JP2002139455A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
検査装置および検査方法Info
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- JP2002139455A JP2002139455A JP2000335971A JP2000335971A JP2002139455A JP 2002139455 A JP2002139455 A JP 2002139455A JP 2000335971 A JP2000335971 A JP 2000335971A JP 2000335971 A JP2000335971 A JP 2000335971A JP 2002139455 A JP2002139455 A JP 2002139455A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査体中に存在する異物や気泡を容易に検
出すること。 【解決手段】 光透過性を有する被検査体1に含まれる
異物を検出する検査装置は、被検査体1の所定の面にほ
ぼ平行な光で被検査体1を照射する水平照明113と、
水平照明113と被検査体1との相対的な位置を定める
水平照明用Z軸121とを備える。
出すること。 【解決手段】 光透過性を有する被検査体1に含まれる
異物を検出する検査装置は、被検査体1の所定の面にほ
ぼ平行な光で被検査体1を照射する水平照明113と、
水平照明113と被検査体1との相対的な位置を定める
水平照明用Z軸121とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査装置および検
査方法に関し、特に、光透過性を有する被検査体に含ま
れる異物を検出する検査装置および検査方法に関する。
査方法に関し、特に、光透過性を有する被検査体に含ま
れる異物を検出する検査装置および検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、液晶パネルなどは、2枚のガラ
ス板の間に樹脂等の接着剤を充填して接着することによ
り製造される。この接続工程において、2枚のガラス板
の間に異物が混入したり、気泡が発生したりする不良が
生じる場合がある。この不良は、液晶パネルの品質に影
響を与えるため、検査工程において不良の度合が検査さ
れる。
ス板の間に樹脂等の接着剤を充填して接着することによ
り製造される。この接続工程において、2枚のガラス板
の間に異物が混入したり、気泡が発生したりする不良が
生じる場合がある。この不良は、液晶パネルの品質に影
響を与えるため、検査工程において不良の度合が検査さ
れる。
【0003】従来、この液晶パネルの検査では、検査対
象物の上方に設置された光源から光を照射し、検査対象
物中の異物や気泡で乱反射した光を検出する方法が多く
用いられてきた。
象物の上方に設置された光源から光を照射し、検査対象
物中の異物や気泡で乱反射した光を検出する方法が多く
用いられてきた。
【0004】また、被検査体にレーザ光を照射して、反
射するレーザ光の屈折率を求め、屈折率に基づき異物を
検査する検査方法が、特開平10−160683号公報
に記載されている。
射するレーザ光の屈折率を求め、屈折率に基づき異物を
検査する検査方法が、特開平10−160683号公報
に記載されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光の乱反射を利用する検査方法においては、2枚のガラ
ス板の表面、裏面、重ね合わせた面のそれぞれに付着し
た異物が一度に重なって見えてしまうため、付着した異
物が2枚のガラス板の表面、裏面または重ね合わせた面
のいずれに位置するのか特定するのが困難であった。ま
た、大きな異物や気泡を発見することができるが、小さ
な異物や気泡の発見が困難であるといった問題があっ
た。
光の乱反射を利用する検査方法においては、2枚のガラ
ス板の表面、裏面、重ね合わせた面のそれぞれに付着し
た異物が一度に重なって見えてしまうため、付着した異
物が2枚のガラス板の表面、裏面または重ね合わせた面
のいずれに位置するのか特定するのが困難であった。ま
た、大きな異物や気泡を発見することができるが、小さ
な異物や気泡の発見が困難であるといった問題があっ
た。
【0006】また、特開平10−160683号公報に
記載の検査方法は、被検査体の表面に付着した異物を検
査する方法であり、ガラスとガラスとを重ね合わせた面
の異物や気泡を検査することは困難である。さらに、屈
折率を利用して異物を検出しているため目視での検査は
不可能である。このため反射するレーザ光の屈折率を測
定する検査機器を設ける必要があり、設備のコストが高
くなるといった問題がある。
記載の検査方法は、被検査体の表面に付着した異物を検
査する方法であり、ガラスとガラスとを重ね合わせた面
の異物や気泡を検査することは困難である。さらに、屈
折率を利用して異物を検出しているため目視での検査は
不可能である。このため反射するレーザ光の屈折率を測
定する検査機器を設ける必要があり、設備のコストが高
くなるといった問題がある。
【0007】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたもので、この発明の目的の1つは、被検査体中
