TWI380029B - Current-measuring device, testing device, current-measuring method and testing method - Google Patents

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1380029 19437pifl 修正日期101年8月10日 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及一種電流測定裝置、測試裝置、電流測定 方=以及測試方法。本發明特別是涉及對電子元件所接收 ^電流進行測定用的電流測定裝置、測試I置、電流測定 f法以及職方法。又，本巾請案是與下記的日本申請案 ^關連。就藉由文獻之參照而確認可編人的指定國而兮， ^由參照下記的中請案中所記載的内容而編& 中’以作為本申請案的-部份。 月茶 西元2005年2月25日 I特願2005-050071申請日 【先前技術】 流進ί二Γ苟不一種物件以作為對電子元件所接收的電 用電源電ί作^;件具備··大電流測定 電“及小電力:====的 元件靜止時的漏電流(請參閱專利文獻用來測疋電子 專矛】文獻1 .特開2001-41997號公報 【發2 :特開2〇〇4_347421號公報 發明所要解決的問題 密度=造:程的微，’使電子元件的高 子元:二率電 別是在―= 電以耗會變大。因此，專利文獻 19437pifl 修正日期丨01年8月10 爲第95106268號中文說明書 化接地之間所設置的電源安定 件的高密度化，則;：谷:f求會更大…隨著電子元 使=下漏電 ===_會增加’即 的漏==、，絕緣不良良所產生 在參考測定用電源電路， 中的電流會大Ait ’供給至電子元件 難。又，平滑化電漏電流之測定會變成較困 源電路應供給的電流變大。然而，若= 變：，則電壓的差值而使電源電路所供給的電流 電流以進行敎Γ於輸出電壓的雜訊錢下供給大的雜訊 、，則定2 ^發㈣目的是提供—可解決上記問題的電泣 的藉3靖=、:流測定方法以及測試方法。此： 成。又，項所記㈣特徵的組合㈣ 體例。i專·圍各附屬項規定了本發明更有利的具 解決問題所用的手段 借：第〗電胤進仃測疋所用的電流測定裴置，复且 Ίϋ ’其在電流測定中儲存—種作為供給^電 19437pifl 修正曰期丨01年8月10曰 爲第95職68號中文說明書無劃線修正本 ^^中的輕的基準用的基準供給電壓，·第 ^流測技使電源連接至第1電容器以儲存著此A準; 源由第！電容器切斷 、，口 口 [5，其在電流測定中使第1 八 電l· n & 7 电谷口。中已儲存的基準供給 开杜i輸 端子㈣為鱗的電流供給至電子 ，以及第1電流測定部，其對供給至此電子元 的供給電流進行測定。 牛中 你給部亦可具有：® 1差值放大器，其使由基準 =電壓減去端子電顧得的差被放大，以輸出一種加至 基準供給麵之電壓；以及f阻錢接 r輸出和該輸人端子之間，使第1差值放大器的輸出i 乂和上述端子電壓的差所對應的供給電流供給至該輸入端 子。 第^電流測定部亦可具有：差值運算器，其使上述電 阻中由第1差值放大器觸輸出電壓減去此電阻中此輸入 端子側的端子電壓後所得的差值電壓被輸出；以及測定 部，其依據此差值電壓以測定上述之供給電流。 第1屯流測定部更具有：電壓源，其輸出一已預先設 定完成的測定用基準電壓；以及第2差值放大器，其使上 述差值電壓和測定用基準電壓的差放大後的差值放大電壓 被輸出。上述之測定部亦可依據此差值放大電壓來對此供 給電流進行測定。 第1電流測定部另外亦可具有低通濾波器，其連接在 上述之電壓源和第2差值放大器之間。 19437pifl 爲第95106268號中文 修正曰期101年8月10日 上述電流測定裝置更可具有補正部，其藉 =^應_正電壓相加至基準供給電壓，以對此基準 壓進行補正1流供給部亦可在電流測定中使藉由 電流供給電壓和上述之端子電壓為基準的 存者上述加异H的輸出電壓以供給至第i差值放大器。 和部更可具有第2開關，其設在加算器的輸出 苐2電谷益之間，由電流測定開始至一 使第2電容5|連接财的』間之間 輪出雷ί = 輸出，以儲存著此加算器的 =壓，在經過上述之預定的期間之後，切斷此加算养 的輸出和第2電容器間之間隙。 乂播H電机敎裝置更可具備：電源，其在電流測定之 =使基準供給電壓供給至第丨電容器和該輸人端子；第3 ，關，其在電流測定中時使電源由第i電容器和該輸入端 以及電壓調整部，其在電流峡中時使預定的偏 移電壓加至第i電容器中已儲存的基準供給電墨上以供认 至電流供給部’藉此使電流測定巾的上述端子電壓在與電 流測定前的端子電壓比較時成為較高。 第3開關亦可直列地具有：第i電晶體，其設在上述 ，源和輸人端子之間的配線以及第丨開關中未連接第i電 f器的端部和該電源之間的配線之接點、和該電源的輸出 端子之間’續在該f源的輸出端子和此接點之間成為關 1380029 19437pifl 修正日期101年8月1〇日 爲第95臓68號中文說明書無劃線修正本 閉㈣時，使由電源的輪出端子側流向此接點侧的 ，斷，以及苐2電晶體’其使由此接點撤向電源的 端子側的電流被遮斷。 測定裝置更具備：第4開關，其設在第3開 子和第1差值放大器之間，·第5開關， 輪人端子側的端部和此輸入端子之間. 定；以及測試控制部，至進行测 電流作測定時的動作f流測二的動作 ，電流作測定時的靜止電流= 二 == 第5開關斷開(。㈣由第夺3 =導通，第4開關和 ;，電流進行=至 電流測試時使第3開關斷開，第在靜止 依據第1電容器中所儲存的基 =開關導通， 摩，藉由第1電流測定部來對和上述的端子電 行測定以作為上述的靜止電流厂-子凡件中的電流進 部定無效檢出 f成較預先設定的門限值電流還大上述供給電流 4即檢出，，此電流測定為無效，，之事實。1此測定無效檢出 、上述之電流測定散i更可具備 之前使基準供給錢供給至第 2、在電流測定 3開關’其在電流測定中時使電源由U輪入端子；第 π 1電容器和該輸入 1380029 19437pifl 修正日期101年8月1〇 爲第95106268號中文說明書無劃線修正# 端子切斷。此測定無效檢出部在已檢出”電流測定為無效” 元Π使第3開關成為導通，以使電流由電源供 本發明的第2形式以提供一種對電子元件進行測 其具傷:第1電容器，其在電流測定 供仏電壓子元件中的電壓的基準用的基準 存基準供給電壓，H収中則使電源由 弟1電谷盗切斷；電流供給部，其在電 「 谷态中已儲存的基準供給電壓和上述 子 的端子電虔為基準的電流供給至電子元==== 流測定部’其對供給至此電子元件 備：基準供^法，其具 ==壓的基準用準 定前使電源“至:i 關其以便在電流測 電流狀巾肢電源㈣丨鱗供給電麼， 上述輸入端子子電的基準供給電壓和 中；以及第1電流測定步驟，与 1供給至電子兀件 供給電流進行測定。 /、士供…至此電子元件中的 依據本發明的第4形式，以提供一種對電子元件進行 9 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 修正日期101年8月10日 其在為:::電J準供給_存步驟， 的基準供給·儲存在i 1電容lid'的電f的基準用

