JPH07117847A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH07117847A JPH07117847A JP5285769A JP28576993A JPH07117847A JP H07117847 A JPH07117847 A JP H07117847A JP 5285769 A JP5285769 A JP 5285769A JP 28576993 A JP28576993 A JP 28576993A JP H07117847 A JPH07117847 A JP H07117847A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer
- stop position
- transport
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送台車に載置されたウエハの位置を搬送台
車の停止位置で修正できる機能（センタリング機能）を
備えた搬送装置を提供する。 【構成】 被搬送物３３を搭載した搬送台車１を停止位
置決めする装置１３，１４を備えた搬送装置において、
前記被搬送物３３移載の為の前記搬送台車１の停止位置
に、被搬送物３３の所在位置を検出するセンサ２を設
け、該被搬送物の停止位置と、予め設定された被搬送物
の所在位置とを比較して、そのずれがゼロとなる様に、
前記搬送台車１の位置決め装置１３，１４を動作させて
前記搬送台車１を移動させ、前記被搬送物３３を所定の
停止位置に移動させる手段を備えた。
車の停止位置で修正できる機能（センタリング機能）を
備えた搬送装置を提供する。 【構成】 被搬送物３３を搭載した搬送台車１を停止位
置決めする装置１３，１４を備えた搬送装置において、
前記被搬送物３３移載の為の前記搬送台車１の停止位置
に、被搬送物３３の所在位置を検出するセンサ２を設
け、該被搬送物の停止位置と、予め設定された被搬送物
の所在位置とを比較して、そのずれがゼロとなる様に、
前記搬送台車１の位置決め装置１３，１４を動作させて
前記搬送台車１を移動させ、前記被搬送物３３を所定の
停止位置に移動させる手段を備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造ライン等に
使用される、半導体製造用ウエハ等を高清浄度の環境下
で搬送する搬送装置に関する。
使用される、半導体製造用ウエハ等を高清浄度の環境下
で搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６に半導体製造ラインの半導体製造装
置の配置の一例を示す。種々の真空処理装置１０が、真
空の搬送トンネル１１で接続され、真空トンネル１１の
中を図示しない搬送台車が半導体ウエハを搭載して移動
し、ウエハをある処理装置１０から次の処理装置１０へ
運んでいく。
置の配置の一例を示す。種々の真空処理装置１０が、真
空の搬送トンネル１１で接続され、真空トンネル１１の
中を図示しない搬送台車が半導体ウエハを搭載して移動
し、ウエハをある処理装置１０から次の処理装置１０へ
運んでいく。
【０００３】図７は、真空トンネル内をウェハを搬送す
る搬送装置（ここでは磁気浮上搬送装置が用いられてい
る）１１の断面図である。係る構造の磁気浮上搬送装置
については、本出願人により国際特許出願ＰＣＴ／ＪＰ
９３／００９３０等によりその詳細が開示される。トン
ネル隔壁３０の上部には浮上用電磁石３１がトンネルに
沿って列設されている。同様に、トンネル隔壁３０の下
部には、リニアモータを構成する電磁石３２がトンネル
に沿って列設されている。半導体基板３３を搭載する搬
送台１は、その上面に磁性材３４を備え、浮上用電磁石
３１の磁気吸引力により搬送台１は浮上懸架される。搬
送台１は浮上懸架された状態でリニアモータ３２により
水平方向に駆動される。このような搬送装置１１の構成
により、半導体基板３３は搬送台１に搭載され、真空ト
ンネルの隔壁３０から非接触浮上した状態で処理装置１
０間を搬送される。
る搬送装置（ここでは磁気浮上搬送装置が用いられてい
る）１１の断面図である。係る構造の磁気浮上搬送装置
については、本出願人により国際特許出願ＰＣＴ／ＪＰ
９３／００９３０等によりその詳細が開示される。トン
ネル隔壁３０の上部には浮上用電磁石３１がトンネルに
沿って列設されている。同様に、トンネル隔壁３０の下
部には、リニアモータを構成する電磁石３２がトンネル
に沿って列設されている。半導体基板３３を搭載する搬
送台１は、その上面に磁性材３４を備え、浮上用電磁石
３１の磁気吸引力により搬送台１は浮上懸架される。搬
送台１は浮上懸架された状態でリニアモータ３２により
水平方向に駆動される。このような搬送装置１１の構成
により、半導体基板３３は搬送台１に搭載され、真空ト
