CN111007077A - 超薄板透明基板上表面异物检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及用于LCD、OLED、PDP等FPD的玻璃基板或者用于一部分半导体的蓝宝石晶片等的使光通过的透明基板的制造工序以及使用透明基板的FPD及半导体制造工序中的图案形成工序中用于去除基板下表面的异物而仅检测上表面异物的异物检测装置以及方法。本发明尤其涉及针对厚度在0.3T以下的超薄板透明基板仅检测上表面异物的异物检测装置以及方法。
Description
技术领域
本发明涉及一种异物检测装置以及方法，在用于LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)、OLED(Organic Light Emitting Diodes，有机发光二极管)、PDP(PlasmaDisplay Panel，等离子显示器面板)等FPD(Flat Panel Display，平板显示器)的玻璃基板(Glass substrate)或者用于一部分半导体的蓝宝石晶片等的使光透射的透明基板的制造工序以及使用透明基板的FPD及半导体制造工序中的图案形成工序中用于去除基板下表面的异物并仅检测上表面异物。
本发明尤其涉及针对0.3T以下的厚度的超薄板透明基板仅检测上表面异物的异物检测装置以及方法。
背景技术
在薄厚度的透明基板的制造工序、包装工序以及使用其的图案形成工序等中，可能会由于各种理由而产生异物。当在这些工序环境下产生的异物附着在基板的上表面时，这些异物会妨碍在之后的工序中将要形成在上表面的像素用微细图案的形成，使得无法在相应位置形成像素生成用电路图案，因此成为不良像素而降低工序成品率。因此，需要设置在制作工序过程中或者工序结束之后检查上表面的异物的步骤。
为了在FPD及半导体制造工序中搬运基板，下表面会与搬运单元接触，因此在下表面会附着远多于上表面的异物，但在下表面的异物为小于像素大小的微细异物的情况下，不会对像素的特性带来任何影响，因此下表面的微细异物是被允许的。因此，在透明基板的制造工序以及使用该基板的FPD及半导体的制造工序中，仅严格检查上表面异物。
在FPD及半导体制造工序中，使用在检查异物时不会对基板面造成损伤的非接触检查方法中、主要使用照射光并用相机来拍摄反射光所得到的图像的视觉检查方法，但在使用透明基板的情况下，光甚至到达下表面而从下表面异物处的反射光也被传递，因此就连下表面的异物也会被拍摄到，造成过度的不良判定，对制造成品率带来影响，因此需要一种不受下表面的异物的影响而仅检查上表面的异物的方法。
图1中，示出了现有的具有超过0.3T的厚度的透明基板的异物检测装置10的示意图。参照图来说明用于检测透明基板G的上表面UG异物的方法。在该方法中，以倾斜角θ照射光L，而使透明基板G的上表面UG以及下表面LG都被照射到，并且通过检查照射到透明基板G的上表面UG的第一照射面I1的散射光的上表面检测部UD、和检查经过透明基板G的第一照射面I1而产生折射并照射到下表面LG的第二照射面I2的散射光的下表面检测部LD，区分透明基板G的上表面异物与下表面异物而进行判别。
如图所示，透明基板G的厚度超过0.3T的情况下，在第一照射面I1与第二照射面I2之间，不产生在与透明基板G垂直的方向上重叠的区间，尤其在下表面LG反射的光照射到透明基板G的上表面UG的第三照射面I3与第二照射面I2之间也不产生重叠的区间，因此能够通过上表面检测部UD和下表面检测部LD来明确区分上表面异物和下表面异物。
但是，将如上所述的现有的异物检测装置，使用在由透明基板的厚度为0.3T以下的超薄板时发生如下问题。
图2中，示出了应用到0.3T以下的厚度的现有的透明基板的异物检测装置20的示意图。
如图所示，在透明基板G的厚度由超薄板构成的情况下，在照射到透明基板G的上表面UG的第一照射面I1、与经过透明基板G的第一照射面I1而产生折射并照射到下表面LG的第二照射面I2、以及第二照射面I2与在第二照射面I2反射而照射到上表面UG的第三照射面I3之间产生重叠的部位OL。尤其是，重叠部位OL会完全覆盖第二照射面I2，因此在利用下表面检测部LD照射第二照射面I2的情况下，由于与第一照射面I1以及第三照射面I3重叠，而无法区分是位于透明基板的上表面UG的异物还是位于下表面LG的异物。
因此，需要开发一种针对厚度在0.3T以下的透明基板仅检测上表面异物的装置。