に存在する異物や気泡を容易に検出することが可能な検
査装置を提供することである。
なされたもので、この発明の目的の1つは、被検査体中
に存在する異物や気泡を容易に検出することが可能な検
査装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めにこの発明のある局面によれば、検査装置は、光透過
性を有する被検査体に含まれる異物を検出する検査装置
であって、被検査体の所定の面にほぼ平行な光で被検査
体を照射する照射手段と、照射手段と被検査体との相対
的な位置を定める位置決め手段とを備える。
めにこの発明のある局面によれば、検査装置は、光透過
性を有する被検査体に含まれる異物を検出する検査装置
であって、被検査体の所定の面にほぼ平行な光で被検査
体を照射する照射手段と、照射手段と被検査体との相対
的な位置を定める位置決め手段とを備える。
【0009】この発明に従えば、光透過性を有する被検
査体の所定の面にほぼ平行な光で被検査体が照射され、
照射手段と被検査体との相対的な位置が定められる。こ
のため、被検査体の所定の位置に照射された光が被検査
体を透過する。被検査体の光が透過する部分に、異物や
気泡が存在すると、その部分で光が乱反射する。このた
め、乱反射する部分で異物や気泡を検出することができ
る。その結果、簡単な構成で、被検査体中に存在する異
物や気泡を容易に検出することが可能な検査装置を提供
することができる。
査体の所定の面にほぼ平行な光で被検査体が照射され、
照射手段と被検査体との相対的な位置が定められる。こ
のため、被検査体の所定の位置に照射された光が被検査
体を透過する。被検査体の光が透過する部分に、異物や
気泡が存在すると、その部分で光が乱反射する。このた
め、乱反射する部分で異物や気泡を検出することができ
る。その結果、簡単な構成で、被検査体中に存在する異
物や気泡を容易に検出することが可能な検査装置を提供
することができる。
【0010】好ましくは、検査装置の照射手段は、光を
放射する光源と、光源から放射された光を集光するレン
ズと、レンズを透過した光の幅を調整するために遮光す
る遮光手段とを含む。
放射する光源と、光源から放射された光を集光するレン
ズと、レンズを透過した光の幅を調整するために遮光す
る遮光手段とを含む。
【0011】この発明に従えば、光源から放射された光
がレンズで集光され、レンズを透過した光の幅が遮光手
段により調整される。このため、被検査体の所定の面に
ほぼ平行な光で被検査体が照射される。このため、被検
査体の所定の個所に光を照射することができる。
がレンズで集光され、レンズを透過した光の幅が遮光手
段により調整される。このため、被検査体の所定の面に
ほぼ平行な光で被検査体が照射される。このため、被検
査体の所定の個所に光を照射することができる。
【0012】好ましくは、検査装置は、照射手段から照
射される光の進行方向と交わる方向を撮像方向とし、被
検査体を撮像する撮像手段をさらに備える。
射される光の進行方向と交わる方向を撮像方向とし、被
検査体を撮像する撮像手段をさらに備える。
【0013】この発明に従えば、照射手段から照射され
る光の進行方向と交わる方向を撮像方向として、被検査
体が撮像される。このため、被検査体中に含まれる異物
や気泡で乱反射する光が撮像される。
る光の進行方向と交わる方向を撮像方向として、被検査
体が撮像される。このため、被検査体中に含まれる異物
や気泡で乱反射する光が撮像される。
【0014】好ましくは、検査装置は、撮像手段により
撮像された被検査体像からノイズを検出する検出手段
と、検出されたノイズのサイズと被検査体における位置
とを記憶する記憶手段とをさらに備える。
撮像された被検査体像からノイズを検出する検出手段
と、検出されたノイズのサイズと被検査体における位置
とを記憶する記憶手段とをさらに備える。
【0015】この発明に従えば、撮像手段により撮像さ
れた被検査体像からノイズが検出され、検出されたノイ
ズのサイズと被検査体における位置とが記憶される。こ
のため、被検査体に含まれる異物や気泡のサイズ及び位
置を記録に残すことができる。
れた被検査体像からノイズが検出され、検出されたノイ
ズのサイズと被検査体における位置とが記憶される。こ
のため、被検査体に含まれる異物や気泡のサイズ及び位
置を記録に残すことができる。
【0016】好ましくは、被検査体は、2つのガラス板
の間に薄膜を有し、位置決め手段は、被検査体の薄膜に
光が照射される位置に、照射手段と被検査体との位置を
定める。
の間に薄膜を有し、位置決め手段は、被検査体の薄膜に
光が照射される位置に、照射手段と被検査体との位置を
定める。
【0017】この発明に従えば、被検査体の薄膜に光が
照射される位置に、照射手段と被検査体との位置が定め
られるので、被検査体の薄膜部分にのみ光が照射され
る。その結果、被検査体の薄膜部分に含まれる異物や気
泡を検出することができる。
照射される位置に、照射手段と被検査体との位置が定め
られるので、被検査体の薄膜部分にのみ光が照射され
る。その結果、被検査体の薄膜部分に含まれる異物や気
泡を検出することができる。
【0018】好ましくは、検査装置の照射手段は、被検
査体を囲む位置に複数設けられる。この発明に従えば、
照射手段が、被検査体を囲む位置に複数設けられる。こ
のため複数の方向からの光が異物や気泡で乱反射するの
