JP2003037152A - ウエハ移載システム及びウエハ移載方法、並びに無人搬送車システム - Google Patents
ウエハ移載システム及びウエハ移載方法、並びに無人搬送車システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハ移載システムにおいて、その移載処理
におけるウエハの姿勢合わせに要する時間を短縮化し、
ウエハの移載効率の向上を図ることを課題とする。 【解決手段】 載置台４１上にセットされたウエハ１０
の中心位置を算出し、その算出結果と予め受け取ってい
るＩＤマーク１１の位置情報とに基づきウエハ１０が所
定の姿勢となるまでの載置台４１の旋回角度を算出し、
ＯＣＲ４３に対してウエハ１０のＩＤマーク１１が所定
の位置・姿勢となってウエハ１０がセットされるまで
の、移載アーム３０の伸縮量及びターンテーブル３９の
旋回角度を算出する。そして、該ターンテーブル３９の
旋回角度を基に算出された載置台４１の旋回角度を補正
し、補正された旋回角度だけ載置台４１を旋回させてウ
エハ１０を転回し、該ウエハ１０を移載装置３によりＯ
ＣＲ４３に移載する。
におけるウエハの姿勢合わせに要する時間を短縮化し、
ウエハの移載効率の向上を図ることを課題とする。 【解決手段】 載置台４１上にセットされたウエハ１０
の中心位置を算出し、その算出結果と予め受け取ってい
るＩＤマーク１１の位置情報とに基づきウエハ１０が所
定の姿勢となるまでの載置台４１の旋回角度を算出し、
ＯＣＲ４３に対してウエハ１０のＩＤマーク１１が所定
の位置・姿勢となってウエハ１０がセットされるまで
の、移載アーム３０の伸縮量及びターンテーブル３９の
旋回角度を算出する。そして、該ターンテーブル３９の
旋回角度を基に算出された載置台４１の旋回角度を補正
し、補正された旋回角度だけ載置台４１を旋回させてウ
エハ１０を転回し、該ウエハ１０を移載装置３によりＯ
ＣＲ４３に移載する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターンテーブル上
にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、載置台に
セットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢合わせ装
置と、ウエハに付されたＩＤを読み取る読取装置とが並
設されるウエハ移載システムに関し、例えば、該ウエハ
移載システムは半導体製造工場のステーション間でウエ
ハを自動搬送・移載する無人搬送車に搭載されている。
にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、載置台に
セットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢合わせ装
置と、ウエハに付されたＩＤを読み取る読取装置とが並
設されるウエハ移載システムに関し、例えば、該ウエハ
移載システムは半導体製造工場のステーション間でウエ
ハを自動搬送・移載する無人搬送車に搭載されている。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハに付されているＩＤ情報を
ＯＣＲで読み取るために、移載装置に対してウエハが所
定の位置で、且つ所定の姿勢となるように姿勢合わせ装
置を作動させ、移載装置でウエハをＯＣＲにセットして
いた。具体的には、姿勢合わせ装置を、水平面内で直交
する２軸に移動自在な移動テーブルと、その上に配置さ
れた旋回自在な載置台を備えるように構成し、この姿勢
合わせ装置により載置台をウエハを載置した状態で旋回
させて、センサによりウエハのオリフラ位置（又はノッ
チ位置）を検出し、さらに、測定されたウエハの外周の
回転軌跡と予め記憶された基準回転軌跡を比較すること
で、ウエハの中心位置のずれを算出する。そして、この
算出結果を基に、ウエハが所定の姿勢となるように載置
台を旋回させ、且つ、ウエハの中心が所定の位置となる
ように移動テーブルを移動させていた。このようにし
て、ウエハの位置合わせ、及び姿勢合わせを予め行わせ
ることで、ウエハ移動時にそのＩＤマークを正確にかつ
適正な姿勢でＯＣＲの読取領域まで移動させることがで
きるようにし、ＯＣＲによるＩＤマークの読取を失敗な
く行わせるようにしていたのである。
ＯＣＲで読み取るために、移載装置に対してウエハが所
定の位置で、且つ所定の姿勢となるように姿勢合わせ装
置を作動させ、移載装置でウエハをＯＣＲにセットして
いた。具体的には、姿勢合わせ装置を、水平面内で直交
する２軸に移動自在な移動テーブルと、その上に配置さ
れた旋回自在な載置台を備えるように構成し、この姿勢
合わせ装置により載置台をウエハを載置した状態で旋回
させて、センサによりウエハのオリフラ位置（又はノッ
チ位置）を検出し、さらに、測定されたウエハの外周の
回転軌跡と予め記憶された基準回転軌跡を比較すること
で、ウエハの中心位置のずれを算出する。そして、この
算出結果を基に、ウエハが所定の姿勢となるように載置
台を旋回させ、且つ、ウエハの中心が所定の位置となる
ように移動テーブルを移動させていた。このようにし
て、ウエハの位置合わせ、及び姿勢合わせを予め行わせ
ることで、ウエハ移動時にそのＩＤマークを正確にかつ
適正な姿勢でＯＣＲの読取領域まで移動させることがで
きるようにし、ＯＣＲによるＩＤマークの読取を失敗な
く行わせるようにしていたのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のような移載装置
では、ウエハを高精度に水平移動させることができる移
動テーブルが必要になる上、その移動にも時間が掛かっ
ていた。そこで、本発明では、この移動テーブルを不要
とするとともに、ウエハの姿勢合わせに要する時間を短
縮化して、ウエハの移載効率の向上を図ることを課題と
する。
では、ウエハを高精度に水平移動させることができる移
動テーブルが必要になる上、その移動にも時間が掛かっ
ていた。そこで、本発明では、この移動テーブルを不要
とするとともに、ウエハの姿勢合わせに要する時間を短
縮化して、ウエハの移載効率の向上を図ることを課題と
する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するため
の手段を説明する。まず、請求項１に記載の如く、ター
ンテーブル上にウエハ移載用のアームを設けた移載装置
と、載置台にセットされたウエハの姿勢・方向を揃える
姿勢合わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み
取る読取装置とを備えるウエハ移載システムにおいて、
載置台上にセットされたウエハの中心位置を算出する算
出手段と、その算出結果と予め受け取っているＩＤマー
クの位置情報とに基づき、ウエハが所定の姿勢となるた
めに必要な載置台の旋回角度を算出する旋回角度算出手
段と、前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に対してＩ
Ｄマークが所定の位置及び姿勢となるようセットするた
めに必要な、前記移載装置のアームの伸縮量及びターン
テーブルの旋回角度を算出する移載量算出手段と、該移
載量算出手段により算出されたターンテーブルの旋回角
度を基に、前記旋回角度算出手段により算出された載置
台の旋回角度を補正する補正手段と、を設ける。
る課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するため
の手段を説明する。まず、請求項１に記載の如く、ター
ンテーブル上にウエハ移載用のアームを設けた移載装置
と、載置台にセットされたウエハの姿勢・方向を揃える
姿勢合わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み
取る読取装置とを備えるウエハ移載システムにおいて、
載置台上にセットされたウエハの中心位置を算出する算
出手段と、その算出結果と予め受け取っているＩＤマー
クの位置情報とに基づき、ウエハが所定の姿勢となるた
めに必要な載置台の旋回角度を算出する旋回角度算出手
段と、前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に対してＩ
Ｄマークが所定の位置及び姿勢となるようセットするた
めに必要な、前記移載装置のアームの伸縮量及びターン
テーブルの旋回角度を算出する移載量算出手段と、該移
載量算出手段により算出されたターンテーブルの旋回角
度を基に、前記旋回角度算出手段により算出された載置
台の旋回角度を補正する補正手段と、を設ける。
【０００５】請求項２に記載の如く、ターンテーブル上
にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、載置台に
セットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢合わせ装
置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み取る読取装置
とを備えるウエハ移載システムにおいて、載置台上にセ
ットされたウエハの中心位置を算出し、その算出結果と
予め受け取っているＩＤマークの位置情報とに基づき、
ウエハが所定の姿勢となるまでの載置台の旋回角度を算
出し、前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に対してＩ
Ｄマークが所定の位置及び姿勢となるようセットするた
めに必要な、前記移載装置のアームの伸縮量及びターン
テーブルの旋回角度を算出し、該移載量算出手段により
算出されたターンテーブルの旋回角度を基に、前記旋回
角度算出手段により算出された載置台の旋回角度を補正
し、補正後の旋回角度だけ載置台を旋回させてウエハを
転回し、転回されたウエハを移載装置により読取装置側
へ移動させ、該読取装置に対してＩＤマークが前記所定
