TW571079B - Method and apparatus for inspecting display panel - Google Patents

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Description

571079 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於液晶顯示面板及玻璃基板等之顯示板 之檢查方法及裝置。 【先前技術】 如液晶顯示面板之顯示板，將會被進行閃光檢查其含 有液晶元件的晝素是否正確。就此種自動閃光檢查方法及 裝置之一而言，已知有專利文獻1所揭示之技術。 專利文獻1 :日本特開平1 0 - 1 6 0 6 2 8號公報 於此習知技術中，係在將可變更偏光方向之偏光濾鏡 予以配置於CCD照相機與顯示板之間，使透過顯示板之光 通過偏光濾鏡並以CCD照相機進行檢測之際，藉由將偏光 濾鏡所導致的偏光方向予以依序變更，而檢測出易於看出 的突起及異物等之偏光依存性部。 【發明内容】 惟在此習知技術中，由於經常須使透過顯示板之光通 過偏光濾鏡，故在以CCD照相機獲得晝像資訊之際必須變 更因偏光濾鏡造成的偏光角度，同時檢測出顯示板本身的 缺陷。因之，使得偏光濾鏡本身或該驅動機構之構造複雜 並且價格高昂。 本發明之目的，係在於毋須使用複雜的構造之偏光濾 鏡或驅動機構即可檢測出顯示板的缺陷。 有關本發明之檢查方法，係包含：採用由顯示板朝向 光檢測手段之第1光所形成之第1畫像信號；以及相對於前 述顯示板所形成之偏光角度，將前述第1光予以通過具有
314291.ptd 第5頁 571079 五、發明說明（2) 9 0°不同之偏光角度之偏光濾鏡的第2光所形成之第2晝像 信號，而獲得前述顯示板之真實的缺陷資訊者。 有關本發明之檢查裝置，係包含：接受應檢查之顯示 板之夾座頂部（chuck top);備有通電至前述顯示板之 複數個探針之探測單元；將來自前述顯示板之光檢測出作 為電氣信號之光檢測手段；相對於前述顯示板所形成之偏 光角度具有9 0°不同偏光角度，並配置成可在從前述顯示 板朝向前述光檢測手段之光之通路中進出之偏光濾鏡；以 及使用來自前述顯示板之光之中不透過前述偏光濾鏡之第 1光所形成之第1晝像信號與透過前述偏光濾鏡之第2光所 形成之第2晝像信號，而獲得前述顯示板之真實的缺陷資 訊之晝像處理裝置。 第1光，係可藉由使偏光濾鏡置換至第1光之通路外之 位置獲得。相對於此，第2光，則係可藉由使偏光濾鏡置 換至此將第1光之通路遮斷之位置獲得。第1及第2畫像信 號，係可分別藉由如CCD照相機般之光檢測手段以檢測第1 及第2光之方式獲得。 以未經偏光濾鏡之第1光所形成的第1晝像信號，係含 有顯現顯示板本身之狀態之基板信號（包含真實的缺陷信 號）；以及顯現導致光之亂反射之塵埃及傷痕等異物存在 之異物信號。但是，經由偏光濾鏡之第2光所形成之第2晝 像信號，雖含有異物信號，但不含基板信號。 因此，顯示板之真實的缺陷資訊，係可藉由採用第2 晝像信號中之異物信號並去除第1晝像信號中的異物信號
314291.ptd 第6頁 571079 五、發明說明（3) 而獲得。 根據本發明，僅須使偏光濾鏡選擇性地在形成第1光 之通路外之位置與遮斷第1光之位置間置換即可，故不須 採用複雜結構的偏光濾鏡及驅動機構即可檢測出顯示板之 真實的缺陷。 前述真實的缺陷資訊，係可藉由以前述第1晝像信號 與第2畫像信號之減除處理而獲得。前述顯示板，係可為 含有液晶元件者，亦可以是不含液晶元件之玻璃基板，以 及含有相對向於該玻璃基板之偏光板者。 檢查裝置，又於前述第1光之通路上，包含使前述偏 光濾鏡選擇性地在不位於該通路上的第1位置、以及位於 該通路上的第2位置間置換的置換機構。此外，夾座頂 部，亦可具有對所接受之顯示板予以照射光的背光裝置。 【實施方式】 茲參照第1圖以進行說明，檢查裝置1 0，係以封入液 晶元件之液晶顯不面板作為顯不板1 2。顯不板1 2 ’在以下 說明中雖為具有矩形之平面形狀者，但亦可以是具有其他 平面形狀者。顯示板1 2，在與矩形之至少2邊對應所在位 置具有實施驅動用之通電之複數個電極。 檢查裝置1 0，係包含：接受應檢查之顯示板1 2之夾座 頂部1 4 ;使夾座頂部1 4置換之檢查台1 6 ;與所接受之顯示 板1 2通電之探測單元1 8 ;將通過顯示板1 2之光予以檢測出 作為電氣信號之光檢測器2 0 ;配置成可在顯示板1 2與光檢 測器2 0之間的光路進出之偏光濾鏡2 2 ;使偏光濾鏡2 2可在