で、被検査体に含まれる異物や気泡を正確に検出するこ
とができる。
査体を囲む位置に複数設けられる。この発明に従えば、
照射手段が、被検査体を囲む位置に複数設けられる。こ
のため複数の方向からの光が異物や気泡で乱反射するの
で、被検査体に含まれる異物や気泡を正確に検出するこ
とができる。
【0019】この発明の他の局面によれば、検査方法
は、光透過性を有する被検査体に含まれる異物を検出す
る検査方法であって、被検査体の所定の面にほぼ平行な
光で被検査体の所定の位置を照射するステップと、照射
される光の進行方向と交わる方向を撮像方向とし、被検
査体を撮像するステップとを含む。
は、光透過性を有する被検査体に含まれる異物を検出す
る検査方法であって、被検査体の所定の面にほぼ平行な
光で被検査体の所定の位置を照射するステップと、照射
される光の進行方向と交わる方向を撮像方向とし、被検
査体を撮像するステップとを含む。
【0020】この発明に従えば、被検査体の所定の面に
ほぼ平行な光で被検査体の所定の位置が照射され、照射
される光の進行方向と交わる方向を撮像方向として被検
査体が撮像される。このため、被検査体の所定の位置に
照射された光が被検査体を透過する。被検査体の光が透
過する部分に、異物や気泡が存在すると、その部分で光
が乱反射し、乱反射した光が撮像される。その結果、被
検査体中に存在する異物や気泡を容易に検出することが
可能な検査方法を提供することができる。
ほぼ平行な光で被検査体の所定の位置が照射され、照射
される光の進行方向と交わる方向を撮像方向として被検
査体が撮像される。このため、被検査体の所定の位置に
照射された光が被検査体を透過する。被検査体の光が透
過する部分に、異物や気泡が存在すると、その部分で光
が乱反射し、乱反射した光が撮像される。その結果、被
検査体中に存在する異物や気泡を容易に検出することが
可能な検査方法を提供することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。なお図中同一符号は同一ま
たは相当する部材を示し、説明は繰返さない。
て図面を参照して説明する。なお図中同一符号は同一ま
たは相当する部材を示し、説明は繰返さない。
【0022】図1は、本発明の実施の形態の1つにおけ
る検査装置の平面図である。図2は、図1のA−A’線
断面図である。図1および図2を参照して、検査装置1
00は、基台101と、基台101の4辺に基台101
に垂直に設置された水平照明用Z軸121と、治具10
2と、水平照明113と、CCD(Charge Coupled Dev
ice)カメラ123とを含む。
る検査装置の平面図である。図2は、図1のA−A’線
断面図である。図1および図2を参照して、検査装置1
00は、基台101と、基台101の4辺に基台101
に垂直に設置された水平照明用Z軸121と、治具10
2と、水平照明113と、CCD(Charge Coupled Dev
ice)カメラ123とを含む。
【0023】治具102は、被検査体1を載置するため
のステージ103と、ステージ103を基台101に対
して水平に調節するための平行調整機構105と、ステ
ージ103を水平2軸方向に移動させるためのXYテー
ブル107とを含む。ステージ103は、4つのクラン
プ爪109を有する。クランプ爪109は、被検査体1
をステージ103上に固定する。
のステージ103と、ステージ103を基台101に対
して水平に調節するための平行調整機構105と、ステ
ージ103を水平2軸方向に移動させるためのXYテー
ブル107とを含む。ステージ103は、4つのクラン
プ爪109を有する。クランプ爪109は、被検査体1
をステージ103上に固定する。
【0024】水平照明113は、発光部115と、集光
レンズ117と、遮光板119とを含む。水平照明11
3は、水平照明用Z軸121に取付けられ、Z軸に平行
(図2の上下方向)に移動可能となっている。水平照明
113は、被検査体1を異なる4つの方向から照射する
ために、4つ設けられる。そして、それぞれが被検査体
1に対して光を照射することができる位置に水平照明用
Z軸121上で設置されている。
レンズ117と、遮光板119とを含む。水平照明11
3は、水平照明用Z軸121に取付けられ、Z軸に平行
(図2の上下方向)に移動可能となっている。水平照明
113は、被検査体1を異なる4つの方向から照射する
ために、4つ設けられる。そして、それぞれが被検査体
1に対して光を照射することができる位置に水平照明用
Z軸121上で設置されている。
【0025】CCDカメラ123は、被検査体1の上方
に設置され、被検査体1を上方から撮影する。
に設置され、被検査体1を上方から撮影する。
【0026】次に、本実施の形態における検査装置で異
物または気泡を検出する原理について説明する。図3
は、本実施の形態における検査装置の検査原理を説明す
るための模式図である。
物または気泡を検出する原理について説明する。図3
は、本実施の形態における検査装置の検査原理を説明す
るための模式図である。
【0027】図3を参照して、発光部115から放射さ
れた光は集光レンズ117で集光されて平行な光とな
る。そして、平行光の光路の一部が遮光板119で遮断
され、被検査体1の貼り合わせ面の厚みの幅に調整され
る。被検査体1は、2つのガラス板3,5の間に光透過
性を有する樹脂を充填して貼り合わせたものである。し