の位置及び姿勢でセットされるようにする。
にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、載置台に
セットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢合わせ装
置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み取る読取装置
とを備えるウエハ移載システムにおいて、載置台上にセ
ットされたウエハの中心位置を算出し、その算出結果と
予め受け取っているＩＤマークの位置情報とに基づき、
ウエハが所定の姿勢となるまでの載置台の旋回角度を算
出し、前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に対してＩ
Ｄマークが所定の位置及び姿勢となるようセットするた
めに必要な、前記移載装置のアームの伸縮量及びターン
テーブルの旋回角度を算出し、該移載量算出手段により
算出されたターンテーブルの旋回角度を基に、前記旋回
角度算出手段により算出された載置台の旋回角度を補正
し、補正後の旋回角度だけ載置台を旋回させてウエハを
転回し、転回されたウエハを移載装置により読取装置側
へ移動させ、該読取装置に対してＩＤマークが前記所定
の位置及び姿勢でセットされるようにする。
【０００６】さらに、請求項３に記載の如く、ターンテ
ーブル上にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、
載置台にセットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢
合わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み取る
読取装置とを備える、無人搬送車と、ステーションと、
を備えた無人搬送車システムにおいて、該無人搬送車に
請求項１記載のウエハ移載システムを設ける。
ーブル上にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、
載置台にセットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢
合わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み取る
読取装置とを備える、無人搬送車と、ステーションと、
を備えた無人搬送車システムにおいて、該無人搬送車に
請求項１記載のウエハ移載システムを設ける。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。図１はクリーンルーム内の無人
搬送車１の様子を示す斜視図、図２は無人搬送車１の側
面断面図、図３（ａ）はウエハ１０をバッファカセット
５から取り出すときの無人搬送車１の平面図、図３
（ｂ）はウエハ１０を姿勢合わせ装置４へ移載するとき
の無人搬送車１の平面図、図４はオリフラ１０ａを有す
るウエハ１０の平面図、図５はノッチ１０ｂを有するウ
エハ１０の平面図、図６は無人搬送車１の制御構成を示
すブロック図、図７は無人搬送車１によるウエハ１０の
移載処理を示すフローチャート、図８はＩＤマーク１１
を通常位置に刻印したウエハ１０の姿勢合わせの様子を
示す姿勢合わせ装置４の平面図、図９はＩＤマーク１１
を通常位置から円周方向へずらして刻印した姿勢合わせ
の様子を示す姿勢合わせ装置４の平面図、図１０はＩＤ
マーク１１を通常位置から平行移動させて刻印したウエ
ハ１０の姿勢合わせの様子を示す姿勢合わせ装置４の平
面図、図１１はＩＤマーク１１を通常位置から平行移動
させて刻印したウエハ１０の姿勢合わせの旋回角度を説
明するウエハ１０の平面図である。
面に基づいて説明する。図１はクリーンルーム内の無人
搬送車１の様子を示す斜視図、図２は無人搬送車１の側
面断面図、図３（ａ）はウエハ１０をバッファカセット
５から取り出すときの無人搬送車１の平面図、図３
（ｂ）はウエハ１０を姿勢合わせ装置４へ移載するとき
の無人搬送車１の平面図、図４はオリフラ１０ａを有す
るウエハ１０の平面図、図５はノッチ１０ｂを有するウ
エハ１０の平面図、図６は無人搬送車１の制御構成を示
すブロック図、図７は無人搬送車１によるウエハ１０の
移載処理を示すフローチャート、図８はＩＤマーク１１
を通常位置に刻印したウエハ１０の姿勢合わせの様子を
示す姿勢合わせ装置４の平面図、図９はＩＤマーク１１
を通常位置から円周方向へずらして刻印した姿勢合わせ
の様子を示す姿勢合わせ装置４の平面図、図１０はＩＤ
マーク１１を通常位置から平行移動させて刻印したウエ
ハ１０の姿勢合わせの様子を示す姿勢合わせ装置４の平
面図、図１１はＩＤマーク１１を通常位置から平行移動
させて刻印したウエハ１０の姿勢合わせの旋回角度を説
明するウエハ１０の平面図である。
【０００８】まず、無人搬送車１の全体構成について説
明する。以下の説明では、図１における矢視Ｆ方向を前
方として、各構造体の前後左右位置を説明する。また、
その他の図面における各構造体の前後左右位置も図１に
準ずるものとする。
明する。以下の説明では、図１における矢視Ｆ方向を前
方として、各構造体の前後左右位置を説明する。また、
その他の図面における各構造体の前後左右位置も図１に
準ずるものとする。
【０００９】図１に示すように、無人搬送車１は、走行
レール２０・２０上を自動走行する有軌道台車であり、
車体本体２が四つの走行輪９・９・・・により支持さ
れ、該走行輪９・９・・・をそれぞれの駆動モータ８・
８・・・（図２）で駆動し、走行レール２０・２０上を
四輪駆動で走行させている。尚、走行レール２０・２０
と走行輪９・９・・・との間で滑りが少なくなるよう
に、全ての走行輪９・９・・・に駆動が伝われば良く、
その伝達機構は任意である。
レール２０・２０上を自動走行する有軌道台車であり、
車体本体２が四つの走行輪９・９・・・により支持さ
れ、該走行輪９・９・・・をそれぞれの駆動モータ８・
８・・・（図２）で駆動し、走行レール２０・２０上を
四輪駆動で走行させている。尚、走行レール２０・２０
と走行輪９・９・・・との間で滑りが少なくなるよう
に、全ての走行輪９・９・・・に駆動が伝われば良く、
その伝達機構は任意である。
【００１０】前記走行レール２０・２０に沿って、処理
装置２１・２１・・・、ストッカ２２が配設され、該ス
トッカ２２上に複数のカセット２３・２３・・・が所定
間隔を空けて並設されている。各カセット２３・２３・
・・は、その開口を走行レール２０・２０側へ向けて配
置され、該カセット２３の前後内側面にはそれぞれ、ウ
エハ１０の側端を保持する棚が上下に多数段、設けられ
て、カセット２３内に多数のウエハ１０・１０・・・が
水平に収納されている。
装置２１・２１・・・、ストッカ２２が配設され、該ス
トッカ２２上に複数のカセット２３・２３・・・が所定
間隔を空けて並設されている。各カセット２３・２３・
・・は、その開口を走行レール２０・２０側へ向けて配
置され、該カセット２３の前後内側面にはそれぞれ、ウ
エハ１０の側端を保持する棚が上下に多数段、設けられ
て、カセット２３内に多数のウエハ１０・１０・・・が
水平に収納されている。
【００１１】図２及び図３に示すように、無人搬送車１
の車体本体２には、その中央にウエハ１０・１０・・・
を移載する移載装置３が配設され、その前後に、ウエハ
１０・１０・・・の方向と、中心位置を揃える姿勢合わ
せ装置４と、ウエハ１０・１０・・・を収納するバッフ
ァカセット５とが配設されている。バッファカセット５
は、その開口を前方（移載装置３側）へ向けてバッファ
台５０上に配置されている。該バッファカセット５内の
左右内側面にはそれぞれ、ウエハ１０の側端を保持する
棚が上下に多数段、設けられて、バッファカセット５内
にウエハ１０・１０・・・を水平に収納する構成として
いる。
の車体本体２には、その中央にウエハ１０・１０・・・
を移載する移載装置３が配設され、その前後に、ウエハ
１０・１０・・・の方向と、中心位置を揃える姿勢合わ
せ装置４と、ウエハ１０・１０・・・を収納するバッフ
ァカセット５とが配設されている。バッファカセット５
は、その開口を前方（移載装置３側）へ向けてバッファ
台５０上に配置されている。該バッファカセット５内の
左右内側面にはそれぞれ、ウエハ１０の側端を保持する
棚が上下に多数段、設けられて、バッファカセット５内
にウエハ１０・１０・・・を水平に収納する構成として
いる。
【００１２】前記ウエハ１０は、シリコン単結晶からな
る略円盤状の形状であり、シリコンの結晶には方位性が
あるので、図４に示すように、方向を示す直線部分、つ
まり、ウエハ１０の外周の一部に形成されるオリエンテ
ーションフラット（オリフラ）１０ａを有するものや、
図５に示すように、ウエハ１０の外周の一部を切り欠い
たノッチ１０ｂを有するものがあり、何れもその表面、
又は裏面における周部に、ウエハの製造履歴等、ウエハ
情報を符号化したＩＤマーク１１が刻印されている。
る略円盤状の形状であり、シリコンの結晶には方位性が
あるので、図４に示すように、方向を示す直線部分、つ
まり、ウエハ１０の外周の一部に形成されるオリエンテ
ーションフラット（オリフラ）１０ａを有するものや、
図５に示すように、ウエハ１０の外周の一部を切り欠い
たノッチ１０ｂを有するものがあり、何れもその表面、
又は裏面における周部に、ウエハの製造履歴等、ウエハ
情報を符号化したＩＤマーク１１が刻印されている。
【００１３】このＩＤマーク１１は、図４（ａ）（又は
図５（ａ））に示すように、ウエハ１０盤面におけるオ
リフラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）位置とは、反対側の
外周部に配置したものや、図４（ｂ）（又は図５
（ｂ））に示すように、該図４（ａ）（又は図５
（ａ））に示す通常の位置から円周方向へずらして配置
したもの、あるいは、図４（ｃ）（又は図５（ｃ））に
