JPH07146253A - 粘着偏光フィルムの欠陥検査装置 - Google Patents
粘着偏光フィルムの欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH07146253A JPH07146253A JP29555893A JP29555893A JPH07146253A JP H07146253 A JPH07146253 A JP H07146253A JP 29555893 A JP29555893 A JP 29555893A JP 29555893 A JP29555893 A JP 29555893A JP H07146253 A JPH07146253 A JP H07146253A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarizing film
- light
- adhesive
- adhesive layer
- polarization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、粘着偏光フィルムにおける粘着剤
層の欠陥を簡単な処理で精度良く検出する欠陥検査装置
を提供することを目的とする。 【構成】 被検査物Ａを撮像するカメラ１０を囲むよう
にリング型出射口８が配置される。リング型出射口８は
光ファイバ７を介して光源６に接続されていて、光源６
の発する光は光ファイバ７を通じてこのリング型出射口
８から照射される。また、カメラ１０には、２値化部１
２と判定部１３から構成される画像処理部１１が接続さ
れている。そして、リング型出射口８の前面には、偏光
フィルタ９が、被検査物Ａに含まれる偏光フィルム３の
偏光方向と異なる方向に偏光するように設置される。一
方、被検査物Ａには、少なくとも、ガラス基板１に、粘
着剤層２と偏光フィルム３からなる粘着偏光フィルムが
貼着されている。
層の欠陥を簡単な処理で精度良く検出する欠陥検査装置
を提供することを目的とする。 【構成】 被検査物Ａを撮像するカメラ１０を囲むよう
にリング型出射口８が配置される。リング型出射口８は
光ファイバ７を介して光源６に接続されていて、光源６
の発する光は光ファイバ７を通じてこのリング型出射口
８から照射される。また、カメラ１０には、２値化部１
２と判定部１３から構成される画像処理部１１が接続さ
れている。そして、リング型出射口８の前面には、偏光
フィルタ９が、被検査物Ａに含まれる偏光フィルム３の
偏光方向と異なる方向に偏光するように設置される。一
方、被検査物Ａには、少なくとも、ガラス基板１に、粘
着剤層２と偏光フィルム３からなる粘着偏光フィルムが
貼着されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粘着偏光フィルムの粘
着剤層の発泡欠陥を画像処理を用いて自動的に検出する
欠陥検査装置に関するものである。
着剤層の発泡欠陥を画像処理を用いて自動的に検出する
欠陥検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、画像処理を用いた欠陥検査装置に
関しては、回路パターンの欠陥検査装置として特開平２
─１３３８８３号公報のものが知られている。この欠陥
検査装置では、２つの閾値を設定し、被検査物に対し
て、斜向する方向から投光して濃淡画像を得た後、その
濃度分布に基づいて明るい方の閾値を越える部分の最大
値と、暗い方の閾値より小さい部分の最小値を求め、両
者が隣接している場合に、最大値と最小値の差を所定値
と比較して凹凸欠陥を検出している。
関しては、回路パターンの欠陥検査装置として特開平２
─１３３８８３号公報のものが知られている。この欠陥
検査装置では、２つの閾値を設定し、被検査物に対し
て、斜向する方向から投光して濃淡画像を得た後、その
濃度分布に基づいて明るい方の閾値を越える部分の最大
値と、暗い方の閾値より小さい部分の最小値を求め、両
者が隣接している場合に、最大値と最小値の差を所定値
と比較して凹凸欠陥を検出している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる従来の
欠陥検査装置では、画像処理に多値の濃度分布を用いる
必要があるため、演算量が膨大であり、検査に長時間を
要するという問題点を有する。また、粘着偏光フィルム
にアルミ膜等を貼着した所謂反射型の粘着偏光フィルム
の欠陥検査に利用しようとすると、反射板であるアルミ
膜等の凹凸が地合として検出されてしまい、発泡欠陥と
区別ができないという問題点も有している。本発明は、
上記問題点に鑑みてなされたもので、粘着偏光フィルム
における粘着剤層の欠陥を簡単な処理で精度良く検出す
る欠陥検査装置を提供することを目的とする。
欠陥検査装置では、画像処理に多値の濃度分布を用いる
必要があるため、演算量が膨大であり、検査に長時間を
要するという問題点を有する。また、粘着偏光フィルム