Tittle J 第/電此2供給_ ’電_定中則使電源由 電容器^儲存的====電流測定中使第1 :;測定步驟’其對供給至此電子元件中 ^’上記的發明的概要未列舉本發明的必要特徵 。、些特徵群的下位組合(sul>combinati〇n)亦屬本發明。 發明的效果 一依據^發明，即使將電源安定化用的電容器連接至電 一牛的、子時，供給至此端子的電流中所產生的雜訊較 小，可使該端子的電壓變動受到抑制。 ▲為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯 易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細 明如下。 【實施方式】 以下’將依據本發明的實施形式來說明本發明，但以 下的實施形式不是對所請求的申請專利範圍所屬的發明的 ~種限制。又，各實施形式中所說明的特徵的組合的全部 不限於發明的解決手段所必須者。 1380029 19437pifl 修正日期101年8月1〇日 爲第95臟68號中文說明書無劃線修正本 - yj IU α 圖1顯示本發明的實施形式之電 以及電子元件2G。電流㈣裝 =裝置10的構成 對象元件(DUT: Device Und、τ 戸φ Lsi等的測試 :如由遍子專的輸入端子所接 = 流測定裝置_如是—種對電子 ㈣=測疋。電 試裝置。電子元件20在動作中進r 仃測试用的測

:的動作電流測試以及在靜止中進行一 =電流測試。本實施形式所屬的電__ 電流測試時可使供給至電子元 0在靜止 精度更優良輯漏電流的電__減低，以 電流測定裝置1G具備：測試㈣部9G、電源 圖樣產生部502、信號輸入部綱以及判定部細。° _ 制部9〇控制著電源部506、圖樣產生部502、㈣= 5=以及欺部5G8。電源部·是—種使電源電流供％ 電子凡件2G中所㈣電源裝置。電源部在電子^ 2〇的動作電制試和靜止電流測試時對供給至電子 2〇中的f源紐的大小進行測定，且將 判^通。圖樣產生部5__試控制部 以執订-種測絲式的順序，且產生_種供給 20中的測試圖樣。 疋件 信號輸入部504接收此測試圖樣且使其成形，以 一種供給至電子元件20中的測試信號。即，例如，信^ 入部504以測試圖樣所指定的時序來產生一種指定的^ 波形。域’信號輸入部504將此測試信號供給至^元 11 丄 丄 19437pifl 爲第95106268號中文說明書無劃 修正曰期101年8月1〇曰 所輸出對應於此測試信號以依據電子元件20 所輸出的“號來判定此電子 508依據供仏至恭早-^t件2〇的良否。又，判定部 子元件20'的電源電流的大小來判定此電 功能上亦可作為本發明的的料/ ’電流測定裝置10在 電子^件^ 的實施形式之電源部的構成以及

制部SO d電源部506具備：電流測 主要9用在疋部4〇、以及電容器％。電流測定部30 盘=:2件20的靜止電流測試中，以供給-種在 二:二:時更小的電流至電子元件2〇中， 件1所給電流的大小進行測定來對此電子元 ; = = =中電流測定部4。主要是用在 =種較電流測轉3G中還大的電流至電子 #㈣6供給的電流的大小進行測定來對此 :子兀件2〇所接收的電流進行測定。電容器50是一種平

= = 11’在電子元件2G所消耗的電流暫時地增加時， 此電夺益5 0可藉由電流測定部3 〇和電流測定 為止__防止此輸入端子25的端子電 壓發生變動。 電流測定部30是本發明所屬的電流測定裝置的一 例，其使電流供給至電子元件2〇，以對電子元件之 輸入端子25所触㈣錢行測定。本實施形式所屬 流測定部3G雜以電容器⑽巾賴存的電騎為基準來 12 l9437pifl 修正曰期1〇1年8月1〇曰 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 检制此電子元件20的端子電壓，以取代，，藉由電源等來產 生此作為輸入端子25的端子電壓的基準用的電壓，，。因 此，電流測定部3 0可使雜訊電流小的安定電流供給至雷不 元件20中。 電流測定部30具有：開關控制部35、電壓隨耦器172、 電容器100、開關1〇2、電阻1〇4、電流供給部11〇、電流 >則定部120、補正部140、電壓調整部16〇、測定無效檢出 部180、開關170以及開關174。開關控制部35控制著電 流測定部30内的各開關（102、141、144、148、163、166、 170和174等）的開/關(on/off)。又，本實施形式所屬的開 關控制部35更可控制電流測定部4〇内的開關152 關(on/off)。 j *電壓隨躺H 172之正輸入端經由開關17〇 *連接至輸 入端子25，負輸入端連接至電壓隨耦器172的輸出端。對 應於輸人制和輸出電壓贿輸㈣壓變化，則可使電壓 已安定化的輸出電壓輸出。電壓_器172的輸出端連接 至開關102和電流供給部丨1〇内的電阻丨I〗。 電谷益100在電流測定中儲存著一種 種成為供給至電子 一 I 元件20中的電壓的基準用的基準供給—一

