第1說明圖。

第8圖係說明探針單元2製造方法之第2說明圖(第7圖中之Y面剖面圖)。

第9圖係說明探針單元2製造方法之第3說明圖。

第10圖係說明探針單元2製造方法之第4說明圖(第6圖中之X面剖面圖)。

以下，針對本發明之探針單元、基板檢查裝置及探針單元製造方法之實施形態，參照圖面做說明。

最初，針對基板檢查裝置1的構成做說明。第1圖所示之基板檢查裝置1之構成，如第1圖所示，其具有探針單元2、移動機構3、載置座4、測量部5、檢查部6、記憶部7及處理部8，可檢查基板100。

如第2圖所示，探針單元2之構成係具有複數個探針11、本體部12及電極板13。

探針11係用於在檢查時，接觸基板100中之導體圖案等之導體部，以進行電氣訊號之輸出入，茲做為一例，其係藉具有導電性之金屬材料(例如鈹銅合金、SKH(高速工具鋼)及鎢鋼等)形成可彈性變形之剖面形狀為圓形之棒狀。又，如第3圖所示，探針11的尖端部21及基端部23，係分別形成銳利狀態。又，在探針11的中間部22的周面，形成有以具有 絕緣性之被覆材料(茲做為一例，例如氟系樹脂、聚氨酯、聚酯及聚酰亞胺等)所形成之絕緣層。因此，中間部22的直徑L2係比尖端部21的直徑L1及基端部23的直徑L3還要大。亦即，探針11係尖端部21及基端部23的直徑比中間部22的直徑還要小。

本體部12之構成係相當於支撐部，如第2圖、第4圖~第6圖所示，其具有尖端部側支撐部31、基端部側支撐部32及間隔物33，可支撐探針11。尖端部側支撐部31之構成係支撐探針11的尖端部21側之構件，其具有支撐板41及支撐板42。在此情形下，在此構成例中，係藉支撐板41，42構成第1支撐板。

支撐板41，茲做為一例，其係以具有非導電性之樹脂材料，被形成板狀。又，如第5圖及第8圖所示，在支撐板41形成有俯視為圓形之複數個(與探針11的數量相同)支撐孔51(第1支撐孔)。如第8圖所示，支撐孔51的直徑R1比探針11的尖端部21的直徑L1略大，而且，比探針11的中間部22的直徑L2略小，可不貫穿中間部22，而僅貫穿尖端部21。

又，如第5圖、第8圖及第10圖所示，在支撐板41形成有複數個(例如兩個)貫穿孔61a，貫穿孔61a可***在下述之探針單元2的組立工序中使用之定位銷34a，34c。又，如第5圖所示，在支撐板41形成有複數個(例如六個)固定孔61b，固定孔61b可***固定支撐板41及支撐板42到間隔物33上時使用之螺栓35。

支撐板42以與支撐板41相同之材料(在此例中，係具有非導電性之樹脂材料)形成板狀。又，如第4圖及第8圖所示，在支撐板42形成有俯視為圓形之複數個(與探針11的數量相同)支撐孔52(第1支撐孔)。如第8圖所示，支撐孔52的直徑R2係與支撐板41的支撐孔51的直徑R1相同，可不貫穿中間部22，而僅貫穿尖端部21。

又，如第4圖、第8圖及第10圖所示，在支撐板42形成有複數個(例如兩個)貫穿孔62a，貫穿孔62a可***上述之定位銷34a，34c。又，如第4圖所示，在支撐板42形成有複數個(例如六個)固定孔62b，固定孔62b可***上述之螺栓35。

基端部側支撐部32之構成係支撐探針11的基端部23側之構件，如第2圖、第4圖及第5圖所示，其具有支撐板43(第2支撐板)及支撐板44(第3支撐板)。支撐板41，茲做為一例，其係以具有非導電性之樹脂材料，被形成板狀。又，如第5圖及第8圖所示，在支撐板43形成有俯視為圓形之複數個(與探針11的數量相同)支撐孔53(第2支撐孔)。如第8圖所示，支撐孔53的直徑R3比探針11的中間部22的直徑L2略大，可貫穿中間部22。