にアルミ膜等を貼着した所謂反射型の粘着偏光フィルム
の欠陥検査に利用しようとすると、反射板であるアルミ
膜等の凹凸が地合として検出されてしまい、発泡欠陥と
区別ができないという問題点も有している。本発明は、
上記問題点に鑑みてなされたもので、粘着偏光フィルム
における粘着剤層の欠陥を簡単な処理で精度良く検出す
る欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そのため本発明は、透光
性を有する基板と該基板に貼着される粘着偏光フィルム
を含んだ被検査物の基板面に向けて光を照射する照明手
段と、前記被検査物と前記照明手段の間に配置され、照
明手段の照射する光を被検査物の粘着偏光フィルムの偏
光方向と異なる方向に偏光する偏光部材と、前記被検査
物からの反射光を撮像する撮像手段と、該撮像手段によ
って撮像された画像から前記粘着偏光フィルムの粘着剤
層の発泡欠陥を検出する画像処理手段とをもって構成し
た。
性を有する基板と該基板に貼着される粘着偏光フィルム
を含んだ被検査物の基板面に向けて光を照射する照明手
段と、前記被検査物と前記照明手段の間に配置され、照
明手段の照射する光を被検査物の粘着偏光フィルムの偏
光方向と異なる方向に偏光する偏光部材と、前記被検査
物からの反射光を撮像する撮像手段と、該撮像手段によ
って撮像された画像から前記粘着偏光フィルムの粘着剤
層の発泡欠陥を検出する画像処理手段とをもって構成し
た。
【０００５】
【作用】以上の構成により、照明手段からの光を、被検
査物中の粘着偏光フィルムの偏光方向とは異なる方向に
偏光してから当該被検査物に照射するので、その反射光
を撮像すれば、粘着剤層中の発泡の有無により光量差が
明確に生じ、発泡欠陥を検出することができる。
査物中の粘着偏光フィルムの偏光方向とは異なる方向に
偏光してから当該被検査物に照射するので、その反射光
を撮像すれば、粘着剤層中の発泡の有無により光量差が
明確に生じ、発泡欠陥を検出することができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。図１は本発明に係る粘着偏光フィルムの欠陥検査
装置の一実施例を示すブロック図である。同図におい
て、被検査物Ａの上方にはカメラ１０が設置され、この
カメラ１０を囲むようにリング型出射口８が配置され
る。リング型出射口８は光ファイバ７を介して光源６に
接続されていて、光源６の発する光は光ファイバ７を通
じてこのリング型出射口８から照射される。また、カメ
ラ１０には、画像処理部１１が接続され、この画像処理
部１１は、２値化部１２と判定部１３から構成されてい
る。そして、カメラ１０およびリング型出射口８の前面
には、偏光フィルタ９が、被検査物Ａに含まれる偏光フ
ィルム３の偏光方向と異なる方向に偏光するように設置
される。図３は、この偏光フィルム３と偏光フィルタ９
の関係を説明する図であり、この場合は偏光方向をそれ
ぞれ直交させて配置している。なお、このように直交さ
せたときが、カメラ１０で撮像した画像において最も明
暗が強調されることになる。
する。図１は本発明に係る粘着偏光フィルムの欠陥検査
装置の一実施例を示すブロック図である。同図におい
て、被検査物Ａの上方にはカメラ１０が設置され、この
カメラ１０を囲むようにリング型出射口８が配置され
る。リング型出射口８は光ファイバ７を介して光源６に
接続されていて、光源６の発する光は光ファイバ７を通
じてこのリング型出射口８から照射される。また、カメ
ラ１０には、画像処理部１１が接続され、この画像処理
部１１は、２値化部１２と判定部１３から構成されてい
る。そして、カメラ１０およびリング型出射口８の前面
には、偏光フィルタ９が、被検査物Ａに含まれる偏光フ
ィルム３の偏光方向と異なる方向に偏光するように設置
される。図３は、この偏光フィルム３と偏光フィルタ９
の関係を説明する図であり、この場合は偏光方向をそれ
ぞれ直交させて配置している。なお、このように直交さ
せたときが、カメラ１０で撮像した画像において最も明
暗が強調されることになる。
【０００７】次に、このように構成された装置における
欠陥検査時の動作を説明する。本実施例では、粘着偏光
フィルムにアルミ膜等を貼着した所謂反射型の粘着偏光
フィルムの欠陥検査を行うものとする。この場合には、
被検査物Ａは、ガラス基板１に、粘着剤層２と偏光フィ
ルム３からなる粘着偏光フィルムが貼着され、さらにそ
の偏光フィルム３に粘着剤層４を介してアルミ膜５が貼
着されるという構造になる。光源６の発した光は、光フ
ァイバ７を通ってリング型出射口８から被検査物Ａのガ
ラス基板１に対して照射される。その際、照射された光
は偏光フィルタ９を通過することにより一定方向に偏光
されてから被検査物Ａに到達する。そして、ガラス基板
１を透過した光は、粘着剤層２に達し、この粘着剤層２
の中の発泡の有無により、その後の作用が異なるものに