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鮮員示板1 2與光檢測器2 〇之間 用光檢測為2 0之輪出信號而 訊的晝像處理裝置26;以及 (shield case) 28° ^光路進出之驅動機構24;採 獲得顯示板12之真實的缺陷資 收谷此等機械裝置之遮蔽箱體 吸附所接受之顯 之顯示板1 2收容 夾座頂部1 4 ’係為已知之具備有真空 示板1 2之複數個吸附溝者，且係於所接g 從下方照射白色光之背光裝置。 又 三次元 延伸之 stage 檢查台1 6，除使基座頂部丨4向χ、γ、 移動外，並同時形成使其在向上下方向（2方° 軸線0之周圍依角度旋轉之X、γ、7 乙之平台（ 探測單元1 8，係將具有 之複數個接觸子3 0之複數個 配置在中央區域具有與顯示 之開口 3 4之基板3 6。 個別被按壓至顯示板12之電極 楝測塊（Probe block) 32， 板1 2之平面形狀相對應之矩形 接觸子30，在圖式例中，雖係為探針型的探測哭，但 亦可以是刀片型、彈性觸針（pogopin)型、凸塊（bump )型等任何其他形態者。各探測塊（pr〇be bl〇ck) 32， 係於接觸子3 0之前端（針尖）貫通基板3 6之開口 3 4而突出 至基板36之下方的狀態下，安裝於基板36的上面。 光檢測态2 0 ’係如C C D照相機及線性感應器（1丨η ε sensor)等已知之照相機，其係檢測透過顯示板12之光， 而產生頒現顯示板1 2之晝像之電氣信號，以輸出至畫像處 理裝置2 6。 一
314291.ptd 第8頁 571079 五、發明說明（5) 偏光濾鏡2 2，係相對於通過顯示板1 2之光之偏光角度 具有9 0°不同偏光角度（阻止與顯示板1 2所形成之光之偏 光角度相同方向振動之光之通過）者，其係從顯示板1 2入 射至光檢測器2 0之光之中，使相對於顯示板1 2通過之光之 振動方向，向90°不同方向振動之光通過。 偏光濾鏡2 2，係藉由驅動機構2 4，在不會遮斷偏光濾 鏡2 2從顯示板1 2朝向光檢測器2 0之第1光之第1位置，以及 會遮斷其之第2位置間選擇性地移動。 檢查時，顯示板1 2，係載置於夾座頂部1 4，在來自背 光裝置單元之光通過顯示板1 2狀態並使各電極在維持背光 裝置單元之狀態下按壓至接觸子3 0。在此狀態下，偏光濾 鏡2 2即藉由驅動機構2 4選擇性地在第1以及第2位置間置 換。 晝像處理裝置2 6，係以偏光濾鏡2 2移動於第1位置時 之光檢測器2 0之輸出信號；以及移動於第2位置時之光檢 測器2 0之輸出信號為基礎，產生第1以及第2晝像信號，並 採用兩畫像信號而求出顯示板1 2之真實的缺陷資訊。 在當偏光濾鏡2 2移動於第1位置時，從顯示板1 2朝向 光檢測器2 0之第1光不用經過偏光濾鏡2 2，即入射至光檢 測器2 0。因此，光檢測器2 0之輸出信號將成為不經由偏光 濾鏡2 2之第1光所形成之第1信號，而晝像處理裝置2 6將產 生與第1信號對應之第1畫像信號。 在當偏光濾鏡2 2移動於第2位置時，由於從顯示板1 2 朝向光檢測器2 0之第1光入射至偏光濾鏡2 2，故通過光偏
314291.ptd 第9頁 571079 五 、發明說明 (6) 光 濾 鏡 2 2之 第 2光即入射至檢測器2 0。因此，光檢測器2 0 之 輸 出 信 號 將 成 為 由 第2光所形成之第2信號，而晝像處理 裝 置 2 6將 產 生 與 第 2信號對應之第2畫像信號。 不 經 過 偏 光 滤 鏡 2 2之第1光所形成之第1晝像信號，係 含 有 顯 現 顯 示 板 12本 身狀態之基 板信號（包含真實的缺陷 信 號 ) ， 以 及 顯 現 導 致光之散射 或亂反射之塵埃及傷痕 等 異 物 之 存 在 之 異 物信號。 