544381 A7 B7 五、發明説明(”) 〔發明所屬之技術領域〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 本發明係有關要排列配置配設有移載晶圓用臂於轉盤 上之移載裝置,和使定置於載置台之晶圓姿勢,方向形成 一致(齊一)的姿勢對齊裝置,及要讀取附上於晶圓的 I D之讀取裝置用的晶圓移載系統,例如,該晶圓移載系 統乃裝載於畏自動搬運,移載晶圓於半導體製造工場之( 處理)站間用的無人搬運車上。 〔習知技術〕 以往(傳統上),爲了以〇C R (感光讀出機)讀取 所附上於晶圓之I D (識別)資訊,而移動姿勢對齊裝置 ,以令晶圓對於移載裝置能在於所定(一定)位置,且成 爲所定姿勢,而以移載裝置來定置晶圓於〇C R。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 具體地說明時,將姿勢對齊裝置構成爲具備有能在水 平面內朝成正交(垂直相交)之2軸成移動自如之移動台 ,及配置於其上之旋轉自如之載置台,而由該姿勢對齊裝 置來使載置台以載置晶圓之狀態下使之旋轉,且由感測器 (察覺器)偵測晶圓之表示方向用直線(orientation flat,以 下簡稱爲定向直線)位置(或缺口位置),並予以比較所 測定之晶圓外周之旋轉軌跡和預先所記憶的基準(參考) 旋轉軌跡,而算出晶圓中心位置的偏位。且依據該算出結 果來旋轉載置台,以令晶圓能成爲所定之姿勢,並移動移 動台來使晶圓中心位於所定位置。以如此地預先進行對準 晶圓之位置及對齊姿勢,以在移動晶圓時,能使I D標誌 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 544381 A7 B7 五、發明説明(2 ) 以正確且以適當姿勢來移動至〇C R之讀取區域爲止,以 令由〇C R所進行之讀取I D標誌能在無失誤之下實施。 〔發明擬解決之課題〕 以如上述之移載裝置時,不僅需要能使晶圓成高精度 朝水平移動之移動台之外,亦在其移動會花費時間。 爲此,本發明乃以構成爲不需要該移動台之同時,可 縮短要對齊(使之形成一致)晶圓姿勢所需要之時間,而 意圖增進晶圓之移載效率爲其課題者。 〔解決課題用之手段〕 本發明擬解決之課題係如上述者,而以下,將說明解 決該課題用之手段。 首先,如申請專利範圍第1項(以下簡稱爲申請項1 ,下同)所記載,晶圓移載系統,係具備有:配設有晶圓 移載用之臂於轉盤上的移載裝置;要對齊定置於載置台之 晶圓的姿勢,方向用之姿勢對齊裝置;及要讀取附上於晶 圓之I D (識別)標誌用之讀取裝置,其特徵爲配設有: 要算出定置於載置台上之晶圓中心位置的算出機構;依據 該算出結果和預先所收到(接收)之I D標誌的位置資訊 來算出要使晶圓成爲所定姿勢所需要之載置台的旋轉角度 用之旋轉角度算出機構;要算出前述所定姿勢之晶圓對於 讀取裝置定置成I D標誌能成爲所定位置及姿勢所需要的 前述移載裝置之臂伸縮量及轉盤之旋轉角度的移載量算出 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐〉 β I I I—I I I I-I -..... flu I (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁) 訂 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 544381 A7 B7 五、發明説明(3 ) 機構;及依據該移載量算出機構所算出之轉盤的旋轉角度 ’而校正由前述旋轉角度算出機構所算出之載置台的旋轉 角度用之校正機構。 如申請項2所記載,晶圓移載方法,係在具備有:配 設有晶圓移載用之臂於轉盤上的移載裝置;要對齊定置於 載置台之晶圓的姿勢,方向用之姿勢對齊裝置;及要讀取 附上於晶圓之I D標誌用之讀取裝置之晶圓移載系統予以 形成爲,其特徵爲:算出定置於載置台上之晶圓中心位置 ;依據該算出結果和預先所接收之I D標誌的位置資訊來 算出晶圓能成爲所定姿勢爲止之載置台的旋轉角度;算出 前述所定姿勢之晶圓對於讀取裝置定置成I D標誌能成爲 所定位置及姿勢所需要前述移載裝置之臂伸縮量及轉盤之 旋轉角度;依據該移載量算出機構所算出之轉盤的旋轉角 度予以校正由前述旋轉角度算出機構所算出之載置台的旋 轉角度;以旋轉載置台僅有校正後之旋轉份量來旋轉晶圓 ;及由移載裝置移動已旋轉之晶圓至讀取裝置側,使得 I D標誌對於該讀取裝置能定量成前述所定之位置及姿勢 者。 再者,如申請項3所記載,無人搬運車系統,係具備 有:具有配設有晶圓移載用之臂於轉盤上的移載裝置,和 要對齊定置於載置台之晶圓的姿勢,方向用之姿勢對齊裝 置,及要讀取附上於晶圓之I D標誌用的讀取裝置之無人 搬運車;及(處理)站,其特徵爲:配設申請專利範圍第 1項所記載之晶圓移載系統於該無人搬運車。