TW442544B - Coating solution for forming a transparent film - Google Patents

Description

附件 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 ) 卜 I 術 翎 域 1 I 本 發 明 為 有 醑 於 一 種 透 明 被 m 形 成 用 塗 布 液 及 使 用 此 1 1 1 塗 布 液 形 成 的 被 覆 透 明 被 m 之 基 材 t 詳 言 之 即 — 種 可 在 基 1 1 材 之 表 面 形 成 具 優 良 的 m 热 性 > m m 性 、 附 藥 品 性 附 電 讀 閱 讀 背 1 1 I 漿 性 等 » 其 釋 離 氣 if 之 產 生 量 少 » 且 透 明 性 Λ 平 坦 性 良 好 1 Ί 的 被 m 塗 布 液 t 以 及 在 其 表 面 形 成 此 種 被 m 之 被 覆 透 明 膜 之 注 意 1 1 | 之 基 材 0 項 再 填 1 1 1 術 背 景 | 本 已 往 > 在 m 子 材 料 領 域 » 形 成 平 坦 化 被 m 或 絕 緣 性 保 R 1 1 護 被 膜 時 1 所 用 的 材 料 為 丙 烯 酸 糸 樹 脂 Λ 聚 m 系 樹 腊 等 有 1 1 m 樹 脂 0 1 1 例如在TFT型液晶顯示裝置中， TPT陣列基 Η 側 凹 凸 之 訂 1 平 坦 化 » 係 在 包 含 傳 動 電 路 之 基 片 上 形 成 厚 度 數 μ函 程 度 之 1 1 I 有 機 樹 脂 被 膜 » 將 基 Η 表 面 平 坦 化 » 之 後 再 裝 上 ΙΤ0 等 顯 1 1 I 示 霣 極 而 構 成 〇 1 ί 然 而 % 在 Μ 濺 鍍 法 等 在 平 坦 化 m 上 形 成 顬 示 霣 極 (ΙΤ0 Ί m ) 時 9 因 為 有 機 系 平 坦 化 m 之 附 熱 溫 度 低 (150 250 1C ) i 1 t 致 其 酎 高 灞 性 及 m 霣 漿 性 不 良 « 而 產 生 被 m 變 色 (裼變） 1 I > 透 光 率 降 低 等 間 題 〇 此 外 » m 鍍 時 裝 置 内 為 真 空 狀 態 1 1 I 因 此 此 時 樹 脂 被 m 中 之 未 硬 化 成 份 或 再 哄 附 成 份 等 氣 體 成 1 份 之 釋 離 會 延 缓 装 置 内 逹 到 真 空 之 時 間 甚 或 有 污 染 装 置 1 1 内 部 之 問 題 0 1 1 另 外 1 在 含 濾 色 Η 之 液 晶 顯 示 装 置 中 其 濾 色 Η 保 護 1 I 臟 使 用 有 機 樹 脂 製 被 膜 的 場 合 * 亦 有 射 热 性 之 問 題 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 3 (修正頁） 38998 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、， 發明説明（ 2 ) I 1 另 方 面 I 無 機 % 被 膜 為 較 此 種 有 機 % 樹 脂 被 膜 耐 高 1 I 溫 性 ， 耐 電 漿 性 佳 的 被 膜 形 成 材 料 0 1 ί j 無 機 % 被 禊 有 s i 0 2 N Ta 2 0 5、 S 1 3 H4 等 乾 式 加 X 成 膜 劑 請 先 閲 讀 1 1 I \ 烷 氣 基 矽 院 等 有 機 矽 化 合 物 加 水 分 解 物 之 SGG膜等， 但 1 1 1 前 者 加 I 成 本 离 因 此 而 後 者 須400 1：以上之硬化溫度方可 背 之 1 1 使 被 膜 硬 化 9 因 此 無 法 使 用 為 耐 熱 溫 度 250 Ί0以下之濾色 注 意 事 1 1 Η 的 保 護 膜 〇 同 時 > 製 成 平 坦 化 之 厚 膜 亦 會 發 生 産 生 裂 紋 項 -S- 1 1 之 缺 點 〇 此 種S0G膜在半導體裝置中， 又供作基Η舆鋁配 本 頁 表 I 線 層 等 金 鼷 配 線 層 間 » 或 金 m 配 線 層 間 絶 緣 之 絶 線 膜 用 〇 1 1 I 因 此 » 在 此 等 半 導 體 裝 置 中 t 於 多 層 配 線 層 之 下 層 配 線 層 1 1 1 與 上 層 配 線 層 間 形 成 層 間 連 接 孔 (接觸孔， C on t a C t h ole) 1 1 订 1 之 後 9 須 再 以 氧 電 漿 去 除 光 阻 裝 置 (〇 X y g e η p 1 as a a s he r )去 除 層 間 連 接 孔 形 成 時 使 用 之 光 姐 0 此 時 « 因 有 機 1 1 矽 化 合 物 之 加 水 分 解 物 形 成 的S0G膜中， 層間連接孔中露 1 | 出 的 膜 表 面 將 被 氧 電 漿 氧 化 成 多 孔 質 狀 > 此 多 孔 質 化 部 份 I 會 吸 附 大 量 之 水 份 * 而 在 其 後 之 步 驟 中 在 加 熱 操 作 時 之 中 f 1 將 釋 出 此 等 水 份 * 而 發 生 上 下 配 線 層 間 電 路 不 良 之 問 題 0 1 1 此 外 9 有 機 無 機 複 合 糸 被 膜 亦 有 由 院 基 三 羥 院 矽 烧 1 1 之 聚 合 物 所 成 的 被 膜 0 此 種 被 膜 因 可 能 厚 膜 化 9 而 可 賦 與 1 1 良 好 的 平 坦 性 〇 然 而 被 膜 無 法 在 加 熱 通 «ΠΙ 度 約 3 0 0 υ以下時 1 I 充 分 硬 化 % 因 此 會 有 被 膜 強 度 低 之 問 題 0 此 外 * 此 被 膜 本 1 I 身 因 疏 水 性 強 » 在 例 如 在 被 膜 表 面 上 實 施 光 阻 塗 布 等 之 場 1 合 > 塗 布 液 將 難 以 附 箸 1 因 此 會 發 生 被 蹼 m 以 形 成 之 問 題 1 點 〇 1 1 本紙浪尺度適;ΐΐ中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 。。Λ Λ。 4 38998