专利文献1：日本公开专利公报特开平5-196579号
发明内容
本发明是为了解决如上所述的问题而提出的，本发明的目的在于提供一种通过除去在透明基板的下表面反射的光，而使光的上部照射面和下部照射面的重叠部位最小化，由此使无法区分透明基板的上部异物和下部异物的区域最小化的超薄板透明基板上表面异物检测装置。
尤其提供一种利用偏光的透射率特性来除去在透明基板的下表面反射的光的超薄板透明基板上表面异物检测装置。
本发明的超薄板透明基板上表面异物检测装置包括：光源部，向透明基板照射光，并且是以与上述透明基板的材质对应的偏振角(Brewster angle)倾斜地照射光；第一检测部，检测附着于上述基板的上表面的异物的因被照射的上述光而产生的散射光；第二检测部，检测附着于上述基板的下表面的异物的因被照射的上述光而产生的散射光；以及控制部，对通过上述第一检测部检测到的散射光的亮度、和通过上述第二检测部检测到的散射光的亮度进行比较，来区分附着在上述基板的上表面的异物、和附着在上述基板的下表面的异物。
此时，在上述透明基板为玻璃的情况下，上述光源部以入射角倾斜为54～60度的方式照射光。
另外，对于上述超薄板透明基板上表面异物检测装置而言，在包括光照射于上述透明基板的上表面的第一照射面、和光在上述第一照射面产生折射而照射于上述透明基板的下表面的第二照射面，并且第一照射面和第二照射面在与上述透明基板垂直的方向上存在重叠部位的情况下，上述第一检测部检测除上述重叠部位之外的第一照射面的散射光，上述第二检测部检测除上述重叠部位之外的第二照射面的散射光。
基于如上所述的结构的本发明的超薄板透明基板上表面异物检测装置具有如下优点，即，能够区分并检测由利用常规的上表面检测部以及下表面检测部来区分透明基板的上表面异物以及下表面异物的现有的异物检查装置所无法区分的0.3T以下的超薄板透明基板的上表面异物以及下表面异物。
附图说明
图1是现有的异物检测装置概念图。
图2是应用于超薄板透明基板的现有的异物检测装置概念图。
图3是本发明的一实施例所涉及的检测装置概念图。
图4是示出P偏光和S偏光在光的不同入射角下的透射率的图表。
图5是本发明的第一实施例所涉及的检测装置示意图。
图6是本发明的第二实施例所涉及的检测装置示意图。
图7(a)、图7(b)是利用本发明的一实施例所涉及的检测装置来检测上表面以及下表面异物时的示意图。
附图标记说明：
100、200：检测装置；110、210：光源部；111、211：光学透镜；112、212：反射镜；120、220：第一检测部；130、230：第二检测部；G：透明基板；P1：上表面异物；P2：下表面异物；240：物镜；250：分束器。
具体实施方式
图3中，示出了本发明的一实施例所涉及的超薄板透明基板上表面异物检测装置100(下称“检测装置”)的概念图。
参照图3对本发明的用于检测超薄板透明基板G的上表面异物的方法进行说明。本发明的检测装置100以如下方式构成，即，以倾斜角θ照射光L，而使透明基板G的上表面UG以及下表面LG都被照射到，并且使在上表面UG折射的光不在下表面LG发生反射而是均发生折射而透过。
因此，通过对照射到透明基板G的上表面UG的第一照射面I1的散射光进行检查的上表面检测部UD、和对经过透明基板G的第一照射面I1而产生折射并在下表面LG产生折射而透过的第二照射面I2的散射光进行检测的下表面检测部LD，来区分透明基板G的上表面异物和下表面异物进行判别。
即，虽然由于是超薄板透明基板G，而在第一照射面I1与第二照射面I2之间存在重叠部位OL，但由于去除了在下表面LG反射的光照射到透明基板G的上表面的第三照射面I3(参见背景技术)，因此在除重叠部位OL之外的第一照射面I1-1配置上表面检查装置UD，并在除重叠部位OL之外的第二照射面I2-1配置下表面检查装置LD，而区分透明基板G的上表面异物和下表面异物进行判别。
此时，本发明中，为了去除在下表面LG反射的光，利用如下特性。
图4中示出在透明基板为玻璃材质的情况下P偏光和S偏光在光的不同入射角下的透射率的图表(横轴为光的入射角，纵轴为透射率，点划线为P偏光，虚线为S偏光)。如图可知，在入射角为55度附近时，P偏光的透射率为1.0。即，可知若以55度的入射角向透明基板照射P偏光，则照射到透明基板的下表面的光不会被反射而是100％被透过。