ンネルの隔壁３０から非接触浮上した状態で処理装置１
０間を搬送される。
【０００４】ところで、搬送台車は停止点に近づくとト
ンネル隔壁に配設されたリニアモータにより逆推力を与
えられ減速し、最後に停止位置決め装置により予め決め
られた位置に停止する。この位置決め装置に関しては、
例えば特公平３−３５２１５号公報等にて詳細に説明さ
れている。位置決め装置の動作原理を図８に、フィード
バック制御のブロック図を図９に示す。
ンネル隔壁に配設されたリニアモータにより逆推力を与
えられ減速し、最後に停止位置決め装置により予め決め
られた位置に停止する。この位置決め装置に関しては、
例えば特公平３−３５２１５号公報等にて詳細に説明さ
れている。位置決め装置の動作原理を図８に、フィード
バック制御のブロック図を図９に示す。
【０００５】位置決め装置は、軌道側には一対の磁極１
３ａ，１４ａを備えている。磁極１３ａ，１４ａにはそ
れぞれコイル１３ｂ，１４ｂが巻回されている。同様
に、軌道側には変位センサ１２を備えている。一方、搬
送台１側には磁性材１３ｃ，１４ｃを備えている。又変
位センサのターゲットとなる傾斜した部材１５を備えて
いる。変位センサ１２がターゲット部材１５との間隔を
測定することにより、搬送台１の移動方向の変位が検出
される。搬送台の停止位置の目標値と検出された搬送台
１の変位を比較し、その偏差をゼロにするように搬送台
位置コントローラ１６から電源１７に信号が送られ、コ
イル１３ｂ，１４ｂに励磁電流ＩL ，ＩR が印加され、
磁極１３ａは磁性材１３ｃに対して、磁極１４ａは磁性
材１４ｃに対して、それぞれ磁気吸引力を作用させる。
即ち、一対の位置決め装置１３，１４の磁気吸引力を制
御することにより、搬送台１は目標停止位置Ｃに位置決
めされる。
３ａ，１４ａを備えている。磁極１３ａ，１４ａにはそ
れぞれコイル１３ｂ，１４ｂが巻回されている。同様
に、軌道側には変位センサ１２を備えている。一方、搬
送台１側には磁性材１３ｃ，１４ｃを備えている。又変
位センサのターゲットとなる傾斜した部材１５を備えて
いる。変位センサ１２がターゲット部材１５との間隔を
測定することにより、搬送台１の移動方向の変位が検出
される。搬送台の停止位置の目標値と検出された搬送台
１の変位を比較し、その偏差をゼロにするように搬送台
位置コントローラ１６から電源１７に信号が送られ、コ
イル１３ｂ，１４ｂに励磁電流ＩL ，ＩR が印加され、
磁極１３ａは磁性材１３ｃに対して、磁極１４ａは磁性
材１４ｃに対して、それぞれ磁気吸引力を作用させる。
即ち、一対の位置決め装置１３，１４の磁気吸引力を制
御することにより、搬送台１は目標停止位置Ｃに位置決
めされる。
【０００６】搬送台１が停止すると、真空処理装置１０
の移載ロボットがアームを伸ばし、ウエハを搬送台から
プロセスチャンバへ移載し所定の処理を行なった後、こ
の移載ロボットが、真空処理装置からウエハを取りだ
し、搬送台に再び載せる。その後、搬送台は移動してウ
エハを搬送し、次の処理装置の所で停止し、また同様の
動作が繰り返される。
の移載ロボットがアームを伸ばし、ウエハを搬送台から
プロセスチャンバへ移載し所定の処理を行なった後、こ
の移載ロボットが、真空処理装置からウエハを取りだ
し、搬送台に再び載せる。その後、搬送台は移動してウ
エハを搬送し、次の処理装置の所で停止し、また同様の
動作が繰り返される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このウエハ
の移載及び搬送工程を繰り返すうちに、移載／搬送時の
ウエハ位置誤差が累積され、搬送台車にウエハが載せら
れた時、ウエハの実際の位置は所定の位置からづれてし
まう事がある。一度づれてしまうと、図１０に示す様に
ウエハはロボットアームに対して所定の位置からづれて
載ってしまう。即ち、符号１９はあらかじめ設定された
ウエハの停止位置である。これに対して、符号２０は実
際のウエハの所在位置である。即ち、符号２１に示すウ
エハ中心のズレが生じる。尚、符号２２はロボットアー
ムの先端である。その為、本来はぶつかるはずのない、
バルブにウエハが接触してエッジが欠けたり、ひどい場
合は、ウエハが搬送台から落下してしまう。
の移載及び搬送工程を繰り返すうちに、移載／搬送時の
ウエハ位置誤差が累積され、搬送台車にウエハが載せら
れた時、ウエハの実際の位置は所定の位置からづれてし
まう事がある。一度づれてしまうと、図１０に示す様に
ウエハはロボットアームに対して所定の位置からづれて
載ってしまう。即ち、符号１９はあらかじめ設定された
ウエハの停止位置である。これに対して、符号２０は実
際のウエハの所在位置である。即ち、符号２１に示すウ
エハ中心のズレが生じる。尚、符号２２はロボットアー
ムの先端である。その為、本来はぶつかるはずのない、
バルブにウエハが接触してエッジが欠けたり、ひどい場