示すように、該通常の位置から平行移動させて、ウエハ
１０の外周部に配置したものなどがあり、何れの場合
も、該ＩＤマーク１１とオリフラ１０ａ（又はノッチ１
０ｂ）との位置関係は予め定められている。従って、ウ
エハ１０におけるオリフラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）
の位置を検出することにより、ＩＤマーク１１の位置を
前記位置関係に基づいて間接的に算出することができ
る。
図５（ａ））に示すように、ウエハ１０盤面におけるオ
リフラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）位置とは、反対側の
外周部に配置したものや、図４（ｂ）（又は図５
（ｂ））に示すように、該図４（ａ）（又は図５
（ａ））に示す通常の位置から円周方向へずらして配置
したもの、あるいは、図４（ｃ）（又は図５（ｃ））に
示すように、該通常の位置から平行移動させて、ウエハ
１０の外周部に配置したものなどがあり、何れの場合
も、該ＩＤマーク１１とオリフラ１０ａ（又はノッチ１
０ｂ）との位置関係は予め定められている。従って、ウ
エハ１０におけるオリフラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）
の位置を検出することにより、ＩＤマーク１１の位置を
前記位置関係に基づいて間接的に算出することができ
る。
【００１４】次に、前記移載装置３について説明する。
図２及び図３に示すように、移載装置３は、移載アーム
３０・３０、基台３８、ターンテーブル３９・３９等か
ら成り、基台３８は車体本体２中央に埋設され、該基台
３８上にターンテーブル３９が枢設され、該ターンテー
ブル３９上に一対の移載アーム３０・３０が取り付けら
れている。
図２及び図３に示すように、移載装置３は、移載アーム
３０・３０、基台３８、ターンテーブル３９・３９等か
ら成り、基台３８は車体本体２中央に埋設され、該基台
３８上にターンテーブル３９が枢設され、該ターンテー
ブル３９上に一対の移載アーム３０・３０が取り付けら
れている。
【００１５】前記基台３８は上下移動自在な構成として
あり、基台３８側方にネジ山を刻設したロッドを立状に
配置して回転自在に支持した上で、基台３８下部に固設
させたナットランナを該ロッドに嵌め込み、該ロッドを
電動モータで駆動回転することにより該ナットランナを
昇降させ、基台３８を昇降駆動させる昇降機構６１（図
６に略示）が設けられている。
あり、基台３８側方にネジ山を刻設したロッドを立状に
配置して回転自在に支持した上で、基台３８下部に固設
させたナットランナを該ロッドに嵌め込み、該ロッドを
電動モータで駆動回転することにより該ナットランナを
昇降させ、基台３８を昇降駆動させる昇降機構６１（図
６に略示）が設けられている。
【００１６】また、前記ターンテーブル３９は基台３８
に対して回転可能とされており、該基台３８に埋設され
た電動モータ６２（図６に略示）により、ターンテーブ
ル３９を回転駆動させることができる。
に対して回転可能とされており、該基台３８に埋設され
た電動モータ６２（図６に略示）により、ターンテーブ
ル３９を回転駆動させることができる。
【００１７】前記移載アーム３０は、移載ハンド３１
と、第１アーム３２と、第２アーム３３とでリンク機構
が組まれたスカラーアーム式のロボットハンドであり、
サーボモータ等から成るアクチュエータ６３（図６）に
より伸張・屈折が自在に行えるよう構成されている。
と、第１アーム３２と、第２アーム３３とでリンク機構
が組まれたスカラーアーム式のロボットハンドであり、
サーボモータ等から成るアクチュエータ６３（図６）に
より伸張・屈折が自在に行えるよう構成されている。
【００１８】前記移載ハンド３１は、平面視、略「凹」
字状のプレートで形成され、その二股に分かれた先端部
には、吸着孔３４・３４が設けられ、図６に略示される
エアポンプ６４で吸引することで移載ハンド３１にウエ
ハ１０を吸着・保持するように構成されている。
字状のプレートで形成され、その二股に分かれた先端部
には、吸着孔３４・３４が設けられ、図６に略示される
エアポンプ６４で吸引することで移載ハンド３１にウエ
ハ１０を吸着・保持するように構成されている。
【００１９】そうして、一方の移載アーム３０には、移
載ハンド３１の吸着孔３４・３４とは反対側の端部に、
マッピングセンサ３５が取り付けられている。
載ハンド３１の吸着孔３４・３４とは反対側の端部に、
マッピングセンサ３５が取り付けられている。
【００２０】前記マッピングセンサ３５は、先端が二股
に分かれた、平面視「Ｖ」字状の形状で、その両先端に
光電センサを取り付けてある。この構成で、前記基台３
８を上昇させて、該移載アーム３０を屈伸させ、該マッ
ピングセンサ３５をバッファカセット５に近接させる。
そして、該基台３８を下降させ、該マッピングセンサ３
５でバッファカセット５の各棚を探り、ウエハ１０・１
０・・・の有無を検出する。
に分かれた、平面視「Ｖ」字状の形状で、その両先端に
光電センサを取り付けてある。この構成で、前記基台３
８を上昇させて、該移載アーム３０を屈伸させ、該マッ
ピングセンサ３５をバッファカセット５に近接させる。
そして、該基台３８を下降させ、該マッピングセンサ３
５でバッファカセット５の各棚を探り、ウエハ１０・１
０・・・の有無を検出する。
【００２１】図６は無人搬送車１の制御構成を示すブロ
ック図であり、基台３８を昇降させる前記昇降機構６１
と、ターンテーブル３９を回転させる前記電動モータ６
２と、移載アーム３０・３０を屈折させる前記アクチュ
エータ６３・６３と、吸着孔３４・３４でウエハ１０を
吸引する前記エアポンプ６４と、前記マッピングセンサ
３５とは、車体本体２に内蔵されたコントローラ６０に
接続されて、所定の手順で動作する。
ック図であり、基台３８を昇降させる前記昇降機構６１
と、ターンテーブル３９を回転させる前記電動モータ６
２と、移載アーム３０・３０を屈折させる前記アクチュ
エータ６３・６３と、吸着孔３４・３４でウエハ１０を
吸引する前記エアポンプ６４と、前記マッピングセンサ
３５とは、車体本体２に内蔵されたコントローラ６０に
接続されて、所定の手順で動作する。
【００２２】次に、前記姿勢合わせ装置４について説明
する。図２及び図３に示すように、姿勢合わせ装置４
は、ケーシング４０、載置台４１、リニアーセンサ４２
・４２、オプティカルキャラクタリーダ（以下「ＯＣ
Ｒ」）４３等から成り、該ケーシング４０は移載装置３
側が開口して、その入口付近には２組のリニアーセンサ
４２・４２が配設され、それぞれ天井面に投光器４２
ａ、床面に受光器４２ｂを埋設して構成されている。こ
の２組のリニアーセンサ４２・４２は、外側（ケーシン
グ４の開口入口側）のリニアーセンサ４２で１２インチ
のウエハ１０のオリフラ１０ａ位置（又はノッチ１０ｂ
位置）を検出し、内側（ケーシング４の開口奥側）のリ
ニアーセンサ４２で８インチのウエハ１０のオリフラ１
０ａ位置（又はノッチ１０ｂ位置）を検出するように構
成されている。
する。図２及び図３に示すように、姿勢合わせ装置４
は、ケーシング４０、載置台４１、リニアーセンサ４２
・４２、オプティカルキャラクタリーダ（以下「ＯＣ
Ｒ」）４３等から成り、該ケーシング４０は移載装置３
側が開口して、その入口付近には２組のリニアーセンサ
４２・４２が配設され、それぞれ天井面に投光器４２
ａ、床面に受光器４２ｂを埋設して構成されている。こ
の２組のリニアーセンサ４２・４２は、外側（ケーシン
グ４の開口入口側）のリニアーセンサ４２で１２インチ
のウエハ１０のオリフラ１０ａ位置（又はノッチ１０ｂ
位置）を検出し、内側（ケーシング４の開口奥側）のリ
ニアーセンサ４２で８インチのウエハ１０のオリフラ１
０ａ位置（又はノッチ１０ｂ位置）を検出するように構
成されている。
【００２３】また、ケーシング４０の開口の床面、奥側
には、の前記ＯＣＲ４３が埋設され、該ケーシング４０
内に、ＩＤマーク１１の付された面を下側にしてウエハ
１０をセットし、該ＩＤマーク１１を該ＯＣＲ４３で読
み取る構成としている。尚、ＩＤマーク１１の面を上側
にしてウエハ１０をセットしてもよく、この場合、ＯＣ
Ｒ４３はケーシング４０の開口の天井面、奥側に配置
し、あるいは、作業過程でウエハ１０の盤面が上下入れ
替わることも考慮して、ケーシング４０の開口の天井
面、及び床面の奥側に、上下一対のＯＣＲ４３・４３を
配置する構成としてもよい。
には、の前記ＯＣＲ４３が埋設され、該ケーシング４０
内に、ＩＤマーク１１の付された面を下側にしてウエハ
１０をセットし、該ＩＤマーク１１を該ＯＣＲ４３で読
み取る構成としている。尚、ＩＤマーク１１の面を上側
にしてウエハ１０をセットしてもよく、この場合、ＯＣ
Ｒ４３はケーシング４０の開口の天井面、奥側に配置
し、あるいは、作業過程でウエハ１０の盤面が上下入れ
替わることも考慮して、ケーシング４０の開口の天井
面、及び床面の奥側に、上下一対のＯＣＲ４３・４３を
配置する構成としてもよい。
【００２４】また、ケーシング４０の開口の床面には、
ウエハ１０を載置する載置台４１が設けられている。該
載置台４１は円盤状の形状で、その載置面には回転中心
から同心円状、並びに放射線状に複数の吸着溝４５・４
５・・・が配設されて、その中央（回転軸心）に吸着孔
４４が設けられている。これらの吸着孔４４、及び吸着
溝４５・４５・・・には、エアポンプ６６（図６）が接
続されており、エアポンプ６６を作動させることで、載
置台４１上に載置したウエハ１０を吸引・保持する。こ
うして、電動モータ６５（図６）にて載置台４１を回転
させたときに、ウエハ１０が該載置台４１から遠心力で
飛ばされないようにしている。
ウエハ１０を載置する載置台４１が設けられている。該
載置台４１は円盤状の形状で、その載置面には回転中心
から同心円状、並びに放射線状に複数の吸着溝４５・４
５・・・が配設されて、その中央（回転軸心）に吸着孔
４４が設けられている。これらの吸着孔４４、及び吸着
