JPH0969477A

JPH0969477A - 半導体ウエハ分類装置

Info

Publication number: JPH0969477A
Application number: JP7245392A
Authority: JP
Inventors: Haruo Nagai; 晴夫長井; Kazuhiro Yamatani; 和弘山谷; Haruo Iizuka; 春雄飯塚; Kazuhiko Matsuoka; 一彦松岡
Original assignee: Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Priority date: 1995-08-30
Filing date: 1995-08-30
Publication date: 1997-03-11

Abstract

(57)【要約】【目的】占拠面積、作業時間、価格を抑制できるウエ
ハ分類装置の提供。【構成】ウエハ１を払い出すローディングステーショ
ン１２と、ウエハ識別コード読取装置４０およびウエハ
受渡し装置２１を有するウエハ識別装置２０と、識別さ
れたウエハ１を指定位置に収納するアンローディングス
テーション１３を備えている。読取装置４０は一対の読
取エリア４７Ａ、４７Ｂを撮像するテレビカメラを有す
る。受渡し装置２１は読取ステージ３１に配置されて識
別コード４を両読取エリア４７Ａ、４７Ｂのいずれかに
合致させるように構成されている。【効果】払い出されたウエハは受渡し装置によりそれ
に配置の読取ステージに移送される。受渡し装置は読取
ステージで識別コード位置を一方の読取エリアに合致さ
せる。読取装置は識別コードを読み取る。つまり、受渡
し装置自体がアライメント装置を構成するため、占拠面
積、作業時間、価格を抑制できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハの分類技
術、特に、半導体ウエハに付された識別コードを読み取
って個々の半導体ウエハを識別し、その識別に基づいて
分類、抜き取り、編成等の作業を実行する技術に関し、
例えば、半導体製造工程において、半導体ウエハを分類
するのに利用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造工程において、ワー
クとしての半導体ウエハ（以下、ウエハという。）は複
数枚（例えば、２５枚）を１ロットに編成されて取り扱
われている。例えば、ＲＡＭ（ランダムアクセスメ
モリー）等の少品種大量生産向きの製品については、ウ
エハのライン投入時にロット編成が実施された後に、そ
のロットを再編成する必要が殆どない。ところが、マス
クＲＯＭ（リードオンリーメモリー）やＡＳＩＣ
（特別注文の半導体集積回路装置）等の多品種少量生産
が要求される製品については、ウエハのライン投入時に
編成されたロットをそのまま維持し続けたのでは、生産
性が低下してしまう場合が発生する。そこで、ウエハ投
入後にロットを編成し直す必要が発生する。

【０００３】このようにウエハ投入後にロットを編成す
る場合においては、各ウエハに固有の標識（以下、識別
コードという。）を予め付しておき、各ウエハの識別コ
ードを読み取って当該識別コードを利用することによ
り、各ウエハの分類が実施されることになる。したがっ
て、ウエハ群についてロットを編成するためには、ウエ
ハの識別コードを読み取って個々のウエハを識別してこ
れを分類するためのウエハ分類装置を備える必要があ
る。また、ウエハ分類装置はウエハを識別するためのウ
エハ識別装置を備えている必要がある。

【０００４】従来のこの種のウエハ識別装置は、ウエハ
に付された識別コードを読み取る読取装置と、読取装置
の読取ステージにウエハを受け渡す受渡し装置とを備え
ており、読み取り対象のウエハが受渡し装置によって読
取装置の読取ステージに移送された後に、読取ステージ
に設けられたアライメント装置によって識別コードの位
置が読取装置の読取エリアに位置合わせされるように構
成されている。

【０００５】なお、ウエハのロット編成技術を述べてあ
る例として、特開平４−２７３１１５号公報、特開平４
−２３９１５２号公報、特開平４−２６０３１８号公報
がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウエハ分類装置においては、ウエハ識別装置の受渡し装
置と読取装置とが別の場所にそれぞれ配置され、読取ス
テージにアライメント装置が付帯されているため、ウエ
ハ分類装置全体としての占有床面積が大きくなるばかり
でなく、タクトタイムも長くなり、また、ウエハ分類装
置全体としての価格が高くなるという問題点がある。