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) ——— — — — —0 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6 - 544381 A7 _____ B7 五、發明説明(4 ) 〔發明之實施形態〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著,依據圖式來說明本發明之實施形態。 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖1係顯示淸潔室內之無人搬運車1的狀態之斜視( 立體)圖,圖2係無人搬運車1之側面剖面圖,圖3 ( a )係從緩衝卡匣5取出晶圓10時之無人搬運車1的平面 圖,圖3 ( b )係移載晶圓1 0至姿勢對齊(形成一致) 裝置4時之無人搬運車1的平面圖,圖4係具有定向直線 1 0 a之晶圓1 〇之平面圖,圖5係具有缺口 1 〇 b之晶 圓1 0的平面圖,圖6係顯示無人搬運車1之控制結構的 方塊圖,圖7係顯示由無人搬運車1所進行之晶圓1 〇的 移載處理之流程圖,圖8係顯示刻印I D標誌1 1於通常 位置之晶圓1 0的對齊姿勢狀態之姿勢對齊裝置4的平面 圖,圖9係顯示從通常位置朝圓周方向偏移來刻印I D標 誌1 1之對齊姿勢的狀態之姿勢對齊裝置4的平面圖’圖 1 0係顯示從通常位置平行移動I D標誌1 1來刻印之晶 圓10的姿勢對齊之狀態的姿勢對齊裝置4之平面圖’圖 1 1係說明從通常位置平行移動I D標誌1 1來刻印之晶 圓1 0的姿勢對齊之旋轉角度用的晶圓1 0之平面圖。 首先,說明有關無人搬運車1之整體結構。 在以下之說明,將圖1之箭標記F方向做爲前方’以 說明各構造體之前後左右位置。又在其他圖式之各構造體 之前後左右位置也依照圖1所說明者。 如圖1所示,無人搬運車1係可自動行走於行走軌道 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 544381 A7 B7 五、發明説明(5 ) 20,20之有軌台車,車體本體2乃由4個行走輪9, 9……所支承,而由各別之驅動馬達8,8……(參照圖 2 )來驅動該行走輪9,9 ......,使得能以四輪驅動來行 走於行走軌道2 0 ’ 2 0 ......上。 再者,只要行走軌道20,20……和行走輪9,9 ……之間滑動爲少,可傳達驅動於所有之行走輪9,9… …即可,其傳達(傳動)機構可爲注意之傳達機構。 沿著前述行走軌道2 0,2 0配設了處理裝置2 1, 21……,儲料器22,而複數之卡匣23,23……以 隔著所定(一定)間隔排列配設於該儲料器2 2上。各卡 匣2 3,2 3……係令其開口朝向行走軌道2 0,2 0來 配設,且在該卡匣2 3之前後內側面,朝上下各配設有要 保持晶圓1 0側端用之櫊板多數層,以令多數之晶圓1 0 ,1 0 ......成水平收容(容納)於卡匣2 3內。 如圖2及圖3所示,在無人搬運車1之車體本體2, 配設有要移載晶圓1 0,1 0……用之移載裝置於其中央 ,並在其前後配設有要對齊(使成一致)晶圓1 〇,1 〇 ……方向及中心位置用之姿勢對齊裝置4,以及要收容晶 圓1 0,1 0 ......用的緩衝卡匣5。 緩衝卡匣5乃使其開口朝前方(移載裝置3側)來配 置於緩衝台5 0上。並構成爲朝上下配設了要保持晶圓 1 0側端用之擱板於各該緩衝卡匣5內成多數層,而成水 平收容晶圓1 〇,1 0 ......於緩衝卡匣5內。 前述晶圓1 0爲由單(結)晶所形成之略爲圓盤狀的 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -I# 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8- 544381 A7 __ B7_ _____ 五、發明説明(6 ) 形狀者,因矽之結晶具有方位角,因而如圖4所示’具有 顯示方向的直線部分,亦即形成於晶圓1 〇外周之—部分 ——I — _ — — ,0! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 的定向直線(orientation flat) 1 0 a,或如圖5所’具有 切割成凹部(缺口)於晶圓1 0外周之一部分的缺口 1 0 b者,並在該等之表面或背面之四周部,均刻印有編 碼著晶圓之製造履歷等,則晶圓資訊之I D標誌1 1。 該I D標誌1 1係如圖4 ( a )〔或圖5 ( a )〕所 示,有配置於與晶圓1 0盤面之定向直線1 〇 a (或缺口 1 0 b )位置爲相反側之外周部者,或如圖4 ( b )〔或 圖5 (b)〕所示,從該圖4 (a)〔或圖5 (a)〕所 示之位置朝圓周方向偏位來配置者,或如圖4(c)〔或 圖5 ( c )所示〕所示,從該通常之位置成平行移動來配 置於晶圓1 0之外周部者,而對於任何之狀態,該I D標 誌1 1和定向直線1 0 a (或缺口 1 0 b )之位置關係均 預先已予以規定。