又，如第5圖、第8圖及第10圖所示，在支撐板43形成有複數個(例如兩個)貫穿孔63a及複數個(例如兩個)貫穿孔63b，貫穿孔63a及貫穿孔63b可***在探針單元2的組立工序中使用之定位銷34b，34c。又，如第5圖所示，在支撐板43形成有複數個(例如六個)固定孔63c，固定孔63c 可***固定支撐板43及支撐板44到間隔物33上時使用之螺栓35。

支撐板44以與支撐板43相同之材料(在此例中，係具有非導電性之樹脂材料)形成板狀。又，如第4圖及第8圖所示，在支撐板44形成有俯視為圓形之複數個(與探針11的數量相同)支撐孔54(第3支撐孔)。在此情形下，如第8圖所示，支撐孔54的直徑R4係與支撐板43的支撐孔53的直徑R1相同，可貫穿中間部22。

又，如第4圖、第8圖及第10圖所示，在支撐板44形成有複數個(例如兩個)貫穿孔64a及複數個(例如兩個)貫穿孔64b，貫穿孔64a及貫穿孔64b可***上述之定位銷34b，34c。又，如第4圖所示，在支撐板44形成有複數個(例如六個)固定孔64c，固定孔64c可***上述之螺栓35。

如第4圖及第5圖所示，間隔物33被形成俯視為ㄈ字形，如第6圖所示，其被配設於尖端部側支撐部31與基端部側支撐部32之間(支撐板42與支撐板43之間)。此間隔物33具有使以支撐板41及支撐板42構成之尖端部側支撐部31，與以支撐板43及支撐板44構成之基端部側支撐部32，維持隔開狀態之功能。

又，如第5圖所示，在間隔物33中之尖端部側(第5圖中之上部側)的端面上，形成有可***上述定位銷34a之貫入孔65a。又，如第4圖所示，在間隔物33中之基端部側(第4圖中之上部側)的端面上，形成有可***上述定位銷34b之貫入孔65b。而且，第4圖及第5圖所示，在間隔物33的尖端 部側端面及基端部側端面上，形成有可螺入上述螺栓35之複數個(在本例中，係分別各六個，合計十二個)螺孔65c。

在此情形下，於探針單元2中，如第8圖所示，支撐板41的貫穿孔61a、支撐板42的貫穿孔62a、支撐板43的貫穿孔63a及支撐板44的貫穿孔64a中之各中心軸成為同軸狀態時，各貫穿孔61a，62a，63a，64a的形成位置被定義，使得支撐板41的各支撐孔51、支撐板42的各支撐孔52、支撐板43的各支撐孔53及支撐板44的各支撐孔54中之各中心軸成為同軸狀態，亦即，使得各支撐孔51~54的各開口面，沿著相對於各支撐板41~44而言垂直的方向(以下，單稱「垂直方向」)，在假想直線A1(第8圖中，以虛線所示之部分)上相向(在假想直線A1上並列)。

又，在此探針單元2中，如第10圖所示，當支撐板41的貫穿孔61a、支撐板42的貫穿孔62a及間隔物33的貫入孔65a中之各中心軸成為同軸狀態，而且，支撐板43的貫穿孔63b、支撐板44的貫穿孔64b及間隔物33的貫入孔65b中之各中心軸成為同軸狀態時，各貫穿孔61a，62a，65a，63b，64b與各貫入孔65a，65b的形成位置被定義，使得各支撐孔51，52的各開口面沿著垂直方向，在假想直線A2(第10圖中，以虛線所示之部分)上相向(在假想直線A2上並列)，而且，支撐孔52，53，54的各開口面沿著相對於各支持板41~44的層積方向(厚度方向)而言傾斜之方向(以下，單稱「傾斜方向」)，在假想直線A3(第10圖中，以中心線所示之部分)上相向(在假想直線A3上並列)。

又，在此探針單元2中，如第2圖所示，在構成尖端部側支撐部31之支撐板41，42的支撐孔51，52，貫穿有探針11的尖端部21，在構成基端部側支撐部32之支撐板43，44的支撐孔53，54，貫穿有探針11的基端部23之狀態下，探針11被本體部12支撐。又，如第2圖所示，探針11係被本體部12支撐，使得尖端部21側沿著垂直方向延伸，除了尖端部21側之部分沿著傾斜方向延伸。在此情形下，探針11係除了尖端部21側之部分傾斜，所以，當探針單元2全體往接近基板100之方向移動時，尖端部21接觸到基板100的導體部，此時，傾斜部分對應來自導體部之按壓力(反作用力)之施加而彎曲，藉此，自本體部12(尖端部側支撐部31)之突出量會變化(增減)。