連接在電容器100的基準供給電壓輸出

地之間。開關102連接在, 側的·------ 所進 (on) 19437pifl 修正日期101年8月1〇曰 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 而儲存著基準供給電壓。又，開關1()2在由電流測定部％ 所進行的電流測定中藉由開關控制部35而成為關閉 ，使電源150由電容器1〇〇切斷。因此，電容器 可在電流測定中使已儲存的電壓幾乎未放電地朝向補正部 =〇而輸入。電阻1〇4連接在開關1〇2的電容器1〇〇側的 鳊。P和電谷器1〇〇的基準供給電壓輸出側的端部之間。 電流供給部110在由電流測定部3〇所進行的電流測定 中使電容器100的基準供給電壓經由補正部14〇而輸入， 且使輸入端子25的端子電壓經由開關170和電壓隨耦器 而輸入。然後，電流供給部11〇在由電流測定部3〇戶^ 進行的電流測定中使以電容器1〇〇所儲存的基準供給電壓 入端子25的端子電壓為基準的電流供給至電子元件 電流供給部U0包含差值放大器112、電阻113、電阻 電壓隨耦器116、電阻118以及電容器119。差值放 大器112是本發明所屬的第1差值放大器的-例，其使由 補正部140戶斤輸入的基準供給電壓減去端子電塵所得的差 被放大，以輸出一種加至基準供給電壓之電壓。更具體而 B，差值放大|§ 112在端子電壓較基準供給電壓還低時， ^基準供給電壓減切子電壓所得的錄放大後的結果所 得到的正電壓加至基準供給電壓後所得的電壓被輸出。 又’端子輕較基準供給電壓還高時，由基準供給電壓減 去端子電壓所得的差歡大後的結果所得到的貞電壓加至 基準供給電壓後所得的電壓被輸出。電阻U3和電阻114 19437pifl 爲第9職68號中娜纖醜修正本 修正日期㈣8月10日 決定此差值放大器112的放大率。更具體而言，電阻113 的電阻值若設為Ri，電阻114的電阻值若設為Rf，則放大 率=成為Rf/Ri。又，為了使輸入端子25的端子電壓的下 降量變小，則此放大率較佳是丨倍以上者。 、電壓隨_器116是-種差值演算器，其正輸入端連接 至差值放大器112的輸出端，負輸入端連接至電壓隨耦器 116的輸出端。電壓隨耦器116對應於輸入電壓和輸出電 壓以藉由輸出電壓的變化，使輸入電壓已安定化的輸出電 ，被輸出。電阻118連接在差值放大器m的輸出和輸入 端子25之間，使差值放大器112的輸出電壓和輸入端子 25的端子電壓的差所對應的供給電流供給至輸入端子 25。電容器119連接至電阻118的輸入端子乃側的端部和 接地之間，使經由電阻118而供給至輸入端子乃的電流安 定化。 電流測定部120是本發明所屬的第i電流測定部的— 例’其封電流供給部11〇供給至電子元件2〇中的供給電流 進行測定。電制定部12G包含差值演算器122’、^定二 124電壓源、低通遽波器128、差值放大器13〇以及 測定部132。差值演算器122連接在電壓隨耦器116和輪 子25之間，使電阻118中的放大器U2側的輸出電壓 減去電卩且118的輸入端子25側的端子電壓所得的差值電壓 被輸出。測定部124依據差值電壓來測定此供給電流。更 ^體而言，電阻118的電阻值若設為Rm，且差值電壓若 设為Vlm，則測定部124藉由AD轉換器等來測定此差值 1380029 19437pifl 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 修正日期101年8月1〇日 電壓Vim ’且以電阻值Rm來相除以算出此供給電流 Iddq(=Vim/Rm)。 設有電源126、差值放大器130、測定部132以及低通 濾波益128 ’以便藉由測定部124而高精度地對供給至電 子兀件20的供給電流Iddq進行測定。電壓源126例如包 含DA轉換器’使例如由測試控制部9〇所設定的數位式電 壓設定值轉換成類比電壓，使測試控制部9〇所預設的測定 用基準電壓輸出。差值放大器13〇使差值演算器122所輸 出的差值電壓和電壓源126所輸出的測定用基準電壓的差 被放大後的差值放大電壓被輸出。測定部132依據差值放 大器130所輸出的差值放大電壓來測定上述之供給電流。 低通濾波器128連接在電壓源126和差值放大器13〇之 間，使電壓源126所輸出的測定用基準電壓安定化。 例如，靜止時電子元件20所接收的電流Iddq的邏輯 值是2〇mA的情況下，使用此測定部124以i微安為單位 來，定此供給電流Wdq時，此測定部124須要測定此差值 演算器122的電壓而成為15位元以上的數位值。為什麼呢？ 此乃因 20mA/luA=20〇〇〇，214〈 20000〈 215。 此處，f流败裝置1G在以高精度來對供給電流進行 2之情況下，使預先浙用基準_ Vref由電廢源126 =1流測對應於較邏輯_小的電流;[ddq

:一杰„值演异裔122所輸出的_大略相同的電壓 设疋成電㈣126，使上述之Vref成為較差值 H 所輸出的電壓還小。 八D 22 1380029 I9437pifl 修正日期101年8月10日 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 差值放大器130使差值演算器122的輸出電壓viml 和測定用基準電壓Vref的差值的電壓Vim2(=Viml Vref) 放大成N倍的電壓被輸出。測定部132藉由對此差值放大 器130所輸出的電壓進行測定，則在與差值演算器122的 輸出電壓直接被測定的情況相比較下可使用位元數較少的 AD轉換器，以精確地對此供給電流Iddq進行測定。 例如，靜止時電子元件20所接收的電流Iddq的邏輯 值是20毫安，實際的電流值的差異是±1毫安時，若 Vref= 19mA，則差值放大器！ 3〇使差值電流〜2ma 所對應的差值放大電壓被輸出。因此，使用此測定部132 以1微安為單位來測定此供給電流Iddq時，此測定部132 若對此差值放大器130的電壓進行測定而成為丨丨位元的數 位值時亦可。為什麼呢？此乃因2mA/luA=2〇〇〇，2l0 < 20000 < 211。 又’電子元件20的個體所造成的供給電流的差Mddq 若成為此供給電流Iddq的邏輯值的，則電壓源126 若能以相當於Iddq的1〇%的電壓單位的解析度使此測定 用基準電壓Vref輸出時亦可。然後，電壓源126的設定解 析度乘以測定部132的測定解析度所得的值若成為較Iddq 除以測定單位(例如，1微安)所得的值還大時亦可。 又，對多個電子元件20進行測定以求得該供給電流的 差Mddq時，由於由電壓源126所造成的測定用基準電壓 Vref的誤差會相消，於是可得到正確的ΔΙ(Μ(1。 然後，電壓源126所輸出的測定用基準電壓Vref由於 17 1380029 19437pifl 修正曰期101年8月1〇日 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 則^間中未變化，則在與差動放大器130和測定部132 有低賴波科雜訊減低的情況相 126和差動放大器⑽之間設有低通渡波 短的測定期情_確的電隸。 更 Μ+ΪΐΪ 140藉由將差值運算器122所輸出的差動電壓 =應的補正電壓加至電容器謂的基準供給電壓，= 補^因此，電子元件2〇所接收的U q在與電子兀件2g的端子電壓vdd有相關時，可藉由 =電子，20的端子電壓進行補正以測定更精確^電 μ q°本實_式+，對應於差值f壓崎基準供仏雷 斤用的電流測咖1〇的動作模式稱為 補模式。又，補正部140對應於電壓調整部16〇所 的ί壓以對供給至電流供給部⑽_差值放大器112中 的基準供給電壓進行調整。 補正部140包含開關14卜電阻142、電容器143、開 =4、加算器145、電容器146、電阻147以及開關148。 開關141連接在差值運算器122的輸出和加算器145的輪 入之間。在電流測定時進行-種使差值錢為基準的補^ 電壓加至基準供給的補正過程中，_ 141藉由 控制部35而導通㈣，使差值運算@ 122的 认 至加算器145中。另-方面，在未進行上述補正時，電; 測定中此開關⑷藉由開關控制部35而關閉_。電阻 142連接在開關mi和加算器之間。 電容器143連接在加算器145的輸入和接地之間。和 1380029 19437pifl 爲第95職68财$翻書_線修正本 修正日期1〇1年8月〗〇日 使=:=電壓安定化以 關控制部35在靜止電流測試中:上:通補： 關閉，差值運算器122的差值電_^至電導容通器^關⑷ 然後，開關控制部3 5在電流測定部j 2 ==進行測定之前使開關⑷被關; 夺益刚可將已儲存的差值電壓供給至加算器⑷^。电 • 關144連接在開關141的加算器145的端部和接地 為關閉。另—方面，未進行上述1正；成 關控制部35使電阻142導通，加算器145的輸入成二二 此時未進行基準供給電壓的補正。 ‘、、、 差值’加算器145以預定的放大率使 差值運4 122所輸出之儲存在電容器143中的 加至基準供給電壓，以作為已補正的基準供仏電 入端子25的端f電壓為基準的電流供給至電子元 輪 又，加算器145更可藉由將電壓調整部_ 電壓加至基準供給電麗，以對此基準供給電壓進的 電容器H6連接在加算器145和差值放大器;^門 的配線和接地之間，儲存著此加算器145的輸出電壓 將電流測定中所齡的電壓供給至差值放大器u 關148設置在加算器145和差值放大器112之間的^ 丄JOUU/y