爹正I d425 44 A7 B7 經濟部中央榇準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 3 ) \ | 發 明 的 1 ! 本 發 明 以 解 決 上 述 已 往 技 術 中 存 在 之 問 題 點 為 百 的 1 I 欲 提 供 一 種 含 無 灞 化 合 物 微 粒 及 m 渡 金 靨 變 性 加 水 分 解 性 1 I 有 櫬 矽 化 合 物 (矽倍半嗎烷聚合物， S i 1 s e k) 之 透 明 被 臢 彤 請 先 1 1 閱 1 成 用 塗 布 液 0 讀 背 1 同 時 其 g 的 亦 欲 提 供 含 有 使 用 此 種 塗 布 液 所 形 成 的 透 ιέ 之 i 注 明 被 尚 之 基 材 ， 含 有 使 用 此 種 塗 布 液 所 形 成 之 平 坦 化 m 的 意 事 1 項 I 液 晶 顬 示 裝 置 > 含 有 使 用 此 種 塗 布 液 所 形 成 之 被 覆 保 護 m 再 填 1 m 色 片 的 液 晶 顬 示 裝 置 1 及 含 有 使 用 此 種 塗 布 液 所 形 成 本 頁 策 | 之 絕 緣 m 的 半 導 醴 装 置 〇 、， 1 I 發 明 開 示 1 1 本 發 明 中 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 之 特 徽 為 含 有 無 櫬 化 1 [ 合 物 微 粒 » 及 下 述 — 般 式 [I] 所 示 有 m 矽 化 合 物 之 加 水 分 訂 I 解 物 0 1 1 Rn Si (OR . ) 4 -η [I ] I 1 U 輿R '為相同或相異之有機基， η 為1 3之整數< ) 1 1 前 述 有 櫬 矽 化 合 物 Μ 下 述 一 般 式 [I I] 所 表 之 三 官 能 性 I 烧 氧 基 矽 燒 為 佳 0 1 1 I RS i (OR ' )3 [ II] 1 1 (R 及R ’為相同或相異之有機基 ) 1 | 刖 述 有 櫬 矽 化 物 之 加 水 分 解 m Μ 屬 於 過 渡 金 颺 化 合 1 物 而 包 含 經 化 學 變 性 之 通 渡 金 羼 元 素 之 含 有 邊 渡 金 靥 之 有 1 ί 櫬 矽 化 合 物 加 水 分 解 物 為 佳 0 1 1 此 種 含 有 邊 渡 金 屬 有 機 矽 化 合 物 加 水 分 解 m ， 上 述 1 I 式 [I ]中所示的有櫬矽化合物與遢液金鼷化合物之混合物， 1 1 I 在 含 水 之 有 櫬 溶 m 中 加 水 分 解 者 為 佳 0 I 1 本紙張尺度適用中國B家標準（CNS) μ規格（210X297公釐） 5(修正頁） 38998 42 5 4 4 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 4 ) 1 | 前 述 無 機 化 合 物 m 粒 以 Τ ί % Zr V、 Nb、 C r、 Η ο、 ϊ 1 1 A 1 Η η 、 F e 、 Co 、 N i 及 Si 中 落 取 的 1 種 或 2 種 以 上 元 素 之 1 | 氧 化 物 的 徹 粒 為 佳 0 1 1 先 1 本 發 明 中 被 覆 透 明 被 膜 之 基 材 其 特 m 為 含 有 使 用 上 閱 讀 1 I 述 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 所 形 成 之 透 明 被 膜 者 〇 背 ir 1 1 注 | 本 發 明 中 第 1 種 液 晶 顯 示 装 置 9 其 特 為 液 晶 顔 示 元 意 事 1 件 為 含 有 使 用 上 述 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 所 形 成 之 透 明 平 項 再 1 I 填 坦 化 被 膜 者 0 本 頁 1 本 發 明 中 第 2 種 液 晶 顯 示 裝 置 * 其 特 為 具 有 使 用 上 1 I 述 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 所 形 成 的 透 明 保 護 被 膜 之 濾 色 片 1 1 I 者 〇 1 1 訂 本 發 明 中 之 半 導 體 裝 置 其 特 m 為 使 用 上 述 透 明 被 膜 1 形 成 用 塗 布 液 所 形 成 之 絶 m 被 膜 之 半 導 體 元 件 者 〇 1 1 H. 明 之 最 伴 V 旃 形 m 1 1 以 下 具 醱 說 明 本 發 明 之 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 、 被 覆 1 透 明 被 膜 之 基 材 及 其 用 途 〇 1 I 诱 明 被 膊 形 成 用 牵 布 液 1 I I 本 發 明 中 之 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 t 為 含 無 機 化 合 物 1 1 微 粒 及 式 [I]所表之有機矽化合物之加水分解物的塗布液 [ 1 1 0 無 機 化 物 1 粒 ! 1 1 無 機 化 合 物 撤 粒 可 使 用 ΐ i Zr V, Hb, C r、 Η 0、 1 I A 1 Η η Fe Co > N i 及 Si 中 m 出 1 m 或 2 種 以 上 7Π 素 之 氧 1 I 化 物 而 成 的 m 粒 Ο 待 別 是 ， Zr 〇2 Τ ί 0 2 % Si 0 2 % S η 0 2 等 氧 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 6 38998 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（5 ) 化物撖粒，或2種以上之複合氣化物黴粒則更佳。 此等氧化物撤粒，可以使用一般公知之微粒。此外， 其製造法並無特別限制，可以用例如金屬塩或金靥烷氣化 物之加水分解所得的氣化物之撤粒。 又，此等氣化物榭粒，為改菩其塗布性及與基材之密 箸性之目的，以表面含多數0H基成份者為佳。 此種氧化物撤粒，以平均粒徑為5〜50nn者為佳。 有楗讷仆.会物 本發明中可使用之有機矽化合物為下述一般式[I]所 示者。 RnS ί (OR ' ) 4-n t I ] (R及8’為相同或相異之有機基，η為1〜3之整數。） 至於R,可舉列如：甲基、乙基、丙基等烷基，笨基 等芳基、乙烯基等鏈烯基，7-甲基丙烯挺氣基丙基、7-琛氣丙氣基丙基、氣丙基、7-氳硫丙基、7-胺丙基 、三氟甲基等烷取代基。至於R’，可舉例如：甲基、乙基 、丙基、丁基等烷基.苯基等芳基、乙醛基、yS-甲氣乙 氣基等取代烷基等。 此種有機矽化合物，以下述一般式[II]所示之3官能 性烷氧基矽烷為佳。 RS i (OR ')3 [II] (R與iT為柑同或相異之有機基。） 至於此種烷氣基矽烷，可舉例如：甲基三甲氣基矽烷 、甲基三乙氣基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、異丁基三甲氣 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格Π10Χ297公釐） 7 ooqqo (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明U ) 基矽烷、苯基三甲氣基矽烷、7-琛氧丙氣基丙基三甲氣 基矽烷、乙烯基三甲氣基矽烷、7 ~胺丙基三乙氣基矽烧 、7-甲基丙烯醯氣基丙基三甲氧基矽烷、三氟甲三甲氧 基砂院等。 物 解 分 水 加 之 物 合 化 矽 機 有 中物倍佳 晛合矽為 發化種物 本矽此合 機。聚 有物形 種 此 ο 物 解 分 水 加成 之聚 物缩 合卽 化 -矽後 機解 有分 述水 上加 用在 使 . 合 聚 烷 半 倍 矽 式 述 下 以 物 合 聚 烷 噁 半 榉 之 造 構 表 所 ----------装-- . - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本f)

R ο ο Π 物 合 〇 化佳 解為 分物 e、 水解P 加分 之水 物加 合物 化合 矽化 、 機矽ti 有機自 述有可 上之素 之素元 中元鼸 明靨金 發金渡 本渡遇 過 含

V c η Η

ο C r z

b N 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 素 元 之 上 以 Abe 種 2 或 種 1 出 選 中 UW 及 ο Η 例 舉 可 f ο 物物 解合 分化 水造 加携 物形 合籠 化或 矽物 機合 w殳 有造 含構 颶形 金梯 渡之 -- U 過 V I I 8 [ 此式 下 如