但 是 經 過 偏 光 濾鏡2 2之第 2光所形成之第2晝像信 號 雖 允 許 偏 光 滤 鏡 2 2相對於第 1光之振動方向向90°不 同 方 向 振 動 之 光 的 通 過，但由於 阻止與第1光振動方向相 同 方 向 振 動 之 光 之 通 過，故含有 因光之散射或亂反射所導 致 之 異 物 信 號 但 不 含包括真實 的缺陷信號之基板信號。 具 體 而 如 第 2圖所示，茲就將許可光之通過之偏 光 角 度 相 互 為 90。 不 同之2個偏光薄膜40以及42分別配置 於 液 晶 元 件 層 4 4之 下 面以及上面 之顯示用面板1 2之情況進 行 以 下 說 明 〇 首 先 1 來 白 夾 座 頂部1 4内之 背光裝置單元之光4 6，係 為 白 色 光 之 外 5 並 同 時以光軸為 中心包含向3 6 0°方向振 動 之 光 成 分 〇 當 此 光 4 6在 通 向 使水平方向 振動之光成分通過之偏光 薄 膜 4 0時 9 通 過 偏 光 薄膜4 0之光 即成為向水平方向振動之 成 分 的 光 〇 其 次 通 過 偏 光 薄膜40之光 ，係藉由通過液晶元件層 4 4而 偏 光 為 向 垂 直 方 向振動之光 0
314291.ptd 第10頁 571079 五、發明說明（7) 其次，通過液晶元件層4 4之光，係穿過使垂直方向振 動之光成分通過之偏光薄膜42。藉此，通過顯示板1 2之光 48，即成垂直方向振動之光。 通過顯示板1 2之光4 8，係因應偏光濾鏡2 2置換於第1 以及第2位置之其中之一，而直接入射至光檢測器2 0，或 隔著阻止垂直方向振動之光（通過顯示板1 2之光）之通過 之偏光濾鏡2 2而入射至光檢測器2 0。 當偏光濾鏡2 2置換至第1位置時，則由於光4 8不經過 偏光濾鏡2 2，故入射至光檢測器2 0之光包含顯現顯示板1 2 本身之狀態之光。 此外，當導致光之亂反射之塵埃及傷痕等之異物5 0存 在於顯示板1 2時，將使通過顯示板1 2之光或所通過之光由 於異物5 0而散射或亂反射。因此，由異物5 0造成之散射或 亂反射光5 2亦入射至光檢測器2 0。 相對於此，當偏光濾鏡2 2置換至第2位置時，朝向光 檢測器2 0之所有的光將會入射至偏光濾鏡2 2，而且由於偏 光濾鏡2 2具有顯示板1 2所形成之偏光角度與9 0°不同之偏 光角度，故光4 8雖將因偏光濾鏡2 2而被阻止通過，但散射 或亂反射光5 2之中水平方向振動之成分之光5 4將通過偏光 濾鏡2 2。因此，對於光檢測器2 0，水平方向振動之光雖會 入射，但通過顯示板1 2而於垂直方向振動之光則不會入 射。 綜上所述，畫像處理裝置2 6，係當偏光濾鏡2 2置換於 第1位置時，將產生包含顯現顯示板1 2本身狀態之基板信
314291.ptd 第11頁 571079 五、發明說明（8) 號（包含真實的缺陷信號）；以及顯現導致光之亂反射之 異物之存在之異物信號之第1畫像信號。相對於此，當偏 光濾鏡2 2置換於第2位置時，則晝像處理裝置2 6，雖會包 含異物信號，但將會產生不包含基板信號之第2晝像信 號。 晝像處理裝置2 6，係採用第2晝像信號中之異物信 號，去除第1晝像信號中的異物信號，藉此求出顯示板12 之真實的缺陷資訊。具體而言，晝像處理裝置2 6，係藉由 從第1畫像信號扣除第2晝像信號方式，而求出顯示板1 2之 真實的缺陷資訊，並將所求出之缺陷資訊儲存於記憶體。 換言之，從異物5 0直接入射至光檢測器2 0之光5 2，與 通過光5 2之中之偏光濾鏡2 2之光5 4，係存在於檢查裝置10 以及兩晝像信號内之相同座標位置。因此，如果從第1晝 像信號減除第2畫像信號，則可去除異物信號而求出顯現 顯示板1 2之真實的缺陷位置之缺陷資訊。 所獲得之缺陷資訊，在未圖示之區隔裝置中，將用以 區分成為未具有缺陷處之正常的顯示板；以及具有缺陷處 之缺陷顯示板。 如上述所示根據檢查裝置1 0，藉由使偏光濾鏡2 2在形 成從顯示板1 2朝向光檢測器2 0之光之通路外之第1位置； 以及遮斷該光之通路之第2位置間選擇性地置換，而得以 求出顯示板1 2之真實的缺陷資訊，故不須採用複雜構造的 偏光濾鏡及其驅動機構即可檢測出顯示板1 2之真實的缺 陷。