19437pifJ 修正曰期101年8月10曰 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 之加算器145的輸出和電容器146之間。由開關控制部％ 所控制之在靜止電流測試時所進行的電流測定開始至預定 的期間之間’此開關148將此電容器146連接至加算器145 的輸出，以儲存著此加算器145的輸出電壓。然後，經過 上述，疋的期間之後’加算II 145的輪出和電容器146之 間切斷，使電容器146中已儲存的電壓供給至差值放大器 112。電阻147連接在開關和電容器146之間。

又，電流測定裝置10在未進行上述之補正時，亦可未 具有此補正部140的構成，以直接將電容器1〇〇 值放大器112。

電壓調整部⑽連接至加算器145的輸入。缺後，電 屋調整部160在電流測定中將由測試控制部9〇所預先設定 的偏移電麼加至電容器1〇〇中所儲存的基準供給電壓且 經由補正部14〇將此基準供給電壓供給至電流供給部 110本實施形式中的電壓調整部16〇在電流測定前使偏移 電壓成為GV，電流測定中使偏移電壓成為正的值，則電流 測疋中之子電壓在H電流測定前的端子電壓比較時變 高。因此，電屢調整部16〇可使靜止電流測試前之電子元 件20内。P的邏輯5又疋期間㈣叩中的端子電壓在與 靜止電/爪’収中比較時成為更低的值。設定期間電子元件 20會發熱’可防止”高的漏電流受制定”。本實施形式 中，電流測定中之端子電壓在與電流測定前相比較時變高 的此電流測定裝置10的動作模式稱為電壓可變模式。 電壓調整# 160包含電壓源162、開關163、電阻164、 20 丄兆0029 ^437pifl 修正日期101年8月10日 .•第95106268號中文說明書無劃線修正本 拖ΐ器165以及開關166。電壓源162例如是一種DA轉 其使由測試控制部9 G而來的^定所對應的偏移電壓 』出。開關16 3設置在電壓源！ 6 2和加算器14 5之間的配 =上且藉，開關控制部35來控制。電壓源162設置在開關 和加异盗145之間的配線和接地之間且藉由開關控制 评35來控制。

电奋器165連接在開關163和加算器145之間的配線 :接地之間’開關163在導通期間儲存著上述之偏移電 使開1 163成為關閉狀態，此偏移電壓仍繼續供給 加异器145。電阻164設置在開關163和加算器145之 間的配線之開關163和電容器165之間。 如上所不的電壓調整部160在靜止電流測試前使開關

^為關閉，開關166則成為導通。因此，電壓〇v供給 f加异器145 °於是’靜止電流測試前，加算器145可在 ^將偏移電壓加至基準供給電壓之情況下使此偏移電壓輸 至電流供給部110。另-方面，靜止電流測試中時，開 關163導通，開關166則關閉。於是，加算器145可在將 偏J電壓加至基準供給電壓之情況下使此偏移賴輸出至 電流供給部110。又，由靜止電流測試開始經過—預定的 門之後，開關163亦可設定成關閉。於是，電容器165 可使已儲存的偏移電壓安定以供給至加算器145。 測定無效檢出部180輸入此差值運算器122所輸出的 差值電壓’電流測定中若電流測定部12〇所測定的供給電 流較預定的門限值電流還靖，懸出”該電流測定為無 21 1380029 19437pifl 修正日期101年8月10日 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 效”。測定無效檢出部180包含電壓源182、差值運算器184 以及無效記錄部186。電壓源182輸出上述門限值電流所 對應的電壓。差值運算器184使對應於供給電流而由差值 運算器122所輸出的差值電壓由電壓源182的電壓中減 去。電流測定中若差值運算器184的輸出電壓成為負值 時，則無效記錄部186記錄，，此電流測定為無效”且通知該 測試控制部90。 ~ 開關170設置在電流測定部4〇内的開關152和輸入端 子25之間的配線和差值放大器丨12之間。更具體而言，開 關170設置在存在於電流測定部4〇内的開關152的輸入端 子25側的端子、和差值放大器112之間所設置的電壓隨耦 器Π2之間。開關174設置在電阻118的輸入端子乃側的 部和輸入端子25之間。 電流測定部40具有電源150、開關152、電容器6〇、 電阻70以及電流測定部155。電源15〇在動作電流測試中 時使電流供給至電子元件20。又，電源丨50在靜止電流測 試之電流測定之前，使基準供給電壓供給至電容器1(^和 輸入端子25。開關152在靜止電流測定中時使電源15〇由 電容器100和輸入端子25切斷。電容器6〇連接在電源15〇 和開關152之間的配線和接地之間，在由於電子元件 的動作而使電流Idd發生大的變動時，可使輸入端子乃的 端子電壓不致於低下。電阻70設置在電容器6〇和開關152 之，的配線上，開關152成為導通期間，電源15〇的輸出 電壓和輸入端子25的端子電壓之差所對應的電流將流向 22 1380029 19437pifl 修正曰期101年8月1〇日 爲第95106268號时_書__!^ 電子元件20。 其輸是本7「的第2電流測定邹的-例， 子25的電端電源15_給至輸入端 據電阻…兩端:;壓:：電; 120相同，其依據電阻70兩端的電;時差所:=^ 電子二 下所==定中，測試控制部9。以如 流測試進行㈣、/ 件的動作電流測試和靜止電 測定用。錢子元件2G動作中所接㈣動作電流 源⑼= ===，閉。電 流進行測定以作為二:至輸入端子25中的電 定用在電子元件2〇靜止中所接收的靜止電流測 設】=2 時，測試控制部9〇在靜止電流測試的 開關17: ^制者開關控制部35’使開關152、開關170、 關102和開關148成為導通，由電源15〇所 同=電壓儲存在電容器100和電容請中且 於制電子元件2〇。然後，若開始測定電流，則測試 控制著關控制部35，使開關152成為關閉， 電關Μ成為導通’開關1〇2成為關閉。依據 ° _已儲存的基準供給電壓和端子電壓，藉由電 23 1380029 19437pifl 修正曰期】01年8月1〇曰 爲第95106268號中文說明書無劃線修正丨 流測定部120以對供給至電子元件尉的電流進行測定而 作為靜止電流。又，在由電流測定開始而經過預定的期間 之後，測試控制部90亦可使開關148 _，且依據電容 州中已儲存的補正後的基準供給麵和端子輕，^ 給至電子7G件20中的電流進行測定以作為靜止電流。 1據以上所示的電流測找置1()，可使電 /或電容II 146 t已儲存準供給電壓 ^ :基給至電子元件2。，且可使雜訊電= 精由電&測定部120可精度優良地對供給至電子元件 20的供給電流進行測定。又，可對應於供給至電子元=牛〇 中的電流㈣基準供給棘進行補正，且可職於 對漏電流發生變化的電子元件2G供給—種安定的電壓。 又，由於靜止電流測試的設定期間中的端 測定中比f雜低，雜可防止f子元件20的溫tt： 於署，=本發明的實施形式之開關152的構成。開關152 二15G和輪人端子25之間的配線以及開關1〇2 電谷器100相連接的端部和電源15〇之間的配線的 點、和電源150的輸出端子之間。開關152兩端之間直 列地具有電晶體20G和電晶體21()。電晶體細設置在電 24 1380029 19437pifl 修正曰期101年8月1〇曰 爲第95106268號中文說明書無劃線 侧流向電源15G的輸出端子侧的電流會被遮斷。另一方 面，即使電晶體210成為關閉時，仍流有某種程度的逆兩 電流。 依據以上所示的開關152，靜止電流測試中可防止電 流在此開關152與電流測定部4〇之間作雙方向的流動，且 可精度良好騎供給至電子元件20的供給電流進行測 定。又，開關174亦可採用—種與開_ 152同樣的構成。 此種情況下，動作電制試中可防止錢在此 4與 電流測定部30之間作雙方向的流動。 ' 圖4是本發明的實施形式之電流測定裝置ι〇的第ι 動作例。第1動作例中未對供給至電子元件2〇中的供办電 流所對應的基準供給電壓進行補正， 種以高速進行職時的高速模式的動作^ 1動作例顯不一 靜止電流測_分^個朗，g 定期間)T1，其綺㈣明Μ電子树=的=電 :，，電流測定^間Τ2，其對電子树2()靜止時之供給電 流Iddq進行測定’以及復元期間T3。 〜· 在測定準備期間T1，此測試控 17〇(Sla)^mi mcsib).^, 152(S2a).P,M l^ 以及開關148(S5)導通。因此，由1關102(S2b) _供給至電子元件2。且二::=部4。所輸出的 作例中，由於未進行基準供::的在以 試期間中《關141(S4)成為關閉狀態，開二^ =測 又，本動㊃if ^於杨行雙可㈣柄料， 25 1380029 19437pifl 修正曰期1〇1年8月10曰 爲第95106268獅線修正本 私仙·測试期間中此開關163(S3)成為 則遙補。沾里丄兩r ’从馬關閉狀癌，開關166 則v通結果，由電壓調整部16〇 成為0V。 ’出的偏移電壓v〇ff 在測定準備期間T1時，電流測定裝晉 :象2°二:一種測試ί，列而成為—種作為靜止電_^^ 、靜止狀態。伴隨著此動作，則電子元件20 電流1㈣會變化。對此而言，電流測定部40使由=元