因此,由偵測晶圓1 0之定向直線 1 0 a (或缺口 1 0 b )之位置,就可依據前述位置關係 而間接地算出I D標誌1 1的位置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次,說明有關前述移載裝置3。 如圖2及圖3所示,移載裝置3係由移載臂3 0, 30,基台38,轉盤39,39等所形成,基台38及 埋(入配)設於車體本體2中央,該基台3 8上樞設有轉 盤39,一對移動臂30,30則組裝於該轉盤39上。 前述基台3 8乃構成爲可上下移動自如,並配設有以 配置刻成螺紋於基台3 8側方之桿成豎立狀,且支承成轉 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) " ' '~ -9- 544381 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(7 ) 動自如之狀態下來,嵌入固定配設於基台3 8下部之螺帽 操作件(runner*)於該桿,並由以電動機(馬達)來驅動旋 轉該桿以令該螺帽操作件升降,使得可驅動基台3 8上升 降用之升降機構6 1 (顯示槪略於圖6 )。 又前述轉盤3 9乃構成爲可對於基台3 8旋轉,而形 成可由埋設於該基台3 8之電動機6 2 (槪略顯示於圖6 ),而驅動旋轉該轉盤3 9。 前述移載臂3 0係以移載手3 1,第1臂3 2及第2 臂3 3且組裝有連桿機構之定標(scaler)臂式之機械臂, 構成爲由伺服馬達等所形成之致動機6 3 (參照圖6 )來 進行爲伸展,彎曲自如。 前述移載臂3 1構成以平面看時,略成「凹」字狀之 板,其分叉之前端部乃設有吸著孔34,34,而由圖6 所示之空氣泵6 4來吸引,就可吸著,保持晶圓1 0於移 載手3 1。 且在一方移載臂3 0,組裝有測繪(映射,mapping) 感測器3 5於與移載手3 1之吸著孔3 4,3 4爲相反側 之^而部。 前述測繪感測器3 5係分叉爲二股之平面看爲「V」 字狀之形狀,而組裝有光電感測器於其兩前端。以該結構 飲下,將予以上升基台38,而彎曲伸展該移載臂30, 以令該測繪感測器3 5接近於緩衝卡匣5。而降下該基台 3 8,並由該測繪感測器3 5來探索緩衝卡匣5之各擱板 ,以偵測有無晶圓1 0,1 0 ....... 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 訂 ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10- 544381 A7 __B7 五、發明説明(8 ) 圖6係顯示無人搬運車1之控制結構的方塊圖,要升 降基台3 8之前述升降機構,旋轉轉盤3 9之前述電動機 62,要彎曲移載臂30,30之前述致動器63,63 ,以吸著孔3 4 ,3 4來吸引晶圓1 0之前述空氣泵6 4 ,及前述測繪感測器3 5乃連接於內裝在車體本體2之控 制器6 0,並以所定之過程產生動作。 接著,說明有關前述姿勢對齊裝置4。 如圖2及圖3所示,姿勢對齊裝置4係由外殻4 0, 載置台4 1,線性感測器4 2,4 2,感光讀出機(以下 簡稱爲「OCR」)43等所構成,該外殼40乃構成爲 移載裝置3側成開口,且在其入口附近配設有二組之線性 感測器4 2,4 2,並各埋設有投射(投光)器4 2 a於 頂面,受光器4 2 b於底面。該二組之線性感測器4 2, 4 2,係構成爲以外側(外殼4之開口入口側)之線性感 測器4 2來偵測1 2英吋之晶圓1 0的定向直線1 0 a ( 或缺口 1 0 b )之位置,而以內側(外殻4之開口裏面側 )之線性感測器4 2來偵測8英吋之晶圓1 0之定向直線 10a (或缺口 10b)之位置。 又在外殼4 0之開口底面之裏面側埋設有〇C R 4 3 ’並構成爲附有I D標誌1 1之面做爲下側來定置晶圓 1 0於該外殼4 0內,且由該〇CR4 3來讀取該I D標 誌1 1。再者,也可I D標誌之面做爲上側來定置晶圓 1 0,該時〇C R 4 3則配置於外殼4 0之開口的裏面側 ,或考慮到晶圓1 0之盤面有過能在作業(操作)過程會 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 544381 A7 B7____ 五、發明説明(9 ) 轉換乙事,也可構成爲配置上下一對之〇c R 4 3於外殼 4 0之開口頂面及底面之裏面側。 又配設有要載置晶圓1 0之載置台4 1於外殼4 0之 開□底面。該載置台4 1係圓盤狀之形狀,並在其載置面 配設有從旋轉中心成同心狀及輻射線狀之複數的吸著溝 4 5,4 5……,且在其中央(旋轉中心)配設有吸著孔 44。而在該等吸著孔44及吸著溝45,45……,連 接有空氣泵66 (參照圖6),並以操動空氣泵66來吸 引,保持載置於載置台4 1上之晶圓1 0。以形成如此之 狀態下,由電動機6 5 (參照圖6 )來旋轉載置台4 1時 ,不會使晶圓1 0從該載置台4 1被離心力飛走。 而要旋轉該載置台4 1用之電動機6 5,由吸著孔 4 4來吸引晶圓1 0之空氣泵6 6,前述線性感測器4 2 及前述0CR4 3乃連接於圖6所示之前述控制器6 0, 並由來自控制器6 0之控制信號而產生動作。 以上爲無人搬運車1之槪略結構,而該無人搬運車1 係以如下之流程來動作。 首先,無人搬運車1將移動直至儲料器2 2上之所定 卡匣2 3之位置。而在此,降下移載手3 1且以其前端之 測繪感測器3 5探索緩衝卡匣5之各擱板,以偵測晶圓 10,10 ......是否存在。並由移載裝置3來取出卡匣 2 3內之晶圓1 0,1 0……每一次一片,而移轉到緩衝 卡匣5之未收容之擱板。 該時,晶圓1 0,1 0 ......乃做爲附有I D標誌1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) '' ' ~ -12- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 544381 A7 B7 五、發明説明(10) 之盤面會成爲下側來移載於緩衝卡匣者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著,移動無人搬運車1直至處理裝置2 1之位置, 並由移載裝置3來取出緩衝卡匣5內之晶圓1 0,1 〇… …每一次一片而定置於姿勢對齊裝置4,且由0CR4 3 來讀取晶圓1 0下面側之I D標誌1 1,以對齊該晶圓 1 0之方向及中心位置,而後方移載至處理裝置2 1。而 在處理裝置2 1則依據所附有之I D標誌1 1的I D資訊 來進行檢查處理。然後,由移載裝置3來取出已完成檢查 處理之晶圓1 0 ,並再度收容至緩衝卡匣5內。而以如此 地,連續地進行緩衝卡匣5內之晶圓1 0,1 0……的檢 查處理。 尤其,本發明係著眼於對於晶圓之姿勢對齊,因此, 附設如下所示之控制機構,以縮短所花費於該姿勢對齊所 需要之時間,以增進晶圓1 〇之移載效率。 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 具體地言時,乃在前述控制器6 0附設有:要算出定 置於載置台4 1上之晶圓1的中心位置用的算出功能·,依 據該算出結果和預先所接收之I D標誌1 1的位置資訊來 算出晶圓10能成爲所定姿勢爲止之載置台41的旋轉角 度用之旋轉角度算出功能;要算出對於〇CR4 3 I D標 誌1 1成爲所定之位置,姿勢且定置晶圓1 〇爲止移載臂 3 0的伸縮量及要算出轉盤3 9之旋轉角度用的移載量算 出功能;及依據由該移載量算出功能所算出之轉盤3 9的 旋轉角度來校正由該旋轉角度算出功能曾經所算出之載置 台4 1的旋轉角度用之校正功能。 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇χ297公釐) -13- 544381 A7 B7 五、發明説明(Μ) 由以上之結構,有關對齊晶圓1 0之姿勢乃由如下之 流程來進行。 圖7係表示該流程之流程圖’首先,如前述移動無人 搬運車1直至處理裝置2 1之位置爲止,以令該無人搬運 車1之移載裝置3成爲相對向於處理裝置21的取進(取 入)口 21a。其次,予以上升前述基台38,且伸展一 方之移載臂30,並以如圖3 (a)所示,以移載手31 來撈起且以吸著孔3 4,3 4吸引,保持後,彎曲移載臂 3 0以拔出移載手3 1,而一片一片地從緩衝卡匣5內取 出晶圓1 0 (步驟S 1 )。 接著,下降基台3 8至所定高度,且使轉盤3 9旋轉 1 8 0 °以反轉移載臂3 0,3 0之朝向,而使保持晶圓 10之移載手朝向姿勢對齊裝置4側(步驟S2)。 而後,以如圖3 (b)及圖8 (a)所示,屈伸移載 臂3 0來***移載手3 1於姿勢對齊裝置4,並使移載手 3 1中心(吸著孔3 4,3 4之中點)和載置台4 1之旋 轉中心形成一致之狀態下來定置晶圓1 0於載置台4 1後 ,解除在吸著孔34,34之吸引,而降下移載臂30以 令移載手3 1從晶圓1 0分離之同時,令移載手3 1並不 會成爲妨礙載置台41之旋轉(步驟S3)。再者,移載 臂3 0也可不予以降下而使之屈曲,以令移載手3 1從晶 圓1 0下方拔出。 以如此地,首先,暫時放置晶圓1 〇於載置台4 1, 而以載置台側之吸著孔4 4及吸著溝4 5,4 5……吸弓丨 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公着) _____ — :___# —I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、tr f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14- 544381 A7 B7 五、發明説明(12) ,保持之狀態下,以如圖8 ( b )所示地旋轉該載置台 4 1有3 6 0 ° 。由而可由前述線性感測器4 2辨識出晶 圓10之定向直線10 a之位置(或缺口 l〇b位置), 及該晶圓1 0所描畫之旋轉軌跡,而該辨識結果,將輸出 至控制器6 0 (步驟S 4 )。 於前述控制器6 0乃預先記憶有定置晶圓1 0於載置 台4 1之一定位置(令中心形成一致於載置台4 1之旋轉 中心的位置)而予以旋轉時之旋轉軌跡1 0 0。暫時放置 於載置台4 1上之晶圓1 0雖會所放置之位置的偏差而在 旋轉載置台4 1時會產生偏心旋轉,但可由前述控制器 6 0之算出功能而比較前述偏心旋轉之軌跡和正規(一定 )之旋轉軌跡,以算出載置台4 1之旋轉中心和晶圓1 〇 之旋轉中心的偏差。 又該所辨識之晶圓1 0之定向直線1 0 a (或缺口 1 0 b )之位置,將會對於預先給予控制器6 0之晶圓 1 0之I D標誌1 1和定向直線1 0 a (或缺口 1 〇 b ) 之位置關係的資訊相對照,而算出附在晶圓1 0盤面上之 I D標誌1 1的位置及姿勢。 而由前述控制器6 0之旋轉角度算出功能來算出該所 算出之I D標誌1 1要成爲所定姿勢所需要的載置台4 1 的旋轉角度(步驟S5)。再者,在此一階段,乃僅算出 載置台4 1所需要之旋轉角度而已,並不會實際地旋轉載 置台4 1。 所謂該晶圓1 0之所定姿勢係指在於載置台4 1上之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 丨丨_.141— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 544381 A7 B7_ ____ 五、發明説明(13) 晶圓1 0假定爲能平行移動來使其I D標誌1 1能來到 〇CR4 3正上方位置,而能由〇CR4 3來讀取I D標 誌1 1的姿勢。 亦即,倘若要以〇C R 4 3正常地讀取I D標誌1 1 ,就需要對於〇C R 4 3預先設定I D標誌1 1之姿勢( I D標誌1 1之朝向),並令I D標誌1 1能成爲該姿勢 來朝向於OCR43。而在本實施例,倘若要在載置台 4 1顯現其同一朝向,則所需要旋轉載置台4 1之角度, 乃由前述旋轉角度算出功能來算出者。 亦即,在晶圓1 0載置於載置台4 1上之狀態下, I D標誌1 1若爲圖1 1所示之符號1 1 a之姿勢時,爲 了解除該I D標誌1 1 a之傾斜(9,非得旋轉載置台4 1 不可,而該所需要之旋轉角度,將由前述旋轉角度功能來 算出者。 其次,由前述控制器6 0之移載量算出功能來算出能 使在於載置台4 1上之晶圓1 0,令其I D標誌1 1來到 〇C R 4 3正上方而由移載裝置3來移動所需要之移載臂 3 0之伸縮量及轉盤3 9的旋轉角度(步驟s 6 )。 而由前述控制器6 0之校正功能來校正依據由該移載 量算出功能所算出之轉盤3 9的旋轉角度而由該旋轉角度 算出功能曾經有所算出之載置台4 1的旋轉角度(步驟 5 7 )。此時,載出台4 1實際地僅予以旋轉該所校正之 旋轉角度而已(步驟S8)。 具體地說明時,如圖4之(a) , (b),或圖 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) --— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) L# f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16 - 544381 A7 B7 五、發明説明(14) )之(a) ,(b)所示,附在晶圓10外周部之ID標 誌1 1若沿著圓周方向(切線方向)來附上時,將如圖8 (c ),或圖9 (a)所示,予以旋轉載置台41以令該 I D標誌1 1在晶圓1 〇盤面上能來到略爲前方位置。 另一方面,如圖4之(c),或圖5之(c)所不, 所附上於晶圓1 0外周部之I D標誌1 1,倘若與圖4 ( a ),或圖5 ( a )所示之I D標誌1 1具有成平行之關 係時,將從圖1 0 ( a )所示之狀態予以旋轉晶圓1 0成 圖1 0 ( b )所示之狀態。 亦即,當晶圓1 0載置於載置台4 1上之狀態下時, 如果I D標誌1 1爲圖1 1所示之符號1 1 a的姿勢時, 共非要解除該I D標誌1 1之傾斜量0所需要之旋轉角度 的該角度,而也要評估前述轉盤3 9之旋轉角度來旋轉載 置台4 1。 再者,假如不進行校正該旋轉角度時,當爲了能使 I D標誌1 1來到OCR4 3正上方而由移載裝置3移動 晶圓1 0,有需要旋轉該轉盤3 9之狀況時,由於以移載 裝置3的移動時會令晶圓1 0之姿勢產生旋轉該轉盤3 9 之份量的變化,使得I D標誌1 1之姿勢也產生變化,以 致會成爲〇C R讀取時之讀取不良之原因。 本發明乃鑑於該情事,而評估前述轉盤3 9所需旋轉 份量來使載置台4 1旋轉僅所校正之角度0而已。由而, I D標値1 1乃會從圖1 1所示之符號1 1 a令其位置移 動至符號1 1 b,而該位置1 1 b之I D標誌,當實際地 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) —0
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 544381 A7 B7 經濟部智慧財1局員工消費合作社印製 五、發明説明(15) 由移載裝置3來移動晶圓1 〇以令該I D標誌1 1 b來到 〇C R4 3之正上方時,該朝向也可對於〇CR4 3朝向 正一定(正規)之姿勢。 如上所述,依據晶圓1 〇盤面之I D標誌1 1和定向 直線1 0 a (或缺口 1 〇 b )之位置關係的資訊,亦即響 應於該I D標誌1 1之位置及姿勢來算出載置台4 1之旋 轉角度,移載臂3 0之伸縮量,及轉盤3 9之旋轉角度, 而校正該載置台41的旋轉角度。 以如此地來旋轉載置台4 1而使I D標誌1 1能成爲 評估有要旋轉轉盤3 9份量之姿勢的狀態下,且依據由移 載量算出功能所算出之移載臂3 0的伸縮量及轉盤3 9的 旋轉角度,而操動致動器6 3及電動機6 2來移動移載裝 置,並定置晶圓1 0之I D標誌1 1能成爲如圖8 ( d ) ,圖9 (b)或圖10 (c)所示,會來到OCR43之 正上方(步驟S 9 )。 該時,I D標誌1 1之其長軸方向會正確地成爲橫向 (左右方向),而定置於OCR43之讀取區域。 再者,晶圓1 0之I D標誌1 1的位置若成爲圖4之 (a) ,(b)或圖5之(a) ,(b)時,倘若載置於 載置台4 1之晶圓1 0的中心位置,和載置台4 1之中心 位置的偏位(偏差)量大時,I D標誌1 1之位置雖能成 爲在於〇CR3 4之略前方,但I D標誌1 1之姿勢有可 能不會成爲所定之姿勢。該時,可由I D標誌1 1之位置 關係資訊,與晶圓1 0之旋轉中心和載置台4 1之旋轉中 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .1# 訂 f 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -18- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 544381 A7 B7 五、發明説明(16) 心的偏位量算出結果,而由控制器6 0之移載量算出功能 來算出移載臂3 0之伸縮量,及轉盤3 9之旋轉角度,並 由控制器6 0之校正功能來校正依據轉盤3 9之旋轉角度 已算出之載置台4 1的旋轉角度。當晶圓1 〇之中心位置 和載置台4 1之中心位置的偏差少時,I D標誌1 1將會 以與◦ C R 4 3略成正確之姿勢來位於前方位置而進入於 0CR4 3之可讀取之範圍,使得可令轉盤3 9之旋轉角 度成爲0度,使得載置台4 1之校正角度會成爲0度。 而以該狀態下,由〇C R 4 3來讀取晶圓1 0之I D 標誌1 1 (步驟S 1 0 )。且操動移載裝置3,並正確地 對準晶圓1 0之旋轉中心和載置台4 1之旋轉中心的狀態 下,以如圖8 ( e )所示,載置晶圓1 〇於載置台4 1 ( 步驟S 1 1 )。 而後,以如圖8 ( f )所示,由吸著孔4 4及吸著溝 4 5,4 5……吸引,保持晶圓1 0並旋轉載置台4 1。 亦即,在其次之階段要交給晶圓1 0至處理裝置2 1時, 要預先轉換晶圓1 0之方向來使定向直線1 0 a (或缺口 1 0 b )位置朝向處理裝置2 1所要求之方向(步驟 s 1 2 ) ° 又在此,以移動移載臂30來如圖8 (g)所示,令 移載手3 1之中心和載置台4 1之旋轉中心成爲一致(步 驟 S 1 3 )。 而該時,因在步驟S 1 1已令晶圓1 〇之旋轉中心和 載置台4 1之旋轉中心成爲一致,因此,移載手3 1之中 i紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ------1T------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -19- 544381 A7 B7 五、發明説明(17) 心和載置台4 1之旋轉中心及晶圓1 〇之旋轉中心會成爲 一致。 而後’以如圖8 ( h )所示,將以移載手3 1撈起載 置台4 1上之晶圓1 〇,並以吸著孔3 4,3 4予以吸收 ,保持下’屈伸移載臂3 0而從姿勢對齊裝置4取出(步 驟 S 1 4 )。 然後’在圖3 (b)所示之平面圖,朝反時針方向令 轉盤39旋轉90。(步驟S15),並上下前述基台 3 8至所定之高度,且伸展移載臂3 0,以***保持著晶 圓1 0之移載手3 1於處理裝置2 1之取進口 2 1 a。