TW201818024A - 加濕器和空氣調和裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種可抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中，且可於穩定的狀態下控制空氣濕度的加濕器。本發明的加濕器5具有：貯存槽51，朝上方開放並貯存水；加熱器52，對貯存槽51內的水進行加熱；以及導流板53，於沿著水平方向延伸的第一方向D1上，相對於貯存槽51的中央而於其中一側及另一側的至少一側配置於貯存槽51的上方。導流板53以其上部相較於其下部而位於第一方向D1上的貯存槽51的中央側的方式傾斜並延伸。

Description

加濕器和空氣調和裝置
本發明是有關於一種加濕器和具備其的空氣調和裝置。
於半導體製造時的圖案形成步驟中存在利用光微影術（photolithography）的情況。光微影術中，首先將感光性的抗蝕劑塗佈於基板上之後，將與所需的圖案對應的光曝光於抗蝕劑，其次，例如於抗蝕劑為光硬化型的感光材料的情況下，藉由溶劑等將抗蝕劑中的未曝光有光的區域去除。藉此，可將所需的圖案形成（顯影）於抗蝕劑。
關於所述般的抗蝕劑，已知塗佈時及曝光時的膜厚可根據溫度及濕度而發生變化。因此，於抗蝕劑的周邊環境的空氣的溫度及濕度與所需的溫度及濕度大不相同的狀況下，存在所形成的圖案的尺寸精度顯著降低的情況。因而，用以實施光微影術的裝置及其周邊環境通常藉由空氣調和裝置來精密地控制其溫度及濕度。
於用以如所述般實施精密的溫度調節及濕度調節的空氣調和裝置的領域中，先前已提出有各種技術。例如，專利文獻1中揭示有一種為了防止貯存於加濕器的盤（pan）中的水的晃動而於盤內收容有網（mesh）狀的構件的裝置。所述裝置中，藉由防止貯存於盤中的水的晃動而實現了濕度控制的精度提升。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2007-335544號公報
[發明所欲解決的課題] 且說，作為用以實施精密的溫度調節及濕度調節的空氣調和裝置的一例，已知有如下空氣調和裝置，其具備使空氣通流的空氣通流路、以及收容於該空氣通流路內的冷卻器、加熱裝置及加濕器，且於空氣通流路內控制空氣的溫度及濕度。於此種空氣調和裝置中存在採用將形成有空氣通過孔的金屬製的板（plate）安裝於空氣通流路的下游側開口，且使空氣通流路內的空氣穿過板的空氣通過孔而通流至下游側的構成的情況。
然而，本案發明者發現，於採用所述般的構成的空氣調和裝置中容易產生濕度尖峰（humidity spike）。再者，所謂濕度尖峰，是指空氣的濕度瞬間大幅偏離目標值的現象。而且，本案發明者進行了努力研究，結果獲得如下見解：此種濕度尖峰產生的主要原因在於，來自加濕器的蒸汽於所述板的通過孔周圍的壁面上結露，於壁面產生的水混入空氣中而流向下游側。
本發明是基於所述見解而成者，目的在於提供一種可抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中，且可於穩定的狀態下控制空氣濕度的、加濕器及空氣調和裝置。 [解決課題之手段]
本發明為一種加濕器，其特徵在於具備：貯存槽，朝上方開放並貯存水；加熱器，對所述貯存槽內的水進行加熱；以及導流板，於沿著水平方向延伸的第一方向上，相對於所述貯存槽的中央而於其中一側及另一側的至少一側配置於所述貯存槽的上方，且所述導流板以其上部相較於其下部而位於所述第一方向上的所述貯存槽的中央側的方式傾斜並延伸。
根據本發明的加濕器，可使來自貯存槽的蒸汽混入自於水平面上與第一方向交叉的方向於貯存槽的上方通過的空氣中，且可藉由導流板一面將所述混入有蒸汽的空氣導引至貯存槽的中央側，一面使所述混入有蒸汽的空氣通過至貯存槽的外側。藉此，可將混入有蒸汽的空氣聚集至於沿著於水平面上與第一方向正交的方向觀察的情況下位於導流板的延長線上的、貯存槽的外側的所需區域。另一方面，可抑制混入有蒸汽的空氣大範圍地擴散並於不需要的區域結露。其結果，可抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中，且可於穩定的狀態下控制空氣的濕度。
本發明的加濕器中亦可為，所述導流板具有傾斜邊部，於俯視時，所述傾斜邊部的、於水平面上與所述第一方向正交的第二方向的其中一側的端部相較於另一側的端部而位於遠離所述第一方向上的所述貯存槽的中央的位置。
所述情況下，可一面將混入有蒸汽的空氣沿著傾斜邊部導引至貯存槽的中央側，一面使所述混入有蒸汽的空氣朝貯存槽外側的所需區域通過，因此可將於貯存槽中的第二方向的其中一側的區域中跨越大範圍而存在的混入有蒸汽的空氣供給至貯存槽外側的所需區域。藉此，可有效地抑制混入有蒸汽的空氣大範圍地擴散，且有效地抑制不需要的蒸汽的結露。