たがって、水平照明113から被検査体のガラス板3と
ガラス板5との間に充填された光透過性を有する樹脂部
分にのみ光が照射される。
れた光は集光レンズ117で集光されて平行な光とな
る。そして、平行光の光路の一部が遮光板119で遮断
され、被検査体1の貼り合わせ面の厚みの幅に調整され
る。被検査体1は、2つのガラス板3,5の間に光透過
性を有する樹脂を充填して貼り合わせたものである。し
たがって、水平照明113から被検査体のガラス板3と
ガラス板5との間に充填された光透過性を有する樹脂部
分にのみ光が照射される。
【0028】また、水平照明113から発せられる光
は、重ね合わせたガラス板3とガラス板5との貼り合わ
せ面と平行になるように照射される。ガラス板3とガラ
ス板5との間に充填された光透過性を有する樹脂部分に
異物7が混入していると、平行光は異物7で反射して反
射散乱光となる。この反射散乱光が、CCDカメラ12
3または検査者124により確認される。異物7の代わ
りに気泡が存在する場合も同様に、気泡により平行光は
反射散乱光となる。
は、重ね合わせたガラス板3とガラス板5との貼り合わ
せ面と平行になるように照射される。ガラス板3とガラ
ス板5との間に充填された光透過性を有する樹脂部分に
異物7が混入していると、平行光は異物7で反射して反
射散乱光となる。この反射散乱光が、CCDカメラ12
3または検査者124により確認される。異物7の代わ
りに気泡が存在する場合も同様に、気泡により平行光は
反射散乱光となる。
【0029】一方、ガラス板3上の異物6に対しては、
水平照明113から光が照射されないので、異物6によ
っては反射散乱光は発生しない。したがって、CCDカ
メラ123または検査者124によって、ガラス板3と
ガラス板5との間に充填された光透過性を有する樹脂部
分に存在する異物または気泡のみを確認することができ
る。
水平照明113から光が照射されないので、異物6によ
っては反射散乱光は発生しない。したがって、CCDカ
メラ123または検査者124によって、ガラス板3と
ガラス板5との間に充填された光透過性を有する樹脂部
分に存在する異物または気泡のみを確認することができ
る。
【0030】図4は、本実施の形態における検査装置で
遮光板を用いない場合の不具合を説明するための模式図
である。図4を参照して、発光部115からの光は集光
レンズ117で集光されて平行光になる。水平照明11
3から被検査体1に照射される光は、ガラス板3および
ガラス板5と、それらの間の樹脂を透過する。しかしな
がら、ガラス板3上の異物6やガラス板3とガラス板5
との間に挟まれた異物7が存在すると、水平照明113
から照射された光は異物6または異物7で反射散乱光と
なる。2つの反射散乱光は、CCDカメラ123もしく
は検査者124によって確認されることになる。この場
合、確認される反射散乱光からは、その異物がガラス板
3とガラス板5との間、ガラス板3の上側またはガラス
板5の下側にあるのかを確認することができない。
遮光板を用いない場合の不具合を説明するための模式図
である。図4を参照して、発光部115からの光は集光
レンズ117で集光されて平行光になる。水平照明11
3から被検査体1に照射される光は、ガラス板3および
ガラス板5と、それらの間の樹脂を透過する。しかしな
がら、ガラス板3上の異物6やガラス板3とガラス板5
との間に挟まれた異物7が存在すると、水平照明113
から照射された光は異物6または異物7で反射散乱光と
なる。2つの反射散乱光は、CCDカメラ123もしく
は検査者124によって確認されることになる。この場
合、確認される反射散乱光からは、その異物がガラス板
3とガラス板5との間、ガラス板3の上側またはガラス
板5の下側にあるのかを確認することができない。
【0031】図5は、本実施の形態における検査装置の
構成を示す制御ブロック図である。図5を参照して、検
査装置100は、XYテーブル107と水平照明用Z軸
121とを制御するためのモータドライバ133と、C
CDカメラ123で撮影された画像を処理するための画
像処理装置131と、画像処理装置131およびモータ
ドライバ133に接続されたパーソナルコンピュータ1
35と、パーソナルコンピュータ135に接続されたモ
ニタ137とを含む。
構成を示す制御ブロック図である。図5を参照して、検
査装置100は、XYテーブル107と水平照明用Z軸
121とを制御するためのモータドライバ133と、C
CDカメラ123で撮影された画像を処理するための画
像処理装置131と、画像処理装置131およびモータ
ドライバ133に接続されたパーソナルコンピュータ1
35と、パーソナルコンピュータ135に接続されたモ
ニタ137とを含む。
【0032】モータドライバ133は、XYテーブル1
07を制御することにより、XYテーブル上に設置され
たステージ103をX軸およびY軸に沿って移動させ
る。これにより、CCDカメラ123の撮影範囲を異な
らせることができるとともに、ステージ103上に載置
された被検査体1へ水平照明113から照射される光の
状態を変化させることができる。
07を制御することにより、XYテーブル上に設置され
たステージ103をX軸およびY軸に沿って移動させ
る。これにより、CCDカメラ123の撮影範囲を異な
らせることができるとともに、ステージ103上に載置
された被検査体1へ水平照明113から照射される光の
状態を変化させることができる。
【0033】また、モータドライバ133は、水平照明
用Z軸121を制御することにより水平照明113を上
下方向に移動させる。これは、被検査体の種類が異なれ
ば、ガラス板3とガラス板5との間に充填された樹脂の
位置がZ軸に沿って異なることになるので、この樹脂の
位置に水平照明113で照射する位置を調節するためで
ある。このため、パーソナルコンピュータ135は、被
検査体1を挟んで水平照明113と反対側に設けられた
受光センサの出力に基づき、水平照明113のZ軸上の
位置を決定する。より具体的には、ガラス板部分とガラ
ス板3とガラス板5との間の樹脂部分とで光の透過率が
異なることを利用するものである。水平照明113をZ
軸に沿って徐々に移動させ、受光センサの受光量が樹脂
の透過率に見合った光量となることを条件に、Z軸上の
位置を決定するように制御する。
用Z軸121を制御することにより水平照明113を上
下方向に移動させる。これは、被検査体の種類が異なれ
ば、ガラス板3とガラス板5との間に充填された樹脂の
位置がZ軸に沿って異なることになるので、この樹脂の
位置に水平照明113で照射する位置を調節するためで
ある。このため、パーソナルコンピュータ135は、被
検査体1を挟んで水平照明113と反対側に設けられた
受光センサの出力に基づき、水平照明113のZ軸上の
位置を決定する。より具体的には、ガラス板部分とガラ
ス板3とガラス板5との間の樹脂部分とで光の透過率が
異なることを利用するものである。水平照明113をZ
軸に沿って徐々に移動させ、受光センサの受光量が樹脂
の透過率に見合った光量となることを条件に、Z軸上の
位置を決定するように制御する。
【0034】CCDカメラ123で撮影された画像は、
画像処理装置131に送信される。画像処理装置131
では、被検査体1に異物または気泡が存在するか否かの
検査処理がなされる。被検査体のガラス板3とガラス板
5との間に充填された樹脂に気泡が混入すると、CCD
カメラ123で撮影された画像は、樹脂の部分と樹脂の
ない気泡部分とで輝度値が異なる画像となる。樹脂は、
光透過性を有するので、平行光は反射することなく樹脂
を透過するが、気泡部分で光の透過率が異なるため平行
光は反射散乱光となる。この反射散乱光が輝度値の差と
なって画像に表れる。また、異物がガラス板3とガラス
板5との間に存在する場合も、気泡の場合と同様に、異
物のあるところとないところとで濃淡やコントラストの
違いが発生する画像となる。
画像処理装置131に送信される。画像処理装置131
では、被検査体1に異物または気泡が存在するか否かの
検査処理がなされる。被検査体のガラス板3とガラス板
5との間に充填された樹脂に気泡が混入すると、CCD
カメラ123で撮影された画像は、樹脂の部分と樹脂の
ない気泡部分とで輝度値が異なる画像となる。樹脂は、
光透過性を有するので、平行光は反射することなく樹脂
を透過するが、気泡部分で光の透過率が異なるため平行
光は反射散乱光となる。この反射散乱光が輝度値の差と
なって画像に表れる。また、異物がガラス板3とガラス
板5との間に存在する場合も、気泡の場合と同様に、異
物のあるところとないところとで濃淡やコントラストの
違いが発生する画像となる。
【0035】したがって、この輝度値の差を検出するこ
とにより、気泡の存在を確認することができる。さら
に、被検査体1に対して4つの水平照明113により異
なる4方向から平行光が照射されるので、異物や気泡の
輪郭が鮮明に画像に表れる。
とにより、気泡の存在を確認することができる。さら
に、被検査体1に対して4つの水平照明113により異
なる4方向から平行光が照射されるので、異物や気泡の
輪郭が鮮明に画像に表れる。
【0036】被検査体の樹脂部分に気泡や異物の存在し
ない正常品をCCDカメラ123で予め撮影した画像を
準備しておき、この正常品を撮影した画像と検査対象と
なる被検査体を撮影した画像との差分をとり、輝度値の
異なる部分のサイズ、形状および個数が求められ、パー
ソナルコンピュータ135に送られる。パーソナルコン
ピュータ135では、被検査体ごとに、異物または気泡
の位置、サイズ、形状および個数を記録する。モニタ1
37は、CCDカメラ123で撮影された画像を表示す
る。
ない正常品をCCDカメラ123で予め撮影した画像を
準備しておき、この正常品を撮影した画像と検査対象と
なる被検査体を撮影した画像との差分をとり、輝度値の
異なる部分のサイズ、形状および個数が求められ、パー
ソナルコンピュータ135に送られる。パーソナルコン
ピュータ135では、被検査体ごとに、異物または気泡
の位置、サイズ、形状および個数を記録する。モニタ1
37は、CCDカメラ123で撮影された画像を表示す
る。
【0037】次に、本実施の形態における検査装置で行
なわれる検査手順について説明する。
なわれる検査手順について説明する。
【0038】(1) まず、ステージ103上にガラス
板3とガラス板5との間に樹脂を充填した被検査体1を
載せ、クランプ爪109でステージ103に固定させ
る。
板3とガラス板5との間に樹脂を充填した被検査体1を
載せ、クランプ爪109でステージ103に固定させ
る。
【0039】(2) 固定が完了すれば、水平照明11
3が発する光を、被検査体1のガラス板3とガラス板5
との間に充填された樹脂の部分に照射するために、水平
照明用Z軸121を駆動させ水平照明113のZ軸方向
の位置を調整する。
3が発する光を、被検査体1のガラス板3とガラス板5
との間に充填された樹脂の部分に照射するために、水平
照明用Z軸121を駆動させ水平照明113のZ軸方向
の位置を調整する。
【0040】(3) 水平照明113のZ軸方向の位置
が被検査体1の樹脂の部分に合わせられた状態で、遮光
板119を調節して光の幅が、ガラス板3とガラス板5
との間の距離すなわち、樹脂部分の厚みに調整される。
遮光板119でZ軸方向に光の幅が狭められることによ
り、重ね合わせられたガラス板3とガラス板5との間に
のみ光が照射される。
が被検査体1の樹脂の部分に合わせられた状態で、遮光
板119を調節して光の幅が、ガラス板3とガラス板5
との間の距離すなわち、樹脂部分の厚みに調整される。
遮光板119でZ軸方向に光の幅が狭められることによ
り、重ね合わせられたガラス板3とガラス板5との間に
のみ光が照射される。
【0041】(4) 遮光板119の調整が終了する
と、CCDカメラ123で被検査体1が上方から撮影さ
れる。この場合、CCDカメラ123のレンズの光軸
(撮影方向)と、水平照明113が発する光の進行方向
とはほぼ垂直となる。なお、本実施の形態においては、
CCDカメラ123のレンズの光軸と水平照明113が
発する光の進行方向とがほぼ垂直となるようにしたが、
これに限られるわけでなく、レンズの光軸と光の進行方
向とが平行とならなければよい。これにより、CCDカ
メラ123で、水平照明113が発する平行光が異物な
どで反射した反射散乱光を受光できる。
と、CCDカメラ123で被検査体1が上方から撮影さ
れる。この場合、CCDカメラ123のレンズの光軸
(撮影方向)と、水平照明113が発する光の進行方向
とはほぼ垂直となる。なお、本実施の形態においては、
CCDカメラ123のレンズの光軸と水平照明113が
発する光の進行方向とがほぼ垂直となるようにしたが、
これに限られるわけでなく、レンズの光軸と光の進行方
向とが平行とならなければよい。これにより、CCDカ
メラ123で、水平照明113が発する平行光が異物な
どで反射した反射散乱光を受光できる。
【0042】CCDカメラ123で被検査体1を撮影す
る際に、被検査体1がCCDカメラ123の撮影範囲に
含まれるようにするために、XYテーブル107がモー
タドライバ133により制御される。
る際に、被検査体1がCCDカメラ123の撮影範囲に
含まれるようにするために、XYテーブル107がモー
タドライバ133により制御される。
【0043】また、XYテーブル107を移動させて、
被検査体1に4つの水平照明113から照射される光の
状態を変化させるようにしても良い。例えば、特定の水
平照明113に被検査体1を近づけたり、あるいは、遠
ざけたりして、XYテーブルが移動可能な範囲内で位置
を異ならせて、CCDカメラ123で撮影するようにし
ても良い。
被検査体1に4つの水平照明113から照射される光の
状態を変化させるようにしても良い。例えば、特定の水
平照明113に被検査体1を近づけたり、あるいは、遠
ざけたりして、XYテーブルが移動可能な範囲内で位置
を異ならせて、CCDカメラ123で撮影するようにし
ても良い。
【0044】CCDカメラ123は、Z軸に移動可能で
あり、撮影領域が調整可能となっている。CCDカメラ
123で撮影された画像は上述したとおり画像処理装置
131へ送られる。
あり、撮影領域が調整可能となっている。CCDカメラ
123で撮影された画像は上述したとおり画像処理装置
131へ送られる。
【0045】(5) 画像処理装置131では、受信し
た画像と予め正常品を撮影した画像と比較し、差分画像
から異物または気泡の検出が行なわれる。
た画像と予め正常品を撮影した画像と比較し、差分画像
から異物または気泡の検出が行なわれる。
【0046】(6) 異物または気泡の混入が確認され
た場合は、異物または気泡の混入した位置、サイズ、形
状、個数がパーソナルコンピュータ135で記録され
る。
た場合は、異物または気泡の混入した位置、サイズ、形
状、個数がパーソナルコンピュータ135で記録され
る。
【0047】図6は、被検査体を撮影して得られる画像
を表示するモニタ137の正面図である。図6を参照し
て、モニタ137は、表示部140を有する。表示部1
40には、CCDカメラ123で撮影された画像が表示
される。表示部140には、被検査体1と異物7とが表
示される。したがって、図4に示したガラス板3上に存
在する異物6はCCDカメラ123では撮影されない。
を表示するモニタ137の正面図である。図6を参照し
て、モニタ137は、表示部140を有する。表示部1
40には、CCDカメラ123で撮影された画像が表示
される。表示部140には、被検査体1と異物7とが表
示される。したがって、図4に示したガラス板3上に存
在する異物6はCCDカメラ123では撮影されない。
【0048】以上説明したように、本実施の形態におけ
る検査装置100では、被検査体のガラス板3とガラス
板5との間にのみ光を照射し、反射散乱光をCCDカメ
ラ123または検査者124により確認するようにした
ので、ガラス板3とガラス板5との間に存在する異物や
気泡のみを検出することができる。
る検査装置100では、被検査体のガラス板3とガラス