電極板13係以具有非導電性之樹脂材料等，被形成板狀，如第2圖所示，被配設於本體部12中之基端部側支撐部32的上部。又，在電極板13中之與各探針11的各基端部23之接觸部位處，嵌入有具有導電性之端子，在此各端子處，分別連接有用於電性連接探針11與測量部5之電線。

移動機構3係遵照處理部8的控制，使探針單元2往載置座4(被載置於載置座4上之基板100)移動及自載置座4離開。載置座4之構成係可載置基板100，同時可固定被載置之基板100。測量部5係依據透過探針11輸出入之電氣訊號，實施測量物理量(例如電阻值)之測量處理。

檢查部6係遵照處理部8的控制，實施依據以測量部5測得之做為物理量之電阻值，檢查基板100良否(導體 部有無斷線或短路)之檢查處理。記憶部7係遵照處理部8的控制，暫時記憶以測量部5測得之電阻值或以檢查部6進行之檢查結果等。處理部8控制構成基板檢查裝置1之各部。

接著，參照圖面說明探針單元2的製造方法。

首先，如第7圖及第8圖所示，使各支撐板41~44在彼此抵接之狀態下重疊。接著，對位使得各支撐板41~44中之各貫穿孔61a~64a的中心軸成為同軸。此時，如第8圖所示，支撐板41~44中之各支撐孔51~54的各開口面，係沿著垂直方向在假想直線A1上相向。接著，如相同圖面所示，貫穿定位銷34c到各貫穿孔61a~64a。藉此，各支撐板41~44被維持在此姿勢(彼此抵接，而各支撐孔51~54的各開口面，係沿著垂直方向在假想直線A1上相向之姿勢：第1姿勢)。

接著，如第8圖所示，自支撐板44的支撐孔54***探針11的尖端部21，以貫穿探針11到支撐板43的支撐孔53、支撐板42的支撐孔52及支撐板41的支撐孔51。在此情形下，支撐孔51及支撐孔52的直徑R1，R2，係比探針11中之中間部22的直徑L2還要小，所以，僅探針11的尖端部21貫穿各支撐孔51，52。接著，同樣地貫穿探針11到各支撐孔51~54。

接著，如第9圖所示，維持支撐板41與支撐板42抵接，而且，支撐板43與支撐板44抵接之狀態，分離支撐板42與支撐板43，接著，自各貫穿孔61a~64a拔出定位銷34c，接著，在支撐板42與支撐板43之間配設間隔物33。

接著，如第10圖所示，進行對位，使得支撐板41 的貫穿孔61a、支撐板42的貫穿孔62a及間隔物33的貫入孔65a中之各中心軸成為同軸，接著，貫穿定位銷34a到各貫穿孔61a，62a以及貫入孔65a。此時，維持支撐板41的支撐孔51及支撐板42的支撐孔52的各開口面，沿著垂直方向在假想直線A2上相向之狀態。

接著，貫穿螺栓35到支撐板41的固定孔61b及支撐板42的固定孔62b，螺入螺栓35的尖端部到被形成於間隔物33的尖端部側的端面上之螺孔65c。藉此，支撐板41及支撐板42被固定在間隔物33上。

接著，如第10圖所示，進行對位，使得支撐板44的貫穿孔64b、支撐板43的貫穿孔63b及間隔物33的貫入孔65b中之各中心軸成為同軸，接著，貫穿定位銷34b到各貫穿孔63b，64b以及貫入孔65b。此時，維持支撐板42的支撐孔52、支撐板43的支撐孔53及支撐板44的支撐孔54的各開口面，沿著傾斜方向在假想直線A3上相向之狀態。

接著，貫穿螺栓35到支撐板43的固定孔63c及支撐板44的固定孔64c，螺入螺栓35的尖端部到被形成於間隔物33的基端部側的端面上之螺孔65c。藉此，支撐板43及支撐板44被固定在間隔物33上。