R--s — o丨siIR o o R! Γ o

o—silR o

R~s I 〇—sl丨 R 〇 〇

R—S—oIsIR ο ο

R—si—OJ

R

V 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 8 3899 8 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印家 五、發明説明（ 7 ) 1 1 此 種 含 有 過 渡 金 靨 之 有 機 矽 化 合 物 之 加 水 分 解 物 中 * 1 | 遇 渡 金 屬 如 上 述 式 [IV]般與S i 交 換 鍵 結 亦 可 i 或 為 上 述 聚 t I 矽 氣 院 低 聚 物 之 維 交 聯 的 元 素 鍵 結 亦 可 9 亦 或 吸 附 於 上 請 先 1 1 I 述 聚 合 物 上 亦 可 1 但 不 可 為 撤 粒 狀 ， 尤 其 不 可 以 氣 化 物 撤 閱 讀 背 1 1 粒 狀 含 於 有 機 矽 化 合 物 中 0 ΐέ I 之 1 注 此 種 含 遇 渡 金 羼 元 素 之 有 機 矽 化 合 物 加 水 分 解 物 * 於 意 事 1 低 溫 下 可 形 成 3 維 交 聯 而 得 具 有 充 分 硬 度 之 透 明 被 膜 0 項 再 填 寫 本 頁 1 1 此 外 1 變 化 此 種 過 渡 金 羼 之 含 有 量 1 可 以 控 制 透 明 被 装 1 膜 之 折 射 率 介 電 常 數 % 緣 性 〇 ! 1 將 上 述 式 [I]所示的有機矽化合物與遇渡金颺化合物 t 1 I 之 混 合 物 1 在 含 水 之 有 機 溶 m 中 加 水 分 解 ， 卽 可 得 到 此 種 1 1 訂 含 有 過 渡 金 m 之 有 機 矽 化 合 物 加 水 分 解 物 0 1 過 渡 金 m 化 合 物 * 可 舉 例 如 = 四 丁 氧 基 貉 % 四 異 丙 氣 1 1 基 鈦 等 金 屬 烷 氣 基 塩 > 結 或 鈦 之 乙 酵 丙 酮 塩 鍺 合 化 合 物 等 1 1 氛 化 鈦 等 之 塩 、 氣 基 氣 化 結 等 之 氣 基 塩 等 0 1 可 使 用 的 有 機 溶 劑 * 可 舉 例 如 乙 醇 % 丙 醇 > 丁 醇 > 1 1 4- 甲 基 環 己 醇 % 丙 酮 醇 等 醇 類 1 丙 酮 甲 乙 酮 甲 異 丙 m 1 1 1 等 酮 類 乙 二 醇 二 乙 二 醇 己 二 醇 等 多 元 醇 類 乙 二 酵 1 1 單 甲 m 、 乙 二 醇 早 乙 m 丙 二 醚 單 甲 醚 丙 二 醇 單 乙 m f 二 乙 二 醇 αα m 甲 醚 > 二 乙 二 醇 單 乙 醚 等 m 類 1 乙 二 醇 單 甲 m 1 乙 酯 > 乙 二 醇 單 乙 醚 乙 酯 丙 二 醇 單 甲 醚 乙 m 飞 丙 二 醇 單 1 1 乙 m 乙 酯 > 二 乙 二 醇 單 甲 m 乙 酯 二 乙 二 醇 αα 単 乙 醚 乙 酯 等 1 1 乙 酯 類 之 有 機 溶 剤 〇 此 等 溶 劑 可 單 獨 使 用 » 或 二 種 以 上 混 [ I 合 使 用 亦 可 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX 297公釐） 9 3 8998 442544 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（8 ) 此種含有遇渡金鼷之有機矽化合物加水分解物，可以 如下之方法製得。 U)將1〇〇重量份上述式[I]所示的有機矽化合物（換算 為Si〇2)、0.1〜30重量份之過渡金颶化合物（換算為氣化 物）、與100、2000重量份之適當有機溶劑混合後，於40〜 120T範圍之溫度下加熱製備成均勻的溶液。 (Π)其次，將加水分解用純水及催化劑（酸或齡）加入 ,加熱至所定之時間。 此時加水分解用水之添加量，以相對於每100重量份（ 換算為Si〇2)之有機矽化合物為50〜200重量份者為佳。 如此而得的含有過渡金屬之有機矽化合物加水分解物 之平均分子量，以聚苯乙烯換算為1,000〜100,〇〇〇,較宜 為5,0 00〜50,0 0 0。因平均分子量在此範画時，對基材之 密著性、透明性、硬度、防濕性、平坦性、絶緣性均優良 而適宜。 平均分子量小於1,0 00時，在形成厚膜之際，塗膜之 熱收縮會增大，而有産生裂隙之虡盧，平均分子量若大於 100,000時，則羥基減少、對基材之密箸性變差外，塗膜 之硬度亦會減低。又，在此之平均分子量為以GPC(凝膠縿 透層析）法測定的聚苯乙烯換算值。 诱明被曄形成用途布液 本發明之透明被膜形成用塗布液，由無機化合物撤粒 、上述有機矽化合物之加水分解化合物與水及/或有機溶 劑組成。 ^1. I- J In - - —^1 I n^ii 11^^1 ---一JJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2 i Ο X 297公釐） 10 38998 4 2 5 4 4 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 9 ) 1 1 此 塗 布 液 中 t 所 含 的 無 機 化 合 物 m 粒 之 量 ， 以 換 算 為 1 I 氧 化 物 計 i % 2, -50重量 〜 4C >重 量 % 為 宜 〇 1 1 | 此 塗 布 液 中 9 所 含 有 機 矽 化 合 物 之 加 水 分 解 化 π 物 的 請 1 1 I 量 * 為 5〜6 0重量 以7 4C 重 量 % 為 宜 〇 閲 讀 1 本 發 明 之 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 中 有 機 矽 化 合 物 之 加 背 1 I 1 水 分 解 化 合 物 與 無 機 化 合 物 微 粒 合 計 之 固 形 分 濃 度 • 依 塗 注 意 1 | 事 1 布 方 法 塗 布 膜 厚 而 定 t 係 7- ^ 6 0重董 以1 0〜50重置 項 再 | 填 % 為 宜 Ο 寫 本 装 頁 1 本 發 明 之 此 種 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 > 視 需 要 可 添 加 1 1 使 用 為 改 善 其 濕 潤 性 、 平 坦 性 而 用 的 添 加 劑 〇 1 1 本 發 明 之 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 1 因 含 有 有 機 矽 化 合 1 1 訂 物 之 加 水 分 解 物 及 無 機 化 合 物 m 粒 » 因 此 對 基 材 有 優 越 的 1 濕 潤 性 、 密 箸 性 > 且 對 各 種 有 機 溶 劑 有 優 越 的 互 溶 性 0 因 f 1 此 f 其 印 刷 性 > 塗 布 性 佳 t 可 得 平 坦 化 均 勻 性 較 高 的 平 坦 1 1 化 膜 0 又 事 有 機 矽 化 合 物 之 加 水 分 解 物 中 含 過 渡 金 颶 時 1 1 可 控 制 其 折 射 率 介 電 常 數 绝 緣 性 〇 1 1 利 用 此 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 所 形 成 的 透 明 被 禊 r 防 1 1 1 濕 性 優 越 0 此 種 透 明 被 膜 » 可 以 再 於 被 膜 上 以 m 鍍 蒸 鍍 1 1 、 CVD等容易地形成無機膜， 且其與無機膜之密箸性亦優 i 越 0 1 1 被 诱 明 備 革 並 1 1 本 發 明 之 被 覆 透 明 膜 之 基 材 1 含 有 以 上 述 透 明 m 形 成 1 I 用 塗 布 液 在 基 材 表 面 形 成 的 透 明 m 0 I 1 I 塗 布 液 塗 布 於 基 材 上 之 方 法 > 可 以 採 用 旋 轉 塗 布 浸 1 1 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 3 8 998 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 普處 不範 晶 纖用材 之成 ，被 由厚 之 等熱 而μη液Κ光管化 件形 凸化 。有膜 述 刷加 途10的 線坦 元所 凹坦宜含- 上 印之 用~ 示 路射平 示液 之平較上膜 如 販¾之02下 h 導極、 顯布 倒明為 Η 護 由 網350材0.有 Μ 波陰针 晶塗 Κ 透μΒ色保 有 、-3基在 計 Μ 之 、材 液用 基成 5 濾明 含 刷 ο 視厚 舉so上料層 其成 列形 1 其透 件 印18厚膜 可用粒材用 ，形 陣液5~,之 元 版經 膜得 ，置晶層濕 置膜FT布0.置成 韹 平再 其可 途裝矽敷防 裝被 了塗或裝形 導 、 , , , 用體 、硬、 示明 ΐ 用，示所。 半 布後 膜時 的導料用料 顯透 u 成 Μ 顯液宜 其 塗布 。明液 材半材鏡材。 晶的gs形-5晶布較 ， 霧塗暌透布 基、阻透層等 液述 ^ 膜2~液塗為 置 噴法明的塗 之料光接性璃 種上ST被0.種用μη裝 、 方透成之。膜材用塑品玻 1 如。j 明厚 2 成 ^ 體 布種之 形明材明化作 、_之 第以膜tr透膜第形 i 導 }塗此的法發基透坦製料耐膜[]之有被 ΐ 之 ，之膜以 半 ο 置£ 1 輪以目方本之覆平路材 、化 中含化Τ5述化中明 ，1 之 {棍 。