對應的電流1s供應至輪入端子使端 若電子元件20的設定時間已完成，則開始電流測定期 間T2。電流測定期間T2開始時，開關152(幻幻、開關 102(S2b)以及開關148(S5)切斷。電流供給部u〇可使電容 =100和電谷裔146所儲存的基準供給電壓和輸入端子25 的端子電壓的差為基準的電流供給至輸入端子25。 電流測定部120内的測定部124及/或測定部132在電 流測定期間T2内的所定的時序中（即，例如由開關

152(S2a)、開關l〇2(S2b)以及開關148(S5)切斷開始在經過 一預定的期間之後)對由内部的AD轉換器所輸出的電壓進 行測定。然後’依據已測定的電壓以求出供給至電子元件 20中的靜止電流的電流值。 然後，復元期間T3各開關152(S2a)、開關i〇2(S2b) 以及開關148(S5)再成為導通，由電流測定部40再開始對 電子元件20供給電流。 以上的情況下，若由電流測定部30開始供給電流，則 26 1380029 19437pifl 修正日期丨〇丨年8月10日 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 所儲存的基準供給電壓相比較時所得到 ===，端子魏所下降之電壓值只有m。比 二二白氣=件2〇的種類，若電源電遷下降，則可存在 重置(聰物作以使内部初始化，，的功 ^大子凡件扣測試時’電流測定期間Τ2中若流 Ϊ =電流，則端子電壓較成為重置的基準之門限值

:壓f低而被初始化。此時，例如會發生以下的問題：電 二：接收的电流1ddq下降' 誤認不良品而判斷成 、成為収對象的電子元件2G的内部狀態不同 的狀悲下進行測定等。 =處’在電流測定期間T2若電流測定部m所測定 預定的門限值電賴大時，_定無效檢出 邛180檢出，，此電流測定為無效，，。 #,，後則定無效檢出部180在檢出”此電流測定為無 >時’使開關l52(S2a)成為導通，電流則由電源15〇供給

^電子元件20。此處，測定無效檢出部18〇藉由差值運算 器122所輸出的測定電壓Vim與電壓源182所輸出的門限 值，電C之比较’以檢出’’該供給電流已較門限值電流還 大。圖4中以虛線來顯示電流測定的無效已檢出時的動 作。 2此’輸入端子25較成為重置的基準之門限值電壓還 低之前’可使電流由電流測定部4〇供給至電子元件2〇中， 且可防止電子元件20被重置(reset)。 圖5是本發明的實施形式之電流測定裝置1〇的第2 27 1380029 19437pifl 胃第95106268號中文說明書無 修正曰期101年8月1〇日 動作例，其顯示電壓補正模式的動作。 首先，說明電壓補正模式的原理。 電子元件20所接枚的電流與端子電壓有相關時， 子電壓Vdd改變，則由測定邻1 %弋、a丨^ ⑴田刿疋。|W24或測定部132所測 靜止電流亦會改變。 Θ

更具體而。’若電谷|g 1〇〇中所儲存的理想的端子電 轉為Vs，實際的端子電壓稱為，電子元件2〇的靜 止電流中與端子電壓Vdd不相關的電流稱為遍，盘端子 電壓vdd有關的電流稱為Idd2，與電子元件2〇巾之端子 電壓Vdd有關的電路的等效電阻稱為RL，則以下的 砰成立。 (式 1) (Va-Vb)=Vs . (1+G)-Vdd · (1+G) 。然而’Va是電阻118中的差值放大器112側的端部的 電壓，Vb疋電阻Π8 _的輸入端子25側的端部的電壓。 叉，G是差值放大器112的放大率，其由電阻114的電阻 值Rf和電阻113的電阻值Ri藉由G=Rf/Ri而求得。