合は、ウエハが搬送台から落下してしまう。
【０００８】本発明は係る従来技術の問題点に鑑みて為
されたものであり、搬送台に載置されたウエハの位置を
搬送台の停止位置で修正できる機能（センタリング機
能）を備えた搬送装置を提供することを目的とする。
されたものであり、搬送台に載置されたウエハの位置を
搬送台の停止位置で修正できる機能（センタリング機
能）を備えた搬送装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の搬送装置は、被
搬送物を搭載した搬送台車を停止位置決めする装置を備
えた搬送装置において、前記被搬送物移載の為の前記搬
送台車の停止位置に、被搬送物の所在位置を検出するセ
ンサを設け、該被搬送物の停止位置と、予め設定された
被搬送物の所在位置とを比較して、そのずれがゼロとな
る様に、前記搬送台車の位置決め装置を動作させて前記
搬送台車を移動させ、前記被搬送物を所定の停止位置に
移動させる手段を備えたことを特徴とする。
搬送物を搭載した搬送台車を停止位置決めする装置を備
えた搬送装置において、前記被搬送物移載の為の前記搬
送台車の停止位置に、被搬送物の所在位置を検出するセ
ンサを設け、該被搬送物の停止位置と、予め設定された
被搬送物の所在位置とを比較して、そのずれがゼロとな
る様に、前記搬送台車の位置決め装置を動作させて前記
搬送台車を移動させ、前記被搬送物を所定の停止位置に
移動させる手段を備えたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】搬送台をまず所定の停止位置に停止させた後、
搬送台に載っているウエハの位置を計測し、あらかじめ
設定された所定の位置に対してづれている場合は、その
ウエハが所定の位置に来るように、停止位置決め装置の
保持電流のバランスを変化させて搬送台車の位置を変え
て、ウエハが所定の位置に来るようにするものである。
搬送台に載っているウエハの位置を計測し、あらかじめ
設定された所定の位置に対してづれている場合は、その
ウエハが所定の位置に来るように、停止位置決め装置の
保持電流のバランスを変化させて搬送台車の位置を変え
て、ウエハが所定の位置に来るようにするものである。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面を参照しな
がら説明する。尚、各図中の同一符号は同一又は相当部
分を示す。
がら説明する。尚、各図中の同一符号は同一又は相当部
分を示す。
【００１２】図１に磁気浮上搬送装置に本発明を適用し
た例を示す。図は搬送台１の停止位置近傍を示す。搬送
方向Ｍに図示しない浮上用電磁石により浮上懸架され、
リニアモータによって推進力及び減速力を受け走行する
搬送台１は、一対の位置決め装置１３，１４により所定
の停止位置に停止位置決めされる。搬送台１の停止点で
は、変位センサ１２が搬送台１に固設されたターゲット
１５との間隔を検出することから搬送台１の移動方向Ｍ
の位置を検出する。そして、搬送台１の位置に応じて位
置決め装置１３，１４の電磁石コイル１３ｂ，１４ｂに
電流を流し励磁することにより、搬送台に固設された磁
性材１３ｃ，１４ｃに磁気吸引力を及ぼし、所定の目標
位置に搬送台１を停止位置決めする。尚、図示しないが
搬送方向Ｍとその水平面内の直角方向（紙面に垂直な方
向）にも位置決め装置１３，１４と同様な位置決め装置
が備えられ、搬送方向Ｍに対して直角な方向にも搬送台
１を位置決めする。
た例を示す。図は搬送台１の停止位置近傍を示す。搬送
方向Ｍに図示しない浮上用電磁石により浮上懸架され、
リニアモータによって推進力及び減速力を受け走行する
搬送台１は、一対の位置決め装置１３，１４により所定
の停止位置に停止位置決めされる。搬送台１の停止点で
は、変位センサ１２が搬送台１に固設されたターゲット
１５との間隔を検出することから搬送台１の移動方向Ｍ
の位置を検出する。そして、搬送台１の位置に応じて位
置決め装置１３，１４の電磁石コイル１３ｂ，１４ｂに
電流を流し励磁することにより、搬送台に固設された磁
性材１３ｃ，１４ｃに磁気吸引力を及ぼし、所定の目標
位置に搬送台１を停止位置決めする。尚、図示しないが
搬送方向Ｍとその水平面内の直角方向（紙面に垂直な方
向）にも位置決め装置１３，１４と同様な位置決め装置
が備えられ、搬送方向Ｍに対して直角な方向にも搬送台
１を位置決めする。
【００１３】停止点のトンネル上部には、ガラス窓３が
あり、その外気側にはトンネルに対するウエハの位置を
検出する為のイメージセンサ２が設置されている。搬送
台１の上面には、図２に示す様に４箇所の開口５があ
り、ここを経由して、ウエハ３３の外周４箇所がイメー
ジセンサ２によって検知される。ウエハ３３には通常オ
リフラ(Orientation Flat)と呼ばれる切り欠き３６があ
るので、これを考慮して、図示しない演算処理装置によ
り、ウエハの中心位置が認識される。
あり、その外気側にはトンネルに対するウエハの位置を
検出する為のイメージセンサ２が設置されている。搬送
台１の上面には、図２に示す様に４箇所の開口５があ
り、ここを経由して、ウエハ３３の外周４箇所がイメー
ジセンサ２によって検知される。ウエハ３３には通常オ
リフラ(Orientation Flat)と呼ばれる切り欠き３６があ
るので、これを考慮して、図示しない演算処理装置によ
り、ウエハの中心位置が認識される。
【００１４】図３は、ウエハの中心位置を認識する手順
を示す。まず、４箇所の開口５から撮像されたウエハの
外周４点の座標（ＸI ，ＹI ），Ｉ＝１・・・４の読み
込みを行う。次に円の中心（Ｘ0 ，Ｙ0 ）及び円の半径
ｒを連立方程式を解いて求める。求められた解から半径
ｒが一番小さな中心位置（Ｘ0 ，Ｙ0 ）をウエハの実際
の中心位置と認識する。
を示す。まず、４箇所の開口５から撮像されたウエハの
外周４点の座標（ＸI ，ＹI ），Ｉ＝１・・・４の読み
込みを行う。次に円の中心（Ｘ0 ，Ｙ0 ）及び円の半径
ｒを連立方程式を解いて求める。求められた解から半径
ｒが一番小さな中心位置（Ｘ0 ，Ｙ0 ）をウエハの実際
の中心位置と認識する。
【００１５】図４には、第１実施例の制御系のブロック
線図を示す。すなわち搬送台の位置を検出してこの位置
が設定値になる様、フィードバック制御する従来の制御
ループに加えて、ウエハの位置を検出して、その位置が
設定の値になる様に、搬送台車の位置決めの目標値を徐
々に変化させるフィードバック制御がスイッチによって
制御系に入る様になっている。
線図を示す。すなわち搬送台の位置を検出してこの位置
が設定値になる様、フィードバック制御する従来の制御
ループに加えて、ウエハの位置を検出して、その位置が
設定の値になる様に、搬送台車の位置決めの目標値を徐
々に変化させるフィードバック制御がスイッチによって
制御系に入る様になっている。
【００１６】図５には、第２実施例の制御系のブロック
線図を示す。第１実施例では制御の基本的な考え方とし
て、ウエハの位置を検出して搬送台車の位置のフィード
バック制御系の目標値を変化させる、いわば適応制御の
考え方を用いた。第２実施例では、ウエハの位置の信号
を直接用いてフィードバック制御系を組んだものであ
る。
線図を示す。第１実施例では制御の基本的な考え方とし
て、ウエハの位置を検出して搬送台車の位置のフィード
バック制御系の目標値を変化させる、いわば適応制御の
考え方を用いた。第２実施例では、ウエハの位置の信号
を直接用いてフィードバック制御系を組んだものであ
る。
【００１７】尚、以上の説明は磁気浮上搬送装置に適用
したものを示したが、搬送装置としては例えば通常の車
輪を有する搬送台車を用いた接触式の搬送装置にも適用
できることは勿論のことである。このように、本発明の
趣旨を逸脱することなく各種の変形実施例が可能であ
る。
したものを示したが、搬送装置としては例えば通常の車
輪を有する搬送台車を用いた接触式の搬送装置にも適用
できることは勿論のことである。このように、本発明の
趣旨を逸脱することなく各種の変形実施例が可能であ
る。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、ウエハの搬送等に使用される
搬送装置において、搬送台車停止位置を搬送台車に載っ
ているウエハの位置が所定の位置に来るように、停止位
置決め装置の保持電流のバランスを変化させて搬送台車
の位置を変える様にしたものである。この結果搬送／移
載中に被搬送物の位置が累積誤差によって所定の位置か
らずれていってしまう事を防止する事ができる。すなわ
ち搬送装置に被搬送物のセンタリング機能を付与するこ
とができる。
搬送装置において、搬送台車停止位置を搬送台車に載っ
ているウエハの位置が所定の位置に来るように、停止位
置決め装置の保持電流のバランスを変化させて搬送台車
の位置を変える様にしたものである。この結果搬送／移
載中に被搬送物の位置が累積誤差によって所定の位置か
らずれていってしまう事を防止する事ができる。すなわ
ち搬送装置に被搬送物のセンタリング機能を付与するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例の搬送装置の断面図。
【図２】図１における搬送台の（Ａ）上面図、（Ｂ）斜
視図。
視図。
【図３】ウエハの中心位置を認識するプログラムの説明
図。
図。
【図４】本発明の第１実施例の搬送台車の位置制御のブ
ロック図。
ロック図。
【図５】本発明の第２実施例の搬送台車の位置制御のブ
ロック図。
ロック図。
【図６】真空処理装置が真空トンネルで接続された配置
を示す説明図。
を示す説明図。
【図７】磁気浮上搬送装置の一例を示す断面図。