314291.ptd 第12頁 571079 五、發明說明（9) 如第3圖所示，當僅於液晶元件層4 4之其中一方（在 圖中係為下面）具有偏光薄膜4 0之顯示板時，縱橫振動之 光46，首先將藉由偏光薄膜40去除垂直方向振動之光成 分，並使水平方向振動之光成分之光通過偏光薄膜40。 其次，通過偏光薄膜4 0之光將在液晶元件層4 4偏光成 垂直方向振動之光成分，而從顯示板1 2指向至光檢測器 2 0。因此，晝像處理裝置2 6，如當偏光濾鏡2 2移動於第1 位置時，則將產生第1畫像信號，如移動於第2位置時，則 將產生第2畫像信號。 本發明，不僅不會受到存在於顯示板1 2之表面之異物 影響，亦如第4圖所示，不會受到存在於顯示板1 2之内部 之異物，及光檢測器2 0之光檢測元件之缺陷等之影響而可 獲得真實的缺陷資訊。 / 本發明，不僅可適用在採用將光照射在顯示板1 2之背 光裝置單元之檢查技術，亦可適用在將反射鏡配置在顯示 板1 2之背後而採用反射光之檢查技術。 本發明，並不以上述實施例為限，只要不悖離本發明 之主旨均可作各種變更。
314291.ptd 第13頁 571079 圖式簡單說明 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明之檢查裝置之一實施例圖。 第2圖係光之偏光狀態之說明圖。 第3圖係光之偏光狀態之另一說明圖。 第4圖係光之偏光狀態之又一說明圖。
10 檢 查 裝 置 12 顯 示 板 14 夾 座 頂 部 16 檢 查 台 18 探 測 單 元 20 光 檢 測 器 22 偏 光 滤 鏡 24 驅 動 機 構 26 晝 像 處 理 裝 置 28 遮 蔽 箱 體 30 接 觸 子 32 探 測 塊 34 開 α 36 基 板 40、 42 偏 光 薄 膜 44 液 晶 元 件層 46、 48 卜 54 光 50 異 物 52 亂 反 射 光 314291.ptd 第14頁

Claims (1)

  1. 571079 (' > 案號91137619 ^^年/。月/广曰 修正_ 六、申請專利範圍 1. 一種顯示板之檢查方法，其中包含：採用由顯示板朝 向光檢測手段之第1光所形成之第1晝像信號；以及相 對於前述顯示板所形成之偏光角度，將前述第1光予以 通過具有9 0°不同之偏光角度之偏光濾鏡的第2光所形 成之第2畫像信號，而獲得前述顯示板之真實的缺陷資 訊者。 2. 如申請專利範圍第1項之檢查方法，其中，係實施上述 第1及第2晝像信號之減除處理而獲得前述真實的缺陷 資訊。 3 ·如申請專利範圍第1項之檢查方法，其中，前述顯示板 係包含液晶元件層。 4.如申請專利範圍第1項之檢查方法，其中，前述顯示 板，係包括不含液晶元件之玻璃基板；以及相對向於 該玻璃基板之偏光板。 5 ·如申請專利範圍第1至第4項中任一項之檢查方法，其 中，更包括：當獲得前述第1晝像信號時使前述偏光濾 鏡置換成前述第1透過光之光路外之位置，當獲得前述 第2畫像信號時使前述偏光濾鏡置換成遮斷前述第1透 過光之光路之位置。 6. —種顯示板之檢查裝置，係包含：採用應檢查之顯示 板之夾座頂部； 備有通電至前述顯示板之複數個探針之探測單 元； 將來自前述顯示板之光檢測出作為電氣信號之光
    314291.ptc 第1頁 2003.10.14.015 571079 案號 9Π37619 年/d月/Γ曰 修正 六、申請專利範圍 檢測手段； 相對於前述顯示板所形成之偏光角度具有9 0°不 同偏光角度，並配置成可在從前述顯示板朝向前述光 檢測手段之光之通路中進出之偏光濾鏡；以及 使用來自前述顯示板之光之中不透過前述偏光濾 鏡之第1光所形成之第1晝像信號，與透過前述偏光濾 鏡之第2光所形成之第2畫像信號，而獲得前述顯示板 之真實的缺陷資訊之晝像處理裝置。 7. 如申請專利範圍第6項之檢查裝置，其中，更包括：使 前述偏光濾鏡選擇性地在不位於前述第1光之通路上的 第1位置；以及位於該通路上的第2位置間置換之置換 機構。 8. 如申請專利範圍第6或第7項之檢查裝置，其中，前述 夾座頂部，具備有對所接受之顯示板予以照射光之背 光裝置。
    314291.pic 第2頁 2003.10.14.016
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