此處’式1的左邊可變成以下的式2的形式。 (式 2) (Va-Vb)=Rm . (Iddl+Idd2)=Rm . (Iddl+Vdd/RL) 式1的左邊藉由式2而變形以解出Vdd時，則可得到 Q下的式子。 (式 3) Vdcl=Vs · (1+G) · Xl-IdcU · Rm . XI 但 Xl=RL/(；Rm+RL · G+GX) 此處’電子元件20所接收的電流Idd完全與電壓有關 時’例如，Vs=lV、Iddl=0A、Idd2=10mA、Rm=20〇n、 28 1380029 19437pifl 修正日期ίο丨年8月10曰 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 G=50時’則RL成為1〇〇Ω(=1ν/1〇ιηΑ)。若將RL代入式3, 則得到Vdd=0.962V ’顯然已發生38mV的電壓降。因此， 端子電壓是理想值IV時，測定電流成為1〇mA(=Vs/RL)， 對此而言實際上所計測的測定電流是9 62mA(=Vdd/RL)。 此處’在電壓補正模式中，差值運算器122所輸出的 差值電壓所對應的補正電壓加至基準供給電壓以進行補 正。更具體而言，加算器145將差值運算器122的差值電 壓變成1/N2倍之後加至基準供給電壓vs以進行補正。此 N2的設定方法如下所示。 式1中加上此補正時，可得到以下的式子。 (式 4) (Va-Vb)=(Vs+(Vs-Vb)/N2) · (1+G)-Vdd . (1+G) 式4中若對vdd求解，則可得到以下的式子。 (式 5) Vdd=Vs-(Va-Vb) · (1-(i+g)/N2)/(1+G) 式5中若N2=G+卜則無論(Va_Vb)(即，Iddl和Idd2) 的值為何都可得Vdd=Vs。因此，加算器145藉由將1加 至ί值放大器112的放大率之後所得到的放大率使差值放 ^斋122所輸出的差值電壓放大，且將此放大後的差值電 壓加至基準供給電壓以進行補正，於是可對端子電壓進行 補正此時，若更大的差值電壓被檢出時，則補正部 進行-種使基準供給電壓變高的補正，若更小的差值電壓 被檢出時，則補正部14〇進行一種使基準供給電壓變小的 補正。 _其次，就進行上述補正時的電壓補正模式的動作而 。，其與圖4的動作例的不同點顯示在中心處。首先，測 29 1380029 I9437pifl 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 修正日期1〇1年8月1〇日 定準備期間T1中’電流測定裝置10進行一種與圖4的高 速模式一樣的設定。 μ 電子元件20設定完成之後，電流測定期間Τ2開始。 電流測定期間Τ2開始時，開關152(S2a)以及開關1〇2(8^) 切斷。因此，電容器100可使已儲存的基準供給電壓供給 至加异器145。又，開關141(S4)成為導通，開關144成為 關閉。差值電壓儲存在電容ϋ 143中。又，開關 ⑹ 仍然維持著導通。

其次，所疋的期間經過之後，由於電容器143中儲 著差值，則開關141(S4)成為關閉。因此，電容器143 可使已儲存的差值電壓供給至加算器145。 ° 八:人，開關141(S4)成為關閉之後，加算器145將 器143中所儲存的差值電壓為基準的補正加至電容P 100中已儲存的基準供給電壓之後所得的電壓輸出為

供ΓΛ。然後，所定的期間經過之後，由 ；谷。 6中儲存著補正後的基準供給電壓，則 148(S5)成為關閉。因此，電容器可使已儲存的補: 的基準供給電顧給Μ值放大n 112。 後 準供=::=46中所儲存的補正後的基 供給至輸八端子 25的端子電壓成為土:U 110可使輸入端子 壓Vs相—致。 電谷态100令所儲存的理想的電 下與圖4的動作例一樣，對電流值進行測定，以 30 I9437pifl 修正曰期10丨年8月10日 爲第95106268號中文說明書無劃線修 ^于復元期間T3的動作。又，即使在本動 由測=錄出部⑽來進行—種㈣的無效檢出。、 2接近理想值的狀態下對靜止電流進；二。 當地峡㈣耗電射倾變的電 —146在ί壓補正模式中時，由於針對電容器143和電 電㈣料，㈣高速模式崎時電流測 月間魏。此種電流測定裝置1G中，較佳是样由電 子凡件^1 特性來分顺用高賴式和錢補正模曰式。 165二電容器146、電容器143以及電容器 =的谷里可依據各別所對應的開關⑽、開關148、 漏電流、以及所容許的電壓變動來決 關in+w、iJ ’在開關102的最大開閉時間是1毫秒、開 關102，關閉狀態時由電容器i⑽而來 InA、所容許的電壓轡動县 am 的容量成為—伏(UA)時，則電容器1〇0 動作Γι 6二本發明的實麵式Llj定裝4 1G的第3 3 2 :電厘可變模式的動作。本圖的動作除了以 :=::::圖4的動作大略相同，則除了不同 首先，測疋準備期間T1中測試控制部％使與電流 1380029 19437pifl 修正曰期101年8月10曰 爲第95106268號中文說明書無劃線 ，定t供給至電子元件2()中_想碰 2偏移?骑的基準供給電壓％由電流測定部= ，出。在測疋準備期間T1 t，此基準供給電塵％是以電 進行電子元件2G的設定時的範圍來決定。 ;疋’電谷°° 100儲存著此基準供給電壓Vs。 電子元件2G設定完成之後’電流測錢間τ2開始。

Tu ΤΪΆ T2 102(S2b) = : 電容器_可使已儲存的基準供給電壓％ 供給至加异器145。 偏移ΪΪ v所過之後，觸靡卩9G使上述的 偏移電堡Voff由電壓調整部16〇輸出。結果，加算哭145 使偏移電壓Voff加至f容器觸中所 整後的基準供給電壓 ϋ 入端子25的端子電壓上升而接近此電壓 s 〇此處，測試控制部90亦可使電壓調整部16〇所 2出的偏移電壓由0V至最終值顿為止以階段方式而上 升=是由GV直接變化至最終值Voff。又，電阻164和 電谷益165的電阻值和電容量亦可設定成使偏移電壓緩慢 地上升。 其次，所定的期間經過之後，測試控制部90使開關 為關閉。因此’電容器146可將已儲存的基準供 電壓Vs+Voff供給至差值放大器112。 、—2下，與圖4的動作例一樣，對電流值進行測定，以 進仃復70期間T3的動作。此復元過程中，電壓調整部⑽ 32 1380029 19437pifl 修正曰期101年8月10日 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 藉由使偏移電壓回到0V，以使電子元件2〇的端子電壓下 降0 •即使在本動作例中，亦可由測定無效檢出部180來進 行一種測定的無效檢出。此處，在電壓可變模式中，由電 壓調整部16G輸出上述之偏移電壓之後，在端子電壓上二 直至結束為止的期間中，隨著電壓上升而需要對電容器％ 和電谷S 119進行充電。於是，由電流測定部3〇而來的供 給電流會暫時地增加，差值運算器122的差值電壓為 較電麵m的門限值電壓還大。因此，由電壓調整部⑽ ===:電ί?上升結束為止的期間，此測 U檢出4180不進仃上述之無效檢出。& 了不 此測定無效檢出部18〇在開關148(s5)成為關 閉為止的_中亦可禁止進行此無效檢出。 依據以上所示的動作例，測定準備期間τ 子元件20二=度伴隨Ϊ設定期間中的電 測定，，。 廷樣可防止同的靜止電流受到 或電二可變模式亦可同時用在高迷模式及/ =㈣正科巾’此時，在端子電壓上升已 t定之後且在開關148(s 為關閉，電流則此開關141(S4)成 器⑷所供給疋時㈣子電壓所對應的補正電壓由電容 圖7疋本發明的實施形式之電流測定裝置10的雜訊減 33 1380029 19437pifl 修正曰期101年8月1〇曰 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 低，果的模擬結果。圖7顯示電容器5〇成為^ UF時專利 =1的構成所造成的雜訊增益(0LD(先前))以 ^中=速模式的^収部3G的雜訊增益(new(本 貝她形式））。 先前的構成中，差値運算器的輸出和電子元件20之間 並列設置的電阻和電容器作成2_、㈣luF。由此電阻和 電容器至電子元件20為止之間另外所設置的電阻作成