因此，本发明的检测装置100中，作为光源使用P偏光，将入射角限制为50～60度更优选限制为55度，从而去除了在透明基板的下表面反射的光。上述内容对应于透明基板G由玻璃材质构成的情况，在透明基板G由玻璃材质之外的其他透明材质构成的情况下，以与各个基板材质的偏振角(Brewster angle)对应的入射角照射光时，能够起到上述的效果。
以下，对如上所述的本发明的多种实施例，参照附图进行详细说明。
图5中示出了本发明的第一实施例所涉及的检测装置100的示意图。如图所示，检测装置100构成为包括光源部110、光学透镜111、反射镜112、第一检测部120、第二检测部130以及透明基板G。
光源部110为用于向透明基板G照射光的结构，包括将P偏光照射到透明基板G的P偏光光源。从光源部110照射的光通过光学透镜111而聚集，并通过反射镜112能够调节入射角。此时，入射角可以为如上所述的55度。
第一检测部120为了检测向形成在透明基板G的上表面UG的第一照射面I1照射的光的散射光而构成。
第二检测部130为了检测向形成在透明基板G的下表面LG的第二照射面I2照射的光的散射光而构成。
若通过如上所述的结构的第一检测部120以及第二检测部130在透明基板G无异物的状态下照射光，则光直接穿过透明基板G，因而不产生散射光，在第一检测部120和第二检测部130检测不到散射光，通过判断上述第一检测部120以及第二检测部130的检测信号的控制部判断为在透明基板G上无异物。
反之，若在透明基板G的上表面或者下表面附着异物的状态下照射光，则因所照射的光而在异物处产生散射光，并且在第一检测部120或者第二检测部130检测到散射光，通过判断上述第一检测部120以及第二检测部130的检测信号的控制部，来判断为在透明基板G上检测到异物。
图6中示出了本发明的第二实施例所涉及的检测装置200的示意图。如图所示，检测装置200构成为包括光源部210、光学透镜211、反射镜212、第一检测部220、第二检测部230、物镜240、分束器250以及透明基板G。
在上述结构元件中，光源部210、光学透镜211、反射镜212与上述的第一实施例的光源部110、光学透镜111、反射镜112相同，故不再进行说明。
第一检测部220为了检测向形成在透明基板G的上表面UG的第一照射面I1照射的光的第一散射光UD而构成，第二检测部230为了检测向形成在透明基板G的下表面LG的第二照射面I2照射的光的第二散射光LD而构成。
此时，第一散射光UD以及第二散射光LD能够通过配置在第一检测部220与第二检测部230之间的物镜240和分束器250而彼此分离，从而被传递到第一检测部220以及第二检测部230。
作为一例，第一散射光UD可以在穿过物镜240后通过分束器250以90度的倾斜角反射而被传递到第一检测部220，第二散射光LD可以在穿过物镜240后穿过分束器250而被传递到第二检测部230。
虽然在附图中并未示出，但是作为另一例，第一散射光UD可以在穿过物镜240后透过分束器250而被传递到第一检测部220，第二散射光LD可以在穿过物镜240后通过分束器250以90度的倾斜角反射而被传递到第二检测部230。
因此，相较于上述的第一实施例，能够将第一检测部220和第二检测部230分隔配置，由此第一检测部220和第二检测部230的移动距离变灵活，容易检测所期望的部分。这是因为在第一检测部220和第二检测部230靠近配置的情况下，会发生移动距离的限制。
另外，在上述的第一实施例中，需要在第一检测部120和第二检测部130分别具备物镜，但在本实施例中，能够利用一个物镜来实现，因此能够以低廉的费用来构成检测部，确保对自动对焦时产生的振动的耐久性，并具有能够实现紧凑的设计的优点。
若通过如上所述的结构的第一检测部120以及第二检测部130，在透明基板G无异物的状态下照射光，则光直接穿过透明基板G，因而不产生散射光，在第一检测部120和第二检测部130检测不到散射光，通过判断上述第一检测部120以及第二检测部130的检测信号的控制部判断为在透明基板G上无异物。
反之，若在透明基板G的上表面或者下表面附着异物的状态下照射光，则因所照射的光而在异物处产生散射光，并且在第一检测部120或者第二检测部130检测到散射光，通过判断上述第一检测部120以及第二检测部130的检测信号的控制部判断为在透明基板G上检测到异物。
此时，如图7(a)、图7(b)所示，在上表面UG存在第一异物P1且在下表面LG存在第二异物P2的情况下，通过第一检测部120检测到的第一异物的图像(图7(a)的P1)被检测为大于第二异物的图像(图7(a)的P2)，通过第二检测部130检测到的第一异物的图像(图7(b)的P1)被检测为小于第二异物的图像(图7(b)的P2)，因而能够区分上表面异物和下表面异物。