板5との間にのみ光を照射し、反射散乱光をCCDカメ
ラ123または検査者124により確認するようにした
ので、ガラス板3とガラス板5との間に存在する異物や
気泡のみを検出することができる。
【0049】また、照射する光の方向と交わる方向をレ
ンズの光軸とするCCDカメラで撮影するようにしたの
で、反射散乱光を効率的に撮影することができる。
ンズの光軸とするCCDカメラで撮影するようにしたの
で、反射散乱光を効率的に撮影することができる。
【0050】さらに、被検査体のガラス板3とガラス板
5との間に挟まれた薄膜部分にのみ光を照射するように
したので、薄膜部分に含まれる異物や気泡のみを検出す
ることができる。
5との間に挟まれた薄膜部分にのみ光を照射するように
したので、薄膜部分に含まれる異物や気泡のみを検出す
ることができる。
【0051】さらに、水平照明113を被検査体1の周
囲に異なる4方向からの光を照射するようにした。この
ため、複数の方向からの光が被検査体中に含まれる異物
や気泡で乱反射するので、被検査体に含まれる異物や気
泡をより正確に検出することができる。
囲に異なる4方向からの光を照射するようにした。この
ため、複数の方向からの光が被検査体中に含まれる異物
や気泡で乱反射するので、被検査体に含まれる異物や気
泡をより正確に検出することができる。
【0052】さらに、検出された異物や気泡の被検査体
における位置、個数およびサイズを記録するようにした
ので、後の工程管理における特定の分析にこれらのデー
タを使用することができる。さらに、異物や気泡が発生
する原因を追求する手掛かりとすることができる。
における位置、個数およびサイズを記録するようにした
ので、後の工程管理における特定の分析にこれらのデー
タを使用することができる。さらに、異物や気泡が発生
する原因を追求する手掛かりとすることができる。
【0053】さらに、画像処理装置131を用いて異物
や気泡の有無を検出するようにしたので、作業者による
目視検査のばらつきがなくなり、より正確に検査するこ
とができる。
や気泡の有無を検出するようにしたので、作業者による
目視検査のばらつきがなくなり、より正確に検査するこ
とができる。
【0054】なお、本実施の形態においてはCCDカメ
ラ123および画像処理装置131とを用いるようにし
たが、これらを用いることなく検査者124による目視
検査によっても異物や気泡を充分に検出することができ
る。
ラ123および画像処理装置131とを用いるようにし
たが、これらを用いることなく検査者124による目視
検査によっても異物や気泡を充分に検出することができ
る。
【0055】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【図1】 本発明の実施の形態の1つにおける検査装置
の平面図である。
の平面図である。
【図2】 図1のA−A’線断面図である。
【図3】 本実施の形態における検査装置の検査原理を
説明するための模式図である。
説明するための模式図である。
【図4】 本実施の形態における検査装置で遮光板を用
いない場合の不具合を説明するための模式図である。
いない場合の不具合を説明するための模式図である。
【図5】 本実施の形態における検査装置の構成を示す
制御ブロック図である。
制御ブロック図である。
【図6】 被検査体を撮影して得られる画像を表示する
モニタの正面図である。
モニタの正面図である。
1 被検査体、3,5 ガラス板、6,7 異物、10
0 検査装置、101基台、102 治具、103 ス
テージ、105 平行調整機構、107 テーブル、1
09 クランプ爪、113 水平照明、115 発光
部、117 集光レンズ、119 遮光板、121 水
平照明用Z軸、123 CCDカメラ、124 検査
者、131 画像処理装置、133 モータドライバ、
135 パーソナルコンピュータ、137 モニタ、1
40 表示部。
0 検査装置、101基台、102 治具、103 ス
テージ、105 平行調整機構、107 テーブル、1
09 クランプ爪、113 水平照明、115 発光
部、117 集光レンズ、119 遮光板、121 水
平照明用Z軸、123 CCDカメラ、124 検査
者、131 画像処理装置、133 モータドライバ、
135 パーソナルコンピュータ、137 モニタ、1
40 表示部。
Claims (7)
- 【請求項1】 光透過性を有する被検査体に含まれる異
物を検出する検査装置であって、 前記被検査体の所定の面にほぼ平行な光で前記被検査体
を照射する照射手段と、 前記照射手段と前記被検査体との相対的な位置を定める
位置決め手段とを備えた、検査装置。 - 【請求項2】 前記照射手段は、光を放射する光源と、 前記光源から放射された光を集光するレンズと、 前記レンズを透過した光の幅を調整するために遮光する
遮光手段とを含む、請求項1に記載の検査装置。 - 【請求項3】 前記照射手段から照射される光の進行方
向と交わる方向を撮像方向とし、前記被検査体を撮像す
る撮像手段をさらに備えた、請求項1に記載の検査装
置。 - 【請求項4】 前記撮像手段により撮像された被検査体
像からノイズを検出する検出手段と、 前記検出されたノイズのサイズと前記被検査体における
位置とを記憶する記憶手段とをさらに備えた、請求項3
に記載の検査装置。 - 【請求項5】 前記被検査体は、2つのガラス板の間に