在此狀態下，如第10圖所示，維持支撐板41與支撐板42抵接，而且，支撐板43與支撐板44抵接之狀態，分離支撐板42與支撐板43，同時維持支撐孔51及支撐孔52的各開口面，沿著垂直方向在假想直線A2上相向，而且，支撐孔52、支撐孔53及支撐孔54的各開口面，沿著傾斜方向在 假想直線A3上相向之姿勢(第2姿勢)。接著，固定電極板13到基端部側支撐部32的外側。藉此，如第6圖所示，探針單元2的製造即告結束(在相同圖面中，省略電極板13的圖示)。

在此探針單元2及探針單元製造方法中，使用僅以兩塊支撐板41，42形成之尖端部側支撐部31、及僅以兩塊支撐板43，44形成之基端部側支撐部32，所以，與使用以數量較多之支撐板形成支撐部之構成及方法相比較下，可抑制探針單元2的製造成本。又，在此探針單元2及探針單元製造方法中，在組立時，偏移各支撐板41~44的位置，藉此，使支撐孔52、支撐孔53及支撐孔54的各開口面的相向方向(支撐孔52、53及54的並列方向)，相對於各支撐板41~44的層積方向而言傾斜。因此，在此探針單元2及探針單元製造方法中，無須在少許偏移各穿孔的中心的狀態下，層積各支撐板以形成為一塊之高難度技術，所以，藉此可抑制探針單元2的製造成本。而且，在此探針單元2及探針單元製造方法中，在使各支撐板41~44，維持在各支撐孔51~54的各開口面，沿著相對於各支撐板41~44的層積方向而言垂直的方向，在假想直線A1上相向之第1姿勢之狀態下，貫穿探針11到各支撐孔51~54，之後，轉移各支撐板41~44到第2姿勢，藉此，可製造探針單元2，所以，與使自各開口面事先沿著傾斜方向相向地被形成之基端部側支撐部32的各支撐孔54，53***之探針11持續彈性變形，***各開口面沿著垂直方向相向之尖端部側支撐部31的支撐孔52，51之作業，係一支一支探針11 地進行以組立探針單元2之構成及方法相比較下，可充分縮短組立工序。

接著，針對使用基板檢查裝置1以進行基板100檢查之基板檢查方法，參照圖面做說明。

首先，使尖端部側支撐部31為朝下狀態之探針單元2，固定在移動機構3(參照第1圖)。接著，載置基板100在載置座4的載置面，接著，藉圖面外之固定件，固定基板100在載置座4上。接著，作動基板檢查裝置1。此時，處理部8係控制移動機構3，以移動(下降)探針單元2往接近基板100(載置座4的載置面)之方向(第1圖中之朝下方向)。

接著，處理部8係控制移動機構3，在使探針單元2僅移動事先決定之移動量之時點上，停止其移動。接著，處理部8係控制測量部5以執行測量處理。在此測量處理中，測量部5係依據透過各探針11輸出入之電氣訊號，測量做為物理量之電阻值。

接著處理部8係控制檢查部6以執行檢查處理。在此檢查處理中，檢查部6係依據藉測量部5所測得之電阻值，檢查導體部有無斷線或短路。接著，處理部8係使檢查結果顯示在圖面外之顯示部。藉此，基板100的檢查即告結束。接著，當檢查新的基板100時，載置固定新的基板100到載置座4，接著，作動基板檢查裝置1。此時，處理部8執行上述各處理。

另外，當被配設於探針單元2上之探針11的局部破損時，以下述之順序更換探針11。首先，自移動機構3卸下 探針單元2。接著，自本體部12(基端部側支撐部32)卸下電極板13。接著，壓入破損之探針11的尖端部21到支撐板44側。此時，探針11的基端部23係自支撐板44少許突出。接著，捏著突出之基端部23，以自本體部12拔出。

接著，自支撐板44的支撐孔54***新的探針11，以貫穿到支撐板43的支撐孔53，接著，***尖端部21到支撐板42的支撐孔52。在此情形下，支撐孔54，53，52的各開口面沿著傾斜方向在假想直線A3上相向，所以，探針11被支撐孔54及支撐孔53導引，而尖端部21正確到達支撐孔52，被***到支撐孔52。接著，藉更加壓入探針11，使尖端部21***到支撐板41的支撐孔51。

在此情形下，支撐孔51，52的開口面沿著垂直方向在假想直線A2上相向，所以，尖端部21與中間部22的邊界部分彈性變形，而尖端部21沿著垂直方向延伸，除了尖端部21之部分(中間部22及基端部23)沿著傾斜方向延伸。接著，藉更加壓入探針11，使尖端部21自支撐板41突出，結束探針11的更換。如此一來，在此探針單元2中，可在使各支撐板41~44的姿勢維持在第2姿勢之狀態下(不使各支撐板41~44的姿勢轉移到第1姿勢)，進行探針11的更換。接著，安裝電極板13到本體部12，接著，安裝探針單元2到移動機構3。

如此一來，在此探針單元2、基板檢查裝置1及探針單元製造方法中，在維持各支撐孔51~54的各開口面沿著垂直方向，在假想直線A1上相向地彼此抵接，以使各支撐板 41~44重疊之第1姿勢之狀態下，貫穿探針11到各支撐孔51~54，轉移到在使支撐板41，42彼此抵接，且使支撐板43，44彼此抵接之狀態下，分離支撐板42，43，同時支撐孔52~54的各開口面沿著傾斜方向，在假想直線A3上相向之第2姿勢，而維持該狀態，以藉各支撐板41~44保持探針11。因此，在此探針單元2、基板檢查裝置1及探針單元製造方法中，在組立時，偏移各支撐板41~44的位置，藉此，可使支撐孔52~54的各開口面，沿著傾斜方向在假想直線A3上相向，結果，無須在偏移各穿孔的中心之狀態下，層積複數支撐板，以形成一塊基端部側支撐部之高難度技術，所以，藉此可充分降低探針單元2及基板檢查裝置1之製造成本。

又，在此探針單元2、基板檢查裝置1及探針單元製造方法中，係使用僅以兩塊支撐板43，44形成之基端部側支撐部32。在此情形下，此種支撐板係形成很多個***探針11而支撐之支撐孔，所以，製造成本很高。因此，當依據此探針單元2、基板檢查裝置1及探針單元製造方法時，與使用以數量很多之支撐板形成之尖端部側支撐部或基端部側支撐部之構成及方法相比較下，支撐板減少之部分，可充分降低製造成本。又，在此探針單元2、基板檢查裝置1及探針單元製造方法中，在使各支撐板41~44維持於第1姿勢之狀態下，貫穿探針11到各支撐孔51~54後，使各支撐板41~44轉移到第2姿勢，藉此，在尖端部21側係沿著支撐孔51，52延伸，除了尖端部21側之部分係沿著傾斜方向延伸之狀態下，可使全部探針11暫時維持(彈性變形)，以組立探針單元2。因此， 與使自各開口面事先沿著傾斜方向相向地被形成之基端部側支撐部32的各支撐孔54，53***之探針11持續彈性變形，***尖端部側支撐部31的支撐孔52，51之作業，係針對一支一支的探針11進行，以組立探針單元2之構成及方法相比較下，可充分縮短組立工序。因此，當依據此探針單元2、基板檢查裝置1及探針單元製造方法時，組立工序被縮短之部分，可充分減少製造成本。

又，當依據此探針單元2、基板檢查裝置1及探針單元製造方法時，***定位銷34c到各支撐板41~44的各貫穿孔61a~64a，以使各支撐板41~44維持在第1姿勢，藉此，以簡易之構成及方法，就可確實且容易地使各支撐板41~44維持在第1姿勢，所以，能充分提高探針單元2之製造效率，進而能充分提高基板檢查裝置1之製造效率。

又，當依據此探針單元2、基板檢查裝置1及探針單元製造方法時，在第2姿勢之支撐板42，43之間配設間隔物33，固定各支撐板41~44在間隔物33上，藉此，以簡易之構成及方法，就可以在短時間內確實且容易地使各支撐板41~44維持在第2姿勢，所以，能充分提高探針單元2之製造效率，進而能充分提高基板檢查裝置1之製造效率。

而且，基板檢查裝置及基板檢查方法，並不侷限於上述構成及方法。例如在第1姿勢中，雖然上述記載有使各支撐板41~44維持在彼此抵接之狀態之構成及方法，但是，也可以採用維持在第1姿勢中，各支撐板41~44彼此接近之狀態之構成及方法。又，雖然上述記載有維持在第2姿勢中， 使支撐板41，42彼此抵接，支撐板43，44彼此抵接，而且，分離支撐板43，44之狀態之構成及方法，但是，也可以採用維持使支撐板41，42彼此接近之狀態，或者，維持使支撐板43，44彼此接近之狀態之構成及方法。

又，雖然上述記載有在第2姿勢中，支撐孔51及支撐孔52的各開口面沿著垂直方向，在假想直線A2上相向之構成及方法，但是，也可以採用在第2姿勢中，各開口面沿著傾斜方向，在假想直線上相向之構成及方法。在此情形下，此傾斜方向可與上述假想直線A3的傾斜方向相同，也可以不同。

而且，雖然上述記載有使第1支撐板以兩塊支撐板41，42構成之例，但是，也可以使用以一塊板體構成之第1支撐板。在此情形下，此第1支撐板的支撐孔，可以形成使得沿著上述垂直方向延伸，也可以形成使得沿著上述傾斜方向延伸。

又，在上述兩塊支撐板43，44(第2支撐板及第3支撐板)之外，也可以採用以再加上一塊或兩塊以上之支撐板(亦即，三塊以上之支撐板)，支撐探針11的基端部23之構成及方法。在此情形下，使追加之支撐板中之支撐孔的開口面，與其他支撐板中之支撐孔的開口面同樣地，在第1姿勢中，沿著垂直方向在假想直線A1上相向，在第2姿勢中，沿著傾斜方向在假想直線A3上相向，藉此，可實現與上述構成及方法相同之效果。

又，雖然上述記載有在支撐板42，43之間配設俯視為ㄈ字形之間隔物33，以使各支撐板41~44維持在第2姿 勢之構成及方法，但是，也可以採用取代間隔物33，而使用立方體或圓柱狀等任意形狀之間隔物之構成及方法。

2‧‧‧探針單元

11‧‧‧探針

31‧‧‧尖端部側支撐部

32‧‧‧基端部側支撐部

33‧‧‧間隔物

34a,34b‧‧‧定位銷

41~44‧‧‧支撐板

51~54‧‧‧支撐孔

61a,62a,63b,64b‧‧‧貫穿孔

65a,65b‧‧‧貫入孔

Claims (5)