另外，考虑到在上表面异物的情况下在第一检测部120被检测得相对亮，而在下表面异物的情况下在第二检测部130被检测得相对亮这一点，提出如下的追加区分方法。
在第一检测部120和第二检测部130的检测图像中存在于同一坐标的异物的情况下，能够通过检测到的异物的亮度比较来区分上表面或者下表面的异物进行判定。即，在对下表面异物在同一坐标处用第一检测部120和第二检测部130检测的情况下，由于第二检测部130的检测图像显示得更亮，因此能够区分上表面异物和下表面异物。
这是因为上表面异物和下表面异物均能够在第一检测部120以及第二检测部130进行检测，特定大小以上的异物则无法通过大小比较来区分上表面或者下表面异物。
不应限定于本发明的上述实施例来解释技术构思。应用范围多样化是当然的，在不脱离技术方案中要求保护的本发明的主旨的范围内，能够在本领域技术人员的水平下实现多种变形实施。因此，这种改进以及变更对本领域技术人员而言是显而易见的，属于本发明的保护范围内。
Claims (6)
1.一种超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，包括：
光源部，向透明基板照射光，并且是以与所述透明基板的材质对应的偏振角倾斜地照射光；
第一检测部，检测附着于所述基板的上表面的异物的因被照射的所述光而产生的第一散射光；
第二检测部，检测附着于所述基板的下表面的异物的因被照射的所述光而产生的第二散射光；以及
控制部，对通过所述第一检测部检测到的散射光的亮度、和通过所述第二检测部检测到的散射光的亮度进行比较，来区分附着在所述基板的上表面的异物、和附着在所述基板的下表面的异物。
2.根据权利要求1所述的超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，
所述超薄板透明基板上表面异物检测装置包括：
物镜，配置在透明基板与第一检测部及第二检测部之间；以及
分束器，配置在所述物镜与第一检测部及第二检测部之间，
所述第一散射光借助所述分束器发生反射或者透过而传递到所述第一检测部，所述第二散射光则借助所述分束器发生透过或者反射而传递到所述第二检测部。
3.根据权利要求1所述的超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，
在所述透明基板为玻璃的情况下，所述光源部以入射角倾斜成54～60度的方式照射光。
4.根据权利要求1所述的超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，
对于所述超薄板透明基板上表面异物检测装置而言，在包括光照射于所述透明基板的上表面的第一照射面、和光在所述第一照射面产生折射而照射于所述透明基板的下表面的第二照射面，并且第一照射面和第二照射面在以与所述透明基板垂直的方向上存在重叠部位的情况下，所述第一检测部检测除所述重叠部位之外的第一照射面的散射光，所述第二检测部检测除所述重叠部位之外的第二照射面的散射光。
5.根据权利要求1所述的超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，
所述超薄板透明基板上表面异物检测装置包括控制部，在通过所述第一检测部检测到的异物的大小大于通过所述第二检测部检测到的异物的大小的情况下，所述控制部将所述异物判断为附着在所述基板的上表面的异物，在通过所述第一检测部检测到的异物的大小小于通过所述第二检测部检测到的异物的大小的情况下，所述控制部将所述异物判断为附着在所述基板的下表面的异物。
6.根据权利要求1所述的超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，
所述超薄板透明基板上表面异物检测装置包括控制部，在所述第一检测部(120)和所述第二检测部(130)的检测图像中存在于同一坐标的异物的情况下，所述控制部通过对检测到的异物的亮度比较来区分上表面或者下表面的异物，在通过第一检测部检测到的异物的亮度比通过所述第二检测部检测到的异物的亮度亮的情况下，所述控制部将所述异物判断为附着在所述基板的上表面的异物，在通过所述第一检测部检测到的异物的亮度比通过所述第二检测部检测到的异物的亮度暗的情况下，所述控制部将所述异物判断为附着在所述基板的下表面的异物。