【０００７】本発明の目的は、占有床面積、タクトタイ
ムおよび価格を抑制することができる半導体ウエハ分類
装置を提供することにある。

【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１０】すなわち、半導体ウエハを払い出すローデ
ィングステーションと、払い出された半導体ウエハに付
された識別コードを光学的に読み取ってその半導体ウエ
ハを識別する半導体ウエハ識別装置と、識別されたウエ
ハを受け取って指定された位置に収納するアンローディ
ングステーションとを備えている半導体ウエハ分類装置
において、前記半導体ウエハ識別装置は識別コードを光
学的に読み取る読取装置と、半導体ウエハを受け渡す受
渡し装置とを備えており、この読取装置はその読取ステ
ージの異なる２箇所に設定された各読取エリアをそれぞ
れ撮像する一対の画像取込み装置を有し、前記受渡し装
置はこの読取装置の読取ステージに配置されているとと
もに、半導体ウエハの識別コードが付された位置を前記
両読取エリアのいずれかに合致させるように構成されて
いることを特徴とする。

【００１１】

【作用】前記した手段において、ローディングステーシ
ョンから払い出された半導体ウエハは受渡し装置によっ
て識別装置における読取装置の読取ステージに移送され
る。この際、半導体ウエハを受け取った受渡し装置はそ
れ自体に配置された読取ステージにおいて半導体ウエハ
の識別コードが付された位置を読取装置における両方の
画像取込み装置の読取エリアのうちいずれか一方の読取
エリアに合致させる。つまり、受渡し装置自体がアライ
メント装置を兼ねている。識別コードが読取エリアに合
致された方の画像取込み装置は識別コードの画像を取り
込み、読取装置はこの画像によって識別コードを読み取
る。識別コードが読み取られると、受渡し装置は半導体
ウエハを読取ステージからアンローディングステーショ
ンに移送して受け渡す。

【００１２】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるウエハ分類装
置を示す一部省略斜視図である。図２は同じく平面図で
ある。図３はそのウエハ分類装置に使用されたウエハ識
別装置を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）
のｂ−ｂ線に沿う平面図である。図４はその位置合わせ
の作用を説明するための各説明図である。図５はその持
ち替え作用を説明するための各説明図である。

【００１３】本実施例において、本発明に係る半導体ウ
エハ分類装置は、半導体装置の製造工程にあってウエハ
に付された識別コードを索引として各ウエハを予め指定
された通りに分類するように構成されており、ウエハ識
別装置を備えている。ウエハ識別装置は識別対象物品と
してのウエハにそれぞれ予め付された識別コードを光学
的手段によって読み取ることにより個々のウエハとして
順次識別するように構成されている。

【００１４】ウエハ１はシリコン等の半導体によって円
形の薄板形状に形成されており、円周の一部にオリエン
テーションフラット（以下、オリフラという。）３が直
線状に切設されている。ウエハ１の半導体素子が作り込
まれる側の主面（以下、第１主面という。）２における
オリフラ３と反対側の位置には、識別対象物品としての
ウエハを識別するための識別コード４が各ウエハに固有
のものとして付されている。識別コード４はエッチング
加工法やレーザ刻印法等の適当な手段が用いられて数字
および英文字により描画されている。個々のウエハを識
別するための識別コード４は、ウエハ１のロット番号を
表示するロットコードと、当該ロット中の個々のウエハ
番号を表示するウエハコードとにより構成されている。

【００１５】そして、ウエハ分類装置のワークとしての
ウエハ１は複数枚（例えば、１ロット分の２５枚）が、
カセット５に収納される。すなわち、カセット５には保
持溝（以下、スロットという。）が多数段（通例、２５
段）列設されており、このスロット内にウエハがそれぞ
れ挿入されることにより、複数枚のウエハが規則的に整
列された状態で収納される。

【００１６】本実施例に係るウエハ分類装置１１は大略
箱形状に形成されている機台（図示せず）を備えてお
り、この機台の上にはローディングステーションと、ア
ンローディングステーションと、ウエハ識別装置とが設
備されている。ローディングステーション１２およびア
ンローディングステーション１３は機台の上の片側（以
下、左側とする。）部分に前後対称形に配設されてい
る。ローディングステーション１２およびアンローディ
ングステーション１３はコントローラ（図示せず）によ
り制御されるエレベータ１４および１５をそれぞれ備え
ている。エレベータ１４、１５はその上に乗せられたカ
セット５を１ピッチずつ上昇または下降させるように構
成されている。

【００１７】ウエハ識別装置２０はウエハを受け渡す受
渡し装置２１を備えており、受渡し装置２１は機台上の
右側部分の中央位置に配設されている。受渡し装置２１
はエレベータ２２を備えており、エレベータ２２の上に
はロータリーアクチュエータ２３が垂直方向上向きに搭
載されている。ロータリーアクチュエータ２３の出力軸
には旋回軸２４が垂直方向上向きに固定されており、旋
回軸２４は水平面内において１８０度以上３６０度未満
（例えば、約２７０度）往復旋回されるようになってい
る。旋回軸２４の上端部には水平に配置された第１アー
ム２５の一端部が一体回転するように固定されている。
第１アーム２５の自由端部には平行に配置された第２ア
ーム２６の一端部が回転自在に軸支されており、第２ア
ーム２６は内蔵されたベルト伝動装置２７によって回転
駆動されるようになっている。第２アーム２６の他端部
には水平に配置されたハンド２９の一端部が回転自在に
軸支されており、ハンド２９は内蔵されたベルト伝動装
置２８によって回転駆動されるようになっている。

【００１８】ハンド２９は断面が略長方形の棒形状に形
成されており、その長手方向の寸法はウエハ１の直径よ
りも大きくなるように設定されている。ハンド２９の上
面における回動中心と反対側の端部には、真空吸着ヘッ
ド（以下、吸着ヘッドという。）３０が直角方向上向き
に設備されており、吸着ヘッド３０はウエハ１の主面に
当てがわれた状態でウエハ１を真空吸着保持し得るよう
に構成されている。すなわち、ハンド２９の上面には真
空吸引口が開口されているとともに、この真空吸引口に
はハンド２９の内部を通して負圧供給路（図示せず）が
流体連結されている。以上のように構成された受渡し装
置２１はハンド２９の上面によって読取ステージ３１を
構成するとともに、ウエハ１の識別コード４を後記する
読取装置の読取エリアに位置合わせするためのアライメ
ント装置を構成している。

【００１９】受渡し装置２１の上方にはウエハ仮置き装
置３５が旋回軸２４の同軸上に配されて、機台の上にお
ける右端部分に立設されたスタンド（図示せず）によっ
て支持されている。すなわち、ウエハ仮置き装置３５は
旋回軸２４の中心の延長線に左右対称形に配置されてい
る一対の支持プレート３６、３６を備えており、両支持
プレート３６、３６は水平面内においてピン３７、３７
を中心にしてロータリーアクチュエータ３８、３８によ
って回転駆動されるように構成されている。そして、両
支持プレート３６、３６は互いに近接する位置に停止し
た状態において内側端の間隔がウエハ１の直径よりも小
さくなり、また、互いに離れる位置に停止した状態にお
いて内側端の間隔がウエハ１の直径よりも大きくなるよ
うに構成されている。

【００２０】なお、ウエハ１との接触面積を可及的に減
少させて異物の付着や金属汚染を防止するために、ハン
ド２９の吸着ヘッド３０、また、ウエハ仮置き装置３５
の支持プレート３６はウエハ１を浮かせた状態で支持す
るように構成することが望ましい。

【００２１】識別装置２０のウエハ仮置き装置３５のさ
らに上方には識別コード読取装置（以下、読取装置とい
う。）４０が、機台の右端部分に立設されたスタンド
（図示せず）によって支持されて設備されている。すな
わち、読取装置４０は照明装置および画像取り込み装置
としてのテレビカメラを左右一対ずつ備えている。左右
の照明装置４１Ａ、４１Ｂはスタンドに垂直方向下向き
にそれぞれ支持されており、受渡し装置２１の読取ステ
ージ３１の左右対称位置にそれぞれ設定された左右一対
の読取エリア４７Ａ、４７Ｂをそれぞれ平行の可視光に
よって照明するように構成されている。左右のテレビカ
メラ４２Ａ、４２Ｂはスタンドに垂直方向下向きにそれ
ぞれ支持されており、左右の照明装置４１Ａ、４１Ｂに
よってそれぞれ照明された読取ステージ３１の上の左右
の読取エリア４７Ａ、４７Ｂにおける識別コード４をそ
れぞれ撮映するように構成されている。

【００２２】左右のテレビカメラ４２Ａ、４２Ｂには１
台の識別コード認識装置（以下、認識装置という。）４
３が兼用し得るように電気的に接続されており、この認
識装置４３は画像処理装置等から構成され、左右のテレ
ビカメラ４２Ａ、４２Ｂからの撮像信号に基づいてウエ
ハ１に付された識別コード４を認識し得るように構成さ
れている。認識装置４３にはモニタ４４が接続されてお
り、このモニタ４４によりテレビカメラ４２Ａ、４２Ｂ
の撮映状況がモニタリングされるようになっている。さ
らに、認識装置４３には識別コードを逐次記録するため
の記録手段としてのメモリー４５が接続されており、こ
のメモリー４５は認識装置４３によって認識された識別
コード４を逐次記録するように構成されている。メモリ
ー４５はコンピュータ等から構築されているデータ処理
装置４６に接続されており、データ処理装置４６はメモ
リー４５に記録されたデータを随時呼び出すことによっ
て、ウエハ分類のためのデータを作成するように構成さ
れている。なお、メモリー４５はデータ処理装置４６側
に装備してもよい。また、以上の構成各部はコンピュー
タ等から構築されるコントローラ（図示せず）によって
統括的に制御されるように構成することが望ましい。

【００２３】次に作用を説明する。まず、図２に示され
ているように、ローディングステーション１２のエレベ
ータ１４の上には、複数枚のウエハ１が収納された実カ
セット５Ａがセットされ、アンローディングステーショ
ン１３のエレベータ１５の上には空のカセット５がセッ
トされる。受渡し装置２１の第１アーム２５および第２
アーム２６がロータリーアクチュエータ２３およびベル
ト伝動装置２７、２８によって伸長作動されて、ハンド
２９が実カセット５Ａに挿入される。この際、ローディ
ングステーション１２のエレベータ１４がピッチ作動さ
れることにより、コントローラが指定したウエハ１がハ
ンド２９の真上に対向される。

【００２４】図４（ａ）に示されているように、ハンド
２９がウエハ１の真下に対向された状態において、ハン
ド２９の吸着ヘッド３０はウエハ１の中心Ｏ₁と一致さ
れる。このヘッド３０とウエハの中心Ｏ₁との一致作動
は受渡し装置２１の教示・再生機能によって実行され
る。すなわち、ローディングステーション１２の実カセ
ット５Ａにおけるウエハ１の中心Ｏ₁に吸着ヘッド３０
が一致するように、受渡し装置２１における第１アーム
２５および第２アーム２６の伸長作動についての制御が
予め教示されて記憶されており、各ウエハ１のローディ
ング作業毎にその記憶された制御が再生される。

【００２５】ハンド２９がウエハ１を吸着ヘッド３０に
よって保持すると、受渡し装置２１の第１アーム２５お
よび第２アーム２６がロータリーアクチュエータ２３お
よびベルト伝動装置２７、２８によって短縮作動され
て、ウエハ１がハンド２９によって実カセット５Ａから
引き出される。続いて、図４（ｂ）に示されているよう
に、ハンド２９の吸着ヘッド３０が受渡し装置２１の旋
回軸２４の中心Ｏ₂₄の真上に移動されて、ウエハ１が読
取ステージ３１に実質的に移送される。この際、吸着ヘ
ッド３０の旋回軸２４の中心Ｏ₂₄への一致作動も受渡し
装置２１の教示・再生機能によって実行される。ウエハ
１を吸着保持した吸着ヘッド３０が旋回軸２４の中心Ｏ
₂₄に合致されることにより、吸着ヘッド３０に中心Ｏ₁
が吸着されたウエハ１は当該中心Ｏ₁を旋回軸２４の中
心Ｏ₂₄に合致される。

【００２６】ウエハ１の中心Ｏ₁が旋回軸２４の中心Ｏ
₂₄に合致されると、図４（ｃ）に示されているように、
ウエハ１の外周縁部は読取装置４０の読取位置としての
左右の読取エリア４７Ａ、４７Ｂに含まれた状態にな
る。すなわち、ウエハ１は受渡し装置２１のハンド２９
の上に設定された読取ステージ３１に移送されたことに
なる。しかし、ウエハ１に付された識別コード４は両読
取エリア４７Ａ、４７Ｂから外れた状態になっている。
すなわち、例えば、読取装置４０の右側のテレビカメラ
４２Ｂによって撮像された読取エリア４７Ｂの画像は、
図４（ｅ）に示されているように、識別コード４が映し
出されない状態になっている。

【００２７】そこで、図４（ｄ）に示されているよう
に、受渡し装置２１の旋回軸２４がロータリーアクチュ
エータ２３によって一方向に旋回されることにより、ウ
エハ１が中心Ｏ₁を中心に旋回されて、ウエハ１の識別
コード４が読取エリア４７Ｂに移動される。すなわち、
図４（ｆ）に示されているように、読取装置４０のテレ
ビカメラ４２Ｂによって撮像された読取エリア４７Ｂの
画像に識別コード４が適正に映し出された状態になった
時に旋回軸２４の旋回が停止される。この際、ウエハ１
のオリフラ３を認識装置４３によって認識した後に、ウ
エハ１の識別コード４を読取エリア４７Ａに配置するよ
うに受渡し装置２１を制御してもよい。

【００２８】以上の作動により、ハンド２９の上に設定
された読取ステージ３１においてウエハ１の識別コード
４の表示位置が読取装置４０の読取エリア４７Ｂに合致
された状態になる。この状態において、ウエハ１の識別
コード４の読み取り作業が読取装置４０によって実行さ
れる。すなわち、テレビカメラ４２Ｂが撮影した識別コ
ード４の画像信号が認識装置４３に送信されて、認識装
置４３によって画像処理されることにより識別コード４
が読み取られる。

【００２９】読み取られた識別コード４は認識装置４３
に接続されているメモリー４５に記録される。そして、
データ処理装置４６は記録された識別コード４を呼び出
して空カセット５におけるアンローディングすべきスロ
ットの位置を指定して、受渡し装置２１のコントローラ
に所定の指令信号を送信する。ちなみに、テレビカメラ
４２Ｂまたは４２Ａによる映像はモニタ４４に適宜に映
し出すことができるため、作業者は識別コード４を必要
に応じて監視することができる。

【００３０】次いで、識別コード４を読み取られたウエ
ハ１は受渡し装置２１によってアンローディングステー
ョン１３に移送されて、空カセット５の指定されたスロ
ットにアンローディングされる。ここで、ウエハ１が空
カセット５にアンローディングされるに際しては、以降
の作業の便宜を図るために、ウエハ１はオリフラ３の方
向を揃えて空カセット５に収納させることが望ましい。
ところが、受渡し装置２１の旋回軸２４の旋回によって
ウエハ１の識別コード４が読取エリア４７Ｂに位置合わ
せされるため、ウエハ１のオリフラ３とハンド２９との
位置関係は一定しないことになる。

【００３１】そこで、ウエハ１を空カセット５にオリフ
ラ３の方向を揃えてアンローディングさせる必要がある
場合には、図５に示されているように、仮置き装置３５
を利用したウエハ１の持ち替え作業が実施される。ま
ず、旋回軸２４が９０度旋回されることにより、オリフ
ラ３が持ち替え指定位置に移動される。次いで、エレベ
ータ２２によって受渡し装置２１が上昇されて、ウエハ
１が仮置き装置３５の上方へ持ち上げられる。続いて、
仮置き装置３５の支持プレート３６、３６がロータリー
アクチュエータ３８、３８によってピン３７、３７を中
心にして１８０度回転された後に、エレベータ２２が下
降される。この作動により、図５（ａ）および（ｂ）に
示されているように、受渡し装置２１のウエハ１はオリ
フラ３が持ち替え位置に配置された状態で、仮置き装置
３５に移載される。

【００３２】次に、旋回軸２４が旋回されることによっ
て、ハンド２９が持ち替え位置に移動される。次いで、
エレベータ２２によって受渡し装置２１が上昇され、ハ
ンド２９はウエハ１を吸着ヘッド３０によって吸着保持
するととともに、両支持プレート３６、３６から持ち上
げて受け取る。この際、ハンド２９の吸着ヘッド３０は
ウエハ１の中心Ｏ₁を吸着保持した状態になる。ウエハ
１がハンド２９によって受け取られると、仮置き装置３
５の支持プレート３６、３６がロータリーアクチュエー
タ３８、３８によってピン３７、３７を中心にして１８
０度回転された後に、エレベータ２２が下降される。こ
の作動により、図５（ｃ）および（ｄ）に示されている
ように、ウエハ１は受渡し装置２１のハンド２９にオリ
フラ３を所定の持ち替え位置に一致された状態に持ち替
えられたことになる。

【００３３】以上のようにしてウエハ１が予め指定され
た向きにハンド２９によって持ち替えられると、ハンド
２９に保持されたウエハ１は第１アーム２５および第２
アーム２６の伸長作動によってアンローディングステー
ョン１３に移送されて、空カセット５の指定されたスロ
ットにアンローディングされる。この際、ウエハ１はハ
ンド２９に予め指定された向きで保持されているため、
ウエハ１は空カセット５のスロットに所定の向きで受け
渡されることになる。

【００３４】今、例えば、読取装置４０によって読み取
られた識別コード４のウエハコードの番号が「Ｎ０．
１」であった場合、アンローディングステーション１３
のコントローラの指令によりエレベータ１５が１ピッチ
送られ、空カセット５における第１スロットが挿入作動
位置にセットされる。そして、第１スロットが挿入作動
位置にセットされると、受渡し装置２１により搬送され
て来たＮＯ．１のウエハ１がこの第１スロットに挿入さ
れる。

【００３５】次のウエハ１の読取装置４０によって読み
取られた識別コード４のウエハコードの番号が「Ｎ０．
３」であった場合には、アンローディングステーション
１３のコントローラの指令によってエレベータ１５がさ
らに２ピッチ送られ、空カセット５における第３スロッ
トが挿入作動位置にセットされる。続いて、受渡し装置
２１により搬送されて来たＮ０．３のウエハ１がこの第
３スロットに挿入される。

【００３６】さらに、次のウエハ１のウエハコードの番
号が「ＮＯ．２」であった場合、アンローディングステ
ーション１３のコントローラの指令によりエレベータ１
５が１ピッチだけ戻されるように送られ、空カセット５
における第２スロットが挿入作動位置にセットされる。
続いて、受渡し装置２１により搬送されて来たＮ０．２
のウエハ１がこの第２スロットに挿入される。

【００３７】以上の作動が繰り返されることにより、ウ
エハ１群はアンローディングステーション１３の空カセ
ット５内へ、各ウエハコードによる順番に従ってスロッ
ト番号通りに並べられて収容されることになる。この場
合、第１スロットにはウエハコードＮ０．１のウエハ
が、第２スロットにはウエハコードＮ０．２のウエハ
が、第ＮスロットにはウエハコードＮ０．ｎのウエハが
それぞれ挿入されていることになる。しかも、各スロッ
トに収容された各ウエハ１は向きを揃えられた状態、す
なわち、オリフラ３の位置が全て揃えられた状態になっ
ている。

【００３８】以上の作用により、識別コード読み取り作
業およびウエハ分類作業が実施されるのであるが、これ
らの作業と同時に、読取装置４０の読み取りデータに基
づき、メモリー４５においては各ウエハの処理およびウ
エハ来歴ファイル等を作成することができる。

【００３９】前記実施例によれば次の効果が得られる。（１）ウエハの識別コード読取装置の読取ステージに
ウエハを受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定
するとともに、ウエハの識別コード表示位置を読取ステ
ージの読取エリアに合致させるアライメント機能を設け
ることにより、読取装置および受渡し装置と別に読取ス
テージおよびアライメント装置を付帯させなくて済むた
め、ウエハ分類装置全体としての占有床面積、タクトタ
イムおよび価格を抑制することができる。

【００４０】（２）旋回軸によって回転される第１ア
ームと、第１アームの自由端部に軸支されて回転される
第２アームと、第２アームの回転中心から離れた位置に
軸支されて回転されるハンドと、ハンドの中心から離れ
た位置に配置されておりウエハ下面の中心部位に真空吸
着する吸着ヘッドとによって受渡し装置を構成すること
により、直線運動する部分を省略することができるた
め、ウエハ分類装置全体としての占有床面積、タクトタ
イムおよび価格をより一層抑制することができる。

【００４１】（３）受渡し装置の上方に物品を仮置き
する仮置き装置を設備することにより、受渡し装置がウ
エハを持ち替えることができるため、ウエハの向きを揃
えてアンローディングすることができる。

【００４２】（４）ローディングされたウエハの識別
コードを読み取ってウエハカセットにアンローディング
することができるため、識別コードを索引としてウエハ
群の分類作業や、並べ換え作業、ロット編成作業、ウエ
ハの抜き取り作業、ウエハの識別コード確認作業等を自
動的に実施することができる。

【００４３】（５）ウエハの識別コードをメモリーに
記憶することにより、ロットの再分割再合成等の特殊な
作業を実施することができるとともに、各ウエハの来歴
を識別コードを索引として作成することができる。

【００４４】図６は本発明の他の実施例であるウエハ分
類装置に使用されたウエハ識別装置を示しており、
（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う平面
図である。

【００４５】本実施例２が前記実施例１と異なる点は、
第２アームとして直進形のアーム（以下、直進アームと
いう。）２６Ａが第１アーム２５の上に往復直線運動す
るように搭載されている点である。すなわち、第２アー
ムとしての直進アーム２６Ａの伸長作動によってハンド
２９の吸着ヘッド３０がウエハ１の中心Ｏ₁に当てがわ
れると、ハンド２９は吸着ヘッド３０によってウエハ１
を真空吸着保持する。次いで、直進アーム２６Ａが短縮
作動されることによってウエハ１の中心Ｏ₁が旋回軸２
４の中心Ｏ₂₄に合致される。その後は前記実施例１と同
様に、受渡し装置２１の旋回軸２４の旋回によってウエ
ハ１の識別コード４が読取装置４０の読取エリア４７Ａ
または４７Ｂに位置合わせされ、識別コード４が読み取
られる。識別コード４を読み取られたウエハ１は旋回軸
２４の旋回作動および直進アーム２６Ａの伸長作動によ
って、所定の位置にアンローディングされる。

【００４６】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４７】例えば、ウエハ分類装置におけるローディ
ングステーションおよびアンローディングステーション
のエレベータを省略して、ウエハ識別装置の受渡し装置
に持ち替え作業用のエレベータに加えてローディング作
業およびアンローディング作業用のエレベータを設けて
もよい。また、持ち替え作業用のエレベータはローディ
ング作業およびアンローディング作業用のエレベータを
兼用するように構成してもよい。

【００４８】また、ウエハ分類装置におけるローディン
グステーションおよびアンローディングステーションは
ウエハを置く置き台によってそれぞれ構成してもよい。
さらに、ウエハ分類装置におけるローディングステーシ
ョンおよびアンローディングステーションはそれぞれ１
基ずつ設備するに限らず、それぞれ２基以上設備しても
よい。

【００４９】ウエハ分類装置はウエハのロット編成作業
やウエハ抜き取り作業、ウエハ並べ換え作業およびウエ
ハの識別コード確認作業等に使用することができ、要
は、識別コード読み取り前後のウエハの取り扱いに限定
はない。

【００５０】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５１】半導体ウエハ分類装置における識別コード
読取装置の読取ステージに半導体ウエハを受け渡す受渡
し装置自体に読取ステージを設定するとともに、半導体
ウエハの識別コード表示位置を読取ステージの読取エリ
アに合致させるアライメント機能を設けることにより、
読取装置および受渡し装置と別に読取ステージおよびア
ライメント装置を付帯させなくて済むため、半導体ウエ
ハ分類装置全体としての占有床面積、タクトタイムおよ
び価格を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるウエハ識別装置を備え
たウエハ分類装置を示す一部省略斜視図である。

【図２】その平面図である。

【図３】そのウエハ識別装置を示しており、（ａ）は正
面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う平面図である。

【図４】読み取り作用を説明するための図であり、
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は各部分平面図、
（ｅ）、（ｆ）は各画面図である。

【図５】持ち替え作用を説明するための図であり、
（ａ）、（ｃ）は各部分正面図、（ｂ）、（ｄ）は各部
分平面図である。

【図６】本発明の他の実施例であるウエハ分類装置に使
用されたウエハ識別装置を示しており、（ａ）は正面
図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う平面図である。

【符号の説明】

１…ウエハ（ワーク）、２…第１主面、３…オリエンテ
ーションフラット（オリフラ）、４…識別コード、５…
カセット、５Ａ…実カセット、１１…ウエハ分類装置、
１２…ローディングステーション、１３…アンローディ
ングステーション、１４、１５…エレベータ、２０…ウ
エハ識別装置、２１…受渡し装置、２２…エレベータ、
２３…ロータリーアクチュエータ、２４…旋回軸、２５
…第１アーム、２６…第２アーム、２７、２８…ベルト
伝動装置、２９…ハンド、３０…吸着ヘッド、３１…読
取ステージ、３５…ウエハ仮置き装置、３６…支持プレ
ート、３７…ピン、３８…ロータリーアクチュエータ、
４０…識別コード読取装置、４１Ａ、４１Ｂ…照明装
置、４２Ａ、４２Ｂ…テレビカメラ（画像取込み装
置）、４３…識別コード認識装置、４４…モニタ、４５
…メモリー、４６…データ処理装置、４７Ａ、４７Ｂ…
読取エリア、２６Ａ…直進形の第２アーム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者飯塚春雄東京都青梅市藤橋３丁目３番地２日立東京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者松岡一彦東京都小平市上水本町５丁目20番１号株式会社日立製作所半導体事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体ウエハを払い出すローディングス
テーションと、払い出された半導体ウエハに付された識
別コードを光学的に読み取ってその半導体ウエハを識別
する半導体ウエハ識別装置と、識別されたウエハを受け
取って指定された位置に収納するアンローディングステ
ーションとを備えている半導体ウエハ分類装置であっ
て、前記半導体ウエハ識別装置は識別コードを光学的に読み
取る読取装置と、半導体ウエハを受け渡す受渡し装置と
を備えており、この読取装置はその読取ステージの異な
る２箇所に設定された各読取エリアをそれぞれ撮像する
一対の画像取込み装置を有し、前記受渡し装置はこの読
取装置の読取ステージに配置されているとともに、半導
体ウエハの識別コードが付された位置を前記両読取エリ
アのいずれかに合致させるように構成されていることを
特徴とする半導体ウエハ分類装置。
【請求項２】前記受渡し装置は、旋回軸によって旋回
される第１アームと、第１アームに支持されて移動され
る第２アームと、第２アームに支持されて半導体ウエハ
を規則的に保持するハンドとを備えていることを特徴と
する請求項１に記載の半導体ウエハ分類装置。
【請求項３】前記受渡し装置は教示・再生機能によ
り、半導体ウエハの中心位置をハンドによって真空吸着
保持するように構成されていることを特徴とする請求項
２に記載の半導体ウエハ分類装置。
【請求項４】前記受渡し装置の上方に物品を仮置きす
る仮置き装置が設備されていることを特徴とする請求項
１または請求項２または請求項３に記載の半導体ウエハ
分類装置。