溝４５・４５・・・には、エアポンプ６６（図６）が接
続されており、エアポンプ６６を作動させることで、載
置台４１上に載置したウエハ１０を吸引・保持する。こ
うして、電動モータ６５（図６）にて載置台４１を回転
させたときに、ウエハ１０が該載置台４１から遠心力で
飛ばされないようにしている。
【００２５】この載置台４１を回転させる電動モータ６
５と、吸着孔４４でウエハ１０を吸引するエアポンプ６
６と、前記リニアーセンサ４２・４２と、前記ＯＣＲ４
３とは、図６に示す前記コントローラ６０に接続され
て、該コントローラ６０からの制御信号により動作す
る。
５と、吸着孔４４でウエハ１０を吸引するエアポンプ６
６と、前記リニアーセンサ４２・４２と、前記ＯＣＲ４
３とは、図６に示す前記コントローラ６０に接続され
て、該コントローラ６０からの制御信号により動作す
る。
【００２６】以上、無人搬送車１の概略構成であり、該
無人搬送車１は次のような流れで動作する。まず、無人
搬送車１がストッカ２２上の所定のカセット２３位置ま
で移動する。ここで移載ハンド３１を下降させて、その
先端のマッピングセンサ３５でバッファカセット５の各
棚を探り、ウエハ１０・１０・・・の有無を検出する。
そして、移載装置３によりカセット２３内のウエハ１０
・１０・・・を１枚ずつ取り出し、バッファカセット５
の未収納の棚に移し変える。このとき、ウエハ１０・１
０・・・は、ＩＤマーク１１が付された盤面が下側とな
ってバッファカセット５に移載されるものとする。
無人搬送車１は次のような流れで動作する。まず、無人
搬送車１がストッカ２２上の所定のカセット２３位置ま
で移動する。ここで移載ハンド３１を下降させて、その
先端のマッピングセンサ３５でバッファカセット５の各
棚を探り、ウエハ１０・１０・・・の有無を検出する。
そして、移載装置３によりカセット２３内のウエハ１０
・１０・・・を１枚ずつ取り出し、バッファカセット５
の未収納の棚に移し変える。このとき、ウエハ１０・１
０・・・は、ＩＤマーク１１が付された盤面が下側とな
ってバッファカセット５に移載されるものとする。
【００２７】次に、無人搬送車１を処理装置２１位置ま
で移動させ、移載装置３によりバッファカセット５内の
ウエハ１０・１０・・・を１枚ずつ取り出して、姿勢合
わせ装置４にセットし、ＯＣＲ４３でウエハ１０下面側
のＩＤマーク１１を読み取り、該ウエハ１０の方向と、
中心位置とを揃え、その上で処理装置２１へ移載する。
処理装置２１ではこのＩＤマーク１１に付されたＩＤ情
報に基づいて、検査処理が行われる。そうして、検査処
理を終えたウエハ１０を移載装置３により取り出し、再
びバッファカセット５内へ収納する。こうして、次々と
バッファカセット５内のウエハ１０・１０・・・の検査
処理が行われる。
で移動させ、移載装置３によりバッファカセット５内の
ウエハ１０・１０・・・を１枚ずつ取り出して、姿勢合
わせ装置４にセットし、ＯＣＲ４３でウエハ１０下面側
のＩＤマーク１１を読み取り、該ウエハ１０の方向と、
中心位置とを揃え、その上で処理装置２１へ移載する。
処理装置２１ではこのＩＤマーク１１に付されたＩＤ情
報に基づいて、検査処理が行われる。そうして、検査処
理を終えたウエハ１０を移載装置３により取り出し、再
びバッファカセット５内へ収納する。こうして、次々と
バッファカセット５内のウエハ１０・１０・・・の検査
処理が行われる。
【００２８】特に本発明ではウエハ１０の姿勢合わせに
着目し、以下に示す制御手段を付設して、この姿勢合わ
せに要する時間を短縮し、ウエハ１０の移載効率を向上
させている。具体的には、前記コントローラ６０に、載
置台４１上にセットされたウエハ１０の中心位置を算出
する算出機能と、その算出結果と予め受け取っているＩ
Ｄマーク１１の位置情報とに基づきウエハ１０が所定の
姿勢となるまでの載置台４１の旋回角度を算出する旋回
角度算出機能と、ＯＣＲ４３に対してＩＤマーク１１が
所定の位置・姿勢となってウエハ１０がセットされるま
での移載アーム３０の伸縮量、及びターンテーブル３９
の旋回角度を算出する移載量算出機能と、該移載量算出
機能により算出されたターンテーブル３９の旋回角度を
基に該旋回角度算出機能により一度算出された載置台４
１の旋回角度を補正する補正機能とを付設しているので
ある。
着目し、以下に示す制御手段を付設して、この姿勢合わ
せに要する時間を短縮し、ウエハ１０の移載効率を向上
させている。具体的には、前記コントローラ６０に、載
置台４１上にセットされたウエハ１０の中心位置を算出
する算出機能と、その算出結果と予め受け取っているＩ
Ｄマーク１１の位置情報とに基づきウエハ１０が所定の
姿勢となるまでの載置台４１の旋回角度を算出する旋回
角度算出機能と、ＯＣＲ４３に対してＩＤマーク１１が
所定の位置・姿勢となってウエハ１０がセットされるま
での移載アーム３０の伸縮量、及びターンテーブル３９
の旋回角度を算出する移載量算出機能と、該移載量算出
機能により算出されたターンテーブル３９の旋回角度を
基に該旋回角度算出機能により一度算出された載置台４
１の旋回角度を補正する補正機能とを付設しているので
ある。
【００２９】以上の構成により、ウエハ１０の姿勢合わ
せは、次のような流れで行われる。図７はその流れを示
すフローチャートであり、まず、前記のように無人搬送
車１を処理装置２１位置まで移動させ、該無人搬送車１
の移載装置３が、処理装置２１の取込口２１ａに対向す
るようにする。次に前記基台３８を上昇させて、一方の
移載アーム３０を伸張させ、図３（ａ）で示すように、
移載ハンド３１でバッファカセット５内のウエハ１０を
すくい、吸着孔３４・３４で吸引・保持した上で、移載
アーム３０を屈曲させて移載ハンド３１を抜脱し、バッ
ファカセット５内から１枚ずつウエハ１０を取り出す
（ステップＳ１）。
せは、次のような流れで行われる。図７はその流れを示
すフローチャートであり、まず、前記のように無人搬送
車１を処理装置２１位置まで移動させ、該無人搬送車１
の移載装置３が、処理装置２１の取込口２１ａに対向す
るようにする。次に前記基台３８を上昇させて、一方の
移載アーム３０を伸張させ、図３（ａ）で示すように、
移載ハンド３１でバッファカセット５内のウエハ１０を
すくい、吸着孔３４・３４で吸引・保持した上で、移載
アーム３０を屈曲させて移載ハンド３１を抜脱し、バッ
ファカセット５内から１枚ずつウエハ１０を取り出す
（ステップＳ１）。
【００３０】次に、基台３８を所定高さに下降させて、
ターンテーブル３９を１８０°回転させ、移載アーム３
０・３０の向きを反転させて、ウエハ１０を保持した移
載ハンド３１を姿勢合わせ装置４側へと向ける（ステッ
プＳ２）。そして、図３（ｂ）及び図８（ａ）に示すよ
うに、移載アーム３０を屈伸させて、移載ハンド３１を
姿勢合わせ装置４へ挿入し、移載ハンド３１の中心（吸
着孔３４・３４の中点）と、載置台４１の回転中心とを
一致させた状態で、ウエハ１０を載置台４１にセットし
た後、吸着孔３４・３４での吸引を解除し、移載ア−ム
３０を下降させて、移載ハンド３１をウエハ１０から離
なすとともに、移載ハンド３１が載置台４１の旋回を妨
げないようにする（ステップＳ３）。尚、移載アーム３
０は、下降させずに屈曲させて、ウエハ１０下方から移
載ハンド３１を抜き出すようにしても良い。
ターンテーブル３９を１８０°回転させ、移載アーム３
０・３０の向きを反転させて、ウエハ１０を保持した移
載ハンド３１を姿勢合わせ装置４側へと向ける（ステッ
プＳ２）。そして、図３（ｂ）及び図８（ａ）に示すよ
うに、移載アーム３０を屈伸させて、移載ハンド３１を
姿勢合わせ装置４へ挿入し、移載ハンド３１の中心（吸
着孔３４・３４の中点）と、載置台４１の回転中心とを
一致させた状態で、ウエハ１０を載置台４１にセットし
た後、吸着孔３４・３４での吸引を解除し、移載ア−ム
３０を下降させて、移載ハンド３１をウエハ１０から離
なすとともに、移載ハンド３１が載置台４１の旋回を妨
げないようにする（ステップＳ３）。尚、移載アーム３
０は、下降させずに屈曲させて、ウエハ１０下方から移
載ハンド３１を抜き出すようにしても良い。
【００３１】このように、まず、ウエハ１０を載置台４
１に仮置きし、そして、載置台側の吸着孔４４及び吸着
溝４５・４５・・・で吸引・保持した状態で、図８
（ｂ）で示すように該載置台４１を３６０°回転させ
る。これにより、前記リニアーセンサ４２によって、ウ
エハ１０のオリフラ１０ａ位置（又はノッチ１０ｂ位
置）と、該ウエハ１０が描く回転軌跡とが認識され、そ
の認識結果がコントローラ６０へと出力される（ステッ
プＳ４）。
１に仮置きし、そして、載置台側の吸着孔４４及び吸着
溝４５・４５・・・で吸引・保持した状態で、図８
（ｂ）で示すように該載置台４１を３６０°回転させ
る。これにより、前記リニアーセンサ４２によって、ウ
エハ１０のオリフラ１０ａ位置（又はノッチ１０ｂ位
置）と、該ウエハ１０が描く回転軌跡とが認識され、そ
の認識結果がコントローラ６０へと出力される（ステッ
プＳ４）。
【００３２】前記コントローラ６０には、載置台４１の
正規の位置（載置台４１の回転中心に中心を一致させた
位置）にウエハ１０をセットして回転させたときの回転
軌跡１００が、予め記憶されている。載置台４１上に仮
置きされたウエハ１０はその置き位置のズレによって、
載置台４１の回転を受けて偏心回転することになるが、
前記コントローラ６０の算出機能により、前記偏心回転
の軌跡と正規の回転軌跡１００とが比較され、載置台４
１の回転中心とウエハ１０の回転中心とのズレが算出さ
れる。
正規の位置（載置台４１の回転中心に中心を一致させた
位置）にウエハ１０をセットして回転させたときの回転
軌跡１００が、予め記憶されている。載置台４１上に仮
置きされたウエハ１０はその置き位置のズレによって、
載置台４１の回転を受けて偏心回転することになるが、
前記コントローラ６０の算出機能により、前記偏心回転
の軌跡と正規の回転軌跡１００とが比較され、載置台４