1. 一種探針單元，具有：複數個探針，用於使尖端部接觸到基板的導體部，以進行電氣訊號之輸出入；以及支撐部，支撐前述探針，其特徵在於：前述支撐部之構成係具有：第1支撐板，具有第1支撐孔，以支撐貫穿該第1支撐孔之前述尖端部；第2支撐板，具有第2支撐孔，以支撐貫穿該第2支撐孔之前述探針的基端部；以及第3支撐板，具有第3支撐孔，以支撐貫穿該第3支撐孔之前述基端部；而被配置使得該各支撐板以此順序相向，同時構成為具有間隔物被配設於前述第1支撐板與前述第2支撐板間，前述各支撐部在前述第2支撐板及前述第3支撐板在抵接或接近之狀態下，係以前述第1支撐板與該第2支撐板係分離，同時前述第1支撐孔、前述第2支撐孔及前述第3支撐孔的各開口面，沿著相對於該各支撐板的層積方向而言傾斜之傾斜方向，在假想直線上相向之姿勢固定於該間隔物，前述探針係維持前述尖端部沿著前述第1支撐孔延伸，同時除了該尖端部之部分係沿著前述傾斜方向延伸之狀態，在前述第1支撐板，形成有可被第1定位銷以及第2定位銷貫穿的第1貫穿孔，在前述第2支撐板以及前述第3支撐板，各自形成有可被前述第1定位銷貫穿的第2貫穿孔以及可被第3定位銷貫 穿的第3貫穿孔，在前述間隔物，在相向前述第1支撐板的面形成有可被前述第2定位銷貫穿的第1貫入孔，同時在相向前述第2支撐板的面形成有可被前述第3定位銷貫穿的第2貫入孔，前述第1貫穿孔以及前述第2貫穿孔係各自形成於，當前述第1支撐孔、前述第2支撐孔及前述第3支撐孔的各開口面，沿著相對於該各支撐部而言垂直之垂直方向，在假想直線上相向地彼此抵接或接近之狀態下被重疊時，該各貫穿孔的中心軸成為同軸之位置，前述第1貫入孔係形成於，當前述各支撐板為前述姿勢時，該各第1貫入孔的中心軸與前述第1貫穿孔的中心軸成為同軸之位置，前述第3貫穿孔以及前述第2貫入孔係各自形成於，當前述各支撐板為前述姿勢時，該各第3貫穿孔的中心軸與該各第2貫入孔的中心軸成為同軸之位置，前述第1支撐板、前述第2支撐板以及前述第3支撐板係各自形成俯視為四邊形，前述第1貫穿孔，在前述第1支撐板中一對的對角位置各形成一個，前述第2貫穿孔，在相向前述第1支撐板的前述各對角位置的前述第2支撐板中一對的對角位置各形成一個，同時在相向前述第1支撐板的前述各對角位置的前述第3支撐板中一對的對角位置各形成一個，前述第3貫穿孔，在與前述第2支撐板中前述一對的對角 位置相異之另一對的對角位置各形成一個，同時在與前述第3支撐板中前述一對的對角位置相異之另一對對角位置各形成一個。
2. 如申請專利範圍第1項所述之探針單元，其中，前述間隔物係圍繞前述各探針形成俯視為ㄈ字形。
3. 一種基板檢查裝置，具有：探針單元，如申請專利範圍第1或2項所述；以及檢查部，依據透過接觸到基板的導體部之前述探針單元的前述探針以輸入之電氣訊號，檢查前述基板。
4. 一種探針單元製造方法，製造探針單元，前述探針單元具有：複數個探針，用於使尖端部接觸到基板的導體部，以進行電氣訊號之輸出入；以及支撐部，支撐前述探針，其中，使用前述支撐部，前述支撐部之構成係具有：第1支撐板，具有第1支撐孔，以支撐貫穿該第1支撐孔之前述尖端部；第2支撐板，具有第2支撐孔，以支撐貫穿該第2支撐孔之前述探針的基端部；以及第3支撐板，具有第3支撐孔，以支撐貫穿該第3支撐孔之前述基端部；而被配置使得該各支撐板以此順序相向，同時構成為具有間隔物被配設於前述第1支撐板與前述第2支撐板間，前述第1支撐板、前述第2支撐板以及前述第3支撐板係各自形成俯視為四邊形，以第1定位銷貫穿在前述第1支撐板中一對的對角位置各形成一個之第1貫穿孔，以及在相向前述第1支撐板的前述各對角位置的前述第2支撐板中一對的對角位置各形成 一個同時在相向前述第1支撐板的前述各對角位置的前述第3支撐板中一對的對角位置各形成一個之第2貫穿孔，維持前述第1支撐孔、前述第2支撐孔及前述第3支撐孔的各開口面，沿著相對於前述各支撐部而言垂直之垂直方向，在假想直線上相向地，使前述各支撐板彼此抵接或接近以重疊之狀態，在此狀態下貫穿前述探針到前述各支撐孔，之後，在前述第2支撐板及前述第3支撐板抵接或接近之狀態下，分離前述第1支撐板與該第2支撐板，拔出前述第1定位銷，並在前述第1支撐板與前述第2支撐板之間配設前述間隔物，以第2定位銷貫穿前述第1貫穿孔以及在前述間隔物中相向前述第1支撐板的面形成之第1貫入孔，同時以第3定位銷貫穿在與前述第2支撐板中前述一對的對角位置相異之另一對的對角位置各形成一個且在與前述第3支撐板中前述一對的對角位置相異之另一對對角位置各形成一個之第3貫穿孔以及在前述間隔物中相向前述第2支撐板的面形成之第2貫入孔，使該各支撐板轉換成前述第1支撐孔、前述第2支撐孔及前述第3支撐孔的各開口面，沿著相對於該各支撐板的層積方向而言傾斜之傾斜方向，在假想直線上相向之姿勢，在此狀態下該各支撐板被固定於前述間隔物，前述尖端部沿著前述第1支撐孔延伸，同時除了該尖端部之部分係沿著前述傾斜方向延伸之狀態下，維持前述探針以製造前述探針單元。
5. 如申請專利範圍第4項所述之探針單元製造方法，其中，形成俯視為ㄈ字形的前述間隔物係圍繞前述各探針地配設於前述第1支撐板與前述第2支撐板之間。