【図８】位置決め装置の原理を示す説明図。
【図９】従来の位置決め装置の制御系のブロック図。
【図１０】ウエハのあらかじめ設定された位置に対する
実際の所在位置のズレを示す説明図。
実際の所在位置のズレを示す説明図。
１ 搬送台 ２ イメージセンサ ３ ガラス ５ 開口 １１ 真空トンネル（磁気浮上搬送装置） １２ 位置センサ １３，１４ 位置決め装置 １３ａ，１４ａ 磁極 １３ｂ，１４ｂ コイル １３ｃ，１４ｃ 位置決めターゲット部材 １５ 変位センサターゲット ３３ ウエハ Ｍ 搬送台車の移動方向
Claims (3)
- 【請求項１】 被搬送物を搭載した搬送台車を停止位置
決めする装置を備えた搬送装置において、前記被搬送物
移載の為の前記搬送台車の停止位置に、被搬送物の所在
位置を検出するセンサを設け、該被搬送物の停止位置
と、予め設定された被搬送物の所在位置とを比較して、
そのずれがゼロとなる様に、前記搬送台車の位置決め装
置を動作させて前記搬送台車を移動させ、前記被搬送物
を所定の停止位置に移動させる手段を備えたことを特徴
とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記搬送装置は、磁気浮上搬送装置であ
ることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。 - 【請求項３】 前記搬送装置は、搬送方向とその水平面
内の直角方向とを位置決めする手段を備え、前記被搬送
物の水平面内の所在位置からあらかじめ設定された所定
の位置に移動させることを特徴とする請求項１記載の搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5285769A JPH07117847A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5285769A JPH07117847A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07117847A true JPH07117847A (ja) | 1995-05-09 |
Family
ID=17695822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5285769A Pending JPH07117847A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07117847A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003015158A1 (en) * | 2001-08-06 | 2003-02-20 | Casem (Asia) Pte Ltd | Die bonder and method for detecting misaligned workpieces |
| US6721626B2 (en) | 2001-07-24 | 2004-04-13 | Tokyo Electron Limited | Wafer transfer system, wafer transfer method and automatic guided vehicle system |
| JPWO2003007351A1 (ja) * | 2001-07-12 | 2004-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板の処理装置及び搬送装置調整システム |
| CN100361287C (zh) * | 2006-03-10 | 2008-01-09 | 友达光电股份有限公司 | 基板传送装置 |
| CN100406370C (zh) * | 2003-07-18 | 2008-07-30 | 株式会社大福 | 夹持部升降式输送装置 |
| CN106044243A (zh) * | 2016-07-08 | 2016-10-26 | 佛山格尼斯磁悬浮技术有限公司 | 面板立式输送装置 |
| US11232965B2 (en) | 2018-10-04 | 2022-01-25 | Applied Materials, Inc. | Transport system |
| US11521870B2 (en) | 2020-07-08 | 2022-12-06 | Applied Materials, Inc. | Annealing chamber |
-
1993
- 1993-10-21 JP JP5285769A patent/JPH07117847A/ja active Pending
Cited By (10)
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