得述用糢被用回層料鈍 i 明上坦TF上坦明透μη置明 ^ 、法可上使覆種置子護材覆 W 發片平別如平發之-5裝發 @布布即以但被此裝霄保層被 Η 本基明特由以本述2-體本 #«塗塗- -的 示他用敷、 凸透 藉予 上0.M 、潰通理 同圍 顯其維外料Γ®凹之 僳膜 如為[¥ 五 nn i ^m n^i ^^^1 ^^^1 1^^1 - i 洚 、1a (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 12 3 8 99 8 修正1 Α7 Β7 經滴部中央標準局—工消費合作社印掣 五、發明説明（ 1 1 ) |) I m 明 被 m 形 成 用 塗 布 液 所 形 成 之 涵 緣 被 m 〇 1 1 此 種 絕 緣 被 膜 可 在 例 如 半 導 艚 元 件 之 鋁 或 m m 嬢 曆 等 1 1 金 鼷 配 線 曆 輿 基 片 之 間 » 或 在 2 靨 Μ 上 之 金 屬 配 嫌 層 叠 成 1 I 的 多 層 配 線 曆 之 曆 間 形 成 平 坦 化 絕 緣 膜 0 此 種 m 緣 被 m * 諳 閱 讀 背 1 1 I 亦 可於PN接合元件 霣 容 元 件 或 霣 阻 元 件 等 之 上 形 成 猪 緣 1 保 讓 膜 0 之 注 意 1 I 如 前 述 之 半 導 級 装 置 » 其 構 成 的 多 層 配 媒 層 由 二 曆 Μ 項 再 填 寫 本 1 1 1 上 之 金 軀 配 線 曆 所 叠 成 者 1 各 配 線 層 間 之 低 介 電 常 數 平 坦 衣 [ 化 m 緣 膜 特 別 以 m JP 〇. 05 2μ 者為佳< ) Μ 'w· 1 1 此 種 如 上 述 在 半 導 髖 元 件 上 所 形 成 的 絕 被 賴 S 在 形 1 1 成 如 上 述 的 接 觸 孔 其 去 除 光 阻 之 氧 霣 漿 去 除 光 阻 裝 置 » 將 1 1 使 接 觸 孔 露 出 的 膜 不 致 產 生 多 孔 質 而 極 為 细 密 0 訂 ! s_ 明 功 效 1 I 本 發 明 之 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 ， 因 對 基 材 之 濕 濶 性 1 1 良 好 t 且 對 各 種 有 機 溶 劑 互 溶 性 亦 佳 t 因 此 有 良 好 的 印 刷 1 1 性 塗 布 性 〇 可 Μ 形 成 高 均 勻 性 之 透 明 被 m > 其 例 如 平 坦 I 化 膜 〇 形 成 的 通 明 被_ ^200¾左右之低溫热處理時， 可 1 1 得鉛筆硬度約5H之S明 被 m 0 1 1 利 用 本 發 明 之 透 明 被 m 形 成 用 塗 布 液 形 成 之 通 明 m t ] \ I 當 改 變 其 有 檐 矽 化 合 物 加 水 分 解 物 中 邊 渡 金 属 之 含 量 時 t 1 1 可 控 制 其 折 射 率 介 電 常 數 絕 緣 性 1 形 成 透 明 性 > m 1 1 m 性 附 溶 m 性 > m m 性 、 m 酸 性 射 王 水 性 優 越 的 m 明 1 1 被 膜 0 1 I 利 用 此 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 形 成 的 透 明 被 祺 > 因 具 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公釐） 13 (修正頁） 3899 8 442544 jjl d A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 12 ) I 1 有 儍 越 的 射 热 性 » 即 使 在 被 m 上 m 鍍 \ m 鍍 > CVD等形 1 1 成 ΙΤΟ膜等無镞被膜， 亦不致減少被讚之s明性而可維持 1 1 髙 m 明 性 » 且 無 機 被 m 之 密 蕃 性 亦 非 常 良 好 0 /·— 1 1 此 外 * 上 述 的 透 明 被 膜 9 因 其 介 霣 常 數 小 體 積 電 阻 請 先 1 1 | 率 高 9 與 已 往 之 有 櫬 樹 脂 被 膜 比 較 » 其 膜 厚 可 Μ 更 细 薄 1 讀 背 1 1 因 此 可 提 高 其 透 明 性 〇 之 注 意 1 I 特 別 是 本 發 明 之 液 晶 顙 示 裝 置 中 * 便 用 本 發 明 之 塗 布 事 項 # I I 1 液 所 形 成 的 平 坦 化 被 膜 上 或 保 護 膜 上 % Μ 濺 m 法 形 成 ITO 填 寫 本 頁 策 I m 時 * m 鍍 後 之 被 臢 幾 乎 不 會 發 生 變 色 或 逋 光 率 降 低 情 形 1 1 1 此 外 f 因 真 空 時 由 逋 明 被 m 釋 離 的 氣 體 物 ft 較 少 t 故 1 1 I 激 鍍 時 裝 置 内 到 逹 高 真 空 度 之 時 間 可 以 較 榭 脂 % 被 膜 縮 短 訂 I t 可 Μ 顯 著 改 菩 m 嫌 之 作 桊 性 〇 1 1 I 另 外 f 由 於 所 得 的 透 明 被 m 之 膜 應 力 比 已 往 之 有 櫬 系 1 1 1 被 m 低 » 因 此 嫌 乎 不 會 發 生 由 於 被 膜 形 成 後 臢 收 鏞 所 導 致 1 I 之 基 材 m 曲 被 m 龜 裂 > 被 膜 剝 m 等 對 設 於 被 m 下 的 元 1 件 嫌 乎 無 m 響 〇 1 1 由 如 上 述 的 m 明 被 臢 形 成 平 坦 化 被 RI 之含TFT陣列基 1 | 片 液 晶 顯 示 裝 置 » >x 及 由 如 上 述 透 明 被 _ 形 成 保 護 被 m 之 1 I 含 濾 色 片 液 晶 顧 示 裝 置 中 1 由 於 與 液 晶 Ψ 接 觸 的 定 向 m 表 1 j 面 之 形 狀 經 予 平 坦 化 t 因 此 可 抑 制 因 表 面 形 狀 而 產 生 的 表 1 面 定 向 干 播 防 止 顳 示 磁 m 發 生 減 少 面 板 顧 示 時 之 決 光 1 1 及 提 高 對 此 等 之 效 果 f 液 晶 顯 示 元 件 之 良 品 率 及 顯 示 品 霣 1 1 均 佳 〇 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】〇X297公釐） 14(修正頁） 38998 4 4 2 5 4 4 A7 B7 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 12 ) 1 | 又 * 使 用 本 發 明 之 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 形 成 半 導 體 1 I 裝 置 之 層 間 絶 緣 膜 時 ， 以 氧 電 漿 去 除 光 阻 裝 置 去 除 接 觸 孔 i | 形 成 後 之 光 阻 時 可 防 止 接 觸 孔 絶 緣 膜 之 多 孔 質 化 • 而 可 得 請 閱 讀 背 之 注 意 事 I 1 細 密 的 絶 緣 膜 〇 此 外 t 在 接 觸 孔 形 成 後 * 再 以 氧 電 漿 處 理 1 注 入 離 子 處 理 或 電 子 束 照 射 處 理 等 加 I 時 t 可 得 更 細 密 1 1 的 膜 〇 其 結 果 » 可 以 解 決 已 往 有 機 矽 加 水分解物之S0G膜 1 1 所 發 生 的 上 % 下 配 線 層 間 線 路 不 良 等 之 問 題 點 0 項 再 填 寫 本 頁 ! 此 外 » 使 用 本 發 明 之 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 而 得 的 上 裝 1 述 絶 緣 膜 • 其 介 電 常 數 低 至 3 以 下 者 $ 為 優 越 的 半 導 體 裝 1 I 置 用 絶 線 膜 0 1 1 | S. tic /Hr 例 1 1 以 下 即 以 實 施 例 說 明 本 發 明 > 但 本 發 明 並 非 為 此 等 實 訂 1 施 例 所 限 制 者 0 1 1 實 旃 例 1 1 1 (被膜形成用塗布液①之製備） 1 將 100g 之 甲 基 三 甲 氧 基 矽 烧 200 s 之 異 丙 醇 6 0 g之 1 I 丁 醇 8 . 5g 之 正 丁 酸 錯 0 . 8 g 之 乙 酵 丙 酮 加 入 1 升 之 四 頸 1 1 I 反 應 親 中 * 再 一 面 m 拌 一 面 滴 入 11 4 g 之 純 水 及 1 . 0g 之 60 % 1 1 HN〇3 9 於 60 1C 下 加 水 分 解 15小 時 進 行 聚 縮 合 反 應 0 1 其 次 ， 冷 却 至 30 C 以 下 後 > 以 陰 離 子 交 換 樹 脂 去 除 1 1 O〇3至 pH 5 .5 〇 1 1 在 此 溶 液 中 再 加 入 11 4 . 3 g 之 丙 酮 醇 » 再 以 抽 氣 蒸 餾 器 1 I 濃 縮 至 固 形 分 湊 度 為 30重 量 % » 即 可 製 備 成 含 氣 化 鍩 之 矽 1 I 倍 半 嗯 烷 聚 合 物 溶 液 (A) 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 15 38998 A7 B7 五、發明説明（14 ) 此含氣化锆之矽倍半噁烷聚合物經凝醪滲透層析後以 聚苯乙豨換算方式而得重量平均分子量為43 ,000。 另將367s之矽溶瞟（觭媒化成工業（株）製造SI-30,平 均粒徑12nm, Si〇2濃度30重量？《 )及4033g之純水置於10公 升之四頚反應傾中，一面攪拌一面滴入3 % NaOH,調整pH 為12後，再加入1800g之35¾過氣化氫水，加溫至80tD 溫度逹分於8小時内將1375g之含Si〇2濃度3% 之矽酸液與l〇95g之純水之混合溶液，以及106g之磺酸锆 銨與2354g純水之混合液加入。 其次，將此溶液移入離壓加熱釜内，於140它下加熱 15小時。之後，冷却至30C以下，再以兩性離子交換樹脂 去除離子調整pH為3。 將甲醇加入此溶液中，使甲酵取代溶繭至以超遇濾膜 拥水之殘餘量為5〜10重量％為止。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 策' 3 2 6 將 模 蒸 2 氣ΓΟ 抽-Z ΙΛ 2 ^ο 再 S , 成 中備 液製 溶 卽 此 - 入% 加量 醇重 1 5 丙為 之度 濃 分 形 固 至 编 濃 器 餾 化 氧 合 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 )J述 {B上 粒將 撤 物 液 浮 懸 的 備 製 法 方 倍 矽 之 結 化 氣 含 液 浮 懸 ① 液 布 塗 -JJ '— 膜 粒被 徹成 物 製 -5 S3 化調 氣備 機製 無可 之卽 g o t 5 、 合 K 混 U醇 液必 溶卡 被 此 將 布 塗 速 轉 膜 被 明 透 之 噁 1 半及 物 合 聚 烷 基 乙 之 1,厚 在 _ 法成 布形 塗邸 轉鐘 旋分 以60 . 理 ①處 液熱 布 υ 塗20 用 成 形 膜 以 SJ S— η 估 評 0 項 述 下 以 再 膜 被 的 得 所 表 及 1 表 於 示 0C 結 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） 16 3 899 8 442 5 44 A7 B7