なる。図４を用いて、この光の作用について具体的に説
明する。光は粘着剤層２の中に存在する発泡１４に当た
ると、大部分がその表面で反射するため、光路Ｘをとる
反射光が得られる。一方、発泡１４に当たらない場合に
は、光路Ｙの如く、粘着剤層２および偏光フィルム３を
透過するため、その後にアルミ膜５で反射したとして
も、偏光フィルム３で遮断されることになり、反射光は
ほとんど得られない。
欠陥検査時の動作を説明する。本実施例では、粘着偏光
フィルムにアルミ膜等を貼着した所謂反射型の粘着偏光
フィルムの欠陥検査を行うものとする。この場合には、
被検査物Ａは、ガラス基板１に、粘着剤層２と偏光フィ
ルム３からなる粘着偏光フィルムが貼着され、さらにそ
の偏光フィルム３に粘着剤層４を介してアルミ膜５が貼
着されるという構造になる。光源６の発した光は、光フ
ァイバ７を通ってリング型出射口８から被検査物Ａのガ
ラス基板１に対して照射される。その際、照射された光
は偏光フィルタ９を通過することにより一定方向に偏光
されてから被検査物Ａに到達する。そして、ガラス基板
１を透過した光は、粘着剤層２に達し、この粘着剤層２
の中の発泡の有無により、その後の作用が異なるものに
なる。図４を用いて、この光の作用について具体的に説
明する。光は粘着剤層２の中に存在する発泡１４に当た
ると、大部分がその表面で反射するため、光路Ｘをとる
反射光が得られる。一方、発泡１４に当たらない場合に
は、光路Ｙの如く、粘着剤層２および偏光フィルム３を
透過するため、その後にアルミ膜５で反射したとして
も、偏光フィルム３で遮断されることになり、反射光は
ほとんど得られない。
【０００８】被検査物Ａからの反射光は、偏光フィルタ
９を透過してカメラ１０で撮像される。カメラ１０で撮
像された画像は、反射光が得られた部分は明るく、得ら
れなかった部分は暗くなる。画像処理部１１はカメラ１
０からの画像信号を、２値化部１２において所定の閾値
で２値化し、明るい方を「１」（黒画素）、暗い方を
「０」（白画素）に割り当てる。その結果、背景部分が
白画素で、発泡の存在する部分が黒画素群で表された画
像が得られる。判定部１３においては、２値化された画
像に含まれる黒画素群の大きさが検出され、所定値以上
の大きさを有するものがいくつあるかによって粘着偏光
フィルムの粘着剤層の発泡欠陥の有無を判定する。
９を透過してカメラ１０で撮像される。カメラ１０で撮
像された画像は、反射光が得られた部分は明るく、得ら
れなかった部分は暗くなる。画像処理部１１はカメラ１
０からの画像信号を、２値化部１２において所定の閾値
で２値化し、明るい方を「１」（黒画素）、暗い方を
「０」（白画素）に割り当てる。その結果、背景部分が
白画素で、発泡の存在する部分が黒画素群で表された画
像が得られる。判定部１３においては、２値化された画
像に含まれる黒画素群の大きさが検出され、所定値以上
の大きさを有するものがいくつあるかによって粘着偏光
フィルムの粘着剤層の発泡欠陥の有無を判定する。
【０００９】図２は、本発明の他の実施例を示す構成図
である。図１に示した実施例とは、偏光フィルタ９の構
成を異にする。すなわち、リング型出射口８の前面にの
み偏光フィルタ９を配置するようにした。このように構
成すれば、被検査物Ａからの反射光は直接カメラ１０で
撮像されることになり、明暗の差が強調された画像が得
られることになる。
である。図１に示した実施例とは、偏光フィルタ９の構
成を異にする。すなわち、リング型出射口８の前面にの
み偏光フィルタ９を配置するようにした。このように構
成すれば、被検査物Ａからの反射光は直接カメラ１０で
撮像されることになり、明暗の差が強調された画像が得
られることになる。
【００１０】
【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
被検査物中に偏光フィルムが含まれることを利用し、照
明手段の照射する光を所定方向に偏光する偏光部材を設
けただけで、極めて簡単な処理をもって精度良く粘着偏
光フィルムの粘着剤層の発泡欠陥を検出できる。
被検査物中に偏光フィルムが含まれることを利用し、照
明手段の照射する光を所定方向に偏光する偏光部材を設
けただけで、極めて簡単な処理をもって精度良く粘着偏
光フィルムの粘着剤層の発泡欠陥を検出できる。
【図１】 本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】 本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図３】 偏光フィルムと偏光フィルタの関係を説明す
る図である。
る図である。
【図４】 被検査物における光の作用を説明する図であ
る。
る。
１ ガラス ２ 粘着剤層 ３ 偏光フィルム ５ アルミ膜 ６ 光源 ７ 光ファイバ ８ リング型出射口 ９ 偏光フィルタ １０ カメラ １１ 画像処理部
Claims (1)
- 【請求項１】 透光性を有する基板と該基板に貼着され
