JP5599150B2 - プローブユニット構造 - Google Patents
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Description
プローブ10は、リード線一体型のワイヤー型プローブである。ここでの「ワイヤー型」は従来の短いピン型プローブに対して、ある程度の長さを持っていることを表す用語として用い、「リード線一体型」はピン型プローブとリード線とで構成された従来の信号伝達導体構造に対する用語として用いている。すなわち、リード線一体型のワイヤー型プローブとは、従来のようにプローブとリード線とが分かれておらず、接触圧力が変動したり接触自体が繰り返されたりすることによりプローブとリード線との接触抵抗が不安定になるという問題が生じない長尺の信号伝達導体であって、金属線15と、金属線15上に設けられた絶縁層16とを有するものである。
絶縁層16は、金属線15上に設けられる。絶縁層16は、基本的には、被検査体50の電気特性を検査する際のプローブ同士の接触を防いで短絡を防止するように作用するものであるが、更に加えて、プローブ全体としての被膜強度と耐電圧を確保するとともに、プローブユニットへの装着時や使用時の穴への挿入の容易化、摺動不良・検査不良の低減等を実現するために設けられる。さらに、この絶縁層16は、図2(A)(C)に示すように、プレート穴24に2本以上挿入される場合には、同時に挿入された他のプローブ10の金属線15との間に所定の絶縁ギャップ(間隔)を確保するために設けられる。その絶縁ギャップは、隣り合うプローブ10の絶縁層16の厚さとなる。絶縁層16は、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。多層構造で絶縁層16を構成する場合は、絶縁性の異なる層で構成してもよいし、滑り性を付与する層を外層に形成してもよいし、熱融着性を有する層を外層に形成してもよい。
ガイドプレート20は、図1等に示すように、プローブ10を差し込む穴24が形成された複数のプレート(21,22,23)で構成され、複数のプローブ10を装着している。こうしたガイドプレート20は、図6に示すように、装着したプローブ10の先端11を被検査体50に押し当てるように動作し、その結果、プローブ10の湾曲部13を湾曲させ、湾曲したプローブ10の反発力を検査圧力として利用し、被検査体50の電気特性を検査する。
次に、プローブユニット構造の組み立て手順、すなわちプローブユニット構造の製造方法について説明する。図4及び図5は、本発明のプローブユニット構造の組み立て手順の態様を示す模式断面図である。
プローブ10としては、ウレタン被覆ベリリウム銅線材(絶縁層を含む総外径φ0.11mm、金属線径φ0.09mm)を用い、長さ約300mmの2本ペアとした。ガイドプレート20としては、厚さ1mmのスミカスーパー材(住友化学製 ポリエステル樹脂 スミカスーパーS1000)を用い、プローブ先端側プレート21は1枚で構成し、中間プレート22は接着剤で貼り合わせた2枚組で構成し、プローブ後端側プレート24は1枚で構成した。これらの各プレートを重ね合わせた。なお、穴開け加工は、それらを重ね合わせた後に穴径0.23mmの複数の穴を一括で行い、その穴数は被検査体に合わせた。その後、上記した「組み立て手順/製造方法」の欄に示した手順で組み立て、本発明に係るプローブユニット構造を作製した。
10,10a,10b,10c リード線一体型のワイヤー型プローブ
11 先端
12 後端
13 湾曲部
14 リード部
15 金属線
16 絶縁層
20 プレート
21 プローブ先端側プレート
22 中間プレート
22a,22b 中間プレートを構成する板部材
23 プローブ後端側プレート
24 穴
25 規制部材
31,32 接着剤
40 検査装置
50 被検査体(電極)
60 研磨材
61 基材
L1 突出長さ
L2 湾曲部の長さ
L3 中間プレートとプローブ後端側プレートとの間の長さ
Claims (4)
- ガイドプレートに装着された複数のプローブの先端を被検査体に押し当て、湾曲したプローブの反発力を検査圧力として利用し、該プローブの後端側をリード線として利用するプローブユニット構造であって、
前記プローブは、金属線と該金属線上に設けられた絶縁層とを有するリード線一体型のワイヤー型プローブであり、
前記ガイドプレートは、前記プローブを差し込む穴が形成された複数のプレートで構成され、
前記複数のプレートは、前記被検査体側から、プローブ先端を所定長さだけ突出させるプローブ先端側プレートと、該プローブ先端プレート側との間で所定の長さを確保するようにプローブユニット構造内に固定され、且つ該プローブ先端側プレートから離間して配置され、且つ該プローブ先端側プレートとの間で前記プローブが湾曲する湾曲部の長さを決定する中間プレートと、該中間プレートから離間して配置され、該中間プレート側にスライド可能な調整機構を有し且つ前記プローブを固定するプローブ後端側プレートと、を少なくとも有し、
前記プローブ先端側プレートと前記中間プレートとの間に所定長さの前記湾曲部を形成 するように該プローブ先端側プレートを移動させるとともに、前記プローブ後端側プレー トを該中間プレートから所定の長さ離間し、このとき該プローブ先端側プレートと該中間 プレートとは、該湾曲部の長さを一定に保てるように規制部材で固定されており、
前記プローブ後端側プレートが有する前記調整機構は、前記プローブ先端が前記被検査 体に押し当たって汚れ又は酸化等した場合に、前記プローブ先端を研削し、研削して短く なった突出長さを元の突出長さに戻すために前記中間プレート側にスライドさせる調整機 構であり、
前記プローブ後端側プレートは、前記中間プレート側にスライドさせる長さだけ該中間 プレートと離間して配置される、
ことを特徴とするプローブユニット構造。 - 前記検査圧力の調整は、前記プローブ先端側プレートと前記中間プレートとの間の距離を変化させて行う、請求項1に記載のプローブユニット構造。
- 前記プローブ先端側プレート、前記中間プレート、及び前記プローブ後端側プレートは、それぞれ少なくとも1枚以上のプレートで構成されている、請求項1又は2に記載のプローブユニット構造。
- 前記複数のプレートに開けられた穴は、1本以上3本以下のプローブを差し込むことができる所定の直径で開けられている請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローブユニット構造。
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