犯。先前的構成巾，輯源的雜訊與差值運算器的輸出的 雜訊同時由差值運算器輸出。

另一方面，本實施形式中的構成中，電容器1〇〇作成 〇.1证、電阻113作成1ΚΩ、電阻114作成4〇ΚΩ、電阻ιΐ8 作成200Ω、電容器119作成〇.luF、開關174導通時的電 阻值作成0.1Ω。本實施形式的構成中，電容器1〇〇的電壓 無雜訊，電壓隨耦器172和差值放大器112中則產生雜訊。 然後，電壓隨耦器172的雜訊成為G(=Rf/Ri=40)倍，差值 放大器112的雜訊成為1+〇(=41)倍而輸出。又，就電阻 113的電阻值Ri和電阻114的電阻值^1而言，由KRf/Ri 較大’ Ri的雜訊成為可支配。又，電阻118的電阻值Rm 的雜訊未放大。 在以上的條件下，先前的構成和本實施形式的構成所 產生的雜增盈被模擬後的結果顯示在圖7中。又，本模 擬過程中’電流測定中的電子元件2〇的電阻值作成 100Ω。又，差值運算器122的輪出經由一種可使ΙΟΚΗζ 以下的頻域通過的低通濾波器以供給至測定部124或差值 34 1380029 19437pifl 修正日期101年8月10日 胃胃95106268號中文說明書無劃線修正本 放大器130。 如圖7所示’依據本實施形式中的電流測定裝置1〇， 在與先前技術比較時，對通常所產生的ΙΟΚΗζ程度以下的 雜訊而言，可使供給電流和測定電流中所產生的雜訊大輻 地減低。 又，電阻113的電阻值較佳是較差值放大器112的電 壓雜訊換鼻成熱雜音後的值還小。即，例如，差值放大5| 112的電壓雜訊是5nV/V^"時，若將此電壓雜訊換算成電 阻的熱雜音，則可求得以下的電阻值Rx。 (式6)

Rx=En · En/(4-K-t)=5nVx5nV/(4xl.38xl〇-23x3〇〇)=l.5l〇Kn 此處，k是波茲曼(Boltzmann)常數，t是使用環境中的 絕對溫度。 此種情況下，電阻113的電阻值Ri較佳是一種較上述 的Rx還小的值。 以上雖然使用各實施形式來說明本發明，但本發明的 技術的應用範圍不限於上述實施形式中所記載的範圍。上 述實施形式可施加多種的變更或改良，此為此行的業者所 明白。施加多種變更或改良後的實施形式亦是在本發明的 範圍中可得到者，這由申請專利範圍的記載即可明白。 產業上的可利用性 依據本發明，電子元件的端子上即使連接著電源安定 化用的電谷器，則供給至此端子的電流中所產生的雜訊亦 較小，於是可抑制此端子的電壓變動。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 35 1380029 19437pifl 爲第9搬嶋文_細繼本 細期HH年8月1〇日 p艮定本發明，任何！m技藝者，在不脫離 ί範圍内，當可作㈣之更動與_，因此本發明 祀圍虽視_之_請專職_界定者為準。 … 【圖式簡單說明】 := 月的實施形式之電流測定裝 月的實施形式之電源部寫的構成成 成。圖3疋本發明的實施形式之_152和開關174的構 籲 圖4是本發明的實施形式 動作例。 冤抓測疋裝置10的第i 圖5是本發明的實施形式之 動作例。 冤仙·測疋裝置10的第2 圖6是本發明的實施形式 動作例。 冤仙·測疋扁置10的第3 圖7是本發明的實施形式之 低效果的圖解。 電机測疋裝置忉的雜訊減 【主要元件符號說明】 10 電流測定襞置 20 電子元件 25 輸入蠕子 30 電流測定部 35 開關控制部 40 電流測定部 50，60 電容器 36 1380029 修正日期101年8月10曰

19437pifl 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 70 電阻 90 測試控制部 100 電容器 102 開關 104 電阻 110 電流供給部 112 差值放大器 113 ， 114 電阻 116 電壓隨耦器 118 電阻 119 電容器 120 電流測定部 122 差值演算器 124 測定部 126 電壓源 128 低通遽波器 130 差值放大器 132 測定部 140 補正部 141 開關 142 ， 147 電阻 143 ， 146 電容器 144 ， 148 開關 145 加算器 37 1380029 19437pifl 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 修正日期101年8月10曰 150 電源 152 開關 155 電流測定部 160 電壓調整部 162 電壓源 163 開關 164 電阻 165 電容器 166 ， 170 開關 172 電壓隨耦器 174 開關 180 測定無效檢出部 182 電壓源 184 差值演算器 186 無效記錄部 200 ， 210 電晶體 502 圖樣產生部 504 信號輸入部 506 電源部 508 判定部

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Claims (1)