る粘着偏光フィルムを含んだ被検査物の基板面に向けて
光を照射する照明手段と、 前記被検査物と前記照明手段の間に配置され、照明手段
の照射する光を被検査物の粘着偏光フィルムの偏光方向
と異なる方向に偏光する偏光部材と、 前記被検査物からの反射光を撮像する撮像手段と、 該撮像手段によって撮像された画像から前記粘着偏光フ
ィルムの粘着剤層の発泡欠陥を検出する画像処理手段と
を具備することを特徴とする粘着偏光フィルムの欠陥検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29555893A JPH07146253A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 粘着偏光フィルムの欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29555893A JPH07146253A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 粘着偏光フィルムの欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146253A true JPH07146253A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=17822201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29555893A Pending JPH07146253A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 粘着偏光フィルムの欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07146253A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09113460A (ja) * | 1995-10-19 | 1997-05-02 | Sekisui Chem Co Ltd | 反射型偏光体の欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
| KR20040044071A (ko) * | 2002-11-18 | 2004-05-27 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 표시용 기판의 검사방법 및 장치 |
| KR101396456B1 (ko) * | 2014-01-13 | 2014-05-22 | 세광테크 주식회사 | Ito필름의 전도성 패턴 검사장치 및 그 검사방법 |
| KR20190134102A (ko) * | 2018-05-24 | 2019-12-04 | (주)쎄미시스코 | 검사 대상물 에지 결함 검사 시스템 및 그 방법 |
| KR20190134103A (ko) * | 2018-05-24 | 2019-12-04 | (주)쎄미시스코 | 챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법 |
-
1993
- 1993-11-25 JP JP29555893A patent/JPH07146253A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09113460A (ja) * | 1995-10-19 | 1997-05-02 | Sekisui Chem Co Ltd | 反射型偏光体の欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
| KR20040044071A (ko) * | 2002-11-18 | 2004-05-27 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 표시용 기판의 검사방법 및 장치 |
| KR101396456B1 (ko) * | 2014-01-13 | 2014-05-22 | 세광테크 주식회사 | Ito필름의 전도성 패턴 검사장치 및 그 검사방법 |
| KR20190134102A (ko) * | 2018-05-24 | 2019-12-04 | (주)쎄미시스코 | 검사 대상물 에지 결함 검사 시스템 및 그 방법 |
| KR20190134103A (ko) * | 2018-05-24 | 2019-12-04 | (주)쎄미시스코 | 챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법 |
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