薄膜を有し、 前記位置決め手段は、前記被検査体の薄膜に光が照射さ
れる位置に、前記照射手段と前記被検査体との位置を定
める、請求項1に記載の検査装置。 - 【請求項6】 前記照射手段は、前記被検査体を囲む位
置に複数設けられる、請求項1に記載の検査装置。 - 【請求項7】 光透過性を有する被検査体に含まれる異
物を検出する検査方法であって、 前記被検査体の所定の面にほぼ平行な光で前記被検査体
の所定の位置を照射するステップと、 照射される光の進行方向と交わる方向を撮像方向とし、
前記被検査体を撮像するステップとを含む、検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000335971A JP2002139455A (ja) | 2000-11-02 | 2000-11-02 | 検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000335971A JP2002139455A (ja) | 2000-11-02 | 2000-11-02 | 検査装置および検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002139455A true JP2002139455A (ja) | 2002-05-17 |
Family
ID=18811625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000335971A Withdrawn JP2002139455A (ja) | 2000-11-02 | 2000-11-02 | 検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002139455A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006214917A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Sharp Corp | 基板の欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
JP2006337267A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Sharp Corp | 光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
WO2007063818A1 (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-07 | Seiko Instruments Inc. | 貼り合わせ方法、及び、表示装置の製造方法 |
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JP2009025345A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Toray Eng Co Ltd | 液晶部品の製造方法 |
JP2012181135A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Kobelco Kaken:Kk | 内部欠陥検査装置および内部欠陥検査方法 |
CN112557396A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-03-26 | 东软睿驰汽车技术(沈阳)有限公司 | 一种检测方法及相关设备 |
-
2000
- 2000-11-02 JP JP2000335971A patent/JP2002139455A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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EP1962259A4 (en) * | 2005-11-30 | 2010-05-05 | Seiko Instr Inc | BONDING METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING A DISPLAY ARRANGEMENT |
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KR101132103B1 (ko) | 2005-11-30 | 2012-04-05 | 세이코 인스트루 가부시키가이샤 | 접합 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법 |
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CN112557396A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-03-26 | 东软睿驰汽车技术(沈阳)有限公司 | 一种检测方法及相关设备 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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