19437pifl 修正日期101年8月10日 爲第刪6268號中文___^ 七、申請專利範園： 接收電子元件的輸入端子所 至該電，其在測賴電流的期間，儲存作為供給 件中的_的基準用的基準供給電壓； 電容其在測定該電流之前使電源連接至該第1 該電源由該Γίί=::壓，在測定該電流的期間則使 器中部’其在測定該電流的期間，使該第1電容 基準=亥基準供給電壓和該輸入端子的端子電壓為 *仙·，供給至該電子元件中；以及 流進:二:流測定部’其對供給至該電子元件中的供給電 兮费t如巾請專_圍第1項所述之電流測定裝置，並中 β電凌供給部具有： 八Τ 電Jli i差值放Ail ’其使㈣鮮供給電壓減去該端子 壓·、斤仔的差被放大，以輸出加至該基準供給電壓之電 ’以及 子電阻，其連接在該第丨差值放大器的輸出和該輸入端 間，使該第1差值放大器的輸出電壓和該端子電壓的 斤對應的該供給電流供給至該輸入端子。 3.如申請專利範圍第2項所述之電流測定裝置，豆 料狀料;t : 差值運算器，其使該電阻中由該第丨差值放大器側的 39 1380029 19437pifl 修正曰期1〇1年8月10曰 爲第95106268號中文說明書無 輸出電壓減去該電阻巾該輸人端子儀該端子電壓後所得 的差值電壓被輸出；以及 測定部’其依㈣差值電壓以測定該供給電流。 4·如申請專利範圍第3項所述之電流測定裝置，其中 該苐1電流測定部更且有： 電壓源，其輸出一已預先設定完成的測定用基準電 壓；以及 β第2差值放大器，其使該差值電壓和該測定用基準電 壓的差放大後的差值放大電壓被輸出， 亥測疋邛依據該差值放大電壓來對該供給電流進行測 定。 、 5.如申叫專利範圍第4項所述之電流測定襄置，其中 該第1電流測定部另外具有低通缝ϋ，其連接在該^壓 源和該第2差值放大器之間。 6·如申请專利範圍第3項所述之電流測定裝置，其 該電流測定裝置更具有補正部，其藉由使縣值電壓所對 應的補正電壓相加·基準供給電壓，以對該基準供給 壓進行補正， β 該電流供給部在測定該電流的期間，使藉由該補正部 所補^的該基準供給電壓和該端子電壓為基準的電流供給 至§玄電子元件中。 σ 7.如申請專利賴第6項所述之電流測定裝置， 該補正部具有： "、了 加算器，其使該差值電壓所對應的該補正電壓加至該 1380029 19437pifl 爲第95106268號中文說明書無線冑 修正日期101年8月1〇日 基準供給電壓；以及 該第=器其贿著該加算器的輸如供給至 該補1如部申更1專之電流測定裝置，其中 =正。Ρ更具有第2關’其設在該加算器的輸 :電谷為之間，由電流測賴始至—駄的朗之了 該第2電容ϋ連接至該加算器的輸出’以 :輸出電壓，在經過該預定的期間之後，使^ = 出和該第2電容器之間進行切斷。 。的輪 9.如申請專利範圍第i項所述之電流測定 該電流測定裝置更具備： 、且，其中 電源，其在測定該電流之前，使該基準供认 至該第1電容器和該輸入端子； °電^供給 第3開關，其在測定該電流的期間，使該電源從 1電谷器和該輸入端子切斷；以及 °〆卓 電壓加至该第1電容器中已儲存的該基準供給電壓以:移 至電流供給部，藉此使在測定該電流的期間的該二“給 與在測定該電流之前的端子電壓比較時成為較^。電壓 10·如申請專利範圍第9項所述之電流測定^ 該第3開關串聯地具有： 、，其中 第1電晶體’其設在該電源和該輸入端子 以及該第1開關中未連接該第1電容器的二杰配線 間的配線之接點、和該電源的輸出端子之間，在源之 電 19437pifl 修正曰期101年8月ι〇 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 ^輪出端子和該接點之間成為關閉_時，使由該 、、出‘子側流向該接點側的電流被遮斷；以及 ,、 第2電晶體’其使由該接點側流向該電源的 側的電流被遮斷。 出缒子 11. 如申請專利範圍第1〇項所述之電流測定 中該電流測定裝置更具備： 、，/、 =4開關，其設在該第3開_該輸人端子側 和5亥苐1差值放大器之間； 輸入1設在該電阻的錄人端子側的端部和該 第2電流測定部，其對該電源供給至該輪入端子 流進行測定；以及 电 測試控卿’其對該電子元件動作情接收的動作電 流作測糾的動作電流測試、以及該電子元件靜止 收的靜止電流作測㈣的靜止電朗試進行控制， 、该測試控制部可在該動作電流測試日拉該第3開關導 通’該第4開關和該第5開關斷開(off)，藉由該第2電产 =定部來對該電源供給至該輸人端子的電流進行測定，^ 作為該動作電流， ^該靜止電流賴時使該第3開關賴，該第4開關 和该第5開關導通，依據該第i電容器中所儲存的該基準 供給電壓和該軒電壓，藉由該第1電流測定部來對供ί 至该電子兀件中的電流進行収，以作為該靜止電流。 12. 如申δ月專利範圍第丨項所述之電流測定裝置，其中 42 丄 川〇029 I9437pifl 修_ 正曰期1〇丨年8月1〇日 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 該電流測定裝置另外具備一測定無效檢出部， 在測定該電流的期間，若該第！電流測定部 ，供給電流變賴預先設定的門限健流獻時 定無效檢出部即檢出，，該電流測定為無效，，之事實、" 13.如申請專利制f 12項所敎電流測定置並 中該電流測定裝置更具備： 技罝八 電源，其在測定該電流之前，使該基準 至該第1電容扑錄人料；屋供給 其在測錢電流_，使該電源從該第 电今态和该輸入端子切斷， 事眚Ϊ測ΐ無效檢出部在已檢出，，該電流峡為益效，，的 至該電子:y開關成為導通’以使電流由該電源供給 Ϊ1 其對電子元件進行測試，且具備： 給至該電子元；中二^定該電流的期間’儲存著作為供 時中的電壓的基準用的基準供給電壓； 電容器簡定該電流之概電源連接至該第1 使該電;由該第===壓’在測定該電流的期間則 器中測定該電流的期間’使該第1電容 端子電壓以;:給:壓和該電子元件的輸入端子的 第1番4半的電"IL，供給至該電子元件中；以及 流進行測定』J疋部’其對供給至該電子元件中的供給電 43 19437pifl 修正日期10】年8月1〇 爲第95丨06268號中文說明書無劃線修正本 15.—種電流測定方法，政 接收的電流進行測定，且具^ 由電子元件的輸入端子所 基準供給電壓儲存步驟， 成為供給至該電子元件中的*；：在測定該電流的期間，使 儲存在第！電^^ 堡的基準用的基準供給麵 控制步驟，其控制著第 前使電源連接至該第！電容以便在測定該電流之 在測定該電流的期間則使^ j存者該基準供給電壓， 容器中已儲存的該基準供流的期間，使該第！電 為基準的電流，供給至該‘念：：輸入端子的端谓 第1電流測定步驟，；中:以' 電流進行測定。 ’、’、”'°至該電子元件中的供給 備：16. 一種對電子元件進行测試所用的測試方法，其具 成為=;=:雷，_電流的期間，使 錯存在第1電容器令；電堅的基準用的基準供給電壓 第1開關控制步騾，其押制 該電流之前使電源連接至兮==1開關，以便在測定 給電嚴，在測定該電流的期，=以儲存著該基準供 切斷； / 4則使該電源由該第1電容器 電流供給步驟，其在測 容器一的基準供給電壓二電 1380029 19437pifl 修正曰期101年8月10曰 爲第95106268號中文說明書無劃線修正本 端子電壓為基準的電流，供給至該電子元件中；以及 第1電流測定步驟，其對供給至該電子元件中的供給 電流進行測定。

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