SJ 五、發明説明（15 [被膜外觀]:以目視檢査評估表面狀態。 [通光率]:Μ分光光度計[Ubest-55](JASC0股份有限公司 製造）澜定其波長400η·、550η雇下之透光率。 [平滑性]:W觸針式表面粗糙計「surfcoi」（東京精密股 份有限公司製造）評估表面之平滑性。 [密著性]:KJISK 5400之方格測試法評估。 [硬度]:MJISK 5400之铅筆硬度法評估。 [氣《釋離量（達到真空之時間 >]:將包覆塗膜之基片置於 不锈鋼製密閉容器内，於201C下減壓至lxlO~4Torr後， 浸入25〇υ之矽氧油浴中，测定回復為原先真空度IX 10一4 Tor r所需之時間。 [射热性]:K塗膜在250 ¾下保持1小時後拥定之透光率 、顔色變化及塗膜之外觀，以及K分光光度計「U“st-55」（JASC0股份有限公司製造）測定波長400η·及550η·下 之透光率評估。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ---------一衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) [濺鍍特性]:以«鍍装置（島津製作所製造，HSR-521A)在 RF功率500W、真空度4xl0_2T〇rr 5分鐘下形成ΙΤ0鎮， 拥定其透光率（400η·、550ηι)。透明被賴之變色程度則以 目視觀察。 [介電常數]:MLCR計澜器（NF Eletronic Instrunent 製 埴，2 3 3 0 A)澜定被膜之介霣常數。 [膜應力]:Μ臟應力测驗裝置（FSM 8800)澜定被鼸之膜應 力。 其次，以下列項目評估被膜之外觀變化及基材之密接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 17 (修正頁） 389 9 8 4 4 2 5 4 4 A7 B7五、發明説明（16) 性。 [耐沸水性]:於loot之沸水中浸漬10分鐘。 [耐酸性]:於4〇υ下在10¾塩酸水溶液中浸潰30分鐘。 [附鹹性]:於40C下在5 %氫氧化鈉水溶液中浸漬30分鐘 〇 [K溶劑性]:於25它下在乙醇中浸漬30分鐘。 [駙溶爾性]:於25P下在N -甲基吡咯烷銅中浸漬30分鐘。 [耐溶劑性]:於25t下在7-丁内酯酮中浸潰30分鐘。 [丽王水性]:於25C下在50%王水中浸潰30分鐘。 n ml i ^^^1 « ^-.R· m^i ^^^1 ^^^1 —ilf— ^^^1 \ r (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS > Μ規格（210X297公釐） 18 389 9 8

7 7 A B 五、發明説明（17) 表1 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 被膜外覿 無異常 透光率（％ ) (400η皿） 99.0 (5 5 0 n a ) 99 . 9 平滑性（w ») 0.005 密著性 100 / 100 硬度 4 Η 氣B釋出量（達到與空之時間） 30分 射热性 透光率（¾) (40 0η·) 99.0 (5 5 0 η ·) 99 . 9 被膜外顴 無變化 溉鍍特性 透光率（％) (400η*) 99.0 (5 5 0 n a ) 99.9 被Μ外覼 無，變色 電容率 2.5 it 應力（dyn/ca2) 2.1 X 108 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 19 (修正頁） n - - i- -- -- - 1--i/r - - -I I ^—J. , 3. ，\=s (讀先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 38998 Α7 Β7

