JP4965341B2 - プローブユニットおよび回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
E1=E2<E3<I1≦I2<E4<I3・・・式(1)
E1:先端部21の外径
E2:基端部22の外径
E3:中央部23の外径
E4:大径部24の外径
I1:第1挿通孔31aの内径
I2:小径孔41aの内径
I3:大径孔42aの内径
2 プローブユニット
3 移動機構
5 検査部
11 プローブピン
12 本体部
21 先端部
22 基端部
23 中央部
24 大径部
31 第1支持部
31a 第1挿通孔
32 第2支持部
32a 第2挿通孔
41 第1支持板
41a 小径孔
42 第2支持板
42a 大径孔
Claims (3)
- 第1挿通孔が形成された板状の第1支持部および当該第1支持部に対して対向配置されると共に第2挿通孔が形成された板状の第2支持部を有する本体部と、先端部および基端部が前記第1挿通孔および前記第2挿通孔にそれぞれ挿通されると共に外表面が非導電性を有するように形成された中央部が湾曲させられた状態で前記本体部によって支持されるプローブピンとを備えたプローブユニットであって、
前記プローブピンは、前記中央部よりも大径の大径部を前記基端部の一部として有して構成され、
前記第2挿通孔は、前記中央部よりも大径でかつ前記大径部よりも小径であって前記第1支持部側に位置する小径孔と、前記大径部よりも大径であって前記小径孔に連通する大径孔とで構成され、
前記第2支持部は、前記小径孔が形成された第1支持板と、前記大径孔が形成された第2支持板とを備えて構成され、
前記第1支持板および前記第2支持板のいずれか一方は、前記小径孔および前記大径孔の各々の中心軸が同軸状態となる第1の位置と当該両中心軸が軸ずれした状態となる第2の位置との間を当該両支持板のいずれか他方に対してスライド可能に構成されているプローブユニット。 - 前記大径部は、前記基端部の一部にコーティング材料をコーティングすることによって形成されている請求項1記載のプローブユニット。
- 請求項1または2記載のプローブユニットと、当該プローブユニットを移動させる移動機構と、前記プローブユニットを介して入力した電気信号に基づいて検査対象体に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。
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