另外，本發明的加濕器中亦可為，所述導流板具有於水平面上面向所述第二方向的另一側的另一側邊部，且所述另一側邊部沿著所述第一方向延伸。
所述情況下，與另一側邊部相對於第一方向傾斜的情況相比，可抑制來自貯存槽的蒸汽自另一側邊部漏至外側。
另外，本發明的加濕器中亦可為，所述第二方向的另一側的所述貯存槽的壁部沿著所述第一方向延伸，且所述另一側邊部於俯視時與所述壁部重疊或者位於所述壁部的外側。
所述情況下，可有效地抑制來自貯存槽的蒸汽自另一側邊部漏至外側。
另外，本發明的加濕器中亦可為，於所述另一側邊部設置有向下方突出且沿著所述另一側邊部延伸的突部。
所述情況下，可藉由突部來有效地抑制來自貯存槽的蒸汽自另一側邊部漏至外側，且可使於導流板的下表面由蒸汽結露所產生的水自突部的下端返回貯存槽。另外，可藉由突部來抑制導流板的彎曲變形，因此可抑制可能因空氣的流動而產生的導流板的搖擺。
另外，本發明的加濕器中亦可為，所述導流板以於俯視時於所述第一方向上與自身所位於的一側的所述貯存槽的壁部之間形成間隙的方式設置。
所述情況下，可穿過導流板和其所位於的一側的貯存槽的壁部之間的間隙來配置浮控開關等構件。進而，如此般有效地利用間隙的同時，間隙位於遠離供給空氣的所述貯存槽的中央外側的所需區域的位置，因此即使貯存槽的蒸汽於不需要的區域結露，亦可抑制水流向所需區域。
另外，本發明的加濕器中亦可為，所述導流板於所述第一方向上相對於所述貯存槽的中央而配置於其中一側及另一側這兩側，且一對所述導流板以穿過所述第一方向上的所述貯存槽的中央且沿著與所述第一方向正交的第二方向延伸的鉛垂面為基準對稱地構成。
所述情況下，相較於導流板為一個的情況，可更有效地抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中，且可於更穩定的狀態下控制空氣的濕度。
另外，本發明為一種空氣調和裝置，其特徵在於具備：使空氣通流的空氣通流路；安裝於所述空氣通流路的下游側開口且形成有空氣通過孔的板；以及加濕器，設置於所述空氣通流路，且能夠將蒸汽供給於所述空氣通流路內，且所述空氣通流路具有設置有所述下游側開口且沿著水平方向延伸的水平流路部，於所述水平流路部設置有所述加濕器，所述加濕器具有：貯存槽，朝上方開放於所述水平流路部的內部並貯存水；加熱器，對所述貯存槽內的水進行加熱；以及導流板，於沿著水平方向延伸的第一方向上，相對於所述貯存槽的中央而於其中一側及另一側的至少一側配置於所述貯存槽的上方，且所述導流板以其上部相較於其下部而位於所述第一方向上的所述貯存槽的中央側的方式傾斜並延伸，所述空氣調和裝置以於水平面上與所述第一方向正交的第二方向沿著所述水平流路部的延伸方向的方式配置有所述加濕器。
根據本發明的空氣調和裝置，可於空氣通流路的水平流路部內使來自貯存槽的蒸汽混入自於水平面上與第一方向交叉的方向於貯存槽的上方通過的空氣中，且可藉由導流板一面將所述混入有蒸汽的空氣導引至貯存槽的中央側，一面使所述混入有蒸汽的空氣通過至貯存槽的外側。藉此，可於如下狀態下將混入有蒸汽的空氣聚集至板的空氣通過孔，所述狀態為以於沿著於水平面上與第一方向正交的方向、即第二方向觀察的情況下板的空氣通過孔位於導流板的延長線上的方式設置（set）加濕器。另一方面，可抑制混入有蒸汽的空氣大範圍地擴散並於不需要的區域、具體為板的空氣通過孔周圍的區域結露。其結果，可抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中，且可於穩定的狀態下控制空氣的濕度。
本發明的空氣調和裝置中亦可為，所述導流板具有傾斜邊部，於俯視時，所述傾斜邊部的、所述第二方向的其中一側的端部相較於另一側的端部而位於遠離所述第一方向上的所述貯存槽的中央的位置，且所述板相對於所述加濕器而位於所述第二方向的另一側。
所述情況下，可一面將混入有蒸汽的空氣沿著傾斜邊部導引至貯存槽的中央側，一面使所述混入有蒸汽的空氣朝貯存槽外側的板的空氣通過孔通過，因此可將於貯存槽中的第二方向的其中一側的區域中跨越大範圍而存在的混入有蒸汽的空氣供給至板的空氣通過孔。藉此，可有效地抑制混入有蒸汽的空氣大範圍地擴散，且有效地抑制不需要的蒸汽的結露。
另外，本發明的空氣調和裝置中亦可為，所述導流板具有面向所述第二方向的另一側的另一側邊部，且所述另一側邊部沿著所述第一方向延伸。
所述情況下，與另一側邊部相對於第一方向傾斜的情況相比，可抑制來自貯存槽的蒸汽自另一側邊部漏至外側。
另外，本發明的空氣調和裝置中亦可為，所述第二方向的另一側的所述貯存槽的壁部沿著所述第一方向延伸，且所述另一側邊部於俯視時與所述壁部重疊或者位於所述壁部的外側。
所述情況下，可有效地抑制來自貯存槽的蒸汽自另一側邊部漏至外側。
另外，本發明的空氣調和裝置中亦可為，於所述另一側邊部設置有向下方突出且沿著所述另一側邊部延伸的突部。
所述情況下，可藉由突部來有效地抑制來自貯存槽的蒸汽自另一側邊部漏至外側，且可使於導流板的下表面由蒸汽結露所產生的水自突部的下端返回貯存槽。另外，可藉由突部來抑制導流板的彎曲變形，因此可抑制可能因空氣而產生的導流板的搖擺。
另外，本發明的空氣調和裝置亦可進而具備：吸濕構件，所述吸濕構件於所述第二方向的另一側的所述貯存槽的壁部的上方或所述第二方向的另一側的斜上方沿上下方向延伸。
所述情況下，可藉由吸濕構件將來自貯存槽的蒸汽的一部分保持為水的狀態，且可抑制蒸汽於板的空氣通過孔的周圍結露。特別是來自貯存槽中的板側的區域的蒸汽混入空氣中並附著於板的空氣通過孔的周圍而可能變得容易結露，但可藉由吸濕構件位於貯存槽的板側來有效地抑制結露的產生。另外，來自貯存槽的蒸汽即使於自另一側邊部漏至外側的情況下，亦能藉由吸濕構件以水的狀態得以保持，藉此可有效地抑制自另一側邊部漏至外側的蒸汽結露且結露而成的水混入空氣中並流動。藉此，可於更穩定的狀態下控制空氣的濕度。
另外，本發明的空氣調和裝置中亦可為，所述導流板以於俯視時於所述第一方向上與自身所位於的一側的所述貯存槽的壁部之間形成間隙的方式設置。
所述情況下，可穿過導流板和其所位於的一側的貯存槽的壁部之間的間隙來配置浮控開關等構件。進而，如此般有效地利用間隙的同時，以間隙位於遠離供給空氣的板的空氣通過孔的位置的方式配置加濕器，藉此，即使貯存槽的蒸汽於不需要的區域結露，亦可抑制水流向空氣通過孔。
另外，本發明的空氣調和裝置中亦可為，於沿著所述第二方向觀察的情況下，所述導流板的一部分與所述空氣通過孔重疊。
所述情況下，可有效地抑制藉由導流板導引的混入有蒸汽的空氣蔓延至板的空氣通過孔的周圍，因此可有效地抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中。
另外，本發明的空氣調和裝置中亦可為，於沿著所述第二方向觀察的情況下，所述導流板的延長線穿過所述空氣通過孔的中心。
所述情況下，可將藉由導流板導引的混入有蒸汽的空氣朝板的空氣通過孔的中心供給，藉此可有效地抑制該空氣蔓延至板的空氣通過孔的周圍。藉此，可有效地抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中。
另外，本發明的空氣調和裝置中亦可為，所述空氣通過孔為圓形，於沿著所述第二方向觀察的情況下，所述導流板的一部分與所述空氣通過孔重疊，且自所述第一方向上的所述空氣通過孔的端點起所述導流板於所述第一方向上朝所述空氣通過孔的中心側突出的距離相對於所述空氣通過孔的直徑而為5/36～10/36。
根據本案發明者的努力研究，發現：於自第一方向上的空氣通過孔的端點起導流板於第一方向上突出的距離相對於空氣通過孔的直徑而為5/36～10/36的情況下，可極其有效地抑制混入有蒸汽的空氣蔓延至板的空氣通過孔的周圍。
另外，本發明的空氣調和裝置中亦可為，所述導流板於所述第一方向上相對於所述貯存槽的中央而配置於其中一側及另一側這兩側，且一對所述導流板以穿過所述第一方向上的所述貯存槽的中央且沿著所述第二方向延伸的鉛垂面為基準對稱地構成。
所述情況下，相較於導流板為一個的情況，可更有效地抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中，且可於更穩定的狀態下控制空氣的濕度。 [發明的效果]
根據本發明，可抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中，且可於穩定的狀態下控制空氣的濕度。
以下，參照附帶的圖式來詳細說明本發明的一實施形態。
（空氣調和裝置的整體構成） 圖1是本發明的一實施形態的空氣調和裝置1的側面圖。如圖1所示，本實施形態的空氣調和裝置1具備：使空氣通流的空氣通流路2；設置於空氣通流路2的冷卻器3、加熱裝置4及加濕器5；以及賦予用以使空氣於空氣通流路2中通流的驅動力的鼓風機6。空氣通流路2具有：沿著上下方向延伸的縱流路部21；以及與縱流路部21的上部連通且自該上部沿著水平方向延伸的水平流路部22。以下說明中，將沿著水平方向與圖1的紙面正交的方向稱作第一方向D1，將沿著水平方向與第一方向D1正交且水平流路部22進行延伸的、以圖1的箭頭所示的方向稱作第二方向D2。
縱流路部21於其下部設置有沿著水平方向開口的上游側開口21A，本實施形態中，上游側開口21A自縱流路部21的內部朝第二方向D2的其中一側（圖1的右方向）開口。上游側開口21A是為了將空氣取入縱流路部21的內部而設置。本實施形態中，設置於上游側開口21A的外側的過濾器裝置23將上游側開口21A覆蓋。藉此，穿過過濾器裝置23而將顆粒去除了的空氣自上游側開口21A被取入縱流路部21的內部。再者，以下說明中，提及第二方向D2的其中一側時的方向是指圖1中的右方向，提及第二方向D2的另一側時的方向是指圖1中的左方向。
水平流路部22於與縱流路部21側為相反側的端部、即第二方向D2的另一側的端部設置有下游側開口22A。此處，圖2表示空氣通流路2中的水平流路部22的下游側開口22A周邊的沿第二方向D2的面的縱剖面圖。如圖2所示，本實施形態中，於下游側開口22A處安裝有形成有空氣通過孔24A的板24。板24是以利用未形成有空氣通過孔24A的區域將下游側開口22A覆蓋的方式安裝，空氣通過孔24A較下游側開口22A而形成得小。藉此，本實施形態中，自上游側開口21A被取入空氣通流路2的內部的空氣自板24的空氣通過孔24A被送往空氣通流路2的外部。
板24例如由不鏽鋼等板材形成。本實施形態中，板24藉由螺釘來安裝於水平流路部22，但板24亦可藉由焊接等而與水平流路部22一體化，板24與水平流路部22亦可作為由一種材料所形成的一體物來形成。另外，空氣通過孔24A為圓形的孔（參照圖3），但空氣通過孔24A的形狀亦可為矩形等其他形狀。
如圖1及圖2所示，鼓風機6是以於第二方向D2上與板24對向的方式配置，且經由導管（duct）25而與空氣通過孔24A連通。鼓風機6藉由使省略了圖示的風扇旋轉來將空氣通流路2的內部的空氣取入所述鼓風機6的內部，並自朝上方開口的噴出口25A噴出。藉由鼓風機6將空氣通流路2的內部的空氣取入，而外部的空氣自上游側開口21A被取入空氣通流路2的內部。藉此，空氣於空氣通流路2中通流。
如圖1所示，本實施形態中，冷卻器3設置於縱流路部21的下部內，加熱裝置4設置於縱流路部21的上部內。冷卻器3亦可為以壓縮機、凝縮器、膨脹閥及蒸發器使熱介質循環的方式按照該順序藉由配管所連接的冷卻迴路中的蒸發器。另外，加熱裝置4亦可為電加熱器（electric heater）等，亦可為利用於所述冷卻迴路中成為高溫的熱介質的一部分者。冷卻器3能夠以可變的冷凍能力將空氣通流路2的內部的空氣冷卻，加熱裝置4能夠以可變的加熱能力將空氣通流路2的內部的空氣加熱。加濕器5設置於水平流路部22且能夠將蒸汽供給於空氣通流路2內。
（加濕器） 其次一面參照圖3至圖6一面詳細地敘述加濕器5。圖3是沿著與水平方向平行的圖1的箭頭III的方向對設置於空氣通流路2的加濕器5的周邊觀察所得的圖，更詳細而言，是自空氣通流路2的內部朝第二方向D2的另一側對加濕器5的周邊觀察所得的圖。圖4是加濕器5的俯視圖，圖4中，為了便於說明而以兩點鏈線來表示所述水平流路部22及導管25。圖5是沿著圖3的箭頭V的方向對加濕器5觀察所得的圖，圖5中，為了便於說明而以兩點鏈線來表示所述水平流路部22及導管25。另外，圖6是圖5的主要部分的放大圖。
如圖3至圖6所示，本實施形態中的加濕器5具有：貯存槽51，朝上方開放於水平流路部22的內部並貯存水；加熱器52，對貯存槽51內的水進行加熱；以及一對導流板53，於沿著水平方向延伸的第一方向D1上，相對於貯存槽51的中央而於其中一側及另一側分別配置於貯存槽51的上方，且所述一對導流板53以其上部相較於其下部而位於第一方向D1上的貯存槽51的中央側的方式傾斜並延伸。本實施形態中的加濕器5中，一對導流板53以於第一方向D1上相向的方式配置，因此於水平面上與一對導流板53相向的方向正交的方向成為第二方向D2。因此，與一對導流板53相向的方向正交的方向是與水平流路部22的延伸方向平行。
再者，以下說明中，提及第一方向D1的其中一側時的方向是指圖3中的左方向，提及第一方向D1的另一側時的方向是指圖3的右方向。另外，提及第二方向D2的其中一側時的方向是指圖4中的下方向，提及第二方向D2的另一側時的方向是指圖4中的上方向。
貯存槽51具有底壁51A、以及自底壁51A的外周緣的整個區域向上方直立的周壁51B，該些底壁51A及周壁51B是由不鏽鋼等板材形成。俯視下的貯存槽51的形狀成為於第一方向D1上具有長度方向的長方形狀。周壁51B具有：與長方形狀的一對短邊對應的位於第一方向D1的其中一側及另一側的一對壁部、以及與長方形狀的一對長邊對應的位於第二方向D2的其中一側及另一側的一對壁部。另外，若對貯存槽51與板24的空氣通過孔24A的位置關係進行說明，則如圖3所示，於沿著第二方向D2觀察的情況下，空氣通過孔24A位於貯存槽51的上方。
本實施形態中，貯存槽51是以貫穿水平流路部22的下壁的狀態設置。若詳細說明，則如圖6所示，於周壁51B上設置有向外側延伸出去的凸緣51C，貯存槽51將凸緣51C卡止到形成於水平流路部22的下壁的開口的外周緣，而所述貯存槽51被保持於水平流路部22的下壁。再者，本實施形態中採用貯存槽51的一部分露出於水平流路部22的外部的構成，但加濕器5整體亦可收容於水平流路部22的內部。另外，加熱器52如圖3所示收容於貯存槽51的內部，並沿著貯存槽51的長度方向延伸。於加濕器5中，藉由調節加熱器52的加熱量來調節由貯存於貯存槽51中的水所產生的蒸汽的量，藉此能夠將於空氣通流路2中通流的空氣的濕度調節成所需的濕度。
一對導流板53分別由不鏽鋼等板材形成，並藉由省略了圖示的自貯存槽51的底部51A直立的支持構件受到支持而保持相對於水平方向傾斜的姿勢。本實施形態中，一對導流板53以穿過第一方向D1上的貯存槽51的中央且沿著第二方向D2延伸的鉛垂面為基準對稱地構成。另外，一對導流板53的上部於第一方向D1上相互分離且能夠使來自貯存槽51的蒸汽於一對導流板53的上部之間通過。再者，本實施形態中，於沿著第二方向D2觀察的情況下，一對導流板53呈直線延伸，但亦可呈彎曲狀延伸。
如圖4所示，一對導流板53分別具有：傾斜邊部54，於俯視時，所述傾斜邊部54的、第二方向D2的其中一側的端部相較於另一側的端部而位於遠離第一方向D1上的貯存槽51的中央的位置；另一側邊部55，面向第二方向D2的另一側；以及下側邊部56，於上下方向上位於貯存槽51側且沿著第二方向D2延伸。圖示的例子中，傾斜邊部54、另一側邊部55以及下側邊部56以於俯視時形成三角形狀的方式彼此相連。
所述板24及鼓風機6相對於加濕器5而位於第二方向D2的另一側，因此另一側邊部55面向板24及鼓風機6一側。相對於此，傾斜邊部54與另一側邊部55的第一方向D1上的貯存槽51的中央側的端部相連，且成為面向與板24及鼓風機6一側相反的一側的狀態。如圖5所示，於沿著第一方向D1觀察的情況下，傾斜邊部54朝板24及鼓風機6一側向斜上方傾斜並延伸。
如圖4所示，本實施形態中的另一側邊部55沿著第一方向D1延伸，因而，另一側邊部55與第二方向D2的另一側的貯存槽51的壁部51BB平行。此處，如圖4至圖6所示，另一側邊部55於俯視時與第二方向D2的另一側的貯存槽51的壁部51BB重疊。再者，本實施形態中，另一側邊部55於俯視時與第二方向D2的另一側的貯存槽51的壁部51BB重疊，但另一側邊部55於俯視時亦可位於壁部51BB的外側。
另外，如圖3所示，於另一側邊部55設置有向下方突出且沿著另一側邊部55延伸的突部57。本實施形態中，突部57與導流板53成為由一種材料所形成的一體物，但突部57亦可藉由螺釘來安裝於導流板53，亦可藉由焊接等來安裝於導流板53。
另一方面，如圖3及圖4所示，下側邊部56分別於第一方向D1上遠離自身所位於的一側的貯存槽51的壁部。即，本實施形態中，導流板53是以於俯視時於第一方向D1上與自身所位於的一側的貯存槽51的壁部之間形成間隙S的方式設置。本實施形態中，是以使省略了圖示的浮控開關於配置於第一方向D1的另一側的導流板53與貯存槽51的壁部之間的間隙S中通過的方式配置。再者，亦可不形成此種間隙S。
另外，本實施形態中，如圖3所示，於沿著第二方向D2觀察的情況下，導流板53的一部分與板24的空氣通過孔24A重疊。另外，於沿著第二方向D2觀察的情況下，自導流板53的上部朝向斜上方的延長線穿過空氣通過孔24A的中心C1。此處，導流板53的所述延長線較佳為穿過空氣通過孔24A的中心C1，且相對於沿著第一方向D1的直線而形成20°～30°的角度。於本案發明者的努力研究中，瞭解到藉由將導流板53的角度設定於此種角度範圍，可提升濕度的控制精度。再者，本實施形態中，於沿著第二方向D2觀察的情況下，導流板53與板24的空氣通過孔24A重疊，但導流板53亦可不與空氣通過孔24A重疊，亦可為導流板53的上部相較於空氣通過孔24A而位於下方。
另外，如圖3所示，自第一方向D1上的空氣通過孔24A的端點起導流板53於第一方向D1上朝空氣通過孔24A的中心側突出的距離L較佳為相對於空氣通過孔24A的直徑而為5/36～10/36。尤其，於本實施形態中，所述距離成為6/36（1/6）。於本案發明者的努力研究中，瞭解到藉由將導流板53的位置設定於此種尺寸範圍，可提升濕度的控制精度。
另一方面，本實施形態中的加濕器5進而具備吸濕構件60，所述吸濕構件60於第二方向D2的另一側（板24側）的貯存槽51的壁部51BB的上方或第二方向D2的另一側的斜上方沿上下方向延伸。如圖3所示，吸濕構件60為於第一方向D1上具有長度方向的長方形狀，且於第一方向D1上超出一對導流板53而向外側延伸。另外，如圖4及圖5所示，吸濕構件60形成為板狀。
於沿著第二方向D2、即水平流路部22的延伸方向觀察的情況下，吸濕構件60覆蓋空氣通過孔24A的一部分，於圖示的例子中，自空氣通過孔24A的下端起朝上端覆蓋至空氣通過孔24A的上下方向的最大長度的1/3為止的範圍。本實施形態中，吸濕構件60覆蓋空氣通過孔24A的一部分。詳細而言，吸濕構件60跨越空氣通過孔24A的一部分與板24的壁面來覆蓋該些空氣通過孔24A的一部分與板24的壁面。然而，吸濕構件60亦可不覆蓋空氣通過孔24A，例如亦可僅覆蓋較空氣通過孔24A的下端更靠下方的板24的壁面。另外，吸濕構件60亦可覆蓋空氣通過孔24A的斜下方或側方的板24的壁面。
本實施形態中，吸濕構件60為海綿，並藉由圖6所示的包括不鏽鋼等的板狀的支持構件61受到支持。於圖示的例子中，支持構件61沿著吸濕構件60的板24側的面延伸並對該面進行支持。支持構件61安裝於自貯存槽51的壁部51BB向板24側延伸出去的凸緣51C，並向上方延伸。構成吸濕構件60的海綿包括合成樹脂，特別是較佳為聚胺基甲酸酯泡沫（polyurethane foam）。尤其，構成吸濕構件60的海綿較佳為聚胺基甲酸酯泡沫中的軟質聚胺基甲酸酯泡沫，進而佳為其中的聚醚（polyether）系軟質聚胺基甲酸酯泡沫。於吸濕構件60為聚醚系軟質聚胺基甲酸酯泡沫的情況下，可抑制吸濕構件60於半導體製造步驟中造成不良影響，因此尤其於半導體製造的用途中有用。再者，吸濕構件60只要具有吸濕性，則亦可包含與海綿不同的材料，例如亦可包含布等纖維、或多孔質材料。
其次，對本實施形態的作用進行說明。
本實施形態的空氣調和裝置1中，鼓風機6藉由使風扇旋轉來將空氣通流路2的內部的空氣取入所述鼓風機6的內部，並自朝上方開口的噴出口25A噴出。藉由鼓風機6將空氣通流路2的內部的空氣取入，而外部的空氣自空氣通流路2的上游側開口21A被取入空氣通流路2的內部。藉此，空氣於空氣通流路2通流。被取入空氣通流路2內的空氣首先藉由冷卻器3冷卻，其次藉由加熱裝置4加熱，而被調節成所需溫度。之後，空氣通過加濕器5的上方，且其濕度得以調節。
圖7至圖9以箭頭來表示通過加濕器5的空氣的流動。加濕器5可於空氣通流路2的水平流路部22內使來自貯存槽51的蒸汽混入自於水平面上與第一方向D1交叉的方向於貯存槽51的上方通過的空氣中。而且，如各圖的箭頭所示，可藉由導流板53一面將所述混入有蒸汽的空氣導引至貯存槽51的中央側，一面使所述混入有蒸汽的空氣通過至貯存槽51的外側。
藉此，可於如下狀態下將混入有蒸汽的空氣聚集至板24的空氣通過孔24A，所述狀態為以於沿著於水平面上與第一方向D1正交的方向、即第二方向D2觀察的情況下板24的空氣通過孔24A位於導流板53的延長線上的方式設置（set）加濕器5。另一方面，可抑制混入有蒸汽的空氣大範圍地擴散並於不需要的區域、具體為板24的空氣通過孔24A的周圍的區域結露。
另外，可藉由吸濕構件60將來自貯存槽51的蒸汽的一部分保持為水的狀態，且可抑制蒸汽於板24的空氣通過孔24A的周圍結露。特別是來自貯存槽51的板24側的區域的蒸汽與空氣混合並附著於板24的空氣通過孔24A的周圍而可能變得容易結露，但藉由吸濕構件60位於貯存槽51的板24側而可有效地抑制結露的產生。
因而，根據以上所說明的本實施形態，可抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中，且可於穩定的狀態下控制空氣的濕度。
另外，本實施形態中，導流板53具有傾斜邊部54，於俯視時，所述傾斜邊部54的第二方向D2的其中一側的端部相較於另一側的端部而位於遠離第一方向D1上的貯存槽51的中央的位置，板24相對於加濕器5而位於第二方向D2的另一側。
根據所述構成，可一面將混入有蒸汽的空氣沿著傾斜邊部54導引至貯存槽51的中央側，一面使所述混入有蒸汽的空氣朝貯存槽51外側的板24的空氣通過孔24A通過，因此可將於貯存槽51中的第二方向D1的其中一側的區域中跨越大範圍而存在的混入有蒸汽的空氣供給至板24的空氣通過孔24A。藉此，可有效地抑制混入有蒸汽的空氣大範圍地擴散，且有效地抑制不需要的蒸汽的結露。
另外，導流板53具有面向第二方向D2的另一側的另一側邊部55，另一側邊部55沿著第一方向D1延伸。根據所述構成，與另一側邊部55相對於第一方向D1傾斜的情況相比，可抑制來自貯存槽51的蒸汽自另一側邊部55漏至外側。特別是，本實施形態中，另一側邊部55於俯視時與第二方向D2的另一側的貯存槽51的壁部51BB重疊或者位於壁部51BB的外側。藉此，可有效地抑制來自貯存槽51的蒸汽自另一側邊部55漏至外側。
另外，於另一側邊部55設置有朝下方突出且沿著另一側邊部55延伸的突部57。根據所述構成，可有效地抑制來自貯存槽51的蒸汽自另一側邊部55漏至外側，且可使於導流板53的下表面由蒸汽結露所產生的水自突部57的下端返回貯存槽51。另外，可藉由突部57來抑制導流板53的彎曲變形，因此可抑制可能因空氣的流動而產生的導流板53的搖擺。
另外，加濕器5進而具備吸濕構件60，所述吸濕構件60於第二方向D2的另一側的貯存槽51的壁部51BB的上方或第二方向D2的另一側的斜上方沿上下方向延伸。根據所述構成，來自貯存槽51的蒸汽即使於自另一側邊部55漏至外側的情況下，亦能藉由吸濕構件60以水的狀態得以保持，藉此可有效地抑制自另一側邊部55漏至外側的蒸汽結露且結露而成的水混入空氣中並流動。藉此，可於更穩定的狀態下控制空氣的濕度。
另外，導流板53是以於俯視時於第一方向D1上與自身所位於的一側的貯存槽51的壁部之間形成間隙S的方式設置。根據所述構成，可穿過導流板53和其所位於的一側的貯存槽51的壁部之間的間隙S來配置浮控開關等構件。進而，如此般有效地利用間隙的同時，以間隙位於遠離供給空氣的板24的空氣通過孔24A的位置的方式配置加濕器5，藉此，即使貯存槽51的蒸汽於不需要的區域結露，亦可抑制水流向空氣通過孔24A。
另外，於沿著第二方向D2觀察的情況下，導流板53的一部分與空氣通過孔24A重疊。根據所述構成，可有效地抑制藉由導流板53導引的混入有蒸汽的空氣蔓延至板24的空氣通過孔24A的周圍，因此可有效地抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中。
特別是於沿著第二方向D2觀察的情況下，導流板53的延長線穿過空氣通過孔24A的中心C1。根據所述構成，可將藉由導流板53導引的混入有蒸汽的空氣朝板24的空氣通過孔24A的中心供給，藉此可有效地抑制該空氣蔓延至板24的空氣通過孔24A的周圍。藉此，可有效地抑制由蒸汽結露所產生的水混入空氣中。
以上，說明了本發明的一實施形態，但本發明並不限定於所述實施形態。例如，於所述實施形態中，導流板53於第一方向D1上相對於貯存槽51的中央而配置於兩側，但導流板53亦可相對於貯存槽51的中央而僅設置於任一側。
1‧‧‧空氣調和裝置
2‧‧‧空氣通流路
3‧‧‧冷卻器
4‧‧‧加熱裝置
5‧‧‧加濕器
6‧‧‧鼓風機
21‧‧‧縱流路部
21A‧‧‧上游側開口
22‧‧‧水平流路部
22A‧‧‧下游側開口
23‧‧‧過濾器裝置
24‧‧‧板
24A‧‧‧空氣通過孔
25‧‧‧導管
25A‧‧‧噴出口
51‧‧‧貯存槽
51A‧‧‧底壁
51B‧‧‧周壁
51BB‧‧‧壁部
51C‧‧‧凸緣
52‧‧‧加熱器
53‧‧‧導流板
54‧‧‧傾斜邊部
55‧‧‧另一側邊部
56‧‧‧下側邊部
57‧‧‧突部
60‧‧‧吸濕構件
61‧‧‧支持構件
C1‧‧‧中心
D1‧‧‧第一方向
D2‧‧‧第二方向
L‧‧‧距離
S‧‧‧間隙
III、V‧‧‧箭頭
圖1是本發明的一實施形態的空氣調和裝置的側面圖。 圖2是圖1的空氣調和裝置的空氣通流路的下游側開口的周邊的剖面圖。 圖3是沿著與水平方向平行的圖1的箭頭III的方向對設置於圖1的空氣調和裝置的空氣通流路的加濕器的周邊觀察所得的圖。 圖4是圖3所示的加濕器的俯視圖。 圖5是沿著圖3的箭頭V的方向對圖3所示的加濕器觀察所得的圖。 圖6是圖5的主要部分的放大圖。 圖7是對圖1所示的空氣調和裝置中的加濕器上方的空氣的流動進行說明的圖。 圖8是對圖1所示的空氣調和裝置中的加濕器上方的空氣的流動進行說明的圖。 圖9是對圖1所示的空氣調和裝置中的加濕器上方的空氣的流動進行說明的圖。

Claims (20)

  1. 一種加濕器，其特徵在於具備： 貯存槽，朝上方開放並貯存水； 加熱器，對所述貯存槽內的水進行加熱；以及 導流板，於沿著水平方向延伸的第一方向上，相對於所述貯存槽的中央而於其中一側及另一側的至少一側配置於所述貯存槽的上方，且所述導流板以其上部相較於其下部而位於所述第一方向上的所述貯存槽的中央側的方式傾斜並延伸。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的加濕器，其中，所述導流板具有傾斜邊部，於俯視時，所述傾斜邊部的、於水平面上與所述第一方向正交的第二方向的其中一側的端部相較於另一側的端部而位於遠離所述第一方向上的所述貯存槽的中央的位置。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的加濕器，其中，所述導流板具有於水平面上面向所述第二方向的另一側的另一側邊部，且 所述另一側邊部沿著所述第一方向延伸。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的加濕器，其中，所述第二方向的另一側的所述貯存槽的壁部沿著所述第一方向延伸，且 所述另一側邊部於俯視時與所述壁部重疊或者位於所述壁部的外側。
  5. 如申請專利範圍第3項所述的加濕器，其中，於所述另一側邊部設置有向下方突出且沿著所述另一側邊部延伸的突部。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的加濕器，其中，所述導流板以於俯視時於所述第一方向上與自身所位於的一側的所述貯存槽的壁部之間形成間隙的方式設置。
  7. 如申請專利範圍第1項所述的加濕器，其中，所述導流板於所述第一方向上相對於所述貯存槽的中央而配置於其中一側及另一側這兩側，且 一對所述導流板以穿過所述第一方向上的所述貯存槽的中央且沿著與所述第一方向正交的第二方向延伸的鉛垂面為基準對稱地構成。
  8. 如申請專利範圍第1項所述的加濕器，其設置於空氣調和裝置的水平流路部，所述空氣調和裝置具備使空氣通流的空氣通流路、以及安裝於所述空氣通流路的下游側開口且形成有空氣通過孔的板，且所述空氣通流路具有設置有所述下游側開口且沿著水平方向延伸的所述水平流路部， 所述加濕器以於水平面上與所述第一方向正交的第二方向沿著所述水平流路部的延伸方向的方式配置，且以於沿著所述第二方向觀察的情況下，所述導流板的一部分與所述空氣通過孔重疊的方式配置。
  9. 如申請專利範圍第1項所述的加濕器，其設置於空氣調和裝置的水平流路部，所述空氣調和裝置具備使空氣通流的空氣通流路、以及安裝於所述空氣通流路的下游側開口且形成有空氣通過孔的板，且所述空氣通流路具有設置有所述下游側開口且沿著水平方向延伸的所述水平流路部， 所述加濕器以於水平面上與所述第一方向正交的第二方向沿著所述水平流路部的延伸方向的方式配置，且以於沿著所述第二方向觀察的情況下，所述導流板的延長線穿過所述空氣通過孔的中心的方式配置。
  10. 一種空氣調和裝置，其特徵在於具備： 使空氣通流的空氣通流路； 安裝於所述空氣通流路的下游側開口且形成有空氣通過孔的板；以及 加濕器，設置於所述空氣通流路，且能夠將蒸汽供給於所述空氣通流路內，且 所述空氣通流路具有設置有所述下游側開口且沿著水平方向延伸的水平流路部， 於所述水平流路部設置有所述加濕器， 所述加濕器具有：貯存槽，朝上方開放於所述水平流路部的內部並貯存水；加熱器，對所述貯存槽內的水進行加熱；以及導流板，於沿著水平方向延伸的第一方向上，相對於所述貯存槽的中央而於其中一側及另一側的至少一側配置於所述貯存槽的上方，且所述導流板以其上部相較於其下部而位於所述第一方向上的所述貯存槽的中央側的方式傾斜並延伸， 以於水平面上與所述第一方向正交的第二方向沿著所述水平流路部的延伸方向的方式配置有所述加濕器。
  11. 如申請專利範圍第10項所述的空氣調和裝置，其中，所述導流板具有傾斜邊部，於俯視時，所述傾斜邊部的所述第二方向的其中一側的端部相較於另一側的端部而位於遠離所述第一方向上的所述貯存槽的中央的位置，且 所述板相對於所述加濕器而位於所述第二方向的另一側。
  12. 如申請專利範圍第11項所述的空氣調和裝置，其中，所述導流板具有面向所述第二方向的另一側的另一側邊部，且 所述另一側邊部沿著所述第一方向延伸。
  13. 如申請專利範圍第12項所述的空氣調和裝置，其中，所述第二方向的另一側的所述貯存槽的壁部沿著所述第一方向延伸，且 所述另一側邊部於俯視時與所述壁部重疊或者位於所述壁部的外側。
  14. 如申請專利範圍第12項所述的空氣調和裝置，其中，於所述另一側邊部設置有向下方突出且沿著所述另一側邊部延伸的突部。
  15. 如申請專利範圍第12項所述的空氣調和裝置，其進而具備吸濕構件，所述吸濕構件於所述第二方向的另一側的所述貯存槽的壁部的上方或所述第二方向的另一側的斜上方沿上下方向延伸。
  16. 如申請專利範圍第10項所述的空氣調和裝置，其中，所述導流板以於俯視時於所述第一方向上與自身所位於的一側的所述貯存槽的壁部之間形成間隙的方式設置。
  17. 如申請專利範圍第10項所述的空氣調和裝置，其中，於沿著所述第二方向觀察的情況下，所述導流板的一部分與所述空氣通過孔重疊。
  18. 如申請專利範圍第10項所述的空氣調和裝置，其中，於沿著所述第二方向觀察的情況下，所述導流板的延長線穿過所述空氣通過孔的中心。
  19. 如申請專利範圍第18項所述的空氣調和裝置，其中，所述空氣通過孔為圓形， 於沿著所述第二方向觀察的情況下，所述導流板的一部分與所述空氣通過孔重疊，且 自所述第一方向上的所述空氣通過孔的端點起所述導流板於所述第一方向上朝所述空氣通過孔的中心側突出的距離相對於所述空氣通過孔的直徑而為5/36～10/36。
  20. 如申請專利範圍第10項所述的空氣調和裝置，其中，所述導流板於所述第一方向上相對於所述貯存槽的中央而配置於其中一側及另一側這兩側，且 一對所述導流板以穿過所述第一方向上的所述貯存槽的中央且沿著所述第二方向延伸的鉛垂面為基準對稱地構成。
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