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|---|---|
| CN (1) | CN111007077A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111739021A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-10-02 | 武汉精立电子技术有限公司 | 显示面板玻璃内外异物检测方法和装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5072128A (en) * | 1989-07-26 | 1991-12-10 | Nikon Corporation | Defect inspecting apparatus using multiple color light to detect defects |
| KR20110088706A (ko) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 평판 유리 표면 이물질 검사 장치 |
| TW201610420A (zh) * | 2014-09-10 | 2016-03-16 | Toray Eng Co Ltd | 基板檢查裝置 |
| US20160327494A1 (en) * | 2015-05-08 | 2016-11-10 | Nanoprotech Co., Ltd. | Upper Surface Foreign Material Detecting Device of Ultra-Thin Transparent Substrate |
| CN107064168A (zh) * | 2011-07-12 | 2017-08-18 | 科磊股份有限公司 | 晶片检查 |
-
2018
- 2018-10-08 CN CN201811167431.1A patent/CN111007077A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5072128A (en) * | 1989-07-26 | 1991-12-10 | Nikon Corporation | Defect inspecting apparatus using multiple color light to detect defects |
| KR20110088706A (ko) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 평판 유리 표면 이물질 검사 장치 |
| CN105572149A (zh) * | 2010-01-29 | 2016-05-11 | 康宁精密素材株式会社 | 平板玻璃表面的异物检测装置 |
| CN107064168A (zh) * | 2011-07-12 | 2017-08-18 | 科磊股份有限公司 | 晶片检查 |
| TW201610420A (zh) * | 2014-09-10 | 2016-03-16 | Toray Eng Co Ltd | 基板檢查裝置 |
| US20160327494A1 (en) * | 2015-05-08 | 2016-11-10 | Nanoprotech Co., Ltd. | Upper Surface Foreign Material Detecting Device of Ultra-Thin Transparent Substrate |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111739021A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-10-02 | 武汉精立电子技术有限公司 | 显示面板玻璃内外异物检测方法和装置 |
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20200414 |
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |