KR20120076079A - 기판 반송 컨베이어 장치 - Google Patents

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KR20120076079A
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Abstract

본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display)기판 등과 같은 각종 반도체 부품을 이송하는 컨베이어 장치에 관한 것으로, 본 발명은 반송 챔버 내부에서 일방향으로 나란하게 배치되고, 기판과 직접 접촉하는 복수개의 롤러들을 갖는 종동 샤프트들; 상기 종동 샤프트의 일단에 장착되는 제1마그네틱 부재; 상기 반송 챔버 내부에 상기 종동 샤프트들의 설치방향과는 직각으로 설치되는 구동 샤프트; 상기 구동 샤프트에 설치되고, 상기 제1마그네틱 부재에 인접하게 위치되어 상기 제1마그네틱 부재를 자력에 의해 회전시키는 제2마그네틱 부재; 및 상기 반송 챔버 외부에 설치되고 상기 구동 샤프트를 회전시키기는 구동부를 포함한다.

Description

기판 반송 컨베이어 장치{SUBSTRATE TRANSFER CONVEYOR APPARATUS}
본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display)기판 등과 같은 각종 반도체 부품을 이송하는 컨베이어 장치에 관한 것이다.
잘 알려진 바와 같이, LCD(liquid crystal display) 소자는 증착 공정, 확산공정, 패터닝 공정 및 열처리 공정 등 다양한 공정 등에 의하여 제작되고 있으며, 이러한 공정들은 챔버, 베스 또는 확산로와 같은 기판처리장치 내에서 진행되고 있다. 상기 기판처리장치는 LCD용 기판 즉, 유리기판을 지지 및 이송시키기 위한 수단으로 이송장치(conveyor)가 주로 사용되고 있다.
이와 같은 이송장치는 유리 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송 샤프트를 포함하고 있다. 반송 샤프트들은 동력전달수단에 의해 설정된 위치에서 회전되며, 최근에는 마그네틱에 의한 비접촉식으로 반송 샤프트에 동력을 전달하는 방식이 사용되고 있다.
하지만, 기존 비접촉식 동력 전달수단은 외부 구동부의 구성이 복잡해서 작업시간이 오래 걸리고 또한 설비에서 차지하는 부피가 크며, 외부의 마그네틱과 내부의 마그네틱이 상호 흡착되는 현상으로 바디 파손 가능성이 매우 높은 문제점을 갖고 있다.
본 발명의 목적은 부품수 및 조립 공수를 줄이고 유지보수성이 뛰어난 기판 반송 컨베이어 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 반송을 위한 컨베이어 장치는 반송 챔버 내부에서 일방향으로 나란하게 배치되고, 기판과 직접 접촉하는 복수개의 롤러들을 갖는 종동 샤프트들; 상기 종동 샤프트의 일단에 장착되는 제1마그네틱 부재; 상기 반송 챔버 내부에 상기 종동 샤프트들의 설치방향과는 직각으로 설치되는 구동 샤프트; 상기 구동 샤프트에 설치되고, 상기 제1마그네틱 부재에 인접하게 위치되어 상기 제1마그네틱 부재를 자력에 의해 회전시키는 제2마그네틱 부재; 및 상기 반송 챔버 외부에 설치되고 상기 구동 샤프트를 회전시키기는 구동부를 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1마그네틱 부재와 상기 제2마그네틱 부재는 베벨 형상이다.
본 발명에 의하면, 부품수 및 조립 공수를 줄이고 유지보수성이 뛰어난 각별한 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명에 따른 컨베이어 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 반송 샤프트와 구동 샤프트에 설치된 제1마그네틱 부재와 제2마그네틱 부재를 보여주는 요부 확대 평면도이다.
도 2는 반송 샤프트와 구동 샤프트에 설치된 제1마그네틱 부재와 제2마그네틱 부재를 보여주는 요부 확대 사시도이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 상술한 본 발명이 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 각 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 도시되었음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명에 따른 컨베이어 장치를 보여주는 도면이다. 도 2 및 도 3은 반송 샤프트와 구동 샤프트에 설치된 제1마그네틱 부재와 제2마그네틱 부재를 보여주는 도면들이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 컨베이어 장치(100)는 반송챔버(110), 종동 샤프트(200)들, 제1마그네틱 부재(300), 구동 샤프트(400), 제2마그네틱 부재(500) 그리고 구동부(600)를 포함한다.
반송챔버(110)는 4개의 측벽(112a-112d)에 의해 형성된다. 반송챔버(110)의 측벽(112a,112c)에는 기판 출입구(114)가 설치된다.
반송챔버(110)에는 다수의 종동 샤프트(200)들이 기판(S)의 반송 방향과는 수직한 방향으로 배치되며, 각각의 종동 샤프트(200)에는 복수의 롤러(212)들이 일정한 간격으로 설치되어 있다. 종동 샤프트(200)는 파이프(210) 양단에 베어링(220)이 설치되며, 베어링(220)은 베어링 지지블록(230)에 의해 지지된다. 종동 샤프트(200)의 일단에는 제1마그네틱 부재가 설치된다. 제1마그네틱 부재는 베벨형 자석으로 형성된다.
반송챔버(110) 내부 일측에는 구동 샤프트(400)가 설치된다. 구동 샤프트(400)는 기판의 이송방향과 동일한 방향(종동 샤프트들과 수직한 방향)으로 반송챔버(110) 내에 설치된다. 구동 샤프트(400)를 회전 구동하기 위한 구동부(600)인 모터는 반송 챔버(110) 외부에 설치된다. 구동 샤프트(400)는 구동부(600)의 구동력을 직접 전달받아 회전된다.
제2마그네틱 부재(500)는 구동 샤프트(400)에 일정 간격으로 설치된다. 제2마그네틱 부재(500)는 베벨형 자석으로 형성되며 제1마그네틱 부재(300)와 베벨 기어 방식으로 자기 결합하게 된다.
구동부(600)의 동작에 의해 구동 샤프트(400)가 회전하게 되면 제2마그네틱 부재(500)와 자기 결합되어 있는 제1마그네틱 부재(300)로 회전력이 전달되고, 이로 인해 종동 샤프트(200)들이 회전하게 된다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 제1마그네틱 부재(300)와 제2마그네틱 부재(500)는 구동부(600)의 회전력을 평행하지 않은 종동 샤프트(200)들로 전달하는 삿갓 모양의 디스크(310,510)와 양극자석(M1)들과 음극자석(M2)들을 갖는 베벨형 동력 전달 구조를 갖는다. 제1마그네틱 부재(300)에는 양극 자석(M1)과 음극 자석(M2)이 디스크(310) 상에 교대로 배열되고, 제2마그네틱 부재(500)에도 양극 자석(M1)과 음극 자석(M2)이 디스크(510) 상에 교대로 배열되어, 서로 자기력에 의한 인력을 자용시켜 회전을 유도할 수 있다. 즉, 종동 샤프트(200)에 설치된 제1마그네틱 부재(300)는 구동 샤프트(400)에 설치된 제2마그네틱 부재(500)와 서로 수직하게 교차하여 제2마그네틱 부재(500)로부터 회전력을 전달 받는다.
상기와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면 구동부(600)인 모터에 의하여 반송 챔버(110) 내부에 설치된 구동 샤프트(400)를 회전시키고, 종동 샤프트(200)들까지의 동력 전달이 비접촉 방식인 제1,2마그네틱 부재(300,500)를 통하여 이루어짐으로써, 기존의 복잡한 구조에 비해 부품수 절감 및 간단한 구조로 인한 유지 보수성이 향상된다.
본 발명에서 기판(S)은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 컨베이어 장치
110 : 반송챔버
200 : 종동 샤프트
300 : 제1마그네틱 부재
400 : 구동 샤프트
500 : 제2마그네틱 부재
600 : 구동부

Claims (2)

  1. 기판 반송을 위한 컨베이어 장치에 있어서:
    반송 챔버 내부에서 일방향으로 나란하게 배치되고, 기판과 직접 접촉하는 복수개의 롤러들을 갖는 종동 샤프트들;
    상기 종동 샤프트의 일단에 장착되는 제1마그네틱 부재;
    상기 반송 챔버 내부에 상기 종동 샤프트들의 설치방향과는 직각으로 설치되는 구동 샤프트;
    상기 구동 샤프트에 설치되고, 상기 제1마그네틱 부재에 인접하게 위치되어 상기 제1마그네틱 부재를 자력에 의해 회전시키는 제2마그네틱 부재; 및
    상기 반송 챔버 외부에 설치되고 상기 구동 샤프트를 회전시키기는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송을 위한 컨베이어 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1마그네틱 부재와 상기 제2마그네틱 부재는 베벨 형상인 것을 특징으로 하는 기판 반송을 위한 컨베이어 장치.
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KR20190106272A (ko) 2018-03-08 2019-09-18 이병칠 기판 이송용 원터치 구동샤프트

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