以 如此地來定置檢查處理前之晶圓1 〇於取進口 2 1 a,並 解除在吸著孔3 4,3 4之吸引後,彎曲移載臂3 0來從 晶圓10下方拔出移載手31(步驟S16)。 以上爲本發明之實施例,而以如此之結構下來進行不 使用傳統上(以往)所使用之可高精度地移動之移動台下 之晶圓1 0的對齊姿勢。而在本發明因令I D標誌1 1的 位置,姿勢予以校正曾經算出之載置台4 1之旋轉角度後 ’方旋轉該載置台4 1,使得較移動台成高精度水平移動 來校正時,可縮短該校正所需要之時間,因此可增進晶圓 10 ......之移載效率。 再者,在本實施例,雖僅旋轉一迴轉(360° )來 算出晶圓1 0之中心位的偏差,當然也可旋轉複數次之下 來算出。再者,在本實施例雖由旋轉角度算出功能來算出 角度之期間等時,予以停止載置台1 4,但也可構成爲維 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 544381 A7 B7 五、發明説明(18) 持旋轉載置台4 1下來算出旋轉角度等。 又在本實施例,予以配設二組之線性感測器4 2 ’ 4 2 ,而成爲可偵測1 2英吋之晶圓1 0及8英吋之晶圓 的雙方之中心位置。因此,無人搬運車1乃在用於8英吋 用之生產線時,就使緩衝卡匣5成爲8英吋用者,而在對 應於1 2英吋用之生產線時,則使緩衝卡匣5成爲1 2英 用者。再者,當在對應於8英吋晶圓1 0和1 2英吋晶圓 1 0混在一起時之生產線時,緩衝卡匣5就成爲例如並歹!J 配設要支承8英吋晶圓1 0及1 2英吋晶圓各個用之接受 用擱板者。而晶圓1 0……是否爲1 2英吋或8英吋者, 乃例如記憶於I D標誌1 1之位置資訊,並依據該記憶而 會算出移載臂3 0之伸展量,及轉盤3 9之旋轉量。 〔發明之效果〕 本發明因構成如上述,因而可發揮如下之效果。 首先,如申請項1所記載,在具備有:配設有晶圓移 載用之臂於轉盤上的移載裝置;要對齊定置於載置台之晶 圓的姿勢,方向用之姿勢對齊裝置;及要讀取附上於晶圓 之I D標誌用之讀取裝置的晶圓移載系統,因配置設了 : 要算出定置於載置台上之晶圓中心位置的算出機構;依據 該出結果和預先所接收之I D標誌的位置資訊來算出要使 晶圓成爲所定姿勢所需要之載置台的旋轉角度用之旋轉角 度算出機構;要算出前述所定姿勢之晶圓對於讀取裝置定 置成I D標誌能成爲所定位置及姿勢所需要的前述移載裝 本^張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29?公釐) ~ -21 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 544381 A7 B7 五、發明説明(19) 置之臂伸縮量及轉盤之旋轉角度的移載量算出機構;及依 據該移載量算出機構所算出之轉盤的旋轉角度,而校正由 前述旋轉角度算出機構所算出之載置台的旋轉角度用之校 正機構, 因此,傳統上所使用之可成高精度移動之移動台會成 爲並不需要使用。又在本發明因控制晶圓之I D標誌的位 置’姿勢乃予以校正曾經算出之載置台的旋轉角度,並僅 旋轉載置台僅有該校正後之角度而已,使得較在予以令移 動台成高精度地水平移動來校正之時,可縮短該校正所需 要之時間,使得可增進晶圓之移載效率。 而如申請項2所記載,因在具備有:配設有晶圓移載 用之臂於轉盤上的移載裝置;要對齊定置於載置台之晶圓 的姿勢,方向用之姿勢對齊裝置;及要讀取附上於晶圓之 I D標誌用之讀取裝置的晶圓移載系統予以形成爲,算出 定置於載置台上之晶圓中心位置,依據該算出結果和預先 所接收之I D標誌的位置資訊來算出晶圓能成爲所定姿勢 爲止之載置台的旋轉角度,算出前述所定姿勢之晶圓對於 讀取裝置定置成I D標誌能成爲所定位置及姿勢所需要的 前述移載裝置之臂伸縮量及轉盤之旋轉角度,依據該移載 量算出機構所算出之轉盤的旋轉角度予以校正由前述旋轉 角度算出機構所算出之載置台的旋轉角度,以旋轉載置台 僅有校正後之旋轉份量來旋轉晶圓,而由移載裝置移動已 旋轉之晶圓至讀取裝置側,使得I D標誌對該讀取裝置能 定置成前述所定之位置及姿勢。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 544381 A7 B7 五、發明説明(20) 因此,傳統上所使用之可成高精度移動之移動台會成 爲並不需要使用。又在本發明因控制晶圓之I D標誌的位 置,姿勢乃予以校正曾經算出之載置台的旋轉角度,並僅 旋轉載置台僅有該校正後之角度而已,使得較在予以令移 動台成高精度地水平移動來校正之時,可縮短該校正所需 要之時間,使得可增進晶圓之移載效率。 再者,如申請項3所記載,在具備有:具有配設有晶 圓移載用之臂於轉盤上的移載裝置,和要對齊定置於載置 台之晶圓的姿勢,方向用之姿勢對齊裝置,及要讀取附上 於晶圓之I D標誌用的讀取裝之無人搬運車;及(處理) 站,因配設了申請項1所記載之晶圓移載系統。 因而,能以該無人搬運車來搬運晶圓直至目的之處理 站爲止,且能在無人搬運車上辦識晶圓之I D標誌而對於 處理站交給I D資訊之同時,能移載晶圓。