五、發明説明（1S 表2 被膜外觀 密箸性 耐沸水性 無異常 100 / 100 射酸性 A Μ 耐鐮性 Μ A 耐乙醇性 Μ A 耐ΝΜΡ性 Μ A 耐丁内酯性 A A 耐王水性 Μ Λ I , ^ 裝 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (TFT型液晶顯示裝置） 於玻璃基Η由TFT元件、掃描霣極、數據電極等组成 陣列，製成有源活性矩陣型基片。 將資施例1中製備的被膜形成用塗布液①以旋轉塗布 法在旋轉數1500 γρβ下塗布於此基片上，再於2201C下加 熱處理60分鐘邸可形成禊厚1.4μ·之平坦化膜。 平坦化膜形成後以觸針式落差計澍定TFT陣列部份之 凹凸，此時凹凸可由〇.7μιπ減少為0.05μ»。 其次，於上述的平坦化被膜形成基Η上，以一般方法 形成接觸孔之後，以濺鍍法在2501C形成ΙΤ0膜，再依一般 方法濺鍍形成顯示電極。在顯示電極形成基片上形成定向 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 2 〇 〇 8 9 9 8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（19 ) 膜後，其次進行磨平處理，之後介由對向之具共通電極基 片及間隔件以密封材貼合，再注入液晶卽成液晶顯示装置 Ο 液晶顯示裝置之顯示.其確認以TFT陣列上部幾無液 晶定向不穩起因的磁鷗發生或失光，且蓠比提髙者，視為 高品質之顯示。 奮施例3 (具濾光Η液晶顯示裝置） 将實施例1中製備的被膜形成用塗布液①以旋轉塗布 法在轉速1200 γρι»下塗布於已形成濾光片之玻璃基Μ上， 再以220Τ熱處理60分鐘即可形成膜厚2.〇μΒ之平坦化保護 膜。 以》針式落差計測定平坦化保護膜形成後之據光片部 份的凹凸，此時凹凸可由1.5μ«減少為0.2μΐ1。 其次，在上述的平坦化保護膜形成基Μ上，以濺鍍法 在250Ρ下形成ΙΤ0膜。此ΙΤ0膜再依一般方法印製電路配 線圖案，即形成顯示電槿。再於顯示電槿形成基片上形成 定向膜，其次經磨平處理，介由對向之共通電極基Η與間 隔件以密封材阽合中，再注入液晶卽製成液晶顯示裝置。 經確認液晶顯示裝置之顔色顯示，可得對比良好，且幾乎 無液晶定向不穩起因之磁轉發生或失光的高品質之顯示。 奮掄例4 將實施例1中製備的被膜形成用塗布液①，以旋轉塗 布法在旋轉數1200 ΓΡΒ1下塗布於其落差〇.5μΕ之線路間距 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 笨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ2ί>7公釐） 21 38998 442544 A7 B7 五、發明説明（2〇)中有代表性之A1配線形成的4英吋矽半導體基片上，再以

厚 膜 成 形 鐘 分 ο 6 ti -理 處 熱 V 下 V ο 5 11 於 再 膜 塗 之 在 中 體 氣 2 N 於 著 接 鐘 分 2 燥 乾

時 小 11 烤 烘 I、.. V 即 接孔 成觴 形接 上成 。膜形 生緣已 發絶得 隙述所 裂上將 無在 。 。 且法in 膜，刻/a 緣好蝕 A 絶良及00 糸性法15 矽坦刷為 之 平印率 數膜版刻 常緣平蝕 電絶以之 介的 ，時 低得次此 成所其 D 形 孔 可 觴 被 值 条 阻 矽 電 在 後 法 前 度 ε 濺 通 以 ， , 時 後 小 週00 ο 1X 11 中 電 氣 通 空 間 在 C 線 置線配 放配A1 1 fr 片 A 的 基部得。 膜上所3% 緣成述為 绝形上化 具上 變 之膜 之 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 、-° 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4規格（2] 0 X 297公釐） 22 38998

Claims (1)

1. H3 附 件 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 结86108738號專利申謫案ί 申請専利範圍修正本 (89年3月23日 由 有 含 於 在 激 特 其 液 布 塗 用 成 形 謓 被 明 透 種 選 中 »1 S 及 物 合 化 機 無 的 成 而 物 氧 之 素 元 上Μ 棰 2 或 棰 ΙΑ 的 出 之 _-! ΤΧ 厂丨--- 式 般 ! 逑 下Μ 及 粒 微 基 甲 自 選 係 R 基 乙 Γ Ζ 7 基 丙 、 基基 氧丙 II磙 烯氫 乙- 中甲、 其- 基 丙 自 選Μ物 係 I 合 Ύ(. 及、矽 氧 與 7 氣 I 、 7 基、 烯基 乙丙 、 基 基氧 苯丙 、 氧 基環 丙· 群 組 之 基 甲 氯 三 、 基 胺 I 7 機 ？ 有溶 J 機 的 ί 示有 、所水 基)ρ含 苯數在 、 整 ， 基之物 1 3 J 丁 合 、1 混 基為之 丙*"物、群合 基 i 化 η 組 S 乙 _ 羼 之 Ϊ 、S 金* ^ « 甲_過 基 醯 乙 液 布 塗 用 成 形 膜 。 被 物明 解透 分之 水 中 加項 之 1 成第 所圍 解範 分利 水專 加請 中申 劑如 2 式 般 一 逑 下 為 物 合 化 矽 櫬 有 該 於 在 徵 特 其 R ο /IV * IX S 3\' 性 能 官 三 的 示 所 \ϊ/ 義 定 之 項 1λ 第 匯 範 利 專 謫 申 如 R 及 /IV 液 布 塗 用 成 形 膜 被 明 透 之 項 2 或 第 a 。 範 烷利 矽專 基請 氧申 烷如 3 液 布 塗 用 。 成 者形 _ 0 被被 透 透 之之 材項* Ϊ3! Η 被第 明 _ 透範 成利 形專 JW講 用申 係如 0 0 化布 坦 塗 平用 明成 透 形 成 _ 形被 上 件透 元 之 示 項顯2 »|或 晶 1 液第 有圍 備範 具利 在專 Μ 請 用申 係如 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )Α4規格（210 X 297公#) 3 8 9 9 8 Η 6 液 布 。 塗 _ 用 被成 護形 保 _ 明被 透明 成透 形之 上 片 色 濾第 有園 備範 具利 在專 Μ誚 用 _ 係 如 項 2 或 0 被 緣 絕 成 形 上 件 元 體 導第 半圃 備 範 具利 在專 Μ 請 用申 係如 特 其 液 布 塗 用 成 形 膜 被 明 透 之 項 § 壤 係 粒 微 物 合 化 拥 0 該 為 徵 υο 特 其 液 布 塗 用 成 形 膜 。 被 物明 化透 氧之 合 項 複L 上 Κ 種 兩 之 第 _ 範 利 專 請 申 如 氧 烷 % 鹽 羥 、 鹽 之 羼 金 渡。 過者 為物 物 合 合 化 化鹽 屬_ 金丙 渡黼 過乙 該或 為鹽 徼基 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )Α4規格（210 X 297公董) 2 38 9 98

   C4 442544 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 雲！ 專利説明書 中文 透明被膜形成用塗布液 發明 一、& &名稱 新型 英文 COATING SOLUTION FOR FORMING A TRANSPARENT FILM 姓名 (1)松田政幸 （2)小柳嗣雄 （3)吉田宣昭 (4)小松通郎 發明 一、創作 國籍 日本國 住、居所 (1) (2) (3) 日本國福岡縣北九州市若松區北湊盯13番2號 觸媒化成工業株式会社若松工場內 (4)日本國福岡縣遠賀郡遠賀盯別府4031-1 姓名 觸媒化成工業股份有限公司 (名稱） 國 籍 日本國 三、申請人 住、居所 (事務所） 日本國東京都千代田區大手町二丁目6番2號 代表人 姓名 内海治 本紙張尺度適用中國國家標隼（cns } a4規格（210χ297公釐） 1 (修正頁)38998