１の回転中心とウエハ１０の回転中心とのズレが算出さ
れる。
【００３３】また、この認識されたウエハ１０のオリフ
ラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）位置が、コントローラ６
０に予め受け渡された、ウエハ１０のＩＤマーク１１と
オリフラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）との位置関係情報
に参照されることにより、ウエハ１０盤面に付されたＩ
Ｄマーク１１の位置及び姿勢が算出される。
ラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）位置が、コントローラ６
０に予め受け渡された、ウエハ１０のＩＤマーク１１と
オリフラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）との位置関係情報
に参照されることにより、ウエハ１０盤面に付されたＩ
Ｄマーク１１の位置及び姿勢が算出される。
【００３４】そして、前記コントローラ６０の旋回角度
算出機能により、この算定されたＩＤマーク１１が所定
の姿勢となるために必要な、載置台４１の旋回角度が算
出される（ステップＳ５）。尚、この段階では載置台４
１の必要旋回角度を算出するのみであって、載置台４１
の実際の旋回は行われない。このウェハ１０の所定の姿
勢とは、載置台４１上にあるウエハ１０を、そのＩＤマ
ーク１１がＯＣＲ４３直上方位置にくるように平行移動
できると仮定したときに、ＩＤマーク１１をＯＣＲ４３
によって読取可能とできる姿勢である。すなわち、ＯＣ
Ｒ４３でＩＤマーク１１を正常に読み取るためには、Ｏ
ＣＲ４３に対するＩＤマーク１１の姿勢（ＩＤマーク１
１の向き）を予め定めておき、その姿勢となるようにＩ
Ｄマーク１１をＯＣＲ４３に対し向けなければならな
い。本実施例では、載置台４１上でその同じ向きを現出
させるために載置台４１を旋回させなければならないそ
の角度を、前記旋回角度算出機能により算出するのであ
る。
算出機能により、この算定されたＩＤマーク１１が所定
の姿勢となるために必要な、載置台４１の旋回角度が算
出される（ステップＳ５）。尚、この段階では載置台４
１の必要旋回角度を算出するのみであって、載置台４１
の実際の旋回は行われない。このウェハ１０の所定の姿
勢とは、載置台４１上にあるウエハ１０を、そのＩＤマ
ーク１１がＯＣＲ４３直上方位置にくるように平行移動
できると仮定したときに、ＩＤマーク１１をＯＣＲ４３
によって読取可能とできる姿勢である。すなわち、ＯＣ
Ｒ４３でＩＤマーク１１を正常に読み取るためには、Ｏ
ＣＲ４３に対するＩＤマーク１１の姿勢（ＩＤマーク１
１の向き）を予め定めておき、その姿勢となるようにＩ
Ｄマーク１１をＯＣＲ４３に対し向けなければならな
い。本実施例では、載置台４１上でその同じ向きを現出
させるために載置台４１を旋回させなければならないそ
の角度を、前記旋回角度算出機能により算出するのであ
る。
【００３５】すなわち、載置台４１上にウエハ１０が置
かれた状態で、ＩＤマーク１１が図１１に示される符号
１１ａの姿勢であった場合、このＩＤマーク１１ａの傾
きθを解消すべく載置台４１を旋回させなければならな
いが、この必要な旋回角度を前記旋回角度算出機能によ
り算出することになる。尚、ウエハの中心と載置台４１
の回転中心とにズレがあることから、前記必要な旋回角
度はＩＤマーク１１ａの傾き分の角度θとは、厳密には
一致しない。実際は、ウエハの中心と載置台４１の回転
中心とのズレ量をも勘案して、前記旋回角度を算出する
ことになる。
かれた状態で、ＩＤマーク１１が図１１に示される符号
１１ａの姿勢であった場合、このＩＤマーク１１ａの傾
きθを解消すべく載置台４１を旋回させなければならな
いが、この必要な旋回角度を前記旋回角度算出機能によ
り算出することになる。尚、ウエハの中心と載置台４１
の回転中心とにズレがあることから、前記必要な旋回角
度はＩＤマーク１１ａの傾き分の角度θとは、厳密には
一致しない。実際は、ウエハの中心と載置台４１の回転
中心とのズレ量をも勘案して、前記旋回角度を算出する
ことになる。
【００３６】次に、前記コントローラ６０の移載量算出
機能により、載置台４１上にあるウエハ１０を、そのＩ
Ｄマーク１１がＯＣＲ４３の直上方に来るように移載装
置３により移動させるのに必要な、移載アーム３０の伸
縮量及びターンテーブル３９の旋回角度が算出される
（ステップＳ６）。
機能により、載置台４１上にあるウエハ１０を、そのＩ
Ｄマーク１１がＯＣＲ４３の直上方に来るように移載装
置３により移動させるのに必要な、移載アーム３０の伸
縮量及びターンテーブル３９の旋回角度が算出される
（ステップＳ６）。
【００３７】そして、前記コントローラ６０の補正機能
により、該移載量算出機能により算出されたターンテー
ブル３９の旋回角度を基に、該旋回角度算出機能により
一度算出された載置台４１の旋回角度が補正される（ス
テップＳ７）。載置台４１は実際には、この補正された
旋回角度だけ旋回されることになる（ステップＳ８）。
により、該移載量算出機能により算出されたターンテー
ブル３９の旋回角度を基に、該旋回角度算出機能により
一度算出された載置台４１の旋回角度が補正される（ス
テップＳ７）。載置台４１は実際には、この補正された
旋回角度だけ旋回されることになる（ステップＳ８）。
【００３８】具体的には、図４の（ａ）、（ｂ）、又は
図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、ウエハ１０の外周
部に付されたＩＤマーク１１が、円周方向（接線方向）
に沿って付されている場合は、図８（ｃ）、又は図９
（ａ）に示すように、該ＩＤマーク１１がウエハ１０盤
面上で略前方位置に来るように載置台４１を回転させて
おく。
図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、ウエハ１０の外周
部に付されたＩＤマーク１１が、円周方向（接線方向）
に沿って付されている場合は、図８（ｃ）、又は図９
（ａ）に示すように、該ＩＤマーク１１がウエハ１０盤
面上で略前方位置に来るように載置台４１を回転させて
おく。
【００３９】一方、図４の（ｃ）、又は図５の（ｃ）に
示すように、ウエハ１０の外周部に付されたＩＤマーク
１１が、図４（ａ）、又は図５（ａ）に示すＩＤマーク
１１とは平行な位置関係にある場合には、図１０（ａ）
に示す状態から、図１０（ｂ）に示す状態にウエハ１０
を転回させておく。
示すように、ウエハ１０の外周部に付されたＩＤマーク
１１が、図４（ａ）、又は図５（ａ）に示すＩＤマーク
１１とは平行な位置関係にある場合には、図１０（ａ）
に示す状態から、図１０（ｂ）に示す状態にウエハ１０
を転回させておく。
【００４０】すなわち、載置台４１上にウエハ１０が置
かれた状態で、ＩＤマーク１１が図１１に示される符号
１１ａの姿勢であった場合、そのＩＤマーク１１の傾き
量θを解消させるために必要な旋回角度そのものではな
く、前記ターンテーブル３９の旋回角度をも見込んで補
正した旋回角度φだけ、載置台４１を回転させるのであ
る。
かれた状態で、ＩＤマーク１１が図１１に示される符号
１１ａの姿勢であった場合、そのＩＤマーク１１の傾き
量θを解消させるために必要な旋回角度そのものではな
く、前記ターンテーブル３９の旋回角度をも見込んで補
正した旋回角度φだけ、載置台４１を回転させるのであ
る。
【００４１】尚、この旋回角度の補正を仮に行わないと
すれば、ＩＤマーク１１がＯＣＲ４３の直上方に来るよ
うに移載装置３によりウエハ１０を移動させるためにタ
ーンテーブル３９を旋回させることが必要な場合、移載
装置３による移動の際にターンテーブル３９の旋回分だ
けウエハ１０の姿勢が変わってしまい、ＩＤマーク１１
の姿勢も変わって、ＯＣＲ読取時の読取不良の原因にな
ってしまう。
すれば、ＩＤマーク１１がＯＣＲ４３の直上方に来るよ
うに移載装置３によりウエハ１０を移動させるためにタ
ーンテーブル３９を旋回させることが必要な場合、移載
装置３による移動の際にターンテーブル３９の旋回分だ
けウエハ１０の姿勢が変わってしまい、ＩＤマーク１１
の姿勢も変わって、ＯＣＲ読取時の読取不良の原因にな
ってしまう。
【００４２】本発明ではこの事情に鑑み、前記ターンテ
ーブル３９の必要旋回分を見込んで補正した角度φだけ
載置台４１を旋回させるのである。これによりＩＤマー
ク１１は、その位置を図１１に示す符号１１ａから１１
ｂへと移動させ、この位置１１ｂのＩＤマークは、該マ
ーク１１ｂをＯＣＲ４３の直上方に来るようにウエハ１
０を移載装置３により実際に移動させたときに、その向
きもＯＣＲ３４に対し正規な姿勢に向けられることにな
る。
ーブル３９の必要旋回分を見込んで補正した角度φだけ
載置台４１を旋回させるのである。これによりＩＤマー
ク１１は、その位置を図１１に示す符号１１ａから１１
ｂへと移動させ、この位置１１ｂのＩＤマークは、該マ
ーク１１ｂをＯＣＲ４３の直上方に来るようにウエハ１
０を移載装置３により実際に移動させたときに、その向
きもＯＣＲ３４に対し正規な姿勢に向けられることにな
る。
【００４３】以上のように、ウエハ１０盤面のＩＤマー
ク１１とオリフラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）との位置
関係情報に基づき、すなわち、該ＩＤマーク１１の位置
及び姿勢に応じて、載置台４１の旋回角度、移載アーム
３０の伸縮量、及びターンテーブル３９の旋回角度が算
出され、該載置台４１の旋回角度が補正される。
ク１１とオリフラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）との位置
関係情報に基づき、すなわち、該ＩＤマーク１１の位置
及び姿勢に応じて、載置台４１の旋回角度、移載アーム
３０の伸縮量、及びターンテーブル３９の旋回角度が算
出され、該載置台４１の旋回角度が補正される。
【００４４】こうして、ＩＤマーク１１がターンテーブ
ル３９の旋回分まで見込んだ所定の姿勢となるように、
載置台４１を転回させた上で、移載量算出機能により算
出した移載アーム３０の伸縮量と、ターンテーブル３９
の旋回角度とに基づき、アクチュエータ６３と、電動モ
ータ６２とを作動させて、移載装置３を動かし、図８
（ｄ）、図９（ｂ）、又は図１０（ｃ）に示すように、
ＯＣＲ４３の直上方にウエハ１０のＩＤマーク１１が来
るようにセットする（ステップＳ９）。このときＩＤマ
ーク１１は、その長手方向は正確に横向き（左右方向）
となり、ＯＣＲ４３の読取領域の中央にセットされる。
ル３９の旋回分まで見込んだ所定の姿勢となるように、
載置台４１を転回させた上で、移載量算出機能により算
出した移載アーム３０の伸縮量と、ターンテーブル３９
の旋回角度とに基づき、アクチュエータ６３と、電動モ
ータ６２とを作動させて、移載装置３を動かし、図８
（ｄ）、図９（ｂ）、又は図１０（ｃ）に示すように、
ＯＣＲ４３の直上方にウエハ１０のＩＤマーク１１が来
るようにセットする（ステップＳ９）。このときＩＤマ
ーク１１は、その長手方向は正確に横向き（左右方向）
となり、ＯＣＲ４３の読取領域の中央にセットされる。
【００４５】尚、ウエハ１０のＩＤマーク１１の位置
が、図４の（ａ）、（ｂ）、又は図５の（ａ）、（ｂ）
の場合、載置台４１に載置されたウエハ１０の中心位置
と、載置台４１の中心位置とのズレ量が大きいと、ＩＤ
マーク１１の位置は、ＯＣＲ３４の略前方の位置となる
が、ＩＤマーク１１の姿勢は、所定の姿勢とならないこ
とがある。この時には、ＩＤマーク１１の位置関係情報
と、ウエハ１０の回転中心と載置台４１の回転中心との
ズレ量の算出結果から、コントローラ６０の移載量算出
機能により移載アーム３０の伸縮量、及びターンテーブ
ル３９の旋回角度が算出され、コントローラ６０の補正
機能により、ターンテーブル３９の旋回角度を基に既に
算出された載置台４１の旋回角度が補正される。ウエハ
１０の中心位置と、載置台４１の中心位置とのズレ真の
差が少ないと、ＩＤマーク１１がＯＣＲ３４の略精確な
姿勢で前方位置に位置し、ＯＣＲ３４の読み取り可能範
囲に収まるため、ターンテーブル３３の旋回角度を０度
とすることができ、載置台４１の補正角度は０度とな
る。
が、図４の（ａ）、（ｂ）、又は図５の（ａ）、（ｂ）
の場合、載置台４１に載置されたウエハ１０の中心位置
と、載置台４１の中心位置とのズレ量が大きいと、ＩＤ
マーク１１の位置は、ＯＣＲ３４の略前方の位置となる
が、ＩＤマーク１１の姿勢は、所定の姿勢とならないこ
とがある。この時には、ＩＤマーク１１の位置関係情報
と、ウエハ１０の回転中心と載置台４１の回転中心との
ズレ量の算出結果から、コントローラ６０の移載量算出
機能により移載アーム３０の伸縮量、及びターンテーブ
ル３９の旋回角度が算出され、コントローラ６０の補正
機能により、ターンテーブル３９の旋回角度を基に既に
算出された載置台４１の旋回角度が補正される。ウエハ
１０の中心位置と、載置台４１の中心位置とのズレ真の
差が少ないと、ＩＤマーク１１がＯＣＲ３４の略精確な
姿勢で前方位置に位置し、ＯＣＲ３４の読み取り可能範
囲に収まるため、ターンテーブル３３の旋回角度を０度
とすることができ、載置台４１の補正角度は０度とな
る。
【００４６】この状態で、ＯＣＲ４３によりウエハ１０
のＩＤマーク１１を読み取る（ステップＳ１０）。そし
て、移載装置３を作動させて、ウエハ１０の回転中心と
載置台４１の回転中心とを正確に合わせた状態で、図８
（ｅ）に示すように、ウエハ１０を載置台４１に載置す
る（ステップＳ１１）。
のＩＤマーク１１を読み取る（ステップＳ１０）。そし
て、移載装置３を作動させて、ウエハ１０の回転中心と
載置台４１の回転中心とを正確に合わせた状態で、図８
（ｅ）に示すように、ウエハ１０を載置台４１に載置す
る（ステップＳ１１）。
【００４７】そして、図８（ｆ）に示すように、ウエハ
１０を吸着孔４４、及び吸着溝４５・４５・・・で吸引
・保持して載置台４１を回転させる。すなわち、次の段
階で処置装置２１へウエハ１０を受け渡すときに、オリ
フラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）位置が処理装置２１の
要求する方向を向くように、予めウエハ１０の方向を転
換しておくのである（ステップＳ１２）。
１０を吸着孔４４、及び吸着溝４５・４５・・・で吸引
・保持して載置台４１を回転させる。すなわち、次の段
階で処置装置２１へウエハ１０を受け渡すときに、オリ
フラ１０ａ（又はノッチ１０ｂ）位置が処理装置２１の
要求する方向を向くように、予めウエハ１０の方向を転
換しておくのである（ステップＳ１２）。
【００４８】また、ここで移載アーム３０を動かして、
図８（ｇ）に示すように、移載ハンド３１の中心と載置
台４１の回転中心とを一致させる（ステップＳ１３）。
このとき前記ステップＳ１１でウエハ１０の回転中心と
載置台４１の回転中心とを一致させているために、移載
ハンド３１の中心と載置台４１の回転中心とウエハ１０
の回転中心とが一致することとなる。そうして、図８
（ｈ）に示すように、載置台４１上のウエハ１０を移載
ハンド３１ですくい、吸着孔３４・３４で吸引・保持し
て、移載アーム３０を屈伸させ、姿勢合わせ装置４から
取り出す（ステップＳ１４）。
図８（ｇ）に示すように、移載ハンド３１の中心と載置
台４１の回転中心とを一致させる（ステップＳ１３）。
このとき前記ステップＳ１１でウエハ１０の回転中心と
載置台４１の回転中心とを一致させているために、移載
ハンド３１の中心と載置台４１の回転中心とウエハ１０
の回転中心とが一致することとなる。そうして、図８
（ｈ）に示すように、載置台４１上のウエハ１０を移載
ハンド３１ですくい、吸着孔３４・３４で吸引・保持し
て、移載アーム３０を屈伸させ、姿勢合わせ装置４から
取り出す（ステップＳ１４）。
【００４９】そして、図３（ｂ）に示す平面視で、ター
ンテーブル３９を９０°反時計方向へ回転させ（ステッ
プＳ１５）、前記基台３８を所定高さに上下させて、移
載アーム３０を伸張させ、ウエハ１０を保持した移載ハ
ンド３１を処理装置２１の取込口２１ａへ挿入する。こ
うして、検査処理前のウエハ１０を取込口２１ａにセッ
トし、吸着孔３４・３４での吸引を解除した後、移載ア
ーム３０を屈曲させ、ウエハ１０下方から移載ハンド３
１を抜き出す（ステップＳ１６）。
ンテーブル３９を９０°反時計方向へ回転させ（ステッ
プＳ１５）、前記基台３８を所定高さに上下させて、移
載アーム３０を伸張させ、ウエハ１０を保持した移載ハ
ンド３１を処理装置２１の取込口２１ａへ挿入する。こ
うして、検査処理前のウエハ１０を取込口２１ａにセッ
トし、吸着孔３４・３４での吸引を解除した後、移載ア
ーム３０を屈曲させ、ウエハ１０下方から移載ハンド３
１を抜き出す（ステップＳ１６）。
【００５０】以上が本発明の実施例であり、このような
構成で、従来用いられていた高精度に移動が可能な移動
テーブルを用いずにウエハ１０の姿勢合わせを行い、本
発明では、ＩＤマーク１１の位置・姿勢を、一度算出し
た載置台４１の旋回角度を補正して、該載置台４１を旋
回させているため、移動テーブルを高精度に水平移動さ
せて補正していたときよりも、その補正に要する時間は
短縮し、ウエハ１０・１０・・・の移載効率が向上す
る。
構成で、従来用いられていた高精度に移動が可能な移動
テーブルを用いずにウエハ１０の姿勢合わせを行い、本
発明では、ＩＤマーク１１の位置・姿勢を、一度算出し
た載置台４１の旋回角度を補正して、該載置台４１を旋
回させているため、移動テーブルを高精度に水平移動さ
せて補正していたときよりも、その補正に要する時間は
短縮し、ウエハ１０・１０・・・の移載効率が向上す
る。
【００５１】尚、本実施例では、載置台４１を１回転
（３６０度）だけ旋回させて、ウエハ１０の中心位置の
ズレ等を算出しているが、複数回旋出させた上で算出し
ても良い。さらに、本実施例では、旋回角度算出機能で
旋回角度を算出している間等に載置台４１を停止させて
いるが、載置台４１を旋回させたまま旋回角度等を算出
するようにしても良い。
（３６０度）だけ旋回させて、ウエハ１０の中心位置の
ズレ等を算出しているが、複数回旋出させた上で算出し
ても良い。さらに、本実施例では、旋回角度算出機能で
旋回角度を算出している間等に載置台４１を停止させて
いるが、載置台４１を旋回させたまま旋回角度等を算出
するようにしても良い。
【００５２】また、本実施例では、２組のリニアーセン
サ４２・４２が設けられ、１２インチのウエハ１０、及
び８インチのウエハ１０の両方の中心位置が検出可能と
なっている。このため、無人搬送車１は、８インチウエ
ハ対応ライン向けの場合には、バッファカセット５が８
インチ用のものとなり、１２インチウエハ対応ライン向
けの場合には、バッファカセット５が１２インチ用のも
のとなる。さらに、８インチのウェハ１０と１２インチ
のウェハ１０とが混在したライン向けの場合には、バッ
ファカセット５は、例えば、８インチのウエハ１０と１
２インチのウエハ１０とをそれぞれ支持するための棚受
けを並設したものとなる。ウエハ１０・１０・・・が１
２インチか８インチかは、例えば、ＩＤマーク１１の位
置情報に記憶されており、それを基に、移載アーム３０
の伸張量、及びターンテーブル３９の旋回量が算出され
る。
サ４２・４２が設けられ、１２インチのウエハ１０、及
び８インチのウエハ１０の両方の中心位置が検出可能と
なっている。このため、無人搬送車１は、８インチウエ
ハ対応ライン向けの場合には、バッファカセット５が８
インチ用のものとなり、１２インチウエハ対応ライン向
けの場合には、バッファカセット５が１２インチ用のも
のとなる。さらに、８インチのウェハ１０と１２インチ
のウェハ１０とが混在したライン向けの場合には、バッ
ファカセット５は、例えば、８インチのウエハ１０と１
２インチのウエハ１０とをそれぞれ支持するための棚受
けを並設したものとなる。ウエハ１０・１０・・・が１
２インチか８インチかは、例えば、ＩＤマーク１１の位
置情報に記憶されており、それを基に、移載アーム３０
の伸張量、及びターンテーブル３９の旋回量が算出され
る。
【００５３】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成したので、次の
ような効果を奏するのである。まず、請求項１のよう
に、ターンテーブル上にウエハ移載用のアームを設けた
移載装置と、載置台にセットされたウエハの姿勢・方向
を揃える姿勢合わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマー
クを読み取る読取装置とを備えるウエハ移載システムに
おいて、載置台上にセットされたウエハの中心位置を算
出する算出手段と、その算出結果と予め受け取っている
ＩＤマークの位置情報とに基づき、ウエハが所定の姿勢
となるために必要な載置台の旋回角度を算出する旋回角
度算出手段と、前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に
対してＩＤマークが所定の位置及び姿勢となるようセッ
トするために必要な、前記移載装置のアームの伸縮量及
びターンテーブルの旋回角度を算出する移載量算出手段
と、該移載量算出手段により算出されたターンテーブル
の旋回角度を基に、前記旋回角度算出手段により算出さ
れた載置台の旋回角度を補正する補正手段と、を設ける
ことで、従来用いられていた、高精度に移動が可能な移
動テーブルは不要となる。また本発明では、ウエハのＩ
Ｄマークの位置・姿勢の制御を、一度算出した載置台の
旋回角度を補正し、その補正後の角度だけ載置台を旋回
させることにより行うため、移動テーブルを高精度に水
平移動させて補正していたときよりも、その補正に要す
る時間は短縮し、ウエハの移載効率が向上する。
ような効果を奏するのである。まず、請求項１のよう
に、ターンテーブル上にウエハ移載用のアームを設けた
移載装置と、載置台にセットされたウエハの姿勢・方向
を揃える姿勢合わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマー
クを読み取る読取装置とを備えるウエハ移載システムに
おいて、載置台上にセットされたウエハの中心位置を算
出する算出手段と、その算出結果と予め受け取っている
ＩＤマークの位置情報とに基づき、ウエハが所定の姿勢
となるために必要な載置台の旋回角度を算出する旋回角
度算出手段と、前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に
対してＩＤマークが所定の位置及び姿勢となるようセッ
トするために必要な、前記移載装置のアームの伸縮量及
びターンテーブルの旋回角度を算出する移載量算出手段
と、該移載量算出手段により算出されたターンテーブル
の旋回角度を基に、前記旋回角度算出手段により算出さ
れた載置台の旋回角度を補正する補正手段と、を設ける
ことで、従来用いられていた、高精度に移動が可能な移
動テーブルは不要となる。また本発明では、ウエハのＩ
Ｄマークの位置・姿勢の制御を、一度算出した載置台の
旋回角度を補正し、その補正後の角度だけ載置台を旋回
させることにより行うため、移動テーブルを高精度に水
平移動させて補正していたときよりも、その補正に要す
る時間は短縮し、ウエハの移載効率が向上する。
【００５４】そうして、請求項２のように、ターンテー
ブル上にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、載
置台にセットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢合
わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み取る読
取装置とを備えるウエハ移載システムにおいて、載置台
上にセットされたウエハの中心位置を算出し、その算出
結果と予め受け取っているＩＤマークの位置情報とに基
づき、ウエハが所定の姿勢となるまでの載置台の旋回角
度を算出し、前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に対
してＩＤマークが所定の位置及び姿勢となるようセット
するために必要な、前記移載装置のアームの伸縮量及び
ターンテーブルの旋回角度を算出し、該移載量算出手段
により算出されたターンテーブルの旋回角度を基に、前
記旋回角度算出手段により算出された載置台の旋回角度
を補正し、補正後の旋回角度だけ載置台を旋回させてウ
エハを転回し、転回されたウエハを移載装置により読取
装置側へ移動させ、該読取装置に対してＩＤマークが前
記所定の位置及び姿勢でセットされるようにするため、
従来用いられていた、高精度に移動が可能な移動テーブ
ルは不要となる。また本発明では、ウエハのＩＤマーク
の位置・姿勢の制御を、一度算出した載置台の旋回角度
を補正し、その補正後の角度だけ載置台を旋回させるこ
とにより行うため、移動テーブルを高精度に水平移動さ
せて補正していたときよりも、その補正に要する時間は
短縮し、ウエハの移載効率が向上する。
ブル上にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、載
置台にセットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢合
わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み取る読
取装置とを備えるウエハ移載システムにおいて、載置台
上にセットされたウエハの中心位置を算出し、その算出
結果と予め受け取っているＩＤマークの位置情報とに基
づき、ウエハが所定の姿勢となるまでの載置台の旋回角
度を算出し、前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に対
してＩＤマークが所定の位置及び姿勢となるようセット
するために必要な、前記移載装置のアームの伸縮量及び
ターンテーブルの旋回角度を算出し、該移載量算出手段
により算出されたターンテーブルの旋回角度を基に、前
記旋回角度算出手段により算出された載置台の旋回角度
を補正し、補正後の旋回角度だけ載置台を旋回させてウ
エハを転回し、転回されたウエハを移載装置により読取
装置側へ移動させ、該読取装置に対してＩＤマークが前
記所定の位置及び姿勢でセットされるようにするため、
従来用いられていた、高精度に移動が可能な移動テーブ
ルは不要となる。また本発明では、ウエハのＩＤマーク
の位置・姿勢の制御を、一度算出した載置台の旋回角度
を補正し、その補正後の角度だけ載置台を旋回させるこ
とにより行うため、移動テーブルを高精度に水平移動さ
せて補正していたときよりも、その補正に要する時間は
短縮し、ウエハの移載効率が向上する。
【００５５】さらに、請求項３に記載の如く、ターンテ
ーブル上にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、
載置台にセットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢
合わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み取る
読取装置とを備える、無人搬送車と、ステーションと、
を備えた無人搬送車システムにおいて、該無人搬送車に
請求項１記載のウエハ移載システムを設けることで、該
無人搬送車で目的のステーションまでウエハを搬送し、
無人搬送車上でウエハのＩＤマークを認識し、ステーシ
ョンに対しＩＤ情報を受け渡すとともにウエハを移載す
ることができる。また、この無人搬送車には、ウエハが
所定の姿勢となるように高精度の移動が可能な移動テー
ブルは不要となり、ウエハの姿勢を、載置台の旋回量
と、ターンテーブルの旋回量と、アームの伸張量により
補正するため、移動テーブルを高精度に水平移動させて
補正していたときよりも、その補正に要する時間が短縮
し、ウエハの移載が高速化して、移載効率が向上する。
ーブル上にウエハ移載用のアームを設けた移載装置と、
載置台にセットされたウエハの姿勢・方向を揃える姿勢
合わせ装置と、ウエハに付されたＩＤマークを読み取る
読取装置とを備える、無人搬送車と、ステーションと、
を備えた無人搬送車システムにおいて、該無人搬送車に
請求項１記載のウエハ移載システムを設けることで、該
無人搬送車で目的のステーションまでウエハを搬送し、
無人搬送車上でウエハのＩＤマークを認識し、ステーシ
ョンに対しＩＤ情報を受け渡すとともにウエハを移載す
ることができる。また、この無人搬送車には、ウエハが
所定の姿勢となるように高精度の移動が可能な移動テー
ブルは不要となり、ウエハの姿勢を、載置台の旋回量
と、ターンテーブルの旋回量と、アームの伸張量により
補正するため、移動テーブルを高精度に水平移動させて
補正していたときよりも、その補正に要する時間が短縮
し、ウエハの移載が高速化して、移載効率が向上する。
【図１】クリーンルーム内の無人搬送車１の様子を示す
斜視図。
斜視図。
【図２】無人搬送車１の側面断面図。
【図３】（ａ）はウエハ１０をバッファカセット５から
取り出しすときの無人搬送車１の平面図。（ｂ）はウエ
ハ１０を姿勢合わせ装置４へ移載するときの無人搬送車
１の平面図。
取り出しすときの無人搬送車１の平面図。（ｂ）はウエ
ハ１０を姿勢合わせ装置４へ移載するときの無人搬送車
１の平面図。
【図４】オリフラ１０ａを有するウエハ１０の平面図。
（ａ）はＩＤマーク１１を通常位置に刻印したウエハ１
０の平面図。（ｂ）はＩＤマーク１１を通常位置から円
周方向へずらして刻印したウエハ１０の平面図。（ｃ）
はＩＤマーク１１を通常位置から平行移動させて刻印し
たウエハ１０の平面図。
（ａ）はＩＤマーク１１を通常位置に刻印したウエハ１
０の平面図。（ｂ）はＩＤマーク１１を通常位置から円
周方向へずらして刻印したウエハ１０の平面図。（ｃ）
はＩＤマーク１１を通常位置から平行移動させて刻印し
たウエハ１０の平面図。
【図５】ノッチ１０ｂを有するウエハ１０の平面図。
（ａ）はＩＤマーク１１を通常位置に刻印したウエハ１
０の平面図。（ｂ）はＩＤマーク１１を通常位置から円
周方向へずらして刻印したウエハ１０の平面図。（ｃ）
はＩＤマーク１１を通常位置から平行移動させて刻印し
たウエハ１０の平面図。
（ａ）はＩＤマーク１１を通常位置に刻印したウエハ１
０の平面図。（ｂ）はＩＤマーク１１を通常位置から円
周方向へずらして刻印したウエハ１０の平面図。（ｃ）
はＩＤマーク１１を通常位置から平行移動させて刻印し
たウエハ１０の平面図。
【図６】無人搬送車１の制御構成を示すブロック図。
【図７】無人搬送車１によるウエハ１０の移載処理を示
すフローチャート。
すフローチャート。
【図８】ＩＤマーク１１を通常位置に刻印したウエハ１
０の姿勢合わせの様子を示す姿勢合わせ装置４の平面
図。（ａ）は姿勢合わせ装置４にウエハ１０をセットす
るときの姿勢合わせ装置４の平面図。（ｂ）はリニアー
センサ４２によりウエハ１０の回転軌跡を認識するとき
の姿勢合わせ装置４の平面図。（ｃ）は補正された旋回
角度に載置台４１を転回させたときの姿勢合わせ装置４
の平面図。（ｄ）はウエハ１０のＩＤマーク１１をＯＣ
Ｒ４３にセットするときの姿勢合わせ装置４の平面図。
（ｅ）はウエハ１０を載置台４１に載置するときの姿勢
合わせ装置４の平面図。（ｆ）は載置台４１を回転させ
ウエハ１０を方向転換したときの姿勢合わせ装置４の平
面図。（ｇ）は移載アーム３０を微妙に動かし移載ハン
ド３１の中心と載置台４１の回転中心とを一致させると
きの姿勢合わせ装置４の平面図。（ｈ）は姿勢合わせ装
置４からウエハ１０を取り出すときの姿勢合わせ装置４
の平面図。
０の姿勢合わせの様子を示す姿勢合わせ装置４の平面
図。（ａ）は姿勢合わせ装置４にウエハ１０をセットす
るときの姿勢合わせ装置４の平面図。（ｂ）はリニアー
センサ４２によりウエハ１０の回転軌跡を認識するとき
の姿勢合わせ装置４の平面図。（ｃ）は補正された旋回
角度に載置台４１を転回させたときの姿勢合わせ装置４
の平面図。（ｄ）はウエハ１０のＩＤマーク１１をＯＣ
Ｒ４３にセットするときの姿勢合わせ装置４の平面図。
（ｅ）はウエハ１０を載置台４１に載置するときの姿勢
合わせ装置４の平面図。（ｆ）は載置台４１を回転させ
ウエハ１０を方向転換したときの姿勢合わせ装置４の平
面図。（ｇ）は移載アーム３０を微妙に動かし移載ハン
ド３１の中心と載置台４１の回転中心とを一致させると
きの姿勢合わせ装置４の平面図。（ｈ）は姿勢合わせ装
置４からウエハ１０を取り出すときの姿勢合わせ装置４
の平面図。
【図９】ＩＤマーク１１を通常位置から円周方向へずら
して刻印した姿勢合わせの様子を示す姿勢合わせ装置４
の平面図。（ａ）は補正された旋回角度に載置台４１を
転回させたときの姿勢合わせ装置４の平面図。（ｂ）は
ウエハ１０のＩＤマーク１１をＯＣＲ４３にセットする
ときの姿勢合わせ装置４の平面図。
して刻印した姿勢合わせの様子を示す姿勢合わせ装置４
の平面図。（ａ）は補正された旋回角度に載置台４１を
転回させたときの姿勢合わせ装置４の平面図。（ｂ）は
ウエハ１０のＩＤマーク１１をＯＣＲ４３にセットする
ときの姿勢合わせ装置４の平面図。
【図１０】ＩＤマーク１１を通常位置から平行移動させ
て刻印したウエハ１０の姿勢合わせの様子を示す姿勢合
わせ装置４の平面図。（ａ）は補正された旋回角度に載
置台４１を転回させるときの姿勢合わせ装置４の平面
図。（ｂ）は補正された旋回角度に載置台４１を転回さ
せたときの姿勢合わせ装置４の平面図。（ｃ）はウエハ
１０のＩＤマーク１１をＯＣＲ４３にセットするときの
姿勢合わせ装置４の平面図。
て刻印したウエハ１０の姿勢合わせの様子を示す姿勢合
わせ装置４の平面図。（ａ）は補正された旋回角度に載
置台４１を転回させるときの姿勢合わせ装置４の平面
図。（ｂ）は補正された旋回角度に載置台４１を転回さ
せたときの姿勢合わせ装置４の平面図。（ｃ）はウエハ
１０のＩＤマーク１１をＯＣＲ４３にセットするときの
姿勢合わせ装置４の平面図。
【図１１】ＩＤマーク１１を通常位置から平行移動させ
て刻印したウエハ１０の姿勢合わせの旋回角度を説明す
るウエハ１０の平面図。
て刻印したウエハ１０の姿勢合わせの旋回角度を説明す
るウエハ１０の平面図。
１ 無人搬送車
３ 移載装置
４ 姿勢合わせ装置
５ バッファカセット
１０ ウエハ
１１ ＩＤマーク
２１ 処理装置
２２ ストッカ
２３ カセット
３０ 移載アーム
３１ 移載ハンド
３４ 吸着孔
３９ ターンテーブル
４１ 載置台
４２ リニアーセンサ
４３ ＯＣＲ
４４ 吸着孔
６０ コントローラ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 富田 克
京都市伏見区竹田向代町136番地 村田機
械株式会社本社工場内
Ｆターム(参考） 5F031 CA02 FA01 FA11 GA03 GA08
GA38 GA50 GA58 GA59 HA13
JA03 JA28 JA29 JA34 JA35
JA50 KA08 KA12 MA33
5H301 AA02 AA09 BB05 CC03 CC06
CC09 EE02 EE12 GG08
Claims (3)
- 【請求項１】 ターンテーブル上にウエハ移載用のアー
ムを設けた移載装置と、載置台にセットされたウエハの
姿勢・方向を揃える姿勢合わせ装置と、ウエハに付され
たＩＤマークを読み取る読取装置とを備えるウエハ移載
システムにおいて、 載置台上にセットされたウエハの中心位置を算出する算
出手段と、 その算出結果と予め受け取っているＩＤマークの位置情
報とに基づき、ウエハが所定の姿勢となるために必要な
載置台の旋回角度を算出する旋回角度算出手段と、 前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に対してＩＤマー
クが所定の位置及び姿勢となるようセットするために必
要な、前記移載装置のアームの伸縮量及びターンテーブ
ルの旋回角度を算出する移載量算出手段と、 該移載量算出手段により算出されたターンテーブルの旋
回角度を基に、前記旋回角度算出手段により算出された
載置台の旋回角度を補正する補正手段と、 を設けたことを特徴とする、ウエハ移載システム。 - 【請求項２】 ターンテーブル上にウエハ移載用のアー
ムを設けた移載装置と、載置台にセットされたウエハの
姿勢・方向を揃える姿勢合わせ装置と、ウエハに付され
たＩＤマークを読み取る読取装置とを備えるウエハ移載
システムにおいて、 載置台上にセットされたウエハの中心位置を算出し、 その算出結果と予め受け取っているＩＤマークの位置情
報とに基づき、ウエハが所定の姿勢となるまでの載置台
の旋回角度を算出し、 前記所定の姿勢のウエハを、読取装置に対してＩＤマー
クが所定の位置及び姿勢となるようセットするために必
要な、前記移載装置のアームの伸縮量及びターンテーブ
ルの旋回角度を算出し、 該移載量算出手段により算出されたターンテーブルの旋
回角度を基に、前記旋回角度算出手段により算出された
載置台の旋回角度を補正し、 補正後の旋回角度だけ載置台を旋回させてウエハを転回
し、 転回されたウエハを移載装置により読取装置側へ移動さ
せ、該読取装置に対してＩＤマークが前記所定の位置及
び姿勢でセットされるようにすることを特徴とする、ウ
エハ移載方法。 - 【請求項３】 ターンテーブル上にウエハ移載用のアー
ムを設けた移載装置と、載置台にセットされたウエハの
姿勢・方向を揃える姿勢合わせ装置と、ウエハに付され
たＩＤマークを読み取る読取装置とを備える、無人搬送
車と、 ステーションと、を備えた無人搬送車システムにおい
て、 該無人搬送車に請求項１記載のウエハ移載システムを設
けたことを特徴とする、無人搬送車システム。
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
| JP2001223059A JP4219579B2 (ja) | 2001-07-24 | 2001-07-24 | ウエハ移載システム及びウエハ移載方法、並びに無人搬送車システム |
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|---|---|
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| JP2007005794A (ja) * | 2005-06-20 | 2007-01-11 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置の予備位置合わせ基板、デバイス製造方法、およびその製造方法で製造したデバイス |
| JP2010016073A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Yaskawa Electric Corp | ウェハのアライメント装置、それを備えた搬送装置、半導体製造装置 |
| JP2010541039A (ja) * | 2007-09-22 | 2010-12-24 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | ウェハｉｄを同時に読み取るための方法及び装置 |
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2002
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- 2002-02-22 KR KR1020020009527A patent/KR100659412B1/ko not_active IP Right Cessation
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