又在該無人搬 運車,會成爲並不需要爲使晶圓成所定姿勢用之可高精度 移動用之移動台,而是由載置台之旋轉量,和轉盤之旋轉 量及臂之伸展量來校正晶圓之姿勢,因此,較在成高精度 地水平移動移動台來校正時,可縮短該校正所需要之時間 ’使得晶圓之移載能予以高速化而可增進移載效率。 〔圖式之簡單說明〕 圖1係顯示淸潔室內之無人搬運車1的狀態之斜視( 立體)圖, 圖2係無人搬運車1之側面剖面圖, 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) ί — — I!!!#! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 P. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 544381 A7 B7 五、發明説明(21) 圖3 ( a )係從緩衝卡匣5取出晶圓1 0時之無人搬 運車1的平面圖,(b )係移載晶圓1 〇至姿勢對齊(形 成一致)裝置4時之無人搬運車1的平面圖。 圖4係具有定向直線1 〇 a之晶圓1 0之平面圖。( a )係刻印I D標誌1 1於通常位置之晶圓1 0的平面圖 。(b )係從通常位置朝圓周方向偏移I D標誌1 1來亥 印之晶圓1 0的平面圖。(c )係從通常位置平行移動 I D標誌1 1來刻印之晶圓的平面圖。 圖5係具有缺口10b之晶圓10的平面圖。(a) 係刻印I D標誌1 1於通常位置之晶圓1 0的平面圖。( b )係從通常位置朝圓周方向偏移I D標誌1 1來刻印之 晶圓1 0的平面圖。(c )係從通常位置平行移動I D標 誌1 1來刻印之晶圓的平面圖。 圖6係顯示無人搬運車1之控制結構的方塊圖。 圖7係顯示由無人搬運車1所進行之晶圓1 〇的移載 處理的流程圖。 圖8係顯示刻印I D標誌1 1於通常位置之晶圓1 0 的對齊姿勢狀態之姿勢對齊裝置4的平面圖。(a )係定 置晶圓10於姿勢對齊裝置4時之姿勢對齊裝置4的平面 圖。(b )係由線性感測器4 2來辨識晶圓1 0之旋轉軌 跡時的姿勢對齊裝置4之平面圖。(c )係旋轉載置台 41成所校正之旋轉角度時的姿勢對齊裝置4之平面圖。 (d )係定置晶圓1 〇之I D標誌1 1於〇C R 4 3時的 姿勢對齊裝置4之平面圖。(e)載置晶圓1〇於載置台 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 P. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -24 - 544381 A7 B7 五、發明説明(22) 41時之姿勢對齊裝置4的平面圖。(f)旋轉載置台 41來轉換晶圓10之方向時的姿勢對齊裝置4之平面圖 。(g )成微妙地移動移載臂3 〇來使移載手3 1中心和 載置台41之旋轉中心成爲一致時的姿勢對齊裝置4之平 面圖。(h)係從姿勢對齊裝置4取出晶圓時之姿勢 對齊裝置4的平面圖。 圖9係顯示從通常位置朝圓周方向偏移來刻印I d標 誌1 1之姿勢對齊的狀態之姿勢對齊裝置4的平面圖。( a)係旋轉載置台41成所校正之旋轉角度時的姿勢對齊 裝置之平面圖。(b )係定置晶圓1 〇之I D標誌1 1於 〇C R 4 3時的姿勢對齊裝置4之平面圖。 圖1 0係顯示從通常位置平行移動I D標誌1 1來刻 印之晶圓1 0的姿勢對齊之狀態的姿勢對齊裝置4之平面 圖。(a )係將旋轉載置台4 1爲所校正之旋轉角度時的 姿勢對齊裝置之平面圖。(b)係已旋轉載置台41成爲 所校正之旋轉角度時的姿勢對齊裝置4之平面圖。(c) 係定置晶圓1 0之I D標誌1 1於〇C R 4 3時的姿勢對 齊裝置4之平面圖。 圖1 1係說明從通常位置平行移動I D標誌1 1來刻 印之晶圓1 0的姿勢對齊之旋轉角度用的晶圓1 0之平面 圖。 〔符號之說明〕 1:無人搬運車 3:移載裝置 本紙張尺度適用中國國家榡準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 丨—丨— !_ϋ — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Ρ. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25- 544381 A7 B7 五、發明説明(23) 4:姿勢對齊裝置 5:緩衝卡匣 1 0 :晶圓 1 1 : I D標誌 器置測 裝手 感孔 理匣載盤性著 處卡移轉線吸 • ·*· ·♦ ···♦·* 1 00 1± CX1 4 2 2 3 3 4 4 2 3 3 4 4 6 器臂孔台 R 器 料載著置 C 制 儲移吸載 ο 控 丨丨丨!!1#! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29*7公釐) -26-