   附件 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 ) 卜 I 術 翎 域 1 I 本 發 明 為 有 醑 於 一 種 透 明 被 m 形 成 用 塗 布 液 及 使 用 此 1 1 1 塗 布 液 形 成 的 被 覆 透 明 被 m 之 基 材 t 詳 言 之 即 — 種 可 在 基 1 1 材 之 表 面 形 成 具 優 良 的 m 热 性 > m m 性 、 附 藥 品 性 附 電 讀 閱 讀 背 1 1 I 漿 性 等 » 其 釋 離 氣 if 之 產 生 量 少 » 且 透 明 性 Λ 平 坦 性 良 好 1 Ί 的 被 m 塗 布 液 t 以 及 在 其 表 面 形 成 此 種 被 m 之 被 覆 透 明 膜 之 注 意 1 1 | 之 基 材 0 項 再 填 1 1 1 術 背 景 | 本 已 往 > 在 m 子 材 料 領 域 » 形 成 平 坦 化 被 m 或 絕 緣 性 保 R 1 1 護 被 膜 時 1 所 用 的 材 料 為 丙 烯 酸 糸 樹 脂 Λ 聚 m 系 樹 腊 等 有 1 1 m 樹 脂 0 1 1 例如在TFT型液晶顯示裝置中， TPT陣列基 Η 側 凹 凸 之 訂 1 平 坦 化 » 係 在 包 含 傳 動 電 路 之 基 片 上 形 成 厚 度 數 μ函 程 度 之 1 1 I 有 機 樹 脂 被 膜 » 將 基 Η 表 面 平 坦 化 » 之 後 再 裝 上 ΙΤ0 等 顯 1 1 I 示 霣 極 而 構 成 〇 1 ί 然 而 % 在 Μ 濺 鍍 法 等 在 平 坦 化 m 上 形 成 顬 示 霣 極 (ΙΤ0 Ί m ) 時 9 因 為 有 機 系 平 坦 化 m 之 附 熱 溫 度 低 (150 250 1C ) i 1 t 致 其 酎 高 灞 性 及 m 霣 漿 性 不 良 « 而 產 生 被 m 變 色 (裼變） 1 I > 透 光 率 降 低 等 間 題 〇 此 外 » m 鍍 時 裝 置 内 為 真 空 狀 態 1 1 I 因 此 此 時 樹 脂 被 m 中 之 未 硬 化 成 份 或 再 哄 附 成 份 等 氣 體 成 1 份 之 釋 離 會 延 缓 装 置 内 逹 到 真 空 之 時 間 甚 或 有 污 染 装 置 1 1 内 部 之 問 題 0 1 1 另 外 1 在 含 濾 色 Η 之 液 晶 顯 示 装 置 中 其 濾 色 Η 保 護 1 I 臟 使 用 有 機 樹 脂 製 被 膜 的 場 合 * 亦 有 射 热 性 之 問 題 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 3 (修正頁） 38998 爹正I d425 44 A7 B7 經濟部中央榇準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 3 ) \ | 發 明 的 1 ! 本 發 明 以 解 決 上 述 已 往 技 術 中 存 在 之 問 題 點 為 百 的 1 I 欲 提 供 一 種 含 無 灞 化 合 物 微 粒 及 m 渡 金 靨 變 性 加 水 分 解 性 1 I 有 櫬 矽 化 合 物 (矽倍半嗎烷聚合物， S i 1 s e k) 之 透 明 被 臢 彤 請 先 1 1 閱 1 成 用 塗 布 液 0 讀 背 1 同 時 其 g 的 亦 欲 提 供 含 有 使 用 此 種 塗 布 液 所 形 成 的 透 ιέ 之 i 注 明 被 尚 之 基 材 ， 含 有 使 用 此 種 塗 布 液 所 形 成 之 平 坦 化 m 的 意 事 1 項 I 液 晶 顬 示 裝 置 > 含 有 使 用 此 種 塗 布 液 所 形 成 之 被 覆 保 護 m 再 填 1 m 色 片 的 液 晶 顬 示 裝 置 1 及 含 有 使 用 此 種 塗 布 液 所 形 成 本 頁 策 | 之 絕 緣 m 的 半 導 醴 装 置 〇 、， 1 I 發 明 開 示 1 1 本 發 明 中 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 之 特 徽 為 含 有 無 櫬 化 1 [ 合 物 微 粒 » 及 下 述 — 般 式 [I] 所 示 有 m 矽 化 合 物 之 加 水 分 訂 I 解 物 0 1 1 Rn Si (OR . ) 4 -η [I ] I 1 U 輿R '為相同或相異之有機基， η 為1 3之整數< ) 1 1 前 述 有 櫬 矽 化 合 物 Μ 下 述 一 般 式 [I I] 所 表 之 三 官 能 性 I 烧 氧 基 矽 燒 為 佳 0 1 1 I RS i (OR ' )3 [ II] 1 1 (R 及R ’為相同或相異之有機基 ) 1 | 刖 述 有 櫬 矽 化 物 之 加 水 分 解 m Μ 屬 於 過 渡 金 颺 化 合 1 物 而 包 含 經 化 學 變 性 之 通 渡 金 羼 元 素 之 含 有 邊 渡 金 靥 之 有 1 ί 櫬 矽 化 合 物 加 水 分 解 物 為 佳 0 1 1 此 種 含 有 邊 渡 金 屬 有 機 矽 化 合 物 加 水 分 解 m ， 上 述 1 I 式 [I ]中所示的有櫬矽化合物與遢液金鼷化合物之混合物， 1 1 I 在 含 水 之 有 櫬 溶 m 中 加 水 分 解 者 為 佳 0 I 1 本紙張尺度適用中國B家標準（CNS) μ規格（210X297公釐） 5(修正頁） 38998 修正1 Α7 Β7 經滴部中央標準局—工消費合作社印掣 五、發明説明（ 1 1 ) |) I m 明 被 m 形 成 用 塗 布 液 所 形 成 之 涵 緣 被 m 〇 1 1 此 種 絕 緣 被 膜 可 在 例 如 半 導 艚 元 件 之 鋁 或 m m 嬢 曆 等 1 1 金 鼷 配 線 曆 輿 基 片 之 間 » 或 在 2 靨 Μ 上 之 金 屬 配 嫌 層 叠 成 1 I 的 多 層 配 線 曆 之 曆 間 形 成 平 坦 化 絕 緣 膜 0 此 種 m 緣 被 m * 諳 閱 讀 背 1 1 I 亦 可於PN接合元件 霣 容 元 件 或 霣 阻 元 件 等 之 上 形 成 猪 緣 1 保 讓 膜 0 之 注 意 1 I 如 前 述 之 半 導 級 装 置 » 其 構 成 的 多 層 配 媒 層 由 二 曆 Μ 項 再 填 寫 本 1 1 1 上 之 金 軀 配 線 曆 所 叠 成 者 1 各 配 線 層 間 之 低 介 電 常 數 平 坦 衣 [ 化 m 緣 膜 特 別 以 m JP 〇. 05 2μ 者為佳< ) Μ 'w· 1 1 此 種 如 上 述 在 半 導 髖 元 件 上 所 形 成 的 絕 被 賴 S 在 形 1 1 成 如 上 述 的 接 觸 孔 其 去 除 光 阻 之 氧 霣 漿 去 除 光 阻 裝 置 » 將 1 1 使 接 觸 孔 露 出 的 膜 不 致 產 生 多 孔 質 而 極 為 细 密 0 訂 ! s_ 明 功 效 1 I 本 發 明 之 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 ， 因 對 基 材 之 濕 濶 性 1 1 良 好 t 且 對 各 種 有 機 溶 劑 互 溶 性 亦 佳 t 因 此 有 良 好 的 印 刷 1 1 性 塗 布 性 〇 可 Μ 形 成 高 均 勻 性 之 透 明 被 m > 其 例 如 平 坦 I 化 膜 〇 形 成 的 通 明 被_ ^200¾左右之低溫热處理時， 可 1 1 得鉛筆硬度約5H之S明 被 m 0 1 1 利 用 本 發 明 之 透 明 被 m 形 成 用 塗 布 液 形 成 之 通 明 m t ] \ I 當 改 變 其 有 檐 矽 化 合 物 加 水 分 解 物 中 邊 渡 金 属 之 含 量 時 t 1 1 可 控 制 其 折 射 率 介 電 常 數 絕 緣 性 1 形 成 透 明 性 > m 1 1 m 性 附 溶 m 性 > m m 性 、 m 酸 性 射 王 水 性 優 越 的 m 明 1 1 被 膜 0 1 I 利 用 此 透 明 被 膜 形 成 用 塗 布 液 形 成 的 透 明 被 祺 > 因 具 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公釐） 13 (修正頁） 3899 8 442544 jjl d A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 12 ) I 1 有 儍 越 的 射 热 性 » 即 使 在 被 m 上 m 鍍 \ m 鍍 > CVD等形 1 1 成 ΙΤΟ膜等無镞被膜， 亦不致減少被讚之s明性而可維持 1 1 髙 m 明 性 » 且 無 機 被 m 之 密 蕃 性 亦 非 常 良 好 0 /·— 1 1 此 外 * 上 述 的 透 明 被 膜 9 因 其 介 霣 常 數 小 體 積 電 阻 請 先 1 1 | 率 高 9 與 已 往 之 有 櫬 樹 脂 被 膜 比 較 » 其 膜 厚 可 Μ 更 细 薄 1 讀 背 1 1 因 此 可 提 高 其 透 明 性 〇 之 注 意 1 I 特 別 是 本 發 明 之 液 晶 顙 示 裝 置 中 * 便 用 本 發 明 之 塗 布 事 項 # I I 1 液 所 形 成 的 平 坦 化 被 膜 上 或 保 護 膜 上 % Μ 濺 m 法 形 成 ITO 填 寫 本 頁 策 I m 時 * m 鍍 後 之 被 臢 幾 乎 不 會 發 生 變 色 或 逋 光 率 降 低 情 形 1 1 1 此 外 f 因 真 空 時 由 逋 明 被 m 釋 離 的 氣 體 物 ft 較 少 t 故 1 1 I 激 鍍 時 裝 置 内 到 逹 高 真 空 度 之 時 間 可 以 較 榭 脂 % 被 膜 縮 短 訂 I t 可 Μ 顯 著 改 菩 m 嫌 之 作 桊 性 〇 1 1 I 另 外 f 由 於 所 得 的 透 明 被 m 之 膜 應 力 比 已 往 之 有 櫬 系 1 1 1 被 m 低 » 因 此 嫌 乎 不 會 發 生 由 於 被 膜 形 成 後 臢 收 鏞 所 導 致 1 I 之 基 材 m 曲 被 m 龜 裂 > 被 膜 剝 m 等 對 設 於 被 m 下 的 元 1 件 嫌 乎 無 m 響 〇 1 1 由 如 上 述 的 m 明 被 臢 形 成 平 坦 化 被 RI 之含TFT陣列基 1 | 片 液 晶 顯 示 裝 置 » >x 及 由 如 上 述 透 明 被 _ 形 成 保 護 被 m 之 1 I 含 濾 色 片 液 晶 顧 示 裝 置 中 1 由 於 與 液 晶 Ψ 接 觸 的 定 向 m 表 1 j 面 之 形 狀 經 予 平 坦 化 t 因 此 可 抑 制 因 表 面 形 狀 而 產 生 的 表 1 面 定 向 干 播 防 止 顳 示 磁 m 發 生 減 少 面 板 顧 示 時 之 決 光 1 1 及 提 高 對 此 等 之 效 果 f 液 晶 顯 示 元 件 之 良 品 率 及 顯 示 品 霣 1 1 均 佳 〇 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】〇X297公釐） 14(修正頁） 38998 442 5 44 A7 B7 SJ 五、發明説明（15 [被膜外觀]:以目視檢査評估表面狀態。 [通光率]:Μ分光光度計[Ubest-55](JASC0股份有限公司 製造）澜定其波長400η·、550η雇下之透光率。 [平滑性]:W觸針式表面粗糙計「surfcoi」（東京精密股 份有限公司製造）評估表面之平滑性。 [密著性]:KJISK 5400之方格測試法評估。 [硬度]:MJISK 5400之铅筆硬度法評估。 [氣《釋離量（達到真空之時間 >]:將包覆塗膜之基片置於 不锈鋼製密閉容器内，於201C下減壓至lxlO~4Torr後， 浸入25〇υ之矽氧油浴中，测定回復為原先真空度IX 10一4 Tor r所需之時間。 [射热性]:K塗膜在250 ¾下保持1小時後拥定之透光率 、顔色變化及塗膜之外觀，以及K分光光度計「U“st-55」（JASC0股份有限公司製造）測定波長400η·及550η·下 之透光率評估。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ---------一衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) [濺鍍特性]:以«鍍装置（島津製作所製造，HSR-521A)在 RF功率500W、真空度4xl0_2T〇rr 5分鐘下形成ΙΤ0鎮， 拥定其透光率（400η·、550ηι)。透明被賴之變色程度則以 目視觀察。 [介電常數]:MLCR計澜器（NF Eletronic Instrunent 製 埴，2 3 3 0 A)澜定被膜之介霣常數。 [膜應力]:Μ臟應力测驗裝置（FSM 8800)澜定被鼸之膜應 力。 其次，以下列項目評估被膜之外觀變化及基材之密接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 17 (修正頁） 389 9 8 7 7 A B 五、發明説明（17) 表1 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 被膜外覿 無異常 透光率（％ ) (400η皿） 99.0 (5 5 0 n a ) 99 . 9 平滑性（w ») 0.005 密著性 100 / 100 硬度 4 Η 氣B釋出量（達到與空之時間） 30分 射热性 透光率（¾) (40 0η·) 99.0 (5 5 0 η ·) 99 . 9 被膜外顴 無變化 溉鍍特性 透光率（％) (400η*) 99.0 (5 5 0 n a ) 99.9 被Μ外覼 無，變色 電容率 2.5 it 應力（dyn/ca2) 2.1 X 108 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 19 (修正頁） n - - i- -- -- - 1--i/r - - -I I ^—J. , 3. ，\=s (讀先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 38998 H3 附 件 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 结86108738號專利申謫案ί 申請専利範圍修正本 (89年3月23日 由 有 含 於 在 激 特 其 液 布 塗 用 成 形 謓 被 明 透 種 選 中 »1 S 及 物 合 化 機 無 的 成 而 物 氧 之 素 元 上Μ 棰 2 或 棰 ΙΑ 的 出 之 _-! ΤΧ 厂丨--- 式 般 ! 逑 下Μ 及 粒 微 基 甲 自 選 係 R 基 乙 Γ Ζ 7 基 丙 、 基基 氧丙 II磙 烯氫 乙- 中甲、 其- 基 丙 自 選Μ物 係 I 合 Ύ(. 及、矽 氧 與 7 氣 I 、 7 基、 烯基 乙丙 、 基 基氧 苯丙 、 氧 基環 丙· 群 組 之 基 甲 氯 三 、 基 胺 I 7 機 ？ 有溶 J 機 的 ί 示有 、所水 基)ρ含 苯數在 、 整 ， 基之物 1 3 J 丁 合 、1 混 基為之 丙*"物、群合 基 i 化 η 組 S 乙 _ 羼 之 Ϊ 、S 金* ^ « 甲_過 基 醯 乙 液 布 塗 用 成 形 膜 。 被 物明 解透 分之 水 中 加項 之 1 成第 所圍 解範 分利 水專 加請 中申 劑如 2 式 般 一 逑 下 為 物 合 化 矽 櫬 有 該 於 在 徵 特 其 R ο /IV * IX S 3\' 性 能 官 三 的 示 所 \ϊ/ 義 定 之 項 1λ 第 匯 範 利 專 謫 申 如 R 及 /IV 液 布 塗 用 成 形 膜 被 明 透 之 項 2 或 第 a 。 範 烷利 矽專 基請 氧申 烷如 3 液 布 塗 用 。 成 者形 _ 0 被被 透 透 之之 材項* Ϊ3! Η 被第 明 _ 透範 成利 形專 JW講 用申 係如 0 0 化布 坦 塗 平用 明成 透 形 成 _ 形被 上 件透 元 之 示 項顯2 »|或 晶 1 液第 有圍 備範 具利 在專 Μ 請 用申 係如 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )Α4規格（210 X 297公#) 3 8 9 9 8